CN101170107A - 白色发光有机el元件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供的白色发光有机EL元件的制造方法是，至少顺序设置有反射电极，发出第一色光的第一有机EL层，中间电极基板，发出与第一色不同的第二色光的第二有机EL层，以及第二透明电极，所述反射电极与第二透明电极具有相同的极性，所述中间电极基板具有与所述反射电极、第二透明电极不同的极性的白色发光有机EL元件的制造方法。其具有以下工序，(1)准备设置有反射电极与第一有机EL层的第一有机发光基板的工序；(2)准备设置有第二透明电极与第二有机EL层的第二有机发光基板的工序；(3)准备在两面设置有第一透明电极的中间电极基板的工序；以及(4)在第一有机发光基板和第二有机发光基板之间配置中间电极基板，使第一有机EL层和第二有机EL层分别面对中间电极基板的工序。由此提供能够容易地形成作为不伴随有驱动电压上升的白色发光元件的具有发出相互不同色的光的多个有机EL层的有机EL元件的制造方法。

Description

白色发光有机EL元件的制造方法

技术领域

本发明涉及白色发光有机EL(电致发光)元件的制造方法。该有机EL元件高精密、可视性优异，具有在携带终端机、产业用测量器、家庭用电视等宽广范围的画面显示中应用的可能性。

背景技术

作为适用于显示装置的发光元件的一例，公知的是具有有机化合物的薄膜叠层结构的有机EL发光元件。由于有机EL元件是薄膜的自发光元件，具有低驱动电压、高分辨率、高视野角等优异的特征，所以对其实用化进行了各种各样的研究。

有机EL发光元件具有在阳极与阴极之间至少设置有有机发光层的结构。有机EL发光元件可以根据需要具有存在有空穴注入层、空穴输送层、电子输送层以及/或者电子注入层的结构。在阳极与阴极之间施加电压时，有机EL发光元件内被注入空穴以及电子。注入的孔穴以及电子在有机发光层中再结合，结果是有机发光层中的有机EL物质提高为高能量状态。有机EL物质在从高能量状态向基底状态跃迁时发光。

显示器是将多个像素排列成矩阵构成显示。像素的矩阵的驱动方法虽然有多种，但被称为单纯矩阵驱动的方法结构比较简单，被广泛使用。在单纯矩阵驱动的显示器中具有阳极与阴极分别被构成条纹状的多列，阳极列与阴极列相互正交配置的特征。特定的信号被显示于被选择的阳极列与被选择的阴极列交叉的像素。

现在，作为全彩色化的方法，目光集中于广范围的发光光谱(例如白色光)与滤色器组合的方式。

关于白色发光有机EL发光元件，提出了多种提案。例如，在专利文献1中，公开了在阳极与阴极之间制作2色的发光层的技术。而且，在专利文献2中，公开了在阳极与阴极之间通过等电位面串联配置多个有机EL发光部，由此得到白色发光的技术。而且，在专利文献3中，公开了通过并列连接发出同色光的有机EL发光元件并形成叠层，由此实现流过发光元件的电流密度的降低以及延长元件寿命的技术。

而且，在专利文献4中，公开的白色发光元件的特征在于，具有基板，和顺序包括反射电极、发出第一色光的第一有机EL层、第一透明电极、发出与第一色不同的第二色光的第二有机EL层、以及第二透明电极的叠层体(参照图1)，且反射电极和第二透明电极是具有相同极性的电极，和第一透明电极是相反极性的电极。

专利文献1：日本专利第3366401号公报

专利文献2：特开2003-45676号公报

专利文献3：日本专利第3189438号公报

专利文献4：特开2004-327248号公报

专利文献5：特开平9-167684号公报

发明内容

然而，在专利文献1～3中记载的任意一种方法中，在白色化时，由于发光层到发光部是串联连接，所以都存在有导致驱动电压上升的问题。发光元件驱动电压的上升，由于根据情况会使驱动IC被破坏，所以在实际应用中是不希望有的。因此，希望能够开发出即可以发出白色光，又可以由低电压驱动的有机EL发光元件。

