CN101495759A - 真空泵 - Google Patents

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CN101495759A CNA2007800282152A CN200780028215A CN101495759A CN 101495759 A CN101495759 A CN 101495759A CN A2007800282152 A CNA2007800282152 A CN A2007800282152A CN 200780028215 A CN200780028215 A CN 200780028215A CN 101495759 A CN101495759 A CN 101495759A
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Abstract

本发明涉及一种真空泵(10)，其具有真空密封壳(12)并具有用于在壳(12)内的电气组件(14，16，18)与壳外部之间建立电连接的气密电引入组件(20)。该引入组件(20)由以下构件构成：壳孔(22)；布置在所述孔上的密封物料本体(24)；密封物料本体(24)中的电线；壳孔(22)的孔边与密封物料本体(24)之间的密封环(26)；以及用于将密封物料本体(24)紧固于壳(12)的固定装置(32)。

Description

真空泵
技术领域
本发明涉及一种真空泵，其中泵壳设有气密电引入组件。
背景技术
真空泵通常包括设置在真空密封壳内的电气部件，例如电动马达、电致传感器、磁推轴承等。真空侧上的电气部件须通过电线连接至该壳的外部。为达到该目的，须经由气密电引入组件将电线从壳的内部引导至壳的外部。
由现有技术公知一种引入组件，其由设有贯穿的接触销的接触板构成，将所述接触板构造成封闭壳的相应孔。接触板借助密封环朝所述壳孔的边缘密封。所述接触销在接触板中的密封难于实现，并且在机械应力作用在接触板上的情况下是不可靠的。
发明内容
考虑到以上所述，本发明的目的之一是提供一种真空泵，其壳设有可靠的气密电引入组件。
通过具有如权利要求1所述特征的真空泵来实现上述目的。
根据本发明的真空泵包括气密壳和设置在该壳内的电气组件。用于在所述电气组件与壳外部之间建立电连接的气密电引入组件由以下构件构成：壳中的孔；密封物料本体，其布置在该壳的孔上，并带有在壳内部与壳外部之间延伸、穿过所述密封物料本体的电线；密封环，其设置在壳孔的孔边与密封物料本体之间；以及固定装置，其用来将密封物料本体紧固于壳。因此，该引入组件主要由三个元件组成，即将所有电线浇铸于其中的密封物料本体、用于确保在密封物料本体与孔边之间的气密及真空密封的密封环以及密封物料本体固定装置，所述固定装置的作用是将密封物料本体永久压在壳孔的孔边上。
密封物料具有一定弹性，确保一条或多条电线以气密及真空密封的方式穿过密封物料本体。优选地，一条或多条电线应于近端和远端从密封物料本体至少稍向外伸出，以便允许电连接线的连接。在密封物料本体与孔边之间通过密封环获得可靠的密封效果。
密封物料的厚度应至少为5mm，且优选地是10mm，以便在电线与密封物料之间保证有足够长的密封距离。
通过将所有电线铸注在整体式的、弹性密封物料本体内，即使在多条电线的情况下，也可用相对简单的方式实现一种可靠的真空密封通道。这对带有磁推轴承的真空泵而言特别恰当，其原因在于，这些泵通常需要将50条或更多条的电线引导穿过真空密封壳。
根据优选实施方式，从外部将密封物料本体布置在壳孔的孔边上。在操作期间，密封物料本体将会在从外部作用的大气压力与壳中弥漫的真空之间的压力差的作用下，压在壳孔的边缘上。这样，当真空泵运转时，密封物料本体与壳孔的边缘之间的密封效果将进一步得到加强。
优选地，固定装置是密封物料壳，将其构造成，几乎完全收容密封物料，并将密封物料压靠在壳孔的边缘上。密封物料壳仅包括用于一条或多条电线的一个近端孔和一个远端孔。密封物料壳的主要功能是将密封物料本体固定到适当的位置上，而另一方面，该壳不是主要起密封作用的。尽管如此，密封物料壳实际上也同样具有一定的密封效果。
根据优选实施方式，电线可包括设置在密封物料中的电路板。因此，电线有一部分以印刷电路板上的导电线路的形式实现。电线可进一步分别包括从密封物料本体朝壳内部伸出的一个插头，以及从密封物料本体朝壳外部伸出的一个插头。所述两个电插头可通过印刷电路板相互连接，但也可采用其它方式相互电连接。
根据优选实施方式，印刷电路板包括电子元件。就这一点而言，可能的电子元件是所有可用于放大、抑制干扰或其它对电信号进行处理的电子元件，即诸如放大器、抑制扼流圈和电容器、用于信号处理的集成电路之类的元件等。
优选地，所述电子元件是可读取泵数据存储器，其适于在其中储存泵特取功能参数，例如相应真空泵的故障记录，并适于在任何时刻将这种功能参数从中取出。
优选地，密封物料材料为环氧树脂。环氧树脂为真空密封且有弹性的，并可在不会损坏电子元件的较低温度下进行浇铸。
附图说明
下面将参考附图更详细地解释本发明的实施方式。
附图示意性地示出真空泵，且在局部剖视图中示出设有气密电引入组件的真空泵壳。
具体实施方式
附图示意性地示出真空泵10，可将其构造成活塞泵，但优选地将其构造成带有磁推轴承的高真空涡轮分子泵。
真空泵10包括真空密封的金属壳12，该金属壳12具有壳壁13，并容纳多个电气部件14、16、18，特别是电动马达14、磁推轴承16及泵传感器18。驱动马达14经由轴17驱动涡轮分子泵的泵转子。
真空泵10设有气密电引入组件20，它用于在所述电气部件14、16、18与所述壳的外部之间建立电连接。引入组件20大致由以下构件形成：壳壁13中的壳孔22；在所述壳孔22的外部布置于所述壳孔22上的密封物料本体24；壳孔22的孔边28与密封物料本体之间的弹性密封环26；形成为密封物料壳30的固定装置32；以及电线34。所述密封环26布置在密封物料本体24的环形槽27中。
电线34由近端电插头40、远端电插头42以及包括导电线路和电子元件46、47、48的印刷电路板44构成。所述电子元件46-48是集成电路46及无源部件47、48。所述插头40、42包括超过50个的插销，各插销中的每个与电路板44上的导电线路单独连接。
在集成电路46中储存有真空泵10的功能参数和数据。这些功能参数为泵特配参数，并包含真空泵10的故障记录，利用适当的读取装置50，可经由远端插头42通过适于插在插头42上的电数据线52将所述故障记录读出。
电线34的所有元件均以气密方式封装在注铸在其周围的密封物料本体24内。密封物料材料为环氧树脂。该环氧树脂可添加有细粒混合剂，该混合剂对热膨胀、热导率及/或其它参数有积极影响。
在形成固定装置32、并以例如螺接的方式固定于壳30的外部的杯形密封物料壳30的作用下，将密封物料本体24压在所述孔边28上，从而在孔边28与密封物料本体24之间形成气密且真空密封的状态。

