CN101529272A - 超声换能器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种超声换能器(1)，其具有带环绕式壁(3)的薄膜腔(2)，特别用于车辆，该超声换能器(1)包括：换能器元件(10)，其在薄膜腔(2)中设置在薄膜(7)的内侧上的换能器部段(8)上，用来产生超声震动；第一减震元件(12)，其在薄膜腔(2)中设置在换能器元件(10)上，用来对薄膜(7)进行减震；和第二减震元件(13)，其在薄膜腔(2)中设置在薄膜(7)的、围绕着换能器元件(10)的边缘部段(9)上，用来减缓壁(3)的震动，其中第二减震元件(13)既与边缘部段(9)，也与壁(3)的内侧(4)至少部分力配合地相连。本发明还涉及一种相应的制造方法。

Description

超声换能器

技术领域

本发明涉及一种用于车辆的超声换能器(Ultraschallwandler)，还涉及一种制造这种超声换能器的相应方法。

背景技术

超声换能器在车辆中例如用在停车辅助系统中。停车辅助系统例如包含控制设备和设置有这种超声换能器的超声感应器。为此目的，特别对于所谓的近测量性能，超声换能器的减震性能是重要的功能性要求(例如＜20cm)。超声感应器具有外壳，超声换能器就安放在此外壳中。这种超声换能器一般是由薄膜腔和设置它里面的换能器元件构成。薄膜腔通常由金属材料，例如铝铸成或铣成。出于防腐和上色原因，所述薄膜腔涂上了底漆。电机的换能器元件(例如压电元件)安装在外壳底部上，例如粘贴并与之接触。外壳中填满了减震材料。另一可能性是喷射的硅泡沫。这种制造步骤由于各种原因在技术上不是普通的，因此不能移到任意的生产场地上。特别的是，泡沫的化学工艺需要精确的参数，在制造时很难转换。

也可以通过在外壳中安放泡沫部件来实现减震，来替代外壳内腔中的泡沫化。因此泡沫填料的生产步骤可通过手动的、控制简单的步骤来替代。当然在此还示出了，与用泡沫填料的实施形式相比，这种感应器的减震性能也因此更差，这会对近测量性能的重要的功能要求产生影响。但还特别要在老化和温度方面确保减震材料在腔壁和薄膜上的力锁合。这在插入件的情况下，只能通过过盈的部件和应用预紧才能达到，这在制造和必须截住预紧的外壳构造方面意味着高成本。因此可通过用液态物质来进行形状精确地填充，其随后会变硬，从而更有利地实现力锁合。

通过测量减震过程中的光谱成份可得出，主要的部分都是以超声感应器的工作频率(48kHz)之外的共振为基础的，其中30kHz和70kHz左右的成份是特别重要的。这是由外壳壁上的倾斜和起皱运动过程引起的。迄今对此的补救措施是，薄膜腔的加厚部由壁上边缘上的隆起物构成，从而加固了腔壁，但不能减轻激起的震动模式。因此由于机械阻抗的错误配合，会反射腔壁或隆起物上的震动，但它们不会转化成热能从而进行减震。

为了减轻外壳壁的震动，还使用了外壳填充材料，其由减震材料组成，和/或额外地包含这样的材料。在薄膜腔内腔中以几乎相同的密度，例如用减震强劲的泡沫材料填充，不仅可大大减轻壁震动，还可以大大减轻薄膜腔的薄膜的有效震动。这使超声换能器的电声效率很小。电子控制设备，例如发送电流源、转发器，在减震过度时会陷入饱和效应中，这还会减少已调谐的系统换能器/布线的带宽。

另一补救措施是外部的退耦环，其安装在薄膜腔的壁上。在测量技术方面有证据证实的是，在一系列的换能器构造中，壁模式几乎被完全抑制。这个退耦环与薄膜腔外壁的机械接触也会暴露在外面的环境影响中，例如污染、感应器在它的支架上被磨去棱角、退耦环的变得易碎或有水渗入。

