CN101198908A

CN101198908A - 图像处理装置、图像描绘装置及系统

Info

Publication number: CN101198908A
Application number: CNA2006800217197A
Authority: CN
Inventors: 尾崎幸久; 丰福贵司
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2005-06-16
Filing date: 2006-06-12
Publication date: 2008-06-11
Also published as: KR20080016840A; JP4450769B2; US20090034833A1; JP2006350013A; KR100995846B1; WO2006134854A1

Abstract

一种图像处理装置，在通过RIP处理向描绘用栅格数据展开前，取得用于在基板上直接描绘的表示布线图案的向量形式的格伯数据(100)，根据描绘时的分辨率或基板上的感光材料的种类设定检查处理的阈值后(102、104)，检出：是否包含圆周长小于阈值th1的圆弧部；是否包含半径之差为阈值th2以上的圆弧部；是否存在面积小于阈值th5的针孔区域；是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于阈值th6的图案；以及是否存在与互相邻接的图案的间隙小于阈值th7的图案(106～176)，当检出出错时，生成用于明示出错位置的格伯出错文件，并将出错位置显示在显示屏上(182、184)。从而防止因广播数据的原因发生用描绘装置的描绘过程中造成的基板不良。

Description

图像处理装置、图像描绘装置及系统

技术领域

[0001]

本发明涉及图像处理装置、图像描绘装置及系统，特别涉及与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示(raster data)的布线图案的描绘装置连接、进行将表示输入的布线图案的向量形式的图像数据向描绘用栅格数据展开的RIP处理的图像处理装置、具备该图像处理装置的图像描绘装置及图像描绘系统。

背景技术

[0002]

作为制造印刷布线基板(PWB：Print Wired Board)及平板显示器(FPD)的基板等之际的描绘方式，在现有技术中通常采用先将应该在基板上形成的布线图案曝光到胶片上，从而制成掩模后，再使用该掩模，通过面曝光，在基板上描绘所述布线图案的方式(称作“模拟描绘方式”)。但是近几年来，开始使用不制造掩模，根据表示布线图案的数字数据(描绘用栅格数据)，直接在基板上描绘布线图案的数字描绘方式(例如参照JP特开2004-184921号公报)。

[0003]

在采用数字描绘方式进行描绘的描绘系统中，设置在基板上进行描绘的描绘装置和与该描绘装置连接的图像处理装置，图像处理装置具有输入利用CAD(Computer Aided Design)/CAM(Computer Aided Manufacturing)编制的图像数据(表示应该在基板上形成的布线图案的向量形式，而且是一定格式的数据)，对输入的图像数据进行向描绘用栅格数据展开的RIP(Raster Image Processor)处理，向描绘装置供给RIP处理后获得的描绘用栅格数据的功能。

[0004]

可是，因为描绘用栅格数据是用和应该由描绘装置在基板上形成的布线图案相同的高分辨率表示的数据，所以数据量庞大，RIP处理需要花费较长的时间。因此，使用RIP处理后获得的描绘用栅格数据实际在基板上描绘布线图案制造基板时，例如发生相邻的图案的间隙不足等布线图案的不良产生时，需要在修正图像数据以便消除这些不良后，再度进行花费时间的RIP处理及在基板上进行描绘等后工序，因此存在着严重影响基板制造等作业的进度，同时还使基板被浪费的问题。

发明内容

[0005]

本发明就是考虑到上述事实后形成的，其目的在于获得能够防止经过利用描绘装置进行描绘工序后制造的基板由于图像数据而产生不良的现象的图像处理装置、图像描绘装置及图像描绘系统。

[0006]

为了达到上述目的，第1样态所述的发明涉及的图像处理装置，其特征在于：是与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示的布线图案的描绘装置连接、进行将表示输入的所述布线图案的向量形式的图像数据向所述描绘用栅格数据展开的RIP处理的图像处理装置，具备检查单元，该检查单元在对输入的所述图像数据进行所述RIP处理之前，检查经过利用所述描绘装置进行的描绘工序后制造的基板是否由于所述图像数据而产生不良的缺陷。

[0007]

这样，即使输入的图像数据，经过利用描绘装置进行的描绘工序后制造的基板产生不良的缺陷，该缺陷也可以在对图像数据进行RIP处理之前，利用检查单元检知，从而可以根据检知的缺陷，在修正图像数据后，进行RIP处理，能够防止基板由于图像数据而产生不良的现象。

[0008]

而且，能够在进行RIP处理之前，检知成为上述不良的原因的图像数据的缺陷，不需要徒劳地反复进行RIP处理及利用描绘装置进行的描绘等工序，能够防止输入的图像数据的缺陷严重影响基板制造等作业的进度，基板由于上述缺陷而被浪费的问题。

[0009]

此外，经过利用描绘装置进行的描绘工序后制造的基板是否产生以图像数据为原因的不良，还与描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件有关。考虑到这一点，例如在第1样态所述的发明中，检查单元例如第2样态所述的那样，在检查图像数据是否存在缺陷之际，最好取得描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件，按照取得的描绘条件，设定用于判定所述检查中的缺陷的的阈值，使用设定的阈值进行检查。

[0010]

在用CAD/CAM系统编制·生成图像数据的时刻，因为描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件不确定，所以即使在该工序中检查了有无图像数据的缺陷，也难以有效的减少上述不良。与此不同，RIP处理因为是将图像数据向与描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件(例如分辨率等)对应的描绘用栅格数据展开的处理，所以在进行RIP处理的时刻，能够确定上述的描绘条件。在第2样态所述的发明中，利用它，取得上述的描绘条件，按照取得的描绘条件，设定用于判定检查中的缺陷的阈值，使用设定的阈值进行检查，所以能够高精度地判断经过利用描绘装置进行的描绘工序后制造的基板产生的以图像数据为原因的不良的缺陷，能够提高检查单元检查的精度。

[0011]

此外，作为第2样态所述的发明中的描绘条件，例如第3样态所述的那样，能够使用描绘布线图案之际采用的分辨率或基板设定的感光材料的种类。

[0012]

另外，在第2样态或第3样态所述的发明中，检查单元作为检查制造的基板是否有产生不良的缺陷的处理，例如第4样态所述的那样，能够构成至少检查下述项目中的一个的处理：在图像数据表示的布线图案中，是否包含圆周长小于第1阈值的圆弧部？在布线图案中，是否包含始点位置的半径和终点位置的半径之差为第2阈值以上的圆弧部？在布线图案中，是否包含半径是第3阈值以上的圆弧部？布线图案是否存在于到原点的距离为第4阈值以上的坐标？在图像数据表示的布线图案中，是否存在面积小于第5阈值的针孔区域？布线图案中是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案？布线图案中是否存在与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案？

[0013]

另外，在第1样态～第4样态任一项所述的发明中，所述检查单元，作为检查所述制造的基板是否有产生不良的缺陷的处理，例如可以象第4样态所述的那样，进行至少检查下述项目中的一个的处理：布线图案中是否包含使用圆以外的孔眼(aperture)形状的线？布线图案中是否包含构成始点位置和终点位置相同的封闭曲线而且在从始点位置到终点位置的途中与本线交叉的自我交叉线？

[0014]

另外，在第1样态所述的发明中，检查单元，例如最好象第6样态所述的那样，还检查所述图像数据是否有因为所述RIP处理而发生出错的缺陷。这样，还能够防止出现将图像数据作为原因，由于RIP处理而发生出错使RIP处理停止，修正图像数据后必须再度进行RIP处理的现象。此外，作为检查图像数据是否有因为RIP处理而发生出错的缺陷的处理，具体地说，例如最好象第7样态所述的那样，还可以列举至少进行检查下述项目中的一个的处理：RIP处理可能处理的文字种类以外的文字是否被图像数据包含？布线图案的顶点的数是否是第8阈值以上？构成图像数据的层数是否是第9阈值以上？

[0015]

另外，在第1样态所述的发明中，例如最好象第8样态所述的那样，还具备数据生成单元，该数据生成单元在检查单元判断图像数据有缺陷时，取得判断有缺陷的部位的所述布线图案上的坐标，根据取得的坐标，在可能与图像数据表示的布线图案重叠显示的状态下，在所述布线图案上的所述部位，生成明示规定的标记的缺陷部位明示数据。这样，根据检查单元判断在图像数据中有缺陷的情况，使信息处理装置(例如实现CAM系统的信息处理装置)的显示单元显示所述图像数据表示的布线图案之际，利用数据生成单元生成的缺陷部位明示数据，从而能够很容易地在显示的布线图案中判断为有缺陷的部位明示(重叠显示)规定的标记，能够很容易地特定布线图案中相当于缺陷的部分后进行修正的作业。

[0016]

