CN101562123A - 板状部件的输送装置及板状部件的输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。

Description

板状部件的输送装置及板状部件的输送方法

技术领域

本发明涉及一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其用于输送例如显示器中使用的玻璃基板等板状部件。

背景技术

当前，为了输送显示器中使用的玻璃基板等板状部件，已知一种基板输送装置(例如参照专利文献1)。

专利文献1中，利用形成有多个空气孔的飘浮模块，使玻璃基板飘浮，利用吸附垫吸附飘浮的玻璃基板的沿基板输送方向的下游侧的

背面，从而进行保持，一边牵引一边输送。

专利文献1：专利公表2003-86917

发明内容

显示器中使用的玻璃基板，大多在输送路径的中途，一边经过对该玻璃基板进行规定处理的处理部，一边进行输送。作为该处理部，可以例举对玻璃基板的表面(向上的一面)的周缘部进行曝光处理的工序等。

一般地，显示器中使用的玻璃基板很薄，而在这种处理部中，要求玻璃基板表面具有极高的平坦度。

但是，前述专利文献1，由于多个飘浮模块沿玻璃基板的输送方向平行设置且沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔排列，所以换言之，在各飘浮模块之间形成空隙。

即，专利文献1在对玻璃基板的表面进行曝光处理的处理部中，由于基板的背面存在不接触气流的部位，其结果玻璃基板的表面产生波浪状起伏，存在不能进行高精度曝光的问题。

另外，通常在沿矩形形状的玻璃基板的周缘部以框状进行曝光处理的情况下，大多首先对相互平行的一对边缘部进行曝光处理，然后以沿厚度方向的线作为中心，使玻璃基板转动规定角度，对剩下的一对边缘部进行曝光处理。即，在沿矩形形状的玻璃基板的周缘部以框状进行曝光处理的情况下，使玻璃基板转动规定角度的工序是必不可少的。

但是，在前述专利文献1中，由于利用吸附垫吸附沿玻璃基板的输送方向的下游侧的背面而进行支撑，因此必须在使玻璃基板转动规定角度的工序之前，暂时使吸附垫离开玻璃基板，在使玻璃基板转动规定角度的工序以后，再次使吸附垫吸附在玻璃基板上，存在不能缩短生产节拍的问题。

上述问题，不仅在输送显示器中使用的玻璃基板时进行曝光处理的情况下产生，而且在输送板状部件时，在输送路径的中途对板状部件进行要求表面平坦度的处理的情况下也会产生。

本发明就是为了解决前述问题而提出的，目的在于提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。

另外，本发明的目的还在于提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在将沿厚度方向的线作为中心使板状部件转动的情况下，也可以缩短生产节拍。

本发明的板状部件的输送装置，其具有：飘浮单元，其沿前述板状部件的输送方向，平行地排列多个飘浮部件，该飘浮部件通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮；输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件；以及处理部，其在前述输送单元的输送路径的中途，对前述板状部件进行要求表面平坦度的处理，其特征在于，在前述飘浮单元的与前述处理部相对应的区域，设置前述板状部件的表面平坦度提高单元。

在本发明中，由于在对板状部件进行要求表面平坦度的处理的处理部中，设置板状部件的表面平坦度提高单元，因此与现有技术相比，在处理部中板状部件的表面产生波浪状起伏的问题减少，可以高精度地进行例如曝光处理等。

另外，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述表面平坦度提高单元具有横置飘浮部件，其沿与前述输送方向相交叉的方向设置。

在本发明中，通过沿与前述输送方向相交叉的方向设置横置飘浮部件，可以使喷射口的密度均匀，从而在处理部中，可以可靠地减少板状部件的表面产生波浪状起伏的问题。

进而，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，同时，前述表面平坦度提高单元具有在前述各飘浮部件之间排列的区间飘浮部件。

在本发明中，通过在各飘浮部件之间排列区间飘浮部件，可以使喷射口的密度均匀，从而在处理部中可以可靠地减少板状部件的表面产生波浪状起伏的问题。

并且，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，同时，前述表面平坦度提高单元，具有从多个喷射口向上方喷射气体的多个支承垫，前述各支承垫铺设在前述各飘浮部件之间。

