CN101167141A - 在mcp或sip中的存储芯片的测试系统 - Google Patents

在mcp或sip中的存储芯片的测试系统 Download PDF

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Abstract

为了测试被安装在和第一存储芯片相同的封装内的不同种类的第二存储芯片,而从第一存储芯片输出由测试图案生成电路生成的多个测试图案。因此,在同一封装内安装不同种类的存储芯片时,可在存储芯片的端子未被连接在系统外部端子的情况下,测试存储芯片。由于不需要在系统中形成没用的外部端子,因此可削减系统成本。测试图案生成电路由于使用非易失性逻辑构成,因此可不预先准备测试图案而实施测试。因此,为了构成系统而购买第一以及第二存储芯片的用户也可容易地实施测试。

Description

在MCP或SIP中的存储芯片的测试系统
技术领域
本发明涉及将多个种类的半导体存储芯片安装在一个封装上而构成的系统的测试技术。
背景技术
最近,将工艺技术不同的多个种类的存储芯片以及逻辑芯片等容纳在一个封装中而构成系统的、被称为SIP(system in a package,封装内系统)或者MCP(multi chip package,多芯片封装)的技术正在被开发。另外,将多个种类的存储电路和逻辑电路等集成在一个芯片上而构成系统的、被称为SOC(System on Chip,系统集成芯片)的技术正在被开发。
在这种系统(例如SIP)中,外部端子是为了相对于外部输入输出所需要的信号而被形成的,其并不与存储芯片和逻辑芯片的所有端子(pad,焊盘)相对应。特别是由于存储芯片仅被逻辑芯片访问的情况较多,因此存储芯片的端子与外部端子连接的情况较少。为了测试未被连接在MCP的外部端子的存储芯片而需要特别的测试技术。例如,在日本专利文献特开2003-77296号公报中,公开了一种形成了用于在逻辑芯片内部测试存储芯片的测试电路的MCP。在日本专利文献特开2003-149300号公报以及日本专利文献特开2001-325800号公报中,公开了在SOC上使存储电路作为可编程逻辑(programmable logic)起作用而构成测试电路,对其他存储电路进行测试的技术。可编程逻辑通过从系统外部读入电路数据而被构成。
SIP以及MCP大多是由半导体制造商或从半导体制造商购买了芯片的用户进行组装的。在用户组装SIP或MCP时,组装后的测试必须由用户实施。另一方面,由于SOC仅由半导体制造商制造,因此SOC完成后的测试由半导体制造商实施。
专利文献1:日本专利文献特开2003-77296号公报;
专利文献2:日本专利文献特开2003-149300号公报;
专利文献3:日本专利文献特开2001-325800号公报。
发明内容
发明想要解决的课题:
在半导体制造商对安装了多个种类的半导体存储芯片的MCP以及SIP等的系统进行测试时,半导体制造商可将用于测试单个存储芯片的测试图案(pattern)作为安装在系统的存储芯片的测试图案进行使用。另外,在由可编程逻辑构成测试图案生成电路等的测试电路的情况下,也可使用单个的存储芯片用的已有的测试图案。
另一方面,在购买了存储芯片的用户组装、测试MCP以及SIP等系统时,用户需要从半导体制造商得到测试图案或者自己制作。在半导体制造商将测试图案提供给用户时,有可能导致测试技术外流。并且,即使可得到测试图案,也需要将其给与存储芯片的测试装置。用于测试存储芯片的测试图案一般是复杂的,需要使用存储用的LSI测试器(存储器测试器)来进行实施。此时,用户必须购买价格不菲的LSI测试器。
在MCP或者SIP上安装逻辑芯片的情况下,需要用于测试逻辑芯片的LSI测试器(逻辑测试器)。即使用户具有存储器测试器和逻辑测试器两者,也必须轮番地将MCP或SIP设置在存储器测试器和逻辑测试器上进行测试,因此测试效率差。
并且,在用户构成存储芯片内的可编程逻辑的逻辑时,为了抑制测试成本,需要从半导体制造商得到逻辑数据。但是,由半导体制造商对组装MCP以及SIP等的系统的所有用户分配逻辑数据,这在所需的劳力和时间以及成本上是很困难的。另外,由于每次测试需要向可编程逻辑写入逻辑数据,因此增加了系统的测试时间和测试成本。因此,使用存储芯片内的可编程逻辑测试MCP和SIP等系统是不现实的。
本发明的目的在于削减多个种类的存储芯片安装在一个封装上的系统的测试成本。
用于解决课题的手段
在本发明的一种方式中,半导体存储器(第一存储芯片)的测试图案生成电路生成多个测试图案。为了测试被安装在与第一存储芯片相同的封装内的不同种类的存储芯片(第二存储芯片),而从第一存储芯片的多个外部输出端子输出测试图案。并且,通过测试图案不仅可进行第一存储芯片的存储单元阵列的测试,还可实施对第二存储芯片的测试。因此,当在同一封装内安装不同种类的存储芯片时,在存储芯片的端子未被连接在系统外部端子的情况下,也可测试存储芯片。由于在系统中不需要形成外部端子,因此可削减系统成本。由于不需要生成复杂的测试图案的测试装置,因此可削减测试成本。
测试图案生成电路使用与可编程逻辑等不同的非易失性逻辑构成。因此,在测试前不需要读入测试图案生成电路的电路数据。由于可不预先准备测试图案而可实施测试,因此为了构成系统而购买第一以及第二存储芯片的用户也可容易地实施测试。即,可削减成本。
在本发明的另一方式中,第一存储芯片的外部输入端子接收从第二存储芯片读出的测试图案。比较电路对由测试图案生成电路生成的测试图案和由外部端子接收的测试图案进行比较。在比较电路的比较结果由测试结果端子输出。因此,在第一存储芯片内判断第二存储芯片是否动作,并可向外部输出。例如,通过判断测试结果端子的逻辑电平而得到测试结果,因此可通过简易的测试装置来实施测试。
在本发明的另一方式中,第一存储芯片的测试控制端子接收用于控制图案生成电路的动作的测试控制信号。例如,根据测试控制信号决定为了写入第一以及第二存储芯片而被生成的测试图案。因此,通过外部控制,能够使用各种各样的测试图案可靠地测试第一以及第二存储芯片。不只是单纯的合格/不合格的判断,也可实施详细的极限测试。
在本发明的另一方式中,安装了第一以及第二存储芯片的系统安装了访问这些存储芯片的逻辑芯片。系统具有使第一存储芯片、第二存储芯片、以及逻辑芯片互相连接的系统总线。第一存储芯片的外部输出端子与系统总线连接。由于可使用用于使系统动作的系统总线向第二存储芯片写入测试图案,因此可削减系统内的布线数,从而可削减系统成本。另外,通过测试第二存储芯片可实施系统总线的互相连接测试。
在本发明的另一方式中,逻辑芯片的逻辑测试结果输入端子与第一存储芯片的测试结果端子连接,并从第一存储芯片接收比较结果。因此,可使逻辑芯片作为用于测试第一以及第二存储芯片的测试装置而起作用,从而削减测试成本。
