CN101568726B - 斜板式活塞泵·马达及其制造方法 - Google Patents

斜板式活塞泵·马达及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明的课题是，提高生产效率和质量同时提高斜板支持台的耐烧瓦性和耐磨性。解决手段是，在与旋转轴(5)一起旋转的缸体(9)上，向圆周方向配置多个活塞(10)，而利用所述旋转轴(5)的旋转，沿着斜板(12)引导所述活塞(10)，进行往复运动，同时斜板(12)的凸部(32)可偏斜地支持于斜板支持台(20)的凹部(22)，凹部(22)的支持面(22a)的至少一部分的法线上配置与斜板支持台(20)形成一体的壁(2e)的斜板式活塞泵·马达(1)的制造方法，其对斜板支持台(20)的凹部(22)的支持面(22a)，一边用激光(L1、L2)进行扫描一边照射激光进行淬火，根据对支持面(22a)的激光(L1、L2)入射角度(α1、α2)改变激光(L1、L2)的输出。

Description

斜板式活塞泵·马达及其制造方法
技术领域
本发明涉及斜板可相对于旋转轴偏斜地支持于斜板支持台上的斜板式活塞泵·马达及其制造方法。
背景技术
一般的斜板式活塞泵中，其外壳内部设置与旋转轴固定的缸体，与旋转轴大致平行的多个活塞的前端部插入缸体(例如、参照例如日本特开平11-50951号公报)。形成活塞的后端部被引导相对于旋转轴倾斜的斜板前表面，而且伴随缸体的旋转，活塞进行往复运动，而吸入/吐出工作油的结构。在斜板的背面上形成圆弧状的凸部，凸部支持在斜板支持台的圆弧状的凹部中。而且向斜板支持台的支持面引入润滑油，使斜板相对于旋转轴偏斜，以此形成能够改变活塞的冲程，调节工作油的排出量的结构。这时如果加大斜板的偏斜角度，活塞的冲程就变大，排出量增大，另一方面，如果使偏斜角度减小，则活塞的冲程变小，排出量减小。
这样的斜板式活塞泵中，由于活塞后退使工作油排出时将工作油提供给各活塞的反作用力作用于斜板，斜板与斜板支持台之间的面压力非常高。这样一来，斜板与斜板支持台之间的界面上的润滑油膜容易断开，因此要求斜板与斜板支持台的摩擦面具有耐烧瓦性(焼き付き)和耐磨耗性。因此，向来对铸铁构成的斜板支持台施加气体软氮化处理那样的表面硬化处理，以此赋予斜板支持台耐烧瓦性和耐磨耗性。而且对比较大型的泵，有时候在其斜板支持台的支持面上施加铜合金衬里，赋予耐烧瓦性和耐磨耗性。
还有，活塞泵就向旋转轴传递的旋转动力为输入，由活塞排出的工作油为输出，另一方面，活塞马达就加压油流入为输入，旋转轴的旋转动力为输出。即两者只是使用方法不同，基本结构相同，因此在本申请的说明书中将该结构称为活塞泵·马达。
发明内容
但是，在进行使氮渗入扩散以使表面硬化的气体软氮化处理的情况下，尽管只要对摩擦面进行表面氮化处理即可，但是由于处理效率的关系，不得不对整个部件进行气体软氮化处理，为了批量生产需要大型设备。而且在气体软氮化处理中整个部件被加热到高温(约500～600℃)，有必要在处理之前进行退火以消除歪曲，以避免因加热发生变形，同时在气体软氮化处理时如果部件表面不干净，则处理不稳定，因此有必要对部件预先进行洗净处理，增加了工时。而且在气体软氮化处理中，考虑到工作效率，将一定数量作为一批处理，因此也存在生产准备时间长的问题。
另一方面，在对斜板支持台的支持面施加铜合金衬里的情况下，作为将一铜合金板固定于斜板支持台的支持面上的手段，有在炉子中钎焊、堆焊、机械接合等方法。但是，在炉子中进行钎焊的情况下，与气体软氮化处理一样，存在设备大型化、工时增加、生产准备时间增加的问题。在进行堆焊的情况下，存在需要工作熟练，而且还有质量不一的问题。在利用螺栓等进行机械接合的情况下，在远离螺栓固定的地方，斜板支持台与铜合金板之间形成间隙，存在发生漏油等问题。
因此，本发明的目的在于，提供能够一边提高生产效率和质量一边能够对斜板支持台赋予耐烧瓦性和耐磨耗性的方法。
