CN101165782A - 具有改善的伺服图案的图案化介质盘 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种用于图案化介质的伺服图案。该伺服图案包括具有和不具有格雷码的柱形/道ID。伺服图案间隔通过岛的最佳使用而被最小化。这是通过利用了非磁岛优势的岛分配规则实现的。岛分配还提供了更容易的顶离(lift－off)。逻辑用于编码和解码格雷码。此外，格雷码设计来稳定磁岛/非磁岛比率从而允许更容易的制造。

Description

具有改善的伺服图案的图案化介质盘

技术领域

本发明涉及磁记录，更特别地，涉及具有改善的伺服图案的图案化介质盘。

背景技术

计算机长期存储的核心是称为磁盘驱动器的组件。磁盘驱动器包括旋转磁盘、邻近旋转磁盘的表面由悬臂悬置的读写头、以及制动器，制动器转动悬臂以将读写头置于旋转盘上的选定环形道上方。读写头直接位于具有气垫面(ABS)的滑块上。当盘不旋转时悬臂将滑块偏置得与盘表面接触，但是当盘旋转时，空气被旋转盘旋动。当滑块骑在气垫上时，读写头用于写磁印(magnetic impression)到旋转盘且从旋转盘读出磁印。读写头连接到根据计算机程序运行的处理电路从而实现读写功能。

写头通常是感应写元件，其包括在写极(write pole)中产生磁通的导电线圈。读头包括磁致电阻传感器。在现今的读头设计中自旋阀传感器(spinvalve sensor)，也称为巨磁致电阻(GMR)传感器，已被用于检测来自旋转磁盘的磁场。传感器包括称为间隔层的非磁导电层，夹在称为被钉扎层和自由层的第一和第二铁磁层之间。

已经提出图案化磁记录介质以增大例如硬盘驱动器的磁记录数据存储中的位密度。图案化介质也能用于磁带和其它记录介质例如高密度盘(compact disk)。在磁图案化介质中，将磁材料构图为小的磁隔离的块(block)或岛(island)使得在每个岛或“位”中存在单个磁畴。单个磁畴能够是单个晶粒或包括若干强耦合的晶粒，其如单个磁体积(magneticvolume)一样翻转磁状态。这与常规连续介质相反，在常规连续介质中单个“位”可具有由畴壁分隔开的多个磁畴。美国专利No.5820769是各种类型的图案化介质及其制造方法的示例。由R.L.White等人在“Patterned Media：A Viable Route to 50Gbit/in²and Up for Magnetic Recording”，IEEETransactions on Magnetics，Vol.33，No.1，January 1997，990-995中给出了具有图案化介质的磁记录系统和其相关挑战的描述。

在垂直图案化介质应用中，通常上方向的磁化被当作北(N)且下方向的磁化被当作南(S)。对于纵向图案化介质，左方向的磁化被当作西(W)且右方向的磁化被当作东(E)。

伺服场(servo field)也通常用在硬盘驱动器中以帮助头保持对准和找到适当的道。伺服场通常包括同步场、STM场、柱形ID场和脉冲串图案(burstpattern)。同步场一般用于同步数据频率。STM场，另外也称为伺服起始标记，一般用于标记伺服信息的起始。柱形ID场用于给道编号且还可以包括扇区ID数(sector ID number)。脉冲串图案用于将头适当地定位在道上方。

发明内容

所描述的是用于图案化磁记录盘的伺服图案，包括STM和柱形ID场。原理也能够应用于非磁盘。伺服图案以磁和非磁岛压印在盘上。压印之后，然后磁岛被磁化为特定极性。

对于伺服数据的每个位，伺服图案可包括一个或两个数据位。此外，伺服图案可具有以规则间隔置于数据位之间的时钟位(clock bit)。

伺服图案还可以由格雷码(Gray code)形成以增强伺服图案的可读性。此外，可以平衡格雷码，使得在压印期间，伺服图案容易地从母模(master)释放。另外，可以将格雷码构建为具有这样的码字(codeword)，所述码字具有有限数目的连续0。

