CN101401036B - 感光性树脂层压体 - Google Patents

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Abstract

本发明目的在于提供一种在形成树脂黑色矩阵时，感光度、遮光性、细线附着力、过显影时的线宽稳定性、复印性、生产率优异的感光性树脂层压体，进一步，目的在于提供一种在形成彩色像素时，感光度高的感光性树脂层压体。一种感光性树脂层压体，其通过将至少支持层和感光性树脂层层压而形成，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，该感光性树脂组合物包含3～40质量％下述式(I)所表示的碱可溶性高分子、1～40质量％特定的碱可溶性高分子、3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物、0.1～20质量％光聚合引发剂、40～70质量％着色颜料，并且该式(I)所表示的碱可溶性高分子：特定的碱可溶性高分子(质量比)＝1：5～16：1。

Description

感光性树脂层压体
技术领域
本发明涉及对于制造带黑色矩阵的基板、带彩色像素的基板、以及滤色器有用的感光性树脂层压体。
背景技术
在液晶显示器中，一般存在有称作滤色器(Color filter)的用于着色背光的部件。滤色器由红、绿、蓝彩色像素和将其分隔开的黑色矩阵构成。通常，彩色像素是为了彩色化而需要的，黑色矩阵是为了防止TFT误操作、提高对比度、防止混色等目的而以格子状配置在彩色像素间。
并且，近年来，在液晶显示器中越来越要求高品质。例如，为了提高显示器的色彩再现性，要求提高彩色像素的色纯度(Color purity)。如果提高色纯度，则背光的透射率减少，辉度下降。如果补偿背光的透射率的减少，提高背光的辉度，则将彩色像素和彩色像素隔开的黑色矩阵无法遮住背光，导致一部分光透射。而且，为了确保面板的辉度，需要设计增大开口部分即彩色像素部分，因此，相应地，黑色矩阵存在有细线化的倾向。以往，黑色矩阵通过使用溅射法得到的金属薄膜例如用铬来制造。然而，考虑到对环境的不好影响，今后难以使用铬，使用光刻法并由含有黑色颜料的树脂所形成的黑色矩阵(以下，称为树脂黑色矩阵)正成为主流。
进一步，在液晶显示器的制造中，要求生产率的提高，对于滤色器也不例外。例如，随着液晶显示器的大型化，滤色器基板的曝光面积也扩大了，然而曝光掩模却很难形成和基板同样的尺寸。因此，需要将一片滤色器基板分割开来反复曝光。这样的话，每一次的曝光时间大大影响了生产率，并且需要高感光度的光刻材料。进一步，涂布、干燥、曝光、显影这种光刻工序自身的简化也被认为是重要的提高生产率的方法。
特别是树脂黑色矩阵，由于遮光性高是其本身的功能，因此在使用感光性树脂进行制造时，提高感光度非常困难。此外，遮光性高、并且和表面相比在底面上仅仅有少量的光到达，因此很难确保附着力、特别是细线的附着力，以及过显影时的线宽稳定性。同样，虽然彩色像素没有像黑色矩阵那样，但由于着色颜料对曝光波长具有吸收，因此感光度显著下降。
鉴于这种问题，已公开了一些现有技术。例如，在专利文献1中，公开了光学浓度高并可以得到良好的黑色矩阵图案的光聚合性黑色组合物。此外，在专利文献2中，公开了将特定光聚合性树脂组合物层压在支持薄膜上的滤色器形成用材料。然而，在任一文献中，都未公开具有足够的感光度、遮光性、细线附着力、过显影时的线宽稳定性，并且同时满足生产率的树脂黑色矩阵形成材料。
专利文献1：日本特开2004-69754号公报
专利文献2：日本特开2005-208480号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明目的在于提供一种在形成树脂黑色矩阵时，感光度、遮光性、细线附着力、过显影时的线宽稳定性、复印性、生产率优异的感光性树脂层压体，以及使用该感光性树脂层压体的树脂黑色矩阵的制造方法。进一步，目的在于提供一种在形成彩色像素时感光度高的感光性树脂层压体，以及提供使用该感光性树脂层压体的彩色像素的制造方法。
用于解决问题的方法
为了解决上述问题，进行了深入研究，结果完成本发明。
即，本发明如下所述。
(1)一种感光性树脂层压体，将至少支持层和感光性树脂层层压而成，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，所述感光性树脂组合物包含：
3～40质量％下述式(I)所示的碱可溶性高分子，
1～40质量％选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系的碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子，
3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且，
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系的碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～16:1，
[化学式1]
式(I)中，X为下述式(II)所示的基团，Y为除去了二羧酸酐的酸酐基的残基，Z为除去了四羧酸二酐的酸酐基的残基，n为1～20的整数，下述式(II)中的R1和R2各自相互独立地表示H或CH3基团。
[化学式2]
Figure G2007800090843D00041
(2)根据(1)所述的感光性树脂层压体，其中，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，所述感光树脂组合物包含：
3～40质量％上述式(I)所示的碱可溶性高分子，
1～40质量％重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子，
3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且，
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～16:1。
(3)根据(2)所述的感光性树脂层压体，该感光性树脂层包含：
3～40质量％上述式(I)所示的碱可溶性高分子，
5～40质量％重均分子量为3000～50000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子，
5～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该重均分子量为3000～50000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～5:1。
(4)根据(1)所述的感光性树脂层压体，其中，该式(I)所示的碱可溶性高分子：该选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子(质量比)＝2:1～16:1。
(5)根据(1)～(4)任一项所述的感光性树脂层压体，其中，在感光性树脂组合物中，包含肟酯化合物作为光聚合引发剂。
(6)根据(1)～(4)任一项所述的感光性树脂层压体，其中，在感光性树脂组合物中，包含下述式(III)所示的化合物作为具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
[化学式3]
Figure G2007800090843D00051
式(III)中，R3、R4和R5各自相互独立地表示H或CH3基团，R6为2价的连接基团，其表示选自碳数为2～8的亚烷基、碳数为3～10的亚环烷基以及碳数为6～10的亚苯基所组成的组中的一种基团。
(7)根据(1)所述的感光性树脂层压体，其中，着色颜料为黑色颜料。
(8)一种带彩色像素的基板的制造方法，其至少依次包括将(1)～(4)任一项所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、曝光的工序和显影的工序。
(9)一种带黑色矩阵的基板的制造方法，其至少依次包括将(7)所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、曝光的工序、剥离支持层的工序、显影的工序。
(10)一种带黑色矩阵的基板的制造方法，其至少依次包括将(7)所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、剥离支持层的工序、曝光的工序、显影的工序。
(11)一种滤色器的制造方法，其至少依次包括使用(9)或(10)所述的方法在基板上形成黑色矩阵的工序；通过喷墨方式在该玻璃基板上的未被黑色矩阵覆盖的部分的至少一部分上印刷热敏性或感光性的彩色墨的印刷工序。
(12)一种滤色器，其通过(11)所述的方法所制造。
发明效果
本发明感光性树脂层压体在形成树脂黑色矩阵时，得到了感光度、遮光性、细线附着力、过显影时的线宽稳定性、复印性、生产率优异的效果。此外，本发明感光性树脂层压体在形成彩色像素时，得到了感光度非常高的效果。
具体实施方式
以下，对本发明进行具体说明。另外，本发明感光性树脂层压体中的感光性树脂层由感光性树脂组合物形成。在对感光性树脂组合物各成分的配合量进行记载时，是以感光性树脂组合物中的固体成分全体为100％时的质量％来记载的。
