CN101375090B - 燕尾槽密封材料以及装有燕尾槽密封材料的真空闸阀 - Google Patents

Abstract

一种燕尾槽密封件，从燕尾槽密封件的左右两边受到密封负载或推力负载时也不会转动或从燕尾槽脱落，在彼此相对的一对部件的接合处，通过装到设于任一个部件表面的燕尾槽内并与另一个部件的表面抵接来将两部件之间封固，燕尾槽密封件的截面形状包括：与燕尾槽的底面接触且左右的角部位于比燕尾槽的开口的最窄宽度稍窄的位置上的底面部；从底面部连续延伸、比底面部的角部更向宽度方向突出并与燕尾槽内侧的斜边抵接的侧面突出部；从侧面突出部连续形成、角部的位置比燕尾槽的开口侧端面的位置更靠燕尾槽底面侧且比燕尾槽的最窄部的位置更靠燕尾槽的开口侧的伸出肩部；以及从伸出肩部连续延伸、比燕尾槽的开口更向上突出且在与另一个部件的表面抵接时将两部件之间封固住的密封凸部。

Description

燕尾槽密封材料以及装有燕尾槽密封材料的真空闸阀

技术领域

本发明涉及一种燕尾槽密封件以及装有燕尾槽密封件的真空闸阀。

背景技术

作为在半导体制造装置等中使用的真空闸阀，例如已知有一种单作用型的真空闸阀。

图9是表示单作用型的真空闸阀的分解立体图。

也就是说，该真空闸阀100具有具有如下构造：阀板102在致动器104的作用力下进行单一方向的直线移动，由此将大致矩形的闸门开口部106封固住。

在这种真空闸阀100中，作为安装在阀板102外周面上的密封件，通常使用截面呈圆形的O形圈108。

此外，真空闸阀100在半导体或FPD制造装置等中有时还用于为将基板收进和送出而反复减压和向大气开放的加载锁定腔(load lock chamber)。

在此，当在真空闸阀100的阀芯关闭的状态下使加载锁定腔向大气开放时，阀芯承受1个大气压的差压而在保持关闭的状态下向着与加载锁定腔相反的方向移动。然后，当再次使加载锁定腔减压时，阀芯再次向加载锁定腔侧移动。这样，在装于加载锁定腔的真空闸阀100中，在装置的结构方面，阀芯要在水平方向上频繁移动。

例如，如图10所示，当阀板102反复向箭头方向移动时，在O形圈108上会反复地作用有密封负载和推力负载，因此，O形圈108的一部分就容易发生扭曲而发生密封不良的情况。

此外，由于截面呈圆形的O形圈108呈容易引起转动的形状，因此容易发生从密封槽112中脱落的情况。这样，对于使用了容易发生因扭曲或脱落而造成的密封不良情况的O形圈108的真空闸阀100来说，就需要频繁地进行更换O形圈108的维护工作。由于这样的维护工作要使生产流水线停止工作一段时间，因此会严重影响生产率，导致成本增加。

另一方面，在使用O形圈108的场合，当真空闸阀100随着作为被处理对象的硅晶片等的大型化而大型化时，由于需要相应地允许加工精度、组装误差，因此也必须加大O形圈108的截面形状。

因此，随着真空闸阀100的大型化，用于获得O形圈108的压缩余量的负载也变大，结果，就有必要采取提高阀箱110的刚性或为加大推压力而加大致动器104的输出等应对措施，这会成为导致成本上升的重要原因。

因此，近年来，本申请人等提供了特殊的异形密封件来代替圆形截面的O形圈。这种异形密封件就是装在燕尾槽内的燕尾槽密封件。

图11表示的是本申请人提出了专利申请的燕尾槽密封件200，这种燕尾槽密封件200为了防止脱落和转动而采用了与圆形截面的O形圈不同的异形形状(专利文献1：日本专利特开2003-14126号公报)。

