CN100485953C - 有机el用基板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种向形成在基板上的间隔物间供给有机EL材料时、即使是大基板尺寸也能防止有机EL材料在相邻间隔物间混色的有机EL用基板及其制造方法。对在基板(1)上通过涂敷形成的非疏油性感光材料层(2)和疏油性感光材料层(3)，对应于间隔物形成区域而用单一波长(I线)的光同时曝光后进行显影。其结果，形成具有由非疏油性材料构成的下层部(31)和由疏油性材料构成的上层部(32)组成的两层构造的间隔物(300)。因此可阻止向间隔物(300)供给的有机EL材料越过间隔物(300)顶部而移动，防止有机EL材料的混色。另外，由于形成有机层的间隔物下层部(31)由非疏油性材料形成，所以有机层剖面轮廓不会因表面张力而变化。

Description

有机EL用基板及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种用于在其表面以规定的图案形状形成空穴输送层、有机EL(电致发光)层等有机层的有机EL用基板及其制造方法。
背景技术
以往的有机EL元件是以如下说明的方法制造。首先，在玻璃基板等透明基板的表面上成膜透明的ITO(铟锡氧化物)膜。接着，使用光刻技术将成膜在该基板上的ITO膜，图案化形成为多个条纹状的第一电极。该第一电极相当于阳极。接着，以包围条纹状的第一电极的方式，在基板上形成突出的电绝缘性的间隔物(间隔壁)。
而且，为了在基板上以规定的图案形状形成空穴输送层、有机EL层等有机层，如下在基板上涂敷含有用于形成空穴输送材料、有机EL材料等的有机层的材料的涂敷液。例如在专利文献1记载的有机EL元件的制造方法中，向以间隔物包围的第一电极上注入空穴输送材料而形成空穴输送层之后，对间隔物的顶部进行使用了CF4气体的等离子处理，从而使间隔物的顶部氟化(疏液化)。接着，在对应于各色的第一电极上经由空穴输送层按顺序分别形成红、绿、蓝色的有机EL材料。此时，由于间隔物的顶部被疏液化，所以能够阻止各色的有机EL材料越过间隔物的顶部而移动。
接着，通过真空蒸镀法，在基板上以与第一电极垂直的方式并列设置多个相对向的条纹状的第二电极，在第一电极与第二电极之间夹有有机EL材料。该第二电极相当于阴极。这样，制造出第一电极与第二电极以单纯XY矩阵状排列的可显示全色的有机EL元件。
这样，在以往的技术中，由于将空穴输送材料的涂敷范围限定在间隔物间，同时对间隔物的顶部实施等离子处理来进行疏液化，所以能够阻止在间隔物间涂敷的各色有机EL材料向其他的间隔物间移动，从而能够有效防止有机EL材料的混色。
专利文献1：JP特开2004-55159号公报(第5、6页，图1)
然而，近年来从制造效率的观点出发不断在追求基板尺寸的大型化，而当对大尺寸的基板实施等离子处理时，会产生下面的问题。即，在为了使间隔物疏液化而实施的等离子处理中，真空室是必须的。这里，虽然对于小尺寸的基板能够对应该基板而使室体积小型化，但是随着基板尺寸变大，室体积也变大。因此，在真空室内生成等离子就变得困难，从其规模以及生产节拍的观点出发，使用真空室的等离子处理也变得不现实。然而并没有有效的手段来使在这样的大尺寸的基板上形成的间隔物疏液化，并防止有机EL材料的混色。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种在向形成在基板上的间隔物间供给有机EL材料时、即使是大的基板尺寸也能够防止有机EL材料在相邻间隔物间混色的有机EL用基板及其制造方法。
本发明的有机EL用基板是一种在其表面具有对应于规定的图案而形成的间隔物的有机EL用基板，为了实现上述目的，其特征是，间隔物的至少顶部表面是由感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料形成的。
在这样构成的发明中，由于间隔物自身的顶部表面具有疏液性，所以在向间隔物间分别供给多个色的有机EL材料时，即使该有机EL材料越过间隔物的顶部而要移动，也能够由具有疏液性的间隔物顶部来阻止各色的有机EL材料向其他间隔物间移动，从而有效的防止有机EL材料的混色。并且，由于用具有疏液性的材料来形成间隔物的顶部表面自身，所以不需要对间隔物实施等离子处理(疏液化处理)。从而，如在“背景技术”中所说明的那样，基板尺寸不受真空室的体积的限制，即使是大尺寸的基板也能够可靠的防止有机EL材料在相邻的间隔物间混色。
这里，在间隔物的至少顶部表面由疏液性感光材料形成这点中，(1)可以由疏液性感光材料形成间隔物全体；(2)可以通过利用疏液性感光材料形成上述间隔物的包含顶部表面的上层部，另一方面，利用非疏液性感光材料形成间隔物的下层部，从而使间隔物成为两层构造。如后者那样，通过使间隔物为以疏液性感光材料和非疏液性感光材料构成的两层构造，能够使有机EL层、空穴输送层等的有机层自身的剖面轮廓(剖面形状)适当化。即，当间隔物全体，即不只间隔物的顶部表面，连侧面都具有疏液性时，向间隔物间供给的、包含有机EL材料、空穴输送材料等用于形成有机层的材料(有机层形成材料)的涂敷液不会在间隔物侧面濡湿。因此，有机层(除去涂敷液中的溶剂后)的剖面轮廓因表面张力而变成山形(凸形)。而从以下的理由来看，有机层的剖面轮廓以凹形最为合适。即，这是因为，当有机层与间隔物侧面接触的面积变小时，在夹着有机层的电极间有可能会引起短路不良，此外从有机层的膜厚控制性的观点出发也优选该有机层以沿着间隔物侧面的方式形成弯月形。
因此，通过利用疏液性感光材料形成间隔物上层部，另一方面，利用非疏液性感光材料形成间隔物下层部，可获得以下的作用效果。即，通过使间隔物顶部带有疏液性，从而防止供给有机EL材料时的有机EL材料的混色，另一方面，通过使间隔物下层部的侧面具有非疏液性，从而使包含有机层形成材料的涂敷液在间隔物侧面濡湿，不会使有机层的剖面轮廓变成山形。即，通过只使间隔物上层部具有疏液性，使间隔物下层部为非疏液性，能够将有机层的剖面轮廓适当化而成为凹形。由此，能够防止夹着有机层的电极间的短路不良，同时该有机层以沿着间隔物侧面的方式形成弯月形，从而能够提高有机层的膜厚控制性。
本发明的有机EL用基板的制造方法的一个方式，为了实现上述目的，包括：在基板上涂敷疏液性感光材料而形成疏液性感光材料层的涂敷工序；在对应于规定的图案而对基板上的疏液性感光材料层曝光进行之后，再进行显影，从而形成对应于图案的间隔物的工序。
在这样构成的发明中，通过对应于规定的图案对涂敷在基板上的疏液性感光材料层曝光之后进行显影，从而对应于该图案(感光区域或者非感光区域)形成间隔物。这样，通过使被图形化材料自身为疏液性感光材料，能够简单的形成具有疏液性的间隔物、即全体具有疏液性的间隔物。
另外，在用疏液性感光材料和非疏液性感光材料使间隔物为两层构造的情况下，在使用规定的曝光波长的光对应于规定的图案来形成间隔物时，优选疏液性感光材料以及非疏液性感光材料对该曝光波长都具有感光度。由此，如以下所述，能够简单的制造有机EL用基板。
即，本发明的有机EL用基板的制造方法的其他方式，包括：在基板上涂敷非疏液性感光材料，从而形成非疏液性感光材料层的第一涂敷工序；在非疏液性感光材料层上涂敷疏液性感光材料，从而形成疏液性感光材料层的第二涂敷工序；在对应于规定的图案而对基板上的非疏液性感光材料层和疏液性感光材料层同时进行曝光之后，再进行显影，从而形成对应于图案的间隔物的工序。
本发明是一种有机EL用基板，在其表面具有对应于规定的图案而形成的间隔物，其特征在于，上述间隔物的至少顶部表面是由感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者由感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料形成的，上述疏液性化合物含有氟类树脂。
本发明是一种有机EL用基板的制造方法，其特征在于，包括：在基板上涂敷感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料，从而形成疏液性感光材料层的涂敷工序，其中，上述疏液性化合物含有氟类树脂；在对应于规定的图案而对上述基板上的上述疏液性感光材料层进行曝光之后，再进行显影，从而形成对应于上述图案的间隔物的工序。
本发明是一种有机EL用基板的制造方法，其特征在于，包括：在基板上涂敷非疏液性感光材料，从而形成非疏液性感光材料层的第一涂敷工序；在上述非疏液性感光材料层上涂敷感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料，从而形成疏液性感光材料层的第二涂敷工序，其中，上述疏液性化合物含有氟类树脂；在对应于规定的图案而对上述基板上的上述非疏液性感光材料层和上述疏液性感光材料层同时进行曝光之后，再进行显影，从而形成对应于上述图案的间隔物的工序。
在这样构成的发明中，在基板上的第一层形成非疏液性感光材料层，在第二层形成疏液性感光材料层。而且，通过对应于规定的图案同时对第一层和第二层曝光后进行显影，从而对应于该图案形成间隔物。这样，通过对第一层和第二层进行一次曝光、显影，就能够形成间隔物，所以与按各层进行曝光、显影的情况相比，能够简化制造工艺。另外，通过这样获得的由两层构造构成的间隔物，能够实现有机层的剖面轮廓的适当化，同时能够可靠的防止有机EL材料的混色。
此外，在本发明中，所谓疏液性意味着相对于含有有机EL材料、空穴输送材料等用于形成有机层的材料(有机层形成材料)的涂敷液的疏油性和疏水性两者。即，向间隔物间供给的涂敷液(溶液)是油性，即意味着对于溶液(主要是溶媒)的主要成分是油的液体而具有疏油性；涂敷液是水性，即意味着对于溶液(主要是溶媒)的主要成分是水的液体而具有疏水性。
根据本发明，由于间隔物的至少顶部表面是由疏液性材料形成的，所以在向间隔物间供给有机EL材料时，能够有效地防止有机EL材料在相邻的间隔物间混色。并且，由于不需要对间隔物实施等离子处理，所以也不用将基板尺寸限定为可对应等离子处理的尺寸，即使是大的基板尺寸也能够可靠的防止有机EL材料的混色。
附图说明
图1A～图1C是表示本发明的有机EL用基板的制造方法的第一实施方式的图。
图2A～图2F是表示有机EL元件的制造方法的一个实施方式的图。
图3A～图3D是表示本发明的有机EL用基板的制造方法的第二实施方式的图。
图4A～图4B是表示在间隔物间形成的有机层的剖面轮廓的图。
具体实施方式
(第一实施方式)
图1是表示本发明的有机EL用基板的制造方法的第一实施方式的图。在本实施方式中，首先，如图1A所示，在其表面图案化形成了第一电极11R、11G、11B的基板1上，通过旋涂等涂膜方法涂敷成为后述的间隔物(间隔壁)材料的疏油性感光材料(涂敷工序)。由此，在基板1上形成疏油性感光材料层3。在这里，第一电极11R、11G、11B例如是将ITO(铟锡氧化物)膜图案化形成为多根条纹状，相当于阳极。此外，由于要使光(来自于后述的有机EL层的发光)从基板内表面(下表面)一侧透出的关系，基板1使用玻璃基板、透明塑料基板等，另外，最好也使用透明电极作为第一电极11R、11G、11B；在上述的ITO膜以外，可使用氧化锡膜、氧化铟和氧化锌的复合氧化物膜等。
作为疏油性感光材料，可以使用感光性聚酰亚胺、丙烯酸树脂、环氧树脂中含有疏油性化合物的材料。作为疏油性化合物，适于使用在分子中含有全氟烷基或者聚氟烷基的氟类界面活性剂、或含氟类树脂。以下列举出疏油性化合物的例子。
含氟类树脂
  莫蒂巴     (モデイバ—)     F-110
                              F-210
                  (以上日本油脂制造)
  氟欧拉德   (フルオラ—ド)   FC-725
                 (住友3M制造)
氟类界面活性剂
  氟欧拉德    (フルオラ—ド)   FC-430
                               FC-171
                               FC-170C
                       (以上住友3M制造)
  艾弗托普    (エフトツプ)     EF-122B
                               EF-802B
                     (以上三菱金属制造)
下面，使疏油性感光材料层3对应于间隔物形状，在曝光后进行显影。具体的说，对应于上述的各第一电极(11R、11G、11B)的图案，以填充第一电极11R、11G、11B间的方式形成间隔物30(间隔物形成工序)。由此，能够防止后述形成的有机EL材料的混色、防止来自像素与像素之间的光外泄等。这里，疏油性感光材料3为光硬化性材料(负片型)时，如图1B所示，使光透过间隔物形成区域，用掩模4对要除去的区域进行遮光。另一方面，疏油性感光材料3为利用光可除去地变质的材料(正片型)时，用掩模4对间隔物形成区域进行遮光，从而使光透射到除去区域。
这样，当曝光结束后，如图1C所示，留下疏油性感光材料3中间隔物形成区域，通过使用溶剂等对其他区域进行显影而将其溶解除去。其结果，具有疏油性的间隔物30以规定的图案、即以填充各第一电极(11R、11G、11B)间的方式在基板1上图案化形成。由此，能够向夹在间隔物30之间的各元件空间SP，有选择的供给含有空穴输送材料、有机EL材料等有机层形成材料的涂敷液。
下面，针对使用如上述制造的有机EL用基板来制造有机EL元件的制造方法进行说明。图2是表示有机EL元件的制造方法的一个实施方式的图。首先，向各间隔物间、即各元件空间SP有选择的供给空穴输送材料，从而在各元件空间SP内，在第一电极(11R、11G、11B)上形成空穴输送层5。具体的说，预先准备用于形成空穴输送层5的、用溶媒溶解了有机化合物、例如PEDOT(polyethylene dioxythiophene)-PSS(poly-styrene sulphonate)的空穴输送材料，以喷嘴扫描的方式向各元件空间SP有选择的供给后，通过对基板1进行加热处理来使空穴输送材料干燥，从而形成空穴输送层5(图2A)。
接着，在与第一电极11R对应的间隔物间，通过喷嘴扫描方式供给红色的有机EL材料(EL聚合物)7R，在第一电极11R之上经由空穴输送层5而形成有机EL层9R。具体的说，如图2B所示，向间隔物间供给有机EL材料7R，直到从与第一电极11R对应的间隔物间充溢出而在间隔物30的顶部形成盈余。当然在有机EL材料中含有的溶质部分不满1wt％。即，残留的溶剂(溶媒)通过烘培而从溶液中除去。因此，为了在间隔物间(各元件空间SP)以规定的膜厚形成由溶质部分构成的有机层，要通过使有机EL材料超越间隔物30的顶部而皇盈余状态来提高涂敷量。此外，作为供给有机EL材料7R的装置，例如可以使用记载在JP特开2002-75640号公报中的涂敷装置等。
此时，因为间隔物30自身以疏油性材料形成，所以间隔物30的顶部具有疏油性，有机EL材料7R不会越过间隔物30而流入到周边的间隔物间，而只停在间隔物30的顶部内呈盈余状态。而且，当有机EL材料7R的供给结束时，通过由烘培装置等对基板1进行加热处理，使有机EL材料7R干燥(除去有机EL材料中的溶剂)，从而形成有机EL层9R(图2C)。
接着，在第一电极11G之上经由空穴输送层5而形成绿色的有机EL层9G，进而在第一电极11B之上经由空穴输送层5而形成蓝色的有机EL层9B(图2D)。此外，由于这些形成工序与红色时相同，所以在这里省略说明。另外，有机EL层的形成可以分别按各色进行，也可以同时供给三色的有机EL材料7R、7G、7B并使其干燥。
如上所述，当针对三色有机EL层9R、9G、9B的形成结束时，如图2E所示，在基板1上通过真空蒸镀法等，以与第一电极11R、11G、11B垂直而且相对的方式，多条并列地形成条纹状的第二电极13。通过这样的构成，在起阳极作用的第一电极11R、11G、11B与起阴极作用的第二电极13之间，夹着有机EL层9R、9G、9B。另外，制造第一电极11R、11G、11B与第二电极13以单纯XY矩阵状排列的能够全色显示的有机EL显示装置。此外在本实施方式中，在基板1上层叠形成由环氧树脂、丙烯酸树脂、液体玻璃等密封材料构成的密封层15，来防止各有机EL元件的劣化以及损伤等(图2F)。
如上所述，根据本实施方式，由于用疏油性材料形成间隔物30自身，所以即使有机EL材料7R、7G、7B越过间隔物30的顶部而要移动，也能由具有疏油性的间隔物30的顶部阻止各有机EL材料向其他间隔物间移动，有效防止有机EL材料7R、7G、7B的混色。而且，由于用具有疏油性的材料形成间隔物30自身，所以不需要对间隔物30的顶部表面重新实施等离子处理(疏油化处理)。因此，不会像以往的装置那样，为了实施等离子处理而使基板尺寸受到限制，即使是大尺寸的基板1，也能确实防止有机EL材料7R、7G、7B的混色。
进而，由于具有疏油性的同时，由感光性材料形成间隔物30，所以不需要新涂敷抗蚀剂等(蚀刻用的掩模)来进行图案化。即，在基板1上涂敷疏油性感光材料，通过将该感光材料自身直接曝光后进行显影，可以对应于间隔物形成区域而以期望的图案形成具有疏油性的间隔物。
另外，这样由于间隔物30的至少顶部具有疏油性，可获得以下的作用效果。即，为了避免有机EL材料的混色，也考虑增高间隔物30，使由间隔物30夹着的空间、即元件空间SP的容积比向该空间供给的有机EL材料7R、7G、7B的量大，可以防止来自元件空间SP的有机EL材料7R、7G、7B的溢出。可是，只增高间隔物30会产生这样的问题：导致有机EL元件的大型化；间隔物30的顶部与有机EL层9R、9G、9B的台阶差变大，在该台阶差部分第二电极13易断路而导致产品质量的低下。相对于此，在本实施方式中因为间隔物30的顶部具有疏油性，所以能够使有机EL材料7R、7G、7B在间隔物30的顶部呈盈余状态，能够提高有机EL材料的容许涂敷量。即，即使间隔物30的高度比较低，也能够涂敷形成有机EL层所需量的有机EL材料，能够制造小型并且良好质量的有机EL元件。
(第二实施方式)
图3是表示本发明的有机EL用基板的制造方法的第二实施方式的图。该第二实施方式与第一实施方式的最大不同点是使间隔物为两层构造、即以疏油性感光材料形成间隔物的上层部、而以非疏液性感光材料形成间隔物的下层部这一点上，而其他的结构以及动作基本与第一实施方式相同。因此，以下以不同点为中心进行说明。
首先，如图3A所示，在其表面图案化形成了第一电极11R、11G、11B的基板1上，涂敷非疏油性感光材料(第一涂敷工序)。由此，在基板1上形成由下层膜构成的非疏油性感光材料层2。在这里，作为非疏油性感光材料，除了感光性聚酰亚胺以外，可以使用以往作为间隔物材料(图案化材料)而使用的丙烯酸树脂、环氧树脂等。
接下来，在非疏油性感光材料层(感光性聚酰亚胺层)2之上涂敷与上述同样的疏油性感光材料，形成构成为上层膜的疏油性感光材料层3(第二涂敷工序；图3B)。此外，这些非疏油性感光材料和疏油性感光材料，通过旋涂等涂膜方法，控制在规定的膜厚来进行涂敷。例如，以干燥后的非疏油性感光材料层2与疏油性感光材料层3的高度(膜厚)分别为1μm的方式进行涂敷。
接着，在使非疏油性感光材料层2与疏油性感光材料层3对应于间隔物形状曝光后进行显影(间隔物形成工序)。具体的说，如图3C所示，在用掩模4对间隔物形成区域进行遮光后，对非疏油性感光材料层2与疏油性感光材料层3以单一波长的光同时曝光。这里，使用感光性聚酰亚胺作为非疏油性感光材料时，具有曝光感光度的波长区域为G线(436nm)、H线(405nm)、I线(365nm)中的任意一个。而在其中推荐I线，用I线曝光时的曝光感光度为150mJ/cm2。另一方面，在本方明中使用的疏油性感光材料对I线的曝光波长具有曝光感光度，与感光性聚酰亚胺共通。因此，通过照射I线，能够对上层膜、即疏油性感光材料层3与下层膜、即非疏油性感光材料层(感光性聚酰亚胺层)2同时曝光。
这样，当曝光结束后，如图3D所示，从非疏油性感光材料层2与疏油性感光材料层3残留下间隔物形成区域，而通过使用溶剂等对其他区域进行显影而将其溶解除去。其结果，由非疏油性材料形成的间隔物下层部31、和以疏油性材料形成的间隔物上层部32构成的两层构造的间隔物300，以规定的图案、即以填充到各第一电极(11R、11G、11B)间的方式在基板1上图案化形成。由此，能够向夹在由间隔物下层部31和间隔物下层部32构成的间隔物300之间的各元件空间SP，有选择的供给含有空穴输送材料、有机EL材料等有机层形成材料的涂敷液。
从而，与第一实施方式相同，向各元件空间SP顺次填充含有空穴输送材料以及有机EL材料等有机层形成材料的涂敷液，形成空穴输送层以及有机EL层。接下来，在其之上以与第一电极11R、11G、11B垂直而且相对向的方式，蒸镀条纹状的第二电极13。这里，在本实施方式中，由于用非疏油性材料形成间隔物下层部31，另一方面用疏油性材料形成间隔物上层部32，所以可获得以下的作用效果。
图4是表示在间隔物间形成的有机层的剖面轮廓的图。为了在间隔物间(各元件空间SP)以规定的膜厚形成有机EL层等有机层9，需要通过向间隔物间供给含有有机EL材料等有机层形成材料的涂敷液直到超过间隔物300的顶部而形成盈余OF，来提高涂敷量。这里，由于间隔物上层部32以疏油性的材料形成，所以有机EL材料停在间隔物顶部表面内，不会混入到相邻的元件空间SP，从而防止有机EL材料的混色。
另一方面，如图4B所示，当不仅是间隔物顶部表面，在侧面全体也都具有疏油性时，向间隔物间供给的有机层9的剖面轮廓会由于表面张力而变成山形(凸形)。可是，在山形的剖面轮廓中，有机层9与间隔物30侧面接触的面积变小了，例如在发生曝光不良等时，在第一电极11和第二电极13之间可能会引起短路不良。而且，在引起这样的短路不良时，在该元件空间SP中形成的有机层9不能作为发光层而起作用，从而导致致命的缺陷。
因此，在本发明中，如图4A所示，通过以非疏油性材料来形成用来形成有机层9的间隔物下层部31，从而扩大与有机层9的接触面积，使有机层9的剖面轮廓呈凹形。即，提高与间隔物下层部31接触的有机层9的表面能量，使有机层9以沿着间隔物(间隔物下层部31)侧面的方式形成弯月形。因此，可以确保第一电极11和第二电极13之间的有机层9的膜厚，而防止该电极间的短路不良。
另外，由于使有机层9以沿着间隔物下层部31的侧面的方式形成弯月形，可提高膜厚TH的控制性，能够将形成在间隔物下层部31的有机层9的膜厚TH控制在一定范围(例如60nm～80nm)内。其结果，能够从有机层9(发光层)获得期望的发光强度。
进而，通过控制由两层构造构成的间隔物300的各层的厚度，来获得以下这样的作用效果。即，通过控制由非疏油性材料构成的间隔物下层部31的厚度T1，可以控制有机层9的剖面轮廓以及膜厚TH，另一方面，通过控制由疏油性材料构成的间隔物上层部32的厚度T2，可以在向元件空间SP涂敷包含有机层形成材料的涂敷液时，适当控制涂敷量，以使该涂敷液停在间隔物300的顶部内而呈盈余状态。
从而，通过旋涂来涂敷非疏油性感光材料和疏油性感光材料，在分别形成非疏油性感光材料层2与疏油性感光材料层3时，对涂敷条件以及各涂敷材料(感光材料)的液体组成进行调整等，通过适当调整这些感光材料层2、3的各自的膜厚，能够在元件空间SP形成具有期望的剖面轮廓以及膜厚TH的有机层9。
如以上所述，根据本实施方式，由于用疏油性材料形成间隔物上层部32，所以可获得与第一实施方式同样的效果。即，能够阻止有机EL材料越过间隔物300的顶部而移动，有效地防止有机EL材料的混色。而且，由于包含间隔物顶部表面的间隔物上层部32具有疏油性，所以不需要对间隔物顶部表面重新实施等离子处理(疏油化处理)。因此，不会像以往的装置那样，为了实施等离子处理而使基板尺寸受到限制，即使是大尺寸的基板1，也能够可靠的防止有机EL材料的混色。
进而，由于用非疏油性材料形成用于形成有机层9的间隔物下层部31，所以不会像在具有疏油性的间隔物间形成有机层那样，有机层的剖面轮廓因表面张力而变成山形。即，由于只使间隔物上层部32具有疏液性，使间隔物下层部31为非疏液性，能够使有机层9的剖面轮廓适当化而成为凹形。由此，在防止夹着有机层9的第一电极11和第二电极13之间的短路不良的同时，能够提高有机层9的膜厚控制性。
此外，根据本实施方式，由于在基板1上的形成为第一层的非疏油性感光材料层2、与形成为第二层的疏油性感光材料层3，相对于单一的曝光波长(I线)都具有感光度，所以由于能够通过对第一层和第二层进行一次曝光、显影而形成间隔物，所以与按各层进行曝光、显影的情况相比，能够简化制造工艺。
此外，本发明并不限于上述的实施方式，在不脱离其宗旨的情况下，可以在上述内容以外进行种种变更。例如，在上述实施方式的有机EL用基板中，虽然用疏油性材料形成间隔物30全体以及间隔物上层部32，但并不限于此，在各元件空间SP涂敷的包含有机层形成材料的涂敷液(溶液)为水溶液时，可以用疏水性材料形成。
另外，在上述实施方式中，在基板1上形成疏液性(疏油性)感光材料层3以及非疏液性感光材料层2时，虽然通过旋涂法进行涂敷，但并不限于此，也可以通过丝网印刷、喷涂涂敷、滚筒涂敷、浸渍涂敷等其他方法来进行涂敷。
如上所述，在本实施方式中，虽然在有机EL元件的第一电极(ITO)11R、11G、11B上形成空穴输送层和有机EL层等有机层，但是本发明的适用对象并不限于此，而是能够全面适用在规定的基材上以规定的图案形状来形成有机层的有机EL用基板及其制造方法。

Claims (6)

1.一种有机EL用基板，在其表面具有对应于规定的图案而形成的间隔物，其特征在于，
上述间隔物的至少顶部表面是由感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者由感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料形成的，上述疏液性化合物含有氟类树脂。
2.如权利要求1所述的有机EL用基板，其特征在于，上述间隔物全体是由上述疏油性感光材料或者由上述疏液性感光材料形成的。
3.如权利要求1所述的有机EL用基板，其特征在于，通过由上述疏油性感光材料或者由上述疏液性感光材料形成上述间隔物的包含顶部表面的上层部，另一方面，由非疏液性感光材料形成上述间隔物的下层部，从而使上述间隔物成为两层构造。
4.一种权利要求3所述的有机EL用基板，使用规定的曝光波长的光，对应于上述图案而形成上述间隔物，其特征在于，
上述疏油性感光材料或者上述疏液性感光材料，以及上述非疏液性感光材料对上述曝光波长都具有感光度。
5.一种有机EL用基板的制造方法，其特征在于，包括：
在基板上涂敷感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料，从而形成疏液性感光材料层的涂敷工序，其中，上述疏液性化合物含有氟类树脂；
在对应于规定的图案而对上述基板上的上述疏液性感光材料层进行曝光之后，再进行显影，从而形成对应于上述图案的间隔物的工序。
6.一种有机EL用基板的制造方法，其特征在于，包括：
在基板上涂敷非疏液性感光材料，从而形成非疏液性感光材料层的第一涂敷工序；
在上述非疏液性感光材料层上涂敷感光材料中含有疏油性化合物的疏油性感光材料或者感光材料中含有疏液性化合物的疏液性感光材料，从而形成疏液性感光材料层的第二涂敷工序，其中，上述疏液性化合物含有氟类树脂；
在对应于规定的图案而对上述基板上的上述非疏液性感光材料层和上述疏液性感光材料层同时进行曝光之后，再进行显影，从而形成对应于上述图案的间隔物的工序。
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