另外，在第1样态～第8样态任一项所述的发明中，例如最好象第9样态所述的那样，还具备：运算单元，该运算单元取得描绘装置在基板上描绘布线图案之际应用的描绘条件，根据取得的描绘条件和图像数据，运算描绘装置在现在的描绘条件下描绘所述图像数据表示的布线图案描绘时的在基板上的布线图案的描绘范围；位置关系显示控制单元，该位置关系显示控制单元根据运算单元运算的描绘范围，使显示单元显示描绘装置在现在的描绘条件下描绘图像数据表示的布线图案描绘时的基板和在基板上的布线图案的描绘范围的位置关系。

[0017]

在描绘装置在基板上描绘布线图案之际的描绘条件中，包含规定在基板上的布线图案的描绘范围的信息，该信息的内容不适当时，在描绘装置对布线图案的描绘中，有可能性使描绘范围超出基板，从而产生基板被白白浪费等不良现象。与此不同，在第9样态所述的发明中，由于根据描绘条件和图像数据，运算基板上的布线图案的描绘范围，使显示单元显示基板和基板上的布线图案的描绘范围的位置关系，所以能够在描绘装置在基板上实际描绘布线图案之前，检查描绘条件中规定在基板上的布线图案的描绘范围的信息的内容是否适当，能够避免发生基板被白白浪费等不良现象。

[0018]

另外，在第1样态～第9样态任一项所述的发明中，例如最好象第10样态所述的那样，还具备：低分辨率图像显示控制单元，该低分辨率图像显示控制单元根据图像数据，生成用低分辨率表示布线图案的低分辨率布线图案图像，使显示单元显示生成的低分辨率布线图案图像；展开单元，该展开单元当通过指定单元在由低分辨率图像显示控制单元而在显示单元显示的低分辨率布线图案图像上指定放大显示对象区域时，将图像数据中相当于放大显示对象区域的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成用高分辨率表示放大显示对象区域内的布线图案的高分辨率布线图案图像；高分辨率图像显示控制单元，该高分辨率图像显示控制单元使显示单元显示展开单元生成的高分辨率布线图案图像。

[0019]

为了避免描绘装置在基板上描绘的布线图案有某种不良而使基板被白白浪费的情况，最好在描绘装置在基板上描绘布线图案之前，通过目视事先检查描绘什么样的布线图案。在现有技术的模拟描绘方式中，使用将胶片上的布线图案曝光后制造的掩模，进行通过上述目视的检查。而在数字描绘方式中，因为不制作掩模，所以上述检查成为使显示单元显示描绘用栅格数据表示的布线图案后进行目视检查。可是，与显示单元相比，描绘用栅格数据的分辨率极其高，显示单元一次可能显示的布线图案，局限于描绘用栅格数据表示的布线图案中的极少的一部分。因此，在数字描绘方式中的布线图案的目视检查，需要一边适当地滚动描绘用栅格数据表示的布线图案中被显示单元显示的部分，一边反复进行目视检查，存在着操作麻烦，而且还难以掌握显示单元现在显示的部分是描绘用栅格数据表示的布线图案整体中的哪一部分。另外，通过目视检查，检知到布线图案有不良时，需要在修正图像数据后，再度进行花费时间的RIP处理，所以严重影响基板制作等的作业的进度。

[0020]

与此不同，在第10样态所述的发明中，因为在生成用低分辨率表示布线图案的低分辨率布线图案图像后使显示单元显示的同时，还通过指定单元，在显示单元显示的低分辨率布线图案图像上指定放大显示对象区域后，将图像数据中相当于放大显示对象区域的数据向高分辨率栅格数据展开，从而能够生成用高分辨率表示放大显示对象区域内的布线图案的高分辨率布线图案图像后使显示单元显示，所以通过指定单元，在低分辨率布线图案图像上指定放大显示对象区域后，能够对图像数据表示的布线图案中的所需的部分进行目视检查，在使操作简单的同时，还能够很容易地掌握作为高分辨率布线图案图像显示的部分的布线图案整体上的位置。另外，因为将图像数据中相当于指定的放大显示对象区域的数据向高分辨率栅格数据(高分辨率布线图案图像)展开后使显示单元显示，所以不必在显示高分辨率布线图案图像之前进行RIP处理。另外，通过目视检查，检知到布线图案有不良的情况时，也不必多次进行花费时间的RIP处理，能够避免影响基板制作等的作业的进度。

[0021]

另外，在第10样态所述的发明中，描绘装置在基板上描绘的布线图案，配置多个片后构成，这些片则由多个相当于单一的电路图案的相同的单位布线图案排列而成时，例如最好象第11样态所述的那样，采用下述结构：低分辨率图像显示控制单元，作为低分辨率布线图案图像，生成用低分辨率表示布线图案整体的图像后显示；展开单元，在表示布线图案整体的低分辨率布线图案图像上，作为放大显示对象区域，指定特定的片时，只将图像数据中相当于特定的片内的单一的特定单位布线图案的数据向高分辨率栅格数据展开，作为特定片的高分辨率布线图案图像，在只对特定单位布线图案显示布线图案的同时，还对其它的单位布线图案，生成只显示表示外缘的框线的图像。

[0022]

利用描绘装置在基板上描绘的布线图案(布线图案整体)，是相当于配置多个片的布线图案(该片由多个相当于单一的电路图案的相同的单位布线图案排列而成)时，目视检查通常只对布线图案整体内的各单位布线图案中的一个进行。根据这一点，在第11样态所述的发明中，因为在将多个相同的单位布线图案排列而成的特定的片，作为放大显示对象区域指定时，生成特定片的高分辨率布线图案图像(该高分辨率布线图案图像只显示特定的单位布线图案，对于其它的单位布线图案，则只显示表示外缘的框线)，所以能够在短时间内生成·显示被作为放大显示对象区域指定的特定片的高分辨率布线图案图像。

[0023]

另外，在第10样态所述的发明中，例如最好象第12样态所述的那样，还具备距离运算·显示单元，该距离运算·显示单元通过指定单元在由高分辨率图像显示控制单元而在显示单元显示的高分辨率布线图案图像上指定距离测定对象的2点时，运算指定的2点间的距离后，使显示单元显示。

[0024]

在数字描绘方式中，因为用某个分辨率在基板上描绘描绘用栅格数据表示的布线图案，所以描绘用栅格数据表示的布线图案及在基板上实际描绘的布线图案中的各部的位置，受到圆整误差的影响，对于图像数据表示的布线图案而言，将描绘时的分辨率中相邻的像素的距离作为最大地变动。因此，最好检查布线图案中是否存在面积小于第5阈值的针孔区域？布线图案中是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案？布线图案中是否存在与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案？等等，在展开图像数据后获得的高分辨率栅格数据表示的布线图案上进行最终性的检查。

[0025]

在第12样态所述的发明中，因为在高分辨率布线图案图像上指定距离测定对象的2点时，计算指定的2点间的距离后，使显示单元显示，所以能够在根据高分辨率布线图案图像对布线图案进行的目视检查中，能够正确而且容易地最终性地检查有无面积小于第5阈值的针孔区域？有无与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案？有无与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案？等等，能够实现目视检查的省力化。

[0026]

第13样态所述的发明涉及的图像描绘装置，其特征在于：具备第1样态～第12样态任一项所述的图像处理装置，根据该图像处理装置获得的所述描绘用栅格数据，向描绘面上进行描绘。所以和第1样态所述的发明同样，能够防止将图像数据作为原因，经过利用曝光装置进行的描绘工序后制造的印刷布线基板产生不良的情况。

[0027]

第14样态所述的发明涉及的图像描绘系统，其特征在于，包含：CAD(Computer Aided Design)系统及CAM(Computer Aided Manufacturing)系统中的至少一个，这些系统生成所述向量形式的图像数据；第1样态～第12样态任一项所述的图像处理装置；描绘装置，该描绘装置根据该图像处理装置获得的所述描绘用栅格数据，向描绘面上进行描绘。所以能够防止将图像数据作为原因，经过利用曝光装置进行的描绘工序后制造的印刷布线基板产生不良的情况。

[0028]

以上讲述的本发明，在对表示布线图案的向量形式的图像数据进行RIP处理之前，检查图像数据中是否有经过利用曝光装置进行的描绘工序后制造的印刷布线基板产生不良的缺陷，所以具有优异的效果：能够防止将图像数据作为原因，经过利用曝光装置进行的描绘工序后制造的印刷布线基板产生不良的情况。

附图说明

[0029]