本发明感光性树脂层压体在感光性树脂组合物中含有3～40质量％下述式(I)所表示的碱可溶性高分子(以下，仅称为化合物)。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，其含量为3质量％以上，并且从由支持层到基材的复印性的观点考虑，为40质量％以下。所谓复印性，是指将本发明感光性树脂层压体层压在基材上，并在曝光前或曝光后剥离支持层时，感光性树脂层复印至基材的性能。当复印性不足时，在剥离支持层时，未曝光部分或曝光部分和支持层一起从基板上剥离下来。其含量优选为5～30质量％，更优选为8～25质量％，并进一步优选为8～20质量％。
[化学式4]
式(I)中，X为下述式(II)所示的基团，Y为除去了二羧酸酐的酸酐基的残基，Z为除去了四羧酸二酐的酸酐基的残基，n为1～20的整数，下述式(II)中的R1和R2各自相互独立地表示H或CH3基团。
[化学式5]
Figure G2007800090843D00072
此处，所谓“酸酐基”，是指“-CO-O-CO-基团”。
此外，作为二羧酸酐，可以列举，例如马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢化邻苯二甲酸酐、六氢化邻苯二甲酸酐、甲基内次甲基四氢邻苯二甲酸酐(methyl endomethylenetetrahydrophthalic anhydride)、氯菌酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、戊二酸酐等。
此外，作为四羧酸二酐，可以列举，例如均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、联苯基四羧酸二酐、二苯醚四羧酸二酐等芳香族多元羧酸酐。
本发明中使用的由上述式(I)所表示的化合物，例如，可以通过日本特开2001-354735号公报中所记载的方法得到。上述式(I)所表示的化合物在聚合链中实质上没有二羧酸酐残基，而在其末端具有二羧酸酐残基。因此，与在聚合链中具有二羧酸酐残基的化合物不同，其即使是相同的固体成分浓度，也可以轻易控制溶液粘度，改善涂布时的操作性，提高涂层特性，并使膜厚均匀化。
本发明中使用的由上述式(I)所表示的化合物，在化合物中具有至少两个可加成聚合的烯属不饱和双键。含有该化合物的感光性树脂组合物，在受到使光聚合引发剂活化的规定波长的光线照射时，即使光学浓度高，也可以由光聚合引发剂的作用进行加成聚合并固化。因此，可以制造一种显示对比度高并且R、G、B显色优良的滤色器。特别是在使用该化合物形成黑色矩阵时，该效果在遮光性和感光度的关系中变得显著。如后述的实施例所示，在通过增加黑色颜料的添加量而提高遮光性时，通常，在遮光性提高的同时感光度降低，而在使用上述式(I)所表示的化合物时，可以抑制感光度的降低。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中含有1～40质量％选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子。一般来说，作为黑色颜料而广泛使用的炭黑，其表面积大，因此在颜料分散的感光性树脂组合物中使用时，容易形成触变性富裕且流动性差的液体。而为了提高遮光性，必须配合较多的这种黑色颜料，但是在直接涂布于基板的制法中，难以确保涂布均匀性(谷口彰敏，“滤色器最新技术动向～构成材料·制造·评价·海外动向～”，第1次印刷，株式会社情报机构，2005年5月31日，p81-101)。另一方面，在本发明中，通过同时配合图案化(patterning)特性优异的由上述式(I)所表示的化合物和颜料分散、涂布稳定性、复印性优异的上述碱可溶性高分子，形成感光性树脂组合物，并进一步形成感光性树脂层压体，可以简单地将遮光性高并且均匀的感光性树脂层层压在基板上。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中含有1～40质量％选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子。
下面，对重均分子量为3000～100000的由(甲基)丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子进行说明。此处，所谓(甲基)丙烯酸，表示甲基丙烯酸和丙烯酸。以下相同。
(甲基)丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子的含量为1～40质量％。含量更优选为5～40质量％。从由支持层到基材的复印性以及层压性的观点考虑，含量更优选为5质量％以上，从感光度、附着力和线宽稳定性的观点考虑，更优选为40质量％以下。其含量更优选为8～30质量％，进一步优选为10～25质量％，并最优选为10～18质量％。
在(甲基)丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子中，优选共聚50～95质量％的(甲基)丙烯酸苄酯。从黑色颜料的分散性、显影残渣、层压性的观点考虑，(甲基)丙烯酸苄酯的共聚比例优选为50质量％以上，并且从显影速度的观点考虑，优选为90质量％以下。(甲基)丙烯酸苄酯的共聚比例，更优选为60～90质量％，并进一步优选为70～90质量％。
共聚(甲基)丙烯酸苄酯而成的碱可溶性高分子，优选将侧链上具有羧基或羧酸酐基的单体进行共聚。所谓侧链上具有羧基或羧酸酐基的单体，例如，可以列举(甲基)丙烯酸、富马酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、柠康酸、马来酸酐、马来酸半酯等。侧链上具有羧基的单体进行共聚的比例，从显影性的观点考虑，优选为5质量％以上，并且从黑色颜料的分散性以及在显影后抑制黑色颜料向基板附着的观点考虑，优选为30质量％以下。并更优选共聚5～20质量％。
共聚(甲基)丙烯酸苄酯而成的碱可溶性高分子，也可以共聚其它单体。可以列举，(甲基)丙烯酸烷基酯，例如，(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯；具有羟基的(甲基)丙烯酸酯，例如，(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯；具有环烷基的(甲基)丙烯酸酯，例如，(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯；其它，例如，(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、苯乙烯。特别优选(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯或(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯。其它单体在碱可溶性高分子中的共聚比例优选为5～30质量％。特别地，在使用(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯或(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯作为其它单体时的共聚比例，从黑色颜料的分散性、层压性的观点考虑，优选为5质量％以上，并且从耐热性、耐化学试剂性的观点考虑，优选为30质量％以下。共聚比例更优选为5～15质量％。
共聚(甲基)丙烯酸苄酯而得的碱可溶性高分子，其重均分子量更优选为3000～50000。从显影性的观点考虑，分子量更优选为50000以下，从附着力的观点考虑，更优选为3000以上。其重均分子量进一步优选为10000～40000。
分子量的测定，可以使用日本分光(株)制造的凝胶渗透色谱(GPC)(泵：Gulliver，PU-1580型，柱：昭和电工(株)制造的Shodex(注册商标)(KF-807，KF-806M，KF-802.5)4个串联，移动层溶剂：四氢呋喃，使用根据聚苯乙烯标准样品(昭和电工(株)制Shodex STANDARD SM-105)的校准线)，并作为重均分子量(聚苯乙烯换算)求出。
共聚(甲基)丙烯酸苄酯而得的碱可溶性高分子，其羧基量以酸当量计优选为200～2000。所谓酸当量，表示具有1当量羧基的线状聚合物的质量。从显影性的观点考虑，酸当量优选为2000以下，并且从在显影后抑制黑色颜料向基板附着的观点考虑，酸当量优选为200以上。该酸当量更优选为400～900，并进一步优选为500～800。另外，酸当量的测定，通过使用平沼产业(株)制造的平沼自动滴定装置(COM-555)，并且使用0.1mol/L的氢氧化钠由电位差滴定法来测定。
共聚(甲基)丙烯酸苄酯而得的碱可溶性高分子，优选通过在使用丙酮、甲乙酮、异丙醇等溶剂稀释上述各种单体混合物的溶液中，适量添加过氧化苯甲酰、偶氮二异丁腈等自由基聚合引发剂，并加热搅拌而进行合成。也可以一边将混合物的一部分滴入至反应液中，一边进行合成。还可以在反应结束后，进一步添加溶剂，以调整至所希望的浓度。作为合成方法，除了溶液聚合以外，还可以使用本体聚合、悬浮聚合和乳液聚合。
下面，对重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子进行说明。重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子的含量为1～40质量％。从由支持层到基材的复印性以及层压性的观点考虑，为1质量％以上，并且从感光度、附着力、线宽稳定性的观点考虑，为40质量％以下。其含量优选为5～40质量％，更优选为8～20质量％，并进一步优选为8～15质量％。此外，其重均分子量，从颜料的分散稳定性观点考虑，优选为50000以下，并且从维持适当的碱显影性和附着力的观点考虑，为3000以上。重均分子量更优选为5000以上30000以下，并进一步优选为10000以上30000以下。其分子量可以通过和上述同样的测定方法求出。
