CN101128671A - 单轴式真空容积泵 - Google Patents

单轴式真空容积泵 Download PDF

Info

Publication number
CN101128671A
CN101128671A CNA2006800058260A CN200680005826A CN101128671A CN 101128671 A CN101128671 A CN 101128671A CN A2006800058260 A CNA2006800058260 A CN A2006800058260A CN 200680005826 A CN200680005826 A CN 200680005826A CN 101128671 A CN101128671 A CN 101128671A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pump
motor rotor
displacement pump
stages
single axle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2006800058260A
Other languages
English (en)
Inventor
迈克尔·霍尔策默
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of CN101128671A publication Critical patent/CN101128671A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
    • F04B41/06—Combinations of two or more pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows

Abstract

本发明涉及一种单轴式真空容积泵(10)，其包括两个各自设置有泵转子(13，15)的泵级(12，14)和驱动马达(16)。所述驱动马达(16)沿轴向设置在所述两个泵级(12，14)之间，并且轴(22)支撑泵转子(13，15)和马达转子(17)。

Description

单轴式真空容积泵
技术领域
本发明涉及一种单轴式真空容积泵，其包括驱动马达和以串联的方式设置的两个或多个泵级。
背景技术
包括两个泵级的传统单轴式真空容积泵例如配置为二级旋转活塞泵或旋转叶片泵。通常，两个泵级设置成沿轴串联，其中驱动马达设置在两个泵级之一的纵向端部处并驱动两个泵级的共用轴。驱动马达和两个泵级都设置在其各自的壳体内，使得该轴通过多个壳体开口。为了轴支撑的目的，在驱动马达内设置至少两个轴承，并且在泵级的区域内通常设置三个轴承。
发明内容
本发明的目的是提供一种简化的单轴式真空容积泵。
依据本发明，该目的通过权利要求1所述的特征实现。
在依据本发明的容积泵内，驱动马达沿轴向设置在两个泵级之间，其中单个共用轴支撑两个泵转子和马达转子。因此真空容积泵仅包括一个整体轴，其提供很多结构优点。特别地，两个共用轴承可用于支撑驱动马达转子和两个沿轴向邻近的泵转子。以此方式，轴承的数量可减至仅几个轴承。当两个泵转子以悬臂的方式受到支撑时，整个容积泵所需的轴承不超过两个。由于此单轴构造，因此不需要联接器，这就进一步简化了结构。因此提供了一种设计简单紧凑且制造成本低廉的二级容积泵。其他的远离驱动马达的泵级可以沿轴向连接于所述两个邻近驱动马达设置的泵级。
优选地，两个泵级之间的气体连接由马达转子和马达定子之间的间隙构成。在马达转子和马达定子之间形成间隙是不能避免的。这种间隙用作两个泵级之间的连接管道，即预真空级和高真空级之间的连接管道。因此无需提供两个泵级之间的单独的连接管道。这就使得构造简单且制造成本低廉。仅在较大泵送能力的情况下提供附加的单独连接管道。
依据优选实施方式，马达转子和马达定子之间的间隙是圆柱形，即，马达转子在外侧面构造为圆柱形，马达定子在内侧面构造为圆柱形。
依据优选实施方式，马达转子包括螺旋形泵槽。螺旋形回转泵槽改进了从高真空级通过马达转子和马达定子之间的间隙至预真空级的轴向气体输送。
依据优选实施方式，马达转子作为润滑剂泵，其将润滑剂从上游的泵级泵送到下游的泵级。在湿式真空容积泵内，即在由流动润滑剂润滑的容积泵内，泵槽甚至适于将液体润滑剂从高真空级输送到预真空级。因此无需独立的润滑剂泵。润滑剂进一步冷却驱动马达、特别是马达转子，使得可以省去独立的马达冷却装置。
优选地，单个定子壳体围绕轴，其中该定子壳体不包括任何轴密封件。因此，定子壳体围绕两个泵级和马达转子，且可以构成泵级的定子和驱动马达的定子。由于没有提供轴密封件，所以能避免与之相关的所有问题和成本。特别是因此能在较大程度上防止任何不希望的漏油或漏气。
优选地，定子壳体由润滑剂壳体围绕。定子壳体设置成与润滑剂壳体成隔开关系，使得润滑剂配置在定子壳体和润滑剂壳体之间，并可以从出口流到润滑剂泵。
优选地，两个泵级配置为旋转活塞泵级或旋转叶片泵级。还可提供多级转子级或爪形泵级或其它类型的泵级。
附图说明
现在将参照附图详细地描述本发明的实施方式。
附图示出本发明的包括两个旋转叶片泵级的单轴式真空容积泵的纵剖面图。
具体实施方式
附图示出真空容积泵10，其包括两个各自配置为旋转叶片泵级的泵级12、14，和沿轴向设置于两个泵级12、14之间的驱动马达16。输入侧的泵级14与进气口18连接，并构成高真空级。沿气体流动方向观察，设置于下游的泵级12是预真空级，其将气体泵送到出气口20外的大气压。两个泵级12、14各自包括泵转子13、15，且驱动马达16包括马达转子17。泵转子13、15和马达转子17固定地安装到共用整体轴22。马达转子17永久地受到激励。
两个泵级12、14之间的气体连接通过圆柱形间隙24实现，该间隙在内侧上由马达转子17限定，在外侧上由马达定子28限定。马达转子17包括设置于马达转子17圆柱形外侧面内的螺旋形槽30。气体连接还能由外部通道来实现，例如在较大泵送容量的情况下。
轴22由两个配置为滚柱轴承的轴承32、34支撑。也可以使用滑动轴承或气体轴承。泵转子13、15以悬臂方式支撑，使得轴22仅由两个轴承32、34支撑。
两个泵级12、14和驱动马达16以及轴22由定子壳体40支撑并完全围绕。定子壳体40不包括任何轴密封件。定子壳体40又设置于润滑剂壳体41内，润滑剂壳体41用于容纳润滑剂并将其从预真空侧运送到高真空侧。
在轴22的高真空端部处设置有齿轮泵44，其将液体润滑剂46经通道48泵送到马达转子和马达定子之间的间隙24内。通过相应的入口，将齿轮泵44所输送的一小部分润滑剂直接运送到高真空泵级14的工作腔内。离开高真空泵级14的气体和润滑剂的混合物经螺旋形泵槽30泵送到预真空泵级12，由此使马达转子17和马达定子28得到润滑和冷却。
在预真空泵级12的泵室出口连接有油分离器50，其将滴下的润滑剂和泵送到大气的气体分离。润滑剂在润滑剂壳体41和定子壳体40之间流动，并回流到齿轮泵44。