附图说明

为了权利理解本发明的本质和优点及其优选使用模式，请结合附图参考下面的详细描述，附图不是按比例绘制的。

图1为硬盘驱动器的示意图。

图2为硬盘驱动器的滑块的图。

图3a为每编码伺服位(servo bit)包括两个岛的伺服图案的实施例。

图3b为伺服图案的实施例，包括单极磁化且每编码伺服位包括两个岛。

图4a为伺服图案的实施例，每编码伺服位包括一个岛。

图4b为伺服图案的实施例，包括单极磁化且每编码伺服位包括一个岛。

图5a为伺服图案的实施例，包括散置于各伺服位之间的时钟位且每编码伺服位包括一个岛。

图5b为伺服图案的实施例，包括散置于各伺服位之间的时钟位和单极磁化且每编码伺服位包括一个岛。

图6a为伺服图案的实施例，包括散置于每两个伺服位之间的时钟位且每编码伺服位包括一个岛。

图6b为伺服图案的实施例，包括散置于每两个伺服位之间的时钟位和单极磁化且每编码伺服位包括一个岛。

图7为以格雷码将伺服图案编码到图案化介质盘上的图。

图8为以格雷码从图案化介质盘解码伺服图案的图。

图9为读回信号和窗口(window)的图，头使用其来读取使用双极磁化的伺服图案。

图10为读回信号和窗口(window)的图，头使用其来读取使用单极磁化的伺服图案。

图11为使用图案化介质实施的硬盘驱动器的伺服场的图。

图12描绘了非磁和磁岛。

图13为三种格雷码的平衡的图。

图14为伺服图案的照片。

具体实施方式

下面描述的是目前预期实施本发明的较佳实施例。该描述是用来说明本发明的普遍原理而不意味着对要求保护的发明概念的限制。

现在参考图1，示出了体现本发明的盘驱动器100。如图1所示，至少一个可旋转磁盘112支撑在主轴(spindle)114上且由盘驱动马达118旋转。每个盘上的磁记录是磁盘112上同心数据道(未显示)的环形图案形式。

至少一个滑块113位于磁盘112附近，每个滑块113支承一个或更多磁头组件121。磁盘旋转时，滑块113在盘表面122上径向地进出移动使得磁头组件121可存取磁盘的写有所需数据的不同道。每个滑块113经由悬臂115连接制动臂119。悬臂115提供轻微的弹力，其偏置滑块113倚着盘表面122。每个制动臂119连接道制动装置127。如图1所示的制动装置127可以是音圈马达(voice coil motor，VCM)。VCM包括在固定磁场内可移动的线圈，线圈移动的方向和速度受到控制器129提供的马达电流信号的控制。

在盘存储系统运行期间，磁盘112的旋转在滑块113和盘表面122之间产生气垫，其对滑块施加向上的力或举力。因此在正常运行期间气垫可抗衡悬臂115的轻微弹力且支承滑块113离开盘表面并且以小的、基本不变的间距略微在盘表面上方。

盘存储系统的各种部件在操作上受到由控制单元129产生的例如存取控制信号和内部时钟信号的控制信号的控制。通常，控制单元129包括逻辑控制电路、存储装置和微处理器。控制单元129产生控制信号以控制各种系统操作，例如线123上的驱动马达控制信号和线128上的头定位和寻址控制信号。线128上的控制信号提供了所需的电流曲线(current profile)从而最佳地移动和定位滑块113到盘112上期望的数据道。写和读信号经由记录通道125传送到写和读头121且从其传出。

参考图2，能够更详细地观察滑块113中磁头121的取向。图2是滑块113的ABS视图，可以看出，包括感应写头和读传感器的磁头位于滑块的尾缘。上面对普通磁盘存储系统的描述和附图1仅用于示例。显而易见地，盘存储系统可包含多个盘和制动器，且每个制动器可支承多个滑块。

具有磁和非磁岛的伺服图案

在制作盘期间伺服图案被压印到图案化介质盘上。图11为在图案化介质上实现的硬盘驱动器的伺服场的图。压印和稍后的沉积工艺将非磁岛和磁岛置于图案化介质盘上。非磁岛可以是没有磁材料的岛，或者可以仅是盘的光滑表面，其下没有可读磁记录层。在一可行工艺中，在压印工艺之后，将磁记录层添加到盘以磁化磁岛。在添加磁记录层之后，伺服图案中的磁岛以许多方式中的任意种包括通过普通写头或宽写头分别设置为N或S。如果伺服图案设置为一种极性，则该设置可批量进行。伺服图案中磁岛的设置能够在整个HDD被组装之前或之后通过HDD制造链中的许多实体实行，包括盘制造者或HDD制造者。

图12描绘了具有非磁和磁岛的图案化介质的一个示范性实施例。图案化介质1201不包括任何非磁岛。特别地，磁岛1204的顶部包括磁记录层。图案化介质1208包括非磁岛1209，由于非磁岛1209不包括磁记录层。图案化介质1202包括非磁岛1205和磁岛1207。此外其他材料，优选非磁的且包括保护层(overcoat)和润滑剂，用于覆盖图案化介质1202以获得图案化介质1203。这样的材料还可以放置到图案化介质1208上。因此，在图案化介质1203中，非磁岛1205有效地是没有磁记录层的区域。