DE 19917772A1描述了一种测量间距的超声感应器，其中薄膜腔具有椭圆和圆形的槽口，在换能器元件上装备有许多绝缘体，它们是一层层重叠的，并被环绕式槽中的孔固定环机械地固定在薄膜腔中。与内壁的连接没有描述。这些绝缘体例如由不同的减震材料，例如硅玻璃、毛毡、软木。这些绝缘体具有椭圆槽口的形状，完全遮盖了换能器元件。

在DE 19917862A1中描述了一种超声换能器，其压电的换能器元件被吸音材料覆盖。它例如可指毛毡。绝缘的毛毡，例如硅橡胶、聚胺脂橡胶密封了压电的换能器元件和隔音材料。薄膜腔的内腔具有椭圆或圆形的轮廓。换能器固定在薄膜上，并被环状部段包围，其例如具有比此部段更薄的壁厚，此部段上设置有换能器元件。在一实施例中，换能器元件和环状部段完全被吸音材料覆盖。在另一实施例中，包围换能器部段的薄膜环状部段被绝缘的、很薄的树脂覆盖，它例如可以是硅树脂或聚胺脂树脂。因此，可减轻薄壁的环状部段的不期望的震动。此绝缘树脂的薄减震层与薄膜腔内壁的连接没有描述。

按DE 10341900A1的描述所述的超声换能器具有薄膜腔的内腔，其在换能器元件上层状地用毛毡填充，毛毡上又用硅橡胶填充。在硅橡胶中，设置有由带气泡的硅泡沫构成的部段。此硅橡胶密封了薄膜腔。毛毡层完全遮盖了换能器元件，自身又完全被硅橡胶覆盖。

发明内容

与之相对地，按本发明的超声换能器具有这样的优点，即薄膜腔在其下面的区域内一直到可确定的高度上，具有由同质材料构成的居中构造，其内部区域在压电陶瓷上，在有效震动(Nutzschwingung)的表面上，用减震能力弱的材料填装。另一优点在于，这些零件是这样构成的，即超声感应器的制造没有难以控制的工艺，而是能以简单的方式手动完成。

本发明的核心是，超声换能器具有薄膜腔，其在边缘区域或环状部段中，在换能器元件的周围，具有减震能力强的减震元件，其与薄膜和内壁力配合地(Kraftschluessig)相连，在换能器元件上居中地具有另一减震能力弱的减震元件。

因此，换能器元件上的区域只会进行微弱地减震，而围绕着它的、居中设置的薄膜环状部段，通过力配合地设置在它上面的、减震能力强的减震元件来进行强劲地减震，其中薄膜腔的内壁也与减震能力高的减震元件力配合地相连。因此，类似对角线对平行四边形进行加固，薄膜腔的壁相对于薄膜平面的倾斜和起皱运动就能被这个减震元件吸纳。在此，不期望的震动的动力能量在减震元件中转换成热能。

第二减震元件居中地围绕着第一减震元件，其中第一减震元件与薄膜腔的内壁基本没有接触。

此构造是特别有利的，因为它可按功能需要来选择减震能力：对有效震动进行微弱地减震，而对壁震动进行强劲地减震。

特别的优点在于，薄膜腔可具有这样的几何形状，其是一系列的薄膜腔，因此不需要新的结构，必要时可使用高质量的、已被证明可行的零件。

超声换能器在它的工作频率(48kHz)中是低电阻的，因此是有效率的。它可利用很小的发射电压来控制，并在颤噪操作(Mikrofonbetrieb)时具有更高的发电电压。首先，减少换能器元件的压电陶瓷的缓慢去极化的风险，减少在变压器和电流发送源方面的较高的过载限度(Uebersteurungsgrenz)。最后，在颤噪操作或接收时，具有较大的信号/噪音比。

