CN101275275A - 制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法 - Google Patents

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孙军
许京军
孔勇发
陈绍林
刘士国
黄自恒
王红旗
王占银
楼慈波
刘宏德
高峰
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Abstract

一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。该方法可以制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。其具体过程是,将铌酸锂或钽酸锂晶片和含锂化合物放置在密闭容器中,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,并将容器内部保持一定的高温,用高纯氩气调节内部气氛中各种组分的分压,以防止晶片表面出现龟裂。经过长60小时~120小时的处理,获得化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。本发明与传统VTE方法(申请专利号:01144332.4)比较,用含锂化合物代替多晶料,第一可以反复使用,大大降低成本;第二可以提高气氛中的锂含量,从而提高扩散速度,减少扩散时间;第三可以通过氩气来调节气氛中的锂含量,从而可以使用不同蒸气压的含锂化合物。

Description

制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法
【技术领域】:
本发明属于晶体制备技术领域,特别是涉及一种用于压电、电光等用途的化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的制造方法。
【背景技术】:
由于铌酸锂晶体不是同成分共熔,即摩尔配比Nb∶Li=1的熔融铌酸锂熔体,结晶出来的固体成分与熔体成分不一致,其Nb∶Li>1,从而使熔体的成分不断发生变化,结晶的固体成分也不断发生变化。因此难以得到成分均匀的铌酸锂晶体。从摩尔配比Nb∶Li=51.4∶48.6的熔融铌酸锂熔体中结晶出来的固体成分与熔体成分一致,可以比较容易地得到成分均匀的铌酸锂晶体,但是晶体成分偏离化学配比。
为了得到成分均匀的化学比铌酸锂晶体,现在采用的技术有以下几种:
1、助熔剂法。在铌酸锂原料中添加氧化钾作为助熔剂,使铌酸锂的同成分共熔点接近化学配比。
2、双坩埚技术。在晶体生长时,利用Nb∶Li=42∶58~41∶59的熔体,生长Nb∶Li=1的晶体。同时,随着晶体的生长,往熔体中加入Nb∶Li=1的固体原料颗粒。使熔体的成分维持不变。
3、气相平衡法。把同成分配比的铌酸锂晶体,放入由氧化锂与氧化铌烧制的陶瓷中,通过扩散,使铌酸锂晶片中Li的含量增加,从而得到成分均匀的近化学比铌酸锂晶片。
4、区熔法。在微区内熔化并结晶,使得铌酸锂中熔体的扩散被限制,这样得到化学比的铌酸锂晶体。
以上技术存在的不足是:
1、助熔剂法只能得到锂摩尔含量为49.5mol%左右的晶体,且晶体上下部分组分不均匀,光学质量很差,生长速度缓慢,很难有实用价值。
2、双坩埚技术设备复杂,成品率低,成本很高。
3、传统气相平衡法中气氛中锂靠氧化锂与氧化铌烧制的陶瓷提供,气氛中锂含量无法调控,方法复杂,且陶瓷使用一段时间后无法重复利用,成本高。
4、区熔法与助熔剂法一样,无法得到锂含量更接近化学计量比的晶体,且组分分布不均匀,光学质量差,成品率低,区熔尾部的晶体大量浪费。
【发明内容】:
本发明的目的是解决现有技术存在的上述不足,提供一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。
本发明提供的制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法,经过如下步骤:
第一、在密闭容器中,将通常锂摩尔含量为48.2mol%~48.8mol%的铌酸锂或钽酸锂晶片放置在晶片支架上,同时在晶片两侧放入蒸发源容器,蒸发源容器内放入含锂化合物蒸发源;
第二、开启真空泵,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵;
第三、利用密闭容器外周的加热体,升高密闭容器内的温度,对于制备化学计量比铌酸锂晶片,温度为1000~1100摄氏度,对于制备化学计量比钽酸锂晶片,温度为1500~1600摄氏度;
第四、在上步高温下保持60~120小时,即可将原锂摩尔含量为48.2mol%~48.8mol%的铌酸锂或钽酸锂晶片转变为锂摩尔含量为49mol%~51mol%的化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。
根据需要,可以在第二步抽真空后向密闭容器中通入氩气,降低密闭容器中气氛的锂浓度,以防止晶片表面出现龟裂。通入氩气的量通过试验的方法确定,从不通入氩气开始逐渐增加,直至处理出来的晶片表面不出现龟裂。
上述的含锂化合物可以是纯锂、氧化锂、氯化锂。
本发明的优点和积极效果:
本发明与传统VTE方法(申请专利号:01144332.4)比较,用含锂化合物代替多晶料,第一可以反复使用,大大降低成本;第二可以提高气氛中的锂含量,从而提高扩散速度,减少扩散时间;第三,可以通过氩气来调节气氛中的锂含量,从而可以使用不同蒸气压的含锂化合物。
【附图说明】:
图1是制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的装置示意图。
其中,1:密闭容器,2:加热体,3:蒸发源容器,4:含锂化合物蒸发源,5:晶片支架,6:铌酸锂或钽酸锂晶片,7:真空泵,8:氩气。
【具体实施方式】:
实施例1:
本发明的技术方案构成如图1所示,在密闭容器1中,装入放置在晶片支架5上的5片铌酸锂晶片6,晶片6的厚度为0.6mm,直径为78mm,同时在晶片两侧放入盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。
首先开启真空泵,将密闭容器1内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵,利用加热体2,升高密闭容器1内的温度,温度为1100摄氏度;在此高温下保持75小时,然后降温到室温,打开密闭容器1,即可制得所需的化学计量比铌酸锂晶片。经检测晶片的锂摩尔含量为49.9mol%±0.1。
实施例2:
在密闭容器1中,装入放置在晶片支架5上的5片铌酸锂晶片6,晶片6的厚度为1.2mm,直径为78mm,同时在晶片两侧放入盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。
将密闭容器1内部抽真空并升温后,于1100摄氏度保持100小时,即可制得所需的化学计量比铌酸锂晶片。经检测晶片的锂摩尔含量为49.9mol%±0.1。其它同实施例1。
实施例3:
在密闭容器1中,装入放置在晶片支架5上的5片铌酸锂晶片6,晶片6的厚度为0.8mm,直径为76mm,同时在晶片两侧放入盛放有30g锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。
将密闭容器1内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵,充入高纯氩气,使容器1内气压约为1000帕,于1100摄氏度保持80小时,即可制得所需的化学计量比铌酸锂晶片。经检测晶片的锂摩尔含量为49.8mol%±0.1。其它同实施例1。
实施例4:
在密闭容器1中,装入放置在晶片支架5上的3片钽酸锂晶片6,晶片厚度为0.6mm,直径为52mm,同时在晶片两侧放入盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。
将密闭容器1内部抽真空后,升高密闭容器1内的温度至1500摄氏度。
在此高温下保持90小时,即可制得所需的化学计量比铌钽酸锂晶片。经检测晶片的锂摩尔含量为49.9mol%±0.1。其它同实施例1。
实施例5:
在密闭容器1中,装入放置在晶片支架5上的3片钽酸锂晶片6,晶片厚度为1.2mm,直径为52mm,同时在晶片两侧放入盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。
将密闭容器1内部抽真空后,升高密闭容器1内的温度至1500摄氏度。
在此高温下保持100小时,即可制得所需的化学计量比铌钽酸锂晶片。经检测晶片的锂摩尔含量为49.9mol%±0.1。其它同实施例1。

Claims (3)

1、一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法,其特征在于该方法经过如下步骤:
第一、在密闭容器中,将通常锂摩尔含量为48.2mol%~48.8mol%铌酸锂或钽酸锂晶片放置在晶片支架上,同时在晶片两侧放入蒸发源容器,蒸发源容器内放入含锂化合物蒸发源;
第二、开启真空泵,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵;
第三、利用密闭容器外周的加热体,升高密闭容器内的温度,对于制备化学计量比铌酸锂晶片,温度为1000~1100摄氏度,对于制备化学计量比钽酸锂晶片,温度为1500~1600摄氏度;
第四、在上步高温下保持60~120小时,即可将原锂摩尔含量为48.2mol%~48.8mol%的铌酸锂或钽酸锂晶片转变为锂摩尔含量为49mol%~51mol%的化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。
2、根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据需要,在第二步抽真空后向密闭容器中通入氩气,降低密闭容器中气氛的锂浓度,以防止晶片表面出现龟裂。
3、根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于含锂化合物是纯锂、氧化锂、或氯化锂。
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CN102689927A (zh) * 2012-06-19 2012-09-26 南开大学 一种近化学计量比铌酸锂晶体的制备方法
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