WO2007088806A1

WO2007088806A1 - あり溝用シール材およびあり溝用シール材が装着された真空用ゲート弁

Info

Publication number: WO2007088806A1
Application number: PCT/JP2007/051370
Authority: WO
Inventors: Kazuaki Tsuji
Original assignee: Nippon Valqua Industries, Ltd.
Priority date: 2006-01-31
Filing date: 2007-01-29
Publication date: 2007-08-09
Also published as: TW200728639A; US20090026717A1; CN101375090A; KR20080085059A; JP4663538B2; CN101375090B; TWI365262B; JP2007205384A; KR100950408B1; US8181972B2

Abstract

　特に、真空用ゲート弁に装着されるあり溝用シール材において、あり溝用シール材の左右双方からシール荷重やスラスト荷重が加えられても転動やあり溝からの脱落を生ずることのないあり溝用シール材を提供する。　互いに対面する一対の部材の接合箇所において、いずれか一方の部材の表面に設けられたあり溝に装着され、他方の部材の表面と当接することによって両部材間を封止する閉環状のあり溝用シール材であって、前記あり溝内に装着される前記あり溝用シール材の断面形状において、前記あり溝の底面と接触するとともに、前記あり溝の開口の最狭幅よりも若干幅狭に左右の隅角部が位置する底面部と、前記底面部から連続するとともに、前記底面部の隅角部よりも幅方向に突出し、前記あり溝の内側の斜辺と当接するように設けられた側面突出部と、前記側面突出部から連続して形成された張出肩部であって、前記張出肩部の隅角部が、前記あり溝の開口側端面の位置よりもあり溝底面側に位置するとともに、前記あり溝の最狭部の位置よりもあり溝の開口側に位置する張出肩部と、前記張出肩部から連続するとともに、前記あり溝の開口よりも上方に突出して設置され、前記他方の部材の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部と、を備える。

Description

あり溝用シール材およびあり溝用シール材が装着された真空用ゲート弁技術分野

[0001] 本発明は、あり溝用シール材およびあり溝用シール材が装着された真空用ゲート弁に関する。

背景技術

[0002] 半導体製造装置などで使用されて、る真空用ゲート弁として、例えば、ワンァクションタイプの真空用ゲート弁が知られて、る。

[0003] 図 9は、ワンアクションタイプの真空用ゲート弁の分解斜視図を示したものである。

[0004] すなわち、この真空用ゲート弁 100は、弁板 102がァクチユエータ 104から加えられる力により単一方向の直線移動を行い、これにより略矩形状のゲート開口部 106を封止する構造を有している。

[0005] このような真空用ゲート弁 100では、一般に、弁板 102の外周面に装着されるシール材として、断面が円形状である Oリング 108が使用されている。

[0006] なお真空用ゲート弁 100は、半導体あるいは FPD製造装置などにおいて、基板を内外に受け渡すために減圧と大気開放が繰り返される、ロードロックチャンバに使用される場合がある。

[0007] ここで、真空用ゲート弁 100の弁体が閉じた状態でロードロックチャンバが大気に開放されると、弁体は 1気圧の差圧を受け、閉じられた状態のままロードロックチャンバと反対方向に移動する。そして、ロードロックチャンバが再び減圧されると、弁体はロードロツクチャンバ側へ再び移動する。このように、ロードロックチャンバに取付けられた真空用ゲート弁 100では、装置の構成上、弁体が頻繁に水平方向に移動することになる。

[0008] 例えば、図 10に示したように、弁板 102の矢印方向への移動が繰り返して行なわれると、 Oリング 108にシール荷重とスラスト荷重の合力が繰り返して作用するため、 Oリング 108の一部にねじれが発生し、シール不良が発生し易い。

[0009] また、断面円形の Oリング 108は転動を起こし易い形状であるため、シール溝 112 力の脱落が発生し易い。このように、ねじれや脱落によるシール不良を発生し易い