超声换能器以及它内部的减震结构可不依赖于超声感应器的外壳而制造出来，并在它的参数方面是可检测的。因此，流程可有利地交叉在一起(例如，换能器制造和感应器制造处在分开的位置上)，并在感应器的最终检查中减少次品。

按本发明，特别用于车辆的超声换能器具有带环绕式壁的薄膜腔，其包括：换能器元件，其在薄膜腔中设置在薄膜内侧上的换能器部段上，用来产生超声震动；第一减震元件，其在薄膜腔中设置在换能器元件上，用来对薄膜进行减震；和第二减震元件，其在薄膜腔中设置在薄膜的、围绕着换能器元件的边缘部段上，用来减缓壁的震动，其中第二减震元件既与边缘部段，也与壁的内侧至少部分力配合地相连。

壁模式的减震可有利地减震到测量技术几乎不再能探测得到的水平，而没有外部退耦环的影响，也没有设置它的必要。因此还可有利地避免退耦环和薄膜腔壁之间的过渡区域上的环境影响。

在另一实施例中，在薄膜腔中，在第一和第二减震元件上设置有第三减震元件，用来进一步对薄膜腔进行减震和/或密封。

在优选的实施例中规定，第一减震元件和第二减震元件构成为插入件。因此有利的是，既可自动化生产，也可以手工操作。可通过过盈或机械绷紧或通过粘合来实现朝薄膜或朝壁的力锁合。

在实施例中还优选的是，第二减震元件具有与薄膜腔轮廓互补的轮廓，还具有容纳第一减震元件的通孔。因此可实现两个减震元件的居中结构，其中有利的是，作为插入件的这两个元件可相应地在其它地方预制出来。

在可选的实施例中，第一减震元件构成为插入件，其中第二减震元件由铸造材料、优选具有微气球的弹性体在薄膜腔中制成。在此有利的是，可使第二减震元件与薄膜或薄膜腔的内壁相适应，并与它们相连。在浇注过程中，可在薄膜和壁上实现精准的、全面积的力锁合，并按所选的材料实现粘合。弹性体中的微气球有利于更好地减轻壁的震动，其中震动转换成热能。

在其它实施例中，第三减震元件由铸造材料、优选两元件弹性体构成。在此有利的是，这个减震元件的安放很简单。

在优选的实施例中规定，第一减震元件具有泡沫材料、优选闭合的孔状的泡沫材料。因此，第一和第二减震元件之间的过滤区域得以改善，因为第二减震元件在处于液体状态时不会渗进第一减震元件中，因此声响阻抗的过渡在两个减震元件之间得以改善。通过例如在毛毡材料中避免了渗入，就可为减震元件更好地产生阻抗过渡的分界层位置。

在另一可选的实施例中规定，第一减震元件的上侧比其下侧要宽，其中上侧的宽度比第二减震元件的通孔的宽度要大。因此可有利地实施，第一减震元件例如简单地通过它的圆锥形结构通过绷紧来固定在第一减震元件的通孔中，而不必用到辅助工具，例如粘贴层。

在另一可选的实施例中，第三减震元件与第二减震元件是构成为一体的。在这种情况下有利的是，可使用相同的材料并节省工作程序。

在另一实施例中规定，第一和第二减震元件具有事先确定的、从薄膜的内侧测起的竖直高度。对于这两个元件，此高度在此优选是相同的。因此可产生有利的居中构造，其中有利的是，第三减震元件平放在第一和第二减震元件上。