Claims (8)

1.一种真空泵(10)，包括：
真空密封壳(12)；
设置在所述壳(12)内的弹性部件(14，16，18)；
气密电引入组件(20)，其用于在所述壳(12)内的电气部件(14，16，18)与所述壳(12)的外部之间建立电连接，
其中所述引入组件(20)由以下构件构成：
壳孔(22)；
密封物料本体(24)，其定位在所述壳孔(22)上，并封装在所述壳的内部与所述壳的外部之间延伸的电线(34)；
所述壳孔(22)的孔边(28)与所述密封物料本体(24)之间的密封环(26)；以及
固定装置(32)，其用来将所述密封物料本体(24)连接至所述壳(12)。
2.如权利要求1所述的真空泵(10)，其特征在于，将所述密封物料本体(24)从外部安装至所述壳孔(22)。
3.如权利要求1或2所述的真空泵(10)，其特征在于，所述固定装置(32)是密封物料壳(30)。
4.如权利要求1-3中任一项所述的真空泵(10)，其特征在于，所述电线(34)包括设置在所述密封物料本体(24)内的电路板(44)。
5.如权利要求1-4中任一项所述的真空泵(10)，其特征在于，所述电线(34)分别包括朝所述内部的一个电插头(40)和朝所述外部的一个电插头(42)。
6.如权利要求4或5所述的真空泵(10)，其特征在于，所述电路板包括电子元件(46，47，48)。
7.如权利要求6所述的真空泵(10)，其特征在于，将所述电子元件之一(46)构造为可读取的泵数据存储器。
8.如权利要求1-7中任一项所述的真空泵(10)，其特征在于，所述密封物料本体(24)的材料为环氧树脂。
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