JPH08339883A - 電磁誘導加熱装置の熱回収装置及び熱回収方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 化学プラント等のパイプラインに組み込まれ
る電磁誘導加熱装置の熱回収装置であって、熱ロスによ
る熱エネルギーを回収して加熱に再利用できる効率的な
電磁誘導加熱装置の熱回収装置を提供する。 【構成】 流体の通路１１に設けられた導電性物質の発
熱体１２と、該発熱体１２の周囲に設けられたコイル１
３と、該コイル１３に接続される高周波電流発生器５
と、を備えた電磁誘導加熱装置に設けられる熱回収装置
にあって、前記コイル１３と前記高周波電流発生器５の
両方を同じ媒体を使って冷却し、回収した熱ロスを上記
流体に返す冷却配管６４を設けてなる。高周波電流発生
器５は、整流素子を使った整流部２２と電力素子を使っ
たインバータ部２４を含み、これらに対して熱交換パイ
プ５１、熱交換板５２，５３の如き冷却配管６４が施さ
れ、加熱される流体が冷却配管６４に流される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液体や気体等の流体に
浸された発熱体を電磁誘導加熱で加熱し、前記流体を直
接的な熱移動で加熱する電磁誘導加熱装置の熱回収装置
及び熱回収方法に関し、特に化学プラントなどにおける
パイプラインへの組み込みなどに適したものに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、化学プラントにおける反応・分
離工程では、蒸留塔が必ず必要である。この蒸留塔は、
蒸留液を構成する液体がそれぞれ持つ沸騰点の温度差に
より、混合している液体を分離する装置である。この蒸
留塔には蒸留液を加熱する装置が付設されている。この
加熱装置としては例えばシーズヒータ方式の如き間接加
熱によるものが採用されている。このシーズヒータ方式
は、電源をシーズヒータに投入して熱媒油を加熱し、熱
交換器で熱媒油と蒸留液との熱交換を行わせる方式であ
る。

【０００３】間接加熱によるシーズヒータ方式は、まず
熱媒体をシーズヒータで加熱するために、立ち上がり時
間が長くかかり、加熱装置も大掛かりになり、加熱効率
も悪くなる傾向があった。そこで、特開平３−９８２８
６号公報に開示されるように、流体が通過するコラム又
はケースを絶縁体で構成し、このコラム又はケース内に
収納され流体が浸かる積層構造の発熱体を電磁誘導で加
熱する直接加熱の電磁誘導加熱装置をパイプラインに組
み込むことが提案されている。この直接加熱による電磁
誘導加熱装置によると、積層構造の発熱体の略全体を均
一に加熱できるとともに、積層構造によって流体が浸か
る発熱体の伝熱面積を大きくできることなどにより、加
熱装置の加熱効率を９０％前後まで向上させることがで
きる。また、加熱装置の小型化と立ち上げ時間の短縮も
同時に達成できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】特開平３−９８２８６
号公報で提案される電磁誘導加熱装置の加熱効率は極め
て高いものの、それでも１０％前後のロスがあり、例え
ば化学プラントのように大容量の加熱装置を用いる場合
には、１０％前後のロスも大きなものになるという問題
点があった。

【０００５】金属の熱処理に用いられる電磁誘導加熱装
置のコイルには銅管が用いられ、この銅管内に冷却水を
強制的に通水し、発生する銅損を冷却することが行われ
ているが、冷却で回収されたエネルギーを活用したとし
てもこのエネルギーを金属の熱処理に戻すという考えは
ない。また、大容量の電力素子を使ったパワーエレクト
ロニクスの分野では、電力素子が発熱によって過熱状態
になる恐れがあるため、電力素子を空冷又は水冷によっ
て冷却することが行われているが、冷却によって得られ
た熱エネルギーは単に外部に放出されるだけであった。
また、電磁調理器も実用化されているが、発生する熱ロ
スを再利用することは構造上の制約から無理であった。
このように、電磁誘導加熱装置の分野では発生する熱ロ
スを除去しても、その熱エネルギーを元の流体の加熱に
利用するという考えはなかった。

