CN101469863B

CN101469863B - 过热蒸汽发生容器、过热蒸汽发生装置以及发生方法

Info

Publication number: CN101469863B
Application number: CN2008101101610A
Authority: CN
Inventors: 富田英雄; 丸山刚志; 吉村信三
Original assignee: Tokyo Denki University
Current assignee: Tokyo Denki University
Priority date: 2007-12-25
Filing date: 2008-06-13
Publication date: 2011-07-20
Anticipated expiration: 2028-06-13
Also published as: JP2009156484A; US9140445B2; US20090159591A1; JP5240987B2; CN101469863A

Abstract

本发明涉及过热蒸汽发生容器、过热蒸汽发生装置以及过热蒸汽发生方法。本发明的目的在于提供一种即使感应加热用线圈采用绞合线，也能发生超过400℃的过热蒸汽的可用作中型或小型家庭用的过热蒸汽发生装置(1)，该过热蒸汽发生装置(1)的特征是，在耐热容器(21)内存放用电磁感应进行发热的感应发热体(22)，在耐热容器的外周面上卷绕通过冷却水的软管(24)，在软管的一端连接冷却水的供水装置(4)，将软管的另一端连接在耐热容器的蒸汽入口(21A)上，在软管的外周面安装感应加热用线圈(25)，在感应加热用线圈上连接了高频电源装置(3)。

Description

过热蒸汽发生容器、过热蒸汽发生装置以及发生方法

技术领域

本发明涉及通过感应加热产生过热蒸汽的过热蒸汽发生容器、以该过热蒸汽发生容器作为主要构成要素利用的过热蒸汽发生装置及使用该过热蒸汽发生容器产生过热蒸汽的过热蒸汽发生方法。

背景技术

近年来，市场上出现了利用过热蒸汽的电子微波炉。水在标准压力下以100℃沸腾，产生水蒸气。如果从该水蒸气除去水分而做成完全的气体，则通过将该水蒸气进一步加热，能够得到远远超过100℃的高温过热蒸汽。通过用该过热蒸汽加热食品，可在短时间内进行不带有烤焦的烹调。另外，还可作为医疗器械的加热杀菌消毒的热源而利用。

作为发生这种过热蒸汽的过热蒸汽发生装置，已知有在例如日本特开2004-44993号公报(专利文献1)、日本特开2004-44994号公报(专利文献2)、日本特开2006-275505号公报(专利文献3)中公开的附带蒸汽发生功能的高频加热装置，但这些是通过加热器加热来制作过热蒸汽的装置，而不是通过由高频感应线圈进行的感应加热来制作过热蒸汽的装置。

另外，还已知有如下过热蒸汽发生装置，将在高频加热容器内产生的蒸汽导入形成有屏蔽线圈的导体内，通过用感应线圈进行再加热从而进行过热蒸汽化，并将其取出到外部(专利文献4：日本特开2006-64367号公报、专利文献5：日本特开2007-147114号公报)。但是，并未发现在通过将冷却水通入到卷绕在加热容器外周面的软管中从而加热冷却水进行蒸汽化的同时用冷却水对从加热容器表面传递到高频加热用线圈的热进行隔热的结构。

再有，日本特开2007-24336号公报(专利文献6)记载的现有技术虽然在安装于耐热容器外周上的感应加热用线圈的卷绕结构上具有特征，但在该现有技术中也未发现通过将冷却水通入到卷绕在加热容器的外周面上的软管中从而加热冷却水进行蒸汽化的同时，用冷却水对从加热容器的表面传递到高频加热用线圈的热进行隔热的结构。

例如，在中型规模或者可用于家庭的过热蒸汽发生装置的场合，有必要避免装置的大型化，而考虑对感应加热用线圈使用绞合线。但是，在对加热容器内的感应发热体进行感应加热时因该发热而使加热容器的外表面温度也变为高温，所以如果感应加热用线圈采用绞合线，则其包覆材料容易熔化，作为产生超过400℃那样的过热蒸汽的装置不能实用。

发明内容

本发明鉴于上述现有技术的问题而提出，目的在于提供一种即使感应加热用线圈采用绞合线，也能产生超过400℃那样的过热蒸汽且可用作中型或者小型家庭用的过热蒸汽发生容器、将此作为构成要素的过热蒸汽发生装置以及过热蒸汽发生方法。

