JPS59126506A - カラ−フイルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はカラーフィルターに関するもので、特にカラー
撮像素子及びカラーディスプレーなどの色分解用カラー
フィルターに関するものである。

従来、色分解用のカラーフィルターとしては、透明な誘
電体の多層薄＋ｉＱの干渉作用を利用した所謂゛干渉フ
ィルター”と、染顔料の吸収を利用した所謂”色素フィ
ルターパに大別される、干渉フィルターは多層構成で所
定の分光特性に合わせた膜設針をなす上で使用する材料
（屈折率）によって決まる膜厚の調整やその膜を積層で
保持するなどの製造上の問題が多い。特に微細なパター
ニングに除してはこれらの制御が困難な場合が多い。

一方、色素フィルターは最近多くの方法が提案されてお
シ、例えば透明基板上にゼラチン。

カゼイン、グリユーあるいはポリビニルアルコールなど
の天然または合成高分子物質からなる媒染層を設け、そ
の媒染層を所定のパターンに合わせて着色する方法が知
られている。着色する方法としては適当な染料を溶解し
た染色浴中に浸漬処理する染色法が挙げられる。また、
蒸気圧が低く、かつ、熱分解しにくい染料を基板上に真
空蒸着し、その後、所定のパターンにエツチングするこ
とによってフィルターを形成させる蒸着法などが仰られ
ている。

このうち、染色法は使用できる染料が非常に多くフィル
ターとして要求される分光特性をどのようにも対応でき
るという利点を有しているが、染色工程が染料を溶解し
た染色浴中に浸漬す、るという湿式１程を採用しておυ
、しかも所定のパターン通りに各色を染め分ける工程に
おいて、各色の染色工程毎にホトレジストによる耐染マ
スクの作成、および剥離の工程を必要とするために歩留
りが低く、廉価なカラーフィルターを製造するには適切
な方法とはいえない。さらに、フィルターとしての性能
に谷いてもパターニング境界部での色の１にじみ”、“
ボケ″などの混色が生じるので、高精就が要求される分
野での使用には適したものではない。

これに対しで蒸着法では、色素そのもので着色層が形成
でき、染色法における媒染層が不用なので極めて薄膜化
され、かつ、非水工程によって色素層が形成できる。ま
た、染色法にみられる様なパターン境界部での色のにじ
み、ボケなどの混色現象は見られない。さらに、色素そ
のものの耐熱性も染色法の色素に比べてきわめて優れて
いる。

以上の様な利点を有するにもかかわらず、蒸着法による
カラーフィルターが普及しない大きな原因は、蒸着可能
な色素に制限があり、好ましい分光特性が得られないこ
とであった。さらには、たとえ蒸着できても、パターニ
ング時のレジスト塗布、現′像における溶剤処理によっ
て、色素膜が溶解してしまったり、また、唇解までには
至らなくとも分光特性が変化してし捷って、れた色素で
形成されたカラーフィルターを提供することを主たる目
゛的とする。

本発明によるカラーフィルターは、基板上に下記構造式
で示されるペリレンテトラカルボン酸誘導体から選ばれ
る色素を蒸着して形成された色素層を有することを特徴
とするものである。

及び ここでＲ７は水素、アルキル基又は各種アリール基であ
るー Ｊｙ＋］ち、本発明は上式で示される宿造のペリレンテ
トラカルボン酸誘導体からなる色素をべべ着して用いる
ことを％徴とするものである。

Ａ無法で使用される色素は、本来、耐熱性゛に役れたも
のでなければならない。一般に有機色しかるに、本発明
で用いられるベリレンテトつて熱的に極めて安定であり
、加熱しても分解することなく、所定の温度以上になる
と容易に蒸着する性質を有しておシ、蒸着によって色素
層を形成するには極めて好適である。

また、蒸着によって形成された９ペリレンテトラ力ルボ
ン酸誘導体の色素層ｔよ、有機膜にしばしば見られるよ
うな疎い膜ではなく、極めて緻密で、しかもガラスのよ
うな無機物の表面にも強く密着しており、蒸着膜として
すぐれた物性を有している。

また一方、この色素層は有機溶剤に対して優れた耐性を
有している。即ち、アルコール類等の貧溶亦Ｃ・ま勿論
、ケトン類、エステル類、エーテルアルコ゛−ル類、ハ
ロゲン溶剤等の良溶媒に対してもほとんど溶解せず、分
光特性的にも何°　ら変化を起すどとがない。従って、
色素層に対して、レジストの塗布、現像を施しても゛全
く何ら支障がないので、色素層の微細加工も容易に行な
いうるものであり、微細カラーフィルターベリレンデト
ラカルボン敵誘導体の例としては、次のようなものが好
適例として挙げられる。

（以下ｒｘ）−■の記号で示す） （２）上式においてＲ１が−■であるもの■　　Ｉ、′
Ｒ，ｒＬ−ＣＨ３／’ 蒸着は通常の真空蒸着やスパッター蒸着により行なうこ
とができる。

蒸着された色素層と下地の基板、例えばガラス等との接
着性をｊ１〜す必要がある場合は、カラス基板等にポリ
ウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、シランカップリ
ング剤等をあらかじめ薄く塗布してから蒸Ｎ膜を形成す
ると効果的である。

次に、実施例をあげて具体的に本発明について説明する
。

実施例 表面を’６Ｖ浄化したガラス板を真空蒸着機内に設置し
、モリブデン製昇華用ボートに前記０式の色素であるイ
ルガジンレツドＢ　Ｐ　Ｔ　（間品名、チバガイギー社
製）を入れてセットし、真空に排スして、真空度１０’
　〜１０−６ｔｏｒｒでボートを加熱し、カラス基板上
に約３０００人の厚さに蒸着させた。この色素層は良好
な赤色の分光特性を示した。ついで、蒸着膜上にネガレ
ジスト（商品名：０ＭＲ８３、人家応化工業製）を塗布
し、通常のフォトリソグラフィーの工程に従ってモザイ
ク状のエツチングマスクを形成したのち、プラズマ灰化
装置６１によってプラズマエツチングし、原ｖ、のモザ
イクパターンを形成した。

これら一連の工程によっても色素蒸着膜は何ら損丙を受
けず、分光特性もほとんど変化しなかった。

比軟として代表的な赤色色素であるアストラフロギシン
Ｇ（商品名、バイエル社製）會同様なプロセスで試み７
とが、蒸着膜Ｉは得られたものとができなかった。。

実施例２ 前記構造式■〜■で示されるペリレンテトラカルボン酸
誇導体を用いて実施例１と同様なことを試みた。

いずれの色素でもＭＦ、　Ｈにより色素層が形成でき、
また、レジスト処理によっても分光特性は変化しないこ
とが確められた、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 基板上に下記構造式で示される、ペリレンテトラカルボ
   ン酸誘導体から選ばれる色素を蒸着して形成された色素
   層を有することを特徴とするカラーフィルター。 及び ここでＲ１は水素、アルキル基又はアリール基である。