【０００６】本発明は上述した問題点を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、化学プ
ラント等のパイプラインに組み込まれる電磁誘導加熱装
置の熱回収装置又は熱回収方法であって、熱ロスによる
熱エネルギーを回収して加熱に再利用できる効率的な電
磁誘導加熱装置の熱回収装置又は熱回収方法を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明における電磁誘導加熱装置の熱回収装置は、流体の通
路に設けられた導電性物質の発熱体と、該発熱体の周囲
に設けられたコイルと、該コイルに接続される高周波電
流発生器と、を備えた電磁誘導加熱装置に設けられる熱
回収装置であって、加熱前の前記流体の一部を前記通路
の入口部から分けて前記コイルの部分へ導き、コイルの
冷却によって回収した熱ロスを前記入口部の流体に返す
冷却配管を設けてなるものである。

【０００８】また、同様の電磁誘導加熱装置に設けられ
る熱回収装置であって、前記コイルと前記高周波電流発
生器の両方を同じ媒体を使って冷却し、回収した熱ロス
を上記流体に返す冷却配管を設けてなるものである。こ
の高周波電流発生器は、整流素子を使った整流部と電力
素子を使ったインバータ部を含み、前記整流部及び前記
インバータ部に対して前記冷却配管が施されている。そ
して、前記媒体が上記流体であって、前記発熱体に入る
前の全部又は一部の前記流体が前記冷却配管に流されて
前記発熱体に熱ロスを返すか、又は、前記媒体が吸収し
た熱ロスを熱交換器を介して前記流体に返すという返し
方がある。また、前記コイルと前記高周波電流発生器と
を近接配置して共通の防爆ケース内に収納した場合に上
記熱回収装置が有効である。

【０００９】そして、電磁誘導加熱装置の熱回収装置
は、流体の通路に設けられた導電性物質の発熱体と、該
発熱体の周囲に設けられたコイルと、該コイルに接続さ
れる高周波電流発生器と、を備えた電磁誘導加熱装置の
熱回収方法であって、加熱前の前記流体の一部を前記通
路の入口部から分けて前記コイルの部分へ導き、コイル
の冷却によって回収した熱ロスを前記入口部の流体に返
すものである。また、同様の電磁誘導加熱装置の熱回収
方法であって、前記コイルと前記高周波電流発生器の両
方を同じ媒体を使って冷却し、回収した熱ロスを上記流
体に返すものである。

【００１０】

【作用】コイルに生じる熱ロスを加熱前の流体で回収す
るだけではなく、加熱前の流体に返すことで熱ロスの殆
どを再利用する。

【００１１】コイルに生じる熱ロスのみならず、高周波
電流発生器で生じる熱ロスを同じ媒体を用いた簡単な配
管系で回収し、回収した熱エネルギーで加熱前の流体を
予熱することによって、電磁誘導加熱装置で生じる熱ロ
スの殆どが回収される。耐化学薬品性を考慮する必要が
ない流体の場合、又は、銅又は銅合金製コイルに耐化学
薬品材を挿入、コーティング又はクラッドにした場合に
は、加熱前の流体を直接流すことができる。前記流体に
対する熱交換器を用いると、媒体として普通の流体を使
用できる。また、防爆ケース内に前記コイルと前記高周
波電流発生器とを近接配置すると、過熱状態になりやす
いため、結果的に冷却できるこの熱回収装置が有効であ
る。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は熱回収装置の構造図である。

【００１３】図１において、熱回収装置５０は、コイル
１３の外周に巻かれた熱交換パイプ５１と、高周波電流
発生器５の整流部２２に対して設けられた熱交換板５２
と、高周波電流発生器５のインバータ部２４に対して設
けられた熱交換板５３と、冷却配管６４とからなってい
る。この冷却配管６４は、入口部６１から分かれて熱交
換パイプ５１、熱交換板５２及び熱交換板５３に至る第
１配管６２と、熱交換パイプ５１、熱交換板５２及び熱
交換板５３から入口部６１に戻る第２配管６３とからな
っている。

【００１４】コイル１３は撚り合わせ銅線のリッツ線で
あり、発熱体１２を収納するコラム又はパイプ１１の外
周に巻かれている。高周波電流発生器５によってコイル
１３に高周波磁界を発生させ、発熱体１２に生じた渦電
流で流体を均一に加熱する。入口部６１からパイプ１１
内に流入する流体は、発熱体１２との熱交換で加熱さ
れ、出口部６５から吐出される。このコイル１３は発熱
体１２からの熱伝達によって昇温するとともに、コイル
１３を構成する銅の抵抗が大きくなってコイル１３自体
が発熱する。そのため、加熱前の流体の一部を第１配管
６２から分け、分岐管６２ａを経てコイル１３の外周に
巻かれた熱交換パイプ５１に通す。すると、コイル１３
が冷却されるとともにコイル１３の発熱並びにパイプ１
１外周から放散される熱が熱交換パイプ５１内の流体に
吸収される。熱ロスを回収した流体は管路６３ａ及び第
２配管６３を経て入口部６１に戻されるため、コイル１
３及びパイプ１１からの熱ロスが流体の加熱に有効利用
される。