本发明的一个特征是具有如下特征的过热蒸汽发生容器2、2A、2B，在耐热容器21内存放用电磁感应进行发热的感应发热体22、22A，在上述耐热容器的外周面卷绕通过冷却水的软管24，在上述软管的外周面上安装感应加热用线圈25。

在上述发明的过热蒸汽发生容器中，可做成在上述耐热容器21的外周面上包覆安装耐热部件23，并在上述耐热部件的外周面上卷绕上述软管24的结构。

另外，在上述发明的过热蒸汽发生容器中，上述感应加热用线圈25可使用以绞合线制成的部件。

另外，在上述发明的过热蒸汽发生容器中，上述耐热容器21可采用硅玻璃容器。

本发明的另一个特征是如下过热蒸汽发生装置1，在耐热容器21内存放用电磁感应进行发热的感应发热体22、22A，在上述耐热容器的外周面上卷绕通过冷却水的软管24，在上述软管的一端24B连接上述冷却水的供水装置4、5，将上述软管的另一端24A连接在上述耐热容器的蒸汽入口21A上，在上述软管的外周面上安装感应加热用线圈25，在上述感应加热用线圈上连接高频电源装置3。

在上述发明的过热蒸汽发生装置中，能够做成在上述耐热容器21的外周面上安装耐热管23，并在上述耐热管的外周面上卷绕上述软管24的结构。

另外，在上述发明的过热蒸汽发生装置中，上述感应加热用线圈25可使用以绞合线制成的部件。

另外，在上述发明的过热蒸汽发生装置中，上述耐热容器21可采用硅玻璃容器。

本发明的再另一个特征是如下过热蒸汽发生方法，使用在耐热容器21内存放用电磁感应进行发热的感应发热体22、22A、在上述耐热容器的外周面上卷绕通过冷却水的软管24、并在上述软管的外周面安装了感应加热用线圈25的过热蒸汽发生容器2、2A、2B，对上述软管24通入冷却水，对上述感应加热用线圈25流通高频电流而对上述感应发热体22、22A进行感应加热，并且对上述软管24内的冷却水进行感应加热并蒸汽化，将上述冷却水的蒸汽导入到上述耐热容器21内并用上述感应发热体22、22A加热而产生过热蒸汽。

根据本发明的过热蒸汽发生容器，通过在卷绕在耐热容器的外周面上的软管的一端连接供水装置，将软管的另一端连接在耐热容器的蒸汽入口上，将安装在软管外侧的感应加热用线圈连接在高频电源装置上，从而可构成过热蒸汽发生装置，通过使该过热蒸汽发生装置工作，并对软管供水的同时对感应加热用线圈供给高频电源电，从而利用感应加热用线圈将耐热容器内的感应发热体感应加热为高温，同时还对软管内的冷却水进行感应加热并蒸汽化，并从蒸汽入口导入到耐热容器内并在此与加热成高温的感应发热体接触而进一步加热，从而能够发生过热蒸汽。同时，在进行该感应加热时，在软管内流动的水发挥冷却作用而冷却耐热容器的外表面，防止高热从耐热容器的外表面传递到感应加热用线圈。因此，感应加热用线圈不必使用耐热性高的导电材料也可以，能够避免过热蒸汽发生装置的大型化，可得到能够发生超过400℃的过热蒸汽的中型或者小型家庭用的过热蒸汽发生装置。

根据本发明的过热蒸汽发生装置以及过热蒸汽发生方法，通过对软管供水的同时对感应加热用线圈供给高频电源电，从而能够如上所述在耐热容器内发生过热蒸汽，同时用在软管内流动的水来冷却耐热容器的外表面，从而能够防止高热从耐热容器的外表面传递到感应加热用线圈，因而感应加热用线圈不必使用耐热性高的导电材料也可以，由此可避免装置的大型化，可得到能够发生超过400℃的过热蒸汽的中型或者小型家庭用的装置。