Oリング 108を使用した真空用ゲート弁 100では、 Oリング 108を交換するためのメンテナンス作業が頻繁に必要になる。このようなメンテナンス作業は、生産ラインを一時的に停止することになるため、生産性に大きな損失を来たし、コスト高を招来する。

[0010] 一方、 Oリング 108を使用した場合、被処理体であるシリコンウェハなどの大型化に伴い真空用ゲート弁 100が大型化されると、それに伴って、加工精度、組立誤差を許容する必要があるため、 Oリング 108の断面形状も大きくしなければならない。

[0011] したがって、真空用ゲート弁 100が大型化されると、 Oリング 108に対するつぶし代を得るための荷重も大きくなり、結果として、バルブケーシング 110の剛性を上げたり、押付力を増すためにァクチユエータ 104の出力を上げたりするなどの対応が必要で、コストアップの大きな要因となっている。

[0012] そこで、近年では、本出願人などにより、断面円形の Oリングに代えて、特殊な異形品のシール材が提供され、その異形品のシール材が、あり溝内に装着されるあり溝用シール材が提供されて、る。

[0013] 図 11は、本出願人によって出願されたあり溝用シール材 200を示したものであり、このあり溝用シール材 200では、脱落と転動を防止するために断面円形の Oリングではな、異形状が採用されて、る（特許文献 1 (特開 2003 - 14126号公報)）。

[0014] このようなあり溝用シール材 200は、断面形状が、あり溝 220の底面 222に配置される平坦な底辺 202と、底辺 202の両側力斜め外向きに立ち上がる左右の斜辺 20 4、 204と、左右の斜辺 204、 204のそれぞれ先端に設けられ、あり溝 220の内部で開口 224近くに配置される左右の張出部 206、 206と、左右の張出部 206、 206の中央に設けられ、あり溝 220の開口 224よりも上方に突出して配置される中央凸部 2 08と、張出咅 206、 206と中央凸咅 208との間に設けられ、張出咅 206、 206と中央凸部 208との接線よりも内側に凹んだ凹部 210、 210からなる形状を有している。

[0015] このようなあり溝用シール材 200は、対称断面のため、双方力ものスラスト荷重に対して転動防止効果がある。

[0016] また、あり溝 220にあり溝用シール材 200を装着する際においても、底辺 202部分が分力り易い形状であるため、天地を誤ってあり溝 220へ装着するおそれがない。特許文献 1 :特開 2003— 14126号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0017] しかしながら、このような従来のあり溝用シール材 200では、中央凸部 208の斜め方向から強い力が加わると一方の張出部 206があり溝 220の開口 224より脱落する現象を完全に抑えることはできな力つた。

[0018] また、あり溝用シール材 200が過度に圧縮されてしまうと、メタル同士のこすれによつて、パーティクルが発生するおそれもある。

[0019] さらに、断面形状が異形状であるあり溝用シール材の場合には、あり溝内への装着性が困難になる場合が多い。

[0020] 本発明は、このような現状に鑑み、特に半導体製造装置、液晶製造装置などに好適に使用されるあり溝用シール材において、あり溝用シール材の左右双方からシール荷重ゃスラスト荷重が加えられても転動やあり溝からの脱落を生ずることがなぐあり溝内への装着性が良好なあり溝用シール材を提供することを目的とする。

[0021] さらに、半導体製造装置、液晶製造装置などに使用される大型化された真空用ゲート弁であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができる真空用ゲート弁を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0022] 本発明は、前述したような従来技術における課題および目的を達成するために発明されたものであって、

本発明のあり溝用シール材は、

互いに対面する一対の部材の接合箇所にぉ、て、 V、ずれか一方の部材の表面に設けられたあり溝に装着され、他方の部材の表面と当接することによって両部材間を封止する閉環状のあり溝用シール材であって、

前記あり溝内に装着される前記あり溝用シール材の断面形状において、前記あり溝の底面と接触するとともに、前記あり溝の開口の最狭幅よりも若干幅狭に左右の隅角部が位置する底面部と、

