CN101334587B - 有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明提供有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用了有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少，同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。本发明涉及的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的特征在于，所述组合物含有：a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；b)1，2-醌二叠氮化合物；和c)溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定设为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
Description
技术领域
本发明涉及有机薄膜晶体管(Organic Thin Film Transistor，OTFT)用感光性树脂组合物，特别是涉及如下有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用该有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED(有机发光二极管)这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少，同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。
背景技术
最近，随着显示屏的大型化，其销售价格有持续降低的趋势，由此人们不断努力降低其成本，并且对利用有机物质的元件的开发方兴未艾。
最近，由于显示屏的低价格化，因此与利用现有的无机半导体制作出的元件相比较，对有机薄膜晶体管的开发在成本方面是有利的，同时利用有机薄膜晶体管能够赋予元件柔软性这样的优点，可以预期其在柔性显示元件的实现中将起到核心的作用。但是，在现有的200℃以上的高温工序中将有机薄膜晶体管应用于柔性显示元件制造工序时，通道部所使用的有机半导体(Organic Semicondutor)的迁移率急剧降低，出现塑料基板热变形这样的问题。
为了解决这样的问题，需要150℃以下的低温工序，但使用现有的TFT-LCD所使用的层间绝缘膜用感光性树脂组合物时，会出现一些问题。其原因是，现有的绝缘膜是基于在200℃以上的高温下进行固化的原理设计的，而当固化温度降低到150℃以下时，膜内未挥发的残留的溶剂的量增多，该残留溶剂是通过交联作用基团间的空间位阻而使固化度降低的主要因素。这样，在有机绝缘膜的固化度较低的情况下，会出现如下问题：在导电性薄膜(ITO)的蒸镀、取向膜的涂布和固化等各个阶段的热处理工序中耐热性降低，不仅如此，特别是因在后续工序中使用的溶剂的表面浸透导致溶胀(swelling)和粘结力降低这样的耐化学特性劣化。
发明内容
为了解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于提供有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物和利用了该感光性树脂组合物的图案形成方法，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用该有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少，同时因固化度高而能够确保耐热性和耐化学稳定性。
并且，本发明提供含有有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化物的有机薄膜晶体管。
为实现上述目的，本发明提供一种有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其特征在于，在有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物中含有：
a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；
b)1，2-醌二叠氮化合物；和
c)溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，并且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率设定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
优选上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物含有：
a)100重量份玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；
b)5重量份～50重量份1，2-醌二叠氮化合物；和
c)使上述a)+b)的固体组分含量达到10重量％～50重量％的溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，并且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率设定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
并且，本发明提供利用了上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的有机薄膜晶体管的图案形成方法。
并且，本发明提供含有上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化物的有机薄膜晶体管。
本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物在低温固化条件下固化度优异，特别是由于在90℃～150℃的低温工序中固化度高而具有优异的耐热性和耐化学特性，因此其作为需要低温工序的有机薄膜晶体管的层间绝缘膜是适合的，不仅如此，其还能够用作利用了该有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED用层间绝缘膜和保护膜。