在专利文献4中，公开了通过叠层并联连接的多个有机EL层，得到不会伴随有驱动电压的上升，而能够发出白色至多色光的有机EL发光元件的技术。图1在表示本发明的有机EL元件的叠层结构的同时，也表示出专利文献4中公开的元件的结构。在制造该结构的被动矩阵型有机EL元件的情况下，反射电极312、第一透明电极330、第二透明电极322，必须分别形成条纹状的图形。这里，对应于图1的反射电极312的条纹状电极列与对应于第二透明电极322的条纹状电极列是平行的，对应于第一透明电极330的条纹状电极列必须配置成与上述电极列正交。

现在，主要采用的有机EL元件的结构如图2所示，设置有用于分离上部电极27的隔离壁28。设置有该隔离壁28的元件结构，虽然对于在叠层方向上串联连接的元件的电极的图形形成是有效的，但却不容易适用于专利文献4中的并联连接的叠层结构。这是因为，在由隔离壁28分离的第一透明电极列(中间电极列)330上形成有第二有机EL层402，以横切隔离壁28的方式形成第二透明电极322时，为了上部电极27的分离，隔离壁28的高度必须充分高达2～10μm，因此，厚度为100～300nm的第二透明电极层322被隔离壁28隔断，就不能形成与第一透明电极列(中间电极列)330正交的第二透明电极列。进而，为了形成第二透明电极322，在第一透明电极330形成后，再在第一透明电极上形成用于分离第二透明电极322的隔离壁就极为困难。

本发明是鉴于上述问题而提出，其目的在于提供，不会伴随有驱动电压的上升、叠层2层的有机EL层、发出白色光的元件，是具有2层的有机EL层并联连接的元件结构的被动矩阵型有机EL元件，特别是可以容易地形成其电极的制造方法。

就是说，本发明的白色发光有机EL元件的制造方法是，至少顺序设置有反射电极、发出第一色光的第一有机EL层、在其两面形成有第一透明电极的中间电极基板、发出与第一色不同的第二色光的第二有机EL层、以及第二透明电极，所述反射电极和所述第二透明电极具有相同的极性，所述中间电极基板具有与所述反射电极、第二透明电极不同的极性的白色发光有机EL元件的制造方法。其特征在于具有以下工序：(1)准备设置有反射电极与第一有机EL层的第一有机发光基板的工序；(2)准备设置有第二透明电极与第二有机EL层的第二有机发光基板的工序；(3)准备在两面设置有第一透明电极的中间电极基板的工序；以及(4)在第一有机发光基板与第二有机发光基板之间配置中间电极基板，使第一有机EL层与第二有机EL层分别面对第一透明电极的工序。

通过这些工序(1)～(4)，能够简单容易地形成有机EL层2层的并联连接，得到可以形成不伴随有元件的驱动电压上升的元件的效果。

而且，优选在工序(4)中，所述第一有机EL层或者第二有机EL层，或者是它们双方，进一步通过金属薄膜分别与第一透明电极相接。

通过在有机EL层与中间电极基板的第一透明电极之间夹持金属膜，能够得到改善有机EL层与第一透明电极的电连接的效果。

进一步，优选所述第一有机EL层一侧的反射电极与所述中间电极基板的第一有机EL层一侧的第一透明电极，构成能够选择透过红色发光的微小空腔共振器。

通过设置选择透过红色发光的微小空腔共振器，能够得到提高白色光中包含的红色光发的光强度与色纯度的效果。

而且，优选在工序(1)、(2)中，上述第一有机EL层以及上述第二有机EL层分别分离成多个区域，每个区域构成一个像素，且各区域相互绝缘，抑制像素间的漏电(leak)。