图1是本实施方式涉及的基板描绘系统的简要结构图。

图2是一并表示图像处理装置中的数据的流动的功能方框图。

图3是表示数据检查处理的内容的流程图。

图4A是为了讲述圆弧部圆弧部的始终点、中心点的偏移检查而绘制的形象图。

图4B是为了讲述孔眼形状的检查而绘制的形象图。

图4C是为了讲述自我交叉线的检查而绘制的形象图。

图4D是为了讲述格伯数据的结构(层)而绘制的形象图。

图5A是为了讲述数据检查处理中的重叠不足图案的检查而绘制的形象图。

图5B是为了讲述数据检查处理中的重叠不足图案的检查而绘制的形象图。

图6是表示格伯出错文件的一个例子的形象图。

图7是表示出错部位显示的一个例子的形象图。

图8是表示布局确认处理的内容的流程图。

图9是表示布局显示画面的一个例子的形象图。

图10A是表示布局显示画面中布线图案旋转90°的形象图。

图10B是表示布局显示画面中布线图案旋转180°的形象图。

图11A是表示布局显示画面中布线图案X方向反转显示的形象图。

图11B是表示布局显示画面中布线图案Y方向反转显示的形象图。

图12是表示栅格显示处理的内容的流程图。

图13是表示描绘单位(布线图案整体)内块的配置的一个例子的形象图。

图14是表示栅格显示画面的一个例子的形象图。

图15是表示用栅格显示画面显示块的状态的形象图。

图16是表示用栅格显示画面显示片的状态的形象图。

图17是表示在布线图案的栅格显示中显示表示指定的2点间的距离的状态的形象图。

图中：10-基板描绘系统；12-曝光装置；14-图像处理装置；18-计算机；24-作业注册GUI；28-数据检查处理部；30-布局确认GUI；32-布局显示处理部；34-栅格显示GUI；36-RIP处理部。

具体实施方式

[0030]

下面，参照附图，详细讲述本发明的实施方式的一个例子。图1表示出本实施方式涉及的基板描绘系统10。基板描绘系统10，与第14样态的图像描绘系统对应，具备作为将表示输入的描绘用栅格数据(Raster data)的布线图案直接描绘到表面涂敷了感光材料的基板上的描绘装置的曝光装置12。作为曝光装置12，例如可以采用使用数字微型镜像器件(DMD)等空间光调制元件，将按照描绘用栅格数据调制的光束照射到基板上，从而在基板上描绘布线图案的结构。被曝光装置12描绘了布线图案的基板，经过显影、蚀刻、洗涤、剪切、穿孔等众所周知的工序后，作为可以安装形成了布线图案的电路元件的印刷布线基板(PWB)整形。

[0031]

曝光装置12，与向曝光装置12供给描绘用栅格数据的图像处理装置14连接，该图像处理装置14，通过LAN等网络16作媒介，分别与作为CAD/CAM系统发挥作用的多台计算机18连接。此外，在图1中，作为一个例子，表示出3台计算机18，但该计算机18的台数并不局限于上述情况。用CAD系统(作为CAD系统发挥作用的计算机18)进行设计被印刷布线基板安装的电子电路，或者设计相当于印刷布线基板应该形成的布线图案(后文讲述的块(单位布线图案))等工序，通过网络16作媒介，将记述了布线图案的规定的格式的数据，向作为CAM系统发挥作用的别的计算机18(也可以是同一个计算机)输出。

[0032]

在CAM系统(作为CAM系统发挥作用的计算机18)中，输入记述了布线图案的数据后，就进行编辑工序，例如决定在向基板上描绘输入的数据所表示的布线图案时如何配置(布局)？或者决定在穿孔工序中应该在基板的哪个位置穿孔？或者和布线图案一起附加应该描绘的注释等。然后，生成用向量形式(作为始点及终点等的点的坐标和连接它的线及面的方程式等的参数、涂黑及特殊效果等的描绘信息的集合表现图像的数据形式)记述在一次描绘中应该在基板上描绘的所有的布线图案的图像数据(以下称作“格伯数据(Gerber data)”)，该格伯数据通过网络16作媒介，向图像处理装置14传输。此外，用上述编辑工序决定的基板上的穿孔位置，被作为钻孔数据，向给基板穿孔的钻孔机(未图示)输出。

[0033]

另一方面，图像处理装置14与本发明涉及的图像处理装置对应，由个人用计算机(PC)等构成，包含CPU、存储器、HDD22(参照图2)、作为显示单元的显示器、键盘、鼠标等。给图像处理装置14的HDD22，分别装入作为图2表示的作业注册GUI(Graphical User Interface)24、数据受理处理部26、数据检查处理部28、布局确认GUI30、布局显示处理部32、栅格显示GUI34、RIP处理部36、作业显示GUI38及曝光装置控制部40发挥作用的各种应用程序。另外，在HDD22中，分别设置旨在存放CAM系统取得的格伯数据的接收格伯数据文件夹44、旨在存放经过了数据检查处理部28的数据检查处理(详细情况将在后文讲述)的格伯数据的检查过的格伯数据文件夹46、旨在存放通过作业注册GUI24作媒介输入的作业条件信息的作业条件信息文件夹48、旨在存放经过了RIP处理部36的RIP处理后获得的描绘用栅格数据的描绘用栅格数据文件夹50。此外，本实施方式涉及的图像处理装置14，最多可以连接两台曝光装置12。另外，曝光装置12和图像处理装置14，还与第13样态的图像描绘装置对应。

[0034]

接着，作为实施方式的作用，按照顺序，讲述为了根据格伯数据获得描绘用栅格数据而在图像处理装置14中进行的一系列的处理。

[0035]

在本实施方式中，用CAM系统生成的格伯数据，图像处理装置14通过网络作媒介，被可存取的存储介质54(例如作为CAM系统发挥作用的计算机18内置的HDD设置的图像处理装置14可存取地设定的特定文件夹)存储·保管。作业注册GUI24，在可以在图像处理装置14的显示器上显示的画面中，包含为了指令取得来自存储介质54的格伯数据的数据取得指令画面，在显示器上显示该数据取得指令画面的状态下，用户操作键盘及鼠标等，指令取得来自存储介质54的特定的格伯数据后，该指令通过作业注册GUI24作媒介，输入数据受理处理部26，数据受理处理部26经由网络16，从存储介质54中读出后取得指令的特定的格伯数据，将取得的格伯数据存放到接收格伯数据文件夹44中。

[0036]

此外，在可以通过计算机18实现的CAD/CAM系统中，有各种规格·功能的系统，数据受理处理部26从存储介质54中取得格伯数据后，检查取得的格伯数据的格式，按照需要，进行向一定的格式的格伯数据变换的处理后，还进行存放到接收格伯数据文件夹44中的处理。

[0037]

另外，作业注册GUI24，在可以在图像处理装置14的显示器上显示的画面中，包含为了指令检查存放到接收格伯数据文件夹44中的格伯数据的检查指令画面。虽然图示中省略了，但是在该检查指令画面中设置着：旨在一览显示接收格伯数据文件夹44存放的格伯数据的文件名等的显示栏；对于从被该显示栏一览显示的各格伯数据中，作为处理对象选择的格伯数据，旨在输入描绘布线图案时的描绘条件(例如分辨率、描绘布线图案使用的曝光装置12的机种、描绘模式、描绘布线图案的基板的尺寸、格伯数据表示的布线图案的旋转及反转(镜像)的有无及旋转角度·的反转(镜像)方向、涂敷在基板上的感光材料的种类等)以及描绘布线图案的基板的枚数等作业条件的输入栏；旨在指令执行从所述显示栏一览显示的各格伯数据中，作为处理对象选择的格伯数据进行检查处理的按钮。

[0038]

在上述检查指令画面被显示器显示的状态下，用户通过键盘及鼠标，从检查指令画面内的显示栏一览显示的格伯数据中，选择处理对象的格伯数据，进行将处理对象的格伯数据的作业条件输入检查指令画面的输入栏的操作后，表示输入的作业条件的作业条件信息，就作为处理对象的格伯数据的作业条件，被作业条件信息文件夹48存放。然后，选择检查指令画面内的按钮，指令执行对处理对象的格伯数据进行数据检查处理后，该指令就通过作业注册GUI24作媒介，被输入数据检查处理部28，由该数据检查处理部28进行图3所示的数据检查处理。此外，该数据检查处理是相当于本发明涉及的检查单元的处理；执行数据检查处理的数据检查处理部28，与本发明涉及的检查单元对应。

[0039]

该数据检查处理，是对处理对象的格伯数据，检查有没有RIP处理部36进行的RIP处理中发生出错的缺陷及成为经过曝光装置12在基板上描绘布线图案后制造的印刷布线基板产生不良的原因的缺陷的处理，首先在步骤100中，在从检查过的格伯数据文件夹46调出处理对象的格伯数据同时，还从作业条件信息文件夹48调出与该格伯数据对应的作业条件信息。

[0040]