在本发明中，通过在各飘浮部件之间设置各支承垫，可以使喷射口的密度均匀，从而在处理部中可以可靠地减少板状部件的表面产生波浪状起伏的问题。

另外，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述表面平坦度提高单元，在前述飘浮部件的与前述处理部相对应的区域内，具有喷射吸引部件，该喷射吸引部件具有喷射前述气体的喷射口及吸引外部空气的吸引口。

在本发明中，由于在与处理部相对应的区域，具有设置有喷射口和吸入口的喷射吸入部件，因此在处理部中可以可靠地减少板状部件的表面产生波浪状起伏的问题。

进而，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，同时，前述表面平坦度提高单元，具有覆盖前述各飘浮部件之间的间隙的覆盖部件。

在本发明中，由于具有覆盖各飘浮部件之间的间隙的覆盖部件，因此在处理部中可以可靠地减少板状部件的表面产生波浪状起伏的问题。

并且，本发明的板状部件的输送装置，其具有：飘浮单元，其具有通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮的飘浮部件；以及输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件，其特征在于，前述输送单元具有吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以以沿前述板状部件的厚度方向的线为中心旋转，前述吸附垫吸附在前述板状部件的平面中央部。

在这里，作为平面中央部，在板状部件为矩形形状的情况下，是指将对角线的交点作为中心，以规定的半径所描绘的圆的内部。

并且，所谓的规定半径为，在进行以沿厚度方向的线作为中心使板状部件转动规定角度的工序的转动工序区域中，板状部件的角部不与其他构造物干涉的半径。

在本发明中，由于吸附垫吸附在板状部件的平面中央部，因此与利用吸附在板状部件的沿输送方向的下游侧的背面的情况相比，在进行以沿厚度方向的线作为中心使板状部件转动规定角度的工序时，不必暂时使吸附垫离开板状部件后，再次使吸附垫在吸附垫状部件上，这样，可以缩短生产节拍。

另外，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述输送单元具有可以沿前述输送方向移动的旋转轴，前述吸附垫与前述旋转轴连结。

在本发明中，由于吸附垫与可以沿输送方向移动的旋转轴连结，因此只要使吸附垫吸附在向输送方向的上游侧供给的板状部件上，就不必在从输送方向下游侧至搬出板状部件之前使吸附垫离开、再次吸附，这样可以缩短生产节拍。

进而，本发明的板状部件的输送装置，其具有：维持单元，其将板状部件维持为水平；以及输送单元，其保持前述板状部件，同时将板状部件从输送方向上游侧输向输送方向下游侧输送，其特征在于，前述输送单元具有：吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以吸附在前述板状部件上；以及支撑部件，其与前述吸附垫联动而支撑前述板状部件。

在本发明中，即使存在为了使吸附垫移动而无法配置维持单元的区域，也可以通过与吸附垫联动的支撑部件，在可靠地支撑板状部件的状态下进行输送。

并且，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述支撑单元具有飘浮部件，其通过从多个喷射口向上方喷射气体而使前述板状部件飘浮，前述支撑部件是具有与前述飘浮部件相同功能的移动飘浮部件。

在本发明中，通过将支撑部件作为移动飘浮部件，可以以可靠地使板状部件飘浮的状态进行输送。

另外，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述支撑部件具有转动体，其与前述板状部件接触，同时可以转动。