本发明是鉴于上述情况而作出的，本发明的第一种斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的凸部可偏斜地支持于斜板支持台的凹部，对所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁的斜板式活塞泵·马达的所述斜板支持台的凹部的支持面，一边扫描激光一边照射激光进行淬火，根据激光对所述支持面的入射角度改变激光的输出。
这样一来，只对斜板支持台的支持面用激光进行淬火即可，能够用小的设备以较短的时间赋予其耐烧瓦性和耐磨耗性。而且由于是硬化深度浅的部分淬火，不容易发生加热变形能够省去精加工。而且如果采用激光淬火，则能够在大气中进行处理，而且不需要使用冷却液。而且淬火表面只要激光吸收率一定即可，因此即使是像气体软氮化的情况那样不大注意部件表面的清洁度，也能够实现高质量的表面处理。因此能够在活塞泵·马达的生产线上进行在线处理，能够提高生产效率和质量同时提高斜板支持台的支持面的耐烧瓦性和耐磨耗性。
而且，在支持面的至少一部分法线上配置与斜板支持台成一整体形成的壁，虽然有不能够对支持面垂直(入射角＝90°)照射激光的地方，但是在例如激光的入射角度小的情况下，如果采用加大激光的输出等方法，相应于激光的入射角度适当改变激光的输出，则能够调节支持面的激光吸收量，也能够控制支持面的淬火深度的变化。因此能够在整个支持面适当调整淬火深度，可靠地对其赋予耐烧瓦性和耐磨耗性。
在上述第1种斜板式活塞泵·马达的制造方法中，也可以所述支持面沿着所述斜板的偏斜方向形成为圆弧状，所述壁配置于所述支持面的所述偏斜方向的两端部的法线上，在所述支持面的所述偏斜方向的中央部的法线上设置开口部，对于所述支持面的所述两端部的激光入射角度比对于所述支持面的所述中央部的激光入射角度小，对所述支持面的所述两端部的激光输出比对所述支持面的中央部的激光输出大。
在这种情况下，在圆弧状的支持面的中央部，能够通过开口部垂直照射激光，另一方面，在圆弧状的支持面的两端部，壁造成干扰，不能够垂直照射激光，不得不减小激光的入射角度。在入射角度小的情况下，通常反射分量增加，因此支持面吸收激光的分量减少。但是如果采用上述方法，则对支持面两端部的激光输出被调节得比对支持面中央部的激光输出大，因此能够沿着上述偏斜方向使支持面的激光吸收量均匀化。因此能够对整个支持面赋予均匀的耐烧瓦性和耐磨耗性。
本发明的第2种斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的圆弧状凸部可偏斜地支持于斜板支持台的圆弧状凹部，对所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁的斜板式活塞泵·马达的所述斜板支持台的凹部的支持面，一边扫描激光一边进行淬火，根据对所述支持面的激光入射角度改变激光的扫描速度。
这样一来，只对斜板支持台的支持面用激光进行淬火即可，能够用小的设备以较短的时间赋予其耐烧瓦性和耐磨耗性。而且由于是硬化深度浅的部分淬火，不容易发生加热变形能够省去精加工。而且如果采用激光淬火，则能够在大气中进行处理，而且不需要使用冷却液。而且淬火表面只要激光吸收率一定即可，因此即使是像气体软氮化的情况那样不大注意部件表面的清洁度，也能够实现高质量的表面处理。因此能够在活塞泵·马达的生产线上进行在线处理，能够提高生产效率和质量同时提高斜板支持台的支持面的耐烧瓦性和耐磨耗性。
而且，在支持面的至少一部分法线上配置与斜板支持台成一整体形成的壁，虽然有不能够对支持面垂直(入射角＝90°)照射激光的地方，但是在例如激光的入射角度小的情况下，如果采用减小激光的扫描速度增加激光照射量等方法，相应于激光的入射角度适当改变激光的扫描速度，则能够调节支持面的激光吸收量，也能够控制支持面的淬火深度的变化。因此能够在整个支持面适当调整淬火深度，可靠地对其赋予耐烧瓦性和耐磨耗性。
在所述第2斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，所述支持面沿着所述斜板的偏斜方向形成为圆弧状，所述壁配置于所述支持面的所述偏斜方向的两端部的法线上，在所述支持面的所述偏斜方向的中央部的法线上设置开口部，对于所述支持面的所述两端部的激光入射角度比对于所述支持面的所述中央部的激光入射角度小，对所述支持面的所述两端部的激光的扫描速度比对所述支持面的中央部的激光的扫描速度小。