【００１５】図２は発熱体１２の周囲に配設されるコイ
ル１３に対する熱交換パイプ５１の種々の形態を示す。
図２（ａ）は図１と同じものである。この熱交換パイプ
５１は流体に対する耐化学薬品性の他、耐熱性、耐圧性
及び非導電性を有する材質で形成される。

【００１６】図２（ｂ）はコイル１３ａが中空銅管で形
成され、自体が熱交換パイプ５１ａに構成されており、
更に普通の熱交換パイプ５１が二重に外周に巻かれたも
のである。この場合、コイル１３ａの中空部には耐化学
薬品性を備えたパイプを挿入するか、そのような材質の
中空部へのコーティング又はクラッドを施すことが好ま
しい。コイル１３ａ自体で熱交換パイプ５１ａになって
いるので、コイル１３ａの発熱が抑えられる。図２
（ｃ）はコイル１３ｂが熱交換パイプ５１ｂ兼用の半円
形銅管で形成されており、パイプ１１の外周にコイル１
３ｂが密着し易い構造になっている点が図２（ｂ）と異
なるだけである。

【００１７】図２（ｄ）は熱交換パイプ５１ｂ兼用のコ
イル１３ｂの内周と外周に、更に熱交換パイプ５１ｃ，
５１ｄが巻かれて三重になったものである。パイプ１１
の冷却を主として熱交換パイプ５１ｃで行い、コイル１
３ｂの冷却を主として熱交換パイプ５１ｄで行うという
役割分担になっている。図２（ｅ）はコイル１３にリッ
ツ線を使った点が図２（ｄ）と異なるだけであり、図２
（ｆ）はコイル１３ａに熱交換パイプ５１ａの中空銅管
を使った点が図２（ｄ）と異なるだけである。このよう
に、コイルの冷却には種々の形態がある。

【００１８】図１に戻り、整流器２２を構成する整流素
子などの基板を熱伝導性の良好な金属盤５４の中に形成
し、このこの金属盤５４を吸熱フィン等を備えた熱交換
板（ヒートシンク）５２の上に張りつけている。整流素
子の発熱は金属盤５４から熱交換板５２に伝わる。その
ため、加熱前の流体の一部を第１配管６２から分け、分
岐管６２ｂを経て熱交換板５２に通す。すると、整流器
２２が冷却されるとともに整流器２２の発熱が熱交換板
５２内の流体に吸収される。熱ロスを回収した流体は管
路６３ｂ及び第２配管６３を経て入口部６１に戻される
ため、整流器２２からの熱ロスが流体の加熱に利用され
る。このような熱交換板５２と金属盤５４の構成の一例
が図３に示される。熱交換板５２の入口５２ａから入っ
た流体は周囲を流れて出口５２ｂに至るようになってい
る。この熱交換板５２内の流体通路は、耐化学薬品性を
備えた材質のコーティング又はクラッドを施して形成
し、その他の部分は熱伝導率の良いアルミ等の金属にす
ることができる。

【００１９】図１に戻り、インバータ部２４を構成する
電力素子などの基板を熱伝導性の良好な金属板５５の上
に載せ、この金属板５５を吸熱フィン等を備えた熱交換
板（ヒートシンク）５３の上に張りつけている。電力素
子の発熱は金属板５５から熱交換板５３に伝わる。その
ため、加熱前の流体の一部を第１配管６２から分け、分
岐管６２ｃを経て熱交換板５３に通す。すると、インバ
ータ部２４が冷却されるとともにインバータ部２４の発
熱が熱交換板５３内の流体に吸収される。熱ロスを回収
した流体は管路６３ｃ及び第２配管６３を経て入口部６
１に戻されるため、インバータ部２４からの熱ロスが流
体の加熱に利用される。このような熱交換板５３と金属
板５５の構成の一例が図４に示される。熱交換板５３の
入口５３ａから入った流体は周囲を流れて出口５３ｂに
至るようになっている。この熱交換板５３内の流体通路
は、図３と同様に耐化学薬品性を備えた材質のコーティ
ング又はクラッドを施して形成し、その他の部分は熱伝
導率の良いアルミ等の金属にすることができる。