在本发明的另一方式中,逻辑芯片具有用于将由逻辑测试结果输入端子接收的比较结果向系统外部输出的逻辑测试结果输出端子。当逻辑芯片的内部电路不动作,第一以及第二存储芯片的至少任一个被测试时,逻辑芯片的选择电路将由逻辑测试结果输入端子接收的比较结果输出给逻辑测试结果输出端子。另外,当逻辑芯片的内部电路动作时,选择电路将由逻辑测试结果输入端子接收的信号输出给逻辑芯片的内部电路。因此,比较结果(测试结果)不只被供给逻辑芯片,还可输出给系统的外部。因此,根据开发系统的用户测试环境可实施最佳的测试。具体而言,例如,在用户只具有简易的测试装置的情况下,可由逻辑芯片判断比较结果。在用户具有LSI测试器等测试装置的情况下,可由LSI测试器判断比较结果。并且,当逻辑芯片安装在其他的系统上时,可将逻辑测试结果输入端子以及逻辑测试结果输出端子使用为其他的功能的端子。
在本发明的另一方式中,逻辑芯片具有与第一存储芯片的测试控制输入端子连接的、用于输出测试控制信号的逻辑测试控制输出端子。因此,可使逻辑芯片作为用于测试第一以及第二存储芯片的测试装置而进行动作。其结果是可削减测试成本。
在本发明的另一方式中,逻辑芯片具有逻辑测试控制输入端子,所述逻辑测试控制输入端子用于接收从系统外部向逻辑测试控制输出端子输出的测试控制信号。当逻辑芯片的内部电路不动作,第一以及第二存储芯片中的至少任一个被测试时,逻辑芯片的选择电路将由逻辑测试控制输入端子接收的测试控制信号输出给逻辑测试控制输出端子。另外,当逻辑芯片的内部电路动作时,选择电路将由逻辑测试控制输入端子接收的信号输出给逻辑芯片的内部电路。因此,测试控制信号不只从逻辑芯片输出,也可从系统的外部供给。因此,根据开发系统的用户测试环境可实施最佳的测试。具体而言,例如,在用户只具有简易的测试装置的情况下,可从逻辑芯片输出测试控制信号实施测试。在用户具有LSI测试器等测试装置的情况下,可从LSI测试器输出测试控制信号实施测试。并且,在逻辑芯片安装在其他的系统上时,可将逻辑测试控制输出端子以及逻辑测试输入端子作为其他功能的端子而使用。
在本发明的另一方式中,系统总线为了访问第一以及第二存储芯片而传递从逻辑芯片的逻辑内部端子输出或输入的信号,并具有在系统内闭合的系统信号线。逻辑芯片具有用于将逻辑内部端子与系统的外部连接的逻辑外部端子。当逻辑芯片的内部电路不动作,第一以及第二存储芯片中的至少任一个被测试时,逻辑芯片的选择电路将系统信号线连接在逻辑外部端子上。另外,当逻辑芯片的内部电路动作时,选择电路将系统信号线连接在内部电路上。因此,用于访问第一以及第二存储芯片的信号不只从逻辑芯片输入输出,还可以从系统的外部输入输出。因此,可使用测试装置更详细地测试第一以及第二存储芯片。另外,例如,在第一以及第二存储芯片中的任一个是电可擦写的半导体存储器的情况下,可使用测试装置向该半导体存储器写入程序等。
发明的效果
通过本发明,可削减将多个种类的存储芯片安装在一个封装中的系统的测试成本。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的框图;
图2是表示本发明第二实施方式的框图;
图3是表示本发明第三实施方式的框图;
图4是表示本发明第四实施方式的框图;
图5是表示本发明第五实施方式的框图;
图6是表示本发明第六实施方式的框图;
图7是表示本发明第七实施方式的框图;
图8是表示本发明第八实施方式的框图;
图9是表示本发明第九实施方式的框图;
图10是表示本发明第十实施方式的框图;
图11是表示本发明第十一实施方式的框图;
图12是表示本发明第十二实施方式的框图;
图13是表示本发明第十三实施方式的框图;
图14是表示本发明第十四实施方式的框图;
图15是表示本发明第十五实施方式的框图。
具体实施方式
下面,使用附图对本发明的实施方式进行说明。图中双层的四边形标记是表示形成在芯片上的外部端子(pad,焊盘)。图中的三层的四边形标记表示MCP或SIP的外部端子(引脚(lead)或凸点(bump)等)。在图中用粗线表示信号线,由多根构成。另外,由粗线连接的模块的一部分由多个电路构成。对通过外部端子而供给的信号使用与端子名相同的标号。另外,对传递信号的信号线使用与信号名相同的标号。在以下的实施方式中,将仅安装了多个存储芯片的封装称为MCP,将安装了存储芯片和逻辑芯片的封装成为SIP。
图1示出了本发明的第一实施方式。在该实施方式中,在封装基板PBRD1上安装了FCRAM(Fast Cycle RAM,快速循环随机存取器)芯片FC1(第一存储芯片)以及闪存芯片FL1(第二存储芯片),从而形成多芯片封装MCP1(系统)。MCP1例如安装在移动电话等便携式设备上。FCRAM芯片FC1是具有DRAM存储器核心、并具有SRAM的接口的模拟SRAM芯片的一种。FCRAM芯片FC1与时钟异步动作,闪存芯片FL1与时钟同步动作。下面,也将FCRAM芯片FC1以及闪存芯片FL1称为芯片FC1以及芯片FL1。
芯片FC1具有:存储单元阵列ARY;读写控制电路RWC;多个缓存BF1、BF2;动作控制电路OPC;测试图案生成电路TPG;多个驱动器DRV;以及多个焊盘,其中所述存储单元阵列ARY具有易失性存储单元(动态存储单元)。读写控制电路RWC在进行写入动作时,接收经由焊盘以及缓存BF1、BF2而提供的地址ADD以及数据DATA,并向由地址ADD指示的存储单元写入数据DATA。另外,读写控制电路RWC在进行读出动作时,从由地址ADD指示的存储单元读出数据DATA,并将读出的数据DATA通过缓存BF2输出给焊盘。缓存BF2具有作为用于向芯片FC1的外部输出数据DATA的驱动器的功能。
动作控制电路OPC根据经由焊盘以及缓存BF1而提供的指令CMD,将用于访问存储单元阵列ARY的动作控制信号输出到读写控制电路。另外,当从封装基板PBRD1的外部供给的指令CMD表示测试指令时,动作控制电路OPC输出用于激活测试图案生成电路TPG的测试信号TST。通过测试信号TST的输出,芯片FC1的状态从通常的动作模式转移到测试模式。当表示测试结束的指令CMD从封装基板PBRD1的外部向芯片FC1供给时,芯片FC1的状态从测试模式转移到通常动作模式。
当测试信号TST表示芯片FC1的测试时,测试图案生成电路TPG以规定的定时顺序地生成芯片FC1用的测试图案(CMD、ADD、DATA),并将生成的测试图案输出给读写控制电路RWC。当测试信号TST表示芯片FL1的测试时,测试图案生成电路TPG以规定的定时依次生成芯片FL1用的测试图案(CMD、ADD、DATA、CLK),并将生成的测试图案通过驱动器DRV、焊盘(外部输出端子)、以及系统总线SB输出给芯片FL1。这样,系统总线SB不止在从MCP1的外部访问芯片FC1、FL1时被使用,在使用芯片FC1的电路测试芯片FL1时也被使用。测试图案生成电路TPG的逻辑由门电路等非易失性逻辑(逻辑被固定的硬件)构成。因此,在向MCP1供电后,测试图案生成电路TPG并不载入用于构成可编程逻辑等的逻辑的数据,而是立刻生成测试图案。
另外,在本实施方式以及后述的实施方式中,动作控制电路OPC可以接收对芯片FC1、FL1通用的测试指令,也可输出通用的测试信号TST。此时,当接收了测试信号TST时,测试图案生成电路TPG依次生成用于测试芯片FC1、FL1的测试图案,并依次测试芯片FC1、FL1。