为了形成分离的多个像素区域，优选在工序(1)中，在基板上形成条纹状的反射电极，在像素区域以外的区域形成第一层间绝缘膜，在该基板上的像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下，将有机材料蒸镀于像素区域，形成所述第一有机EL层。在工序(2)中，在其他基板上形成条纹状的第二透明电极，在像素区域以外的区域形成第二层间绝缘膜，在该基板上的像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下，将有机材料蒸镀于像素区域，形成所述第二有机EL层。进而，在工序(4)中，将中间电极基板配置于第一有机发光基板和第二有机发光基板之间，使第一有机EL层的每个像素区域与第二有机EL层的每个像素区域相对应。

根据本发明，能够容易地形成不伴随有驱动电压上升的白色发光元件。

附图说明

图1是表示由本发明的制造方法所得到的有机EL元件的基本结构的模式图。

图2是表示现在主要采用的具有隔离壁的有机EL元件的结构的模式图。

图3是表示根据本发明的方法所制作的白色发光有机EL元件的部件结构的一个实施例的模式图。

符号说明

310：第一有机发光基板；311、321：基板；312：反射电极；313：第一层间绝缘膜；323：第二层间绝缘膜；314、324：电子注入层；315、325：电子输送层；316：第一有机发光层；317、327：空穴输送层；318、328：空穴注入层；319、329：金属薄膜；320：第二有机发光基板；322：第二透明电极；330：第一透明电极(中间电极)；3300：中间电极基板；331：基板；332、334：屏障层；333、335：形成于中间电极基板的两面的第一透明电极；336：贯通孔

具体实施方式

下面详细说明本发明的实施方式。

图1是表示由本发明的制造方法所得到的有机EL元件的基本结构的叠层体400的模式图。

叠层体400是在基板(图中没有表示)上具有2个发光部，在反射电极3 12上顺序叠层有第一有机EL层401、第一透明电极(中间电极)330、第二有机EL层402以及第二透明电极322的部件。第一有机EL层与第二有机EL层，发出相互不同的第一色的光101与第二色的光102。

第一有机EL层401与第二有机EL层402，分别至少包括有机发光层316、326，根据需要还包括电子注入层314、324，电子输送层315、325，空穴输送层317、327以及/或者空穴注入层318、328。具体地，采用如下所述的层结构构成。

(a)有机发光层

(b)空穴注入层/有机发光层

(c)有机发光层/电子注入层

(d)空穴注入层/有机发光层/电子注入层

(e)空穴注入层/空穴输送层/有机发光层/电子注入层

(f)空穴输送层/有机发光层/电子输送层

(g)空穴注入层/空穴输送层/有机发光层/电子输送层/电子注入层

(上述内容中，作为阳极发挥功能的电极与有机发光层、空穴输送层或者空穴注入层相连接，作为阴极发挥功能的电极与有机发光层、电子输送层或者电子注入层相连接)

从改善电子注入效率的观点看，优选至少设置有电子注入层。

在图1的叠层体400中，反射电极312是第一有机EL层401的阴极，第一透明电极(中间电极)330是第一有机EL层401和第二有机EL层402的共同阳极，第二透明电极322是第二有机EL层402的阴极。

在本发明中，叠层体400按照以下的方法制造。

(1)准备在图中没有表示的基板上设置有反射电极312与第一有机EL层401的第一有机发光基板，(2)准备在图中没有表示的基板上设置有第二透明电极322与第二有机EL层402的第二有机发光基板，(3)准备在图中没有表示的基板的两面上设置有第一透明电极的中间电极基板3300，(4)在第一有机发光基板与第二有机发光基板之间夹持中间电极基板，使第一有机EL层与第二有机EL层分别面对第一透明电极，通过将它们重叠配置制造叠层体即白色发光有机EL元件。密封该叠层体，与驱动电路相连接，使白色发光有机EL元件动作。并且，这里所谓“面对”，除了有机EL层与第一透明电极直接电接合的情况之外，还包括以下所说明的通过金属薄膜等导电体膜接合的情况。