具体实施方式
下面，详细说明本发明
本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的特征在于，所述组合物含有：a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；b)1，2-醌二叠氮化合物；和c)溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
在本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物中，上述a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂发挥了在显影时使图案能够容易地形成的作用。所述共聚物或树脂选自玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂和聚酰亚胺树脂之中，所述丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂和聚酰亚胺树脂可以通过公知的制造玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的共聚物或树脂的方法来制造。进一步优选丙烯酸系共聚物。
作为一个具体实例，可以以不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物以及烯烃系化合物为单体，在溶剂和聚合引发剂的存在下通过自由基反应而得到丙烯酸系共聚物。优选进一步包含含环氧基不饱和化合物作为单体。
作为上述丙烯酸系共聚物的在共聚时所使用的不饱和羧酸，可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、乙烯基乙酸或者它们的酸酐等。
并且，在本发明中作为共聚时所使用的烯烃系不饱和化合物，有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸二环戊酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯等，并可以单独使用所述化合物或者混合两种以上来使用。
并且，在本发明中作为共聚时所使用的、必要时含有的含环氧基不饱和化合物，有丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚等，并可以单独使用所述化合物或者混合两种以上来使用。
在制造丙烯酸系共聚物时，相对于所有单体，优选使用5重量％～90重量％的上述不饱和羧酸或其酸酐，进一步优选使用5重量％～40重量％的上述不饱和羧酸或其酸酐，更优选使用10重量％～30重量％的上述不饱和羧酸或其酸酐。当所述不饱和羧酸或其酸酐在所述范围内时，可以适当地维持在碱性显影液中的溶解度。
并且，相对于所有单体，优选上述烯烃系不饱和化合物为10重量％～95重量％，进一步优选使用20重量％～50重量％的上述烯烃系不饱和化合物。所述烯烃系不饱和化合物的用量在上述范围内时，保存稳定性得到提高，并且可以适当地维持在显影液中的溶解性。
并且，相对于所有单体，优选使用0重量％～70重量％的上述含环氧基不饱和化合物，进一步优选使用0重量％～60重量％的上述含环氧基不饱和化合物。所述含环氧基不饱和化合物的用量大于70重量％时，共聚物的保存稳定性会降低。
使用自由基聚合引发剂作为上述丙烯酸系共聚物的制造中使用的聚合引发剂，作为具体例，可以使用2，2’-偶氮二异丁腈、2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、1，1’-偶氮二(环己烷-1-甲腈)、二甲基-2，2’-偶氮二异丁酸酯等，作为上述溶剂，可以使用丙二醇单乙醚乙酸酯、乙氧基丙酸乙酯、乙酸丁酯(butyl acetate)、乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、环己酮、3-甲氧基丙酸乙酯或者3-乙氧基丙酸甲酯等，特别是可以使用丙二醇单乙醚、乙氧基丙酸乙酯或者乙酸丁酯。
优选本发明中使用的丙烯酸系共聚物或树脂的换算成聚苯乙烯时的重均分子量(Mw)为5000～30,000，所述重均分子量(Mw)进一步优选为5000～20,000。对于所述Mw小于5000而得到的膜来说，显影性、残膜率等降低，或者图案形状、耐热性等有劣化的倾向，当所述Mw大于30,000时，灵敏度降低，或者图案形状有劣化的倾向。
本发明的上述a)共聚物或树脂的玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度(软化温度)为90℃～140℃，优选为90℃～120℃。在所述温度小于90℃时，图案特性、残膜率等降低，特别是显示出耐热性劣化的倾向，在所述温度大于140℃时，存在固化度变差、耐化学性以及与下部膜的粘结力下降这样的问题。
本发明中使用的b)1，2-醌二叠氮化合物作为感光性化合物而使用。作为所述1，2-醌二叠氮化合物，可以使用1，2-醌二叠氮-4-磺酸酯、1，2-醌二叠氮-5-磺酸酯、或者1，2-醌二叠氮-6-磺酸酯等。
这样的醌二叠氮化合物可以通过使萘醌二叠氮磺酰卤化合物和酚化合物在弱碱下反应来制造。
作为上述酚化合物，可以使用2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，2’-二羟基二苯甲酮、4，4’-二羟基二苯甲酮、2，3，4，3’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，2’-四羟基-4’-甲基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基-3’-甲氧基二苯甲酮、2，3，4，2’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，6’-四羟基二苯甲酮、2，4，6，3’-四羟基二苯甲酮、2，4，6，4’-四羟基二苯甲酮、2，4，6，5’-四羟基二苯甲酮、3，4，5，3’-四羟基二苯甲酮、3，4，5，4’-四羟基二苯甲酮、3，4，5，5’-四羟基二苯甲酮、双(2，4-二羟基苯基)甲烷、双(对羟基苯基)甲烷、三(对羟基苯基)甲烷、1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷、双(2，3，4-三羟基苯基)甲烷、2，2-双(2，3，4-三羟基苯基)丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚或者双(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷等，并可以单独使用所述化合物或者混合两种以上来使用。