闪存芯片FL1例如是NOR型,除时钟端子之外的端子与FCRAM芯片FC1(SRAM)的端子具有互换性。封装基板PBRD1例如是印刷基板。封装基板PBRD1形成与芯片FC1、FL1连接的系统总线SB以及用于向系统总线SB输入输出信号的外部端子(引脚或凸点等)。另外,在封装基板PBRD1上形成用于由接合线或凸点连接芯片FC1、FL1的焊盘和系统总线SB的多个焊盘,这在图中未示出。在封装基板PBRD1的外部端子为引脚时,可以将芯片FC1、FL1的焊盘和导线架(lead frame)直接由接合线连接。此时,系统总线SB由于由接合线构成,因此封装基板PBRD1可以不是印刷基板。与MCP1连接的控制器(例如,CPU)通过MCP1的外部端子访问芯片FC1、FL1。
在该实施方式中,例如便携式设备的开发商(用户)从半导体制造商购买FCRAM芯片FC1以及闪存芯片FL1而组装MCP1。开发商在MCP1组装后(封装后)使用简易的测试装置等进行MCP1的动作测试。具体而言,通过从测试装置向MCP1供给测试指令,芯片FC1转移到测试模式,并向芯片FC1以及芯片FL1写入测试数据。测试用的写入数据图案由半导体制造商公开。在此,写入数据图案是全0图案、全1图案、前进图案(マ一チングパタ一ン)等公知的测试数据写入顺序以及被写入的数据映射(map)。测试装置为了得到测试结果而访问芯片FC1的存储单元阵列ARY以及芯片FL2的存储单元阵列,并将被读出的数据与半导体制造商公开的写入数据图案(期待值)进行比较,从而判断MCP1是合格品还是不良品。
测试装置可生成测试指令,如果是为了得到测试结果而可访问芯片FC1、FL1的规格,则可测试MCP1。因此,不需要生成复杂测试图案(包括信号的定时)的测试装置(例如,存储器专用的LSI测试器(存储器测试器))。为了得到测试结果而访问FC1、FL1的频率可以较低。由于用简易的测试装置可测试MCP1,因此可削减成本。另外,不需要载入用于构成测试图案生成电路TPG的逻辑的数据。
特别是对于为了制造MCP1而购买芯片FC1、FL1的便携式设备的开发商来说,不需要购买昂贵的LSI测试器等,因此可大幅度地削减测试成本。并且,不必从半导体制造商获得包含定时(timing)的详细的测试图案(或者,用于产生生成测试图案逻辑的逻辑数据)。由于半导体制造商不需要向顾客提供详细的测试图案,因此可防止测试技术的外流。
以上,在第一实施方式中,在芯片FC1上形成测试图案生成电路TPG,所述测试图案生成电路TPG生成用于测试自身存储单元阵列ARY和不同种类的芯片FL1的存储单元阵列的测试图案。因此,可以在不使用生成复杂测试图案的昂贵测试装置的情况下,向芯片FC1、FL1写入测试数据。其结果是可削减MCP1的测试成本。
由于在测试芯片FL1时,可利用系统总线SB向芯片FL1供给测试图案,因此可削减形成在封装基板PBRD1上的布线数(或者接合线的数目),从而可减小封装基板PBRD1的大小。
测试图案生成电路TPG使用与可编程逻辑等不同的非易失性的逻辑(硬件)形成。因此,在测试前不需要读入用于构成测试图案生成电路TPG的电路数据。由于可不预先准备测试图案而实施测试,因此为了组装MCP1而购买芯片FC1、FL1的用户在MCP1组装后也可容易地实施芯片FC1、FL1的测试。
图2示出了本发明的第二实施方式。对与第一实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略其详细的说明。在该实施方式中,在封装基极PBRD2上安装FCRAM芯片FC2以及闪存芯片FL1,形成多芯片封装MCP2(系统)。MCP2例如安装在移动电话等便携式设备上。封装基板PBRD2除外部端子(引脚或者凸点)与芯片FC1、FL1的焊盘的连接规格(接合规格)不同之外,其余与第一实施方式的封装基板PBRD1相同。
芯片FC2具有为了访问存储单元阵列ARY而输入的信号和被输出到芯片FL1的测试图案信号所通用的焊盘(外部端子)。但是,指令端子CMD根据芯片FC2用和芯片FL1测试用的不同而独立地形成。芯片FC2的其他构成与第一实施方式的芯片FC1相同。
在该实施方式中,向存储单元阵列ARY写入的数据通过通用的焊盘供给缓存BF2。从存储单元阵列ARY读出的数据DATA通过缓存BF2和通用的焊盘而输出到封装基板PBRD2的外部端子。用于访问存储单元阵列ARY的地址ADD通过通用的焊盘被供给缓存BF1。
该实施方式的MCP2的测试手法与第一实施方式相同。即,芯片FC2当从MCP2的外部接收到测试指令时,向芯片FC2(存储单元阵列ARY)以及芯片FL1写入测试数据。写入后,测试MCP2的测试装置通过读出被存储在芯片FC1、FL1的测试数据来判断MCP2是合格品还是不良品。
以上,即使在第二实施方式中也可得到与第一实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,由于将用于访问存储单元阵列ARY而被输入输出到芯片FC2的信号ADD、DATA的焊盘和输出由测试图案生成电路TPG生成的测试图案(ADD、DATA)的通用的缓存器形成在芯片FC2上,因此可削减在芯片FC2内形成的焊盘的数目,从而可削减芯片FC2的芯片尺寸。
图3示出本发明的第三实施方式。对与第一以及第二实施方式相同的要素标有相同的符号,并省略其详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD3上安装FCRAM芯片FC3以及闪存芯片FL1,从而形成多芯片封装MCP3(系统)。MCP3例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC3除第二实施方式的芯片FC2的结构之外,还具有依次连接的焊盘(外部输入端子)、缓存BF1、比较电路CP、驱动器DRV以及测试结果端子CMP(焊盘)。比较电路CP对从测试图案生成电路TPG输出的芯片FL1用的测试写入数据以及从被写入了测试写入数据的芯片FL1通过缓存BF1而读出的测试读出数据进行比较,将比较结果通过驱动器DRV输出到测试结果端子CMP。测试结果端子CMP是用于仅输出表示比较结果的测试结果信号CMP的专用端子。
封装基板PBRD3为了将系统总线SB的数据线DATA连接到与比较电路CP相对应的焊盘上,除图案布线和连接规格(接合规格)不同以及具有测试结果端子CMP(系统测试结果端子,引脚或者凸点等)之外,其余与第二实施方式的封装基板PBRD2相同。
在该实施方式中,在MCP3制造后的测试中,测试装置TSD被连接到MCP3上。具体而言,例如,在测试装置TSD的评价板的IC插口上安装MCP3后实施测试,从而判断MCP3是合格品还是不良品。此时,在测试时需要的时钟CLK、地址ADD以及数据DATA由测试图案生成电路TPG生成,因此封装基板PBRD3的时钟端子CLK、地址端子ADD以及数据端子DATA被开路(open)。