在这种情况下，圆弧状的支持面的中央部可以通过开口部垂直照射激光，另一方面，圆弧状的支持面的两端部由于壁的妨碍，不能够垂直照射激光，不得不减小激光的入射角度。在入射角度小的情况下，通常反射分量增加，因此支持面吸收激光的分量减少。但是如果采用上述方法，则对支持面两端部的激光扫描速度被调节得比对支持面中央部的激光扫描速度小，因此相应增加激光的照射量，能够沿着上述偏斜方向使支持面的激光吸收量均匀化。因此能够对整个支持面赋予均匀的耐烧瓦性和耐磨耗性。
也可以所述斜板支持台与外壳形成一体，所述壁就是所述外壳。这样一来，斜板支持台与外壳形成一体，因此零部件数目减少，能够谋求低成本化。
也可以对所述支持面部分地照射激光。这样一来，通过照射激光，部分形成的淬火部发生变态，因此发生热膨胀，形成凸状，在与非淬火部之间形成凹凸，借助于使油滞留的效果提高润滑性能，进一步提高耐烧瓦性和耐磨耗性。
也可以对所述支持面条纹状照射激光，以在与所述斜板的偏斜方向大致正交的方向上形成淬火线。这样一来，在斜板偏斜，与斜板支持台的支持面接触发生摩擦(滑动)时，支持面的淬火部与非淬火部多点支持斜板的凸部，使面压力分散，以此提高耐烧瓦性。
本发明的第一种斜板式活塞泵·马达，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的凸部可偏斜地支持于斜板支持台的凹部，所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁，所述斜板支持台形成能够一边根据对其凹部的支持面的激光入射角度改变激光的输出，一边对所述支持面扫描照射激光进行淬火的结构。
本发明的第二种斜板式活塞泵·马达，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的圆弧状凸部可偏斜地支持于斜板支持台的圆弧状凹部，所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁，所述斜板支持台形成能够一边根据对其凹部的支持面的激光入射角度改变激光的扫描速度，一边对所述支持面扫描照射激光进行淬火的结构。
附图说明
图1是本发明的实施形态的斜板式活塞泵·马达的剖面图。
图2是图1所示的斜板式活塞泵·马达的外壳的前表面图。
图3是图2的III-III线剖面图。
图4是图1所示的斜板式活塞泵·马达的斜板的背面图。
图5是图4的V-V线剖面图。
图6是对图3所示的斜板支持台进行的激光淬火的说明图。
图7是表示扫描速度V＝100cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。
图8是表示扫描速度V＝75cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。
图9是表示扫描速度V＝50cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。
图10取出图7～图9中能够得到合适的淬火状态的照射条件，是表示各扫描速度下的照射角度与激光输出的关系的曲线图。
图11是表示激光淬火过的斜板支持台的耐烧瓦性能的比较试验结果的曲线图。
具体实施方式
下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。
第1实施形态
图1是本发明的实施形态的斜板式活塞泵·马达1的剖面图。如图1所示，斜板式活塞泵·马达1具备将斜板支持台20形成一体的外壳2、以及封闭该外壳2的右侧的开口部，具有排出通路3a和吸入通路(未图示)的阀盖3。在外壳2内，在前后方向(图1中的左右方向)上设置通过轴承6、7旋转自如地轴支承于外壳2以及阀盖3上的旋转轴5，在旋转轴5突出的外壳2的插通孔2c上设置的轴承7的外侧上安装按压构件8。