在本发明中，通过在支撑部件上具有可以转动的转动体，从而使转动体与板状部件接触，可以以可靠地支撑板状部件的状态进行输送。

进而，本发明的板状部件的输送装置，其特征在于，前述支撑部件沿着前述输送方向，同时隔着前述吸附垫设置于输送方向的上游侧及输送方向的下游侧。

在本发明中，由于支撑部件隔着前述吸附垫而设置于输送方向上游侧及输送方向下游侧，因此即使在使吸附垫吸附垫状部件的平面中央部的情况下，也可以均匀地支撑板状部件。

另外，在本发明的板状部件的输送方法中，将板状部件放入飘浮单元的输送方向上游侧，该飘浮单元由多个飘浮部件沿输送方向平行设置、且沿与前述输送方向正交的方向以规定间隔排列而成，该多个飘浮部件从多个喷射口向上方喷射气体，在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，在前述各飘浮部件之间，通过使吸附垫吸附在前述板状部件下表面的中央部，从而进行保持，然后，通过使前述吸附垫、和隔着前述吸附垫而设置于输送方向的上游侧及输送方向的下游侧的移动飘浮部件，从前述输送方向上游侧向前述输送方向下游侧移动，输送前述板状部件，在前述输送单元的输送路径的中途，利用设置有前述板状部件的表面平坦度提高单元的区域，一边使前述板状部件的表面平坦化，一边利用处理部对前述板状部件的表面进行规定的处理，在经过前述处理部后，使前述输送单元的前述吸附垫转动，从而使前述板状部件转动。

在本发明中，由于吸附垫吸附在板状部件的平面中央部，因此在进行以沿厚度方向的线作为中心使板状部件转动规定角度的工序时，可以不必暂时使吸附垫离开板状部件后，再次使吸附垫在吸附垫状部件上。

进而，本发明的板状部件的输送方法，其特征在于，在使前述吸附部件向前述输送方向下游侧移动的期间，将下一个板状部件放入前述输送方向上游侧。

在本发明中，通过在使吸附垫移动期间放入下一个板状部件，可以进行连续的作业，从而可以实现工序生产节拍的缩短。

发明的效果

由于本发明在对板状部件进行要求表面平坦度的处理的处理部中，设置板状部件的表面平坦度提高单元，因此与现有的装置相比，在处理部中，板状部件的表面产生波浪状起伏的担心减少，可以高精度地进行例如曝光处理等。

另外，在本发明中，由于吸附垫被吸附在板状部件的平面中央部，因此在进行以沿厚度方向的线作为中心而使板状部件转动规定角度的工序时，不必暂时使吸附垫离开板状部件后，再次使吸附垫吸附在板状部件上，由此可以缩短生产节拍。

附图说明

图1是表示本发明涉及的第1实施方式的输送装置的俯视图。

图2是表示第1实施方式的输送单元的要部斜视图。

图3是表示第1实施方式的处理部的侧视图。

图4是表示板状部件的中央部的概念的示意俯视图。

图5(A)是取代第1实施方式的电动机而表示变形例1的旋转机构的斜视图，(B)是表示变形例2的旋转机构的斜视图，(C)是表示变形例3的旋转机构的斜视图。

图6是取代第1实施方式的飘浮部件而表示变形例4的飘浮部件的斜视图。

图7是取代第1实施方式的飘浮部件而表示变形例5的支撑部件的斜视图。

图8是表示本发明涉及的第2实施方式的表面平坦度提高单元的俯视图。

图9是表示第2实施方式的处理部的侧视图。

图10是表示第3实施方式的处理部的侧视图。

图11是表示第3实施方式的表面平坦度提高单元的斜视图。

图12是表示第4实施方式的处理部的侧视图。

图13是说明由第4实施方式的表面平坦度提高单元进行的气体流动的剖面图。

图14是表示第5实施方式的处理部的侧视图。

图15是说明由第5实施方式的表面平坦度提高单元进行的气体流动的剖面图。

具体实施方式

下面，基于附图对本发明涉及的板状部件的输送装置及板状部件的输送方法的实施方式进行说明。

图1中所示的第1实施方式的输送装置10，用于将显示器中使用的板状部件即玻璃基板11，从图1中的左侧向右侧输送。

该输送装置10具有：飘浮单元20，其用于使玻璃基板11飘浮；输送单元30，其用于输送玻璃基板11；以及处理部40，其设置于输送单元30的输送路径中途。

飘浮单元20具有多个飘浮部件21，它们通过从多个喷射口向上方喷射气体而使玻璃基板11飘浮。

飘浮部件21为大致扁平方筒状，在上表面以规则的等间隔设置多个喷射口。这些飘浮部件21沿输送方向(图1中的左右方向)平行设置，且沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔排列多个。