在步骤102中，按照在步骤100中调出的作业条件信息包含的描绘时的分辨率，设定在后文讲述的处理中使用的阈值th1、th2、th6。此外，虽然详情后述，但是阈值th1是检查有无圆周长极其小(例如数μm左右)的微小圆弧部之际使用的圆周长的阈值，阈值th2是检查有无始终点的半径存在差异的圆弧之际使用的半径差的阈值，阈值th6是检查有无和邻接的图案重叠(重叠区域)的宽度较小的图案之际使用的宽度的阈值，在步骤102中，设定阈值th1、th2、th6，使它们分别随着描绘时的分辨率变高(即曝光装置12在基板上描绘的布线图案中的像素的间隔变小)而变小。

[0041]

另外在步骤104中，按照在步骤100中调出的作业条件信息包含的描绘时的分辨率，设定在后文讲述的处理中使用的阈值th5、th7。虽然详情后述，但是阈值th5是检查面积有无微小的针孔区域之际使用的面积的阈值，阈值th7是检查有无和相邻的图案的间隙较小的图案之际使用的间隙的阈值。曝光装置12在基板上描绘布线图案时，基板上描绘的布线图案中的曝光部分和非曝光部分的交界(边缘部分)的明了度，与涂敷在基板上的感光材料的曝光量一浓度特性等斜率的大小息息相关，经过蚀刻工序后，在基板上形成的布线图案中边缘部的位置，曝光部分和非曝光部分中在蚀刻工序中除去的一侧的面积向大的方向偏移与边缘部分的明了度的大对应的偏移量。而且，上述针孔区域的面积及相邻的图案的间隔，伴随着边缘部分的位置的偏移而变化。

[0042]

对于边缘部分的明了度的变化而言的针孔区域的面积及相邻的图案的间隔的变化方向，随着描绘布线图案中的曝光部分在蚀刻工序中是成为剩下的一侧(图案部)还是成为除去的一侧(间隙部)而不同，这可以根据感光材料的种类(是负还是正)进行判断，另外感光材料的曝光量-浓度特性等斜率的大小也能够根据感光材料的种类判断。在本实施方式中，在各种感光材料上描绘布线图案制造印刷布线基板时，测定边缘部分的实际的位置对于本来的位置而言有多大程度的偏移，测定结果作为表格被HDD存储，在步骤104中，与描绘时的分辨率对应地设定阈值th5、th7后，参照上述表格，取得与涂敷在基板上的感光材料的种类对应的边缘部分的偏移量，按照取得的偏移量修正阈值th5、th7，设定与描绘时的分辨率和感光材料的种类对应的阈值th5、th7。

[0043]

可是，在上述RIP处理部36中，进行将格伯数据(详细地说是被检查过的格伯数据文件夹46存放的格伯数据)向栅格形式(位图形式)的描绘用栅格数据展开的RIP处理。在该RIP处理中，可能处理的文字种类受到限制，可能处理的文字种类以外的文字(例如半角假名文字等)被RIP处理对象的格伯数据包含时，在检知到这种文字的阶段，成为出错，停止RIP处理。因此，在随后的步骤106中，从前头依次参照处理对象的格伯数据，进行检查在RIP处理中是否包含可能处理的文字种类以外的文字的检查处理。步骤106的检查处理完毕后，向步骤108移行，判定是否检知了在步骤106的检查处理中包含这种文字。判定是否定时，向步骤112移行；判定是肯定时，向步骤110移行，将表示检知的出错(缺陷)是在处理对象的格伯数据中包含RIP处理可能处理的文字种类以外的文字的出错的出错种类信息存放到存储器中后，向步骤112移行。

[0044]

另外，圆周长极其小(例如数μm左右)的微小圆弧部被布线图案包含时，因为该微小圆弧部成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因，所以最好置换成直线。因此，在随后的步骤112中，进行检查规定圆周长小于阈值th1的微小圆弧部的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。此外，由于阈值th1在前文讲述的步骤102中，按照描绘时的分辨率设定，所以能够精度良好地检查成为印刷布线基板的不良的原因的微小圆弧部是否被布线图案包含。步骤112的检查处理完毕后，向步骤114移行，判定在步骤112的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤118移行；判定是肯定时，向步骤116移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定微小圆弧部的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的微小圆弧部的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤118移行。

[0045]

另外，作为例子，如图4A所示，始点中的半径L1和终点中的半径L2之差(|L1-L2|)成为一定值(例如数十μm左右)以上的圆弧部被布线图案包含时，该圆弧部也成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因，所以是不希望的。因此，在随后的步骤118中，进行检查规定半径差(|L1-L2|)为阈值th2以上的圆弧部的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。此外，阈值th2也在前文讲述的步骤102中，按照描绘时的分辨率设定，所以能够高精度地检查成为印刷布线基板的不良的原因的有半径差的微小圆弧部是否被布线图案包含。步骤118的检查处理完毕后，向步骤120移行，判定在步骤118的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤124移行；判定是肯定时，向步骤122移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定有半径差的微小圆弧部的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的有半径差的微小圆弧部的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤124移行。

[0046]

另外，半径过大(例如一千数百mm左右)的圆弧部，一般在布线图案中不使用，所以这种半径过大的圆弧部被布线图案包含时，该圆弧部也有可能成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因。因此，在步骤124中，进行检查规定半径为阈值th3以上的圆弧部的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。步骤124的检查处理完毕后，向步骤126移行，判定在步骤124的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤130移行；判定是肯定时，向步骤128移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定半径过大的微小圆弧部的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的半径过大的微小圆弧部的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤130移行。

[0047]

另外，格伯数据，作为例子也如图4B所示，指定孔眼的形状、始点位置及终点位置，从而作为线，描绘使被指定的形状的孔眼，从始点位置向终点位置移动时的轨迹。如果孔眼的形状是圆，那么就与孔眼的移动方向无关，线的宽度成为一定(＝圆的直径)。另一方面，孔眼的形状不是圆时，线的宽度随着孔眼的移动方向而变。因此，使用圆以外的形状的孔眼描绘的线被布线图案包含时，该线也有可能成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因。因此，在步骤130中，进行检查使用圆以外的形状的孔眼描绘线的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。步骤130的检查处理完毕后，向步骤132移行，判定在步骤130的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤136移行；判定是肯定时，向步骤134移行，将表示检知的出错(缺陷)是使用圆以外的形状的孔眼描绘线的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的使用圆以外的形状的孔眼描绘线的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤136移行。

[0048]

另外，作为例子，也如图4C所示，始点位置和终点位置相同(成为闭合的曲线)，在从始点位置到终点位置为止的途中和自己的线交叉的自我交叉线，一般不被布线图案。这种自我交叉线也有可能成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因。因此，在随后的步骤136中，进行检查规定自我交叉线的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。步骤136的检查处理完毕后，向步骤138移行，判定在步骤136的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤142移行；判定是肯定时，向步骤140移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定自我交叉线的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的自我交叉线的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤142移行。

[0049]

另外，在RIP处理中，RIP处理对象的格伯数据包含的顶点的数，也有上限(例如2048个)，在RIP处理对象的格伯数据包含超过上限的数的顶点时，在检知该上限以上的顶点数的阶段，成为出错，停止RIP处理。因此，在步骤142中，进行检查处理对象的格伯数据包含的顶点的数是否是阈值th8(＝RIP处理中的上限)以上的检查处理。步骤142的检查处理完毕后，向步骤144移行，判定在步骤142的检查处理中顶点的数是否是阈值th8以上。判定是否定时，向步骤148移行；判定是肯定时，向步骤146移行，将表示检知的出错(缺陷)是上限以上的数的顶点被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息存储到存储器中后，向步骤148移行。

[0050]

另外，格伯数据，作为例子，也如图4D所示，在将目的的图像(布线图案)分解成多层的图像后表示的同时，附加指令将各层的图像相加或相减的数据是表示目的的图像(布线图案)的数据。在RIP处理中，构成RIP处理对象的格伯数据的层的数有上限(例如1024个)，在用RIP处理对象的格伯数据超过上限的数的层构成时，在检知该上限以上的层数的阶段，成为出错，停止RIP处理。因此，在步骤148中，进行检查构成处理对象的格伯数据的层数是否是阈值th9(＝RIP处理中的上限)以上的检查处理。步骤148的检查处理完毕后，向步骤150移行，判定在步骤148的检查处理中层数是否是阈值th9以上。判定是否定时，向步骤154移行；判定是肯定时，向步骤152移行，将表示检知的出错(缺陷)是构成处理对象的格伯数据的层数超过上限的出错的出错种类信息存储到存储器中后，向步骤148移行。

[0051]

