KR20070103775A - 단축 진공 정변위 펌프 - Google Patents

단축 진공 정변위 펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR20070103775A
KR20070103775A KR1020077021093A KR20077021093A KR20070103775A KR 20070103775 A KR20070103775 A KR 20070103775A KR 1020077021093 A KR1020077021093 A KR 1020077021093A KR 20077021093 A KR20077021093 A KR 20077021093A KR 20070103775 A KR20070103775 A KR 20070103775A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pump
positive displacement
displacement pump
stages
single axis
Prior art date
Application number
KR1020077021093A
Other languages
English (en)
Inventor
미카엘 횔체머
Original Assignee
욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하 filed Critical 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
Publication of KR20070103775A publication Critical patent/KR20070103775A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
    • F04B41/06—Combinations of two or more pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows

Abstract

본 발명은 펌프 회전자(13, 15) 및 구동 모터(16)가 각각 제공되는 두 개의 펌프 단(12, 14)을 포함한다. 상기 구동 모터(16)는 상기 두 개의 펌프 단들(12, 14) 사이에 배치되고 축(22)은 펌프 회전자(13, 15) 및 모터 회전자(17)를 지지한다.

Description

단축 진공 정변위 펌프 {SINGLE-SHAFT VACUUM POSITIVE DISPLACEMENT PUMP}
본 발명은 나란히 배열되는 두 개 또는 그 이상의 단(stage) 및 구동 모터를 포함하는 단축 진공 정변위 펌프에 관한 것이다.
두 개의 펌프 단을 포함하는 종래의 단축 진공 정변위 펌프는 예를 들면 2-단 로터리 피스톤 펌프 또는 로터리 베인 펌프로서 구성된다. 보통, 두 개의 펌프 단은 나란히 축방향으로 배열되며, 구동 모터가 두 개의 펌프 단들 중 하나의 종방향 단부에 배치되어 두 개의 펌프 단의 공통 축을 구동한다. 구동 모터 및 두 개의 펌프 단 둘다 자체 하우징에 배열되어 축이 다수의 하우징 개구를 통과한다. 축 지지 목적을 위해 적어도 두 개의 축 베어링이 구동 모터에 제공되고, 펌프 단의 영역 내에 3 개의 축 베어링이 통상적으로 배치된다.
본 발명의 목적은 단순화된 단축 진공 정변위 펌프를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따라, 이러한 목적은 청구항 1의 특징에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 정변위 펌프에서, 구동 모터는 두 개의 펌프 단 사이에 축방향으로 배치되며, 단일 공통 축은 두 개의 펌프 회전자 및 모터 회전자를 지지한다. 그리고-진공 정변위 펌프는 다수의 구조적 장점을 제공하는 단일의 일체형 축을 포함한다. 특히 두 개의 공통 축 베어링은 구동 모터 회전자 및 두 개의 축방향으로 인접한 펌프 회전자를 지지하기 위해 이용될 수 있다. 이러한 방식으로, 다수의 축 베어링은 단지 몇 개(a few)의 베어링으로 감소될 수 있다. 두 개의 펌프 회전자가 외팔보 위치에서 지지될 때, 전체 정변위 펌프는 두 개보다 많은 축 베어링을 요구하지 않는다. 단일-축 구성에 의해 커플링이 요구되지 않아서 설계가 더 단순화한다. 따라서 제조하기에 비용이 많이 들지 않는, 2단 정변위 펌프의 컴팩트한 설계가 제공된다. 구동 모터에 인접하게 배치된 두 개의 펌프 단에 대해, 상기 구동 모터 반대쪽의 추가의 펌프 단이 축방향으로 부착될 수 있다.
바람직하게는, 두 개의 펌프 단 사이의 가스 연결이 모터 회전자와 모터 고정자 사이의 갭에 의해 형성된다. 모터 회전자와 모터 사이의 갭의 형성이 불가피하다. 이러한 갭은 두 개의 펌프 단 사이의 연결 도관으로서 기능한다. 개별 연결 도관은 두 개의 펌프 단 사이에 있어서 제공할 필요가 없다. 이에 의해 구성이 간단하게 되고 제조 비용이 저렴하게 된다. 단지 대형 펌핑 용량의 경우 부가의 개별 연결 도관이 제공된다.
