CN101445903B - 真空镀膜中图案成型方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种真空镀膜中图案成型方法,先制作用于印制所需要图案的网版,并选择网印后可固化且固化后可剥离的油墨;再通过网印的方法将油墨网印到玻璃基板所需要的图案上;接着,油墨固化,使油墨覆盖玻璃基板所需要的图案上;然后,在油墨已经固化的玻璃基板上进行真空镀膜;最后,完成镀膜后,把已经固化的油墨剥掉,显出所需要的图案部分。本发明可方便操作,降低成本,提高精细度,确保产品品质,更具规模化生产。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜中的技术,更具体地说,涉及将网印油墨用于真空镀膜系统中改进遮挡技术以成型图案的方法。
背景技术
在薄膜制备技术中,很多情况下是在真空条件下进行的。如蒸发镀、溅射镀、离子镀以及低压化学气相沉积等。通常在特定的条件下,产生大量带电物质和化学活性物质,其中所述物质适合系统中正在进行的特定处理(例如从衬底去除材料的刻蚀处理或向衬底增添材料的沉积处理)。尽管大量带电微粒(离子等等)和化学活性物质的形成对于进行等离子体处理系统对衬底表面的功能(例如材料刻蚀、材料沉积等等)是必要的,但部分应保护区域或元件表面暴露在物理和化学活性的等离子体中,最终可能受到腐蚀导致其性能的降低或功能失效等问题。在这样的真空反应系统中,挡板被用于保护衬底或元件,使其承受的损害减至最小。
在真空镀膜中出于设计的考量,经常有部分精细的图案加以保护形成非镀膜区或需要形成精密的镀膜图案(如图1)。
目前,在业内真空镀膜的图案成型都采用挡板遮挡的方式,如图2所示。首先设计制作如图1玻璃非镀膜区20所示图案样式的挡板元件,例如由硅、石英、氧化铝、碳、碳化硅或不锈钢等材料制造的元件,然后设法将挡板元件固定在玻璃基板10上或耦合到其他制具上,并挡住玻璃基板10上的相应图案位置,再进行真空镀膜,最后揭去挡板元件,即形成非镀膜区。这样在实际上操作中,往往需要设计复杂的制具和挡板元件,使成本升高,且挡板元件的固定也不容易,精细度达不到很高要求,造成操作不方便,非镀膜区边界不清晰。此外,在挡板元件的安装固定过程中也可能给玻璃基板10带来的多余污染物、杂质等等的材料以及划伤等,影响产品品质。
有鉴于此,本发明人对现有真空镀膜中图案成型的遮挡技术进行改进,皆在方便操作,降低成本,提高精细度,确保产品品质,本案由此产生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空镀膜中图案成型方法,以方便操作,降低成本,提高精细度,确保产品品质。
为了实现上述目的,本发明的解决方案是:
第一步,制作用于印制所需要图案的网版,并选择网印后可固化且固化后可剥离的油墨;
第二步,通过网印的方法将油墨网印到玻璃基板所需要的图案上;
第三步,油墨固化,使油墨覆盖玻璃基板所需要的图案上;
第四步,在油墨已经固化的玻璃基板上进行真空镀膜;
第五步,完成镀膜后,把已经固化的油墨剥掉,显出所需要的图案部分。
其中,所述第一步所选择的油墨包含下列重量百分比的成份:乙烯树脂衍生物55~65%、脂肪酸酯15~20%、乙烯环氧酯15~20%、触发剂1%~5%、消泡剂1%~3%、有机颜料0.3%~1%。
所述第一步所选择的油墨目测为中粘度粘稠状;粘度:25℃条件下使用日本RION(理音)公司生产的粘度计VT-04F,2号叶轮所测特性值在40~100Pa.s(帕.秒);130℃时60分钟内不挥发成份:100%。
所述第二步中在网版和玻璃基板上分别制作对应的基准点,并在网印时通过光学比对网版与玻璃基板上的基准点位置来固定网版。
所述第二步中网印的油墨膜厚应设定在35~150μm(微米)。
所述第三步中油墨通过加热或紫外光照射方式固化。
所述第三步中油墨的固化方式:网印后,放置于130℃~150℃条件下的热风循环式干燥炉中10分钟,即可固化。
所述第五步油墨固化后,使用胶带或镊子从边缘拉起已经固化的油墨,即可完整剥离。
采用上述方案后,本发明是将油墨通过网印转移在玻璃基板上后,利用油墨特性,通过物理或化学方式固化在基片上,然后再镀膜,镀膜后再去除油墨。
本发明的有益效果:由于采用网印方式形成油墨,可以很容易达到很高的精细度,其主要偏差取决于网印精度。对于小于500mm的图形,如果在网版设计时加入网印中因网版拉伸导致的偏差补偿,网印图形与设计图形重合精度则可以很容易达到0.1mm以内。而且由于油墨网印完后,可固化在玻璃基板上,镀膜后再剥掉油墨。本发明解决了在真空镀膜基片上不易安装固定挡板的问题,既避免了安装固定挡板时对玻璃基板造划伤和脏污等不良而影响镀膜品质,同时本方法比使用挡板所能达到的精度更高,操作性更强,成本大大降低,更具规模化。