利用这样的酚化合物和萘醌二叠氮磺酰卤化合物合成醌二叠氮化合物时，酯化度优选为50％～90％。当所述酯化度在所述范围内时，残膜率良好，保存稳定性得到提高。
在100重量份上述a)共聚物或树脂中优选含有5重量份～50重量份的上述1，2-醌二叠氮化合物，进一步优选含有10重量份～40重量份的上述1，2-醌二叠氮化合物。当1，2-醌二叠氮化合物的含量小于5重量份时，曝光部和非曝光部的溶解度差变小，难以形成图案，当1，2-醌二叠氮化合物的含量大于50重量份时，短时间照射光时，未反应的1，2-醌二叠氮化合物大量残存，在作为显影液的碱性水溶液中的溶解度过度降低，存在难以显影的问题。
本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物所使用的上述c)溶剂为低沸点、高挥发性溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，并且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。所述蒸发速率是指，基于ASTM D 3539-87(1996)标准，即壳式薄膜蒸发计测定挥发性液体蒸发速率的试验方法(Test Methods for Evaporation Rates ofVolatile Liquids by Shell Thin-Film Evaporometer)来测定蒸发速率时，将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率设定为1而相对地表示所测定的溶剂的蒸发量的值。
优选上述溶剂的沸点为110℃～140℃。当所述沸点在所述范围内时，即使在低温固化条件下固化度也良好，并且耐化学性和耐热性也优异，从而能够提高有机薄膜晶体管的可靠性。
具体地说，作为上述溶剂，有丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯或丙二醇丙醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯类；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚或丙二醇丁醚等丙二醇单烷基醚类；乙酸正丁酯。这些溶剂可以单独使用或混合所述溶剂中的2种以上来使用。优选使用丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乙酸正丁酯等。
优选含有使整个有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固体组分含量[a)+b)]达到10重量％～50重量％的量的上述溶剂，进一步优选含有使所述固体组分含量达到15重量％～40重量％的量的上述溶剂。当所述整个组合物的固体组分含量小于10重量％时，涂布厚度变薄，存在涂布平整性降低这样的问题，当所述整个组合物的固体组分含量大于50重量％时，涂布厚度变厚，存在涂布时对涂布设备带来负担这样的问题。
并且，必要时，可以在本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物中添加光敏剂、表面活性剂、热阻聚剂、消泡剂等具有互溶性的添加剂，各添加剂可以分别以0.001重量％～10重量％的含量来使用。
优选含有如上所述的组分的本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物在用0.1μm～0.2μm的微孔过滤器等进行过滤后使用。
此外，本发明提供利用了上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的有机薄膜晶体管的图案形成方法和包含有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化物的有机薄膜晶体管，本发明的有机薄膜晶体管的图案形成方法为将有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物形成为有机绝缘膜或保护膜材料，再形成有机薄膜晶体管用基板的图案的方法，其特征在于，在所述方法中使用上述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
当然，应用本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物来形成显示屏的图案的方法通常是可以使用的。作为一个具体实例，利用喷雾法、辊涂法、旋转涂布法等将所述有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物涂布到有机薄膜基板表面上，通过预烘干除去溶剂，从而形成涂布膜。此时，所述预烘干优选于80℃～120℃的温度实施1分钟～15分钟。
其后，利用预先准备好的图案，将可见光线、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等照射到上述形成的涂布膜上，用显影液进行显影后，除去不需要的部分，由此形成预定图案。此时，优选固化温度为80℃～150℃。
作为上述显影液，优选使用碱性水溶液，具体地说，可以使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠等无机碱类；乙胺、正丙胺等伯胺类；二乙胺、二正丙胺等仲胺类；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺类；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺类；或四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐的水溶液等。此时，作为所述显影液，使用使碱性化合物溶解且该碱性化合物的浓度为0.1重量％～10重量％的显影液，也可以添加适量的甲醇、乙醇等这样的水溶性有机溶剂和表面活性剂。