此外，该飘浮单元20在中央部设置空隙22，从而不会与输送单元30干涉。

如图2所示，输送单元30具有：导轨31，其设置于前述空隙22的正下方；导向部件32，其可以沿导轨31移动；电动机33，其由导向部件32支撑，同时使旋转轴36(参照图3)垂直地配置；吸附垫34，其与电动机33的旋转轴36连结；以及一对移动飘浮部件(支撑部件)35、35，它们由导向部件32支撑。

移动飘浮部件35、35，与前述的飘浮部件相同地为大致扁平方筒状，在上表面以规则的等间隔设置多个喷射口。这些移动漂浮部件35、35沿着输送方向，同时隔着吸附垫34设置，可以与吸附垫34联动而沿输送方向移动。

返回图1，该输送单元30配置为，使吸附垫可以吸附在玻璃基板11的平面中央部。

如图3所示，处理部40为了对玻璃基板的整个表面(向上的整个表面)进行曝光处理，具有：门型的支撑部件41，其沿相对于输送方向正交的方向；以及曝光装置42，其可以沿支撑部件41移动。

该处理部40，为了对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理，沿相对于输送方向交叉的方向，使喷射口的密度均匀。

具体地讲，处理部40沿支撑部件41，即相对于输送方向交叉的方向，避开空隙22而设置一对横置飘浮部件(表面平坦度提高单元)43，43。

下面，对上述的输送装置10的输送顺序进行说明。

如图1所示，在预先使空气从飘浮部件21的喷射口喷射的状态下，从图1中的左上方向下方，将玻璃基板11放入飘浮单元20的输送方向的上游侧(图1中的左侧)，在玻璃基板11利用飘浮单元20从飘浮部件21飘浮的状态下，通过使配置于空隙22中的吸附垫34吸附在玻璃基板11的下表面的中央部而进行保持。

如图4所示，被吸附垫吸附的玻璃基板的下表面中的中央部，是指以对角线的交点为中心，以规定的半径描绘的圆A内。

图4中的圆B，表示在使吸附垫吸附在玻璃基板的中心，即对角线的交点并进行转动的情况下的玻璃基板角部的轨迹，图4中圆C是考虑到安全，玻璃基板不会与其他构造物干涉的半径。

并且，图4中圆A的半径设定为下述距离，即，即使吸附垫吸附在相对于玻璃基板的中心偏离的位置上，玻璃基板的角部的轨迹也不会从图4中的圆C突出(参照图4中的圆D)

再次返回图1，在通过使输送单元30的吸附垫34转动而使玻璃基板11转动规定角度后，通过使吸附垫34和隔着吸附垫34设置于输送方向的上游侧及下游侧的移动漂浮部件35、35，沿输送方向从上游侧向下游侧移动，从而输送玻璃基板11，一边利用沿处理部40的支撑部件41设置的横置飘浮部件43、43使玻璃基板11的表面平坦化，一边利用处理部40进行曝光处理。

然后，通过使输送单元30的吸附垫34转动，使玻璃基板11转动，输送至下一工序。

此外，在输送单元30向输送方向的下游侧移动的期间，在输送方向的上游侧放入下一个玻璃基板11，以玻璃基板11利用飘浮单元20从飘浮部件21飘浮的状态待机，直至输送单元30复原至初始位置(上游侧)。

根据上述的第1实施方式，在对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理的处理部40中，由于沿相对于输送方向交叉的方向，使喷射口的密度均匀，因此与现有的情况相比，在处理部40中，可以可靠地减少玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题。

另外，由于吸附垫34吸附在玻璃基板11的平面中央部，因此在进行以沿厚度方向的线为中心而使玻璃基板11转动规定角度的工序时，不必暂时使吸附垫34离开玻璃基板11后，再次使吸附垫34吸附玻璃基板11，从而可以缩短生产节拍。