附图说明
图1是真空镀膜图案示意图;
图2是现有技术真空镀膜中图案成型时所采用挡板遮挡方式的流程示意图;
图3是本发明真空镀膜中图案成型所采用网印油墨遮挡方式的流程示意图;
图4是本发明网版结构示意图;
图5是运用本发明成型的产品中真空镀膜图案。
具体实施方式
如图3所示,是本发明揭示的较佳实施例,具体步骤如下:
第一步,先制作用于印制所需要图案的网版3(如图4所示)。具体制作网版3时,先要根据图案精度要求选择合适的丝网31、乳剂32,并选择网框33等材料,并制作适合印制图5所示产品的网版3,此网版3上具有开孔图案34,为了便于网版3固定在玻璃基板上,此网版3上还具有基准点35。
在网版3制作完成后,还需选取合适的油墨。所选取的油墨必需在网印后可固化且固化后可剥离。下面以常用防焊可剥离式油墨为例,其主要成份的重量百分比如下:
乙烯树脂衍生物55~65%、脂肪酸酯15~20%、乙烯环氧酯15~20%、触发剂(二氧化硅SiO2)1%~5%、消泡剂(六甲基氧二硅烷C6H18OSi2)1%~3%、有机颜料(酞青蓝BC32H16CuN8)0.3%~1%。
主要特性:
外观:目测为中粘度粘稠状;
粘度:25℃条件下使用日本RION(理音)公司生产的粘度计VT-04F,2号叶轮所测特性值在40~100Pa.S;
不挥发成份:100%(130℃x60分钟);
保存条件:25℃以下环境中。
第二步,通过网印的方法将油墨网印到如图5所示玻璃基板1所需要的图案2上。当对位置精度要求较高时,可如图4所示在网版3上制作基准点35,在玻璃基板1上也制作基准点11,网印时通过光学比对网版3与玻璃基板1上的基准点11位置来达到精度控制,再固定网版3于玻璃基板1上。
第三步,油墨固化,主要通过油墨的物理化学特性实现,如加热或紫外光照射方式等。可剥离式油墨的固化方式:放置于130℃~150℃条件下的热风循环式干燥炉中10分钟,即可固化,使油墨覆盖玻璃基板1所需要的图案2上。油墨的可剥离性因其膜厚度及图形面积大小设定的不同会有所差异,合理的膜厚度应设定在35~150μm。
第四步,在油墨已经固化的玻璃基板1上进行真空镀膜。由于油墨已固化在玻璃基板1上,所以只要以一般的放置方法进行放置,再进行镀膜即可。
第五步,完成镀膜后,把已经固化的油墨剥掉,显出所需要的图案2部分,如图5所示。具体可使用胶带或镊子从边缘拉起已经固化的油墨,即可完整剥离。
Claims (7)
1.真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:
第一步,制作用于印制所需要图案的网版,并选择网印后可固化且固化后可剥离的油墨;
第二步,通过网印的方法将油墨网印到玻璃基板所需要的图案上;
第三步,油墨固化,使油墨覆盖玻璃基板所需要的图案上;
第四步,在油墨已经固化的玻璃基板上进行真空镀膜;
第五步,完成镀膜后,把已经固化的油墨剥掉,显出所需要的图案部分;
油墨包含下列重量百分比的成份:乙烯树脂衍生物55~65%、脂肪酸酯15~20%、乙烯环氧酯15~20%、触发剂二氧化硅1%~5%、消泡剂六甲基氧二硅烷1%~3%、有机颜料酞青蓝0.3%~1%。
2.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第一步所选择的油墨目测为中粘度粘稠状;粘度:25℃条件下使用粘度计VT-04F,2号叶轮所测特性值在40~100Pa·S;130℃时60分钟内不挥发成份:100%。
3.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第二步中在网版和玻璃基板上分别制作对应的基准点,并在网印时通过光学比对网版与玻璃基板上的基准点位置来固定网版。
4.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第二步中网印的油墨膜厚设定在35~150μm。
5.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第三步中油墨通过加热或紫外光照射方式固化。
6.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第三步中油墨的固化方式:网印后,放置于130℃~150℃条件下的热风循环式干燥炉中10分钟,即可固化。
7.如权利要求1所述的真空镀膜中图案成型方法,其特征在于:所述第五步油墨固化后,使用胶带或镊子从边缘拉起已经固化的油墨,即可完整剥离。
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