前記底面部力連続するとともに、前記底面部の隅角部よりも幅方向に突出し、前記あり溝の内側の斜辺と当接するように設けられた側面突出部と、

前記側面突出部力連続して形成された張出肩部であって、

前記張出肩部の隅角部が、

前記あり溝の開口側端面の位置よりもあり溝底面側に位置するとともに、前記あり溝の最狭部の位置よりもあり溝の開口側に位置する張出肩部と、

前記張出肩部力連続するとともに、前記あり溝の開口よりも上方に突出して設置され、前記他方の部材の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部とを備えることを特徴とする。

[0023] このように構成することによって、あり溝用シール材の転動を防止し、さらにあり溝よりあり溝用シール材が脱落することを防止することができる。

[0024] また、あり溝用シール材には、張出肩部が設けられているため、あり溝内でのあり溝用シール材の挙動を安定させ、高い転動防止効果を得ることができる。

[0025] さらに、あり溝用シール材を装着する際、張出肩部と側面突出部との境界部分が凹形状であるため、この一方の凹形状部分があり溝の最狭幅部分に当接し、それを基点にあり溝用シール材はあり溝の底面方向に回転するように挿入されるため、誰でも簡単にあり溝用シール材をあり溝に装着することができる。

[0026] また、あり溝の内側の斜辺と略円弧状の側面突出部が広範囲に当接するため、応力集中を低減し、あり溝用シール材の異常磨耗によるパーティクルの発生を防止することがでさる。

[0027] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記あり溝用シール材の前記張出肩部の最広箇所の幅を Wl、

前記あり溝の開口の最狭箇所の幅を Gとしたとき、

前記 W1の範囲力 0. 75G<WK G

であることを特徴とする。

[0028] このような範囲に、張出肩部の最広箇所の幅を設定すれば、シール凸部の斜め方向から強い力が加わったとしても、張出肩部があり溝の開口縁の隅部に当接し、あり溝内でのあり溝用シール材の転動や姿勢の崩れを確実に防止することができる。 [0029] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記あり溝の底面力前記あり溝の開口側端面までの距離を H、

前記あり溝の底面力前記シール凸部の最頂箇所までの距離を HIとしたとき、前記 HIの範囲が、 1. 20H<H1 < 1. 60H

であることを特徴とする。

[0030] このような範囲に、シール凸部の最頂箇所を設定すれば、他方の部材の表面とシール凸部が当接した際に、一方の部材と他方の部材間の充分なシール性能を得ることがでさる。

[0031] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記あり溝の底面力前記側面突出部の、前記あり溝の開口側端面側の基端部までの距離を H2としたとき、

前記 H2の範囲が、 0. 90H<H2< 0. 95H

であることを特徴とする。

[0032] このような範囲に、側面突出部のあり溝の開口側端面側の基端部の位置を設定すれば、あり溝の内側斜辺開口の最狭箇所付近の内側斜辺と側面突出部が当接するため、必要以上に側面突出部を幅方向に突出させることがない。

[0033] このため、あり溝にあり溝用シール材を容易に装着することができるとともに、装着後はあり溝内でのあり溝用シール材の挙動を安定させ、高い転動防止効果を得ることがでさる。

[0034] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記あり溝の開口の最狭箇所の幅を G、

前記底面部の最広箇所の幅を W2としたとき、

前記 W2の範囲力 0. 75G<W2< G

であることを特徴とする。

[0035] このような範囲に、底面部の最広箇所の幅を設定すれば、あり溝にあり溝用シール材を容易に装着できるとともに、あり溝の底面にあり溝用シール材の底面が安定した状態で配置され、安定したシール性能を発揮する。 [0036] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記底面部に凹部が設けられていることを特徴とする。

