CN101230247A - 橡胶/树脂复合密封材料 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种橡胶/树脂复合密封材料，其包含含有橡胶类弹性体的基材和氟树脂膜，该氟树脂膜是用粘合剂结合到所述基材上的。

Description

橡胶/树脂复合密封材料
技术领域
本发明涉及在要求材料具有耐等离子体性、耐化学品性、耐热性等的场合中使用的密封材料。
背景技术
人们要求用于在诸如等离子体气氛和化学品气氛之类的条件下使用的设备中的密封材料对多种化学品具有较高的稳定性，并且人们主要使用的是由含氟弹性体制成的模制品。由于具有高浓度和高化学反应性的气体或化学品溶液有助于提高效率等，所以近来，在所述的设备中使用了这样的气体或化学品溶液。因此，迄今为止被广泛使用的、由含氟弹性体制成的密封材料发生了严重劣化，使得必须尽早替代它们。
在含氟弹性体中，由于全氟弹性体表现出特别优异的耐等离子体性和耐化学品性，使得全氟弹性体已经被广泛地用作用于在上述恶劣条件下使用的设备中的密封材料。但是，全氟弹性体存在特别昂贵的问题。
另一方面，针对所述的情况，人们提出了这样的复合型密封材料，其中将由具有较高的耐等离子体性的氟树脂制成的密封件布置于等离子体接触表面上，将由含氟弹性体制成的密封件布置于等离子体不接触的部分上(例如，参见专利文献1和2)。
专利文献1：JP-A-2005-164027
专利文献2：WO 2004/038781
然而，在上述专利文献1和2中所述的各种复合型密封材料中，由氟树脂制成的密封件仅是为了防止等离子体进入含氟弹性体密封件那一侧。严格地讲，这种由氟树脂制成的密封件不具有密封性能。因此，即使当由氟树脂制成的密封件发生轻微变形时，等离子体也可能会进入含氟弹性体密封件那一侧。另外，氟树脂具有因受到热压而容易发生变形并且难以恢复至初始状态的性质，从而使得当密封材料在加热气氛下或在反复压制的环境下长期使用时，等离子体进入含氟弹性体密封件一侧的可能性变大。
发明内容
本发明是在考虑了所述的情况之后而完成的，并且本发明的目的是提供一种密封材料，该密封材料具有耐等离子体性、耐化学品性、以及密封性能，并且即使该密封材料在加热气氛下或在反复压制的环境下长期使用时，其仍具有特别优异的耐等离子体性。
由以下说明，本发明的其它目的和效果将显而易见。
为了解决上述问题，本发明人进行了深入的研究。结果发现，通过使用粘合剂将包含橡胶类弹性体的基材结合到氟树脂膜上，可以得到这样的密封材料，该密封材料具有耐等离子体性、耐化学品性、以及密封性能，并且即使该密封材料在加热气氛下或在反复压制的环境下长期使用时，其仍具有特别优异的耐等离子体性。
换言之，本发明提供以下橡胶/树脂复合密封材料：
(1)一种橡胶/树脂复合密封材料，其包含：含有橡胶类弹性体的基材；和氟树脂膜，该氟树脂膜是用粘合剂结合到所述基材上的；
(2)上述(1)中所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中氟树脂膜的厚度为50μm或更小；
(3)上述(1)或(2)中所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中该橡胶/树脂复合密封材料的至少与待密封的流体发生接触的部分覆盖有所述的氟树脂膜；以及
(4)上述(1)至(3)中任意一项所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中所述氟树脂膜包括：聚四氟乙烯、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物、或它们的混合物。