【００２０】また、図１において、第１配管６２と第２
配管６３との間の入口部６１にバルブ等の絞り６６を設
けている。この絞り６６で第１配管６２の圧力を高める
と、ポンプ等を設けなくても、熱交換パイプ５１や熱交
換板５２，５３に所定量の流体を流すことができる。も
ちろん、絞り６６を設けず、ポンプで加圧した流体を熱
交換パイプ５１や熱交換板５２，５３に流すようにして
もよい。また、図示例では、第１配管６２と第２配管６
３との間に、熱交換パイプ５１や熱交換板５２，５３を
並列に接続したが、これらを直列に接続するものであっ
てもよい。

【００２１】さらに、コイル１３と高周波電流発生器５
とを近接配置すると、第１配管６２、第２配管６３及び
これの分岐配管が短くなる。この場合、コイル１３と高
周波電流発生器５とを防爆ケース５６内に収納し、窒素
封入するとよい。加熱容量が大きい場合にはコイル１３
に大電力が流れるため、コイル１３の周囲に強力な高周
波磁界が発生する。そのため、コイル１３の周囲に配設
される導電性金属に渦電流が発生し、電気的火花が発生
する可能性があるからである。このような防爆ケース５
６を設けると、密閉構造のため内部に熱が籠もりやすく
なるが、上述した熱回収装置によって、内部の冷却が施
される。

【００２２】図５は他の熱回収装置を示す図である。図
１のものと異なる点は、入口部６１に至る流体の全部
が、コイル１３に対する熱交換パイプ５１と、整流部２
２に対する熱交換板５２と、インバータ部２４に対する
熱交換板５３に流され、入口部６１に戻される点であ
る。加熱される流体の流量と冷却に必要な流量とが拮抗
している場合に有効であり、図１のような絞り等を必要
としない。ただし、図１の場合には、冷却装置として適
切な径の配管を選んで装置内に簡単に取り回せるという
利点がある。

【００２３】図６は更に他の熱回収装置を示す図であ
る。図１のものと異なる点は、コイル１３に対する熱交
換パイプ５１と、整流部２２に対する熱交換板５２と、
インバータ部２４に対する熱交換板５３に対する冷却配
管７１がクローズに形成され、別途のポンプ７２で循環
可能になっており、入口部６１と冷却配管７１との間に
熱交換器７３が設けられた点である。加熱される流体と
冷却に使用する媒体とを分けることによって、冷却に用
いやすい水等の媒体を使うことができる。また、加熱さ
れる流体が気体である場合にも、比熱の違いから冷却媒
体を加熱流体とを分けることが望ましい。

【００２４】つぎに、電磁誘導加熱装置の機器構成の詳
細例を図７により説明する。図７において、１は電磁誘
導加熱装置の本体、２は温度制御部、３は位相シフト制
御部、５は高周波電流発生器である。

【００２５】高周波電流発生器５は、交流電源２１に対
する整流部２２と、非平滑フィルタ２３と、インバータ
部２４とからなっている。インバータ部２４の出力電力
と周波数は、位相シフト制御部３によって制御され、商
用の交流電源２１を効率的に高周波電流に変換して電気
エネルギーが有効利用される。

【００２６】温度制御部２は、例えばファジー＋オート
チューニング２自由度ＰＩＤ温度制御器で構成され、出
力電圧制御信号を位相シフト制御部３に出力する。ここ
で出力制御のための温度センサ１７がパイプ１１の出口
に設けられているため、高周波電流発生器５やコイル１
３の損失を考慮した出力の制御が可能である。

【００２７】整流部２２は、４個の整流素子Ｄ１１〜Ｄ
１４を用いた公知のものである。この整流部２２によっ
て、交流電源２１からの正負の電流が、図示のように正
だけの電流に変換される。

【００２８】高周波インバータ部２４は、４個のスイッ
チング素子Ｑ１〜Ｑ４を用いたものであり、Ｑ１とＱ２
とを直列に接続したものと、Ｑ３とＱ４とを直列に接続
したものを並列に接続してなっている。このスイッチン
グ素子Ｑ１〜Ｑ４はスイッチＳ１〜Ｓ４とダイオードＤ
１〜Ｄ４とを並列に接続した回路で表され、ＳＩＴ（Ｓ
ｔａｔｉｃ Ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏ
ｒ）、Ｂ−ＳＩＴ、ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉ
ｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ＦＥＴ）、ＩＧＢ
Ｔ、ＭＣＴ等の電力素子（半導体パワーデバイス）を用
いて形成される。