测试装置TSD将测试指令CMD输出到指令端子CMD,并通过测试结果端子CMP接收测试结果(比较结果)。测试装置TSD优选仅进行测试的启动和测试结果的接收。因此,测试装置TSD可由简易的逻辑电路构成。另外,在测试装置TSD的评价板上安装多个IC插口,由此可每次测试多个MCP3。此时,由于可以同时开始多个MCP3的测试,因此多个MCP3可通用形成在评价板上的测试指令信号线CMD。
以上,在根据第三实施方式中也可得到和上述的实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,在芯片FC3以及封装基极PBRD3上形成测试结果端子CMP,因此测试装置TSD并不从芯片FC1、FL1读出数据,而是仅由被传递给测试结果端子CMP的测试结果可判断MCP3是合格品还是不良品。因此,可由简易电路构成测试装置TSD。其结果是可削减测试成本。
并且,即使在评价板上安装多个MCP3的情况下,测试装置TSD所需要的信号也只是多个MCP3通用的测试指令信号CMD以及每个MCP3所需要的测试结果信号CMP。由于通过简易的测试装置TSD可每次测试多个MCP3,因此可大幅度地削减测试时间以及测试成本。
图4示出了本发明的第四实施方式。对和上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD4上安装了FCRAM芯片FC4以及闪存芯片FL1,形成多芯片封装MCP4(系统)。MCP4例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC4除第一实施方式的芯片FC1的构成外,还具有依次连接的焊盘(外部输入端子)、缓存BF1、比较电路CP、驱动器DRV、以及测试结果端子CMP(焊盘)。封装基板PBRD3除第一实施方式的封装基板PBRD1之外,还具有测试结果端子CMP(引脚或凸点等外部输出端子)。以上,在第四实施方式中也可得到和上述的实施方式相同的效果。
图5示出了本发明第5实施方式。对于和上述实施方式相同的要素标有相同的符号,并省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD5上安装了FCRAM芯片FC5以及闪存芯片FL1,形成多芯片封装MCP5(系统)。MCP5例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC5除第四实施方式的芯片FC4的结构之外,还具有接收测试控制信号CNTL的测试控制端子CNTL(焊盘)以及缓存BF1。测试控制信号CNTL代替上述的实施方式的测试指令CMD而被输入到测试图案生成电路TPG。测试控制端子CNTL是仅用于接收测试控制信号CNTL的专用端子。
测试图案生成电路TPG根据测试控制信号CNTL的逻辑电平生成用于测试芯片FC5的存储单元阵列ARY或者芯片FL1的测试图案。即,为了控制测试图案生成电路TPG的动作、选择由测试图案生成电路TPG生成的多个种类的测试图案,而向测试图案生成电路TPG供给测试控制信号CNTL。动作测试的种类(测试图案)例如与由多位构成的测试控制信号CNTL的逻辑电平相对应而改变。因此,根据测试控制信号CNTL,可自由地实施全0、全1、前进(マ一チング)测试、快速(gallop)测试等。
封装基板PBRD5除具有测试控制端子CNTL(系统测试控制端子、引脚或凸点等)之外,其余与第四实施方式的封装基板PBRD4相同。
在该实施方式中,与第三实施方式相同,在MCP5制造后的测试中,测试装置TSD与MCP5连接,而实施动作测试。此时,测试MCP5的测试装置向MCP5输出具有与测试规格相对应的逻辑的测试控制信号CNTL。测试图案生成电路TPG响应测试控制信号CNTL,开始输出规定的测试图案。因此,通过使用测试控制信号CNTL不只是单纯的合格/不合格的判断,也可实施详细的极限测试(margin test)。测试装置TSD通过测试结果端子CMP接收测试结果。测试中由于封装基板PBRD5的时钟端子CLK、指令端子CMD、地址端子ADD以及数据端子DATA未被使用,因此被开路(open)。
以上,在第五实施方式中也能得到和上述实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,可在测试中削减需要的端子数目。因此,在同时测试多个MCP5时,可增加安装在测试装置TSD的评价板的MCP5的数目,还可削减测试时间以及测试成本。由于从MCP5的外部可供给选择测试图案的测试控制信号CNTL,因此通过外部控制可使用各种各样的测试图案详细地测试芯片FC5、FL1。
图6示出了本发明的第六实施方式。对于和上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD6上安装FCTAM芯片FC6以及闪存FL6而形成多芯片封装MCP6(系统)。MCP6例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC6除第五实施方式的芯片FC5的构成外,还具有接收外部时钟CLK的外部时钟端子ECLK(焊盘)以及缓存BF1。外部时钟ECLK被输入到测试图案生成电路TPG。测试图案生成电路TPG与外部时钟ECLK同步生成测试图案。即,测试图案的频率(生成定时)根据外部时钟ECLK的频率被改变。
芯片FL6是时钟异步的或非(NOR)型闪存。因此,测试图案生成电路TPG不生成时钟CLK,时钟CLK用的驱动器DRV以及焊盘不形成在芯片FC6上。芯片FC6的其他构成与第五实施方式的芯片FC5相同。
封装基板PBRD6除具有外部时钟端子ECLK(由引脚或凸点等形成的外部输入端子),以及未形成时钟信号CLK用的外部端子、布线之外,其余与第五实施方式封装基板PBRD5相同。
在该实施方式中,与第五实施方式相同,在MCP6的制造后的测试中,测试装置与MCP6连接并实施动作测试。此时,测试MCP6的测试装置伴随着测试控制信号CNTL将具有规定频率的外部时钟ECLK输出给MCP6。并且,输出与外部时钟ECLK同步的测试图案。
以上,在第六实施方式中也可得到和上述的实施方式同样的效果。并且,在该实施方式中,由于可生成具有期望频率的测试图案,因此可更详细地测试芯片FC6、FL6。
图7示出了本发明的第七实施方式。对与上述的实施方式相同的要素标有相同的标号,省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD7上安装FCRAM芯片FC7以及闪存芯片FL7而形成多芯片封装MCP7(系统)。MCP7例如安装在移动电话等便携式设备上。