重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子，其羧基量以酸当量计优选为200～2000。所谓酸当量，表示具有1当量羧基的线状聚合物的质量。从显影性的观点考虑，酸当量优选为2000以下，并且从在显影后抑制黑色颜料向基板附着的观点考虑，酸当量优选为200以上。该酸当量更优选为300～900，并进一步优选为400～800。其酸当量可以通过和上述同样的测定方法求出。
重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子，可以列举，将选自(甲基)丙烯酸烷基酯，例如，(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯；侧链上具有羟基的(甲基)丙烯酸酯，例如，(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯；具有脂环式侧链的(甲基)丙烯酸酯，例如，(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯；其它，例如，(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、苯乙烯中的一种以上化合物和具有羧酸的化合物，例如(甲基)丙烯酸共聚而得的碱可溶性高分子。从用作黑色矩阵时截面形状的观点考虑，优选苯乙烯和甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸共聚而得的分子量为10000～30000的高分子。
上述式(I)所表示的碱可溶性高分子：上述选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～16:1。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，该质量比为1:5以上，从对支持层的涂布性、复印性的观点考虑，为16:1以下。
该质量比优选为1:5～5:1。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，优选为1:5以上。从对支持层的涂布性、复印性的观点考虑，更优选为5:1以下。进一步优选为1:3～3:1。
上述式(I)所表示的碱可溶性高分子：上述重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～16:1。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，该质量比为1:5以上，从对支持层的涂布性、复印性的观点考虑，为16:1以下。
该质量比优选为1:5～5:1。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，优选为1:5以上。从对支持层的涂布性、复印性的观点考虑，更优选为5:1以下。进一步优选为1:3～3:1。
上述式(I)所表示的碱可溶性高分子：重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子(质量比)＝1:5～16:1。该质量比优选为1:3～5:1。从感光度、附着力、线宽再现性的观点考虑，优选为1:3以上。从对支持层的涂布性、复印性的观点考虑，优选为5:1以下。更优选为1:1～3:1。
在感光性树脂组合物中，除了该选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子以外，从耐热性、黑色矩阵的截面形状、耐化学试剂性、着色颜料的分散性等考虑，还可以并用其它碱可溶性高分子。作为其它碱可溶性高分子，可以列举使多元酸酐和羧甲基纤维素、羧乙基纤维素、羧丙基纤维素、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基纤维素的羟基反应而得到的纤维素树脂、酚醛清漆树脂等。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中含有3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物。从显影性的观点考虑，为3质量％以上，并且从附着力的观点考虑，为25质量％以下。当其为25质量％以下时，可以确保合适的显影时间，并且确保足够稳定的附着力。其含量更优选为5～20质量％，并进一步优选为5～15质量％。
作为具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，优选含有下述式(III)所表示的化合物。从附着力的观点考虑，以感光性树脂组合物中固体成分全体为基准的情况下，其含量优选为2质量％以上，并且从复印性的观点考虑，优选为20质量％以下。
[化学式6]
Figure G2007800090843D00141
(式(III)中，R3，R4和R5，各自相互独立地表示H或CH3基团。R6为2价的连接基团，其表示选自碳原子数为2～8的亚烷基、碳原子数为3～10的亚环烷基，以及碳原子数为6～10的亚苯基所组成的组中的一种基团。)
作为上述式(III)所表示的化合物，可以列举琥珀酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、间苯二甲酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、对苯二甲酸改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等。从附着力的观点考虑，优选琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯。
作为上述式(III)所表示的化合物以外的具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，例如，可以列举在双酚A的两端分别加成平均2摩尔的环氧丙烷和平均6摩尔的环氧乙烷的聚亚烷基二醇的二甲基丙烯酸酯、在双酚A的两端分别加成平均5摩尔的环氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化学工业(株)制NK酯BPE-500)、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-环己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-二(对羟基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧化丙基三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧化乙基三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、双酚A二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯，以及β-羟基丙基-β’-(丙烯酰氧基)丙基邻苯二甲酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚亚烷基二醇(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯。从附着力的观点考虑，优选季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯，进一步优选和上述式(III)化合物组合使用。
进一步，例如，可以列举在(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯上加成1～3摩尔环氧乙烷的化合物和六氢化邻苯二甲酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯上加成1～3摩尔环氧乙烷的化合物和琥珀酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯上加成1～3摩尔环氧乙烷的化合物和间苯二甲酸的半酯化合物、在(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯上加成1～3摩尔环氧乙烷的化合物和对苯二甲酸的半酯化合物。
进一步，例如，可以列举使二异氰酸酯化合物，例如，六亚甲基二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯或2，2，4-三甲基六亚甲基二异氰酸酯与一分子中具有羟基和(甲基)丙烯酸基的化合物，例如，丙烯酸2-羟基丙酯、低聚丙二醇单甲基丙烯酸酯反应而得到的尿烷化合物等。具体而言，可以列举使六亚甲基二异氰酸酯和低聚丙二醇单甲基丙烯酸酯(日本油脂(株)制，BLEMMER PP1000)反应而得到的化合物。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中含有0.1～20质量％光聚合引发剂。从感光度、附着力的观点考虑，为0.1质量％以上，并且从线宽再现性的观点考虑，为20质量％以下。其含量更优选为1～10质量％，并进一步优选为1～5质量％。