附图说明

图1是本发明的第一、第二实施方式的过热蒸汽发生装置的方框图。

图2是本发明的第一实施方式的过热蒸汽发生装置的局部截断的方框图。

图3是本发明的第一实施方式的过热蒸汽发生容器的耐热容器的主视图。

图4是在上述第一实施方式的过热蒸汽发生容器的耐热容器的外周包覆了绝热材料的状态的主视图。

图5是在上述第一实施方式的过热蒸汽发生容器的耐热容器的外周上卷绕了耐热软管的状态的主视图。

图6是上述第一实施方式的过热蒸汽发生容器的主视图。

图7是本发明第二实施方式的过热蒸汽发生容器的主视图。

图8是本发明第三实施方式的过热蒸汽发生容器的主视图。

图9是说明上述第三实施方式的过热蒸汽发生容器内的各圆形凸片的蒸汽通过口的配置的说明图。

图10是在本发明的实施例1中使用的供水泵、耐热软管的规格的表1。

图11是在上述实施例1中使用的供水泵的流量的表2。

图12是在上述实施例1中用于制作感应加热用线圈的绞合线的规格的表3。

图13是在上述实施例1中使用的过热蒸汽发生容器的尺寸图。

图14是用于上述实施例1的过热蒸汽发生装置的感应加热线圈单元的正面照片。

图15是用于上述实施例1的过热蒸汽发生装置的感应加热线圈单元的侧面照片。

图16是用于上述实施例1的过热蒸汽发生装置的感应加热线圈单元的分解状态的正面照片。

图17是用于上述实施例1的过热蒸汽发生装置的过热蒸汽发生容器的整体照片。

图18是由上述实施例1的过热蒸汽发生装置进行的过热蒸汽发生动作时的各部分的温度状态的图表。

图19是由本发明的实施例2的过热蒸汽发生装置进行的过热蒸汽发生动作时的各部分的温度状态的图表。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。

第一实施方式

使用图1～图6对本发明的第一实施方式的过热蒸汽发生装置，用于该装置中的过热蒸汽发生容器以及使用它的过热蒸汽发生方法进行说明。如图1及图2所示，本实施方式的过热蒸汽发生装置1包括过热蒸汽发生容器2、高频电源装置3、供水泵4以及供水箱5，再有用于利用由过热蒸汽发生容器2发生的过热蒸汽的蒸汽锅6与该过热蒸汽发生容器2连接。

过热蒸汽发生容器2的构成如下：如图3所示在例如硅玻璃容器那样的非磁性耐热容器21内存放用电磁感应进行发热的感应发热体22，如图4所示在耐热容器21的外周上包覆安装例如熟料砖那样的绝热材料23，如图5所示进一步在绝热材料23的外周上，将用于通过冷却水的例如硅制软管那样的耐热软管24以在其外侧安装的感应线圈25不接触内侧的绝热材料23的密度进行卷绕，再有，如图6所示在耐热软管24的外侧配置了感应线圈25。耐热软管24的一端24A气密地连接在耐热容器21的蒸汽入口21A上，另一端24B连接在供水泵4上。

感应发热体22例如对具有磁性的不锈钢薄带进行细的切入并扭转加工而成，并在耐热容器21的内部存放适当个数。该感应发热体22可使用将涡轮叶片那样的圆形凸片重叠多个的结构的部件，不作特别限定。

感应线圈25例如使用聚氨基甲酸乙酯包覆绞合线，虽然是高价但根据需要使用聚乙烯包覆绞合线。该绞合线的使用不限于这些，但本发明的场合，在感应线圈25的内侧卷绕耐热软管24而冷却来自耐热容器21的高热，因而能够使用耐热性不高的绞合线，由此可实现装置的低廉化。

高频电源装置3使用例如20kHz的开关调整器那样的发生高频电的电源装置。

其次，对由上述结构的过热蒸汽发生装置1进行的过热蒸汽发生动作进行说明。起动高频电源装置3对感应加热用线圈25通电，开始感应加热。并且，起动供水泵4，对耐热软管24通冷却水。通过对感应加热用线圈25流通高频电，从而耐热软管24内的冷却水和耐热容器21内的感应发热体22被感应加热。耐热软管24内的冷却水通过该感应加热沸腾进而成为100℃的含有水分的水蒸气，从蒸汽入口21A送入到耐热容器21内。

在耐热容器21内，感应发热体22被感应加热成高温状态，所以从蒸汽入口21A送进来的水蒸气与高温状态的感应发热体22接触而再次加热成为完全的水蒸气，并再次加热成为过热蒸汽，该过热蒸汽从蒸汽出口21B送到外部。这样，从蒸汽出口21B送出来的过热蒸汽送入到蒸汽锅6，用高温的过热蒸汽加热放置在该蒸汽锅6内的被加热物。