该实施方式的芯片FL7由通用的端子接收地址ADD和数据DATA。因此,形成在封装基板PBRD7上的系统总线SB具有在地址ADD和数据DATA所通用的信号线ADD/DATA。另外,封装基板PBRD7具有用于访问芯片FC7的专用的地址端子ADD和数据端子DATA、以及用于访问芯片FL7的专用的地址数据端子ADD/DATA。封装基板PBRD7的其他构成和第五实施方式的封装基板PBRD5相同。在芯片FC7上,为了输出测试图案,而形成地址ADD和数据DATA通用的焊盘。芯片FC7的其他构成与第五实施方式的芯片FC5相同。以上,即使在第七实施方式中也能得到和上述的实施方式相同的效果。
图8示出了本发明的第8实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略其详细说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD8上安装FCRAM芯片FC8和闪存芯片FL7,形成多芯片封装MCP8(系统)。MCP8例如安装在移动电话等便携式设备上。
在该实施方式中,芯片FC8为了将从测试图案生成电路TPG输出的地址ADD以及数据DATA供给互相不冲突的通用的驱动器DRV,而具有选择器SEL。芯片FC8的其他构成与第七实施方式的芯片FC7相同。封装基板PBRD8除芯片FC8的安装区域比第七实施方式小之外,与第七实施方式的封装基板PBRD7相同。
以上,在第八实施方式中也可得到和上述的实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,由于可削减芯片FC8的驱动器DRV的数目,可使芯片FC8的芯片的尺寸变小,从而可使MCP8(封装基板PBRD8)较小。
图9示出了本发明的第九实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD9上安装了FCRAM芯片FC5、闪存芯片FL1、以及逻辑芯片LG9,从而形成封装内系统SIP9(系统)。SIP9例如安装在移动电话等便携式设备上。
逻辑芯片LG9在便携式设备的动作中根据来自SIP9的外部的指示而访问芯片FC5、FL1。SIP9和外部的系统控制器的信号的接收由逻辑芯片LG9进行。因此,除时钟端子CLK之外,系统总线SB用的外部端子未形成在封装基板PBRD9上。
传递从芯片FC5输出的测试图案(DATA、ADD、CMD、CLK)系统总线SB与逻辑芯片LG9连接。即,使用为了访问芯片FL1而传递从逻辑芯片LG9输出的控制信号的控制信号线(系统总线SB)向芯片FL1供给测试图案。
在该实施方式中,与第五实施方式相同,在SIP9制造后的测试中,测试装置TSD与SIP9连接而实施动作测试。此时,在封装基板PBRD9上除测试控制端子CNTL以及测试结果端子CMP之外的外部端子被开路。
以上,在第九实施方式中也能得到与上述实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,在封装基板PBRD9上不存在用于访问芯片FC5、FL1的外部端子的情况下,也可使用最小限度的测试端子对芯片FC5、FL1进行测试。通过使用传递逻辑芯片LG9的控制信号的系统总线SB向芯片FL1供给测试图案,可减少形成在封装基板PBRD9上的信号线的数目,从而使基板尺寸变小。其结果是可削减系统成本。由于使用系统总线SB向芯片FL1供给测试图案,因此在芯片FL1测试时,可实施系统总线SB的相互连接测试。
图10示出了本发明的第十实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,省略其详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD9上安装FCRAM芯片FC10、闪存芯片FL1、以及逻辑芯片LG9,从而形成封装内系统SIP10(系统)。SIP10例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC10是时钟同步式的FCRAM。因此,动作控制电路OPC等控制电路通过缓存BF1接收时钟CLK。另外,芯片FC10、FL1的地址端子ADD、数据端子DATA、以及指令端子CMD完全具有互换性。因此,在芯片FC10上形成芯片FC10、FL1通用的地址端子ADD、数据端子DATA、以及指令端子CMD。即,输出测试图案的数据端子DATA、地址端子ADD、以及指令端子CMD可兼作接收为了访问存储单元阵列ARY而供给的输入信号DATA、ADD、CMD的输入端子。芯片FC10的其他构成和第五实施方式的芯片FC5相同。
以上,在第十实施方式中也可得到与上述实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,通过在芯片FC10上形成兼用端子,可使芯片尺寸变小。
图11示出了本发明的第11实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,省略其详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD11上安装了FCRAM芯片FC11以及闪存芯片FL1,从而形成了多芯片封装MCP1(系统)。MCP1例如安装在移动电话等便携式设备上。
芯片FC11的测试图案生成电路TPG与时钟CLK同步动作。因此,芯片FC11具有用于从封装基板PBRD11的外部接收时钟CLK的焊盘以及缓存BF1。测试图案生成电路TPG不生成时钟CLK,在芯片FC11上未形成用于向芯片FL1输出时钟CLK的驱动器DRV以及焊盘。芯片FC11的其他构成与第五实施方式的芯片FC5相同。
在该实施方式中,用于测试芯片FL1的时钟CLK由测试装置TSD向MCP11供给。因此,可将测试时的时钟频率自由地改变。测试图案生成电路TPG与时钟CLK同步生成测试图案。因此,可由具有从测试装置TSD输出的期望的频率的时钟CLK来测试芯片FL1。以上,在第11实施方式中也可得到与上述实施方式相同的效果。
图12示出了本发明的第12实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,省略详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD12上安装了FCRAM芯片FC10、闪存芯片FL1,以及逻辑芯片LG12,从而形成封装内系统SIP12(系统)。SIP12例如安装在移动电话等便携式设备上。
逻辑芯片LG12例如包含未图示的CPU。逻辑芯片LG12具有输出地址ADD、指令CMD的焊盘、接收时钟CLK的焊盘、以及输入输出数据DATA的焊盘。另外,逻辑芯片LG12具有输出测试控制信号CNTL的焊盘(逻辑测试控制输出端子)和接收测试结果CMP的焊盘(逻辑测试结果输入端子)。即,逻辑芯片LG12具有在第三实施方式等中示出的测试装置TSD的功能。封装基板PBRD12具有时钟端子CLK(引脚或凸点)以及用于向逻辑芯片LG12输入或输出控制信号等的外部端子(引脚或凸点)。