【００２９】スイッチＳ１，Ｓ４が閉じると、ａ点から
負荷Ｌ１，Ｒ１を経てｂ点に至る回路に電流が流れ、ス
イッチＳ２，Ｓ３が閉じると、ｂ点から負荷Ｌ１，Ｒ１
を経てａ点に至る回路に電流が流れる。すなわち、負荷
Ｌ１，Ｒ１から見ると、正又は逆に電流が流れたことに
なる。各スイッチＳ１〜Ｓ４はそれぞれ５０％弱のデュ
ーディサイクルの電圧パルスで駆動する。スイッチＳ
１，Ｓ２の電圧駆動パルスを基準相パルスとし、スイッ
チＳ３，Ｓ４の電圧駆動パルスを制御相パルスとする。
基準相と制御相との電圧駆動パルスの位相差φを０〜１
８０°まで連続的に変化させることにより出力電圧をＰ
ＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏ
ｎ）によって制御することができ、理論的には出力電力
を０から負荷回路定数とインバータ動作周波数で決まる
最大出力まで連続的に変化させることができる。

【００３０】図７に戻り、装置本体１は、流体通路を形
成する非金属パイプ１１内に、発熱体１２を収納し、パ
イプ１１の外周にコイル１３を巻き付けたものである。
パイプ１１の下側から入る低温流体１４は発熱体１２内
の流体通路を通過することで混合流体１５となって均一
加熱された後、パイプ１１の上側の出口から高温流体１
６となって流出する。この高温流体の温度は温度センサ
１７で検出され、温度センサ１７は温度制御部２に接続
されている。

【００３１】図８はパイプ１１内に組み込まれる発熱体
１２の構造を示してる。ジグザグの山型に折り曲げられ
た第１金属板２２と平たい第２金属板２１とを交互に積
層し、全体として円筒状の積層体１２に形成したもので
ある。この第１金属板２２や第２金属板２１の材質とし
ては、ＳＵＳ４４７Ｊ１の如きマルテンサイト系ステン
レスが用いられる。この第１金属板２２の山（又は谷）
２３は中心軸２４に対して角度αだけ傾くように配設さ
れ、第２金属板２１を挟んで隣り合う第１金属板２２の
山（又は谷）２３は交差するように配設されている。そ
して、隣り合う第１金属板２２における山（又は谷）２
３の交差点において、第１金属板２２と第２金属板２１
がスポット溶接で溶着され、電気的に導通可能になって
いる。

【００３２】結局、手前側の第２金属板２１と第１金属
板２２との間には、角度αだけ傾いた第１小流路２７が
形成され、次の第２金属板２１と第１金属板２２との間
には、角度−αだけ傾いた第２小流路２８が形成され、
この第１小流路２７と第２小流路２８は角度２×αで交
差している。また、第１金属板２２や第２金属板２１の
表面には、流体の乱流を生じさせるための第３小流路と
しての孔２６が設けられている。さらに、第１金属板２
２や第２金属板２１の表面は平滑ではなく、梨地加工又
はエンボス加工によって微小な凹凸が施されている。こ
の凹凸は山（又は谷）２３の高さに比較して無視できる
程度に小さい。

【００３３】積層体１２に高周波磁界を作用させると、
第１金属板２２と第２金属板２１の全体に渦電流が生
じ、積層体１２が発熱する。このときの温度分布は、図
示のように第１金属板２２と第２金属板２１の長手方向
に延びた目玉型となり、周辺部より中心部の方が発熱
し、中央部を流れようとする流体の加熱に有利になって
いる。

【００３４】また、積層体１２内には交差する第１小流
路２７と第２小流路２８が形成され、周辺と中央との拡
散が行われ、加えて第３小通路を形成する孔２６の存在
によって、第１小流路２７と第２小流路２８間の厚み方
向の拡散も行われる。したがって、これらの小流路２
７，２８，２６によって積層体１２の全体にわたる流体
のマクロ的な分散、放散、揮散が生じる。加えて、表面
の微小な凹凸によってミクロ的な拡散、放散、揮散も生
じる。その結果、積層体１２を通過する流体は略均一な
流れになって、第１金属板２２及び第２金属板２１と流
体との均一な接触機会が得られる。