缸体9花键耦合(splind joint)于旋转轴5上，缸体9形成与旋转轴5一起成一整体旋转的结构。在缸体9上，以旋转轴5的旋转轴线50为中心在圆周方向上等间隔设置凹入的多个活塞室9a。各活塞室9a分别与旋转轴线50大致平行，往复运动的活塞10的前端部分别被容纳于各活塞室9a。从活塞室9a突出的各活塞10的后端部10a为球状，转动自如地分别装在闸瓦13的球面轴承部13a中。
在缸体9的中央后端外嵌闸瓦13的支承座11。在闸瓦13的球面轴承部13a的相反侧(背面侧)的接触面13b上相对配置斜板12，在闸瓦13上从缸体9一侧嵌入按压板14，将闸瓦13压向斜板12一侧。斜板12具有面对闸瓦13的接触面13b的平坦的滑面26a，一旦缸体9旋转，闸瓦13就被引导沿着滑面26a旋转，活塞10在旋转轴线50的方向上往复运动，斜板12的滑面26a的相反侧(背面侧)的面上，设置具有圆弧状摩擦面32a(参照图4)的凸部32，该凸部32滑动自如地支持于斜板支持台20的凹部22的圆弧状支持面22a(参照图3)。
在外壳2的上部，在同轴上前后相对(图1中的左右)设置大直径缸室2a和小直径缸室2b，偏斜调节用柱塞15的大直径部15a被容纳于大直径缸室2a，同时小直径部15b被容纳于小直径缸室2b。在偏斜调节用柱塞15的中央部固定连接构件16，连接构件16的下端侧的球状部16a旋转自如地嵌合于斜板12的上部的凹部28a。而且，在对小直径缸室2b提供常压的状态下利用调节器(未图示)使提供给大直径缸室2a的压力增减，通过使偏斜调节用柱塞15左右滑动，斜板12的凸部32的摩擦面32a(参照图4)相对于斜板支持台20的凹部22的支持面22a(参照图3)在偏斜方向上滑动，形成对于旋转轴线50的斜板12的偏斜角度θ能够改变的结构。
在阀盖3的内表面侧安装能够对于缸体9滑动自如接触的阀板25。在阀板25上形成排出端口25a和吸入端口25b，相应于缸体9的旋转相位，缸室9a的出入口9b与排出端口25a或吸入端口25b连通。在阀盖3上形成与阀板25的排出端口25a连通在外侧面上开口的排出通路3a，同时形成与吸入端口25b连通，在外侧面上开口的吸入通路(未图示)。在阀盖3上形成从排出通路3a分叉的旁通流路3b，与外壳2上形成的中继流路2b连通，该中继流路2b与将由引入下述斜板支持台20的油补给路24连通。
图2是图1所示的斜板式活塞泵·马达1的外壳的前视图。图3是图2的III-III线剖面图。如图2和图3所示，外壳2由例如铸铁构成，具有筒状壁部2e、以及将筒状壁部2e的一侧(图3中的左侧)的开口封闭的侧壁部2f。在筒状壁部2e的另一侧(图3中的右侧)设置开口部2d。在侧壁部2f的中心形成旋转轴5(图1)贯通的插通孔2c。在插通孔2c的两侧(图2中的左右)，突出设置一对斜板支持台20。
在斜板支持台20上设置凹部22，并且使其与斜板12对置，在凹部22上形成滑动自如地支持斜板12的凸部32(图1)的支持面22a。支持面22a与开口部2d对置，形成沿着斜板12的偏斜方向的圆弧状。开口部2d位于支持面22a的上述偏斜方向的中央部(凹部22的最深部)的法线N1上，另一方面，筒状壁部2e位于支持面22a的上述偏斜方向的两端部B(参照图6)的法线N2上。对支持面22a，利用二氧化碳激光器、YAG激光器或半导体激光器等激光照射装置(图6)条纹状照射激光，像图2的补片部那样实施条纹状部分淬火，以便在斜板12的偏斜方向(滑动方向)的正交方向上形成淬火线X。因此，淬火线X因组织变态造成膨胀形成微小凸起，与未淬火线Y之间形成微小凹凸。又在支持面22a上形成与外壳2的油补给路24连通的压油供给口(未图示)，将油作为润滑油提供支持面22a。
图4是图1所示的斜板式活塞泵·马达1的斜板12的背面图。图5为图4的V-V线剖面图。如图4和图5所示，斜板12由进行了例如渗氮扩散使其表面硬化的气体软氮化处理的铸铁构成。斜板12具有为闸瓦13(图1)导向的滑面26a的斜板主体26、以及设置于该斜板主体26的宽度方向两侧(图4中的左右)的一对凸部32。在斜板主体26的中心设置旋转轴5(图1)贯通的插通孔27。凸部32具有与斜板支持台20的支持面22a相对的圆弧状的平滑摩擦面32a，在该摩擦面32a的宽度方向中央，在滑动方向延伸地形成油墨保持用的槽部33。