图3是表示根据本发明的方法所制造的白色发光有机EL元件的部件结构的一个实施例的模式图。图3(a)是表示第一有机发光基板310的实施形式；图3(b)是表示第二有机发光基板320的实施形式；图3(c)是表示中间电极基板3300的实施形式。

图3(a)是表示包括沿与纸面平行地延伸的反射电极与2个像素区域的截面的第一有机发光基板的部分截面图。第一有机发光基板310在基板311上叠层有，由高反射性金属膜构成的反射电极312、规定像素区域的第一层间绝缘膜313、以及在它们上方的第一有机EL层401与金属薄膜319。第一有机EL层401至少顺次叠层有电子输送层315、第一有机发光层316和空穴输送层317。

图3(b)是表示沿与纸面垂直方向延伸的包括2个第二透明电极与2个像素区域的截面的第二有机发光基板的部分截面图。第二有机发光基板320在基板321上叠层有，由透明导电体构成的第二透明电极322，规定像素区域的第二层间绝缘膜323，以及在它们上方的第二有机EL层402和金属薄膜329。第二有机EL层402至少顺次叠层有电子输送层325、第二有机发光层326与空穴注入层327。

图3(c)是表示包括贯通孔与2个像素区域的截面的中间电极基板的部分截面图。中间电极基板330，在基板331的两面上，通过屏障层332、334形成由透明导电膜构成的第一透明电极333、335。2个第一透明电极，通过在贯通孔336中填充的导电体电接合。

在图3(a)、3(b)中，表示的是作为有机EL层401、402是在前面示例的层结构(f)的例子。作为的有机EL层的结构，可以根据需要进而追加空穴注入层以及电子注入层。从改善电子注入的效果的观点看，优选至少设置电子注入层。优选透明电极322、333、335是由IZO(铟锌氧化物)或ITO(铟锡氧化物)等透明导电体所构成的非晶质膜。

以下对有机发光基板310、320及中间电极基板3300的制作方法加以说明。

第一有机发光基板310，例如由如下所述的方法形成。首先，由蒸镀乃至溅射或其它的方法，在洗净后的基板311上形成金属膜，由光蚀刻(photo-etching)法形成条纹状图形作为反射电极312。对于基板311，可以使用玻璃、聚碳酸酯(polycarbonate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylene naphthalate)等高分子材料。在使用高分子材料的情况下，基板311可以是刚直性，也可以是可挠性。对于金属膜的材料，可以使用高反射性的金属，例如Al、Ag、Mo、W、Ni、Cr等，或非晶质合金，例如NiP、NiB、CrP、CrB等。在形成图形后的反射电极312上，除去成为像素的部分，在全部基板上形成第一层间绝缘膜313。层间绝缘膜例如可以由光致抗蚀剂等有机材料，或者是使用SiOx、SiNx等无机材料形成。使用具有与通过第一层间绝缘膜313所规定的像素区域相对应的开口部的掩膜，在像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下蒸镀有机材料，将第一有机EL层401叠层为岛状。有机EL层的平面形状，对于每个像素，例如是四边形或长方形等大致的方形。

作为第一有机EL层401中各层的材料，没有特别的限制，可以使用公知的材料。对于电子注入层(图中没有表示)，可以使用LiF等碱金属化合物。电子输送层315可以使用Alq3，其中也可以掺杂Li等碱金属。有机发光层316的材料可以根据所希望的色调而选择，例如为了得到从蓝色到蓝绿色的发光，可以使用苯并噻唑系、苯并咪唑系、苯并噁唑系等荧光增白剂、苯乙烯基苯系化合物、芳香族二甲川系化合物等。作为主体材料，可以使用铝螯合物、4，4′-双(2，2-二苯基乙烯基)联苯(DPVBi)、2，5-双(5-叔丁基-2-苯并噁唑)-噻吩(BBOT)。作为蓝色掺杂剂，可以添加0.1～5重量％的二萘嵌苯、2，5，8，11-四-叔丁基二萘嵌苯(TBP)、4，4′-双[2-{4-(N，N-二苯基氨基)苯基}乙烯基]联苯)(DPAVBi)等，作为红色掺杂剂，可以添加0.1～5重量％的4-(二氰基亚甲基)-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃，4，4-二氟-1，3，5，7-四苯基-4-硼-3a，4a-二氮杂-s-引达省(4，4-ジフロロ-1，3，5，7-テトラフエニル-4-ボラ-3a，4a-ジアザ-s-イ ンダセン、4，4-difluoro-1，3，5，7-tetraphenyl-4-bora-3a，4a-diaza-s-indacene)，丙二腈(DCJT1)，尼罗红等。空穴输送层317可以使用α-NPD，其中还可以掺杂4-TCNQ等路易斯氧化合物等。