上面描述的图案化介质可通过在岛顶部上沉积磁材料制成(形貌工艺(topographic process))。图案化介质还可通过在平坦表面上沉积磁材料的连续膜且然后通过离子研磨(ion milling)或反离子蚀刻(reverse ion etching)选择性蚀刻掉部分膜以留下隔离的磁岛(减工艺)来制成。在任一情况下，非磁岛在具有磁记录层的岛逻辑上位于的位置处没有磁记录层的区域。此外，非磁岛意味着编码数字数据。非磁岛通常但不是必须与磁岛尺寸相同。

用于同步、STM和柱形ID的岛形状可以是矩形。对于图14所示的同步图案，这些岛的矩形长度能够从内径到外径一直沿径向延伸。对于柱形ID，如果位与邻近道相同，则矩形岛能沿径向延伸超过道宽。此外，这些岛可以是单独的位或单独的垂直/多级堆叠的位(如美国专利No.6947235所述)。

图3a示出伺服图案的第一实施例，伺服图案的每编码伺服位包括两个岛。这导致编码伺服图案的50％的效率。岛301或者是非磁的(由“-”表示)或者是磁的(由N或S表示)。由“-”和“-”表示的两个非磁岛例如302a和302b编码0在伺服图案中。由N和S表示的两个磁岛例如303a和303b编码1在伺服图案中。这样，图3a中的十个岛--NS--NS--301编码伺服位图案01010305。N和S磁化的交替允许读头更容易地区分每个单独岛的磁性。读头读取的信号是曲线304。

用于每编码位伺服图案的两个岛的第一替代实施包括仅使用N或仅使用S来磁化磁岛，如图3b对N的情况所示。因此，-和-将编码0且N和N将编码1。替代地，-和-可编码1且N和N可编码0。第二替代实施是两个岛的任意组合可用来编码伺服位。这样，-和S可编码1且N和-可编码0。该两个替代实施可以组合，其中-和N可编码0且N和-可编码1。

图4a描述了伺服图案的第二实施例，每编码伺服位包括一个岛。这导致编码伺服图案中100％的效率。岛401或者是非磁的(由“-”表示)或者是磁的(由N或S表示)。非磁岛例如402编码0且磁岛例如403a或403b编码1作为伺服位。这样，图4a中的十个岛-SNS--NS--编码伺服位图案0111001100 405。替代地，非磁岛可编码1且磁岛可编码0。同样，N和S磁化的交替允许读头更容易地区分每个单独岛的磁性。读头读取的信号是曲线404。当然，S或N磁化可用于编码0。图4b示出替代实施例，其中仅使用N磁化岛。在此实施例中，N编码1且非磁岛编码0作为伺服位。此外可以仅使用S磁化岛。

图5a描述了伺服图案的第三实施例，包括各编码伺服位之间的时钟位且每个编码伺服位包括一个岛。这导致编码伺服图案中的50％的效率。时钟位例如502用于保持伺服图案可通过读头读取且允许电子装置确保读取适当的伺服码。时钟位用在各伺服位之间。时钟位都为N磁性。伺服数据位或者是S磁性，例如503a，或者是非磁性(由“-”表示)，例如503b。磁伺服数据位编码1且非磁位编码0。因此，图5a中的十个岛NSNSN-NSN-501编码伺服位图案11010505。替代地，如图5b所示，所有磁岛可以都是N、都是S或是随机的。此外，磁岛可编码0且非磁岛可编码1作为伺服位。

此外，由于时钟位是磁岛，所以在此方案中伺服图案中至少50％的岛是磁性的。另外，至少每隔一个岛就是磁岛。

图6a描述了伺服图案的第四实施例，包括每两个编码伺服位之间的时钟位且每编码伺服位包括一个岛。这导致伺服图案具有67％的效率。然而，基本上，任何数量的编码伺服位都能插入在各时钟位之间以产生以给定间隔存在的时钟位(间隔不必恒定，但应为读取伺服图案的电路所知)。时钟位例如602是磁岛。由于时钟位以奇数重复，所以时钟(clock)在N和S之间交替。伺服位或者是磁岛或者是非磁岛。磁岛603a编码1且非磁岛603c编码0作为伺服位。磁岛以维持N/S交替的方式被磁化以便于被读头识别。因此，磁岛603a沿N方向磁化且磁岛603b沿S方向磁化。读头读取的信号为曲线604。因此图6a中的十个岛NSNSN-NS-S601编码具有备用时钟位的位图案111010605。替代地，所有磁岛都在相同的方向被磁化，如图6b所示，或者在随机方向上被磁化。图3的概念能与图5和图6的概念一起实施，使得每个伺服位由两个岛编码。