并且，利用如上所述的显影液进行显影后，用超纯水清洗30秒～90秒，除去不需要的部分，然后进行干燥，从而形成图案，用烘箱等加热装置将图案于80℃～150℃的温度加热处理30分钟～90分钟，能够得到最终图案。
下面，为了理解本发明，给出优选的实施例，但是下述实施例只不过是例示本发明，本发明的范围并不限于下述实施例。
实施例
实施例1
(丙烯酸系共聚物的制造)
在装有冷凝管和搅拌机的烧瓶中加入10重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、600重量份四氢呋喃、30重量份甲基丙烯酸、30重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、20重量份苯乙烯和20重量份甲基丙烯酸异冰片酯，进行氮气置换后，缓慢搅拌。使上述反应溶液升温到60℃，维持该温度26小时，由此制造出含有丙烯酸系共聚物的聚合物溶液。
为了除去聚合物溶液中的未反应单体，使1000重量份上述聚合物溶液沉淀在10000重量份作为不良溶剂(Poor solvent)的正己烷(n-Hexane)中。沉淀后，利用筛网(Mesh)进行过滤(Filtering)，通过该工序，除去溶解有未反应物的不良溶剂。其后，为了除去在过滤(Filtering)工序以后还残留的包含着未反应单体的溶剂，在30℃以下进行真空干燥(VacuumDrying)以完全除去未反应单体，从而制造出丙烯酸系共聚物。上述制造的丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度为97℃。
(有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造)
用丙二醇单乙醚乙酸酯溶解100重量份上述制造的丙烯酸系共聚物、20重量份4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚-1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯，并使上述物质的混合物中的固体组分含量达到30重量％，然后利用0.2μm的微孔过滤器进行过滤，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
实施例2
在上述实施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、60重量份甲基丙烯酸异冰片酯和10重量份甲基丙烯酸二环戊酯，制造出玻璃化转变温度为117℃的丙烯酸系共聚物，并使用丙二醇单甲醚作为晶体管用感光性树脂组合物的溶剂，除此以外，利用与上述实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
实施例3
在上述实施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用25重量份甲基丙烯酸、25重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、15重量份甲基丙烯酸异冰片酯、35重量份甲基丙烯酸二环戊酯，制造出玻璃化转变温度为130℃的丙烯酸系共聚物，并使用乙酸正丁酯作为晶体管用感光性树脂组合物的溶剂，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
实施例4
在上述实施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、30重量份甲基丙烯酸异冰片酯、10重量份甲基丙烯酸二环戊酯、30重量份苯乙烯，制造出玻璃化转变温度为111℃的丙烯酸系共聚物，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
实施例5
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用玻璃化转变温度或者软化温度(熔融温度)为120℃的线型酚醛系共聚物，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
实施例6
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用玻璃化转变温度为127℃的聚酰亚胺树脂，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
比较例1
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用二乙二醇甲醚作为溶剂，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
比较例2
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用丙二醇甲醚丙酸酯作为溶剂，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
比较例3
在上述实施例1的丙烯酸系共聚物的制造中，使用30重量份甲基丙烯酸、10重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、40重量份甲基丙烯酸二环戊酯、20重量份苯乙烯，制造出玻璃化转变温度为152℃的丙烯酸系共聚物，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
比较例4
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用玻璃化转变温度或软化温度(熔融温度)为82℃的线型酚醛系共聚物，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
比较例5