上述斜板式活塞泵·马达1的动作如图1所示，一旦旋转轴5被旋转驱动，与旋转轴5一起由于缸体9旋转而向下方移动的活塞10被斜板12引导从活塞室9a被引出，工作油被吸入活塞室9a内。另一方面，向上方移动的活塞10被斜板12引导，压入活塞室9a，将活塞室9a内的工作油排出。这时，将斜板12的凸部32沿着斜板支持台20的凹部22的支持面22a引导，对斜板12的偏斜角度θ进行调节，这样能够改变活塞10的冲程，调节排出量。
下面对斜板支持台20的凹部22的支持面22a的淬火方法进行说明。图6是图3所示的斜板支持台20进行激光淬火的说明图。如图6所示，斜板支持台20的凹部22的支持面22a沿着斜板12的偏斜方向形成圆弧状，外壳2的筒状壁部2e位于支持面22a的上述偏斜方向的两端部B的法线上。也就是说，来自激光照射装置100的激光L1能够通过开口部2d垂直(入射角度α1＝90°)照射支持面22a的中央部A，但是由于受到筒状壁部2e的影响，从激光照射装置100来的激光L2不能垂直照射支持面22a的两端部B。因此，激光L2对支持面22a的两端部B的入射角度α2要比激光L1对支持面22a的中央部A的入射角度α1小，以锐角倾斜入射，根据入射角度α1、α2改变激光L1、L2的输出功率。
具体地说，利用激光照射装置100对斜板支持台20的支持面22a照射激光，在图6的纸面的垂直方向上以一定速度扫描激光进行条纹状淬火，以便在大约垂直于偏斜方向的方向上形成淬火线X(参照图2)。这时，随着激光照射区域从支持面22a的中央部A向两端部B移动，使激光L1、L2的入射角度α1、α2减小，同时使激光L1、L2的输出功率增加。也就是说，使激光L2对支持面22a的两端部B的激光输出比激光L1对支持面22a的中央部A的激光输出大，以使支持面22a的激光吸收量沿着偏斜方向大致均匀。借助于此，谋求淬火深度的均匀化，以在支持面22a的整个面上都能够可靠地得到耐烧瓦性和耐磨耗性。
根据上面所述，利用激光形成为条纹状的淬火线X由于组织变态发生膨胀形成微小凸状，与未淬火线Y之间形成凹凸、利用油滞留效果和多点支持产生的面压力分散效果提高滑动特性、耐烧瓦性得到提高。这时淬火线X形成于滑动方向的垂直方向上，因此在斜板12的摩擦面32a上，斜板支持台20的淬火线X与未淬火线Y交替形成并且相对，斜板12与斜板支持台20之间的面压力得到有效分散容易磨合，耐烧瓦性得到提高。而且由于与斜板12的摩擦面32a相连接的微小凸状淬火线X的部位由于组织变态发生淬火硬化，耐磨耗性也会提高。
又，只要对斜板支持台20的支持面22a用激光进行淬火即可，用小设备干净地用短时间就能够赋予其耐烧瓦性和耐磨耗性。而且由于是硬化深度浅的部分淬火，因此不容易发生加热变形可以省去精加工。又，如果采用激光淬火，能够在大气中进行处理，也不需要使用冷却液。而且，淬火表面只要是激光的吸收率一定即可，因此即使是像气体软氮化的情况那样不太在意部件表面的清洁度，也能够实现高质量的表面处理。因此，能够放在活塞泵·马达的生产线上进行在线处理，能够提高生产率和质量。又，斜板支持台20由于与外壳2成一整体形成，所以能够减少零部件数目，能够谋求降低成本。
而且，在对斜板支持台20的支持面22a进行的淬火工序中，随着从支持面22a的中央部A向两端部B移动照射激光的区域，激光L1、L2的入射角度α1、α2逐步减小，同时使激光L1、L2的输出功率增加，因此即使是外壳2的筒状壁部2e位于支持面22a的法线上，也能够使支持面22a的激光吸收量沿着所述倾斜方向均匀化。因此，能够对支持面22a的整个面赋予均匀的耐烧瓦性和耐磨耗性。
还有，在本实施形态中，旋转轴5的旋转驱动力为输入，由活塞10吸入/排出的工作油为输出的斜板式活塞泵的动作进行了说明，但是也可以使用将加压油的向缸室9a流入/流出为输入，将旋转轴5的旋转为输出的斜板式活塞马达。
第2实施形态