在形成岛状有机EL层时，通常是采用使用了掩膜的真空蒸镀法。或者是，如专利文献5所公开的那样，将预先形成有有机EL材料的施主薄板(donor sheet)近空间配置于基板，对所希望的区域照射激光等热源，由将有机EL材料堆积在基板上的近空间形成法形成。

关于第一有机EL层401的各层的膜厚，可以考虑驱动电压以及透明性等进行适宜的选择，通常空穴输送层317为20～80nm，有机发光层316为20～40nm，电子输送层315为20～40nm，电子注入层(图中没有表示)为0.5～5nm。但是，并不局限于上述厚度。

在形成为条纹状或者大致方形的岛状有机EL层的最上部形成金属薄膜319。形成方法可以是使用掩膜蒸镀法(将应该被蒸镀的部分以外的部分用掩膜覆盖进行蒸镀的方法)的真空蒸镀，或者也可以采用上述近空间法。该金属薄膜，对于改善与中间电极上的第一透明电极的连接是有效的。而且，优选通过金属薄膜319与第一透明电极333的组合，构成可以选择透过特定的光例如红色光的微小空腔共振器。具体地，通过反射电极、第一有机EL层、金属薄膜(半反射镜halfmirror)、第一透明电极的叠层体构成微小空腔共振器。通过在叠层体内设置选择透过特定波长光的共振器，能够得到提高特定光的光强度与色纯度的效果。

第二有机发光基板320，例如由以下方法形成。首先，由蒸镀乃至溅射或其它的方法，在洗净后的基板321上形成透明导电膜，由光蚀刻(photo-etching)法形成条纹状图形作为第二透明电极322。对于基板321，可以使用玻璃、聚碳酸酯(polycarbonate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylene naphthalate)等高分子材料。在使用高分子材料的情况下，基板321可以为刚直性，也可以为可挠性。对于透明导电膜的材料，例如可以使用ITO、氧化锡、氧化铟、IZO、氧化锌、锌-铝氧化物、锌-镓氧化物，或者对于这些氧化物添加F、Sb等掺杂物的导电性透明金属氧化物等。在形成图形后的第二透明电极322上，除了成为像素的部分，在全部基板上形成第二层间绝缘膜323。该层间绝缘膜与第一层间绝缘膜同样，例如可以使用光致抗蚀剂等有机材料，或者是使用SiOx、SiNx等无机材料形成。使用具有与通过第二层间绝缘膜323所规定的像素区域相对应的开口部的掩膜，在像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下蒸镀有机材料，将第二有机EL层叠层为岛状。有机EL层的平面形状，对于每个像素，例如是四边形或长方形等大致的方形。

构成第二有机EL层的各层的材料也没有特别的限制，可以使用公知的材料。电子输送层325可以使用Alq₃，其中也可以掺杂Li等碱金属。第二有机EL层发出与第一有机EL层发出的第一色的光(图1的101)不同的第二色的光(图1的102)。第二有机发光层326的材料也可以根据所希望的色调选择，可以从第一有机发光层的说明中所述的材料中选择适当的材料。为了通过第一色的光和第二色的光得到白色光，优选在2色补色的情况下使用蓝与红、蓝与黄、蓝绿与红中选择任意一种组合，在3色发光的情况下，1层使用绿，其它层使用蓝和红相组合。