在这种过热蒸汽发生装置1的过热蒸汽发生动作期间，卷绕在耐热容器21的外周上的耐热软管24内充满含有水分的水蒸气，所以不会超过约100℃。由此，即使耐热容器21的内部被加热到500℃的高温，由于该高热能够用耐热软管24的部分冷却，不会传递到比耐热软管24还外侧的感应加热用线圈25，不会使该感应加热用线圈25的温度上升到电线原材料和包覆材料发生损伤的高温度。

这样一来，根据本实施方式的过热蒸汽发生装置，通过对卷绕在耐热容器21外周上的耐热软管24内流通冷却水，从而可将该耐热软管24维持在100℃或者其以下的温度状态，比该耐热管24靠外侧配置的感应加热用线圈25不会发生因来自耐热容器21的高热传递而引起的损伤。由此，该感应加热用线圈25可利用耐热性较低的绞合线，实现装置的小型化。

第二实施方式

使用图7对本发明的第二实施方式的过热蒸汽发生装置、用于该装置的过热蒸汽发生容器以及使用它的过热蒸汽发生方法进行说明。第二实施方式在过热蒸汽发生容器2A的结构上具有特征。即、如图7所示，过热蒸汽发生容器2A在如硅玻璃容器那样的非磁性耐热容器21内存放用电磁感应进行发热的感应发热体22，并且在耐热容器21内的蒸汽入口21A侧设有磁性材料的输入水储水箱27，将耐热软管24的连接端21A1导入至该输入水储水箱27的上方位置。但是，由于耐热容器21内成为高温状态，所以在连接端21A1使用非磁性、耐高温性的材料例如陶瓷或铜制的管。

再有，本实施方式的其它结构与第一实施方式相同，如图4所示，在耐热容器21的外周包覆安装例如熟料砖那样的绝热材料23，如图5所示，再在绝热材料23的外周，将用于通过冷却水的例如硅制软管那样的耐热软管24以安装在其外侧的感应线圈25不接触内侧的绝热材料23的密度进行卷绕安装，再如图6所示，在耐热软管24的外侧配置感应线圈25。在耐热软管24的一端24A连接有耐热金属管，将该金属管作为连接端24A1与耐热容器21的蒸汽入口21A气密地连接。

本实施方式中感应发热体22也与第一实施方式相同，例如对具有磁性的不锈钢薄带进行细的切入并进行扭转加工而成，并在耐热容器21的内部存放适当个数。该感应发热体22还可使用将涡轮叶片那样的圆形凸片重叠多个的结构的部件，不作特别限定。

以本实施方式的过热蒸汽发生容器2A为主要构成要素的过热蒸汽发生装置1的结构与图1、图2所示的第一实施方式通用。

其次，本实施方式的过热蒸汽发生装置1的过热蒸汽发生动作、即过热蒸汽发生方法与第一实施方式相同。但是，通过在过热蒸汽发生容器2A内设置输入水储水箱27，从而得到如下的优良的作用、效果。在用供水泵4供给并在通过耐热软管24内的过程中受到感应敬爱热的冷却水并未充分沸腾，便从蒸汽入口21A供给到耐热容器21内的场合，为使其水分不在耐热容器21内扩散，而从耐热软管24的连接端24A1仅使水分滴下并暂时存储在输入水储水箱27内。并且，由于输入水储水箱27带有磁性，所以与感应发热体22一同被感应加热，使该箱27内的储水沸腾使其蒸汽化。该蒸汽化后的水蒸气与从耐热软管24的连接端24A1供给的水蒸气一同移动到感应发热体22一侧，在此与加热为高温的感应发热体22接触而成为过热蒸汽。

在没有输入水储水箱27的场合，尤其是在起动初期，由于装置未被预热，所以从供水箱5用供水泵4通入到耐热软管24内的冷却水在耐热软管24内不沸腾而照旧流过并从连接端24A1以气液混合状态或者液体状态流入到耐热容器21内，流进来的水从耐热容器21内的蒸汽入口21A一侧到过热蒸汽出口21B一侧均匀地分散，有可能降低输出蒸汽温度。于是，通过在蒸汽入口21A一侧设置自身也是被加热物的磁性体的输入水储水箱27，从而能够防止在耐热容器21内的水分扩散，而且耐热软管24内的冷却水直到沸腾积存在输入水储水箱27内，并使在此沸腾了的水成为水蒸气并通过感应发热体22能够进行过热蒸汽化。其结果，从起动初期便能够有效地产生所期望温度的过热蒸汽，实现热效率的提高。