下面对第2实施形态进行说明。本实施形态与第1实施形态的不同点在于，取代激光输出的改变，使激光的扫描速度改变进行淬火。还有，斜板式活塞泵·马达的结构本身与第1实施形态相同，因此以下主要再参照图6进行说明。
利用激光照射装置100对斜板支持台20的支持面22a照射激光，在激光输出为一定的状态下用激光在垂直于图6纸面的方向一边进行扫描一边进行条纹状淬火，以便在大致垂直于偏斜方向的方向上形成淬火线X(图2)。这时，随着激光照射区域从支持面22a的中央部A向两端部B移动，使激光L1、L2的入射角度α1、α2减小，同时使激光L1、L2的扫描速度减小。也就是说，使对支持面22a两端部B的激光L2的扫描速度小于激光L1对支持面22a中央部A的扫描速度，以使支持面22a的激光吸收量在沿偏斜方向上大致均匀。借助于此，谋求在支持面22a的整个面上可靠地实现耐烧瓦性和耐磨耗性的均匀化。还有，其他结构、作用与第1实施形态相同，因此其说明省略。
实验例
下面对实验例进行说明。图7是表示扫描速度V＝100cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。图8是表示扫描速度V＝75cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。图9是表示扫描速度V＝50cm/min的激光输出与淬火深度的关系的曲线图。图7～图9是为决定生产线上的激光照射条件(入射角度、扫描速度、激光输出)，对用与斜板支持台20相同的材料制作的平板试验片用各种各样的激光照射条件进行激光淬火，而表示淬火温度与照射条件的关系的。平板试验片的材料使用铸铁(FC300)，淬火线的宽度为约3mm。
从图7～图9的各曲线可知，在激光扫描速度为一定的情况下，如果减小入射角度，则淬火深度减小，如果使激光输出增加，则淬火深度增大。这是由于激光输出增加时平板试验片的激光吸收量增大，使入射角度减小时，平板试验片的激光吸收量减小。因此，向第1实施形态所说明的那样，在激光的扫描速度为一定的条件下，如果想一边使入射角度改变一边使淬火深度均匀化，则只要伴随入射角度的减小，调节使激光输出增加即可。
又，从图7～图9可知，如果使激光扫描速度减小，则淬火深度增大。这是由于一旦激光的扫描速度减小，平板试验片的激光吸收量就增大。在这里，图7～图9中的曲线图中虚线所示的边界线的右上区域，表示由激光强度过大，而平板试验片的表面熔化的情况。因此合适的淬火深度的上限值设为不发生表面熔融的情况的0.45mm以下。另一方面，如果淬火深度过小，则不能够得到充分的耐烧瓦性和耐磨耗性，因此合适的淬火深度下限值为0.25mm以上。
图10取出图7～图9中能够得到合适的淬火状态的照射条件，是表示各扫描速度下的照射角度与激光输出的关系的曲线图。如图10所示，表示出淬火深度为0.25～0.45mm范围内的合适的照射条件，像例如第2实施形态所述那样，在激光输出为一定的条件下，如果想一边改变入射角度一边使淬火深度在一定范围内保持均匀，则随着入射角度的减小，调节使激光的扫描速度减小即可。
图11是表示激光淬火过的斜板支持台的耐烧瓦性能的比较试验结果的曲线图。如图11所示，在激光淬火产品中，只要使圆弧面的40％以上面积淬火硬化，则其耐烧瓦性比气体软氮化产品好。特别是50～70％的淬火面积是理想的。

Claims (8)

1.一种斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的凸部可偏斜地支持于斜板支持台的凹部，对所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁的斜板式活塞泵·马达的所述斜板支持台的凹部的支持面，一边扫描激光一边照射激光进行淬火，根据激光对所述支持面的入射角度改变激光的输出，并且
所述淬火的深度范围为0.25～0.45nm，并且对所述支持面部分地照射激光，使所述淬火的面积为所述支持面的50～70％，
所述支持面的材料是铸铁，而且
