CN101319849A - 连续烧成炉 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在使炉内的气氛温度保持稳定的同时，提高了控制响应性的连续烧成炉。连续烧成炉(10)具有：加热器(13)、热电偶(19)、隔焰炉板(16)、贯通孔(20)和控制器(21)。加热器(13)沿着正交方向Y排列，设置在内设滚柱(15)的炉内，该滚柱(15)成为传送路线。隔焰炉板(16)设置在炉内的滚柱(15)和加热器(13)之间。贯通孔(20)向炉内通入外气，限制沿着传送路线的传送方向的加热气体的流动。热电偶(19)沿着正交方向Y排列，配置在炉内的比隔焰炉板(16)更靠近滚柱(15)侧。控制器(21)根据热电偶(19)的检测温度来控制加热器(13)。

Description

连续烧成炉
技术领域
本发明涉及用于等离子体显示屏(PDP)等的制造工序中所用的玻璃基板的烧成工序、玻璃基板的退火处理工序等的连续烧成炉。
背景技术
连续烧成炉在炉内具有设定温度不同的多个热处理区。各热处理区沿着传送玻璃基板等处理对象物的传送路线连续地形成。传送路线由滚柱炉膛等构成。各处理对象物以预定的间隔在传送路线上被连续传送或间歇传送。各处理对象物在各热处理区得到预定的热处理。
在连续烧成炉中，因处理对象物的传送而有一定的热量从连续烧成炉被带出，从而炉内的气氛温度发生波动。另外，随着处理对象物的传送，加热气体在热处理区间流动，在各区的气氛温度发生波动。该气氛温度的波动在处理对象物开始传送后的一定期间很显著，以往是在传送处理对象物之前，先传送被称为假工件的假的处理对象物，使气氛温度稳定后再传送作为实际处理对象物的玻璃基板等。
对各热处理区进行温度控制，使区内各位置的气氛温度稳定在设定温度附近。在各热处理区设有加热器等发热部、用于对炉内进行防尘或使对炉内的热辐射均匀的隔焰炉板、和检测各区温度的热电偶等温度检测部，并根据温度检测部的检测温度对发热部的发热量进行控制，以补偿气氛温度的波动(参照例如专利文献1)。
专利文献1：特开2004-218956号公报
发明内容
发明要解决的课题
在炉内的比隔焰炉板更靠近传送路线侧，加热气体的流动剧烈而产生过度的温度波动。因而，即使检测比隔焰炉板靠近传送路线侧的温度变化来控制加热器，也难以使气氛温度保持稳定。
在炉内的比隔焰炉板更靠近加热器侧，加热气体几乎不流动，温度波动很平缓。因而，如果检测隔焰炉板表面或比隔焰炉板靠近加热器侧的温度变化来控制加热器，气氛温度可保持稳定，但是对于突发性的温度变化的控制响应性不尽人意。
例如，在连续烧成炉的宽度方向排列多个处理对象物而传送的情况下，当突发性地产生了某个处理对象物配置空缺时，炉内的气氛就会局部性地变成过热状态。因此，在该局部就需要抑制加热器的发热量，而如果根据设置在隔焰炉板表面或比隔焰炉板靠近加热器侧的热电偶的检测温度来控制加热器，加热器的控制就会滞后而处理对象物就会烧得过度。
本发明的目的在于，提供一种在使气氛温度保持稳定，并且提高了控制响应性的连续烧成炉。
用于解决课题的手段
本发明的连续烧成炉具有发热单元、隔焰炉板、限制单元、温度检测单元和温度控制单元。发热单元设置在内设传送路线的炉内。隔焰炉板设置在炉内的传送路线和发热单元之间。限制单元向炉内通入炉外空气，限制沿着传送路线的传送方向的加热气体流动。温度检测单元配置在炉内的比隔焰炉板更靠近传送路线侧。温度控制单元根据温度检测单元的检测温度来控制发热单元。
在该构成中，外气由限制单元通入到炉内，所以传送方向的加热气体的流动得到抑制，炉内的气氛温度的波动降低。因而，即使为了提高控制响应性，由温度检测单元直接检测比隔焰炉板更靠近传送路线侧的气氛温度来进行发热单元的控制，气氛温度也可保持稳定。
也可以形成为：沿着与传送路线的传送方向正交的方向排列多个温度检测单元和多个发热单元，由温度控制单元根据特定的温度检测单元的检测温度来控制发热单元。如此在传送路线的宽度方向配置多个发热单元，根据特定的温度检测单元的检测温度分别对它们进行控制，就可使炉内的与传送路线正交方向的各位置的气氛温度均匀化。
限制单元优选的是借助设置在炉壁上的贯通孔向炉内通入外气的单元。借助设置在炉壁上的贯通孔，可向炉内通入外气，限制炉内的传送方向的加热气体的流动。