这种燕尾槽密封件200的截面形状包括：配置在燕尾槽220的底面222上的平坦的底边202；从底边202的两侧向外倾斜地向上的左右斜边204、204；分别设置在左右斜边204、204的前端、在燕尾槽220的内部配置在开口224附近的左右伸出部206、206；设置在左右伸出部206、206的中央、比燕尾槽220的开口224更向上突出配置的中央凸部208；以及设置在伸出部206、206与中央凸部208之间、比伸出部206、206与中央凸部208之间的连线更向内侧凹陷的凹部210、210。

由于这种燕尾槽密封件200为对称截面，因此可对抗从两边来的推力负荷而具有防止转动的效果。

此外，在燕尾槽220内安装燕尾槽密封件200时，由于底边202部分的形状易于分清，因此燕尾槽密封件200也就不会上下搞错地安装到燕尾槽220中。

专利文献1：日本专利特开2003-14126号公报

但是，这种已有的燕尾槽密封件200并不能完全抑制从中央凸部208的斜向施加大的作用力时一侧的伸出部206从燕尾槽220的开口224中脱落的现象。

此外，在燕尾槽密封件200被过度压缩时，还会因金属彼此之间的磨擦而产生小颗粒。

还有，在截面形状为异形的燕尾槽密封件的场合，多半情况下很难装入到燕尾槽中。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种特别适用于半导体制造装置、液晶制造装置等的燕尾槽密封件，即使从燕尾槽密封件的左右两边施加密封负载或推力负载也不会发生转动或从燕尾槽中脱落的情况，且装入到燕尾槽中的安装性良好。

此外，本发明的目的还在于提供一种真空闸阀，其即使是在半导体制造装置、液晶制造装置等中使用而大型化的真空闸阀，也能用低负载来得到充分的密封力。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是为了解决如上所述的已有技术中的问题并实现如上所述的目的而开发的。

本发明的燕尾槽密封件是一种闭环形的燕尾槽密封件，在彼此相对的一对部件的接合处，通过安装到设在任一个部件的表面上的燕尾槽内并与另一个部件的表面抵接来将两部件之间封固住，其特征在于，安装在所述燕尾槽内的所述燕尾槽密封件的截面形状包括：底面部，它与所述燕尾槽的底面接触，且左右的角部位于比所述燕尾槽的开口的最窄宽度稍窄的位置上；侧面突出部，它从所述底面部连续延伸，设置成比所述底面部的角部更向宽度方向突出并与所述燕尾槽内侧的斜边抵接；伸出肩部，它从所述侧面突出部连续形成，其角部的位置比所述燕尾槽的开口侧端面的位置更靠近燕尾槽底面侧且比所述燕尾槽的最窄部的位置更靠近燕尾槽的开口侧；以及密封凸部，它从所述伸出肩部连续延伸，设置成比所述燕尾槽的开口更向上突出，且在与所述另一个部件的表面抵接时将两部件之间封固住。

这样构成，就能防止燕尾槽密封件的转动，还能防止燕尾槽密封件从燕尾槽中脱落。

此外，由于在燕尾槽密封件上设有伸出肩部，因此可使燕尾槽密封件在燕尾槽内的状态变得稳定，能得到优良的防止转动的效果。

还有，在将燕尾槽密封件装入时，由于伸出肩部与侧面突出部之间的分界部分呈凹形，因此这一侧的凹形部分会与燕尾槽的最窄部分抵接，可使燕尾槽密封件以此为基点朝着燕尾槽的底面方向旋转插入，从而无论是谁都能简易地将燕尾槽密封件装入到燕尾槽中。

此外，由于燕尾槽内侧的斜边与大致呈圆弧形状的侧面突出部大范围地抵接，因此能降低应力集中，能防止因燕尾槽密封件的异常磨损而形成的小颗粒的产生。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在将所述燕尾槽密封件的所述伸出肩部的最宽处的宽度设为W1、将所述燕尾槽的开口的最窄处的宽度设为G时，所述W1的范围为：0.75G＜W1＜G。