特别地，由于吸附垫34与可以沿输送方向移动的电动机33的旋转轴36(参照图3)连结，因此在将向输送方向的上游侧供给的玻璃基板11从输送方向下游侧搬出之前，不必使吸附垫34离开后再次吸附，由此可以进一步缩短生产节拍。

并且，通过在输送单元30向输送方向的下游侧移动的期间，在输送方向的上游侧放入下一个玻璃基板11，可以进行连续的作业，从而可以进一步缩短生产节拍。

另外，由于输送单元30具有可以与吸附垫34联动而沿输送方向移动的移动漂浮部件35、35，因此即使在输送路径上具有空隙22，也可以在可靠地使玻璃基板11飘浮的状态下进行输送。

特别地，由于隔着吸附垫34设置一对移动漂浮部件35、35，因此即使在使吸附垫34吸附在玻璃基板11的平面中央部上的情况下，也可以使玻璃基板11均匀地飘浮。

下面，基于图5至图7对相对于第1实施方式的输送装置10的变形例1至变形例5进行说明。此外，在变形例1至变形例5中，对与输送装置10相同或相似的部件标注相同的标号，省略其说明。

(变形例1)

第1实施方式的输送装置10，作为使旋转轴36旋转的单元，对利用电动机33使旋转轴36直接旋转的直接驱动结构进行说明，但也可以使用图5(A)所示的旋转机构50。

旋转机构50是使电动机51及齿轮52组合而成。根据旋转机构50，通过使电动机51旋转，齿轮52进行旋转，通过齿轮52旋转，吸附垫34随旋转轴36一起旋转。

根据变形例1的旋转机构50，由于不必使用直接驱动电动机，因此获得可以降低输送装置10的制造成本的效果。

(变形例2)

另外，也可以取代第1实施方式的输送装置10中使用的直接驱动电动机结构，而使用图5(B)所示的旋转机构55。

旋转机构55是使气体驱动源56及齿轮57组合。根据旋转机构55，通过驱动空气驱动源56，齿轮57旋转，通过齿轮57旋转，吸附垫34随旋转轴36一起旋转。

根据变形例2的旋转机构55，由于不必使用直接驱动电动机，因此获得可以降低输送装置10的制造成本的效果。

(变形例3)

此外，也可以取代第1实施方式的输送装置10中使用的直接驱动电动机结构，使用图5(C)所示的旋转机构60。

旋转机构60是使电动机61及环状带62组合。根据旋转机构60，通过使电动机61旋转，环状带62进行旋转，通过环状带62旋转，吸附垫34随旋转轴36一起旋转。

根据变形例3的旋转机构60，由于不必使用直接驱动电动机，因此获得可以降低输送装置10的制造成本的效果。

(变形例4)

第1实施方式的输送装置10，隔着吸附垫34在输送方向的上游侧及输送方向的下游侧设置一对移动漂浮部件35、35，但不限于此，例如如图6所示，也可以在输送方向的上游侧并列配置多根移动漂浮部件35、35，且在输送方向下游侧并列配置多根移动漂浮部件35、35。

根据变形例4，由于在输送方向上游侧及输送方向下游侧分别并列地配置多根移动漂浮部件35、35，因此可以确保飘浮部件21之间的较大间隙，其结果，可以增大吸附垫34，从而可以提高对玻璃基板11的吸附力。

另外，由此还可以使更大的玻璃基板11旋转。

(变形例5)

另外，也可以取代第1实施方式的输送装置10的移动漂浮部件35、35，如图7(A)、(B)所示，使用支撑部件65。

支撑部件65具有多个转动体66，其与玻璃基板11接触，同时可以转动；以及底座67，其可旋转地支撑多个转动体66。

根据变形例5，由于不使用飘浮部件，因此可以降低部件的成本，同时可以抑制空气消耗量。

下面，基于图8至图15对第2实施方式至第5实施方式的板状部件的输送装置及板状部件的输送方法进行说明。此外，在2实施方式至第5实施方式中，对与第1实施方式的输送装置10相同或相似的部件标注相同的标号，省略其说明。