作为光聚合引发剂，优选为肟酯化合物。具体而言，肟酯类，例如，可以给出1-苯基-1，2-丙二酮-2-O-苯甲酰肟、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟，或日本特表2004-534797号公报中所记载的化合物。其中，优选下述式(IV)所表示的化合物。
[化学式7]
Figure G2007800090843D00171
上述式(IV)所表示的化合物的具体例为1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-单肟-O-乙酸酯(Ciba Specialty Chemicals制IRGACURE OXE-02)。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中可以组合使用上述式(IV)以外的光聚合引发剂、增感剂、链转移剂等。
作为上述式(IV)以外的光聚合引发剂，例如，可以列举以下物质。可以列举，噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4，5-三芳基咪唑二聚物类，例如，2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4，5-二-(间甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(对甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物。并且，可以列举对氨基苯基酮类，例如，对氨基二苯甲酮、对丁基氨基二苯甲酮、对二甲基氨基苯乙酮、对二甲基氨基二苯甲酮、p，p’-二(乙基氨基)二苯甲酮、p，p’-二(二甲基氨基)二苯甲酮[米氏酮]、p，p’-二(二乙基氨基)二苯甲酮、p，p’-二(二丁基氨基)二苯甲酮。此外，可以列举醌类，例如，2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌；芳香族酮类，例如，二苯甲酮、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚等苯偶姻醚类；吖啶化合物，例如，9-苯基吖啶；三嗪系化合物，例如，2，4，6-三氯-均三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-(对甲苯基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-胡椒基-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-苯乙烯基-均三嗪、2-(萘-1-基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基-萘-1-基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基(4’-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪。其它，可以列举苯偶酰二甲基缩酮、苯偶酰二乙基缩酮，2-苄基-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-1-丁酮、二(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦氧化物、2-甲基-2-吗啉基-1-(4-(甲基硫代苯基)-1-丙酮等公知的各种化合物。
此外，作为增感剂，例如，可以列举N-芳基甘氨酸、巯基三唑衍生物、巯基四唑衍生物、巯基噻二唑衍生物，另外，作为链转移剂，例如可列举出己二硫醇、癸二硫醇、二巯基丙酸1，4-丁二醇酯、二巯基乙酸1，4-丁二醇酯、二巯基乙酸乙二醇酯、二巯基丙酸乙二醇酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基丙酸酯、三羟甲基丙烷三(3-巯基丁酸酯)、季戊四醇四巯基乙酸酯、季戊四醇四巯基丙酸酯、三巯基丙酸三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯、1，4-二甲基巯基苯、2，4，6-三巯基-均三嗪、2-(N，N-二丁基氨基)-4，6-二巯基-均三嗪等多官能硫醇等公知的各种化合物。
本发明感光性树脂层压体，在感光性树脂组合物中含有40～70质量％着色颜料。从遮光性的观点考虑，为40质量％以上，并且从复印性、黑色矩阵的附着力、线宽稳定性、形状的观点考虑，为70质量％以下。其含量优选为45～65质量％，并进一步优选为50～65质量％。
作为上述着色颜料，有偶氮系、酞菁系、靛蓝系、蒽醌系、苝系、喹吖酮系、次甲基·偶氮次甲基系、异吲哚酮类等有机颜料，炭黑类、钛黑、钛酸氮化物、黑色低价氧化钛、石墨粉末、铁黑、氧化铜等无机颜料，并且也可以含有多种颜料。在这些颜料中，也可以进行用于提高在感光性树脂组合物中的分散性或提高电阻值的表面处理。
作为有机颜料，例如，可以列举在颜料索引(C.I.；TheSociety of Dyers and Colourists社发行)中，分类为颜料(Pigment)的化合物，具体而言，可以列举具有下述颜料索引(C.I.)序号的物质。以下进行列举。
C.I.颜料红9、C.I.颜料红97、C.I.颜料红105、C.I.颜料红122、C.I.颜料红123、C.I.颜料红144、C.I.颜料红149、C.I.颜料红166、C.I.颜料红168、C.I.颜料红176、C.I.颜料红177、C.I.颜料红180、C.I.颜料红192、C.I.颜料红215、C.I.颜料红216、C.I.颜料红224、C.I.颜料红242、C.I.颜料红254、C.I.颜料红264、C.I.颜料红265。
以及，C.I.颜料橙13、C.I.颜料橙31、C.I.颜料橙36、C.I.颜料橙38、C.I.颜料橙40、C.I.颜料橙42、C.I.颜料橙43、C.I.颜料橙51、C.I.颜料橙55、C.I.颜料橙59、C.I.颜料橙61、C.I.颜料橙64、C.I.颜料橙65、C.I.颜料橙71、C.I.颜料橙73。
以及，C.I.颜料黄1、C.I.颜料黄3、C.I.颜料黄12、C.I.颜料黄13、C.I.颜料黄14、C.I.颜料黄15、C.I.颜料黄16、C.I.颜料黄17、C.I.颜料黄20、C.I.颜料黄24、C.I.颜料黄31、C.I.颜料黄53、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄86、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄94、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄117、C.I.颜料黄125、C.I.颜料黄128、C.I.颜料黄137、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄147、C.I.颜料黄148、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄153、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄166、C.I.颜料黄173。
以及，C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料蓝15、C.I.颜料蓝15：3、C.I.颜料蓝15：4、C.I.颜料蓝15：6、C.I.颜料蓝60、C.I.颜料紫1、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫23、C.I.颜料紫29、C.I.颜料紫32、C.I.颜料紫36、C.I.颜料紫38、C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25、C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7。
作为染料，例如，可以列举品红、酞菁绿、金胺碱、chalcoxygreen S(カルコキシドグリ—ンS)、副品红、结晶紫、甲基橙、尼罗河蓝2B、维多利亚蓝、孔雀绿(保土谷化学(株)制アイゼン(注册商标)MALACHITE GREEN)、碱性蓝20、钻石绿(保土谷化学(株)制アイゼン(注册商标)DIAMONDGREEN GH)等。
本发明感光性树脂层压体，在着色颜料为黑色颜料时，可用作黑色矩阵形成材料。作为黑色颜料，可以列举上述所列的着色物质中为黑色的物质。即，作为有机颜料，可以列举C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7等，作为无机颜料，可以列举炭黑类、钛黑、钛酸氮化物、黑色低价氧化钛、石墨粉末、铁黑、氧化铜等。另外，还可以使用Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si和Al等各种金属氧化物、复合氧化物、金属硫化物、金属硫酸盐或金属碳酸盐等无机颜料。从对遮光性以及作为黑色矩阵的感光度、分辨率、附着力影响的观点考虑，优选炭黑。从黑色矩阵的绝缘性的观点考虑，优选钛黑。
作为优选的炭黑，可以使用下面所举炭黑的至少一种。