【００３５】

【発明の効果】本発明における電磁誘導加熱装置の熱回
収装置及び熱回収方法にあっては、コイルから発生する
熱ロスを加熱前の流体で回収するという点、または、熱
ロスを発生させるコイルと高周波電流発生器の両方を同
じ媒体で冷却し、回収した熱ロスを加熱すべき流体に返
すという点に特徴があり、電磁誘導加熱装置の部品の過
熱が抑えられるだけではなく、回収した熱で流体を予熱
するため、熱ロスの殆どが活用され、簡単な加熱回収装
置でありながら流体加熱の総合効率を９７％前後まで高
めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱回収装置の機器構造図である。

【図２】コイルに対する冷却配管の設け方を示す図であ
る。

【図３】整流部に対する熱交換板の設け方を示す上面図
である。

【図４】インバータ部に対する熱交換板の設け方を示す
上面図である。

【図５】本発明の他の熱回収装置の機器構造図である。

【図６】本発明の更に他の熱回収装置の機器構造図であ
る。

【図７】電磁誘導加熱装置の機器構成図である。

【図８】発熱体の構造を示す図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ５ 高周波電流発生器 １１ パイプ（流体の通路） １２ 発熱体 １３ コイル ２２ 整流部 ２４ インバータ部 ５１ 熱交換パイプ ５２ 熱交換板 ５３ 熱交換板 ６１ 入口部 ６２ 第１配管（冷却配管） ６３ 第２配管（冷却配管） ７１ 冷却配管 ７３ 熱交換器

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の通路に設けられた導電性物質の発
   熱体と、該発熱体の周囲に設けられたコイルと、該コイ
   ルに接続される高周波電流発生器と、を備えた電磁誘導
   加熱装置に設けられる熱回収装置であって、加熱前の前
   記流体の一部を前記通路の入口部から分けて前記コイル
   の部分へ導き、コイルの冷却によって回収した熱ロスを
   前記入口部の流体に返す冷却配管を設けてなる電磁誘導
   加熱装置の熱回収装置。
2. 【請求項２】 流体の通路に設けられた導電性物質の発
   熱体と、該発熱体の周囲に設けられたコイルと、該コイ
   ルに接続される高周波電流発生器と、を備えた電磁誘導
   加熱装置に設けられる熱回収装置であって、前記コイル
   と前記高周波電流発生器の両方を同じ媒体を使って冷却
   し、回収した熱ロスを上記流体に返す冷却配管を設けて
   なる電磁誘導加熱装置の熱回収装置。
3. 【請求項３】 前記高周波電流発生器は、整流素子を使
   った整流部と電力素子を使ったインバータ部を含み、前
   記整流部及び前記インバータ部に対して前記冷却配管が
   施されている請求項２記載の電磁誘導加熱装置の熱回収
   装置。
4. 【請求項４】 前記媒体が上記流体であって、前記発熱
   体に入る前の全部又は一部の前記流体が前記冷却配管に
   流されて前記発熱体に熱ロスを返す請求項２又は３記載
   の電磁誘導加熱装置の熱回収装置。
5. 【請求項５】 前記媒体が吸収した熱ロスが熱交換器を
   介して前記流体に返される請求項２記載の電磁誘導加熱
   装置の熱回収装置。
6. 【請求項６】 前記コイルと前記高周波電流発生器とを
   近接配置して共通の防爆ケース内に収納した請求項２記
   載の電磁誘導加熱装置の熱回収装置。
7. 【請求項７】 流体の通路に設けられた導電性物質の発
   熱体と、該発熱体の周囲に設けられたコイルと、該コイ
   ルに接続される高周波電流発生器と、を備えた電磁誘導
   加熱装置の熱回収方法であって、加熱前の前記流体の一
   部を前記通路の入口部から分けて前記コイルの部分へ導
   き、コイルの冷却によって回収した熱ロスを前記入口部
   の流体に返すことを特徴とする電磁誘導加熱装置の熱回
   収方法。
8. 【請求項８】 流体の通路に設けられた導電性物質の発
   熱体と、該発熱体の周囲に設けられたコイルと、該コイ
   ルに接続される高周波電流発生器と、を備えた電磁誘導
   加熱装置の熱回収方法であって、前記コイルと前記高周
   波電流発生器の両方を同じ媒体を使って冷却し、回収し
   た熱ロスを上記流体に返すことを特徴とする電磁誘導加
   熱装置の熱回収方法。