空穴输送层327可以使用α-NPD，其中还可以掺杂F4-TCNQ等路易斯氧化合物等。对于第二有机EL层的膜厚，可以考虑驱动电压以及透明性等而进行适当的选择，通常是空穴输送层327为20～80nm，有机发光层326为20～40nm，电子输送层325为20～40nm。但是，并不局限于上述厚度。在岛状有机EL层最上部通过掩膜蒸镀法，或近空间法形成金属薄膜329。

中间电极基板3300是在基板331的两面，通过屏障层332、334分别形成有条纹图形状的第一透明电极333、335的部件。作为基板331，通常使用膜厚为50～500μm的、透明、且具有较高耐热性的塑料薄膜，例如希望使用PC(聚碳酸酯polycarbonate)，PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯polyethylene terephthalate)及PES(Polyethersulfone聚醚砜)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN：Polyethylene naphthalate)、聚烯烃(PO)等。而且，作为基板331中使用的材料也不局限于这些材料，还可以使用以多层膜的树脂薄膜为基础的薄膜。

屏障层，例如可以通过CVD法形成SiOx、SiNx膜而得到。优选膜厚为200～500nm。第一透明电极，例如通过溅射法形成ITO或IZO膜而得到。优选的膜厚为100～300nm。

在薄膜状基板331上将透明电极形成为条纹图形之前，对基板331照射激光光束，由机械冲孔的方式形成贯通孔336。在形成透明电极333、335时，在该贯通孔336的内侧面缠绕入在基板33 1的前面和背面形成的透明电极材料，两面的电极材料相接触。由此，前面与背面导通，能够实现同一极性。在形成贯通孔336的区域，虽然可以是条纹图形内的任意区域，但是优选在与像素区域不发生干涉的区域形成。

将如上所述形成的中间电极基板3300配置在第一有机发光基板3 10和第二有机发光基板320之间，将其在球形箱中干燥的氮气气氛(例如氧与水分的浓度都在10ppm以下)下贴合，完成白色发光有机EL元件。此时以使各层与电极构成如图1所示的叠层体的方式配置各基板。将中间电极基板330夹持于第一有机发光基板3 1 0和第二有机发光基板320之间并使其重叠，使得第一有机EL层和第二有机EL层每个像素相对并面对第一透明电极。在各基板在有机EL层上具有金属薄膜的情况下，通过这些金属薄膜各有机EL层与第一透明电极相接合。

[实施例]

以下使用实施例对本发明做进一步的说明。

<实施例1>

根据以下所示的制作方法，在500mm×500mm×0.50mm的第一玻璃基板311上，形成像素尺寸为0.148mm×0.704mm，像素间隔0.130mm的像素结构的第一发光部。

首先，由蒸镀法，作为高反射电极，全面蒸镀厚度为100nm的Al，接着进行研磨。在Al上涂敷抗蚀剂(OFRP-800，商品名，东京应化制)之后，由照相平板印刷术(photolithography)进行形成图形，得到宽度0.204mm，间隔0.074mm，膜厚100nm的条纹图形构成的作为阴极的反射电极312。

接着使用积极型光刻胶(positive type photoresist)(WIX-2A)(商品名，日本ゼオン公司制造)，在反射电极(阴极)上形成厚度为1μm的层间绝缘膜313，使得在与像素区域相对应的部分形成0.148×0.704mm的开口部。层间绝缘膜313端部的相对于基板的角度为锐角。

接着以上的工序，将形成有上述阴极312、层间绝缘膜313的基板安装在电阻加热蒸镀装置内。使用具有与子像素区域相对应的尺寸为0.148×0.704mm的开口部的掩膜，在不破坏真空状态下顺次形成电子输送层315、有机发光层316、空穴输送层317。成膜时真空槽内的压强减压至1×10^-4Pa。电子输送层315是将Alq3叠层为20nm的厚度。