[0037] このように構成することによって、一方の部材と他方の部材間の封止の際、凹部が十分に変形されるので、低荷重でシール力を得ることができる。

[0038] また、本発明のあり溝用シール材は、

前記あり溝用シール材が、

前記シール凸部の最頂箇所から前記底面部方向へ垂線を下ろした際、前記垂線に対して線対称の形状であることを特徴とする。

[0039] このように構成することによって、左右双方力の転動に対して、充分な耐性が得られる。

[0040] また、本発明の真空用ゲート弁は、

上記のあり溝用シール材が、弁体に装着されていることを特徴とする。

[0041] このように構成することによって、あり溝用シール材の転動が防止され、あり溝への装着性も良好で、メタルタツチ、パーティクルの発生を防止することができ、さらにシール不良によるメンテナンスを少なくすることができる。

[0042] したがって、ロードロックチャンバなどに効果的に使用することができる。また、ゥェハなどの生産性を向上させることができる。

発明の効果

[0043] 本発明のあり溝用シール材およびあり溝用シール材が装着された真空用ゲート弁によれば、特に半導体製造装置、液晶製造装置などに好適に使用され、あり溝用シ一ル材の左右双方力シール荷重ゃスラスト荷重が加えられても転動やあり溝からの脱落を生ずることがなぐあり溝内への良好な装着性を得ることができる。

[0044] さらに、このようなあり溝用シール材が採用された真空用ゲート弁は、減圧と大気開放が繰り返し行われるロードロック室のロードロックチャンバに有効に適用することができる。

図面の簡単な説明

[0045] [図 1]図 1は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10を示した図であり、図 1 ( a)は平面図、図 1 (b)は側面図、図 1 (c)は底面図、図 1 (d)は図 1 (a)の X— X線による断面図である。

[図 2]図 2は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10の装着状態を示した断面図である。

[図 3]図 3は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10を備えた真空用ゲート弁 80の概略を示した概略図である。

[図 4]図 4は、本実施例によるシール材のあり溝内への装着の手順を示した概略図である。

[図 5]図 5は、本実施例によるシール材の締め付け時の変形の状態を示した概略断面図である。

[図 6]図 6は、本実施例のあり溝用シール材と従来例であるシール材とを対比して、装着状態と圧縮状態とを模式的に示した図である。

[図 7]図 7は、本実施例のあり溝用シール材と従来例であるシール材とを対比して、つぶし代と圧縮荷重との関係を、示したグラフである。

圆 8]図 8は本願発明のあり溝用シール材の他の実施例を示した概略断面図である。

[図 9]図 9は、従来のあり溝にシール部材が装着された例として示した真空用ゲート弁の分解斜視図である。

[図 10]図 10は Oリングが弁体に装着された場合にシール材に作用する力を示す従来例の断面図である。

[図 11]図 11は特開 2003— 14126号公報に開示されているあり溝用シール材の断面図である。

符号の説明

10 · · 'あり溝用シール材

12 · · •底面部

13a- •側面部

13b - •側面部

14a- •隅角部

14b - •隅角部

16a- •側面突出部 16b-•側面突出部

18·· •張出肩部

20a- •隅角部

20b- •隅角部

22·· 'シ一ノレ凸部

23·· •凹部

24a- •凹部

24b- •凹部

26a- •当接部

26b- •当接部

28a- •凹部

28b- •凹部

30a- •凹部

30b- •凹部

60·· 'あり溝

62·· •底面

64·· •開口

66a^# •隅部

66b- •隅部

68a- •隅部

68b- •隅部

70a- •斜辺

70b- ，斜辺

72·· '最狭部の位置

74·· •開口側端面

80·· •真空用ゲート弁

85·· '一方の部材

90·· '他方の部材 Η· · 'あり溝の底面力もあり溝の開口側端面までの距離

HI · 'あり溝の底面力シール凸部の最頂箇所までの距離

H2- 'あり溝の底面力も側面突出部の、あり溝の開口側端面側の基端部までの距離

Η3··あり溝の最狭部の位置

W1 · 'あり溝用シール材の張出肩部の最広箇所の幅

W2- '底面部の最広箇所の幅

G- · 'あり溝の開口の最狭箇所の幅

t—つぶし代

100···真空用ゲート弁

102···弁板

104···ァクチユエータ

106···ゲート開口部

108···Οリング

110·· 'バルブケーシング

112···シール溝

200···あり溝用シール材

202··，底辺

204·· '斜辺

206···張出部

208···中央凸部

210···凹部

220···あり溝

222…底面

224· "開口

300···シール材

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態 (実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。 [0048] 図 1は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10を示した図であり、図 1 (a) は平面図、図 1 (b)は側面図、図 1 (c)は底面図、図 1 (d)は図 1 (a)の X— X線による断面図である。