此外，由于时钟位是磁岛，所以在此方案中伺服图案中至少33％的岛是磁性的。此外，至少每第三个岛就是磁岛。

上面的实施例描述了用于垂直图案化介质的实施。如果将垂直磁化改变为纵向磁化，则上述伺服图案可用于纵向图案化介质。例如，N磁岛可被磁化为E且S磁岛可被磁化为W。于是E磁岛被视为N且W磁岛被视为S。

格雷码

格雷码可用于提供强伺服图案(robust servo pattern)。它们允许相邻数仅通过单个位区别开的序列(ordering)。格雷码能用于增强上述采用磁和非磁方案的伺服图案方案。

在置于图案化介质记录盘上之前，伺服数据能通过格雷码方案被编码。例如，能使用下面的格雷码编码方案。这些格雷码允许连续不超过两个零。

1/1格雷码编码公式

u₀＝a₀

2/3格雷码编码公式

u₀＝a₀

u₁＝1

u₂＝a₀a₁

3/4格雷码编码公式

$u_0=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1}$

$u_1=\stackrel{\‾}{a_0\stackrel{\‾}{a_1{a}_2}}$

$u_2=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{a}_1{a}_2\⊕a_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2}$

$u_3=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2\⊕a_0{a}_1}$

4/5格雷码编码公式

$u_0=f_0(a_0,a_1,a_2,a_3)=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0(a_1\⊕a_2)\⊕a_0{a}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2}$

$u_1=f_1(a_0,a_1,a_2,a_3)=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3\⊕a_0({\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3\⊕a_1{a}_2{a}_3)}$

$u_2=f_2(a_0,a_1,a_2,a_3)=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1\⊕a_0{a}_1\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3}}$

$u_3=f_3(a_0,a_1,a_2,a_3)=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_1({\stackrel{\‾}{a}}_0{a}_2{a}_3\⊕a_0{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3)\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_0{a}_1\stackrel{\‾}{(a_2\⊕a_3)}}$

$u_4=f_4(a_0,a_1,a_2,a_3)={\stackrel{\‾}{a}}_0\⊕a_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2$

此外，任意更大的格雷码公式能通过附加上述四个格雷码公式中的某一个来产生。这种附加的例子在表1中。

表1

仅4/5编码公式	4/5+1/1编码公式	4/5+2/3编码公式	4/5+3/4编码公式
				4/5	5/6	6/8	7/9
8/10	9/11	10/13	11/14
				12/15	13/16	14/18	15/19

16/20	17/21	18/23	19/24
				20/25	21/26	22/28	23/29
24/30	25/31	26/33	27/34

这样的格雷码的一个例子是8/10格雷码。8/10格雷码的编码如下。

$u_0=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0(a_1\⊕a_2)\⊕a_0{a}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2}$

$u_1=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3\⊕a_0({\stackrel{\‾}{a}}_1\stackrel{\‾}{a_2{a}_3}\⊕a_1{a}_2{a}_3)}$

$u_2=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_0{\stackrel{\‾}{a}}_1\⊕a_0{a}_1\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3}}$

$u_3=\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_1({\stackrel{\‾}{a}}_0{a}_2{a}_3\⊕a_0{\stackrel{\‾}{a}}_2{\stackrel{\‾}{a}}_3)\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_0{a}_1\stackrel{\‾}{a_2\⊕a_3}}$

$u_4={\stackrel{\‾}{a}}_0\⊕a_0{\stackrel{\‾}{a}}_1{\stackrel{\‾}{a}}_2$

$u_5={\stackrel{\‾}{a}}_3\stackrel{\‾}{({\stackrel{\‾}{a}}_4{a}_5\⊕a_6)\⊕a_4{a}_5{\stackrel{\‾}{a}}_6)}\⊕a_3\stackrel{\‾}{(a_4{\stackrel{\‾}{a}}_5\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_6)\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4{\stackrel{\‾}{a}}_5{a}_6)}$

$u_6={\stackrel{\‾}{a}}_3\stackrel{\‾}{({\stackrel{\‾}{a}}_4{\stackrel{\‾}{a}}_5{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_7\⊕a_4({\stackrel{\‾}{a}}_5\stackrel{\‾}{a_6{a}_7}\⊕a_5{a}_6{a}_7))}\⊕a_3\stackrel{\‾}{(a_4{a}_5{a}_6{a}_7\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4(a_5\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_7}\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_5{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_7))}$