也可以使传送路线包含排列在传送方向的滚柱炉膛而构成，在这种情况下，贯通孔优选的是和设置在炉外的驱动机构连接的滚柱炉膛的旋转轴的插通孔。
发明的效果
根据本发明，因为炉内的传送方向的加热气体的流动得到降低，所以炉内的传送路线侧的气氛温度可保持稳定，通过直接检测该气氛温度，能够提高控制响应性。因而，不需要在开始传送处理对象物之前先传送多个假工件基板，能够有效地进行处理对象物的热处理。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的一例连续烧成炉的侧面剖视图。
图2是该炉的正面剖视图。
图3是说明基板烧成实验例中的炉内温度变化的剖视图。
标号说明
11…炉壁
12A～12C…热处理区
13…加热器
15…滚柱
16…隔焰炉板
17…绝热材
19…热电偶
20…贯通孔
21…控制器
22…配管
100…基板
具体实施方式
下面，参照附图来说明连续烧成炉的构成例。图1是滚柱炉膛式连续烧成炉的侧面剖视图，图2是连续烧成炉的正面剖视图。
连续烧成炉10内设有作为处理对象物的基板100的传送路线。沿着传送路线的传送方向(图1中用箭头X表示的方向)，连续配置着多个热处理区12A～12C。作为传送路线，沿着传送方向X等间隔地配置着可自由旋转的多个滚柱15。基板100借助多个滚柱15的旋转，顺次通过多个热处理区12A～12C而得到传送。基板100在各热处理区12A～12C被连续传送或间歇传送。
连续烧成炉10的炉壁11由上壁面11A、底壁面11B、和侧壁面11C、11D构成。在炉壁11的上壁面11A和下壁面11B上，沿着传送方向X排列着多个加热器13。加热器13是本发明的发热单元。各热处理区12A～12C被加热器13加热到预先设定的预定的热处理温度。
分别在上壁面11A和下壁面11B上的热处理区12A～12C的边界处设置了绝热材17。绝热材17抑制各热处理区12A～12C的边界处的热传导。
如图2所示，在被各炉壁11A～11D包围的空间内，还设有隔焰炉板16A～16D。基板100在被隔焰炉板16A～16D包围的空间内传送。隔焰炉板16A～16D在此用耐热玻璃板构成。而且，也可以不是耐热玻璃板，而是用金属板构成。隔焰炉板16A～16D在防止从炉壁11的壁面产生的尘埃附着在基板100上的同时，使来自加热器13的辐射热透过，而有效地对基板100的气氛进行加热。
如图1所示，加热器13沿着传送方向X排列了多个。而且如图2所示，加热器13还沿着与传送方向X垂直的方向Y排列了多个。另外，热电偶19也沿着传送方向X和垂直方向Y排列了多个。在本例中，沿着垂直方向Y配置了4个加热器13和3个热电偶19。
热电偶19通过配管22和控制器21以配线连接。控制器21根据由和各加热器13相对应的特定的热电偶19分别对各加热器13的发热量检测出的隔焰炉内温度来控制各加热器13。
另外，滚柱15沿着正交方向Y而延伸，并通过设置在侧壁面11C、11D和隔焰炉板16C、16D上的贯通孔20将两端部退出到炉外。
在此，将贯通孔20设置在侧壁面11C、11D和隔焰炉板16C、16D与滚柱15交叉的部分。
因为如此设置了贯通孔20，所以如果在多个热处理区12A～12C相互之间，即沿着传送方向X有加热气体的流动，则相应地在炉外与炉内之间，就会通过贯通孔20排出加热气体，并吸入外气。
因而，沿着传送方向X的加热气体的流动在各热处理区12A～12C传送的情况得到抑制，各热处理区的气氛温度的波动得到抑制。从而，即使在被隔焰炉板16A～16D包围的空间内配置热电偶19，借助由控制器21对加热器13的控制，也能够使隔焰炉内温度保持稳定。
在此，表示用本构成进行玻璃基板烧成的实验结果。图3是表示气氛温度的时间变化的图。在该图中，纵轴表示处理对象物的气氛温度，横轴表示经过时间。该图(A)表示本构成例。该图(B)表示将热电偶设置在比隔焰炉更靠近加热器侧的比较例。
在任何一例中，最初在一定期间内都不传送处理对象物，然后连续地传送多个处理对象物。另外，分别表示了连续的3个热处理区(12A～12C)各自的正交方向的3处的温度。
在该图(A)表示的本构成例中，在当初处理对象物没有传送过来的期间，各热处理区(12A～12C)的气氛温度稳定在设定温度。然后，基板顺次进入各热处理区(12A～12C)，各自的气氛温度会下降，但是马上恢复到设定温度。因为在后面的基板进入之前气氛温度会恢复到设定温度，所以能够从第一张基板开始在设定温度的气氛中进行烧成。