若将伸出肩部的最宽处的宽度设定在这样的范围内，则即使从密封凸部的斜向施加有大的作用力时，由于伸出肩部与燕尾槽的开口边缘的角部抵接，因此也能可靠地防止燕尾槽密封件在燕尾槽内转动或破坏原有姿势。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在将从所述燕尾槽的底面至所述燕尾槽的开口侧端面的距离设为H、将从所述燕尾槽的底面至所述密封凸部的最高处的距离设为H1时，所述H1的范围为：1.20H＜H1＜1.60H。

若将密封凸部的最高处设定在这样的范围内，则在密封凸部与另一个部件的表面抵接时，能得到一个部件与另一个部件之间的充分的密封性能。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在将从所述燕尾槽的底面至所述燕尾槽的开口侧端面的距离设为H、将从所述燕尾槽的底面至所述侧面突出部的靠所述燕尾槽的开口侧端面侧的基端部的距离设为H2时，所述H2的范围为：0.9H＜H2＜0.95H。

若将侧面突出部的靠燕尾槽的开口侧端面侧的基端部的位置设定在这样的范围内，则由于侧面突出部与燕尾槽内侧斜边开口的最窄处附近的内侧斜边抵接，因此不会使侧面突出部在宽度方向上过于突出。

因此，就能容易地将燕尾槽密封件装入到燕尾槽中，同时又能在安装后使燕尾槽内的燕尾槽密封件的状态变得稳定，能得到优良的防止转动的效果。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在将所述燕尾槽的开口的最窄处的宽度设为G、将所述底面部的最宽处的宽度设为W2时，所述W2的范围为：0.75G＜W2＜G。

若将底面部的最宽处的宽度设定在这样的范围内，则能容易地将燕尾槽密封件装入到燕尾槽中，同时又能将燕尾槽密封件的底面以稳定的状态配置在燕尾槽的底面上，从而发挥稳定的密封性能。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在所述底面部上设有凹部。

这样构成，在对一个部件与另一个部件之间进行封固时，可使凹部充分变形，从而能以低负载来获得密封力。

此外，本发明的燕尾槽密封件的特征在于，在从所述密封凸部的最高处向所述底面部方向向下作垂线时，所述燕尾槽密封件相对于所述垂线呈线对称的形状。

这样构成，就能充分地克服来自左右两边的转动。

此外，本发明的真空闸阀的特征在于，所述的燕尾槽密封件安装在阀芯上。

这样构成，就能防止燕尾槽密封件的转动，装入到燕尾槽中的安装性也良好，又能防止金属接触、产生小颗粒，还能减少因密封不良而要进行的维护。

因此，能有效地用于加载锁定腔。此外，还能提高晶片等的生产率。

发明效果

本发明的燕尾槽密封件以及装有燕尾槽密封件的真空闸阀特别适用于半导体制造装置、液晶制造装置等，即使从燕尾槽密封件的左右两边施加了密封负载或推力负载时，也不会发生转动或从燕尾槽中脱落，能得到装入到燕尾槽中的良好的安装性。

此外，采用这种燕尾槽密封件的真空闸阀能有效地适用于反复进行减压和向大气开放的加载锁定室的加载锁定腔。

附图说明

图1是表示本发明一实施例的燕尾槽密封件10的图，图1(a)是俯视图，图1(b)是侧视图，图1(c)是仰视图，图1(d)是沿图1(a)的X-X线剖切的剖视图。

图2是表示本发明一实施例的燕尾槽密封件10的装上状态的剖视图。

图3是表示具有本发明一实施例的燕尾槽密封件10的真空闸阀80的概况的示意图。

图4是表示将本实施例的密封件装入到燕尾槽内的顺序的示意图。

图5是表示本实施例的密封件固定时的变形状态的概略剖视图。

图6是表示将本实施例的燕尾槽密封件与已有技术例的密封件作对比，示意地表示其装上状态和压缩状态的图。

图7是表示将本实施例的燕尾槽密封件与已有技术例的密封件作对比，表示其压缩余量与压缩负载之间的关系的曲线图。

图8是表示本申请的发明的燕尾槽密封件的另一实施例的概略剖视图。

图9是以已有技术的燕尾槽中装上密封部件的例子来表示的真空闸阀的分解立体图。

图10是表示在阀芯上装有O形圈时作用在密封件上的力的已有技术例的剖视图。

图11是在日本专利特开2003-14126号公报中所揭示的燕尾槽密封件的剖视图。

(符号说明)