例如，作为三菱化学社制造的炭黑，可以列举炭黑#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、DiablackA、Diablack N220M、Diablack N234、Diablack I、Diablack LI、Diablack II、Diablack N339、Diablack SH、Diablack SHA、Diablack LH、Diablack H、Diablack HA、Diablack SF、DiablackN550M、Diablack E、Diablack G、Diablack R、Diablack N760M、Diablack LP。
作为CANCARB Ltd.制造的炭黑，可以列举thermax N990、N991、N907、N908。
作为Asahi Carbon Co，Ltd.制造的炭黑，可以列举旭#80、旭#70、旭#70L、旭F-200、旭#66、旭#66HN、旭#60H、旭#60U、旭#60、旭#55、旭#50H、旭#51、旭#50U、旭#50、旭#35、旭#15。
作为德固赛(Degussa)公司制造的炭黑，可以列举ColorBlack Fw200、ColorBlack Fw2、ColorBlack Fw2V、ColorBlackFw1、ColorBlack Fw18、ColorBlack S170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V。
作为卡博特公司(Cabot Corporation)制造的炭黑，可以列举包含以Regal(注册商标)、Black Pearls(注册商标)、Elftex(注册商标)、Monarch(注册商标)、Mogul(注册商标)、以及Vulcan(注册商标)的商标名进行销售的炭黑的{例如BlackPearls(注册商标)2000、Black Pearls(注册商标)1400、BlackPearls(注册商标)1300、Black Pearls(注册商标)1100、BlackPearls(注册商标)1000、Black Pearls(注册商标)900、BlackPearls(注册商标)880、Black Pearls(注册商标)800、Black Pearls(注册商标)700、B lack Pearls(注册商标)L、Elftex(注册商标)8、Monarch(注册商标)1400、Monarch(注册商标)1300、Monarch(注册商标)1100、Monarch(注册商标)1000、Monarch(注册商标)900、Monarch(注册商标)880、Monarch(注册商标)800、Monarch(注册商标)700、Mogul(注册商标)L、Regal(注册商标)330、Regal(注册商标)400、Vulcan(注册商标)P}。
作为哥伦比亚化学公司(Colombian Chemical Corporation)制造的炭黑，可以列举Raven780、Raven890、Raven1020、Raven1040、Raven1255、Raven1500、Raven5000、Raven5250。
在感光性树脂组合物中，可以含有分散剂等。如后所述的感光性树脂层压体，可以通过将感光性树脂组合物涂布在支持层上而制造，也可以通过分散剂等将黑色颜料预先分散在溶剂中，由此将其加入并形成感光性树脂组合物，并将其涂布在支持层上而形成感光性树脂层。
作为分散剂，例如，可以列举聚氨酯、聚丙烯酸酯等羧酸酯、不饱和聚酰胺、多元羧酸(部分)胺盐、多元羧酸铵盐、多元羧酸烷基胺盐、聚硅氧烷、含羟基多元羧酸酯、或它们的改性物、聚(低级亚烷基亚胺)与具有游离羧酸基的聚酯反应所形成的酰胺或其盐。此外，可以利用日本特开2005-25169号公报中所记载的具有碱基性官能团的高分子分散剂。并且，具体而言，可以利用Byk Chemie制造的Disperbyk160、Disperbyk161、Disperbyk162、Disperbyk163、Disperbyk164、Disperbyk166，Zeneca公司制造的SOLSPERSE20000、SOLSPERSE24000、SOLSPERSE27000、SOLSPERSE28000、SOLSPERSE32500。本发明中使用的碱可溶性高分子、上述(甲基)丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子以及其它碱可溶性高分子也具有作为颜料分散剂的功能。在含有分散剂时的含量优选为0.1～15质量％。从颜料的分散稳定性观点考虑，优选为0.1％以上，并且从附着力的观点考虑，优选为15质量％以下。更优选为1～10质量％。
进一步，多元羧酸型高分子活性剂、多磺酸型高分子活性剂等阴离子性活性剂，聚氧化乙烯、聚氧乙烯嵌段聚合物等非离子类活性剂等，也可以和前述分散剂一起用作分散助剂。
此外，黑色颜料，特别是炭黑，从分散性、绝缘性等考虑，可以使用树脂涂覆表面，或者使用树脂或低分子化合物进行修饰。作为表面修饰中所用的树脂，可以给出聚碳化二亚胺、环氧树脂等具有可以和炭黑表面的羧基反应的官能团的高分子。同样，作为低分子化合物，例如，可以列举取代苯重氮化合物、取代烯丙基重氮化合物。此外，作为使用树脂进行涂覆、修饰的方法，可以使用日本特开2004-219978号公报、日本特开2004-217885号公报、日本特开2004-360723号公报、日本特开2003-201381号公报、日本特开2004-292672号公报、日本特开2004-29745号公报、日本特开2005-93965号公报、日本特开2004-4762号公报、美国专利5554739号、美国专利5922118号中所记载的分散剂、方法等。
在感光性树脂组合物中，还可以含有通过光照射而显色的显色系染料。作为所用的显色系染料，例如有隐色染料或荧烷染料和卤素化合物的组合。显色系染料可以根据所希望的OD值、彩色像素的色纯度而配合适当的量。
作为上述隐色染料，例如，可以列举三(4-二甲基氨基-2-甲基苯基)甲烷[隐色结晶紫]等。
作为上述卤素化合物，可以列举溴戊烷、溴异戊烷、溴代异丁烯、二溴乙烷、二苯基甲基溴、二溴甲基苯、二溴甲烷、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、三(2，3-二溴丙基)磷酸酯、三氯乙酰胺、碘戊烷、碘异丁烷、1，1，1-三氯-2，2-二(对氯苯基)乙烷、六氯乙烷、三嗪化合物等。
作为上述三嗪化合物，可以列举2，4，6-三(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-均三嗪。
在这种显色系染料中，三溴甲基苯基砜和隐色染料的组合以及三嗪化合物和隐色染料的组合是有用的。
在感光性树脂组合物中，为了提高热稳定性、保存稳定性，可以含有自由基阻聚剂。作为这种自由基阻聚剂，例如，可以列举对甲氧基苯酚、氢醌、邻苯三酚、萘胺、叔丁基儿茶酚、氯化亚铜、2，6-二叔丁基-对甲酚、2，2’-亚甲基二(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、2，2’-亚甲基二(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、三乙二醇-二-[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸酯](Ciba Specialty Chemicals制IRGANOX245)，二苯亚硝胺等。从兼顾感光度降低小和保存稳定性良好的观点考虑，优选IRGANOX245。
在感光性树脂组合物中，可以根据需要含有增塑剂。作为这种增塑剂，可以列举邻苯二甲酸酯类，例如，邻苯二甲酸二乙酯、对甲苯磺酰胺、聚丙二醇、聚乙二醇单烷基醚、聚氧化烯改性双酚A衍生物，例如，双酚A的环氧乙烷加成物或环氧丙烷加成物。在含有增塑剂时的优选量为0.1～5质量％。从感光性树脂层的挠性以及在层压后进行切断时抑制芯片飞溅或破坏等的观点考虑，优选为0.1质量％以上，并且从附着力的观点考虑，优选为5质量％以下。
在感光性树脂组合物中，可以含有硅烷偶联剂。作为硅烷偶联剂，可以给出在分子内具有乙烯基、环氧基、苯乙烯基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、脲基、氯丙基、巯基、硫醚基、异氰酸酯基、咪唑基等极性基团和烷氧基甲硅烷基的化合物等。具体而言，可以列举信越有机硅(株)制造的KBM-1003、KBE-1003、KBM-403、KBE-403、KBM-502、KBE-502、KBM-503、KBE-503、KBM-603、KBE-603、KBM-903、KBE-903、KBE-585、KBM-802、KBE-846、KBE-9007等，或日本特开2004-280057号公报中所记载的咪唑硅烷化合物等。其配合量，可以考虑附着力效果和显影后基板上的残渣附着等而适当选择，优选为0.01～1质量％的范围。
本发明感光性树脂层压体，可以通过将由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层涂布在支持层上而制作。作为此处所用的支持层，优选为透射活性光的透明物质。作为透射活性光的支持层，可以列举聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二氯乙烯共聚物薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纤维素衍生物薄膜、三乙酰基纤维素薄膜、聚丙烯薄膜等。作为这些薄膜，根据需要也可以使用拉伸的薄膜。