另一方面，在该图(B)表示的比较例中，在当初处理对象物没有传送过来的期间，热处理区(12A～12C)各自的气氛温度稳定在高于设定温度的初始温度。但是，在第一张基板进入各热处理区(12A～12C)后，气氛温度下降，在恢复到初始温度之前，后面的基板又跟着进来，气氛温度逐渐下降。然后，待一定数量的基板(在本例中为11张基板)通过后，气氛温度才终于稳定在设定温度附近，从之后的基板开始能够在设定温度的气氛中进行烧成。
如上所述，在本构成例中，能够从进入的第一张基板开始进行设定温度下的烧成，不象比较例那样需要一定数量的假工件基板。因而，能够高效率地进行烧成。
应该认为，上述实施方式的说明在所有方面都是例示，并非限制性的东西。本发明的范围由权利要求的范围来表示，而非上述实施方式。而且，本发明的范围中试图包含在和权利要求范围等同的含义与范围内的所有的变更。

Claims (4)

1.一种连续烧成炉，具有：
发热单元，设置在内设传送路线的炉内；
隔焰炉板，设置在所述炉内的所述传送路线和所述发热单元之间；
限制单元，向所述炉内通入外气，限制沿着所述传送路线的传送方向的加热气体的流动；
温度检测单元，配置在所述炉内的比所述隔焰炉板更靠近传送路线侧；和
温度控制单元，根据所述温度检测单元的检测温度来控制所述发热单元。
2.根据权利要求1所述的连续烧成炉，其中，
沿着与所述传送路线的传送方向正交的方向排列多个所述温度检测单元和多个所述发热单元，
由所述温度控制单元根据特定的所述温度检测单元的检测温度来控制所述发热单元。
3.根据权利要求2所述的连续烧成炉，其中，所述限制单元是借助设置在炉壁上的贯通孔向所述炉内通入外气的单元。
4.根据权利要求2或3所述的连续烧成炉，其中，
所述传送路线包含排列在传送方向的滚柱炉膛而构成，
所述贯通孔是和设置在炉外的驱动机构连接的所述滚柱炉膛的旋转轴的插通孔。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101839639A (zh) * 2010-05-18 2010-09-22 中国电子科技集团公司第四十研究所 隧道炉温度曲线监测方法
CN101963448A (zh) * 2009-07-23 2011-02-02 株式会社村田制作所 炉内温度的测定方法、炉内温度测定装置、热处理装置和陶瓷原料粉末的煅烧合成法
CN101629782B (zh) * 2009-08-04 2011-02-16 长沙力元新材料有限责任公司 一种多孔金属热处理设备
CN102066862A (zh) * 2009-05-28 2011-05-18 松下电器产业株式会社 烧成装置
CN103765146A (zh) * 2011-09-05 2014-04-30 株式会社Ihi 加热炉以及连续加热炉
CN108572036A (zh) * 2017-03-08 2018-09-25 日本碍子株式会社 蜂窝成形体的温度测定方法以及温度测定装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101526402B (zh) * 2009-04-16 2011-02-02 南京华显高科有限公司 判断烧成炉炉温准确性和均匀性的方法
KR101193351B1 (ko) 2011-07-11 2012-10-19 삼성전기주식회사 소성로
NZ726392A (en) 2014-06-16 2018-06-29 Ericsson Telefon Ab L M Method and entity in tdd radio communications
JP7479874B2 (ja) 2020-03-09 2024-05-09 イビデン株式会社 連続焼成炉及び連続焼成方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0210090A (ja) * 1988-06-29 1990-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 雰囲気焼成炉
JPH10206020A (ja) * 1997-01-23 1998-08-07 Murata Mfg Co Ltd 熱処理設備の温度制御装置及び温度制御方法