바람직한 일 실시예에 따라, 모터 회전자와 모터 고정자 사이의 갭은 원통형이다, 즉 모터 회전자는 외부가 원통 형상이고, 모터 고정자는 내부가 원통 형상이다.
바람직한 일 실시예에 따라, 모터 회전자는 나선형 펌프 그루브를 포함한다. 나선형 펌프 그루브는 모터 회전자와 모터 고정자 사이의 갭을 통하여 고-진공 단으로부터 사전-진공 단(pre-vacuum stage)으로의 축방향 가스 운반을 개선한다.
바람직한 일 실시예에 따라, 모터 회전자는 상류부로부터 하류부 펌프 단으로 윤활유를 펌핑하는 윤활유 펌프로서 작용한다. 습식 진공 정변위 펌프에서, 즉 유동하는 윤활유로 윤활되는 정변위 펌프에서, 펌프 그루브(groove)는 고-진공 단으로부터 사전-진공 단으로의 액체 윤활유 조차 운반하기에 적절하다. 따라서 개별 윤활유 펌프가 요구되지 않는다.
윤활유는 구동 모터 및 특히 모터 회전자를 추가로 냉각하여 개별 모터 냉각 장치가 가능하게는 생략될 수 있다.
바람직하게는, 단일 고정자 하우징은 축을 둘러싸며, 고정자 하우징은 어떠한 축 밀봉부도 포함하지 않는다. 따라서 고정자 하우징은 두 개의 펌프 단 및 모터 회전자를 둘러싸며, 가능하게는 구동 모터 및 펌프 단들의 고정자들을 한정할 수 있다. 축 밀봉이 제공되지 않기 때문에, 이와 관련된 모든 문제점 및 비용이 회피된다. 특히 어떠한 원하지 않는 오일 및 가스 누출이 상당히 방지될 수 있다.
바람직하게는, 고정자 하우징이 윤활유 하우징에 의해 둘러싸인다. 고정자 하우징은 윤활유 하우징과 이격되는 관계로 배치되어 윤활유가 고정자 하우징과 윤활유 하우징 사이에 배치되어, 출구로부터 윤활유 펌프로의 유동을 허용한다.
바람직하게는, 두 개의 펌프 단이 로터리 피스톤 또는 로터리 베인 펌프 단으로서 구성된다. 다중 회전자 단 또는 클로-타입(claw-type) 펌프 단 또는 다른 타입의 펌프 단이 제공될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예가 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다.
도 1은 두 개의 로터리 베인 펌프 단을 포함하는 본 발명에 따른 단축 정변위 펌프의 종방향 단면도이다.
도 1은 각각 로터리 베인 펌프 단으로서 구성된 두 개의 펌프 단(12, 14), 및 두 개의 펌프 단(12, 14) 사이에서 축방향으로 고정되는 구동 모터((16)를 포함한다. 입구 측 펌프 단(14)은 가스 입구(18)로 연결되어 고-진공 단을 형성한다. 가스 유동의 방향으로 볼 때 하류부에 배치되는 펌프 단(12)은 가스 출구(20)로부터의 대기 압력에 대해 가스를 펌핑하는 사전-진공 단이다. 두 개의 펌프 단(12, 14)은 각각 펌프 회전자(13, 15)를 포함하고, 구동 모터(16)는 모터 회전자(17)를 포함한다. 펌프 회전자(13, 15) 및 모터 회전자(17)는 공통의 일체형 축(22)에 영구적으로 고정된다. 모터 회전자(17)는 영구적으로 여자(勵磁)된다(excited).
두 개의 펌프 단(12, 14) 사이의 가스는 모터 회전자(17)에 의해 내부 그리고 모터 고정자(28)에 의해 외부에 형성되는 원통형 갭(24)에 의해 연결된다. 모터 회전자(17)는 모터 회전자(17)의 원통형 외부에 제공되는 나선형 그루브(30)를 포함한다. 가스는 대형 펌핑 성능의 경우, 예를 들면 외부 채널에 의해 추가로 연결된다.
축(22)은 롤러 베어링으로서 구성되는 두 개의 축 베어링(32, 34)에 의해 지지된다. 슬라이드 베어링 또는 가스 베어링이 또한 이용될 수 있다. 펌프 회전자(13, 15)는 외팔보 위치에 지지되어, 축(2)이 두 개의 축 베어링(32, 34)에 의해서만 지지된다.
두 개의 펌프 단(12, 14) 및 구동 모터(16) 뿐만 아니라 축(22)이 지지되어 고정자 하우징(40)에 의해 완전히 둘러싸인다. 고정자 하우징(40)은 어떠한 축 밀봉도 포함하지 않는다. 다음으로, 고정자 하우징(40)은 윤활유를 수용하여 사전-진공 측으로부터 고-진공 측으로 전달하는 기능을 하는 윤활유 하우징(41) 내에 배치된다.
축(22)의 고-진공 단부에서 기어 펌프(44)가 배치되어 액체 윤활유(46)를 채널(48)을 경유하여 모터 회전자와 모터 고정자 사이의 갭(24) 내로 펌핑한다. 대응하는 입구를 통하여 기어 펌프(44)에 의해 전달되는 작은 부분의 윤활유가 고-진공 펌프 단(14)의 작업 챔버 내로 직접 전달된다. 고-진공 펌프 단(14)으로부터 나오는 윤활유 및 가스의 혼합물이 나선형 펌프 그루브(30)를 경유하여 사전-진공 펌프 단(12)으로 펌핑되어, 모터 회전자(17) 및 모터 고정자(28)가 윤활 및 냉각된다.
사전-진공 펌프 단(12)의 펌프 챔버 출구에 인접하여 오일 분리기(50)가 배치되어 대기에 대해 펌핑 오프되는 가스와 하방으로 떨어지는 윤활유를 분리한다. 윤활유는 윤활유 하우징(41)과 고정자 하우징(40) 사이에서 기어 펌프(44)로 역 유동한다.