此外，在支持层上进行涂布时，可以通过添加适当溶剂而调整至最适合涂布的状态。作为溶剂，例如，可以列举乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、2-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、丙酮、甲乙酮、二乙基酮、甲基异丁酮、乙基异丁酮、碳酸甲酯、碳酸乙酯、碳酸丙酯、碳酸丁酯、苯、甲苯、二甲苯、环己酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、二乙二醇、丙三醇。从毒性、在支持层上涂布时的干燥性的观点考虑，优选为甲乙酮或甲基异丁酮，并且从着色颜料特别是黑色颜料的分散稳定性以及本发明中使用的上述式(I)所表示的碱可溶性高分子的溶解性的观点考虑，优选为丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)。为了兼顾前述性能，也可以将甲乙酮或甲基异丁酮等和PGMEA以适当的比例混合使用。例如，可以将预先分散了黑色颜料的PGMEA、预先溶解了上述式(I)碱可溶性高分子的PGMEA，分别和上述选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子以及重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子、具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物、光聚合引发剂、其它各种添加物进行混合，并用甲乙酮或PGMEA等溶剂适当稀释，调制成对支持层的涂布性干燥性良好的感光性树脂组合物溶液。
此外，上述支持层的雾度优选为5.0以下。更优选为2.0以下，再优选为1.0以下。此处所谓的雾度(Haze)，是表示浊度的值，其可以由透射灯照射的试料中的全透射率T和在试料中漫射并散射的光的透射率D，并作为雾度值H＝D/T×100求出。这是由JIS-K-7105规定的，并且可以很容易地通过市售的浊度计进行测定。支持层厚度薄的情况，在图像形成性、经济性方面是有利的，但由于需要维持强度，因此通常为10～100μm。
本发明感光性树脂层压体，也可以根据需要在感光性树脂层的与支持层相反一侧的表面上层压保护层。并优选保护层和感光性树脂层的粘合力比支持层和感光性树脂层的粘合力充分地小，以能够容易地剥离。作为这种保护层，例如，可以列举聚乙烯薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、聚丙烯薄膜、拉伸聚丙烯薄膜(例如，王子制纸(株)制造的E-200C，E-200A等)、脱模处理的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜等。保护层的优选厚度为15～50μm。从表面平滑性的观点考虑，优选为15μm以上，并且从和感光性树脂层的层压性、卷绕性的观点考虑，优选为50μm以下。
本发明感光性树脂层压体，大致可以通过下述方法制作。作为感光性树脂组合物，将碱可溶性高分子、具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物、光聚合引发剂、着色颜料等和适量的溶剂一起混合，使粘度为1～几十cps，制作感光性树脂组合物溶液。在形成支持层的厚度为20μm的透明聚酯薄膜上涂布上述感光性树脂组合物溶液并干燥，形成感光性树脂层。涂布是根据涂布面积和涂布速度等使用装置进行涂布。作为涂布装置，可以列举用于小面积的装置，刮涂器、棒涂器、照相凹版涂布器。如果是密封式模口方式，可以列举毛细管涂布器、提高上升涂布器(raising and rising coater)、狭缝模口涂布器、模口涂布机(lip coater)，如果是开放式的话，可以列举点涂机(commacoater)、照相凹版涂布器。干燥温度可以根据溶剂适当选择。优选使溶剂充分干燥的温度以上，并优选在可以确保支持层尺寸稳定性的温度以下进行干燥。优选为60～120℃。干燥时间要长于可以充分干燥溶剂的程度以上，并且优选以可以使溶剂从涂布面上均匀蒸发程度的速度进行干燥。优选为能够确保支持层的尺寸稳定性的程度，并进一步优选为不会显著损害操作性的程度以下。如果是小面积的话，干燥装置可以使用浇铸法或热风循环式干燥炉。在通过几米以上的干燥腔而进行干燥时，可以将热风吹至涂布面和支持层，并使支持层通过加热的辊的上面，由此使其干燥。热风喷嘴，有喷射型、正压空气浮动型、负压空气浮动型、负压喷嘴+辊型、冲孔型、平行流型等。然后，贴合形成保护层的聚乙烯薄膜并层压。从黑色矩阵的遮光性和涂布时的膜厚精度考虑，感光性树脂层的厚度优选为0.3μm以上。此外，从用于滤色器时的平坦性考虑，优选为4.5μm以下。在使用树脂黑色矩阵制作滤色器时，如果黑色矩阵的高度高，则滤色器表面的凹凸扰乱了液晶的取向，因此需要设置称作为外涂层(overcoat layer)的平坦化膜，并且为了使表面平坦，还需要进行研磨。由于能够减小对液晶取向的影响，使外涂层变薄，并且使滤色器全体的厚度变薄，因此黑色矩阵的高度优选为4.5μm以下。感光性树脂层的厚度，更优选为0.3～2μm，并且再优选为0.3～0.8μm。
本发明所记载的黑色矩阵可以使用上述感光性树脂层压体并通过大致如下的方法形成。首先，剥离保护层后，将上述感光性树脂层压体层压(热压合)在玻璃基板上。这时，优选预热玻璃基板。从层压性以及抑制层压时进入的空气以确保足够的附着力的观点考虑，玻璃基板的预热温度优选为100℃以上，从支持层的耐热性的观点考虑，优选为150℃以下。并更优选为110℃以上140℃以下。
接着，通过掩模由活性光进行图像曝光。在提高曝光量进行曝光时，可以在曝光前剥离支持层。其中，在剥离支持层进行曝光时，优选通过适当调整引发剂的配合量或本发明中所含的上述式(I)所表示的化合物的配合量等，而设计为高感光度。支持层对于感光度的影响大，并且和通过支持层进行曝光的情况相比，优选设计为非常高的感光度。即，优选通过带有黑色矩阵的基板的制造方法制造黑色矩阵，该制造方法特征在于，依次进行将在本发明(1)～(7)所记载的感光性树脂层压体中含有8～20质量％光聚合引发剂的感光性树脂层压体层压在基板上的工序、剥离支持层的工序、曝光工序和显影工序。作为基板，优选透明基板，例如玻璃基板。在前述制造方法中，由于在工序中避免了曝光部分贴合在支持层上并从基材上剥离下来的复印性问题，因此可以降低感光性树脂组合物中上述选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子以及重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子的配合比率，并且增大上述式(I)所表示的化合物的配合量。这从感光度的观点考虑，是优选的。然而，即使是前述制造方法，为了将未曝光部分牢固地粘合在支持层上，选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子以及重均分子量为3000～50000的丙烯酸类碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子的配合比率也为1质量％以上，并且从感光度的观点考虑，为40质量％以下。优选为1～15质量％，更优选为1～10质量％，再优选为1～5质量％。此外，同样地，为了将未曝光部分牢固地粘合在支持层上，上述式(I)所表示的化合物的配合量为40质量％以下，并且从感光度的观点考虑，为3质量％以上。优选为10～40质量％，更优选为15～40质量％，并再优选为20～40质量％。
其次，在感光性树脂层上具有支持层时，根据需要将其除去，接着使用碱水溶液使未曝光部分的感光性树脂层显影并除去。作为碱水溶液，使用碳酸钠水溶液、碳酸钾水溶液、氢氧化钾水溶液、碳酸氢钠和碳酸钠的混合水溶液、四甲基氢氧化铵等有机胺水溶液等。这些碱水溶液根据感光性树脂层的特性进行选择。一般使用0.1～3质量％的碳酸钠水溶液、0.03～0.1质量％的氢氧化钾水溶液。根据需要，为了将未显影并残留的光聚合性树脂层除去，还可以在其它显影液中再次进行显影。所谓其它显影液，可以是和最初显影感光性树脂层时所用显影液的碱性不同的碱水溶液，也可以是酸性显影液，还可以是含有有机溶剂的显影液，并且可以根据显影液适当选择感光性树脂层的组成。此外，未显影并残留的未曝光部分的感光性树脂层、着色颜料、黑色颜料，可以通过高压水洗等方法物理除去。0.2MPa以上的水洗压力是有效的。
本发明滤色器，可以通过在形成黑色矩阵后，在该带有黑色矩阵的玻璃基板的至少未由黑色矩阵覆盖部分的一部分上，通过本发明的感光性树脂层压体、感热性或感光性的彩色油墨，形成红·蓝·绿的彩色像素，由此制作。
黑色矩阵的形状通常是围住彩色像素的格子状。并且，格子各边的图案宽度通常为5～50μm，格子的点间隔通常为30～500μm。
红·蓝·绿的彩色像素，可以通过使用本发明感光性树脂层压体、液状抗蚀剂等彩色抗蚀剂的光刻进行制作，或通过使用彩色油墨的喷墨法、印刷法等进行制作，并且可以使用各种方法。所谓喷墨法，是以在玻璃基板上所形成的黑色矩阵作为浇口，并使用油墨喷射方式注入彩色油墨的方法。从无需必须要有高价掩模的曝光工序，无需显影工序，即使是凹凸也可以形成像素图案，以及提高成本率等方面考虑，由于喷墨法能够以低成本简单地形成像素图案，因此优选。由于不拘于光刻也能够固化，因此感热性好，并且由于可以通过全面曝光而固化，因此感光性也好。作为感热性或感光性的彩色油墨，可以使用公知材料。此外，在本发明中，可以使用含有作为着色物质而举例的颜料和染料、具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物、和热或光聚合性引发剂，并且通过溶剂适当调整了粘度的组合物。例如，可以使用日本特开2004-213033号公报实施例1中所记载的着色油墨等。此外，黑色矩阵优选为抗彩色油墨性的。由于该性质，在油墨的投放精度问题上，附着在黑色矩阵上的彩色油墨可以通过滑落至浇口而填满彩色像素用的空间。