第三实施方式

使用图8、图9对本发明的第三实施方式的过热蒸汽发生装置、用于该装置中的过热蒸汽发生容器以及使用它的过热蒸汽发生方法进行说明。第三实施方式中在过热蒸汽发生容器2B的结构上具有特征。即、如图8所示，过热蒸汽发生容器2B在硅玻璃容器那样的非磁性耐热容器21内存放了用电磁感应进行发热的感应发热体22A，并在耐热容器21内的蒸汽入口21A一侧设有磁性材料的输入水储水箱27，将耐热软管24的连接端24A1导入至该输入水储水箱27的上方位置。但是，由于耐热容器24内成为高温状态，所以在连接端21A1上使用非磁性、耐高温性的材料例如陶瓷或铜制的管。

本实施方式中感应发热体22A使用将带有蒸汽通过口221的涡轮叶片那样的圆形凸片220重叠多个的结构的部件。并且，如图9详细所示，各圆形凸片220中的蒸汽通过口221配置成在与相邻的圆形凸片220之间位置相互错开。由此，从耐热容器21内的蒸汽入口21A向过热蒸汽出口21B流动的蒸汽与加热为高温的各圆形凸片220很好地接触而进行热交换，被高效加热后成为过热蒸汽。

本实施方式的过热蒸汽发生装置的过热蒸汽发生动作、即过热蒸汽发生方法与第一实施方式相同。但是，通过在过热蒸汽发生容器2B内设置了输入水储水箱27，从而与第二实施方式相同，从起动初期便能够有效发生期望温度的过热蒸汽，实现热效率的提高。与此同时，由于感应发热体22A采用重叠多个如涡轮叶片那样的带孔的圆形凸片220的结构的部件，因而具有能够提高由感应发热引起的温度上升并能够提高过热蒸汽温度的优点。

其次，对本发明的实施例进行说明。

实施例1

供水泵、耐热软管的规格如图10的表1、图11的表2所示。感应加热用线圈使用如图12的表3所示规格的绞合线。绞合线使用0.14mm的直径33束再做成7股的线，如图13所示形成了外径133mm长度300mm的筒形线圈。绝热材料使用熟料砖管，在此以每10mm的间隔卷绕作为耐热软管的表1所示的硅制软管，然后在其外侧安装上述感应加热用线圈的筒形线圈，构成感应加热线圈单元。图14是感应加热线圈单元的正面照片，图15是其侧面照片，图16是其分解状态的正面照片。

过热蒸汽发生容器作为第二实施方式使用如图7所示结构的构件。作为耐热容器使用内径为86mm、外径为92mm的硅玻璃容器，在该硅玻璃容器内存放具有磁性的铁素体不锈钢430制的感应发热体，同时在硅玻璃容器内的蒸汽入口一侧设置了同样是铁素体不锈钢430制的输入水储水箱。并且，在硅制软管的一端作为连接端连接铜管，将该连接端与硅玻璃容器的蒸汽入口气密地连接。另外，在筒形线圈上作为高频电源装置连接开关调整器，能够供给20kHz的高频电。感应发热体是对铁素体不锈钢430的薄带进行细的切入并扭转加工而成的部件，并在硅玻璃容器内存放适当个数。图17是在本实施例中使用的过热蒸汽发生容器的整体照片。

使用该装置进行了过热水蒸气发生的实验。于是，起动作为高频电源装置的开关调整器并对感应加热用线圈通电20kHz的高频电，开始了感应加热。并且，起动供水泵对耐热软管通入冷却水。

·频率f＝20[kHz]

·线圈施加电压V＝约190[V]

·电流I＝约10.5[A]

·线圈和发热体的距离GAP＝14[mm]

·时间t＝1800[sec]

·泵施加电压：沸腾前3V(约10ml/分)、沸腾后5V(约17ml/分)