Claims (9)

  1. 두 개의 펌프 단(12, 14) 및 구동 모터(16)를 포함하는 단축 진공 정변위 펌프(10)에 있어서,
    상기 구동 모터(16)는 상기 두 개의 펌프 단(12, 14) 사이에 축방향으로 배치되고, 상기 축(22)은 상기 펌프 단(12, 14)의 두 개의 펌프 회전자(13, 15) 및 상기 모터 회전자(17)를 지지하는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 두 개의 펌프 단(12, 14) 사이의 가스 연결이 상기 모터 회전자와 모터 고정자 사이의 갭(24)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 모터 회전자와 상기 모터 고정자 사이의 갭(24)이 원통형인 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 모터 회전자(17)는 나선형 펌프 그루브(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 축(22)을 고정자 하우징이 둘러싸며, 상기 고정자 하우징은 어떠한 밀봉도 포함하지 않는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모터 회전자(17)와 상기 펌프 회전자(13, 15) 사이에 정확히 두 개의 롤러 베어링(32, 34)이 제공되는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정자 하우징(40)은 윤활유 하우징(41)에 의해 둘러싸이는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모터 회전자(17)가 윤활유를 고-진공 펌프 단(14)으로부터 하류부의 사전-진공 펌프 단(12)으로 펌핑하는 윤활유 펌프로서 작용하는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 두 개의 펌프 단(12, 14)은 로터리 피스톤 또는 로터리 베인 펌프 단으로서 구성되는 것을 특징으로 하는,
    단축 진공 정변위 펌프.
KR1020077021093A 2005-02-26 2006-01-27 단축 진공 정변위 펌프 KR20070103775A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005008887.2 2005-02-26
DE102005008887A DE102005008887A1 (de) 2005-02-26 2005-02-26 Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070103775A true KR20070103775A (ko) 2007-10-24

Family

ID=36130115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077021093A KR20070103775A (ko) 2005-02-26 2006-01-27 단축 진공 정변위 펌프

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080166247A1 (ko)
EP (1) EP1851433A1 (ko)
JP (1) JP2008531910A (ko)
KR (1) KR20070103775A (ko)
CN (1) CN101128671A (ko)
DE (1) DE102005008887A1 (ko)
WO (1) WO2006089828A1 (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010033373A1 (de) * 2010-08-04 2012-02-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
CN103206378B (zh) * 2012-01-11 2015-10-07 复盛股份有限公司 多段式热泵压缩机
BR112016024380B1 (pt) * 2014-05-01 2022-06-28 Ateliers Busch S.A. Método de bombeamento em um sistema de bombeamento e sistema de bombeamento
DE202014005279U1 (de) * 2014-06-26 2015-10-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpen-System
WO2015197138A1 (fr) 2014-06-27 2015-12-30 Ateliers Busch Sa Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide
CN107110172B (zh) * 2014-10-31 2020-09-04 特灵国际有限公司 提供润滑剂到轴承的系统和方法
DE102018105142A1 (de) * 2018-03-06 2019-09-12 Schwäbische Hüttenwerke Automotive GmbH Dichtelement Vakuumpumpe