在本发明黑色矩阵的制造方法中，使用层压在透明支持层上的感光性树脂层压体。与将感光性树脂组合物直接涂布在玻璃基板上并干燥，然后通过光掩模进行曝光并显影的制造方法相比，该制造方法在不使用干燥工序，在涂布至玻璃时不会产生膜厚不均，并且由于透明支持层防止了光聚合性树脂组合物和光掩模的接触因此不易污染光掩模等方面，是优选的方法。
进一步，由于通过透明的支持层进行曝光，防止了感光性树脂层和氧气直接接触，因此可以得到非常高的感光度。与专利文献1、本申请说明书比较例8等中公开的直接将感光性树脂组合物涂布在玻璃基板上并干燥的方法相比，该方法显示出在感光度方面是有用的。
作为使用感光性树脂层压体制作黑色矩阵的方法，以往已知有在玻璃基板上形成厚度约2μm的彩色像素后，将黑色的感光性树脂层压体层压在带有彩色像素的玻璃基板上，并从玻璃基板一侧进行曝光的方法(参照日本特许3409925号公报)。在按照该顺序形成黑色矩阵时，由于仅在原有像素之间形成黑色矩阵，因此具有可以省略将彩色像素和黑色矩阵的位置调整的优点。然而，在这种方法中，为了在彩色像素间填入感光性树脂层，需要形成一种在具有70～100μm以上厚度的支持层上层压热塑性树脂层和中间层，并进一步层压感光性树脂层的复杂的层结构。为了填入性，设置了热塑性树脂层；为了在剥离变厚的支持层和/或热塑性树脂层后进行曝光时，防止感光性树脂层和氧气的接触，设置了中间层。如果使用本发明的感光性树脂层压体，则由于线宽再现性、附着力优异，因此可以提前形成黑色矩阵，由此，可以使用简化了层结构，并且支持层也可以使用20μm以下的曝光波长的吸收散射少的材料。通过使用高品位的支持层，线宽稳定性、图案形状、直线性等进一步提高。
实施例
以下基于实施例说明本发明。
[合成例1]
首先，按照日本特开2001-354735号公报中所记载的方法，合成上述式(I)所表示的化合物1。
即，在500ml四口烧瓶中，加入235g双酚芴型环氧树脂(环氧当量235)、110mg四甲基氯化铵、100mg2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚和72.0g丙烯酸。一边以25ml/分钟的速度向其中吹入空气，一边加热至90～100℃进行溶解。接着，在保持溶液白浊的状态下慢慢升温，并加热至120℃使其完全溶解。此时，溶液逐渐变得透明粘稠，原样继续搅拌。其间，持续加热搅拌，直至测定酸值为不到1.0mgKOH/g。酸值达到目标值需要12小时。然后，冷却至室温，得到无色透明的固体状的下述式(V)所表示的双酚芴型环氧丙烯酸酯。
[化学式8]
Figure G2007800090843D00331
接着，在307.0g如此得到的上述双酚芴型环氧丙烯酸酯中，加入600g丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)并溶解。然后，混合80.5g二苯甲酮四羧酸二酐和1g溴化四乙基铵，慢慢升温，使其在110～115℃下反应4时间。在确认酸酐基消失后，混合38.0g1，2，3，6-四氢化邻苯二甲酸酐，使其在90℃下反应6时间，得到相当于上述式(I)的化合物1。酸酐基的消失由IR光谱进行确认。
此处，化合物1相当于，在上述式(I)所表示的化合物中，X为上述式(II)所表示的基团，Y为从1，2，3，6-四氢化邻苯二甲酸酐中除去酸酐基(-CO-O-CO-)的残基，Z为从3，3′，4，4′-二苯甲酮四羧酸二酐中除去酸酐的残基，同时Y/Z的摩尔比为50.0/50.0的化合物。
将该化合物1作为碱可溶性高分子，并调整至PGMEA中固体成分浓度为40质量％，将其用于以下感光性树脂组合物溶液的制作。
[实施例1～9]
<感光性树脂组合物溶液的制作>
以表1中所示比例混合感光性树脂组合物的各成分，得到以甲乙酮为溶剂，并且固体成分量为10质量％的感光性树脂组合物溶液。另外，在表1中，以简称(A-1～F-1)表示的构成感光性树脂组合物的成分如下所示。
A-1：在合成例1中合成的化合物1的PGMEA溶液(固体成分浓度为40质量％)
A-2：甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸的共聚物的甲乙酮溶液(质量比为85/15，重均分子量为30000，固体成分浓度为40质量％)
A-3：苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸的共聚物的甲乙酮溶液(质量比为25/50/25，重均分子量为55000，固体成分浓度为40质量％)。
A-4：苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸的共聚物的甲乙酮溶液(质量比为25/50/25，重均分子量为20000，固体成分浓度为40质量％)。
B-1：季戊四醇四丙烯酸酯
B-2：琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯(东亚合成社制ARONIX TO-756)
C-1：1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-单肟-O-乙酸酯(Ciba SpecialtyChemicals制IRGACURE OXE-02)
D-1：炭黑
<感光性树脂层压体的制作>
使用棒式涂布器将前述感光性树脂组合物均匀涂布在厚度为20μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯制造的支持层上，并在95℃的干燥机中干燥3分钟。接着，将厚度为20μm的拉伸聚丙烯制保护层粘合在感光性树脂层上，得到实施例1～9的感光性树脂层压体。
此外，在涂布感光性树脂组合物后，观察有无不均匀，并如下评价对支持层的涂布性。
○：没有涂布不均匀，均匀
×：有涂布不均匀，不均匀
<黑色矩阵的形成>
剥下上述实施例1～9的感光性树脂层压体的保护层，将其层压在玻璃基板上。在将感光性树脂层压体层压在10cm见方的基板上时，需要约5秒钟。然后，通过线宽：间隔宽为1：9的矩阵图案的玻璃掩模，并使用超高压汞灯(ORCMANUFACTURING CO.，LTD.制HMW-801)以40mJ/cm2进行曝光。这时，将支持层和玻璃掩模的距离设定为100μm。剥离支持层后，在23℃下喷射0.05质量％的氢氧化钾水溶液，溶解除去未曝光部分的光聚合性树脂层，并显影。这时的喷射时间，是从玻璃基板上刚好除去未曝光部分的光聚合性树脂层所需时间(最小显影时间)的1.5倍。然后，在240℃下进行60分钟的后烘焙(post bake)，形成黑色矩阵。
此外，在上述黑色矩阵的形成工序中，在曝光后剥离支持层时，观察感光性树脂层复印至玻璃基板的状态，如下评价对玻璃基板的复印性。在复印性评价中，在线宽：间隔宽为1:9的矩阵图案以外曝光满版图案，同时进行评价。
(对玻璃基板的复印性)
○：感光性树脂层全体复印至玻璃基板。
△：满版图案曝光部分的一部分和支持层一起剥离，但矩阵图案的复印没有问题。
△△：满版图案曝光部分的一部分和支持层一起剥离，并且矩阵图案的一部分也和支持层一起剥离。
×：不管矩阵图案还是满版图案，都和支持层一起剥离。
<黑色矩阵的评价>
(1)膜厚
对于上述玻璃基板上的黑色矩阵，使用Tencor Instruments公司制造的Alpha-Step(AS200)，测定在玻璃基板上所形成的图案高度，将其作为膜厚(μm)。
(2)遮光性
使用和上述黑色矩阵同样的方法制作满版图案，并使用GretagMacbeth公司制造的光学浓度计D200-II测定光学浓度。所谓光学浓度，是相对于某一光源光来说，以入射光强度作为I0，以透射光强度作为I时，由光学浓度＝log10(I0/I)的关系所表示的。求出光学浓度除以上述膜厚的值，将其作为遮光性。遮光性的评价按照以下等级进行。
○：3以上
△：2以上但不到3
×：不到2
(3)感光度
将感光性树脂层压体层压在玻璃基板上，使用Stouffer21段阶段式曝光表(曝光表的段数每1段对应光学浓度变化0.15的掩模)，和上述同样地进行曝光·显影，目视观察进行了后烘焙的玻璃基板，读取阶段式曝光表残留有几段。感光度的评价按照以下等级进行。
○：3段以上
△：2段以上但不到3段
×：不到2段
(4)附着力
通过线宽:间隔宽＝1:9的矩阵图案掩模，以40mJ/cm2进行曝光，以最小显影时间的1.5倍时间进行显影，形成矩阵图案。使用光学显微镜，目视观察矩阵图案是否能够形成，并以能够形成的最小矩阵图案所对应的掩模宽度(μm)作为附着力。附着力的评价按照以下等级进行。
○：不到5μm
△：5μm以上但不到10μm
×：10μm以上
(5)过显影时的线宽稳定性
将实施例2和比较例2中所用的感光性树脂层压体层压在玻璃基板上，以40mJ/cm2进行曝光，并以显影时间除以最小显影时间的值为1.1(相当于最小显影时间附近)和1.6(相当于过显影时)的方式进行显影，形成黑色矩阵。使用测长显微镜，测定与20μm掩模线宽对应的黑色矩阵的线宽。实施例10和11以及比较例8和9的结果概括于表2。实施例2的感光性树脂层压体和比较例2的感光性树脂层压体相比，可以看出其线宽变化小。
[实施例12～13]
<彩色像素的制作>