(第2实施方式)

图8、图9所示的第2实施方式的输送装置70，取代第1实施方式的横置飘浮部件43、43而具有表面平坦度提高单元71，其他结构与第1实施方式的输送装置10相同。

表面平坦度提高单元71在处理部40中，沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔连续地排列多个飘浮部件21，在飘浮部件21之间具有区间飘浮部件72。

区间飘浮部件72如图8所示，长度尺寸L形成得较短，从而配置于处理部40的区域40A中。

该区间飘浮部件72与第1实施的横置飘浮部件43、43相同地，具有通过从上表面72A的多个喷射口向上方喷射气体而使玻璃基板11飘浮的功能。

因此，由于在飘浮部件21之间具有区间飘浮部件72，因此与第1实施的横置飘浮部件43、43相同地，使喷射口的密度均匀，在处理部40中，可以可靠地减少玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题。

这样，根据第2实施方式的输送装置70，与第1实施方式相同地，在对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理的处理部40中，玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题减少，可以高精度地进行曝光处理。

(第3实施方式)

图10、图11所示的第3实施方式的输送装置80，取代第1实施方式的横置飘浮部件43、43，具有表面平坦度提高单元81，其他结构与第1实施方式的输送装置10相同。

表面平坦度提高单元81在处理部40中，沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔连续地排列多个飘浮部件21，同时具有多个从多个喷射口向上方喷射气体的支承垫82，各支承垫82铺设于各飘浮部件21之间。

各支承垫82仅配置于处理部40的区域40A(参照图8)中。

该支承垫82与第1实施的横置飘浮部件43、43相同地，具有通过从上表面82A的多个喷射口向上方喷射气体而使玻璃基板11飘浮的功能。

因此，由于在飘浮部件21之间铺设多个支承垫82，因此与第1实施的横置飘浮部件43、43相同地，使喷射口的密度均匀，在处理部40中可以可靠地减少玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题。

这样，根据第3实施方式的输送装置80，与第1实施方式相同地，在对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理的处理部40中，玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题减少，可以高精度地进行曝光处理。

(第4实施方式)

图12、图13所示的第4实施方式的输送装置90，取代第1实施方式的横置飘浮部件43、43而具有表面平坦度提高单元91，其他结构与第1实施方式的输送装置10相同。

表面平坦度提高单元91在飘浮单元20的与处理部40相对应的区域40A(对照图8)中，具有喷射吸引部件92，其在上表面92A分别具有向上方喷射气体的喷射口及吸引外部空气的吸引口。

由于在喷射吸引部件92上具有吸引外部空气的吸引口，因此可以适当地保持玻璃基板11下方的气体，在区域40A中可以可靠地减少玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题。

这样，根据第4实施方式的输送装置90，与第1实施方式相同地，在对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理的处理部40中，玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题减少，可以高精度地进行曝光处理。

(第5实施方式)

图14、图15所示的第5实施方式的输送装置100，取代第1实施方式的横置飘浮部件43、43而具有表面平坦度提高单元101，其他结构与第1实施方式的输送装置10相同。

表面平坦度提高单元101在飘浮单元20的与处理部40相对应的区域40A(对照图8)中，沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔排列多个飘浮部件21，同时具有覆盖各飘浮部件21之间的间隙的覆盖部件102。

由于具有覆盖各飘浮部件21之间的间隙的覆盖部件102，因此可以适当地保持玻璃基板11下方的气体，在区域40A中可以可靠地减少玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题。

这样，根据第5实施方式的输送装置100，与第1实施方式相同地，在对玻璃基板11进行要求表面平坦度的处理的处理部40中，玻璃基板11的表面产生波浪状起伏的问题减少，可以高精度地进行曝光处理。

此外，本发明不限于前述实施方式，可以对在前述实施方式中示出的板状部件、飘浮部件、飘浮单元、输送单元、处理部、吸附垫、电动机、移动漂浮部件、旋转机构、支撑部件、以及表面平坦度提高单元等进行适当的变形、改进。