减震构造的原理包括薄膜的构造，其中压电的换能器安放在垫座上或安装在凹陷处。

按本发明的方法，其用来制造按本发明的超声换能器，具有下面的方法步骤：

(S1)把第二减震元件放在薄膜腔中，其中第二减震元件与它薄膜腔的内壁力配合地相连，并与薄膜腔的薄膜内侧的边缘区域力配合地相连；和

(S2)把第一减震元件插入第二减震元件的通孔中，或把第一减震元件插入第二减震元件的通孔中并用第三减震元件来封闭薄膜腔，从而制成超声换能器。

在此可有利的实现，用简单且较少的制造步骤在节约时间的同时制造出具有减震特征的、符合要求的超声换能器。不必为薄膜腔创造高成本的新结构。

在此还有这样的优点，即可用简单的机械填装工艺来代替控制困难的泡沫工序。待填充的弹性体的声响特性可通过它的参数(密度、邵氏硬度、微气球的直径)来预先设定，并在例如热硬化过程中是不可改变的。

在可选择的实施例中规定，在放入第二减震元件之前，先把具有第一减震元件的形状和尺寸的模型或型芯可移除地安放在换能器元件上，再把第二减震元件作为可铸造的材料，放在此型芯和薄膜腔的内壁之间的区域中，待第二减震元件变硬后，把构成通孔的型芯取走。因此有利的是，可应用简单且已知的填装工艺。有利的是，两个减震元件和薄膜以及薄膜腔内壁之间的力锁合连接不需要额外的连接物质，例如粘胶剂。

按本发明的可选方法，其用来制造按本发明的超声换能器，具有下面的方法步骤：

(S1)把第一减震元件放在薄膜腔中，其中第一减震元件固定在换能器元件上；和

(S2)把第二减震元件浇注到第一减震元件与薄膜腔内壁之间区域内，或把第二减震元件注入第一减震元件与薄膜腔内壁之间区域内并用第三减震元件来封闭薄膜腔，从而制成超声换能器。

这个方案的优点是，用于待浇注的第二减震元件的型芯构成为所谓的“取走的型芯”并且是第一减震元件，其中有利的是，它可以继续保持。

在另一优选的实施例中规定，通过在薄膜腔中再次注入第二减震元件的材料来构成第三减震元件，从而对薄膜腔进行封闭。在此有利的是，第二减震元件的材料也可以用于第三减震元件。有利的是，第二和第三减震元件的浇注只在一个生产步骤中进行。

下面还有其它的优点。

在产生泡沫过程中，膨胀剂的膨胀和硅酮的粘结之间难以控制的反应平衡，通过简单的机械的插入工艺或安装或填装工艺来替代。对于填装物质，可预先设定与声响相关的数据，如邵氏硬度、密度以及其它，并与硫化过程无关。

第一和第二减震元件以插入件的形式，可以有利的简单方式制成，例如通过冲压。

在外壳中取消隆起意味着这样的优点，即外壳的粗加工可通过挤压而成。

通过更高的发送效率和在接收时更好的信号噪声比，按本发明的超声换能器适合用来实现更大的有效距离，用于扩展的功能，例如停车位测量、监控死角、LSF等。

本发明的其它优点和特征从描述和附图中得出。

附图说明

下面借助在附图中描述的实施例来详细说明本发明。

其中：

图1超声换能器的示例性薄膜腔的示意性截面图；

图2按本发明的超声换能器的第一实施例的示意性截面图；

图3第一实施例沿图2的剖线X-X的示意性截面图；

图4第一实施例沿图2的剖线Y-Y的示意性截面图；

图5按本发明的超声换能器的第二实施例的示意性截面图；

图6示例性的减震元件的透视图；和

图7另一示例性的减震元件的透视图。

具体实施方式

在附图中，相同的元件或具有相同或相似功能的相似元件用相同的标记来表示。

在图1中，在剖视图中示出了按本发明的超声换能器的普通实施方式，在预备阶段在用减震元件填充之前。薄膜腔2优选呈圆柱形，具有环绕式的壁3和位于下方的薄膜7。此外，薄膜腔2还在其上侧具有开口6，其例如具有一定的轮廓11’(见图4)。在薄膜腔2的外面，在靠近开口处设置有加厚部5，其例如是用来连接未示出的支架元件和/或退耦环。薄膜腔2在此实施例中是挤压的铝件。