在该实施方式中,当从SIP12的外部接收用于测试芯片FC10、FL1的启动信号时,芯片LG12输出测试控制信号CNTL。芯片LG12根据从芯片FC10接收的测试结果信号判断芯片FC10、FL1是否动作,并将判断结果输出给SIP12的外部。SIP12的测试使用用于测试逻辑芯片LG12的逻辑用LSI测试器(逻辑测试器)来实施。
以上,在第12实施方式中也可得到与上述相同的效果。并且,在该实施方式中,通过在逻辑芯片LG12上形成输出的测试控制信号CNTL、并根据测试结果信号CMP判断芯片FC10、FL1的测试结果的功能,可代替测试装置使逻辑芯片LG12动作来测试芯片FC10、FL1。例如,在由逻辑测试器实施逻辑芯片LG12的测试时,不使用存储其测试器而只使用逻辑测试器时,可测试SIP12。为了测试SIP12由于不需要使用多个种类的测试器(存储器测试器和逻辑测试器等),从而可削减测试成本。
图13示出了本发明第13实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略其详细的说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD13上安装了FCRAM芯片FC10、闪存芯片FL1、以及逻辑芯片LG13,从而形成封装内的系统SIP13(系统)。SIP13例如安装在移动电话等便携式设备上。
逻辑芯片LG13具有CPU核心等的内部电路INT和用于对内部电路INT进行信号输入输出的多个焊盘。在接收信号的焊盘中的规定数目(在图中为两个)与用于向内部电路INT供给信号的缓存BF1和开关电路SW连接。输出信号的焊盘中的规定数目(在图中为两个)个焊盘与驱动从内部电路INT输出的信号的驱动器DRV和开关电路SW连接。被连接在接收信号的焊盘和输出信号的焊盘的一对开关电路SW互相连接。
从芯片FC10输出的测试结果信号CMP经由逻辑芯片LG13的焊盘(逻辑测试结果输入端子)、一对开关电路SW、以及焊盘(逻辑测试结果输出端子),被供给封装基板PBRD13的外部输出端子(引脚或凸点)。由封装基板PBRD13的外部输入端子接收的测试控制信号CNTL经由逻辑芯片LG13的焊盘(逻辑测试控制输入端子)、一对开关电路SW、以及焊盘(逻辑测试控制输出端子),被供给芯片FC10。
在该实施方式中,当逻辑芯片LG13的状态是用于测试芯片FC10、FL1的旁路(bypass)模式时(逻辑芯片LG13的内部电路INT不动作时),开关电路SW接通,从测试装置TSD输出的测试控制信号CNTL经由开关电路SW并通过逻辑芯片LG13内,而供给芯片FC10。同样,从芯片FC10输出的测试结果信号CMP经由开关电路SW并通过逻辑芯片LG13内,而供给测试装置TSD。逻辑芯片LG13被保持在旁路模式中待命状态,不进行动作。因此,逻辑芯片LG13不输出地址ADD、指令CMD等。
在逻辑芯片LG13为通常动作模式以及对逻辑芯片LG13自身进行测试的测试模式时,或者,在逻辑芯片13被使用在其他的系统中时,开关电路SW断开,信号CNTL、CMP的输入端子以及输出端子对与逻辑芯片LG13的内部电路INT动作有关的信号进行输入以及输出。即,信号CNTL、CMP的输入端子以及输出端子不只是芯片FC10、FL1的测试用的端子,还是起到作为逻辑芯片LG13用的端子的功能的兼用端子。
这样,在芯片FC10、FL1中至少任一个被测试时,一对开关电路SW、与该开关电路SW相对应的缓冲BF1、以及驱动器DVR将封装基板PBRD13上的测试控制信号线CNTL以及测试结果信号线CMP连接在封装基板PBRD13的外部端子(引脚或凸点)上,当逻辑芯片LG13的内部电路INT动作时,作为将封装基板PBRD13上的测试控制信号线CNTL和测试结果信号线CMP连接在内部电路INT的选择电路而进行动作。
以上,在第13实施方式中也可得到与上述的实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,在逻辑芯片LG13上形成可输入和输出测试控制信号CNTL以及测试结果信号CMP的兼用端子,由此不只是逻辑芯片LG13,对SIP13的外部也可输入输出测试控制信号CNTL以及测试结果信号CMP。因此,根据开发SIP13的用户测试环境,可实施最佳的测试。具体而言,例如,在用户只具有简易的测试装置的情况下,可由逻辑芯片LG13测试芯片FC10、FL1。在用户只具有LSI测试器等的测试装置TSD的情况下,可使用测试装置TSD测试芯片FC10、FL1。并且,在逻辑芯片LG13安装在其他系统时,可将逻辑芯片LG13的测试结果输入端子CMP和测试结果输出端子CNTL用作其他功能的端子。
图14示出了本发明第14实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,并省略其详细说明。在该实施方式中,在封装基板PBRD14上安装FCRAM芯片FC10、闪存芯片FL1、以及逻辑芯片LG14,从而形成封装内系统SIP14(系统)。SIP14例如安装在移动电话等便携式设备上。
逻辑芯片LG14具有CPU核心等内部电路INT和用于对内部电路INT输入输出信号的多个焊盘。接收信号的焊盘中的规定数目与用于向内部电路INT供给信号的缓存BF1和开关电路SW连接。输出信号焊盘中的规定数目的焊盘与驱动从内部电路INT输出的信号的驱动器DRV和开关电路SW连接。输入输出信号焊盘中的规定数目的焊盘与用于向内部电路供给信号的缓存BF1、驱动从内部电路INT输出的信号的驱动器DRV、以及内部电路开关电路SW连接。与接收信号的焊盘和输出信号的焊盘连接的一对开关电路SW彼此连接。
在该实施方式中,当逻辑芯片LG14的状态为用于测试芯片FC10、FL1的旁路模式时,开关电路SW接通,为了实施测试而由测试装置TSD输出给逻辑芯片LG14的焊盘(CNTL;逻辑测试控制输入端子、DATA、ADD、CMD、CLK;逻辑外部端子)的信号通过逻辑芯片LG14并通过焊盘(CNTL;逻辑测试控制输入端子、DATA、ADD、CMD、CLK;逻辑内部端子)而被输出给系统总线SB。另外,经由系统总线SB而供给逻辑芯片LG14的焊盘(CMP;逻辑测试结果输入端子、DATA;逻辑内部端子)的信号通过逻辑芯片LG14,并经由焊盘(CMP;逻辑测试结果输入端子、DATA;逻辑外部端子)而被输出给测试装置TSD。因此,测试装置TSD可向芯片FC10直接供给测试控制信号CNTL,并可从芯片FC10直接接收测试结果信号CMP。
测试装置TSD不只是测试控制信号CNTL以及测试结果信号CMP,可经由逻辑芯片LG14向芯片FC10、FL1供给地址ADD、数据DATA、指令CMD、时钟CLK,并可从芯片FC10、FL1接收数据DATA。
当逻辑芯片LG14为通常动作模式以及对逻辑芯片LG14自身进行测试的测试模式时,开关电路SW断开,与开关电路SW相对应的输入端子以及输出端子对与逻辑芯片LG14的内部电路INT的动作相关的信号进行输入以及输出。即,与第13实施方式相同,这些端子是兼用端子。