[0049] 図 2は、本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10の装着状態を示した断面図

、図 3は本発明の一実施例に係るあり溝用シール材 10を備えた真空用ゲート弁 80 の概略を示した概略図である。

[0050] 本発明のあり溝用シール材 10は、図 1 (a)から図 1 (c)に示したように、閉環状のシール材であり、断面形状は図 1 (d)に示したように、複数の凸部と凹部から成る形状を有している。

[0051] また、このあり溝用シール材 10は、図 2に示したように、閉環状のあり溝 60が形成された一方の部材 (例えば、弁板に相当） 85と、他方の部材 (例えば、バルブケーシングに相当） 90との封止箇所に装着される。

[0052] 一方の部材 85の表面に形成されたあり溝 60は、一方の部材 85の表面付近が最狭箇所となる開口 64を有し、開口 64の端縁からあり溝 60の底面 62にかけてテーパ— 状に拡がる台形状をなし、一対の斜辺 70a、 70bと平坦な底面 62を有している。

[0053] また、あり溝 60の開口 64縁の隅咅 68a、 68bと底面 62佃 Jの隅咅 66a、 66bには、大きなアールが設けられて、る。

[0054] 一方、あり溝用シール材 10は、まず、あり溝 60の底面 62と接触するとともに、あり溝 60の開口 64の最狭幅よりも若干幅狭に左右の隅角部 14a、 14bが位置する底面部 12が設けられている。なお、底面部 12には凹部 23を設けてもよい。凹部 23が設けられていれば、後述するように、一方の部材と他方の部材間の封止の際、凹部 23が設けられていない場合と比べて若干押圧力が弱くても同等のシール性能を得ることができる。

[0055] さらにこの底面部 12から連続して、底面部 12の隅角部 14a、 14bよりも幅方向に突出し、あり溝 60の内側の斜辺 70a、 70bと当接するように設けられた側面突出部 16a 、 16bが設けられている。

[0056] そして側面突出部 16a、 16bの上方には連続して張出肩部 18が設けられている。

[0057] 張出肩部 18は、左右の隅角部 20a、 20bが、あり溝 60の開口 64側端面の位置よりもあり溝 60の底面 62側に位置するとともに、あり溝 60の最狭部の位置 72よりもあり溝 60の開口 64ィ則【こ位置して!/ヽる。ヽゎゆる、 H3の範囲内【こ左右の隅角咅 20a、 20b が位置するように張出肩部 18が設けられて、る。

[0058] さらに張出肩部 18から連続して、あり溝 60の開口 64よりも上方に突出して設置され、他方の部材 90の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部 22が設けられている。

[0059] このようにして、あり溝用シール材 10が構成されている。

[0060] 以下、本実施例によるあり溝用シール材 10の各部の望ましい設計条件について説明する。

[0061] 図 2に示したように、あり溝用シール材 10は、あり溝用シール材 10の張出肩部 18 の最広箇所の幅を Wl、あり溝 60の開口 64の最狭箇所の幅を Gとしたとき、

W1の範囲力 0. 75G<WK G であることが望ましい。

[0062] このような範囲に、張出肩部 18の最広箇所の幅を設定すれば、シール凸部 22の斜め方向から強い力が加わった際、張出肩部 18があり溝 60の開口 64縁の隅部 68a 、 68bに当接し、あり溝 60内でのあり溝用シール材 10の転動や姿勢の崩れを確実に防止することができる。

[0063] また、あり溝 60の底面 62からあり溝 60の開口側端面 74までの距離を H、あり溝 60 の底面 62からシール凸部 22の最頂箇所までの距離を HIとしたとき、

HIの範囲が、 1. 20H<H1 < 1. 60H であることが望ましい。

[0064] このような範囲に、シール凸部 22の最頂箇所を設定すれば、他方の部材 90の表面とシール凸部 22が当接した際に、一方の部材 85と他方の部材 90間の充分なシール性能を得ることができる。

[0065] また、あり溝 60の底面 62からあり溝 60の開口側端面 74までの距離を H、あり溝 60 の底面 62から側面突出部 16a、 16bの、あり溝 60の開口側端面 74側の基端部までの距離を H2としたとき、

H2の範囲が、 0. 90H<H2< 0. 95H であることが望ましい。

[0066] このような範囲に、側面突出部 16a、 16bのあり溝 60の開口側端面 74側の基端部の位置を設定すれば、あり溝 60の内側斜辺開口の最狭箇所付近の斜辺 70a、 70b と側面突出部 16a、 16bが当接するため、必要以上に側面突出部 16a、 16bを幅方向に突出させることがない。

[0067] このため、あり溝 60にあり溝用シール材 10を容易に装着することができるとともに、装着後はあり溝 60内でのあり溝用シール材 10の挙動を安定させ、高い転動防止効果を得ることができる。

[0068] また、あり溝 60の開口 64の最狭箇所の幅を G、底面部 12の最広箇所の幅を W2としたとさ、

W2の範囲力 0. 75G<W2< G であることが望ましい。

[0069] このような範囲に、底面部 12の最広箇所の幅を設定すれば、あり溝 60にあり溝用シール材 10を容易に装着できるとともに、あり溝 60の底面にあり溝用シール材 10の底面が安定した状態で配置され、安定したシール性能を発揮する。

[0070] よって、上記のような範囲に各部の寸法が設計されていることが望ましい。

[0071] このようなあり溝用シール材 10は、全体が弾性変形可能なゴム材料カゝら形成されている。

[0072] ゴム材料としては、例えば、硬度 60〜70HA程度のフッ素ゴム、シリコンゴム、 EPD M系ゴムなどが挙げられるが、特に、半導体製造装置や液晶製造装置の真空用ゲート弁などに使用される場合には、内部がプラズマ環境となる場合が多いことから、耐プラズマ性に優れたフッ素ゴムが好ましい。

[0073] このようなあり溝用シール材 10を、図 3に示したように、例えば真空用ゲート弁 80の減圧と大気開放が繰り返し行われるロードロック室のロードロックチャンバに設ければ、あり溝用シール材 10の左右双方力もシール荷重ゃスラスト荷重が加えられても転動やあり溝 60からの脱落を生ずることがなぐあり溝 60内への良好な装着性を得ることがでさる。

[0074] 以下に、このようなあり溝用シール材 10のあり溝 60内への装着について、図 4を参照しながら説明する。

[0075] なお、図 4 (a)から図 4 (c)中の矢印は、力の作用する方向を示したものである。

[0076] 先ず、図 4 (a)に示したように、あり溝 60内にあり溝用シール材 10の底面部 12から挿入する。 [0077] さらに図 4 (b)に示したように、あり溝 60内にあり溝用シール材 10の一方の側面突出部 16aと張出肩部 18の隅角部 20aとの間の凹部 24aが、あり溝 60の隅部 68aに当接し、あり溝用シール材 10が傾く。

[0078] この状態で、さらにあり溝用シール材 10を押し込めば、凹部 24aを基点にあり溝用シール材 10はあり溝 60の底面方向に回転するように挿入されるため、図 4 (c)に示したように、側面突出部 16bがあり溝 60の開口縁の隅部 68bを完全に通過して、あり溝 60の底面 62に配置される。このとき、側面突出部 16bの近傍を若干圧縮するだけで、あり溝用シール材 10をあり溝 60の内方に収納することができる。