根据本发明的橡胶/树脂复合密封材料，将具有优异的耐等离子体性等的氟树脂形成为膜状，并将其结合到包含橡胶类弹性体的基材上。由此，使得本发明的橡胶/树脂复合密封材料具有耐等离子体性和耐化学品性，同时由于基材包含橡胶类弹性体而使得密封性能得到保障和保持。具体地说，即使当本发明的橡胶/树脂复合密封材料在加热气氛或反复压制的环境下长期使用时，其仍具有优异的耐等离子体性。
附图说明
图1是示出将包含本发明的橡胶/树脂复合密封材料的O形圈设置于密封部分上的状态的示意图。
图2(A)至图2(C)是示出制备O形圈(其为本发明的橡胶/树脂复合密封材料的例子)的工艺的示意图。
图3是示出通过图2(A)至图2(C)所示的工艺获得的橡胶/树脂复合密封材料(O形圈)的剖视图。
图4是示出用于制备对比例2的密封材料的模具的剖视图。
图5是示出对比例2的密封材料的剖视图。
图6是用于说明等离子体暴露试验的试验方法的示意图。
图7是用于说明氦气泄漏试验的试验方法的示意图。
附图中使用的附图标记分别表示如下：
1：橡胶类弹性体
10：氟树脂膜
具体实施方式
以下将说明用于实施本发明的最佳方式(下文称为实施方案)。
本发明的橡胶/树脂复合密封材料是这样一种橡胶/树脂复合密封材料，其是通过使用粘合剂将包含橡胶类弹性体的基材结合到氟树脂膜上而制备得到的。
本文所用的橡胶类弹性体是指交联的橡胶组合物。可使用的橡胶材料的例子包括(但不限于)：天然橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶、苯乙烯-丁二烯橡胶、丁基橡胶、氯丁二烯橡胶、丁腈橡胶、乙烯-丙烯橡胶，丙烯酰基橡胶、环氧氯丙烷橡胶、海帕隆、聚氨酯橡胶、硅橡胶、氟橡胶、全氟橡胶等。考虑到它们是在加热气氛或反复压制的环境下使用，乙烯-丙烯橡胶和氟橡胶是理想的。对交联方法没有特别限定。
从耐等离子体性、耐化学品性和耐热性方面考虑，理想的是，氟树脂为聚四氟乙烯、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、以及四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物，但并不限于这些。另外，可以使用它们的混合物。但是，根据条件的不同，可以使用其它氟树脂，而不仅限于上述的氟树脂。
为了通过包含橡胶类弹性体的基材确保密封性能并且为了确保耐等离子体性，氟树脂膜的厚度理想为50μm或更小、更理想为1μm至40μm。
优选的是，氟树脂膜这样进行结合，使得其覆盖包含橡胶类弹性体的基材的整个表面。但是，氟树脂膜还可以这样进行结合，使得其在设置有密封材料的位置处仅覆盖与待密封的流体相接触的部分。所述的与待密封的流体相接触的部分还包括这样的密封表面，该密封表面是与凸缘等相接触的接触表面以及与流体相接触的接触部分。图1是示出将包含本发明的橡胶/树脂复合密封材料的O形圈设置于密封部分上的状态的示意图。将O形圈1嵌入第一元件2的圆环状凹槽3中，并将第二元件4放置在O形圈1的上方。将第一元件2和第二元件4在该附图所示的垂直方向上夹住，从而密封了两个元件的连接部分。流体(气体或液体)5通过沿着第一元件2和第二元件4的中心轴设置的流通路径6流动，这样仅需要使氟树脂膜10被结合成能够覆盖O形圈1的从与第一元件2的凹槽3的内周表面3a相接触的接触部分A到与第二元件4的底表面4a相接触的接触部分B的表面，换言之，仅需要使氟树脂膜10被结合成能够覆盖处于流通路径的O形圈1的截面为弧形的表面的至少四分之一。