对所述支持面条纹状照射激光，以在与所述斜板的偏斜方向大致正交的方向上形成淬火线，通过所述淬火线与未淬火线形成凹凸。
2.根据权利要求1所述的斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，
所述支持面沿着所述斜板的偏斜方向形成为圆弧状，
所述壁配置于所述支持面的所述偏斜方向的两端部的法线上，在所述支持面的所述偏斜方向的中央部的法线上设置开口部，
对于所述支持面的所述两端部的激光入射角度比对于所述支持面的所述中央部的激光入射角度小，
对所述支持面的所述两端部的激光输出比对所述支持面的中央部的激光输出大。
3.根据权利要求1或2所述的斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，所述斜板支持台与外壳形成一体，所述壁就是所述外壳。
4.一种斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的圆弧状凸部可偏斜地支持于斜板支持台的圆弧状凹部，对所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁的斜板式活塞泵·马达的所述斜板支持台的凹部的支持面，一边扫描激光一边进行淬火，根据对所述支持面的激光入射角度改变激光的扫描速度，并且
所述淬火的深度范围为0.25～0.45nm，并且对所述支持面部分地照射激光，使所述淬火的面积为所述支持面的50～70％，
所述支持面的材料是铸铁，而且
对所述支持面条纹状照射激光，以在与所述斜板的偏斜方向大致正交的方向上形成淬火线，通过所述淬火线与未淬火线形成凹凸。
5.根据权利要求4所述的斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，
所述支持面沿着所述斜板的偏斜方向形成为圆弧状，
所述壁配置于所述支持面的所述偏斜方向的两端部的法线上，在所述支持面的所述偏斜方向的中央部的法线上设置开口部，
对于所述支持面的所述两端部的激光入射角度比对于所述支持面的所述中央部的激光入射角度小，
对所述支持面的所述两端部的激光的扫描速度比对所述支持面的中央部的激光的扫描速度小。
6.根据权利要求4或5所述的斜板式活塞泵·马达的制造方法，其特征在于，所述斜板支持台与外壳形成一体，所述壁就是所述外壳。
7.一种斜板式活塞泵·马达，其特征在于，
在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的凸部可偏斜地支持于斜板支持台的凹部，所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁，
所述斜板支持台形成能够一边根据对其凹部的支持面的激光入射角度改变激光输出，一边对所述支持面扫描照射激光进行淬火的结构，并且
所述淬火的深度范围为0.25～0.45nm，并且对所述支持面部分地照射激光，使所述淬火的面积为所述支持面的50～70％，
所述支持面的材料是铸铁，而且
对所述支持面条纹状照射激光，以在与所述斜板的偏斜方向大致正交的方向上形成淬火线，通过所述淬火线与未淬火线形成凹凸。
8.一种斜板式活塞泵·马达，其特征在于，
在与旋转轴一起旋转的缸体上，向圆周方向配置多个活塞，而利用所述旋转轴的旋转，沿着斜板引导所述活塞，进行往复运动，同时所述斜板的圆弧状凸部可偏斜地支持于斜板支持台的圆弧状凹部，所述凹部的支持面的至少一部分的法线上配置与所述斜板支持台形成一体的壁，
所述斜板支持台形成能够一边根据对其凹部的支持面的激光入射角度改变激光扫描速度，一边对所述支持面扫描照射激光进行淬火的结构，并且
所述淬火的深度范围为0.25～0.45nm，并且对所述支持面部分地照射激光，使所述淬火的面积为所述支持面的50～70％，
所述支持面的材料是铸铁，而且
对所述支持面条纹状照射激光，以在与所述斜板的偏斜方向大致正交的方向上形成淬火线，通过所述淬火线与未淬火线形成凹凸。
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