[0079] この際、底面部 12に凹部 23を有することであり溝用シール材 10の変形を容易にし、したがって大きな力を必要とせずにあり溝 60内にあり溝用シール材 10を装着することができる。

[0080] この状態から凹部 23があり溝 60の底面 62に位置するまで押し込めば、あり溝用シール材 10を完全にあり溝 60内に装着することができる。

[0081] また、あり溝用シール材 10は、側面突出部 16a、 16bの当接部 26a、 26bがあり溝 6 0の斜辺 70a、 70bと当接されるため、図 4 (c)の状態では、あり溝用シール材 10は、あり溝 60の幅方向に移動することができず、しかも、あり溝 60の開口縁が狭まっていることから、外方に脱落することもない。また、側面突出部 16a、 16bの開口側の曲面である当接部 26a、 26bがあり溝 60の斜辺 70a、 70bと当接しているため、あり溝用シール材 10が上方に脱落することもない。

[0082] 次に、一方の部材 85に装着されたあり溝用シール材 10を締め付ける場合の挙動について、図 5 (a)、図 5 (b)を参照しながら説明する。

[0083] 今、図 5 (a)に示したように、あり溝用シール材 10がー方の部材 85内に装着され、この部材 85に他方の部材 90が接近して、シール凸部 22の先端部に当接したとする

[0084] この状態で押し込まれれば、図 5 (b)に示したように、底面部 12の凹部 23を潰すようにしてシール凸部 22が、あり溝 60内に押し込まれる。

[0085] 図 5 (b)のシール状態では、押圧力がシール面に対して略垂直に作用しており、これにより、あり溝用シール材 10の転動が確実に防止されている。 [0086] このように、本実施例では、あり溝用シール材 10が装着された一方の部材 85は、他方の部材 90との締め付けにより、先にシール凸部 22が変形され、底面部 12の凹部 23が十分に変形されるので、低荷重でシール力を得ることができる。

[0087] また、このように締め付けられた状態であっても、側面突出部 16a、 16bの当接部 2 6a、 26bがあり溝 60の斜辺 70a、 70bとぴったりと当接するよう変形するので、転動や姿勢の崩れを確実に防止することができる。

[0088] さらに、図 5 (b)の状態力さらに、想定外の強い圧縮荷重を受けたとしても、張出肩部 18の隅角部 20a、 20b力あり溝 60の隅部 68a、 68bの最狭部の位置 72よりも上方に設定されているため、この隅角部 20a、 20bは、あり溝の隅部 68a、 68bにぶつけるのみで、それ以上の圧縮変形が抑制され、あり溝用シール材 10のあり溝 60内での転動や姿勢の崩れを確実に防止することができる。

[0089] 図 6 (a— 1)から図 6 (b— 2)に示した図は、従来例であるシール材 300と、本実施例によるあり溝用シール材 10との装着性、圧縮性を対比して示した断面図である。

[0090] このような図 6に示した本実施例におけるあり溝用シール材 10と従来のシール材 3 00のつぶし代 t分を、他方の部材 90を一方の部材 85方向に移動させることにより、圧縮する。

[0091] さらに、図 7に示したグラフのように、つぶし代と圧縮荷重との関係を、実施例と従来例とを対比して示した。

[0092] 図 7のグラフから明らかなように、本実施例のあり溝用シール材 10は、つぶし代 tを変形させるための荷重が従来のシール材 300に比べて小さくて良い。したがって、圧縮時に低荷重でシール性を得ることができることが明らかである。

[0093] 一般に、シール部分では、上記したように、一定以上の応力があり溝用シール材 1 0、シール材 300に作用して所定のつぶし代 tを変形させてシール機能を発揮するが、従来例であるシール材 300の場合には、つぶし代 tが大きくなるに比例して、これに必要な圧縮荷重も大きくなつて、る。