薄膜腔2的环绕式壁包围着内腔19，在此内腔内部，在薄膜7的内侧上，换能器元件10例如压电换能器安放在换能器部段8上(例如借助粘胶剂)。换能器部段8居中地围绕着薄膜腔2的中间轴线，并被边缘部段9包围。

图2示出了按本发明的超声换能器的第一实施例的示意性截面图，此超声换能器具有减震元件12、13和14。

在换能器元件10上，第一减震元件12居中地对着薄膜腔2的中间轴线设置，其中在这个实施例中，换能器元件10的上表面的某些边缘区域没有被第一减震元件12遮盖。第一减震元件12可例如是冲压的插入件，其借助双面的胶带或粘胶剂固定在换能器元件10上。此第一减震元件例如是毛毡或泡沫件，具有很低的减震系数。在这个第一减震元件12的周围，具有较高减震系数的第二减震元件13居中地设置在薄膜7的边缘部段9上，其中此第二减震元件借助边缘部段9与第一固定元件15力配合地相连，并借助薄膜腔2的内壁与第二固定元件16力配合地相连。优选的是，所述的力锁合连接是构成为平坦的。固定元件15、16在实施中可以是某种粘合剂。通过这种固定，在壁3和薄膜7之间形成对角的加固，从而在操作超声换能器1时，壁3相对于薄膜7的平面的倾斜运动和起皱运动就可被第二减震元件13吸纳，并为减震转化成热能。

第一和第二减震元件12和13在薄膜腔2的中间轴线的方向上，以从薄膜7的内侧量起的预先规定的高度延伸，其优选在两边都是相同的。在这样构成的减震元件12和13的上面上，设置有第三减震元件14，其填满和密封了薄膜腔2的内腔19，一直到开口16的上边缘。在一个实施例中，此第三减震元件14是指两元件弹性体。

因此，这个结构具有按功能需要来选择的减震能力：薄膜7在换能器部段8上的有效震动通过第一减震元件12实现了较低的减轻，其中壁震动或壁相对于薄膜的倾斜运动和起皱运动就通过第二减震元件13来强劲地减轻。

图3示出了第一实施例沿图2的剖线X-X的示意性截面图。薄膜腔2的内横截面在此具有特别的形状，其在图4中沿图2的剖线Y-Y的示意性截面图中示出了。此形状具有轮廓11’，其在此实施例中由椭圆形的槽口和圆形的槽口组成。第一减震元件12在此具有圆形的横截面，并被第二减震元件13包围，其在外轮廓上具有与薄膜腔2的内壁的轮廓11’互补的轮廓11(见图6)。在此实施例中可看到，轮廓11在薄膜腔的横轴线上呈椭圆形延伸，在与之成直角的横轴线上呈弓形延伸，因此薄膜腔2产生了不同的壁厚度，这会影响超声换能器1的方向性特征。

图5示出了按本发明的超声换能器1的第一实施例的示意性截面图，其中第二减震元件13与第三减震元件14是构成为一体的。

最后，图6和7示出了作为插入件的减震元件12和13。在此实施例中，第二减震元件13由弹性材料冲压成一定的高度，具有薄膜腔2的内腔19的尺寸，还具有通孔18，用于第一减震元件12，其在此实施例中呈圆柱形。

在另一实施例中，第一减震元件12的上表面17的直径比它的下表面要大，从而当第一减震元件12插入到第二减震元件13的通孔18中时，可实现有利的夹紧。

为制造超声换能器1，现在给出三种不同的方法，但它们不是限制的。

在插入件的情况下，首先把第二减震元件13这样粘贴在薄膜腔2的内腔19的下方区域中，即它的下表面与薄膜7的内侧在边缘部段9上力配合地相连，它的外侧与薄膜腔2的壁3的内侧力配合地相连。然后，把第一减震元件12插进第二减震元件的通孔18中，其中第一减震元件的下表面与换能器元件10的上表面例如借助胶带相连。还可想像的是，第一减震元件12的外侧在通孔18处与第二减震元件13粘贴在一起。在把毛毡当作第一减震元件12的材料的情况下，在第二减震元件13或薄膜7方向上的粘贴完全可取消。在此实施例中，由毛毡构成的第一减震元件12只需通过它的造型，例如轻微的过盈或锥度就能固定在通孔18中。