有机发光层316是在主体材料4，4′-双(2，2-二苯基乙烯基)联苯(DPVBi)中，掺杂1wt％的作为红色掺杂物的4-(二氰基亚甲基)-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM)并叠层为20nm膜厚。空穴输送层317是叠层厚度为20nm的α-NPD。之后，通过同样的掩膜制膜，在不破坏真空状态下形成由厚度为5nm的Al构成的金属薄膜319。这样，制作第一有机发光基板。

接着，在500mm×500mm×0.50mm的第二玻璃基板321上形成如上所述结构的第二发光部。其制作方法是，与反射电极平行地形成条纹状的第二透明电极322，取代反射电极312，以及在有机发光层326的客体中使用5wt％的蓝色掺杂物4，4′-双[2-{4-(N，N-二苯基氨基)苯基}乙烯基]联苯)(DPAVBi)以取代红色掺杂物，除此之外都与第一有机发光基板相同。

第二透明电极322的形成按照以下的方法进行。首先，由溅射法在全部表面形成ITO膜，接着研磨而形成透明电极。在ITO上涂敷抗蚀剂(OFRP-800，商品名，东京应化制造)之后，由照相平板印刷术(photolithography)进行形成图形，得到宽度0.204mm，间隔0.074mm，厚度100nm的条纹图形构成的第二透明电极(阴极)322。这样制作第二有机发光基板。

使用500mm×500mm×0.50mm的聚酰亚胺薄膜基板331，按照以下的方法制作中间电极基板3300。

用溅射法在基板331的两面上形成作为屏障层332、334的SiN膜。接着使用KrF准分子激光，在激光光斑直径50μm，激光输出为100mJ/脉冲～450mJ/脉冲的条件下，在像素区域间的聚酰亚胺基板及SiN膜上形成贯通孔336。

接着，由溅射法在形成有屏障层的基板331的两面全面形成ITO膜。此时，在预先打开的贯通孔336的内侧，从两面缠绕入ITO形成连接，使两面形成电连接。接着在两面上形成的ITO上，沿与条纹状的反射电极正交的方向，扫描YAG激光，分离像素区域与非像素区域。这样，获得位于RGB子像素的宽度为0.204mm、间隙为0.048mm、膜厚为100nm的条纹状图形所构成的阳极列(第一透明电极333、335)。

将如上所述得到的第一有机发光基板310和第二有机发光基板320以及中间电极基板3300导入球形箱内。配置各基板310、320、3300并重叠，使得第一有机发光基板的子像素区域和第二有机发光基板的子像素区域相对面，并且使阴极列和阳极列相互正交。在金属薄膜319、329之间夹持第一透明电极333、335，在干燥的氮气气氛(例如氧与水分的浓度都在10ppm以下)下，使用UV硬化接合剂密封。

将所得到的有机EL发光元件的反射电极以及第二透明电极与电源的负极连接，将第一透明电极与电源的正极连接，施加电压时，在可视区域得到具有广阔发光分布的色度(0.30，0.33)的白色光。

<实施例2>

在上述实施例1中，在第一有机发光基板的有机发光层316中，添加1wt％的作为绿色掺杂物的零陵香素6以取代红色掺杂物，在第二有机发光基板的有机发光层326中，除了取代5wt％的DPAVBi，而添加主体材料的2.5wt％的作为蓝色掺杂物的4，4′-双[2-{4-(N，N-二苯基氨基)苯基}乙烯基]联苯)(DPAVBi)，主体材料的0.2wt％的作为红色掺杂物的4-(二氰基亚甲基)-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM)以外，其余都与实施例1同样，制作出白色发光有机EL元件。