10燕尾槽密封件

12底面部

13a侧面部

13b侧面部

14a角部

14b角部

16a侧面突出部

16b侧面突出部

18伸出肩部

20a角部

20b角部

22密封凸部

23凹部

24a凹部

24b凹部

26a抵接部

26b抵接部

28a凹部

28b凹部

30a凹部

30b凹部

60燕尾槽

62底面

64开口

66a角部

66b角部

68a角部

68b角部

70a斜边

70b斜边

72最窄部的位置

74开口侧端面

80真空闸阀

85一个部件

90另一个部件

H从燕尾槽的底面至燕尾槽的开口侧端面的距离

H1从燕尾槽的底面至密封凸部的最高处的距离

H2从燕尾槽的底面至侧面突出部的、燕尾槽的开口侧端面侧的基端部的距离

H3燕尾槽的最窄部的位置

W1燕尾槽密封件的伸出肩部的最宽处的宽度

W2底面部的最宽处的宽度

G燕尾槽的开口的最窄处的宽度

t压缩余量

100真空闸阀

102阀板

104致动器

106阀门开口部

108O形圈

110阀箱

112密材槽

200燕尾槽密封件

202底边

204斜边

206伸出部

208中央凸部

210凹部

222底面

224开口

300密封件

具体实施方式

以下，根据附图来详细说明本发明的实施方式(实施例)。

图1是表示本发明一实施例的燕尾槽密封件10的图，图1(a)是俯视图，图1(b)是侧视图，图1(c)是仰视图，图1(d)是沿图1(a)的X-X线剖切的剖视图。

图2是表示本发明一实施例的燕尾槽密封件10的装上状态的剖视图，图3是表示具有本发明一实施例的燕尾槽密封件10的真空闸阀80的概况的示意图。

如图1(a)～图1(c)所示，本发明的燕尾槽密封件10是闭环形的密封件，其截面形状如图1(d)所示，呈由多个凸部和凹部构成的形状。

此外，如图2所示，燕尾槽密封件10安装在形成有闭环形燕尾槽60的一个部件(例如，相当于阀板)85与另一个部件(例如，相当于阀箱)90之间的封固处。

一个部件85的表面上所形成的燕尾槽60具有在部件85的表面附近成为最窄处的开口64，从开口64的端缘至燕尾槽60的底面60处形成锥形扩大的梯形，并具有一对斜边70a、70b和平坦的底面62。

此外，在燕尾槽60的开口64边缘的角部68a、68b以及底面62侧的角部66a、66b处设有大的半径的圆弧。

另一方面，燕尾槽密封件10首先设有底面部12，该底面部12与燕尾槽60的底面62接触，且左、右的角部14a、14b位于比燕尾槽60的开口64的最窄宽度稍窄的位置上。另外，在底面部12上也可设有凹部23。若设有凹部23，则如后所述，在对一个部件与另一个部件之间进行封固时，与未设有凹部23的场合相比，即使推压力要小一些也能得到同样的密封性能。

此外，还设有侧面突出部16a、16b，该侧面突出部16a、16b从底面部22连续延伸，比底面部12的角部14a、14b更向宽度方向突出，并与燕尾槽60内侧的斜边70a、70b抵接。

此外，还在侧面突出部16a、16b的上方连续设有伸出肩部18。

伸出肩部18的左、右角部20a、20b比燕尾槽60的开口64侧的端面位置更靠近燕尾槽60的底面62侧，同时又比燕尾槽60的最窄部的位置72更靠近燕尾槽60的开口64侧。即，设有使所谓的左、右角部20a、20b处于H3范围内的伸出肩部18。

