JP5125651B2 - チャンバ装置のシール構造及びこれを用いたチャンバ装置 - Google Patents
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Description
2 上蓋(チャンバ部品)
2a 上蓋の接合面
3 下蓋(チャンバ部品)
3a 下蓋の接合面
4 チャンバ
7 シール溝
7a シール溝のエッジ
8 シール溝の底面
9 シール溝の側壁
10 シール部材
11 基部
11a 基部の底面
11b 基部の側面
12 接触部
12a 接触部の側面
12b 接触部のフラット部
Dg 溝深さ
Hs シール部材の全高
Wc 接触部の幅
Wg 溝幅
Ws 基部の幅
δ シール部材の突出量
Claims (3)
- 一対の開閉可能なチャンバ部品を重ね合わせてそれらのチャンバ部品間にチャンバを形成するチャンバ装置に適用され、一方のチャンバ部品のシール溝に取り付けられたシール部材を他方のチャンバ部品と接触させて前記チャンバをシールするチャンバ装置のシール構造であって、
前記シール溝は、前記一方のチャンバ部品の前記他方のチャンバ部品に対する接合面と平行な底面と、該底面に対して直交しかつ互いに平行な一対の側壁とを備え、
前記シール部材は、前記シール溝内に圧縮された状態で嵌め合わされる基部と、前記基部よりも断面上の幅が小さく、かつ前記シール溝から突出して前記他方のチャンバ部品と接触する接触部とを有し、
前記基部は、前記シール溝の底面と接触する概略平坦な底面と、前記シール溝の側壁と接触する側面とを組み合わせた断面形状を有し、無負荷状態で前記側面が外側に向かって丸みを帯びて膨らみ、
前記基部が前記シール溝に嵌め合わされているときの当該基部と前記シール溝の側壁との接触範囲が該シール溝の開口端のエッジよりも溝内に後退した範囲に制限され、
前記他方のチャンバ部品と接触すべき前記接触部の先端部には、前記他方のチャンバ部品が離れている状態で概略平坦形状となるフラット部が設けられ、
前記接触部は、アール部を介して前記基部となだらかに接合されており、
前記接触部の前記シール溝からの突出量は、前記一対のチャンバ部品を重ね合わせてそれらのチャンバ部品間に前記チャンバを形成した場合に前記一対のチャンバ部品同士の接触が防止されるように設定され、
前記シール部材の断面形状は当該シール部材の全周に亘って一定である、
ことを特徴とするチャンバ装置のシール構造。 - 前記シール部材がフッ素ゴムにて形成されていることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 請求項1又は2に記載のシール構造が、前記チャンバ部品としての上蓋と下蓋との間の接合部分に設けられていることを特徴とするチャンバ装置。
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