在另一方案中，如同上面已提到的一样，第一减震元件12由于它不同的直径或宽度，可机械地固定在通孔18中。这也正好适用于毛毡材料，其在通孔18方面具有轻微扩大的直径。

随后，第三减震元件14装入到薄膜腔2的剩余空间中，例如以两元件弹性体的形式浇注而成。因此还同时实现了薄膜腔2的内腔的封闭。

另一制造方法规定，先把具有第一减震元件12的形状的模型或型芯可移除地安放在换能器元件10上。然后，把第二减震元件13以液态弹性体的形式，围绕着型芯填在边缘区域中，并进行热硬化。在此，仍是液态的弹性体的料位与型芯的上表面的高度相一致，此型芯具有第一减震元件12的尺寸。在第二减震元件13变硬后，再把型芯取走，其为第一减震元件12构成一个通孔18，并由第一减震元件12来代替，此第一减震元件像上面所述的一样插入。第一减震元件13与薄膜7的边缘部段9以及与薄膜腔2的壁3的内表面的力锁合连接是通过第二减震元件13自己构成的。然后像上面所述的一样，把第三减震元件14装在薄膜腔2的剩余体积中。

在特别优选的制造方法中，第一减震元件12作为“取走的型芯”，借助双面的胶带或传输粘结剂，居中地固定在换能器元件10上。弹性体作为第二减震元件13，围绕着第一换能器元件12在边缘区域中注入和硬化，其中构成了上面提到的与薄膜7和壁3的力锁合连接。然后像上面所述的一样，把第三减震元件14装在薄膜腔2的剩余体积中。在另一简化的步骤中，第二和第三减震元件13和14是由同种材料在同一浇注过程中制成。

结果是，利用超声换能器1的薄膜腔2的可选择减震和对角加固的这种布置，可有利地达到20cm下的减震值。在此，外面的退耦环(未示出)是没必要的，因为壁模式通过本发明，可减震到测量技术几乎探测不到的水平。

上面的减震构造的原则包含薄膜构造，压电的换能器10例如平放在薄膜7的垫座上，或安放在薄膜7的凹陷处。

本发明不是限制在上面所述的实施例中，而是能以多种方式和方法来修改。

当然，上面所述的轮廓11、11’也可以具有其它的形状，例如水滴状。

当为第二减震元件13使用液态的物质时，特别优选的是，第一减震元件12由闭合的孔状的泡沫材料构成，因此在通孔18中的第一减震元件12的外壁到第二减震元件13之间可有利地实现确切的过度区域。

弹性体作为第二减震元件13的材料已被证明是有效的，其用微气球来代替，因此可有利地事先调节减震参数。

Claims (18)

1.一种超声换能器(1)，其具有带环绕式壁(3)的薄膜腔(2)，特别用于车辆，该超声换能器(1)包括：

-换能器元件(10)，其在所述薄膜腔(2)中设置在薄膜(7)的内侧上的换能器部段(8)上，用来产生超声震动；

-第一减震元件(12)，其在所述薄膜腔(2)中设置在所述换能器元件(10)上，用来对所述薄膜(7)进行减震；和

-第二减震元件(13)，其在所述薄膜腔(2)中设置在所述薄膜(7)的围绕着所述换能器元件(10)的边缘部段(9)上，用来减缓所述壁(3)的震动，其中所述第二减震元件(13)既与所述边缘部段(9)也与所述壁(3)的内侧(4)至少部分地力配合地相连。

