JP5404824B2 - ゴム/樹脂複合シールの製造方法 - Google Patents
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(1)流路を形成する一対の部材の接合部をシールするために使用され、ゴム状弾性体からなる円環状の基材の流路側側面から前記部材との接触面にかけて、フッ素樹脂製フィルムが接着剤により接合されているゴム/樹脂複合シール部材の製造方法であって、
外枠金型と内枠金型とで構成され、かつ、両金型を同心に配置した際に形成される円環状の隙間と、基材の断面形状を有し、外周側の一部が前記隙間に連続する円環状の空所とを有する金型を用い、片面に接着剤を塗布したフッ素樹脂製フィルムを、接着剤が塗布されていない面が前記隙間の底面及び内周面を向くように凹状に配置し、更に前記フッ素樹脂製フィルムの接着剤の塗布面にゴム状弾性体を載置した後、前記隙間に円環状の押し込み部材を挿入し、加熱下、前記隙間と前記空所との連続部を通じて前記ゴム状弾性体を前記空所に押し込むことにより、前記基材の外周面の前記連続部を除いた部分を、前記フッ素樹脂製フィルムで被覆することを特徴とするゴム/樹脂複合シール材の製造方法。
(2)前記フッ素樹脂製フィルムの厚さが1〜40μmであることを特徴とする上記(1)記載のゴム/樹脂複合シールの製造方法。
(3)前記フッ素樹脂製フィルムがポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体またはこれらの混合物からなることを特徴とする上記(1)または(2)記載のゴム/樹脂複合シール材の製造方法。
ゴム状弾性体として、ダイキン工業(株)製フッ素ゴムDC2280を用いた。フッ素樹脂製フィルムとして、厚さ20μmのPTFEフィルムをセメンタブル処理したものを用いた。接着剤にはLord Far East Inc製ケムロック5150を用いた。そして、図2に示す工程に従い、図3に示すようなPTFEフィルムで覆われたOリング(AS568−214サイズ)を作製した。成形条件は170℃で10分間とし、230℃で24時間加熱して二次架橋を施した。
厚さ40μmのPTFEフィルムを用いた以外は実施例1と同様にしてOリングを作製した。
厚さ100μmのPTFEフィルムを用いた以外は実施例1と同様にしてOリングを作製した。
図4に示すように、断面形状において、内径側が矩形で、その外側に円形が重なり合った円環状の空所200を形成する上下一対の金型210を用いてシール材を作製した。図5に示すように、空所200の矩形部201には、断面形状において、矩形で、外周側に円弧状の凹部が形成され、更に凹部がセメンタブル処理されたPTFEブロック220を配置し、円形部202にダイキン工業(株)製フッ素ゴムDC2280からなるOリング230を配置して成形した。尚、PTFEブロック220の高さHは、Oリング230の直径の0.75倍である。接着剤にはLord Far East Inc製ケムロック5150を用い、成形条件は170℃で10分間とし、その後230℃で24時間加熱して二次架橋を施した。得られたシール材は、図5に示すようにPTFEブロック220の外側にフッ素ゴムからなるOリング230が接合したものであり、その寸法は略AS568−214サイズである。
ダイキン工業(株)製フッ素ゴムDC2280を用いて、AS568−214サイズのOリング(フッ素樹脂製フィルム無し)を作製した。成形条件は170℃で10分間とし、その後230℃で24時間加熱して二次架橋を施した。
図6に模式的に示すように、中央部にプラズマが通過するための貫通孔300を設けた2枚のフランジ310A,310Bの間にOリングまたはシール材350を置き、その外側に、外径側からプラズマがOリングまたはシール材350に回り込むことを防ぐためのAS568−223サイズのシール用パーフルオロゴム製Oリング360を置き、更にその外側(フランジ端部)に、25℃雰囲気下のOリングまたはシール材350の高さの0.75倍の厚さのスペーサ370を置き、全体をスペーサ370の厚さまで締め付けた。そして、フランジごとプラズマエッチング装置内に入れ、下記の条件によりプラズマ曝露を行い、プラズマ暴露前後のOリングまたはシール材350の重量差から重量減少率を算出した。
<プラズマ曝露条件>
・プラズマ発生装置 :神港精機株式会社製表面波プラズマエッチング装置
・試料サイズ :AS568−214
・エッチングガス :O2/CF4(2000/200 ml/分)
・処理時圧力 :100Pa
・消費電力 :3000W
・プラズマ曝露時間 :2時間
・重量減少率(重量%):(プラズマ曝露前の試料重量−プラズマ曝露後の試料重量)/
プラズマ曝露前の重量×100
図7に模式的に示すように、ヘリウム流入用の開口400が設けられた下フランジ410と、無穴の上フランジ420との間にOリングまたはシール材450を置き、その外側(フランジ端部)に、25℃雰囲気下のOリングまたはシール材450の高さの0.75倍の厚さのスペーサ470を置き、全体をスペーサ470の厚さまで締め付けた。そして、フランジごとLEYBOLD製ヘリウムリークディテクターUL500に装着し、Oリングまたはシール材450の外部にヘリウムガスを導入した。10分経過後にOリングまたはシール材450の内部にリークしたヘリウムリーク量を測定した。
上記の(1)プラズマ暴露試験と同様の方法で締め付けたフランジを200℃に加熱されたオーブン中に入れ、72時間保持した。その後、オーブンよりフランジを取り出し、上記と同様の条件でプラズマ暴露試験を行い、暴露前後のOリングまたはシール材の重量差から重量減少率を算出した。
10 フッ素樹脂製フィルム
Claims (3)
- 流路を形成する一対の部材の接合部をシールするために使用され、ゴム状弾性体からなる円環状の基材の流路側側面から前記部材との接触面にかけて、フッ素樹脂製フィルムが接着剤により接合されているゴム/樹脂複合シール部材の製造方法であって、
外枠金型と内枠金型とで構成され、かつ、両金型を同心に配置した際に形成される円環状の隙間と、基材の断面形状を有し、外周側の一部が前記隙間に連続する円環状の空所とを有する金型を用い、片面に接着剤を塗布したフッ素樹脂製フィルムを、接着剤が塗布されていない面が前記隙間の底面及び内周面を向くように凹状に配置し、更に前記フッ素樹脂製フィルムの接着剤の塗布面にゴム状弾性体を載置した後、前記隙間に円環状の押し込み部材を挿入し、加熱下、前記隙間と前記空所との連続部を通じて前記ゴム状弾性体を前記空所に押し込むことにより、前記基材の外周面の前記連続部を除いた部分を、前記フッ素樹脂製フィルムで被覆することを特徴とするゴム/樹脂複合シール材の製造方法。 - 前記フッ素樹脂製フィルムの厚さが1〜40μmであることを特徴とする請求項1記載のゴム/樹脂複合シールの製造方法。
- 前記フッ素樹脂製フィルムがポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体またはこれらの混合物からなることを特徴とする請求項1または2記載のゴム/樹脂複合シール材の製造方法。
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