此外，还设有密封凸部22，该密封凸部22从伸出肩部18连续延伸，设置成比燕尾槽60的开口64更向上方突出，并在与另一个部件90的表面抵接时将两部件之间封固住。

这样就构成了燕尾槽密封件10。

以下，对本实施例的燕尾槽密封件10的各部分的最佳设计条件进行说明。

如图2所示，在将燕尾槽密封件10的伸出肩部18的最宽处的宽度设为W1、将燕尾槽60的开口64的最窄处的宽度设为G时，W1的范围最好为：0.75G＜W1＜G。

若将伸出肩部18的最宽处的宽度设定在这样的范围内，则在从密封凸部22的斜向施加大的作用力时，由于伸出肩部18会与燕尾槽60的开口64边缘的角部68a、68b抵接，因此也能可靠地防止燕尾槽密封件10在燕尾槽60内转动或破坏原有姿势。

此外，在将从燕尾槽60的底面62至燕尾槽60的开口侧端面74的距离设为H、将从燕尾槽60的底面62至密封凸部22的最高处的距离设为H1时，H1的范围最好为：1.20H＜H1＜1.60H。

若将密封凸部22的最高处设定在这样的范围内，则在另一个部件90的表面与密封凸部22抵接时，能得到充分的、一个部件85与另一个部件90之间的密封性能。

此外，在将从燕尾槽60的底面62至燕尾槽60的开口侧端面74的距离设为H、将从燕尾槽60的底面62至侧面突出部16a、16b的燕尾槽60的开口侧端面74侧的基端部的距离设为H2时，H2的范围最好为0.9H＜H2＜0.95H。

若将侧面突出部16a、16b的燕尾槽60的开口侧端面74侧的基端部的位置设定在这样的范围内，则燕尾槽60的内侧斜边开口的最窄处附近的斜边70a、70b会与侧面突出部16a、16b抵接，因此不会使侧面突出部16a、16b在宽度方向上过于突出。

因此，能将燕尾槽密封件10容易地装入到燕尾槽60中，同时又能在装上后使燕尾槽60内的燕尾槽密封件10的状态变得稳定，能得到优良的防止转动的效果。

此外，在将燕尾槽60的开口64的最窄处的宽度处的宽度设为G、将底面部12的最宽处的宽度设为W2时，W2的范围最好为0.75G＜W2＜G。

若将底面部12的最宽处的宽度设定在这样的范围内，则能容易地将燕尾槽密封件10装入到燕尾槽60中，同时又能将燕尾槽密封件10的底面以稳定的状态配置在燕尾槽60的底面上，可发挥稳定的密封性能。

由此，最好将各部分的尺寸设计在上述范围内。

这种燕尾槽密封件10由整体可弹性变形的橡胶材料形成。

作为橡胶材料，例如有硬度为60-70HA左右的氟橡胶、硅橡胶、EPDM类橡胶等，特别是在用于半导体制造装置或液晶制造装置的真空闸阀等的场合，由于多半情况下内部为等离子环境，所以最好是耐等离子性优良的氟橡胶。

如图3所示，若将这种燕尾槽密封件10设置在例如真空闸阀80的反复进行减压和向大气开放的加载锁定室的加载锁定腔中，则即使从燕尾槽密封件10的左右两边施加密封负载或推力负载也不会发生转动或从燕尾槽60中脱落，从而可得到在燕尾槽60内的良好的安装性。

以下，参照图4来说明这种燕尾槽密封件10在燕尾槽60内的安装过程。

另外，图4(a)～图4(c)中的箭头表示力的作用方向。

首先，如图4(a)所示，从燕尾槽密封件10的底面部12插入到燕尾槽60内。

接着，如图4(b)所示，在燕尾槽60内，燕尾槽密封件10的一个侧面突出部16a与伸出肩部18的角部20a之间的凹部24a与燕尾槽60的角部68a抵接，燕尾槽密封件10倾斜。