JP2001012860A (ja) * 1999-06-28 2001-01-19 Ngk Insulators Ltd 大型ガラス基板用連続加熱炉
JP2001147083A (ja) * 1999-09-09 2001-05-29 Ngk Insulators Ltd 焼成炉のクリーンエアー導入方法
JP2001241855A (ja) * 1999-12-20 2001-09-07 Ngk Insulators Ltd 連続加熱炉
JP3683166B2 (ja) * 2000-08-07 2005-08-17 日本碍子株式会社 基板の熱処理方法及びそれに用いる連続式熱処理炉
TW500910B (en) * 2000-10-10 2002-09-01 Ishikawajima Harima Heavy Ind Continuous sintering furnace and its using method
US6435866B1 (en) * 2001-02-16 2002-08-20 Delphi Technologies, Inc. Radiation furnace with independently controlled heating elements
JP3667270B2 (ja) * 2001-10-12 2005-07-06 松下電器産業株式会社 基板の熱処理方法およびそのための炉設備
JP2004218956A (ja) * 2003-01-16 2004-08-05 Ngk Insulators Ltd 基板の熱処理方法及び熱処理炉
JP2007003089A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Nidec-Shimpo Corp 陶芸窯における温度制御装置の取付構造

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102066862A (zh) * 2009-05-28 2011-05-18 松下电器产业株式会社 烧成装置
CN102066862B (zh) * 2009-05-28 2013-02-27 松下电器产业株式会社 烧成装置
CN101963448A (zh) * 2009-07-23 2011-02-02 株式会社村田制作所 炉内温度的测定方法、炉内温度测定装置、热处理装置和陶瓷原料粉末的煅烧合成法
CN101963448B (zh) * 2009-07-23 2012-12-26 株式会社村田制作所 炉内温度的测定方法、炉内温度测定装置、热处理装置和陶瓷原料粉末的煅烧合成法
CN101629782B (zh) * 2009-08-04 2011-02-16 长沙力元新材料有限责任公司 一种多孔金属热处理设备
CN101839639A (zh) * 2010-05-18 2010-09-22 中国电子科技集团公司第四十研究所 隧道炉温度曲线监测方法
CN103765146A (zh) * 2011-09-05 2014-04-30 株式会社Ihi 加热炉以及连续加热炉
CN103765146B (zh) * 2011-09-05 2015-11-25 株式会社Ihi 加热炉以及连续加热炉
US10502487B2 (en) 2011-09-05 2019-12-10 Ihi Corporation Heating furnace and continuous heating furnace
CN108572036A (zh) * 2017-03-08 2018-09-25 日本碍子株式会社 蜂窝成形体的温度测定方法以及温度测定装置

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Publication number Publication date
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CN101319849B (zh) 2012-05-30
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