当点亮该元件时，在可视区域得到具有广阔发光分布，色度(0.32，0.30)的白色光。

<比较例1>

与实施例1同样，在500mm×500mm×0.50mm的玻璃基板上，形成像素尺寸为0.148mm×0.704mm，像素间隔为0.130mm的像素结构的发光部。在阴极上形成宽度为0.204mm，间隔为0.074mm，厚度为100nm的A1构成的条纹图形状的反射电极(阴极)，和具有0.148mm×0.704mm的开口部的层间绝缘膜，接着，将膜厚为20nm的电子输送层Alq₃、在DPVBi中掺杂5wt％的蓝色掺杂物DPAVBi膜厚为20nm的发光层、膜厚为20nm的空穴输送层α-NPD、厚度5nm的Al薄膜形成叠层作为第一有机发光基板。接着，在500mm×500mm×0.50mm的玻璃基板上，形成由宽度为0.204vm，间隔为0.074mm，厚度为100nm的条纹图形构成的阳极IZO，作为透明电极基板。最后使用UV硬化接合剂贴合密封第一有机发光基板与第二有机发光基板，得到具有单一蓝色发光有机EL层的有机EL元件。

<比较例2>

在比较例2中，除了作为发光层的掺杂物，掺杂主体材料的2.5wt％以及0.2wt％的蓝色掺杂物DPAVBi、红色掺杂物DCM以外，其余都与比较例1完全相同。

(评价)

将实施例1、2的有机EL元件的反射电极312以及第二透明电极322与电源的负极连接，第一透明电极330与电源的正极连接。对于比较例1、2的有机EL元件，将反射电极与电源的负极连接，将透明电极与电源的正极连接。使各自的有机EL发光元件发光，测定了关于波长为470nm的光的亮度为1000cd/m²的驱动电压。实施例1及比较例1的元件的驱动电压都是6.5V，实施例2及比较例2的元件的驱动电压都是6.7V。由此可知，本发明的有机EL元件，可以不使驱动电压上升而使多个有机EL层发光，发出白色光。

根据本发明的白色发光有机EL元件的制造方法，能够容易地形成不伴随有驱动电压上升的白色发光元件。

Claims (7)

1.一种白色发光有机EL元件的制造方法，所述白色发光有机EL元件是至少依次具备有反射电极，发出第一种颜色的光的第一有机EL层，中间电极基板，发出与第一种颜色不同的第二种颜色的光的第二有机EL层，以及第二透明电极，所述反射电极与第二透明电极具有相同的极性，所述中间电极基板具有与所述反射电极、第二透明电极不同的极性，该制造方法的特征在于，包括：

(1)准备具有反射电极和第一有机EL层的第一有机发光基板的工序；

(2)准备具有第二透明电极和第二有机EL层的第二有机发光基板的工序；

(3)准备在两面设置有第一透明电极的中间电极基板的工序；以及，

(4)在第一有机发光基板和第二有机发光基板之间配置中间电极基板，使第一有机EL层与第二有机EL层分别面对第一透明电极的工序。

2.根据权利要求1所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在工序(4)中，所述第一有机EL层或者第二有机EL层，或者它们双方，进一步通过金属薄膜分别与第一透明电极相接。

3.根据权利要求1或者2所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

所述反射电极与所述中间电极基板的第一透明电极的第一有机EL层的部分，构成选择透过红色发光的微小空腔共振器。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在工序(1)、(2)中，所述第一有机EL层以及所述第二有机EL层分离成多个区域，每个区域构成一个像素，且各区域相互绝缘。

5.根据权利要求4所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在工序(1)中，在基板上形成条纹状的反射电极，在像素区域以外的区域形成第一层间绝缘膜，在该基板上的像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下，将有机材料蒸镀于像素区域，形成所述第一有机EL层。

6.根据权利要求3或者4所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在工序(2)中，在基板上形成条纹状的第二透明电极，在像素区域以外的区域形成第二层间绝缘膜，在该基板上的像素区域以外的部分在覆盖有掩膜的状态下，将有机材料蒸镀于像素区域，形成所述第二有机EL层。

7.根据权利要求6所述的白色发光有机EL元件的制造方法，其特征在于：

在工序(4)中，将中间电极基板配置于第一有机发光基板和第二有机发光基板之间，使第一有机EL层的每个像素区域与第二有机EL层的每个像素区域相对应。

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