$u_7={\stackrel{\‾}{a}}_3\stackrel{\‾}{({\stackrel{\‾}{a}}_4{\stackrel{\‾}{a}}_5\⊕a_4{a}_5\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_9})}\⊕a_3\stackrel{\‾}{(a_4{a}_5\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4{\stackrel{\‾}{a}}_5\stackrel{\‾}{a_6{a}_9})}$

$u_8={\stackrel{\‾}{a}}_3\stackrel{\‾}{({\stackrel{\‾}{a}}_5({\stackrel{\‾}{a}}_4{a}_6{a}_7\⊕a_4{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_7)\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4{a}_5\stackrel{\‾}{a_6\⊕a_7})}\⊕a_3\stackrel{\‾}{(a_5(a_4{\stackrel{\‾}{a}}_6{\stackrel{\‾}{a}}_7\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4{a}_6{a}_7)\⊕a_4{\stackrel{\‾}{a}}_5\stackrel{\‾}{{\stackrel{\‾}{a}}_6\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_7})}$

$u_9={\stackrel{\‾}{a}}_3({\stackrel{\‾}{a}}_4\⊕a_4{\stackrel{\‾}{a}}_5{\stackrel{\‾}{a}}_7)\⊕a_3(a_4\⊕{\stackrel{\‾}{a}}_4{a}_5{a}_7)$

被头读取时，HDD中的电子装置能够采用下面的解码公式对格雷码进行解码。

1/1格雷码解码公式

a₀＝u₀

2/3格雷码解码公式

a₀＝u₀

a₁＝u₀u₂

3/4格雷码解码公式

$a_0=u_0({\stackrel{\‾}{u}}_1{u}_3\⊕u_2{\stackrel{\‾}{u}}_3)$

$a_1=u_0(u_1\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_1{\stackrel{\‾}{u}}_3)$

$a_2=u_0\stackrel{\‾}{(u_1\⊕u_2)}\⊕u_3$

4/5格雷码解码公式

$a_0=g_0(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=\stackrel{\‾}{u_4\stackrel{\‾}{u_0{\stackrel{\‾}{u}}_1{u}_2}}$

$a_1=g_1(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_1{u}_2{u}_4\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_4\stackrel{\‾}{u_0{u}_2{u}_3}$

$a_2=g_2(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_1{u}_3{\stackrel{\‾}{u}}_4\⊕u_1{u}_4\stackrel{\‾}{(u_0\⊕u_2)}$

$a_3=g_3(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_4\left(u_1\stackrel{\‾}{(u_0\⊕u_2\⊕u_3)}\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_1{u}_0{u}_2{u}_3\right)\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_4{u}_3(u_0\⊕u_1\⊕u_2)$

8/10格雷码解码公式

$a_0=g_0(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=\stackrel{\‾}{u_4\stackrel{\‾}{u_0{\stackrel{\‾}{u}}_1{u}_2}}$

$a_1=g_1(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_1{u}_2{u}_4\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_4\stackrel{\‾}{u_0{u}_2{u}_3}$

$a_2=g_2(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_1{u}_3{\stackrel{\‾}{u}}_4\⊕u_1{u}_4\stackrel{\‾}{(u_0\⊕u_2)}$

$a_3=g_3(u_0,u_1,u_2,u_3,u_4)=u_4\left(u_1\stackrel{\‾}{(u_0\⊕u_2\⊕u_3)}\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_1{u}_0{u}_2{u}_3\right)\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_4{u}_3(u_0\⊕u_1\⊕u_2)$

$a_4=a_3\⊕g_0(u_5,u_6,u_7,u_8,u_9)=a_3\⊕\stackrel{\‾}{u_9\stackrel{\‾}{u_5{\stackrel{\‾}{u}}_6{u}_7}}$

$a_5=a_3\⊕g_1(u_5,u_6,u_7,u_8,u_9)=a_3\⊕u_6{u}_7{u}_9\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_9\stackrel{\‾}{u_5{u}_7{u}_8}$

$a_6=a_3\⊕g_2(u_5,u_6,u_7,u_8,u_9)=a_3\⊕u_5{u}_8{\stackrel{\‾}{u}}_9\⊕u_6{u}_9\stackrel{\‾}{(u_5\⊕u_7)}$