另外，在布线图案中，存在到格伯数据的原点的距离过大(例如一千几百mm左右)的部分时，在利用曝光装置12进行的描绘工序中，因为如上所述，到的原点的距离过大的部分的描绘位置超出基板，所以不能制造适当的印刷布线基板的可能性大。这样，在步骤154中，进行检查在表示处理对象的格伯数据的布线图案中是否包含到格伯数据的原点的距离为阈值th4以上的部分的检查处理。步骤154的检查处理完毕后，向步骤156移行，判定在步骤154的检查处理中是否检知了这种部分。判定是否定时，向步骤160移行；判定是肯定时，向步骤158移行，将表示检知的出错(缺陷)是在表示处理对象的格伯数据的布线图案中包含到格伯数据的原点的距离过大的部分的出错的出错种类信息和表示在格伯数据所表示的布线图案上的到上述原点的距离过大的部分的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤160移行。

[0052]

另外，面积微小的针孔区域一般不被布线图案使用，但是这种微小面积的针孔区域被布线图案包含时，该微小面积的针孔区域也有可能成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因。因此，在步骤160中，进行检查规定面积小于阈值th5的针孔区域的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。此外，因为阈值th5在上文讲述的步骤104中按照描绘时的分辨率及基板上的感光材料的种类设定，所以能够高精度地检查成为印刷布线基板的不良的原因的微小面积的针孔部是否被布线图案包含。步骤160的检查处理完毕后，向步骤162移行，判定在步骤160的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤166移行；判定是肯定时，向步骤164移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定微小面积的针孔区域的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的微小面积的针孔区域的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤166移行。

[0053]

另外，在格伯数据中，将目的的图像(布线图案)中的任意的区域涂黑时，往往取代使用指令涂黑的命令，作为例子，也如图5A所示，指令多个线的描绘，从而设定指令涂黑所需区域的数据，以便使相邻的线的一部分重叠(将重叠的部分称作“重叠区域”)，这时重叠区域的宽度OUL不足后，在经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板上的布线图案中，相当于上述重叠区域的部分，有可能和在描绘工序中未被描绘的部分成为相同的状态。

[0054]

因此，在步骤166中，进行检查规定重叠区域的宽度小于阈值th6的图案(线等)的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。此外，因为阈值th6在上文讲述的步骤102中按照描绘时的分辨率设定，所以能够高精度地检查成为印刷布线基板的不良的原因的重叠区域的宽度不足的图案是否被布线图案包含。步骤166的检查处理完毕后，向步骤168移行，判定在步骤166的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤172移行；判定是肯定时，向步骤170移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定重叠区域的宽度不足的图案的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的重叠区域的宽度不足的图案的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤172移行。

[0055]

另外，作为例子，如图5B所示，和相邻的图案的间隙GAP不足的图案被布线图案包含时，该图案成为经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板的不良的原因的可能性大。因此，在步骤172中，进行检查规定和相邻的图案的间隙GAP小于阈值th7的图案的数据是否被处理对象的格伯数据包含的检查处理。此外，因为阈值th7在上文讲述的步骤104中按照描绘时的分辨率及基板上的感光材料的种类设定，所以能够高精度地检查成为印刷布线基板的不良的原因的间隙不足的图案是否被布线图案包含。步骤172的检查处理完毕后，向步骤174移行，判定在步骤172的检查处理中是否检知了这种数据。判定是否定时，向步骤178移行；判定是肯定时，向步骤176移行，将表示检知的出错(缺陷)是规定间隙不足的图案的数据被处理对象的格伯数据包含的出错的出错种类信息和在格伯数据表示的布线图案上的间隙不足的图案的位置的坐标信息存储到存储器中后，向步骤178移行。

[0056]

在步骤178中，根据出错种类信息等出错信息是否被存储器存储，在上述各检查处理中判定是否检知了处理对象的格伯数据的某个出错(缺陷)。判定是否定时(根本没有检知到出错时)，向步骤180移行，将处理对象的格伯数据存放到检查过的格伯数据文件夹46中，结束数据检查处理。

[0057]

另一方面，步骤178的判定是肯定时(检知到一个以上的出错时)，向步骤182移行，首先调出存储器存储的出错信息，判定调出的出错信息是否包含坐标信息。然后，出错信息包含坐标信息时、即检知到在处理对象的格伯数据表示的布线图案上可能明示出错部位的出错时，根据调出的出错信息(出错种类信息及坐标信息)，生成旨在明示处理对象的格伯数据表示的布线图案上出错部位的格伯出错文件，将生成的格伯出错文件附加给处理对象的格伯数据。此外，步骤182的处理，是与本发明涉及的数据生成单元对应的处理；进行步骤182的处理的数据检查处理部28，也与本发明涉及的数据生成单元对应。

[0058]

本实施方式涉及的格伯出错文件，是可能作为格伯数据处理的数据，作为例子，如图6所示，采用在格伯标题部和格伯结束代码的之间，记述规定明示出错部位(调出的出错信息包含的坐标信息表示的位置)的规定的标记(孔眼)的形状及尺寸的标记数据(在图6中表记为“指定孔眼形状”)和规定在布线图案上的规定的标记的明示位置的坐标数据(在图6中表记为“出错项目n x，y坐标指定”)的结构。在步骤182中，在根据调出的出错信息包含的坐标信息，设定上述的坐标数据的同时，还在被坐标数据规定的各个出错部位设定上述标记数据，以便明示与各个出错种类对应的标记，生成格伯出错文件。

[0059]

然后，在步骤184中，通过作业注册GUI24作媒介，使显示器显示所定的短信，从而通知在处理对象的格伯数据中检知到出错的情况，同时还通过作业注册GUI24作媒介，使显示器显示检知到的出错的内容，结束数据检查处理。此外，出错内容的显示，如果被检知的出错是难以明示出错部位的出错(检知出错时，没有存储坐标信息的出错)，例如象构成处理对象的格伯数据的层数超过上限等那样，就只在显示器上显示通知出错内容的短信；但是如果被检知的出错是可能明示出错部位的出错(检知出错时，存储了坐标信息的出错)，就根据在步骤182中生成的格伯出错文件，使显示器显示出错部位明示图像，作为例子，如图7所示，使被标记数据规定的标记分别与处理对象的格伯数据表示的布线图案中格伯出错文件的坐标数据指示的出错部位重叠显示。此外，还可以在放大显示特定的出错部位的同时，按照用户的指令依次切换放大显示的出错部位。

[0060]

在图7所示的出错部位明示图像中，在布线图案上的各出错部位，显示尺寸及形状中至少有一个互不相同的标记60A～60D中与各出错部位中的出错种类对应的标记，这样用户能够很容易地知道格伯数据表示的布线图案中的出错部位的位置及各出错部位中的出错种类。另外，因为格伯出错文件是可能作为格伯数据处理的形式，所以将被附加格伯出错文件的处理对象的格伯数据传输给作为CAM系统发挥作用的计算机18，还能够在该计算机18的显示器显示图7所示的那种出错部位明示图像。这样，能够根据出错检查处理检知的出错，更加容易地在CAM系统上进行修正格伯数据的作业。

[0061]

这样地进行上述数据检查处理后，能够防止将格伯数据作为原因经过利用曝光装置12进行的描绘工序后制造的印刷布线基板产生不良的现象的同时，还能够在进行RIP处理之前，检知成为上述不良的原因的格伯数据的缺陷，不需要徒劳地反复进行RIP处理及利用曝光装置12进行的描绘工序，能够防止格伯数据的缺陷严重影响基板制造等作业的进度，防止基板由于上述缺陷而被浪费的问题。

[0062]

可是，布局确认GUI30在图像处理装置14的显示器可能显示的画面中，包含布局确认指令画面，该布局确认指令画面旨在指令确认检查过的格伯数据文件夹46存放的格伯数据(经过数据检查处理的格伯数据)表示的布线图案的布局。虽然图示中省略了，但是在布局确认指令画面中设置着：旨在一览显示检查过的格伯数据文件夹46存放的格伯数据的文件名等的显示栏；旨在指令对于从被所述显示栏一览显示的各格伯数据中，作为处理对象选择的格伯数据执行布局确认处理的按钮。

[0063]

对于经过数据检查处理的格伯数据表示的布线图案，希望确认其布局(布线图案对基板而言的描绘范围的位置及布线图案的水平面内的角度、表里的朝向)时，用户操作键盘及鼠标等，指令布局确认GUI30在显示器显示布局确认指令画面，从上述显示栏一览显示的格伯数据中选择处理对象的格伯数据，选择布局确认指令画面内的按钮，从而指令执行对选择处理对象的格伯数据的布局确认处理。该指令通过布局确认GUI30做媒介输入布局显示处理部32，由布局显示处理部32进行图8所示的布局确认处理。

[0064]