为了将包含橡胶类弹性体的基材结合到氟树脂膜上，使用了粘合剂。对粘合剂没有限定，只要其能够将橡胶类弹性体结合到氟树脂膜上即可，并且根据橡胶类弹性体和氟树脂的种类对粘合剂进行适当的选择。
本发明的橡胶/树脂复合密封材料可以通过(例如)图2所示的模制工艺进行制备。本文将对制备O形圈的情况进行举例说明。对于模制工艺而言，使用外部框架模具100和与该外部框架模具100同心排布的内部框架模具110。如图2(A)所示，模具100和110在一起构成了这样的形状，该形状形成了圆环状截面的圆形空间120和与该空间120的部分外周面相连的圆环状间隙130。首先，如图2(A)所示，设置其表面(经过可粘接处理)上涂敷有粘合剂的氟树脂膜10，使得横截面为凹状，从而使该氟树脂膜覆盖位于外部框架模具100和内部框架模具110之间的间隙130的底表面130a和内周表面130b的下部，此外，将横截面为矩形的橡胶类材料1置于氟树脂膜10上。将氟树脂膜10的面积调节至这样的尺寸，该尺寸使得氟树脂膜可以大体覆盖空间120内壁的整个表面，并将橡胶类材料1的体积调节至与空间120的内部体积大致相同。然后，如图2(B)所示，将圆环状推进元件140插入位于外部框架模具100和内部框架模具110之间的间隙130中，并按附图中向下的方向推进。由此，空间120的内壁除了与间隙130连接的部分之外都覆盖有氟树脂膜10，并且氟树脂膜10的内部填满了橡胶类材料1，如图2(c)所示。然后，通过在这种状态下进行加热使得氟树脂膜10由粘合剂牢固地结合到橡胶类弹性体1上。另外，可以根据需要对橡胶类材料进行二次交联。
图3是示意性示出由此获得的O形圈的剖视图。如图1所示，与流体接触的部分覆盖有氟树脂膜10。
例子
参照以下实施例和对比例来更详细地说明本发明，但是本发明不应该被理解为受限于此。
实施例1
使用由Daikin Industries株式会社制造的氟橡胶DC2280作为橡胶类弹性体。使用经过可粘接处理的20μm厚的PTFE膜作为氟树脂膜。使用由Lord Far East公司制造的Chemlok 5150作为粘合剂。根据图2所示的工艺，制备出如图3所示的覆盖有PTFE膜的O形圈(AS568-214尺寸)。在170℃下模制10分钟，然后在230℃下加热24小时以进行二次固化。
实施例2
按照与实施例1相同的方法制备O形圈，不同之处在于使用了40μm厚的PTFE膜。
对比例1
按照与实施例1相同的方法制备O形圈，不同之处在于使用了100μm厚的PTFE膜。
对比例2
如图4所示，使用具有圆环状空间(将该空间形成为其内径侧横截面为矩形，外侧横截面为圆形)200的上下模具对210制备密封材料。如图5所示，将PTFE块220布置于空间200的矩形部分201中，并将包含氟橡胶DC2280(由Daikin Industries株式会社制造)的O形圈230布置于圆形部分202中，然后进行模制，其中所述PTFE块220具有矩形的横截面，并且在其外周面上具有弧状凹陷部分，此外该PTFE块220还经过可粘接处理。PTFE块220的高度H是O形圈230的直径的0.75倍。使用由Lord Far East公司制造的Chemlok 5150作为粘合剂。将所得物在170℃下模制10分钟，然后在230℃下加热24小时以进行二次固化。如图5所示，在所得的密封材料中，包含氟橡胶的O形圈230结合到PTFE块220的外侧，其尺寸为约AS568-214。
对比例3
使用由Daikin Industries株式会社制造的氟橡胶DC2280，制备尺寸为AS568-214的O形圈(不具有氟树脂膜)。将该O形圈在170℃下模制10分钟，然后在230℃下加热24小时以进行二次固化。
使上述制备的O形圈或密封材料经过：(1)等离子体暴露试验、(2)氦气泄漏试验和(3)热压后的等离子体暴露试验，其结果如下所示。