Claims (9)

1.一种单轴式真空容积泵(10)，包括两个泵级(12，14)和驱动马达(16)，其特征在于，所述驱动马达(16)沿轴向设置在所述两个泵级(12，14)之间，并且轴(22)支撑所述泵级(12，14)的两个泵转子(13，15)和马达转子(17)。
2.如权利要求1所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，所述两个泵级(12，14)之间的气体连接由所述马达转子和马达定子之间的间隙(24)构成。
3.如权利要求2所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，所述马达转子和所述马达定子之间的间隙(24)是圆柱形的。
4.如权利要求2或3所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，所述马达转子(17)包括螺旋形泵槽(30)。
5.如权利要求1至4中任一项所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，定子壳体围绕所述轴(22)，其中所述定子壳体不包括任何轴密封件。
6.如权利要求1至5中任一项所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，在所述马达转子(17)和所述泵转子(13，15)之间恰好设置有两个滚柱轴承(32，34)。
7.如权利要求1至6中任一项所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，定子壳体(40)由润滑剂壳体(41)围绕。
8.如权利要求1至7中任一项所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，所述马达转子(17)作为润滑剂泵，其将润滑剂从高真空泵级(14)泵送到下游的预真空泵级(12)。
9.如权利要求1至8中任一项所述的单轴式容积泵(10)，其特征在于，所述两个泵级(12，14)配置为旋转活塞泵级或旋转叶片泵级。
CNA2006800058260A 2005-02-26 2006-01-27 单轴式真空容积泵 Pending CN101128671A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005008887.2 2005-02-26
DE102005008887A DE102005008887A1 (de) 2005-02-26 2005-02-26 Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101128671A true CN101128671A (zh) 2008-02-20

Family

ID=36130115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2006800058260A Pending CN101128671A (zh) 2005-02-26 2006-01-27 单轴式真空容积泵

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080166247A1 (zh)
EP (1) EP1851433A1 (zh)
JP (1) JP2008531910A (zh)
KR (1) KR20070103775A (zh)
CN (1) CN101128671A (zh)
DE (1) DE102005008887A1 (zh)
WO (1) WO2006089828A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103119413A (zh) * 2010-08-04 2013-05-22 英福康有限责任公司 渗漏检测装置
CN103206378A (zh) * 2012-01-11 2013-07-17 复盛股份有限公司 多段式热泵压缩机
CN107110172A (zh) * 2014-10-31 2017-08-29 特灵国际有限公司 提供润滑剂到轴承的系统和方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BR112016024380B1 (pt) * 2014-05-01 2022-06-28 Ateliers Busch S.A. Método de bombeamento em um sistema de bombeamento e sistema de bombeamento
DE202014005279U1 (de) * 2014-06-26 2015-10-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpen-System
WO2015197138A1 (fr) 2014-06-27 2015-12-30 Ateliers Busch Sa Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide
DE102018105142A1 (de) * 2018-03-06 2019-09-12 Schwäbische Hüttenwerke Automotive GmbH Dichtelement Vakuumpumpe