在此状态下，若将燕尾槽密封件10继续推入，则燕尾槽密封件10会以凹部24a为基点向燕尾槽60底面方向旋转插入，因此，如图4(c)所示，侧面突出部16b会完全通过燕尾槽60的开口边缘的角部68b，从而配置在燕尾槽60的底面62上。此时，只需稍稍压缩侧面突出部16b的附近即可将燕尾槽密封件10收容在燕尾槽60的内部。

此时，由于在底面部12上具有凹部23，使得燕尾槽密封件10容易变形，因此，无需大的作用力就能将燕尾槽密封件10装入到燕尾槽60内。

若从此状态将凹部23推入到燕尾槽60的底面62上，则就能将燕尾槽密封件10完全安装到燕尾槽60内。

此外，由于燕尾槽密封件10的侧面突出部16a、16b的抵接部26a、26b与燕尾槽60的斜边70a、70b抵接，因此在图4(a)的状态下，燕尾槽密封件10不能沿燕尾槽60的宽度方向移动，而且，由于燕尾槽60的开口边缘狭窄，因此不会向外脱落。此外，由于侧面突出部16a、16b的开口侧的曲面即抵接部26a、26b与燕尾槽60的斜边70a、70b抵接，因此燕尾槽密封件10也不会向上脱落。

下面，参照图5(a)、5(b)来说明对安装在一个部件85上的燕尾槽密封件10进行固定时的情况。

如图5(a)所示，燕尾槽密封件10安装在一个部件85内，另一个部件90接近该部件85，与密封凸部22的前端部抵接。

若在此状态下推入，则如图5(b)所示，将密封凸部22推入燕尾槽60内而将底面部12的凹部23压垮。

在图5(b)的密封状态下，推压力大致垂直地对密封面进行作用，由此，能可靠地防止燕尾槽密封件10的转动。

这样，在本实施例中，通过安装有燕尾槽密封件10的一个部件85与另一个部件90的紧固，先使密封凸部22变形，使底面部12的凹部充分变形，因此，能以低负载来得到密封力。

此外，即使是在这样紧固的状态下，侧面突出部16a、16b的抵接部26a、26b也会以与燕尾槽60的斜边70a、70b完全抵接的形态变形，因此能可靠地防止转动和破坏原有姿势。

此外，即使在图5(b)的状态下继续受到意想不到的大的压缩负载，由于伸出肩部18的角部20a、20b设定在燕尾槽60角部68a、68b的最窄部的位置72的上方，因此，仅是该角部20a、20b碰及到燕尾槽的角部68a、68b，能抑制进一步的压缩变形，能可靠地防止燕尾槽密封件10在燕尾槽60内转动或破坏原有姿势。

图6(a-1)至图6(b-2)所示的图是对比表示已有技术例的密封件300与本实施例的燕尾槽密封件10的安装性、压缩性的剖视图。

可通过使另一个部件90向一个部件85的方向移动来压缩这种图6所示的本实施例的燕尾槽密封件10和已有技术的密封件300的压缩余量t。

此外，像图7所示的曲线图那样，对比本实施例与已有技术例来表示压缩余量与压缩负载之间的关系。

由图7的曲线图可以明确，使本实施例的燕尾槽密封件10的作压缩余量t的变形的负载比已有技术的密封件300要小，故更加优良。因此，显而易见，在压缩时能用低负载来得到密封性。

通常，如上所述，密封部分通过一定量以上的应力作用在燕尾槽密封件10、密封件300上并使之产生规定的压缩余量t的变形来发挥密封功能，但在已有技术例的密封件300的场合，随着压缩余量t的变大，其所需的压缩负载也正比增大。

对此，在本实施例的燕尾槽密封件10的场合，与已有技术例一样，随着压缩余量t的变大，其所需的压缩负载也正比增大，但可以确认，紧固负载比已有技术的密封部件300要小。