(1)等离子体暴露试验
如图6中示意性示出的那样，将O形圈或密封材料350置于两个凸缘310A和310B之间，在该两个凸缘的中间部分设置有用于使等离子体通过的通孔300，并且将用于防止等离子体从外径侧进入到达O形圈或密封材料350的、尺寸为AS568-223的全氟橡胶密封O形圈360置于外侧。另外，将在25℃的气氛下其厚度为O形圈或密封材料350的高度0.75倍的垫片370置于外侧(凸缘端部)，并将全部夹紧至使得O形圈或密封材料达到垫片370的厚度。然后，将其与凸缘一起置于等离子体蚀刻装置中，并暴露于处于以下条件下的等离子体中。由O形圈或密封材料350在进行等离子体暴露前和暴露后的重量差来计算重量降低率。
<等离子体暴露条件>
等离子体产生装置：由Shinko Seiki株式会社制造的表面波等离子体蚀刻装置；
样品规格：AS568-214；
蚀刻气体：O2/CF4(2000/200ml/分钟)；
加工压力：100Pa；
功率消耗：3000W；
等离子体暴露时间：2小时；以及
重量降低率(重量％)：[(样品暴露于等离子体前的重量-样品暴露于等离子体后的重量)/(样品暴露于等离子体前的重量)]×100。
(2)氦气泄漏试验
如图7中示意性示出的那样，将O形圈或密封材料450置于设置有氦气流入开口400的下凸缘410和不具有开口的上凸缘420之间，并将在25℃的气氛下其厚度为O形圈或密封材料450的高度0.75倍的垫片470置于外侧(凸缘端部)。将全部夹紧至使得O形圈或密封材料达到垫片470的厚度。然后，将其与凸缘一起设置于由LEYBOLD公司制造的氦气泄漏检测器UL500上，并将氦气引入O形圈或密封材料450的外部。10分钟后，测定泄漏于O形圈或密封材料450的内部的氦气的量。
(3)热压后的等离子体暴露试验
将按照与上述(1)所述的等离子体暴露试验相同的方式夹紧的凸缘置于被加热至200℃的烘箱中，并保持72小时。然后，将该凸缘从烘箱中取出，在与上述相同的条件下进行等离子体暴露试验。由O形圈或密封材料在等离子体暴露前和暴露后的重量差来计算重量降低率。
表1
  实施例1   实施例2   对比例1   对比例2   对比例3
  PTFE膜的厚度(μm)   20   40   100   使用PTFE块   未使用PTFE
  等离子体暴露试验(重量％)   0.03   0.02   0.03   0.04   0.05
  氦气泄漏试验(Pa·m3/秒)   8.2E-10   9.1E-10   3.4E-6   3.9E-10   3.1E-10
  热压后的等离子体暴露试验(重量％)   0.19   0.17   0.17   0.41   0.94
如上述表1所示，根据本发明的实施例1和2的O形圈经离子体暴露试验的重量降低率较小，而在氦气泄漏试验中也几乎不能观测到发生泄漏。此外，在热压后的等离子体试验中，重量降低率也没有发生变化。
另一方面，对比例1的O形圈经等离子体暴露试验的重量降低率较小，但是经氦气泄漏试验的泄漏量却极大。此外，对比例2的密封材料经初始等离子体暴露试验的重量降低率和经氦气泄漏试验的泄漏量都较小，但是在热压后的等离子体暴露试验中的重量降低率却显著增加。而且，对比例3的O形圈由于没有覆盖PTFE膜而使得其经等离子体暴露试验的重量降低率极大。
尽管已参照具体实施方案详细地描述了本发明，但是对本领域的技术人员来说显而易见的是，在不脱离本发明的实质和范围的条件下，可以对本发明做出各种改变和修改。
本申请基于2006年12月28日提交的日本专利申请No.2006-355039，其内容以引用方式并入本文。