$a_7=a_3\⊕g_3(u_5,u_6,u_7,u_8,u_9)=a_3\⊕u_9\left(u_6\stackrel{\‾}{(u_5\⊕u_7\⊕u_8)}\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_6{u}_5{u}_7{u}_8\right)\⊕{\stackrel{\‾}{u}}_9{u}_8(u_5\⊕u_6\⊕u_7)$

通常，能够采用下面描述的一般公式完成编码和解码。

给定两个格雷码U和V，U具有每个长n₁的2^k1行且V具有每个长n₂的2^k2行。U是k₁/n₁格雷码且V是k₂/n₂格雷码。因此，广义反射结构(generalized reflective construction)G(U，V)给出(k₁+k₂)/(n₁+n₂)格雷码。此外，理解U和V的编码和解码电路。具体地，给定分别长k₁和k₂的矢量(a_o，a₁，...，a_k1-1)和(b₀，b₁，...，b_k2-1)，由F₁(a_o，a₁，...，a_k1-1)＝(u₀，u₁，...，U_n1-1)表示的是U的编码电路，由F₂(b₀，b₁，...，b_k2-1)＝(v₀，v₁，...，V_n2-1)表示的是V的编码电路。使用F₁和F₂，用于G(U,V)的编码电路如下：

$F(a_0,a_1,...,a_{k_1-1},a_{k_1},...,a_{k_2+k_2-1})=F_1(a_0,a_1,...,a_{k_1-1}),$

${\stackrel{\‾}{a}}_{k_1-1}{F}_2(a_{k_1},a_{k_1+1},...,a_{k_1+k_2-1})\⊕$

$a_{k_1-1}{F}_2({\stackrel{\‾}{a}}_{k_1},{\stackrel{\‾}{a}}_{k_1+1},...,{\stackrel{\‾}{a}}_{k_1+k_2-1})$

F^-1 ₁(u₀，u₁，...，U_n1-1)＝(a₀，a₁,...，a_k1-1)表示用于u的解码电路，且F^-1 ₂(u_n1，U_n1+1，...，U_n1+n2-1)＝(a_k1，a_k1+l，...，a_k1+k2-1)表示用于V的解码电路。基于上面的编码公式，用于G(U,V)的解码电路为：

$\⊕F_2^{-1}(u_{n_1},u_{n_1+1},...,u_{n_1-n_2-1})$

$(a_0,a_1,...,a_{k_1+1},a_{k_1-1}\⊕a_{k_1},$

$a_{k_1-1}\⊕a_{k_1+1},...,a_{k_1-1}\⊕a_{k_1+k_2-1})---\left(2\right)$

图7是以16/20格雷码编码数据的例子。使用上述公式将16位数据703编码为20位格雷码数据704。然后格雷码数据用作伺服图案/伺服位。图案化介质伺服位701示出为采用交替磁极化方案。图案化介质伺服位702示出为采用单磁极化方案。在这些方案中，磁岛编码1且非磁岛编码0。这里，数据1111100000100100以格雷码编码为10010111010101101101。

图8为以16/20格雷码解码数据的例子。读头读取伺服位图案801(双极磁化情况)或802(单极磁化情况)中的岛。然后该数据传送到电子电路作为读回数据803。接着电路解码读回数据803以获得数据804。在图8中上面的公式用于将读回数据格雷码10010111010101101101解码为1111100000100100。

图9示出了读回信号和窗口，其可被头用来读取使用双极磁化的伺服图案。在特定窗口中读取读回信号。此外，可以对电路进行编程从而以给定间隔预期相反极性的磁化。当读取时，信号转化为格雷码格式的读回数据。接着，电子电路将格雷码格式的读回数据解码为解码数据。

图10示出了读回信号和窗口，其可被头用来读取使用单极磁化的伺服图案。在特定窗口中读取读回信号。当读取时，信号转化为格雷码格式的读回数据。电子电路将读回数据解码为解码数据。

通常，时钟位不用格雷码编码。

平衡伺服

平衡或恒定的格雷码可以是用于伺服场的格雷码。在纳米压印(nanoimprinting)步骤期间，母图案影响纳米压印期间的抗蚀剂流动(resistflow)。在纳米压印期间，液态可光固化的聚合物置于压印模(源自原始电子束母图案)和盘基板之间。抗蚀剂可以应用为连续薄膜(例如通过旋涂)或应用为滴(droplet)的阵列(例如通过喷墨印刷)。当向着盘压模具时，液态抗蚀层流动以与模具上的形貌特征的形状一致。在施加了短时间的压力且流动基本平衡之后，液态抗蚀剂暴露到穿过透明模具的强UV光。该UV曝光引起抗蚀剂固化，凝固为模具上特征的形貌复制品。曝光后，移除模具，在盘表面上留下抗蚀剂图案用于随后的蚀刻(设计材料使得固化的抗蚀剂不粘附模具，而是粘附到盘基板)。