在上述实施例1中，使用D-2：C.I.颜料红254和D-3：颜料黄139代替D-1：炭黑，并和实施例1同样进行混合，制作感光性树脂组合物溶液14和15。
使用棒式涂布器，将前述感光性树脂组合物溶液14和15，均匀涂布在厚度为20μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯制的基膜上，在95℃的干燥机中干燥3分钟。接着，在所得的光聚合性树脂组合物层压体上粘合厚度为25μm的聚乙烯制保护膜，可以得到实施例12和13的感光性树脂层压体。剥下实施例12和13的感光性树脂层压体的保护膜，将其层压在玻璃基板上，然后通过线宽/间隔宽为5μm/25μm的图案的掩模，并使用超高压汞灯(ORCMANUFACTURING CO.，LTD.制HMW-801)以40mJ/cm2进行曝光。将支持薄膜剥离后，在23℃下喷射0.05质量％的氢氧化钾水溶液约30秒钟，溶解除去未曝光部分的感光性树脂层，并显影。然后，在200℃下进行15分钟的后烘焙，形成彩色像素。
[实施例14～17和比较例10]
以表1实施例14～17和比较例10中所示比例混合感光性树脂组合物的各成分，得到以甲乙酮为溶剂，并且固体成分量为10质量％的感光性树脂组合物溶液14～17和比较感光性树脂组合物溶液10。使用棒式涂布器将感光性树脂组合物溶液14～17和比较感光性树脂组合物溶液10均匀涂布在厚度为20μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯制支持层上，并在95℃的干燥机中干燥3分钟。接着，将厚度为20μm的拉伸聚丙烯制保护层粘合在感光性树脂层上，得到实施例14～17和比较例10的感光性树脂层压体。
剥下上述实施例14～17和比较例10的感光性树脂层压体的保护层，将其层压在玻璃基板上。然后，剥离支持层，通过线宽:间隔宽为1:9的矩阵图案的玻璃掩模，并使用超高压汞灯(ORC MANUFACTURING CO.，LTD.制HMW-801)以100mJ/cm2进行曝光。这时，将感光性树脂层和玻璃掩模的距离设定为100μm。接着，在23℃下喷射0.05质量％的氢氧化钾水溶液，溶解除去未曝光部分的光聚合性树脂层，并显影。这时的喷射时间，是从玻璃基板上刚好除去未曝光部分的光聚合性树脂层所需时间(最小显影时间)的1.5倍。然后，在240℃下进行60分钟的后烘焙，形成黑色矩阵。结果示于表3。
此外，由于在曝光图案之前已经剥离了支持层，因此对玻璃基板的复印性评价如下。
○：感光性树脂层全体复印至玻璃基板。
×：感光性树脂层的一部分和支持层一起剥离。
[比较例1～7]
以表1中所示比例混合比较例1～7的感光性树脂组合物的各成分，得到固体成分量为10重量％的比较感光性树脂组合物溶液1～7。和实施例同样，将该比较感光性树脂组合物溶液1～7，涂布在厚度为20μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯制基膜上，并粘合厚度为20μm的拉伸聚丙烯制保护层，制作比较例1～7的感光性树脂层压体。使用这些比较例1～7的感光性树脂层压体，和实施例同样，在玻璃基板上形成黑色矩阵。在评价中，评价和实施例相同的项目，结果示于表1。
此外，比较例4的感光性树脂组合物，在涂布于基膜上并干燥后，可以观察到涂布不均匀。并且，未曝光部分的感光性树脂层和支持层的粘着性高，曝光部分在剥离支持层时一起从基板上剥离。比较例5的感光性树脂组合物，在涂布后，产生了通过目视可明确观察到的光学浓度薄的部分，并且无法均匀涂布。
[比较例11]
使用旋涂器(混合旋涂器1H-360S)，以每分钟500转，将实施例3中制作的感光性树脂组合物溶液3旋涂在10cm的正方形玻璃基板上。涂布后，从基板中心部分向边缘部分产生了放射状的涂布不均。并且，在边缘部分也产生了约1mm左右的涂布不均，而导致基板边缘加上了边。为了在玻璃基板上层压感光性树脂层，需要进一步将其在烘箱中在80℃下干燥10分钟。
此外，和实施例3中同样实施，在尝试通过曝光显影形成黑色矩阵时，显影后，在基板上未残留有图案。
Figure G2007800090843D00401
[表2]
Figure G2007800090843D00411
[表3]
Figure G2007800090843D00412
工业实用性
本发明，可以用于液晶显示器、有机EL显示器、等离子显示器等平板显示器领域，以及上述液晶显示器或有机EL显示器所用的滤色器领域，特别适合用于液晶显示器领域。

Claims (12)

1.一种感光性树脂层压体，将至少支持层和感光性树脂层层压而成，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，所述感光性树脂组合物包含：
3～40质量％下述式(I)所示的碱可溶性高分子，
1～40质量％选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系的碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子，
3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且，
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系的碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子(质量比)＝1∶5～16∶1，
[化学式1]
式(I)中，X为下述式(II)所示的基团，Y为除去了二羧酸酐的酸酐基的残基，Z为除去了四羧酸二酐的酸酐基的残基，n为1～20的整数，下述式(II)中的R1和R2各自相互独立地表示H或CH3基团，
[化学式2]
2.根据权利要求1所述的感光性树脂层压体，其中，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，所述感光树脂组合物包含：
3～40质量％上述式(I)所示的碱可溶性高分子，
1～40质量％重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子，
3～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且，
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子(质量比)＝1∶5～16∶1。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂层压体，该感光性树脂层包含：
3～40质量％上述式(I)所示的碱可溶性高分子，
5～40质量％重均分子量为3000～50000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子，
5～25质量％具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
0.1～20质量％光聚合引发剂，
40～70质量％着色颜料，且
该式(I)所示的碱可溶性高分子：该重均分子量为3000～50000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子(质量比)＝1∶5～5∶1。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂层压体，其中，该式(I)所示的碱可溶性高分子：该选自重均分子量为3000～100000的由甲基丙烯酸苄酯或丙烯酸苄酯共聚而成的碱可溶性高分子和重均分子量为3000～50000的丙烯酸系碱可溶性高分子所组成的组中的至少一种碱可溶性高分子(质量比)＝2∶1～16∶1。
5.根据权利要求1～4任一项所述的感光性树脂层压体，其中，在感光性树脂组合物中，包含肟酯化合物作为光聚合引发剂。
6.根据权利要求1～4任一项所述的感光性树脂层压体，其中，在感光性树脂组合物中，包含下述式(III)所示的化合物作为具有烯属不饱和双键的光聚合性化合物，
[化学式3]
Figure FSB00000553537200031
式(III)中，R3、R4和R5各自相互独立地表示H或CH3基团，R6为2价的连接基团，其表示选自碳数为2～8的亚烷基、碳数为3～10的亚环烷基以及碳数为6的亚苯基所组成的组中的一种基团。
7.根据权利要求1所述的感光性树脂层压体，其中，着色颜料为黑色颜料。
8.一种带彩色像素的基板的制造方法，其至少依次包括将权利要求1～4任一项所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、曝光的工序和显影的工序。
9.一种带黑色矩阵的基板的制造方法，其至少依次包括将权利要求7所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、曝光的工序、剥离支持层的工序、显影的工序。
10.一种带黑色矩阵的基板的制造方法，其至少依次包括将权利要求7所述的感光性树脂层压体层压到基板上的工序、剥离支持层的工序、曝光的工序、显影的工序。
11.一种滤色器的制造方法，其至少依次包括使用权利要求9或10所述的方法在玻璃基板上形成黑色矩阵的工序；通过喷墨方式在该玻璃基板上的未被黑色矩阵覆盖的部分的至少一部分上印刷热敏性或感光性的彩色墨的印刷工序。
12.一种滤色器，其通过权利要求11所述的方法所制造。
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