[0094] これに対して本実施例のあり溝用シール材 10の場合には、従来例と同様につぶし代 tが大きくなるに比例して、これに必要な圧縮荷重も大きくなつているが、締付荷重は、従来のシール部材 300に比べて小さ、ことが確認された。 [0095] したがって、本実施例によれば、仮に、ウェハなどの被処理体が大型化するに伴つて真空用ゲートバルブが大型化されたとしても、それに装着されるあり溝用シール材 10は、従来のシール材 300のように、圧縮荷重をそれ程大きくする必要はない。

[0096] 以上、本発明によるあり溝用シール材 10の実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。

[0097] 例えば、本実施例のあり溝用シール材 10は、底面部 12の側面部 13a、 13bがあり溝 60の底面 62に対して垂直となるようになつている力図 8 (a)に示したように、側面部 13a、 13bに凹部 28a、 28bを設けたり、また図 8 (b)に示したように、張出肩部 18 の直線部分に凹部 30a、 30bを設けてもよい。

[0098] さらに図 8 (c)に示したように側面部 13a、 13bと張出肩部 18の直線部分の両方に四咅 28a、 28b、 30a、 30bを設けても良い。

[0099] すなわち、あり溝用シール材 10の底面部 12の最広箇所の幅（隅角部 14aから隅角部 14bまでの距離) W2が、あり溝の開口の最狭箇所の幅 Gよりも幅狭であり、張出肩部 18の隅角部 20a、 20bが最狭部の位置 H3の範囲内であれば、あり溝用シール材 10の形状は適宜変更が可能である。

[0100] さらに、本実施例では略中央にシール凸部 22を設けている力これについても、張出肩部 18の最広箇所の幅 W1内で移動可能であり、さらに形状も、台形、矩形などの!、ずれの形状であっても良!、ものである。

[0101] また、上記実施例では、特に、半導体製造装置、液晶製造装置において使用されるワンアクションタイプの真空用ゲート弁を例にして説明したが、使用箇所は、これに限定されるものではなぐいわゆるツーアクションタイプの真空用ゲート弁にも適用可能である。また、特に、半導体あるいは FPD製造装置において、減圧と大気開放とが繰り返されるロードロックチャンバの真空用ゲート弁として好ましく使用することができる。つまり、あり溝 60が形成されたシール溝であれば、どのような部材にも有効に適用することができる。

Claims

請求の範囲

前記側面突出部力連続して形成された張出肩部であって、

前記張出肩部の隅角部が、

前記張出肩部力連続するとともに、前記あり溝の開口よりも上方に突出して設置され、前記他方の部材の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部とを備えることを特徴とするあり溝用シール材。

[2] 前記あり溝用シール材の前記張出肩部の最広箇所の幅を Wl、

前記あり溝の開口の最狭箇所の幅を Gとしたとき、

前記 W1の範囲力 0. 75G<WK G

であることを特徴とする請求項 1に記載のあり溝用シール材。

[3] 前記あり溝の底面力前記あり溝の開口側端面までの距離を H、

であることを特徴とする請求項 1または 2に記載のあり溝用シール材。

[4] 前記あり溝の底面力前記あり溝の開口側端面までの距離を H、

前記あり溝の底面力前記側面突出部の、前記あり溝の開口側端面側の基端部までの距離を H2としたとき、前記 H2の範囲が、 0. 90H<H2< 0. 95H

であることを特徴とする請求項 1から 3のいずれかに記載のあり溝用シール材。

[5] 前記あり溝の開口の最狭箇所の幅を G、

前記底面部の最広箇所の幅を W2としたとき、

前記 W2の範囲力 0. 75G<W2< G

であることを特徴とする請求項 1から 4のいずれかに記載のあり溝用シール材。

[6] 前記底面部に凹部が設けられていることを特徴とする請求項 1から 5のいずれかに記載のあり溝用シール材。

[7] 前記あり溝用シール材が、

前記シール凸部の最頂箇所から前記底面部方向へ垂線を下ろした際、前記垂線に対して線対称の形状であることを特徴とする請求項 1から 6のいずれかに記載のあり溝用シール材。

[8] 請求項 1から 7のいずれかに記載されたあり溝用シール材が、弁体に装着されていることを特徴とする真空用ゲート弁。