在上述实施例1的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的制造中，使用玻璃化转变温度为155℃的聚酰亚胺树脂，除此以外，利用与实施例1相同的方法实施，从而制造出有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
利用上述实施例1～6和比较例1～5中制造的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，使用旋转涂布器将其涂布到裸硅晶片(Bare silicon wafer)上，然后在加热板上于90℃预烘干2分钟，从而形成厚度为3.6μm的膜。对通过这样的方法形成的膜使用预定的图案掩模(Pattern mask)，照射365nm的强度为10mW/cm2的紫外线，基准曝光量为10um1：1CD(每10um为1CD)。其后，在0.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液中于23℃显影2分钟后，利用超纯水清洗1分钟，得到图案膜，然后进行500mJ/cm2的照射以进行整片曝光(flood Exposure)，随后在对流加热炉(Convectionoven)中于150℃进行60分钟固化(Curing)后得到片膜(フイルム膜)，对所得到的片膜评价如下所述的物理性质后，其结果列于下表1。
I)耐化学性(Chemical Resistance)：将上述形成的裸硅晶片上的片膜于70℃在NMP(N-甲基吡咯烷酮)中浸渍(Dipping)5分钟后，用超纯水进行冲洗(Rinse)，利用FE-SEM考察所述片膜断面，以测定NMP处理前后的10um CD变化率。变化率为0％～20％的情况以○表示，变化率为20％～40％的情况以△为表示，变化率大于40％的情况或图案发生剥离的情况以×表示。
II)热重分析(TGA Analysis)：用刀剥下上述形成的晶片上的片膜后，得到30mg的各试样。利用TGA(热重分析设备)将所得到的试样在220℃下保持60分钟，以该条件测定失重(Weight Loss％)。此时，产生的失重小于0.5重量％的情况以○表示，产生的失重为0.5重量％～1.5重量％的情况以△表示，产生的失重为1.5重量％以上的情况以×表示。
III)厚度的变化率：再次在对流式加热炉中于150℃对上述形成的晶片上的片膜进行60分钟固化，然后，利用FE-SEM考察断面，测定厚度的变化率。变化率为0％～3％的情况以○表示，变化率为3％～10％的情况以△表示，变化率为10％以上的情况以×表示。
表1
| 分类 | 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 实施例5 | 实施例6 | 比较例1 | 比较例2 | 比较例3 | 比较例4 | 比较例5 |
| 耐化学性(％) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | × | × | × |
| 热重分析(失重(％)) | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | ○ | × | × | × | × | × |
| 二次固化后的厚度变化率(％) | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | ○ | × | × | × | × | × |
通过上述表1可知，应用由本发明制造的实施例1～6的丙烯酸系共聚物树脂、线型酚醛共聚物和聚酰亚胺树脂以及低沸点的特定溶剂而得到的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物即使在低温固化条件下，固化度也良好，对在进行后续工序时接触到的热处理工序和特定溶剂具有优异的耐热性和耐化学特性。特别是在比较例4的情况中，存在线型酚醛树脂的耐热性降低的问题，在比较例5的情况中，存在在提供的固化条件下不引发充分固化的问题。
基于以上结果可知，本发明的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物用作需要低温工序的有机薄膜晶体管的层间绝缘膜和用作利用了该有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED用保护膜时，可靠性优异。
Claims (6)
1.一种有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其特征在于，所述组合物含有：
a)100重量份的换算成聚苯乙烯时的重均分子量为5,000～30,000、且玻璃化转变温度Tg或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物，其中所述玻璃化转变温度Tg或熔融温度不等于120℃；
b)5重量份～50重量份的1,2-醌二叠氮化合物；和
c)使所述a)+b)的固体组分含量达到10重量％～50重量％的溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，基于ASTM D3539-87利用壳式薄膜蒸发计测定蒸发速率时，将乙酸正丁酯的蒸发速率设定为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
2.如权利要求1所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其特征在于，所述溶剂为选自由乙酸正丁酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇甲醚组成的组中的一种以上的溶剂。
3.一种有机薄膜晶体管的图案形成方法，其特征在于，该方法利用权利要求1或2所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物。
4.如权利要求3所述的有机薄膜晶体管的图案形成方法，其特征在于，在形成所述图案时固化温度为80℃～150℃。
5.一种有机薄膜晶体管，其特征在于，所述有机薄膜晶体管包含权利要求1或2所述的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的固化物。
6.如权利要求5所述的有机薄膜晶体管，其特征在于，所述固化物为有机薄膜晶体管的绝缘膜或保护膜。
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