在布局确认处理中，首先在步骤200中，在从检查过的格伯数据文件夹46中调出指定的处理对象的格伯数据的同时，还从作业条件信息文件夹48中调出与处理对象的格伯数据对应的作业条件信息。在步骤202中，在利用布局确认GUI30使显示器显示旨在显示可能确认处理对象的格伯数据表示的布线图案的布局的图像的布局确认画面(参照图9)的同时，还根据在步骤200中调出的作业条件信息包含的基板的尺寸等信息，在布局确认画面内的图像显示区域显示表示基板的外缘的框线(在图9中表记为“基板框”)。

[0065]

在步骤204中，使显示器显示要求用户指定基板上的原点的位置的短信后，判定用户是否指定了基板上的原点的位置，直到判定是肯定为止，反复进行步骤204。按照显示器显示的短信，用户指定基板上的原点的位置(通常是基板上的中心位置)后，移行到步骤206，根据处理对象的格伯数据，生成将该处理对象的格伯数据表示的布线图案与布局确认画面内的图像显示区域显示的框线的尺寸吻合后缩小显示的布线图案图像。

[0066]

另外在步骤208中，根据处理对象的格伯数据包含的格伯数据的原点和基板上的原点的位置关系、与处理对象的格伯数据对应的作业条件信息包含的格伯数据表示的布线图案的旋转及反转(镜像)的有无及旋转角度·的反转(镜像)方向以及用户指定的基板上的原点的位置，按照现在的作业条件信息，计算将在基板上描绘处理对象的格伯数据表示的布线图案时的基板上的原点作为基准的布线图案的描绘范围的位置、旋转角度、反转的有无及方向。此外，步骤208和前文讲述的步骤200都相当于本发明涉及的运算单元的处理，进行步骤200、208的处理的布局显示处理部32与本发明涉及的运算单元对应。

[0067]

然后，在步骤210中，根据步骤208的演算结果，按照需要，对在步骤206中生成的布线图案图像，进行水平面内的旋转及表里朝向的反转后，显示布局确认画面内的图像显示区域中步骤208运算的位置(图9所示的状态)将根据演算结果按照需要在水平面位置进行后，使显示运算的位置(图9所示的状态)。此外，步骤210相当于本发明涉及的位置关系显示控制单元的处理，进行步骤210的处理的布局显示处理部32与本发明涉及的位置关系显示控制单元对应。

[0068]

另外还如图9所示，在布局确认画面中，设置旨在指令布线图案的旋转的旋转指令按钮和旨在指令布线图案的反转(镜像)的镜像指令按钮，在随后的步骤212中，根据是否选择了布局确认画面中的旋转指令按钮，判定是否指令布线图案的旋转。判定是否定时，向步骤216移行，根据是否选择了布局确认画面中的镜像指令按钮，判定是否指令布线图案的镜像(反转)。该判定也是否定时，向步骤220移行，判定是否指令结束布局确认画面的显示。该判定也是否定时，返回步骤212，直到步骤212、216、220中的某个判定肯定为止，反复进行步骤212、216、220。

[0069]

布局确认画面内的图像显示区域显示布线图案图像后，用户检定显示的布线图案图像对于基板而言的位置及水平面内的角度、表里的朝向对于表示基板的外缘的框线来说是否适当。在这里，判断布线图案图像对于基板而言的位置不适当时，用户暂时结束布局确认画面的显示后，修正规定处理对象的格伯数据包含的格伯数据的原点和基板上的原点的位置关系的数据，从而修正将在基板上描绘了处理对象的格伯数据表示的布线图案时的基板上的原点作为基准的布线图案的描绘范围的位置。

[0070]

另外，判断布线图案图像的水平面内的角度不适当时，用户选择旋转指令按钮，指令布线图案的旋转。此外，在布局确认画面中，设置着旨在使布线图案旋转互不相同的角度(例如90°、180°、270°)的多个按钮，选择与所需的旋转角度对应的旋转指令按钮。选择旋转指令按钮后，步骤212的判定为肯定时，向步骤214移行，使布局确认画面内的图像显示区域显示布线图案图像旋转与选择的旋转指令按钮对应的旋转角度后，向步骤216移行。例如对于图9所示的布线图案图像指令旋转90°时，布线图案图像就如图10A所示地旋转；对于图9所示的布线图案图像指令旋转180°时，布线图案图像就如图10B所示地旋转。

[0071]

另外，判断布线图案图像的表里的朝向不适当时，用户选择镜像指令按钮，从而指令布线图案的表里的朝向反转(镜像)。此外，在布局确认画面中，作为镜像指令按钮，设置着旨在使布线图案旋转互不相同的方向(例如x方向、y方向)的多个按钮，选择与所需的旋转方向对应的镜像指令按钮。选择镜像指令按钮后，步骤216的判定为肯定时，向步骤218移行，使布局确认画面内的图像显示区域显示布线图案图像的表里的朝向向与选择的镜像指令按钮对应的反转方向反转后，向步骤220移行。例如对于图9所示的布线图案图像，指令使表里的朝向向x方向反转时，布线图案图像的表里的朝向就如图11A所示地反转；对于图9所示的布线图案图像，指令使表里的朝向向y方向反转时，布线图案图像的表里的朝向就如图11B所示地反转。

[0072]

另外，指令结束显示布局确认画面后，步骤220的判定为肯定时，向步骤222移行，判定在上述处理中，是否指令变更对于布线图案而言的布局(水平面内的旋转或表里朝向的反转)。判定是否定时，不进行任何处理地结束，而判定是肯定时，向步骤224移行，与对于布线图案指令的水平面内的旋转或表里朝向的反转对应，修正处理对象的格伯数据的作业条件信息包含的布线图案的旋转及反转的有无及旋转角度·反转的方向等数据中的对应的部分，将修正后的作业条件信息存入作业条件信息文件夹48后，结束布局确认处理。

[0073]

经过上述布局确认处理后，因为能够在实际在基板上描绘布线图案之前确认按照现在的作业条件信息在基板上描绘处理对象的格伯数据表示的布线图案时的布线图案的布局(对基板而言的布线图案的描绘范围的位置及布线图案的水平面内的角度及表里朝向)是否适当，所以能够避免发生基板被浪费等不良情况。

[0074]

另外，栅格显示GUI34，在可以在图像处理装置14的显示器上显示的画面中，包含为了指令显示将检查过的格伯数据文件夹46存放的特定的格伯数据的一部分向栅格数据展开后在显示器上显示的栅格显示指令画面。虽然图示中省略了，但是在该栅格显示指令画面中设置着：旨在一览显示检查过的格伯数据文件夹46存放的格伯数据的文件名等的显示栏；旨在指令执行对从所述显示栏一览显示的各格伯数据中，作为处理对象选择的格伯数据进行栅格显示的按钮。

[0075]

想对检查过的格伯数据文件夹46存放的格伯数据表示的布线图案进行目视检查时，用户操作键盘及鼠标，指令栅格显示GUI34在显示器上显示栅格显示指令画面，在显示器显示栅格显示指令画面的状态下，从上述显示栏一览显示的格伯数据中选择处理对象的格伯数据，选择栅格显示指令画面内的按钮，从而指令执行对处理对象的格伯数据而言的栅格显示处理。该指令通过栅格显示GUI34作媒介输入RIP处理部36，由RIP处理部36执行图12所示的栅格显示处理。

[0076]

在栅格显示处理中，首先在步骤230中，在将指定的处理对象的格伯数据从检查过的格伯数据文件夹46中调出的同时，还从作业条件信息文件夹48中调出与处理对象的格伯数据对应的作业条件信息。在步骤232中，将所有的处理对象的格伯数据向低分辨率的栅格数据(整体示意图像)展开。此外，从格伯数据向栅格数据的展开，例如能够通过在存储器上确保与输出的栅格数据的分辨率对应的尺寸的描绘区域，一边从前头起依次参照格伯数据，一边在描绘区域反复描绘线等的处理来进行。这样，能够获得用低分辨率显示处理对象的格伯数据所表示的整个布线图案的整体示意图像。

[0077]

在随后的步骤234中，利用栅格显示GUI34，在显示器显示旨在显示处理对象的格伯数据表示的布线图案的栅格图像的栅格显示画面(参照图14)。另外，如图14所示，在该栅格显示画面中，设置着旨在显示低分辨率的整体示意图像的整体示意显示区域和旨在显示与表示布线图案的分辨率相比分辨率高的详细显示图像的详细显示区域，利用栅格显示GUI34，在栅格显示画面内的整体示意显示区域显示经过步骤232的处理后获得的整体示意图像。此外，步骤232、234是相当于本发明涉及的低分辨率图像显示控制单元的处理，进行步骤232、234的处理的RIP处理部36与本发明涉及的低分辨率图像显示控制单元对应。

[0078]