2.按权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，在薄膜腔(2)中，在所述第一和第二减震元件(12、13)上设置有第三减震元件(14)，用来对所述薄膜腔(2)进一步减震和/或密封。

3.按权利要求1或2所述的超声换能器，其特征在于，所述第一减震元件(12)具有减震值低的材料，所述第二减震元件(13)具有减震值高的材料。

4.按权利要求1至3之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第一减震元件(12)和所述第二减震元件(13)构成为插入件。

5.按权利要求4所述的超声换能器，其特征在于，所述第二减震元件(13)具有与所述薄膜腔(2)的轮廓(11’)是互补的轮廓(11)，还具有容纳所述第一减震元件(12)的通孔(18)。

6.按权利要求1至3之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第一减震元件(12)构成为插入件，其中所述第二减震元件(13)由铸造材料在所述薄膜腔(2)中产生。

7.按权利要求6所述的超声换能器，其特征在于，所述第二减震元件(13)是具有微气球的弹性体。

8.按权利要求2至7之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第三减震元件(14)由铸造材料、优选由两元件弹性体构成。

9.按权利要求1至8之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第一减震元件(12)具有泡沫材料。

10.按权利要求9所述的超声换能器，其特征在于，所述泡沫材料构成为闭合的孔状。

11.按权利要求1至10之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第一减震元件(12)的上侧(17)比其下侧要宽，其中所述上侧(17)的宽度比所述第二减震元件(13)的通孔(8)的宽度要大。

12.按权利要求2至11之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第三减震元件(14)与所述第二减震元件(13)是构成为一体的。

13.按权利要求1至12之任一所述的超声换能器，其特征在于，所述第一和第二减震元件(12、13)具有事先确定的、从所述薄膜(7)的内侧测起的竖直高度。

14.按权利要求13所述的超声换能器，其特征在于，所述第一和第二减震元件(12、13)具有事先确定的、从所述薄膜(7)的内侧测起的、相同的竖直高度。

15.一种制造按权利要求1至5或8至14之任一项所述的超声换能器(1)的方法，具有下面的方法步骤：

(S1)把第二减震元件(13)放在薄膜腔(2)中，其中所述第二减震元件(13)与所述薄膜腔(2)的内壁(4)力配合地相连，并与所述薄膜腔(2)的薄膜(7)的内侧的边缘区域(9)力配合地相连；和

(S2)把第一减震元件(12)插入到所述第二减震元件(13)的通孔(18)中，或把所述第一减震元件(12)插入所述第二减震元件(13)的通孔(18)中并用第三减震元件(14)来封闭薄膜腔(2)，从而制成超声换能器(1)。

16.按权利要求15所述的方法，其特征在于，在放入所述第二减震元件(13)之前，先把具有所述第一减震元件(12)的形状和尺寸的型芯可移除地安放在所述换能器元件(10)上，再把所述第二减震元件(13)作为可铸造的材料，放在此型芯和薄膜腔(2)的内壁(4)之间的区域中，待所述第二减震元件(13)变硬后，把该型芯取走，以构成通孔(18)。

17.一种制造按权利要求1至3或6至14之任一所述的超声换能器(1)的方法，具有下面的方法步骤：

(S1)把第一减震元件(12)放在薄膜腔(2)中，其中所述第一减震元件(12)固定在换能器元件(10)上；和

(S2)把第二减震元件(13)浇注到所述第一减震元件(12)与薄膜腔(2)的内壁(4)之间的区域内，或把所述第二减震元件(12)浇注到所述第一减震元件(12)与所述薄膜腔(2)的内壁(4)之间的区域内，并用第三减震元件(14)来封闭所述薄膜腔(2)，从而制成超声换能器(1)。

18.按权利要求16或17所述的方法，其特征在于，通过在所述薄膜腔(2)中再次注入所述第二减震元件(13)的材料来构成所述第三减震元件(14)，从而对所述薄膜腔(2)进行封闭。

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