因此，根据本实施例，即使真空闸阀伴随着晶片等被处理对象的大型化而大型化了，对于安装在其上的燕尾槽密封件10，也无需像已有技术的密封件300那样大大增加压缩负荷。

以上，就本发明的燕尾槽密封件10的实施例作了说明，但本发明并不限于上述实施例。

例如，在本实施例的燕尾槽密封件10中，底面部12的侧面部13a、13b垂直于燕尾槽60的底面62，但如图8(a)所示，也可在侧面部13a、13b上设置凹部28a、28b，或又如图8(b)所示，可在伸出肩部18的直线部分上设置凹部30a、30b。

再如图8(c)所示，也可在侧面部13a、13b和伸出肩部18的直线部分双方上设置凹部28a、28b、30a、30b。

也就是说，若燕尾槽密封件10的底面部12的最宽处的宽度(从角部14a至角部14b的距离)W2比燕尾槽的开口的最窄处的宽度G窄，且伸出肩部18的角部20a、20b处在最窄部的位置H3的范围内，则燕尾槽密封件10的形状可适当改变。

此外，本实施例中在大致中央处设有密封凸部22，但密封凸部22可在伸出肩部18的最宽处的宽度W1内移动，且其形状也可以是梯形、矩形等任一种形状。

此外，在上述实施例中，特别以用于半导体制造装置、液晶制造装置的单作用型的真空闸阀为例来作说明，但使用之处并不限于此，也可应用于所谓的双作用型的真空闸阀。此外，特别是适于在半导体或FPD制造装置中用作反复减压和向大气开放的加载锁定腔的真空闸阀。也就是说，如果是形成有燕尾槽60的密封槽的话，则无论是什么样的部件都能有效地适用。

Claims (8)

1.一种闭环形燕尾槽密封件，其在彼此相对的一对部件的接合处，通过安装到设在所述一对部件中的任一个部件的表面上的燕尾槽内并与所述一对部件中的另一个部件的表面抵接来将所述一对部件之间封固住，其特征在于，

安装在所述燕尾槽内的所述燕尾槽密封件的截面形状包括：

底面部，该底面部与所述燕尾槽的底面接触，且该底面部的左右的角部位于比所述燕尾槽的开口的最窄宽度稍窄的位置上；

侧面突出部，该侧面突出部从所述底面部连续延伸，设置成比所述底面部的角部更向宽度方向突出并与所述燕尾槽内侧的斜边抵接；

伸出肩部，该伸出肩部从所述侧面突出部连续形成，所述伸出肩部的角部的位置比所述燕尾槽的开口侧端面的位置更靠近燕尾槽底面侧且比所述燕尾槽的最窄部的位置更靠近燕尾槽的开口侧；以及

密封凸部，该密封凸部从所述伸出肩部连续延伸，设置成比所述燕尾槽的开口更向上突出，且在与所述另一个部件的表面抵接时将所述一对部件之间封固住。

2.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在将所述燕尾槽密封件的两个所述伸出肩部之间的最宽处的宽度设为W1、将所述燕尾槽的开口的最窄处的宽度设为G时，所述W1的范围为：0.75G＜W1＜G。

3.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在将从所述燕尾槽的底面至所述燕尾槽的开口侧端面的距离设为H、将从所述燕尾槽的底面至所述密封凸部的最高处的距离设为H1时，所述H1的范围为：1.20H＜H1＜1.60H。

4.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在将从所述燕尾槽的底面至所述燕尾槽的开口侧端面的距离设为H、将从所述燕尾槽的底面至所述侧面突出部的靠所述燕尾槽的开口侧端面侧的基端部的距离设为H2时，所述H2的范围为：0.9H＜H2＜0.95H。

5.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在将所述燕尾槽的开口的最窄处的宽度设为G、将所述底面部的最宽处的宽度设为W2时，所述W2的范围为：0.75G＜W2＜G。

6.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在所述底面部上设有凹部。

7.如权利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在从所述密封凸部的最高处向所述底面部的方向向下作垂线时，所述燕尾槽密封件相对于所述垂线呈线对称的形状。

8.一种真空闸阀，其特征在于，在该真空闸阀的阀芯上安装有权利要求1至7中任一项所述的燕尾槽密封件。

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