Claims (4)

1.一种橡胶/树脂复合密封材料，其包含：
基材，其含有橡胶类弹性体；和
氟树脂膜，其是用粘合剂结合到所述基材上的。
2.根据权利要求1所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中所述氟树脂膜的厚度为50μm或更小。
3.根据权利要求1所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中该橡胶/树脂复合密封材料的至少与待密封的流体发生接触的部分覆盖有所述的氟树脂膜。
4.根据权利要求1所述的橡胶/树脂复合密封材料，其中所述氟树脂膜包括：聚四氟乙烯、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物、或它们的混合物。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104358872A (zh) * 2014-12-03 2015-02-18 上海康大橡胶制品制造有限公司 O形圈
CN105504613A (zh) * 2016-02-23 2016-04-20 桐乡市搏腾贸易有限公司 一种机械密封用聚四氟乙烯复合材料及其制备方法
CN106030766A (zh) * 2014-02-14 2016-10-12 株式会社樱花彩色笔 等离子体处理检测指示器
US10400125B2 (en) 2014-09-16 2019-09-03 Sakura Color Products Corporation Ink composition for plasma treatment detection, and plasma treatment detection indicator

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2003254871A1 (en) * 2002-10-25 2004-05-13 Nok Corporation Plasma resistant seal
US20100253009A1 (en) * 2007-07-09 2010-10-07 Aram Corporation Gasket for Food Processing Plant, Piping Joint Structure for Food Processing Plant Using the Gasket and O-Ring for Food Processing Plant
JP5461885B2 (ja) * 2009-05-15 2014-04-02 トーステ株式会社 メタルタッチ式クランプ管継手
DE102010045672B3 (de) * 2010-09-17 2012-03-01 Carl Freudenberg Kg Verfahren zur Herstellung einer Dichtung
US9869392B2 (en) 2011-10-20 2018-01-16 Lam Research Corporation Edge seal for lower electrode assembly
US9859142B2 (en) 2011-10-20 2018-01-02 Lam Research Corporation Edge seal for lower electrode assembly
JP5404824B2 (ja) * 2012-01-25 2014-02-05 ニチアス株式会社 ゴム／樹脂複合シールの製造方法
JP6104927B2 (ja) 2012-10-09 2017-03-29 日本バルカー工業株式会社 複合シール
US10090211B2 (en) 2013-12-26 2018-10-02 Lam Research Corporation Edge seal for lower electrode assembly
CA2934903C (en) 2014-09-12 2022-07-19 Trelleborg Sealing Solutions Us, Inc. Rotary hydraulic actuator seal
JP2016089937A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 ニチアス株式会社 自動車燃料タンク用ガスケット
JP2016089936A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 ニチアス株式会社 ガスケット
CA2967292C (en) 2014-12-30 2019-06-11 Halliburton Energy Services, Inc. Reusable pre-energized backup ring
KR101751637B1 (ko) 2016-04-11 2017-06-27 최창현 고무 오-링의 접착장치
WO2020251809A1 (en) * 2019-06-12 2020-12-17 Lam Research Corporation Coated o-ring for protecting an electro- static chuck in a plasma processing chamber
CN112026181B (zh) * 2020-08-20 2022-05-03 杭州海向达传感技术有限公司 一种半自动橡胶预粘着设备
WO2022165726A1 (zh) * 2021-02-02 2022-08-11 中国石油化工股份有限公司 包覆橡胶颗粒、其制造方法及其应用

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3296011A (en) * 1963-05-24 1967-01-03 Du Pont Surface treatment of perfluorocarbon polymer structures
US3676566A (en) * 1967-08-18 1972-07-11 Du Pont Laminar structures of polyimide and fluorocarbon polymers
JPS5251480A (en) * 1975-10-23 1977-04-25 Daikin Ind Ltd Composite material and a process for preparing it
JPH01120484A (ja) * 1987-10-30 1989-05-12 Asahi Rubber Kk シールパッキン及びその製造方法
EP0539585A4 (en) * 1991-04-22 1993-09-01 Takata Corporation Surface-coated member
JPH06246848A (ja) * 1993-02-23 1994-09-06 Three Bond Co Ltd 支持枠付きゴム状成形品とその製造方法及びゴム状成形品の装着方法
US5564714A (en) * 1993-02-23 1996-10-15 Three Bond Co., Ltd. Rubber-like molded product with support frame
US5971399A (en) * 1993-08-17 1999-10-26 Chiyoda Corporation Dual density sanitary pipe gasket
JPH11129398A (ja) * 1997-10-27 1999-05-18 Daikin Ind Ltd パーフルオロゴムの積層体およびその製法
US6482522B1 (en) * 1997-12-19 2002-11-19 Dyneon Llc Elastomer compositions for bonding to fluoropolymers
JP2001065698A (ja) * 1999-08-26 2001-03-16 Nichias Corp 樹脂被覆ゴムガスケットおよびその製造方法
JP2002221276A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Mitsubishi Plastics Ind Ltd パッキング及びその製造方法
US6759129B2 (en) * 2002-04-18 2004-07-06 3M Innovative Properties Company Adhesion and bonding of multi-layer articles including a fluoropolymer layer
JP2004019811A (ja) * 2002-06-17 2004-01-22 Gomuno Inaki Kk 冷媒低透過性複合シール材及びその製造方法
AU2003254871A1 (en) * 2002-10-25 2004-05-13 Nok Corporation Plasma resistant seal
JP4634069B2 (ja) * 2004-06-04 2011-02-16 ニチアス株式会社 フッ素樹脂被覆リング状シール材の製造方法
US20060051570A1 (en) * 2004-09-03 2006-03-09 Kaori Iwamoto Perfluoroelastomer articles having good surface properties

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106030766A (zh) * 2014-02-14 2016-10-12 株式会社樱花彩色笔 等离子体处理检测指示器
US10401338B2 (en) 2014-02-14 2019-09-03 Sakura Color Products Corporation Plasma processing detection indicator
US10400125B2 (en) 2014-09-16 2019-09-03 Sakura Color Products Corporation Ink composition for plasma treatment detection, and plasma treatment detection indicator
CN104358872A (zh) * 2014-12-03 2015-02-18 上海康大橡胶制品制造有限公司 O形圈
CN105504613A (zh) * 2016-02-23 2016-04-20 桐乡市搏腾贸易有限公司 一种机械密封用聚四氟乙烯复合材料及其制备方法

Also Published As

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