Claims (14)

1.一种板状部件的输送装置，其具有：

飘浮单元，其沿前述板状部件的输送方向，平行地排列多个飘浮部件，该飘浮部件通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮；

输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件；以及

处理部，其在前述输送单元的输送路径的中途，对前述板状部件进行要求表面平坦度的处理，

其特征在于，

在前述飘浮单元的与前述处理部相对应的区域，设置前述板状部件的表面平坦度提高单元。

2.根据权利要求1所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述表面平坦度提高单元具有横置飘浮部件，其沿与前述输送方向相交叉的方向设置。

3.根据权利要求1所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，

同时，前述表面平坦度提高单元具有在前述各飘浮部件之间排列的区间飘浮部件。

4.根据权利要求1所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，

同时，前述表面平坦度提高单元，具有从多个喷射口向上方喷射气体的多个支承垫，

前述各支承垫铺设在前述各飘浮部件之间。

5.根据权利要求1所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述表面平坦度提高单元，在前述飘浮部件的与前述处理部相对应的区域内，具有喷射吸引部件，该喷射吸引部件具有喷射前述气体的喷射口及吸引外部空气的吸引口。

6.根据权利要求1所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述飘浮部件，沿与前述输送方向正交的方向以规定的间隔排列多个，

同时，前述表面平坦度提高单元，具有覆盖前述各飘浮部件之间的间隙的覆盖部件。

7.一种板状部件的输送装置，其具有：

飘浮单元，其具有通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮的飘浮部件；以及

输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件，

其特征在于，

前述输送单元具有吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以以沿前述板状部件的厚度方向的线为中心旋转，

前述吸附垫吸附在前述板状部件的平面中央部。

8.根据权利要求7所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述输送单元具有可以沿前述输送方向移动的旋转轴，

前述吸附垫与前述旋转轴连结。

9.一种板状部件的输送装置，其具有：

维持单元，其将板状部件维持为水平；以及

输送单元，其保持前述板状部件，同时将板状部件从输送方向上游侧输向输送方向下游侧输送，

其特征在于，前述输送单元具有：

吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以吸附在前述板状部件上；以及

支撑部件，其与前述吸附垫联动而支撑前述板状部件。

10.根据权利要求9所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述支撑单元具有飘浮部件，其通过从多个喷射口向上方喷射气体而使前述板状部件飘浮，

前述支撑部件是具有与前述飘浮部件相同功能的移动飘浮部件。

11.根据权利要求9所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述支撑部件具有转动体，其与前述板状部件接触，同时可以转动。

12.根据权利要求9所述的板状部件的输送装置，其特征在于，

前述支撑部件沿着前述输送方向，同时隔着前述吸附垫设置于输送方向的上游侧及输送方向的下游侧。

13.一种板状部件的输送方法，其特征在于，

将板状部件放入飘浮单元的输送方向上游侧，该飘浮单元由多个飘浮部件沿输送方向平行设置、且沿与前述输送方向正交的方向以规定间隔排列而成，该多个飘浮部件从多个喷射口向上方喷射气体，

在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，在前述各飘浮部件之间，通过使吸附垫吸附在前述板状部件下表面的中央部，从而进行保持，

然后，通过使前述吸附垫、和隔着前述吸附垫而设置于输送方向的上游侧及输送方向的下游侧的移动飘浮部件，从前述输送方向上游侧向前述输送方向下游侧移动，输送前述板状部件，

在前述输送单元的输送路径的中途，利用设置有前述板状部件的表面平坦度提高单元的区域，一边使前述板状部件的表面平坦化，一边利用处理部对前述板状部件的表面进行规定的处理，

在经过前述处理部后，使前述输送单元的前述吸附垫转动，从而使前述板状部件转动。

14.根据权利要求13所述的板状部件的输送方法，其特征在于，

在使前述吸附部件向前述输送方向下游侧移动的期间，将下一个板状部件放入前述输送方向上游侧。

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