·实验时的线圈的静态特性(使用共振电容时)：Z[Ω]＝3.892、Rs[Ω]＝2.989，Ls[μH]＝19.79、Cp[μF]＝3.198

就本实施例1而言，对从通电开始的时间经过和装置各部分的温度变化进行观察后的结果如图18的图表所示。图表(1)是过热蒸汽出口的蒸汽温度，图表(2)～(5)分别是从蒸汽入口一侧到蒸汽出口一侧的各部分(图1的符号(2)～(5)分别所示的位置)的线圈表面温度。

从图18的图表中可知，确认到过热蒸汽输出温度超过400℃的输出，且确认了线圈的各部分的表面温度全都在100℃以下。再有，确认了在实验时间600秒时在玻璃容器内沸腾了的水急剧流动。

实施例2

作为开关调整装置使用小型结构，另外，除了过热蒸汽发生容器内的感应发热体采用了图8所示的第三实施方式的结构以外，实验设备与实施例1相同。圆板形的凸片使用了42张。

实验条件如下。

·频率f＝20[kHz]

·线圈施加电压V＝约100[V]

·电流I＝约13.5[A]

·线圈和发热体的距离GAP＝14[mm]

·时间t＝1800[sec]

·泵施加电压：3V(约10ml/分)

·实验时线圈的静态特性(使用共振电容时)：Z[Ω]＝4.5774、Rs[Ω]＝3.8756，Ls[μH]＝19.615，Cp[μF]＝3.2284

就本实施例2而言，对从通电开始的时间经过和装置各部分的温度变化进行观察后的结果如图19的图表所示。图表(1)是过热蒸汽出口的蒸汽温度，图表(2)～(5)分别是从蒸汽入口一侧到蒸汽出口一侧的各部分(图1的符号(2)～(5)分别所示的位置)的线圈表面温度。而且，图表(6)是容器入口的水温度和蒸汽温度。

从图19的图表中可知，确认到过热蒸汽输出温度最大约330℃。另外，确认了线圈(1)～(4)的部分的温度全都在100℃以下。再有，确认了通过输入水沸腾，输出蒸汽温度也变高。

Claims

1.一种过热蒸汽发生容器(2、2A、2B)，其特征在于，

在耐热容器(21)内存放用电磁感应进行发热的感应发热体(22、22A)，

在上述耐热容器的外周面上卷绕软管(24)，所述软管内通过冷却水以及由该冷却水加热生成蒸汽后含水的蒸汽，

在上述软管的外周面上安装由绞合线构成的感应加热用线圈(25)，

上述耐热容器(21)通过利用上述感应加热用线圈(25)对上述耐热容器(21)内部导入的上述含水的蒸汽进行感应加热产生过热蒸汽。

2.根据权利要求1所述的过热蒸汽发生容器(2、2A、2B)，其特征在于，

在上述耐热容器(21)的外周面上包覆安装耐热部件(23)，

在上述耐热部件的外周面上卷绕上述软管(24)。

3.根据权利要求1或2所述的过热蒸汽发生容器(2、2A、2B)，其特征在于，

上述耐热容器(21)是硅玻璃容器。

4.一种过热蒸汽发生装置(1)，其特征在于，

在上述软管的一端(24B)连接上述冷却水的供水装置(4、5)，

将上述软管的另一端(24A)连接在上述耐热容器的蒸汽入口(21A)上，

在上述感应加热用线圈上连接高频电源装置(3)，

5.根据权利要求4所述的过热蒸汽发生装置(1)，其特征在于，

在上述耐热容器(21)的外周面上安装耐热管(23)，

在上述耐热管的外周面上卷绕上述软管(24)。

6.根据权利要求4或5所述的过热蒸汽发生装置(1)，其特征在于，

上述耐热容器(21)是硅玻璃容器。

7.一种过热蒸汽发生方法，其特征在于，

使用在耐热容器(21)内存放用电磁感应进行发热的感应发热体(22、22A)、在上述耐热容器的外周面上卷绕软管(24)，所述软管内通过冷却水以及由该冷却水加热生成蒸汽后含水的蒸汽，并在上述软管的外周面上安装由绞合线构成的感应加热用线圈(25)的过热蒸汽发生容器(2、2A、2B)，对上述软管(24)流通冷却水，对上述感应加热用线圈(25)流通高频电而对上述感应发热体(22、22A)进行感应加热，同时对上述软管(24)内的冷却水进行感应加热并蒸汽化，将上述冷却水的蒸汽导入到上述耐热容器(21)内并用上述感应发热体(22、22A)进行加热而发生过热蒸汽。