可是，在基板上描绘布线图案时的描绘单位(曝光装置12用一次描绘在基板上描绘的所有的布线图案)，称作面板(或工件)，但是作为最终产品的印刷布线基板，特别是被手机及PDA(Personal Digtal Assistant)等小型的机器安装的印刷布线基板时，因其尺寸大大小于面板的尺寸，所以作为例子，如图13所示，往往在面板内排列许多最终产品的单位——“块”。另外，块的尺寸较小等时，将排列多个表示相同的布线图案的块形成的片作为单位，进行来自面板的基板的切出，经过向切出的面板内的各块安装电路元件等工序后，进行面板内的各块的切出。在本实施方式涉及的栅格显示处理中，作为在详细显示区域指定详细显示图像的显示范围的方法，准备着在整体示意显示区域显示的整体示意图像上，指定详细显示范围的方法，和在整体示意图像上，将所需的块或面板作为详细显示对象指定的方法，也如图14所示，在栅格显示画面中，设置着旨在用块单位指令详细显示的按钮64A和旨在用片单位指令详细显示的按钮64B。

[0079]

在随后的步骤236中，在整体示意显示区域显示的整体示意图像上，描绘表示详细显示范围的框(参照图14)，从而判定是否在详细显示区域指定应该作为详细显示图像显示的详细显示范围。步骤236的判定是否定时，向步骤238移行，判定是选择整体示意图像内的特定的块，选择按钮64A，从而用块单位指令详细显示？还是选择整体示意图像内的特定的片，选择按钮64B，从而用片单位指令详细显示？步骤238的判定也是否定时，返回步骤236，反复进行步骤236、238，直到步骤236或步骤238的判定是肯定为止。

[0080]

用户用上述某个指定方法，进行指令详细显示的操作后，步骤236或步骤238的判定是肯定时，向步骤240移行，识别被用户指定的详细显示范围。就是说，在整体示意图像上描绘表示详细显示范围的框时，将描绘的框内认作详细显示范围；在用块单位指令详细显示时，将在整体示意图像上选择的整个特定的块认作详细显示范围；在用片单位指令详细显示时，将在整体示意图像上选择的整个特定的片认作详细显示范围。

[0081]

另外，在随后的步骤242中，判定在步骤240中识别的详细显示范围内，是否存在多个相同的布线图案(表示相同的布线图案的块)，根据判定结果，设定详细显示范围中进行从格伯数据向栅格数据的展开的范围。例如：在用块单位指令详细显示时，因为详细显示范围内不存在多个相同的布线图案，所以在步骤240中识别的详细显示范围被原封不动地设定成栅格展开范围。另一方面，用片单位指令详细显示时，以及被指令在整体示意图像上描绘的范围的详细显示时，详细显示范围内有可能存在多个表示相同的布线图案的块。如果详细显示范围内不存在多个表示相同的布线图案的块，详细显示范围就被原封不动地设定成栅格展开范围。而如果详细显示范围内存在多个表示相同的布线图案的块，那么就某个块以外的各块除外的范围，就被设定成栅格展开范围。

[0082]

在随后的步骤224中，从处理对象的格伯数据中抽出相当于栅格展开范围的格伯数据，将抽出的格伯数据向高分辨率的栅格数据展开。此外，考虑到进行后文讲述的距离的运算·显示，上述栅格数据的分辨率，最好和描绘时的分辨率相同。但是也可以调整分辨率，以便将表示布线图案的详细显示图像整体纳入栅格显示范围内的详细显示区域。另外，如果步骤242设定的栅格展开范围和步骤240识别的栅格展开范围相同，那么上述的栅格数据就与详细显示范围内的表示相同的布线图案的详细显示图像一致。因为在详细显示范围内存在多个表示相同的布线图案的块，所以将详细显示范围内的一部分区域设定成栅格展开范围时，将表示从栅格展开范围除外的块的外缘的框线数据，追加到上述栅格数据中，从而生产表示详细显示范围内的布线图案的详细显示图像。然后，在随后的步骤226中，利用栅格显示GUI34，在栅格显示画面内的详细显示区域显示经过步骤224的处理后获得的详细显示图像。

[0083]

此外，步骤242、244相当于本发明涉及的展开单元的处理，步骤246相当于本发明涉及的高分辨率图像显示控制单元的处理，进行步骤242～246的处理的RIP处理部36分别与本发明涉及的展开单元及高分辨率图像显示控制单元对应。

[0084]

这样，用块单位指令详细显示时，作为例子，如图15所示，在栅格显示画面内的详细显示区域中，只详细显示作为详细显示对象选择的单一的块的布线图案。另外，用片单位指令详细显示时，作为例子，如图16所示，在栅格显示画面内的详细显示区域中，详细显示作为详细显示对象选择的单一的片的布线图案，但是选择的片内排列多个表示相同的布线图案的块时，如图16所示，只详细显示该多个块中的单一的块的布线图案，对于剩余的块，则只显示表示其外缘的框线。

[0085]

这样，在栅格显示处理中，只对处理对象的格伯数据表示的布线图案中栅格显示画面内的详细显示区域显示的部分，生成高分辨率的栅格数据后显示，所以与通过RIP处理，将所有的处理对象的格伯数据向描绘用栅格数据展开后，使用该描绘用栅格数据栅格显示布线图案时相比，能够高速地进行布线图案的栅格显示，同时对于栅格显示的布线图案通过目视检查发现不良时，也不必进行多次花费时间的RIP处理。

[0086]

另外，如上所述，描绘排列多个表示相同的布线图案的块的面板(布线图案整体)时，因为格伯数据利用只对单一的块规定布线图案的数据和指令在相当于该数据表示的布线图案的各块的位置复制的数据的布线图案的各相当于的位置的数据，规定上述布线图案整体，所以对格伯数据表示的布线图案进行目视检查之际，不需要对面板内多个排列的所有的块进行目视检查，只对表示相同的布线图案的多个块中的某一个进行目视检查就行。因此，详细显示范围内存在多个表示相同的布线图案的块时，如上所述，即使只对单一的块详细显示布线图案也不影响目视检查，只对单一的块进行向高分辨率的栅格数据展开的处理，从而能够在短时间内进行栅格显示画面内的详细显示区域的详细显示图像的显示。

[0087]

可是，栅格数据的分辨率和描绘时的分辨率相同时，在栅格显示画面内的详细显示区域，作为例子，也如图17所示，显示按照利用曝光装置12进行描绘时的基板上的像素间隔和显示器上的像素间隔(显示圆点的间隔)之比放大显示的布线图案。但在本实施方式中，在该状态下，还可以运算·显示在显示的布线图案上指定的任意的2点间的距离。运算·显示指定的任意的2点间的距离，能够在显示的布线图案上指定所需的2点(在图17中表记为“始点”“终点”)的位置后(在布线图案上显示这样连接2点的辅助线)，进行规定的操作来加以指令。

[0088]

在随后的步骤248中，判定是否进行上述操作后，指令运算·显示布线图案上的任意的2点间的距离。步骤248的判定是否定时，向步骤252移行，判定是否指令切换栅格显示画面内的详细显示区域显示的布线图案图像的显示。步骤252的判定也是否定时，向步骤254移行，判定是否指令结束栅格显示画面的显示。步骤254的判定也是否定时，返回步骤248，反复进行步骤248、252、254，直到步骤248、252、254中的某个判定是肯定为止。

[0089]

在这里，进行前文讲述的操作，从而指令运算·显示布线图案上指定的任意的2点间的距离时，步骤248的判定为肯定时，向步骤250移行，运算指定的2点间的距离后显示。此外，由于利用曝光装置12描绘时，基板上的像素间隔根据描绘时的分辨率已知，所以可以先计算出指定的2点间的X方向像素数及Y方向像素数，再将计算出的像素数与基板上的像素间隔相乘，从而求出指定的2点间在基板上的X方向距离及Y方向距离，最后根据该X方向距离及Y方向距离，通过计算后求出指定的2点间的距离。图17表示出将计算指定的2点间的距离的结果和求出的X方向距离及Y方向距离一起在显示栏68中显示的状态。步骤250是相当于本发明涉及的距离运算·显示单元的处理，进行步骤250的处理的RIP处理部36与本发明涉及的距离运算·显示单元对应。

[0090]

在数字描绘方式中，因为以规定的分辨率在基板上描绘描绘用栅格数据表示的布线图案，所以描绘用栅格数据表示的布线图案中的曝光部和未曝光部的交界位置，受到圆整误差的影响，对于格伯数据表示的布线图案，将描绘时的分辨率中相邻的像素的距离作为最大地变动，伴随着该变动，基板上实际描绘的布线图案中的曝光部和未曝光部的交界位置也变动。因此，最好对于描绘用栅格数据表示的布线图案进行目视检查，最终确认相邻的图案的间隙的大小等。在本实施方式涉及的栅格显示处理中，指令对在栅格显示画面内的详细显示区域显示的布线图案(详细显示图像)上指定的任意的2点间进行距离的运算·显示后，因为运算·显示指定的2点间的距离(反映圆整误差的距离)，所以能够正确而且容易确认相邻的图案的间隙的大小，能够减轻进行目视检查的用户的负担。