如此,当芯片FC10、FL1中的至少任一个被测试时,一对开关电路SW、与该开关电路SW相对应的缓存BF1、以及驱动器DRV将系统总线SB(系统信号线)与封装基板PBRD14的外部端子(引脚或凸点)连接,当逻辑芯片LG14的内部电路INT动作时,使系统总线SB作为与内部电路INT连接的选择电路而进行动作。
以上,在第14实施方式中也可得到与上述的实施方式相同的效果。并且,在该实施方式中,在旁路模式中测试装置TSD不只是可使用信号CNTL、CMP使芯片FC10的测试图案生成电路TPG动作而测试芯片FC10、FL1,而且可直接访问芯片FC10、FL1。因此,例如在SIP14组装后的测试可由简易的测试装置TSD使用信号CNTL、CMP选择合格品。在SIP14组装后可由ROM复写器(writer)等简易的测试装置TSD向闪存芯片FL1写入程序等。并且,在SIP14发生了不良情况时,可由存储器测试器等测试装置TSD使用地址ADD、数据DATA、指令CMD、时钟CLK实施SIP14的详细的评价。
图15示出了本发明第15的实施方式。对与上述实施方式相同的要素标有相同的标号,省略其详细说明。在该实施方式中,在封装基板PRBD15上安装了FCRAM芯片FC10、闪存芯片FL1以及逻辑芯片LG15,从而形成封装内系统SIP15(系统)。SIP15例如安装在移动电话等便携式设备上。
在该实施方式中,测试控制信号线CNTL以及测试结果信号线CMP不通过逻辑芯片LG15而与封装基板PBRD15的外部端子在芯片FC10、FL1之间直接地布线。封装基板PBRD15的外部端子DATA、ADD、CMD、CLK经由逻辑芯片LG15直接与芯片FC10、FL1连接。其他的构成与第14实施方式相同。以上,即使在第15实施方式中也可得到与上述的实施方式相同的效果。
另外,在上述的实施方式中,叙述了在封装基板PBRD1-PBRD15上排列配置FCRAM芯片以及闪存芯片的例子。本发明并不限定这些实施方式。例如,可以在封装基板上累积设置FCRAM芯片以及闪存芯片。或者,可以在累积的FCRAM芯片和闪存芯片之间设置封装基板。
安装在多芯片封装或封装内系统的FCRAM芯片以及闪存芯片可以是时钟同步式,也可以是时钟异步式。安装在多芯片封装或者封装内系统的芯片不限于FCRAM芯片以及闪存芯片。例如,可以是模拟SRAM芯片、DRAM芯片、EEPROM芯片或者铁电存储芯片。
如第七实施方式所示,可以向通用的信号线输出由测试图案生成电路TPG生成的FCRAM芯片以及闪存芯片的测试图案(ADD、DATA、CMD中的至少一个)。此时,可减少在芯片FC1上布线的信号线的数目。
在第4-9、11实施方式中,可以与第3实施方式相同通用为了从封装基板的外部访问FCRAM芯片而在FCRAM芯片上形成的焊盘以及为了输出测试图案而在FCRAM芯片上形成的焊盘。
在第7以及第8实施方式中,在安装了具有地址端子ADD以及数据端子DATA的FCRAM芯片FC7以及具有地址和数据的通用端子ADD/DATA的闪存芯片FL7的多芯片封装上,对适用本发明的例子进行了叙述。与此相对,在FCRAM芯片以及闪存芯片同时具有地址和数据的通用端子ADD/DATA的情况下,通过将如图7以及图8所示的FCRAM芯片的通用端子ADD/DATA与缓存BF1、BF2连接,而进行地址信号ADD以及数据信号DATA对FCRAM芯片的传递。此时,不需要FCRAM芯片以及多芯片封装的地址端子ADD以及数据端子DATA。其结果是可削减FCRAM芯片的芯片尺寸,从而可削减多芯片封装的尺寸。
以上,对本发明进行了详细的说明,上述的实施方式以及其变形例只不过是发明的一个例子,本发明并不限于此。在不脱离本发明的范围内的可能的变形是显而易见的。
工业实用性
本发明可适用于将多个种类的半导体存储芯片安装在一个封装上的系统。

Claims (19)

1.一种半导体存储器,其特征在于,包括:
存储单元阵列;
测试图案生成电路,具有用于生成多个测试图案的非易失性逻辑,所述多个测试图案用于测试所述存储单元阵列并测试被安装在与所述存储单元阵列相同的封装内的不同种类的存储芯片;
多个外部输出端子,用于向所述存储芯片写入所述测试图案。
2.如权利要求1所述的半导体存储器,包括:
外部输入端子,接收从所述存储芯片读出的测试图案;
比较电路,对由所述测试图案生成电路生成的测试图案和由所述外部端子接收的测试图案进行比较;
测试结果端子,输出所述比较电路上的比较结果。
3.如权利要求2所述的半导体存储器,其特征在于,所述测试结果端子是仅输出所述比较结果的专用端子。
4.如权利要求2所述的半导体存储器,其特征在于,包括:
测试控制端子,接收用于控制所述图案生成电路的动作的测试控制信号。
5.如权利要求4所述的半导体存储器,其特征在于,所述测试控制端子是仅接收所述测试控制信号的专用端子。
6.如权利要求1所述的半导体存储器,其特征在于,
所述外部输出端子的至少一部分可兼作接收为了访问所述存储单元阵列而供给的输入信号的输入端子。
7.一种系统,其特征在于,包括:
被安装在一个封装中的第一存储芯片以及与第一存储芯片不同种类的第二存储芯片,
所述第一存储芯片包括:
存储单元阵列;
测试图案生成电路,具有用于生成多个测试图案的非易失性逻辑,所述多个测试图案用于测试所述存储单元阵列和第二存储芯片;
多个外部输出端子,用于向所述第二存储芯片写入所述测试图案。
8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,包括:
形成在所述第一存储芯片上的外部输入端子,接收从所述第二存储芯片输出的数据;比较电路,对由所述测试图案生成电路生成的数据和由所述外部输入端子接收的数据进行比较;测试结果端子,输出所述比较电路上的比较结果;以及
与所述测试结果端子连接的系统测试结果端子,用于向系统的外部输出所述比较结果。
9.如权利要求7所述的系统,其特征在于,包括:
形成在所述第一存储芯片上的测试控制端子,接收用于控制所述测试图案生成电路的动作的测试信号;
与所述测试控制端子连接的系统测试控制端子,用于从系统的外部接收所述测试控制信号。
10.如权利要求7所述的系统,其特征在于,包括:
逻辑芯片,访问所述第一存储芯片以及第二存储芯片;
系统总线,将所述第一存储芯片、第二存储芯片、以及所述逻辑芯片互相连接起来;
所述第一存储芯片的所述外部输出端子为了通过所述系统总线向所述第二存储芯片传递所述测试图案,而与所述系统总线连接。
11.如权利要求10所述的系统,其特征在于,
所述系统总线含有控制信号线,所述控制信号线为了访问所述第一以及第二存储芯片而传递从所述逻辑芯片输出的控制信号,
所述外部输出端子的至少一部分与所述控制信号线连接。
12.如权利要求10所述的系统,其特征在于,包括:
形成在所述第一存储芯片上的外部输入端子,接收从所述第二存储芯片输出数据;比较电路,对由所述测试图案生成电路生成的数据和由所述外部输入端子接收的数据进行比较;测试结果端子,输出所述比较电路上的比较结果;以及
形成在所述逻辑芯片上的逻辑测试结果输入端子,与所述测试结果端子连接,并接收所述比较结果。