由于压印工艺期间液态抗蚀剂流动，形成了所谓的“残留层”。厚度依赖于初始分配的抗蚀剂的量、模具上形貌图案的细节、压印工艺期间施加的压力、抗蚀剂的粘滞性和其它因素。一般地，对于图案化介质，模具只具有两层级——模具的原始平坦表面层级和蚀刻到模具中的浮凸(relief)特征，所有特征具有基本相似的深度。

为了使压印的抗蚀剂图案良好用作RIE蚀刻掩模，上面示出的残留层应是薄的且在整个盘表面上是均匀的。如果残留层的厚度在盘表面上显著改变，则用来在盘基板上形成特征的RIE工艺会具有不均匀的蚀刻深度以及变化的横向特征尺寸。

由于期望的残留层厚度在0-25nm的范围，所以抗蚀剂被挤压成非常薄的层。虽然进行了各种尝试以减小抗蚀剂的粘滞性从而促进流动，但是有限的粘滞性(viscosity)仍阻止了抗蚀剂在合理的工艺时间量内(10秒是用于按压的一般目标时间)流动长的距离。给定了这些制约，实现均匀的残留层厚度至少依赖于在模具图案中具有均匀的地(land)对浮凸(relief)的比率。

由于抗蚀剂将流动短的距离(实验中我们发现它良好地流动50或100um左右的距离)，这种均匀性不是必须延伸到非常微观的水平；然而，在50或100um的范围以及更大范围中，图案地/浮凸比例应十分均匀，使得抗蚀剂不流动长的距离。

模具上的地/起伏比例由完成的盘上所需的图案类型决定。图案将包括形成环形道的高度均匀的岛阵列，散布有“扇区头”图案。这样的扇区头图案(sector header pattern)通常大致落在径向辐内，使得每个环形道每一旋转在数百个位置左右中断。虽然数据岛区域在其地/浮凸比方面原本是高度均匀时，但对于扇区头区域并非自动是该情况。

扇区头区域包含各种类型的伺服场，包括与伺服、道ID、扇区ID和同步有关的那些。用于伺服图案的格雷码将由地和浮凸区域(分别对应“0”和“1”)的组合构成，其对于每个道是唯一的且因此用作ID。常规的格雷码不产生长距离上均匀的地/浮凸比。如果使用常规格雷码，则由于抗蚀剂不能流动必要的长度，所以残留层将很可能表现出显著长范围的不均匀性。

在引用作为参考文献的美国专利No.6226138描述的格雷码中，格雷码具有相对均等的0和1值平衡。如果码按形貌实施使得特征填充盘上每个道的整个宽度，则1和0值的相等比率产生50％的地/浮凸比，如果地和浮凸区域的宽度相等的话。这对图案化介质是有利的。数据区域可能被填充以圆形或方形点，具有50％的地/浮凸比。一个例子是1∶1位纵横比(aspect ratio)的方形岛，每个岛具有岛节距(pitch)的71％的长度和宽度。具有50％比率的另一例子是方形格(grid)上的圆形点，圆的直径由d＝p*sqrt(2/p)给出，其中p是格间距。通过改变码中1对0值的比率，或者通过在码的形貌实现中改变地特征的宽度对浮凸特征的宽度的比，能够放宽目标制约且实现50％之外的目标比率。

图13分析了三种不同格雷码的平衡属性，其中每个码字(codeword)的长度为16。第一个是常规格雷码，第二个是如美国专利6226138所述的那样构造的码，第三个是由常规8位格雷码与根据美国专利6226138的8位码结合而获得的改进格雷码。对于长100码字的窗口和每行格雷码，从每行开始的100连续行中1的平均数目的结果示于图13中。常规格雷码具有很差的平衡属性，而平衡和改进平衡的格雷码保持49.5％和50.5％内的1的平均数目。给出100码字的窗口仅用于示例。小如10码字大如3000码字的窗口能用于伺服图案。通常窗口小于50微米宽。图13的图形可对于其它窗口长度重复，但根据美国专利6226138和根据改进格雷码的码的平衡属性总是明显地好于常规格雷码的平衡属性。优选具有30-70％之间的平衡比，更优选地是40-60％之间，更优选的是45-55％之间，进一步优选的是49％和5 1％之间。