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2524269A (en) * 1946-10-14 1950-10-03 Sta Rite Products Inc Pump
US2902210A (en) * 1955-08-15 1959-09-01 Edwards High Vacuum Ltd Multi-stage mechanical vacuum pumps
DE1628313A1 (de) * 1966-08-20 1971-01-28 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Vakuumpumpe
DE1916394A1 (de) * 1969-03-31 1970-10-15 Balzers & Pfeiffer Hochvakuum Als Verdraengerpumpe ausgebildete Vakuumpumpe
JPH03151989A (ja) * 1989-11-08 1991-06-28 Daiwa Golf Kk 管状体およびその製造方法
DE3937345A1 (de) * 1989-11-09 1991-05-16 Pfeiffer Vakuumtechnik Pumpe mit antriebsmotor
US5112200A (en) * 1990-05-29 1992-05-12 Nu-Tech Industries, Inc. Hydrodynamically suspended rotor axial flow blood pump
JPH05302581A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Daikin Ind Ltd 縦形圧縮機
GB9223804D0 (en) * 1992-11-13 1993-01-06 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
JPH07318179A (ja) * 1994-05-26 1995-12-08 Toshiba Corp 密閉型コンプレッサならびにこれを有する冷凍装置，空気調和機
JPH08219059A (ja) * 1995-02-17 1996-08-27 Hitachi Ltd 圧縮機
DE69610352T2 (de) * 1995-04-19 2001-05-17 Ebara Corp Mehrstufige Verdrängungsvakuumpumpe
JP3432679B2 (ja) * 1996-06-03 2003-08-04 株式会社荏原製作所 容積式真空ポンプ
US6244835B1 (en) * 1996-06-26 2001-06-12 James F. Antaki Blood pump having a magnetically suspended rotor
JP4319274B2 (ja) * 1998-10-30 2009-08-26 株式会社日立製作所 スクロール式流体機械
DE19945871A1 (de) * 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen
JP3475174B2 (ja) * 2000-02-10 2003-12-08 東芝テック株式会社 電動ポンプ
US6749405B2 (en) * 2000-06-16 2004-06-15 Stuart Bassine Reversible pivoting vane rotary compressor for a valve-free oxygen concentrator
JP2003254271A (ja) * 2002-03-04 2003-09-10 Teijin Ltd ツイン型スクロール式流体機械
US6631617B1 (en) * 2002-06-27 2003-10-14 Tecumseh Products Company Two stage hermetic carbon dioxide compressor
EP1522749B1 (en) * 2002-07-12 2008-03-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing spindle
US6752605B2 (en) * 2002-10-15 2004-06-22 Tecumseh Products Company Horizontal two stage rotary compressor with a bearing-driven lubrication structure
JP4274841B2 (ja) * 2003-04-14 2009-06-10 三洋電機株式会社 コンプレッサ用密閉容器の製造方法
US7201567B2 (en) * 2003-06-20 2007-04-10 Emerson Climate Technologies, Inc. Plural compressors

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103119413A (zh) * 2010-08-04 2013-05-22 英福康有限责任公司 渗漏检测装置
CN103119413B (zh) * 2010-08-04 2015-05-27 英福康有限责任公司 渗漏检测装置
CN103206378A (zh) * 2012-01-11 2013-07-17 复盛股份有限公司 多段式热泵压缩机
CN103206378B (zh) * 2012-01-11 2015-10-07 复盛股份有限公司 多段式热泵压缩机
CN107110172A (zh) * 2014-10-31 2017-08-29 特灵国际有限公司 提供润滑剂到轴承的系统和方法
CN107110172B (zh) * 2014-10-31 2020-09-04 特灵国际有限公司 提供润滑剂到轴承的系统和方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008531910A (ja) 2008-08-14
EP1851433A1 (de) 2007-11-07
DE102005008887A1 (de) 2006-08-31
WO2006089828A1 (de) 2006-08-31
US20080166247A1 (en) 2008-07-10
KR20070103775A (ko) 2007-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6264446B1 (en) Horizontal scroll compressor
CN101128671A (zh) 单轴式真空容积泵
RU2107192C1 (ru) Ротационный винтовой компрессор
US20170204753A1 (en) Variable Speed Cooling Compressor Including Lubricating Oil Pumping System
US6375431B1 (en) Evacuating apparatus
CN106014995A (zh) 多级干式罗茨真空泵
JP2001027195A (ja) 真空ポンプ
US6190149B1 (en) Vacuum pump oil distribution system with integral oil pump
CN102235354B (zh) 涡旋压缩机、制冷循环装置
US6969242B2 (en) Compressor
US6676384B2 (en) Gas friction pump
WO2022255275A1 (ja) スクリュー圧縮機
CN109538301B (zh) 圆柱形对称容积式机器
CN114412781B (zh) 一种涡旋压缩机及空调器
JP2014152747A (ja) 容積型圧縮機
CN105422444A (zh) 多级大流量滑片泵
KR20210010808A (ko) 스크롤 압축기
KR20190122608A (ko) 터보 압축기
WO2021212772A1 (zh) 涡旋压缩机
CN212055124U (zh) 压缩机
WO2021184723A1 (zh) 压缩机
EP4174318A1 (en) Rotary compressor and refrigeration cycle device
RU130011U1 (ru) Унифицированный многоступенчатый центробежный компрессор
WO2022112229A1 (en) Dry vacuum pump
CN117450068A (zh) 压缩组件及压缩机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20080220

C20 Patent right or utility model deemed to be abandoned or is abandoned