13.如权利要求12所述的系统,其特征在于,
所述逻辑芯片包括:
逻辑测试结果输出端子,用于将由所述逻辑测试结果输入端子接收的所述比较结果向系统的外部输出;
选择电路,当所述逻辑芯片的内部电路不动作,所述第一以及第二存储芯片至少任一个被测试时,将由所述逻辑测试结果输入端子接收的所述比较结果输出到所述逻辑测试结果输出端子,当所述逻辑芯片的内部电路动作时,将由所述逻辑测试结果输入端子接收的信号输出到所述逻辑芯片的内部电路。
14.如权利要求10所述的系统,其特征在于,包括:
形成在所述第一存储芯片上的测试控制输入端子,接收用于控制所述测试图案生成电路的动作的测试控制信号,
形成在所述逻辑芯片上的逻辑测试控制输出端子,与所述测试控制输入端子连接,并用于输出所述测试控制信号。
15.如权利要求14所述的系统,其特征在于,
所述逻辑芯片包括:
逻辑测试控制输入端子,用于从系统外部接收输出给所述逻辑测试控制输出端子的所述测试控制信号;
选择电路,当所述逻辑芯片的内部电路不动作,所述第一以及第二存储芯片中的至少任一个被测试时,将由所述逻辑测试控制输入端子接收的所述测试控制信号输出给所述逻辑测试控制输出端子,当所述逻辑芯片的内部电路动作时,将由所述逻辑测试控制输入端子接收的信号输出给所述逻辑芯片的内部电路。
16.如权利要求10所述的系统,其特征在于,
所述系统总线为了访问所述第一以及第二存储芯片而传递从所述逻辑芯片输出或输入的信号,具有在系统内闭合的系统信号线,
所述逻辑芯片包括:
逻辑内部端子,与所述系统信号线连接;
逻辑外部端子,用于将所述逻辑内部端子与系统的外部连接;
选择电路,当所述逻辑芯片的内部电路不动作,所述第一以及第二存储芯片中的至少任一个被测试时,将所述系统信号线与所述逻辑外部端子连接,当所述逻辑芯片的内部电路动作时,将所述系统信号线与所述内部电路连接。
17.如权利要求7所述的系统,其特征在于,
所述第一存储芯片是具有由动态存储单元构成的所述存储单元阵列的存储芯片;
所述第二存储芯片是闪存芯片。
18.一种系统的测试实施方法,是将第一存储芯片、与第一存储芯片不同种类的第二存储芯片安装在一个封装中的系统的测试实施方法,
所述系统的测试实施方法的特征在于,
在所述第一存储芯片内生成所述第二存储芯片用的测试图案;
将生成的测试图案写入所述第二存储芯片;
从所述第二存储芯片读出写入的测试图案;
在所述第一存储芯片内,对写入的测试图案和读出的测试图案进行比较;
从所述第一存储芯片输出比较结果。
19.如权利要求18所述的系统的测试实施方法,其特征在于,
由所述第一存储芯片接收测试控制信号;
在所述第一存储芯片内,根据所述测试控制信号而决定为了向所述第二存储芯片写入而生成的所述测试图案。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8901704B2 (en) * 2006-04-21 2014-12-02 SK Hynix Inc. Integrated circuit and manufacturing method thereof
JP2008140530A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Toshiba Corp 半導体装置およびそのテスト方法
JP2012038403A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Pa Net Gijutsu Kenkyusho:Kk 不揮発性半導体メモリのスクリーニング方法および書き込み装置
KR101518379B1 (ko) * 2013-06-18 2015-05-07 중소기업은행 불휘발성 메모리의 자동 프로그램 및 자동 사이클링 방법
JP6428210B2 (ja) * 2014-12-02 2018-11-28 富士通株式会社 半導体装置および半導体装置の試験方法
JP2017162011A (ja) * 2016-03-07 2017-09-14 株式会社メガチップス メモリデバイス用テスト回路及びこれを含む半導体集積装置
US11408934B2 (en) 2017-12-22 2022-08-09 Nvidia Corporation In system test of chips in functional systems
CN109633415B (zh) * 2018-12-28 2021-08-10 泰斗微电子科技有限公司 一种异常芯片的识别方法及设备

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5675545A (en) * 1995-09-08 1997-10-07 Ambit Design Systems, Inc. Method of forming a database that defines an integrated circuit memory with built in test circuitry
CN1633602A (zh) * 2001-03-19 2005-06-29 株式会社日立制作所 半导体器件及其测试方法
JP4302354B2 (ja) * 2002-01-28 2009-07-22 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 半導体装置
US6961881B2 (en) * 2001-09-14 2005-11-01 Fujitsu Limited Semiconductor device
JP3754638B2 (ja) * 2001-09-14 2006-03-15 富士通株式会社 半導体装置
DE10260184B4 (de) * 2002-12-20 2005-08-25 Infineon Technologies Ag Speichermodul mit einer Testeinrichtung
JP2005011464A (ja) * 2003-06-20 2005-01-13 Toshiba Corp 半導体記憶装置、テストシステム及びテスト方法
US7321997B2 (en) * 2004-03-30 2008-01-22 Intel Corporation Memory channel self test
US7053470B1 (en) * 2005-02-19 2006-05-30 Azul Systems, Inc. Multi-chip package having repairable embedded memories on a system chip with an EEPROM chip storing repair information

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