此外，一个窗口上具有几乎恒定或固定的0和1的比的格雷码是有用的，因为它使得在制造图案化盘期间施加较均匀的抗蚀剂量。在相关窗口上优选具有少于40％的1和0的差异，更优选地少于20％，更优选地少于10％，进一步优选地少于2％。

虽然已经在上文描述了不同实施例，但是可以理解的是它们只是作为例子给出而不是限制。属于本发明范围的其它实施例对本领域的一般技术人员也是显而易见的。因此，本发明的广度和范围不应受上文所述的任何示范性实施例的限制，而只应根据所附权利要求书及其等价物来定义。

Claims (38)

1.一种图案化介质盘，包括：

间隔开的磁和非磁岛的伺服图案，其中

所述磁岛被磁极化；且

每个磁岛编码垂直堆叠在该岛中的多位或者编码单个位。

2.权利要求1的图案化介质盘，其中至少一部分所述伺服图案的一个伺服位由两个岛编码。

3.权利要求2的图案化介质盘，其中至少一部分所述伺服图案的一个伺服位由或者两个非磁岛或者两个磁岛编码。

4.权利要求3的图案化介质盘，其中所述两个磁岛是相反磁极性的。

5.权利要求1的图案化介质盘，其中至少一部分所述伺服图案的每一个伺服位由一个岛编码。

6.权利要求5的图案化介质盘，其中相邻磁岛是相反磁极性的。

7.权利要求5的图案化介质盘，其中相邻磁岛是相同磁极性的。

8.权利要求1的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

9.权利要求2的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

10.权利要求5的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

11.权利要求8的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的岛的非恒定间隔编码。

12.权利要求1的图案化介质盘，其中所述伺服图案用格雷码编码。

13.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，在200码字的窗口上具有大于30％的比率。

14.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，对于200码字的窗口具有大于40％的比率。

15.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，对于200码字的窗口具有大于45％的比率。

16.权利要求2的图案化介质盘，其中所述伺服图案由格雷码编码。

17.权利要求16的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，对于200码字的窗口具有大于30％的比率。

18.权利要求5的图案化介质盘，其中所述伺服图案由格雷码编码。

19.权利要求18的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，对于200码字的窗口具有大于30％的比率。

20.权利要求8的图案化介质盘，其中所述伺服图案由格雷码编码。

21.权利要求20的图案化介质盘，其中所述格雷码是平衡格雷码，对于200码字的窗口具有大于30％的比率。

22.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码在200码字的窗口上具有小于10％的1和0的差异。

23.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码在200码字的窗口上具有小于2％的1和0的差异。

24.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码在10和30um之间的窗口上具有小于10％的1和0的差异。

25.权利要求12的图案化介质盘，其中所述格雷码包括不多于两个连续0的码字。

26.一种图案化介质盘，包括：

间隔开的非磁岛和极化磁岛的伺服图案，所述伺服图案包括伺服数据岛和时钟岛，且

其中所述时钟岛以至少一个伺服数据岛的间隔定位且所述伺服数据岛采用格雷码布置，所述格雷码在200码字的窗口上具有小于5％的1和0的差异。

27.一种图案化介质盘，包括：

间隔开的非磁岛和极化磁岛的伺服图案，所述伺服图案包括伺服数据岛和时钟岛，且

其中所述时钟岛以至少一个伺服数据岛的间隔定位且所述数据岛采用格雷码布置，所述格雷码在10和30um之间的窗口上具有小于5％的1和0的差异。

28.一种图案化介质盘，包括：

间隔开的磁和非磁岛的伺服图案，其中所述磁岛被磁极化且至少一部分所述伺服图案的一个伺服位由两个岛编码。

29.权利要求28的图案化介质盘，其中所述两个磁岛是相反磁极性的。

30.权利要求28的图案化介质盘，其中相邻磁岛是相同磁极性的。

31.权利要求28的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

32.权利要求29的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

33.权利要求30的图案化介质盘，其中时钟位以编码伺服数据的至少一个岛的间隔编码。

34.权利要求28的图案化介质盘，其中所述伺服图案由格雷码编码。

35.权利要求34的图案化介质盘，其中所述格雷码在200码字的窗口上具有小于10％的1和0的差异。

36.权利要求34的图案化介质盘，其中所述格雷码在200码字的窗口上具有小于2％的1和0的差异。

37.权利要求29的图案化介质盘，其中所述伺服图案由格雷码编码。

38.权利要求34的图案化介质盘，其中所述格雷码包括具有不多于两个连续0的码字。

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