[0091]

另外，指令对在栅格显示画面内的详细显示区域显示的布线图案图像进行显示切换(变更详细显示范围等)时，步骤252的判定为肯定时，返回步骤236，按照来自用户的指令，反复进行步骤236以后的处理。另外，指令结束栅格显示画面的显示时，步骤254的判定为肯定时，就结束栅格显示处理。在执行上述栅格显示处理期间，在用户进行的目视检查时，检知布线图案例如有相邻的图案间隙不足等不良现象时，在作为CAM系统发挥作用的计算机18等中，进行修正处理对象的格伯数据以便消除检知的不良的作业后，再度进行上述栅格显示处理(目视检查)。

[0092]

另外，在目视检查中没有检知到布线图案的不良时，用户指令执行对处理对象的格伯数据进行RIP处理。这样，RIP处理部36从检查过的格伯数据文件夹46中调出RIP处理对象的格伯数据，对调出的所有的处理对象的格伯数据进行向高分辨率的描绘用栅格数据展开的RIP处理，将RIP处理后获得的描绘用栅格数据存入描绘用栅格数据文件夹50。结束RIP处理后，用户指令向基板描绘描绘用栅格数据表示的布线图案。于是，曝光装置控制部40从作业条件信息文件夹48中读出对应的作业条件信息，向曝光装置12输出，同时还从描绘用栅格数据文件夹50中依次读出描绘用栅格数据，向曝光装置12输出。这样，曝光装置12就按照上述的作业条件信息，在基板上描绘描绘用栅格数据表示的布线图案。

[0093]

此外，本发明涉及的检查单元进行的检查处理，作为数据处理，不局限于图3所示的各检查处理，毫无疑问，在不脱离本发明的范围内，可以采用其它任意的检查处理，例如检查有无粗细小于阈值的线？或者检查是否包含指令变更布线图案整体的倍率的数据？等。

[0094]

另外，在本实施方式中，作为与本发明涉及的图像处理装置连接的描绘装置，以曝光装置12为例进行了讲述。但是，能够与本发明涉及的图像处理装置连接的描绘装置，并不局限于上述装置，也可以是喷墨型，使用液体喷出型的描绘头，将金属粒子及金属粒子的前驱体附着在基板上，从而在基板上描绘布线图案的描绘装置。作为这种描绘装置，例如可以列举JP特开2005-40665号公报、JP特开2005-47073号公报、JP特开2005-47085号公报、JP特开2005-81710号公报、JP特开2005-81711号公报、JP特开2005-481716号公报、JP特开2005-96332号公报、JP特开2005-96338号公报、JP特开2005-96345号公报等记述的描绘装置。

Claims

1.一种图像处理装置，与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示的线图案的描绘装置连接、进行将表示所输入的所述布线图案的向量形式的图像数据向所述描绘用栅格数据展开的RIP处理，其特征在于：

所述图像处理装置具备检查单元，该检查单元在对所输入的所述图像数据进行所述RIP处理之前，针对所述图像数据，检查是否存在经过利用所述描绘装置进行的描绘工序后制造的基板中会产生不良的缺陷。

2.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，在检查所述图像数据中是否存在缺陷时，取得所述描绘装置在所述基板上描绘所述布线图案之际采用的描绘条件，按照取得的描绘条件，设定用于判定所述检查中的所述缺陷的的阈值，使用所设定的阈值进行所述检查。

3.如权利要求2所述的图像处理装置，其特征在于：所述描绘条件，是描绘所述布线图案之际采用的分辨率或在所述基板上设置的感光材料的种类。

4.如权利要求2所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查是否在所述制造的基板中会产生不良的缺陷的处理，进行至少检查下述项目中的一个的处理：

在所述图像数据表示的布线图案中，是否包含圆周长小于第1阈值的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含始点位置的半径与终点位置的半径之差为第2阈值以上的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含半径为第3阈值以上的圆弧部；

所述布线图案是否存在自原点的距离为第4阈值以上的坐标；

在所述图像数据表示的布线图案中，是否存在面积小于第5阈值的针孔区域；

在所述布线图案中，是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案；以及

在所述布线图案中，是否存在与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案。

5.如权利要求3所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查是否在所述制造的基板中会产生不良的缺陷的处理，进行至少检查下述项目中的一个的处理：

在所述布线图案中，是否包含半径为第3阈值以上的圆弧部；

所述布线图案是否存在自原点的距离为第4阈值以上的坐标；

6.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，至少进行检查下述项目中的一个的处理：

所述布线图案中是否包含使用圆以外的孔眼形状的线；

在所述布线图案中，是否包含构成始点位置和终点位置相同的封闭曲线而且在从始点位置到终点位置的途中与本线交叉的自我交叉线。

7.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，还检查所述图像数据中是否存在因所述RIP处理而会发生出错的缺陷。

8.如权利要求7所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查所述图像数据中是否存在因所述RIP处理而会发生出错的缺陷的处理，至少进行检查下述项目中的一个的处理：

所述图像数据中是否包含了所述RIP处理中可能处理的文字种类以外的文字；

所述布线图案的顶点的数量是否是第8阈值以上；以及

构成所述图像数据的层数是否是第9阈值以上。

9.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：还具备数据生成单元，该数据生成单元在所述检查单元得出所述图像数据有缺陷的判断时，取得判断有所述缺陷的部位的所述布线图案上的坐标，根据取得的坐标，生成缺陷部位明示数据，该缺陷部位明示数据以能与所述图像数据表示的布线图案重叠显示的状态，在所述布线图案上的所述部位明示规定的标记。

10.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于，还具备：

运算单元，该运算单元取得所述描绘装置在所述基板上描绘所述布线图案之际应用的描绘条件，根据取得的描绘条件和所述图像数据，运算当所述描绘装置在现在的描绘条件下描绘所述图像数据表示的布线图案时在所述基板上的所述布线图案的描绘范围；和

位置关系显示控制单元，该位置关系显示控制单元根据所述运算单元运算的描绘范围，使显示单元显示当所述描绘装置在现在的描绘条件下描绘所述图像数据表示的布线图案时的、所述基板与在所述基板上的所述布线图案的描绘范围之间的位置关系。

11.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于，还具备：

低分辨率图像显示控制单元，该低分辨率图像显示控制单元根据所述图像数据，生成用低分辨率表示所述布线图案的低分辨率布线图案图像，并使显示单元显示生成的低分辨率布线图案图像；

展开单元，该展开单元当通过指定单元在由所述低分辨率图像显示控制单元而在所述显示单元显示的低分辨率布线图案图像上指定了放大显示对象区域时，将所述图像数据中相当于所述放大显示对象区域的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成用高分辨率表示所述放大显示对象区域内的布线图案的高分辨率布线图案图像；和

高分辨率图像显示控制单元，该高分辨率图像显示控制单元使所述显示单元显示由所述展开单元生成的高分辨率布线图案图像。

12.如权利要求11所述的图像处理装置，其特征在于：所述描绘装置在基板上描绘的布线图案，配置多个片后构成，这些片则由多个相当于单一的电路图案的相同的单位布线图案排列而成；

所述低分辨率图像显示控制单元，作为所述低分辨率布线图案图像，生成并显示用低分辨率表示所述布线图案整体的图像；

所述展开单元，当在表示所述布线图案整体的低分辨率布线图案图像上，作为所述放大显示对象区域，被指定了特定的片时，只将所述图像数据中相当于所述特定的片内的单一的特定单位布线图案的数据向高分辨率栅格数据展开，作为所述特定片的高分辨率布线图案图像，只对所述特定单位布线图案显示布线图案，而对其它的单位布线图案则只显示表示外缘的框线的图像。

13.如权利要求11所述的图像处理装置，其特征在于：还具备距离运算·显示单元，该距离运算·显示单元当通过指定单元在由所述高分辨率图像显示控制单元而在所述显示单元显示的高分辨率布线图案图像上指定了距离测定对象的2点时，运算所指定的2点间的距离，并显示在所述显示单元上。

14.一种图像描绘装置，其特征在于：具备权利要求1～13任一项所述的图像处理装置，

根据该图像处理装置获得的所述描绘用栅格数据，向描绘面上进行描绘。

15.一种图像描绘系统，其特征在于，包含：

CAD系统及CAM系统中的至少一个，这些系统生成所述向量形式的图像数据；

权利要求1～13任一项所述的图像处理装置；以及

描绘装置，该描绘装置根据该图像处理装置获得的所述描绘用栅格数据，向描绘面上进行描绘。