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2524269A (en) * 1946-10-14 1950-10-03 Sta Rite Products Inc Pump
US2902210A (en) * 1955-08-15 1959-09-01 Edwards High Vacuum Ltd Multi-stage mechanical vacuum pumps
DE1628313A1 (de) * 1966-08-20 1971-01-28 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Vakuumpumpe
DE1916394A1 (de) * 1969-03-31 1970-10-15 Balzers & Pfeiffer Hochvakuum Als Verdraengerpumpe ausgebildete Vakuumpumpe
JPH03151989A (ja) * 1989-11-08 1991-06-28 Daiwa Golf Kk 管状体およびその製造方法
DE3937345A1 (de) * 1989-11-09 1991-05-16 Pfeiffer Vakuumtechnik Pumpe mit antriebsmotor
US5112200A (en) * 1990-05-29 1992-05-12 Nu-Tech Industries, Inc. Hydrodynamically suspended rotor axial flow blood pump
JPH05302581A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Daikin Ind Ltd 縦形圧縮機
GB9223804D0 (en) * 1992-11-13 1993-01-06 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
JPH07318179A (ja) * 1994-05-26 1995-12-08 Toshiba Corp 密閉型コンプレッサならびにこれを有する冷凍装置，空気調和機
JPH08219059A (ja) * 1995-02-17 1996-08-27 Hitachi Ltd 圧縮機
DE69610352T2 (de) * 1995-04-19 2001-05-17 Ebara Corp Mehrstufige Verdrängungsvakuumpumpe
JP3432679B2 (ja) * 1996-06-03 2003-08-04 株式会社荏原製作所 容積式真空ポンプ
US6244835B1 (en) * 1996-06-26 2001-06-12 James F. Antaki Blood pump having a magnetically suspended rotor
JP4319274B2 (ja) * 1998-10-30 2009-08-26 株式会社日立製作所 スクロール式流体機械
DE19945871A1 (de) * 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen
JP3475174B2 (ja) * 2000-02-10 2003-12-08 東芝テック株式会社 電動ポンプ
US6749405B2 (en) * 2000-06-16 2004-06-15 Stuart Bassine Reversible pivoting vane rotary compressor for a valve-free oxygen concentrator
JP2003254271A (ja) * 2002-03-04 2003-09-10 Teijin Ltd ツイン型スクロール式流体機械
US6631617B1 (en) * 2002-06-27 2003-10-14 Tecumseh Products Company Two stage hermetic carbon dioxide compressor
EP1522749B1 (en) * 2002-07-12 2008-03-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing spindle
US6752605B2 (en) * 2002-10-15 2004-06-22 Tecumseh Products Company Horizontal two stage rotary compressor with a bearing-driven lubrication structure
JP4274841B2 (ja) * 2003-04-14 2009-06-10 三洋電機株式会社 コンプレッサ用密閉容器の製造方法
US7201567B2 (en) * 2003-06-20 2007-04-10 Emerson Climate Technologies, Inc. Plural compressors

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008531910A (ja) 2008-08-14
EP1851433A1 (de) 2007-11-07
DE102005008887A1 (de) 2006-08-31
WO2006089828A1 (de) 2006-08-31
US20080166247A1 (en) 2008-07-10
CN101128671A (zh) 2008-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107806411B (zh) 压缩机
US5893702A (en) Gas friction pump
KR20070103775A (ko) 단축 진공 정변위 펌프
EP1807627B1 (en) Pumping arrangement
US20160327042A1 (en) Multi stage scroll vacuum pumps and related scroll devices
US20070212238A1 (en) Rotodynamic Fluid Machine
JP2002515568A (ja) ステータとロータを備えた摩擦真空ポンプ
US6409477B1 (en) Vacuum pump
US6676384B2 (en) Gas friction pump
JP2005307978A (ja) 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備
US6190149B1 (en) Vacuum pump oil distribution system with integral oil pump
US6969242B2 (en) Compressor
US20200408212A1 (en) Vacuum Pumping System Comprising A Vacuum Pump And Its Motor
JP4928265B2 (ja) 多段遠心ポンプ
JP5566636B2 (ja) 真空ポンプ
WO2022255275A1 (ja) スクリュー圧縮機
CN109538301B (zh) 圆柱形对称容积式机器
US6241490B1 (en) Multirotor vacuum pump
CN114651128B (zh) 涡旋式压缩机
KR20210010808A (ko) 스크롤 압축기
CN112780548B (zh) 具有压配合式电动机和竖直中央吸入口的涡旋压缩机
WO2022112229A1 (en) Dry vacuum pump
EP4274964A1 (en) Rotary vane vacuum pump with gas ballast assembly

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid