KR20170021422A - 유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광층의 두께 균일성을 동일하게 하여 표시품질이 향상된 유기전계발광표시장치를 제공하기 위하여, 제1 내지 제3화소영역을 포함하는 기판과, 기판 상의 제1 내지 제3화소영역에 각각 배치되는 제1전극과, 제1전극 가장자리부를 덮으며 기판 상의 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크와, 제1뱅크 가장자리부를 노출하며 제1뱅크 상부에 배치되며 상부면에 뱅크홈을 구비하는 제2뱅크와, 제1전극 상부에 배치되는 제1물질층과, 뱅크홈 내부에 배치되는 제2물질층를 포함하는 유기전계발광표시장치를 제공한다.

Description

유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법{Organic light emitting display device}
본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것으로, 표시품질을 향상시킬 수 있는 유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
현재, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광표시장치(Organic light emitting display device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있다.
위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광표시장치는 자발광소자로서, 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다.
또한, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다.
도면에 도시한 바와 같이, 종래의 유기전계발광표시장치는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 포함하는 기판(11)과, 기판(11) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 각각 배치되는 제1전극(20)과, 제1전극(20) 가장자리부를 덮으며 기판(11) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크(30)와, 제1뱅크(30) 가장자리부를 노출시키며 제1뱅크(30) 상부에 배치되는 제2뱅크(50)를 포함한다.
또한, 제1전극(20)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질로 이루어지고, 제1뱅크(30)는 친수성을 갖는 무기물질로 이루어지고, 제2뱅크(50)는 유기물질로 이루어지며 표면처리를 통해 그 상부 표면에만 소수성을 띈다.
또한, 제1전극(20) 상부에 유기발광층(70a~70c)이 형성되는데, 유기발광층(70a~70c)은 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 방식 또는 노즐 프린팅(nozzle printing) 방식 등의 용액 공정(soluble process)으로 적층된다.
또한, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에는 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(70a~70c)이 각각 적층되며, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(70a~70c)은 각 유기발광층(70a~70c)의 재료 특성상 그 발광효율이 적색 유기발광층(70a)>녹색 유기발광층(70b)>청색 유기발광층(70c) 순으로 높다.
이에 따라, 각 유기발광층(70a~70c)의 발광효율을 동일하게 하기 위하여 각 화소영역(P1~P3)의 면적을 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)<제3화소영역(P3) 순으로 크게 형성한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(20) 상부에 적색, 녹색 및 청색 유기발광물질용액(미도시)을 각각 드롭핑(dropping)한 후, 드롭핑(dropping)된 적색, 녹색 및 청색 유기발광물질용액(미도시)을 건조하여 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(70a~70c)을 형성한다.
이 때, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 적색, 녹색 및 청색 유기발광물질용액(미도시)이 드롭핑(dropping)되면, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적이 서로 다르기 때문에 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑(dropping)된 각 유기발광물질용액(미도시)의 양도 다르게 되며, 이에 따라 각 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 환경은 각 화소영역(P1~P3) 마다 다르게 된다.
즉, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적은 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)<제3화소영역(P3) 순으로 크기 때문에 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 중, 제3화소영역(P3)에서 제1화소영역(P1)으로 갈수록 각 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 속도가 빨라지게 된다.
이에 따라, 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 유기발광층(70a~70c)의 두께 균일성은 제3화소영역(P3)에서 제1화소영역(P1)으로 갈수록 떨어지게 된다.
또한, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(70a~70c)의 서로 다른 두께 균일성으로 인해 휘도 불균일 현상이 발생되어 유기전계발광표시장치의 표시품질을 저하시킬 뿐만 아니라, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 저하시키는 문제점이 발생된다.
한편, 종래의 유기전계발광표시장치의 제2뱅크(50)를 형성하는 과정에서 제2뱅크(50)를 이루는 유기물질이 일부 제1전극(20) 상부면에 남겨 질 수 있다.
이 때, 제1전극(20) 상부면에 남겨진 유기물질은 제1전극(20) 상부에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 저하시키고, 나아가 유기발광다이오드의 발광효율을 저하시킨다.
이에 따라, 제2뱅크(50)를 형성한 이후 제1전극(20) 상부면에 남겨진 유기물질을 제거하는 전처리 과정이 필요하다.
이 때, 전처리 과정은 기판(11) 전면에 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 조사하여 제1전극(20) 상부에 남겨진 유기물질을 제거하는데, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone)는 제1전극(20)의 상부면 뿐만 아니라 제2뱅크(50)의 상부면에도 영향을 주게 된다.
구체적으로, 제2뱅크(50)의 상부면을 이루는 소수성 성분이 떨어져 나와 제1전극(20) 상부면에 위치할 수 있다.
이에 따라, 제2뱅크(50)의 상부면은 소수성이 저하되고, 제1전극(20)은 상부면에 위치한 소수성 성분으로 인해 친수성이 저하된다.
이에 따라, 제2뱅크(50)가 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑된 유기발광물질용액(미도시)이 혼합되는 것을 방지할 수 없어, 건조 과정 후 각 화소영역(P1~P3)에는 혼색된 유기발광층(미도시)이 형성되어 유기전계발광표시장치의 표시품질이 저하되는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기발광층의 두께 균일성을 동일하게 하여 표시품질이 향상된 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 제1뱅크 가장자리부를 노출하며 제1뱅크 상부에 배치되며, 상부면에 뱅크홈을 구비하는 제2뱅크와 제1전극 상부에 배치되는 제1물질층과, 뱅크홈 내부에 배치되는 제2물질층을 포함하는 유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법을 제공한다.
이 때, 제1 내지 제3화소영역은 각각 서로 다른 면적을 갖거나, 제1 내지 제3화소영역 중 하나는 나머지 화소영역과 서로 다른 면적을 가지며, 뱅크홈은 제1 내지 제3화소영역 중 가장 큰 면적을 갖는 화소영역을 기준으로 그 보다 작은 화소영역을 둘러싸며 배치된다.
또는, 제1 내지 제3화소영역은 서로 동일한 면적을 가지며, 뱅크홈은 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸며 배치된다.
본 발명은 유기발광층의 두께 균일성 차이 또는 두께 균일성 저하로 인해 발생되는 휘도 불균일 현상을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 표시품질을 향상시키고, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 각 화소영역에 드롭핑(dropping)되는 유기발광물질용액의 퍼짐성을 향상시키고, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 이용한 전처리과정을 생략할 수 있어 제2뱅크의 상부면의 소수성이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 제2뱅크 및 뱅크홈을 하나의 마스크 공정으로 형성함으로써, 제조공정 수를 줄여 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 단면도이다.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 단계별 제조 공정 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이다.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ를 따라 절단한 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
<제 1 실시예>
도 3은 본 발명의 제1실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 단면도이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 포함하는 기판(110)과, 기판(110) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 배치되는 제1전극(120)과, 제1전극(120) 가장자리부를 덮으며 기판(110) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크(130)와, 제1뱅크(130) 가장자리부를 노출하며 제1뱅크(130) 상부에 배치되는 제2뱅크(150)를 포함한다.
특히, 제2뱅크(150)는 그 상부면에 뱅크홈(155a, 155b)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)은 각각 서로 다른 면적을 갖는다.
예를 들어, 도면에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적의 크기는 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)<제3화소영역(P3)일 수 있다.
또한, 뱅크홈(155a, 155b)은, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 가장 큰 면적을 갖는 화소영역을 기준으로 그 보다 작은 화소영역을 둘러싸며 배치되는 제2뱅크(150) 상부면에 구비된다.
예를 들어, 도면에 도시한 바와 같이, 뱅크홈(155a, 155b)은 가장 큰 면적을 갖는 제3화소영역(P3) 보다 작은 제1 및 제2화소영역(P1, P2)을 둘러싸며 배치되는 제2뱅크(150) 상부면에 구비될 수 있다.
이에 따라, 제3화소영역(P3)의 장축방향에 배치되는 제2뱅크(150) 상부면에는 뱅크홈(155a, 155b)이 구비되지 않게 된다.
이 때, 서로 다른 면적을 갖는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 가장 작은 면적을 갖는 화소영역 즉 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치되는 뱅크홈(155a)의 폭은 그 이외의 뱅크홈(155b)의 폭 보다 더 크게 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 제1전극(120)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.
또한, 제1뱅크(130)는 친수성을 갖는 무기물질 예를 들면 SiO2, SiNx 등으로 이루어지고, 제2뱅크(150)는 유기물질 예를 들면 폴리아크릴(polyacryl), 폴리이미드(polyimide), 폴리아마이드(PA), 벤조사이클로부텐(BCB) 및 페놀수지로 이루어지며, 표면처리를 통해 그 상부 표면에만 소수성을 가질 수 있다.
또한, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(120) 상부에 제1물질층(160)이 각각 배치되고, 뱅크홈(155a, 155b)에 제2물질층(165)이 배치되고, 제1물질층(160) 상부에 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(170a~170c)이 각각 배치된다.
이 때, 제1 및 제2물질층(160, 165)과 유기발광층(170a~170c)은 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 방식 또는 노즐 프린팅(nozzle printing) 방식 등의 용액 공정(soluble process)으로 적층된다.
구체적으로, 먼저 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(120) 상부에 제1물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제1물질층(160)을 형성한다.
이 때, 제1물질액(미도시)은 후술할 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)이 빠르게 건조될 수 있도록 비교적 소량을 드롭핑(dropping)하여 제1물질층(160)을 50Å 이하의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
이와 같이, 제1전극(120) 상부에 유기발광층(170a~170c)을 형성하기 전에 미리 비교적 얇은 두께로 제1물질층(160)을 제1전극(120) 상부에 배치함으로써, 제1전극(120)의 상부면을 전처리하는 효과가 있다.
즉, 제2뱅크(150)를 형성하는 과정에서 제1전극(120) 상부면에 남겨진 제2뱅크(150)를 이루는 유기물질을 제1물질층(160)이 덮음으로써, 제1물질층(160) 상부에 드롭핑(dropping)된 후술할 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 향상시킬 수 있다.
또한, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 이용한 전처리과정을 생략할 수 있어, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone)에 의해 제2뱅크(150)의 상부면의 소수성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 제2뱅크(150)가 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 혼합되는 것을 방지하여, 건조 과정 후 각 화소영역(P1~P3)에 혼색된 유기발광층(170a~170c)이 형성되어 유기전계발광표시장치의 표시품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
다음, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 제2물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 제1물질층(160) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 드롭핑한다.
이 때, 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치된 뱅크홈(155a)의 폭은 그 이외의 뱅크홈(155b)의 폭보다 더 크기 때문에, 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치된 뱅크홈(155a) 내부에 더 많은 양의 제2물질액이 드롭핑(dropping)된다.
한편, 제2물질액(미도시) 및 유기발광물질용액(미도시)은 동시에 드롭핑(dropping)할 수도 있다.
이 때, 제2물질액(미도시)은 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)과 동일한 물질일 수 있다. 이에 따라, 건조 과정 이후에는 제2물질층(165)은 제1물질층(160)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
또한, 드롭핑(dropping)된 제2물질액(미도시)의 건조 과정 전에, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1물질층(160) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 순차적으로 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제2물질층(165)과 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(170a~170c)을 각각 형성한다.
이 때, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 위치한 제2물질액(미도시)으로 인하여, 제1 및 제2화소영역(P1, P2) 및 그 주위 즉, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 각각 위치한 유기발광물질용액(미도시) 및 제2물질액(165)의 양은 제3화소영역(P3)에 위치한 유기발광물질용액(미도시)양과 비슷하기 때문에, 각 화소영역(P1~P3) 마다 각 화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 환경은 거의 동일하게 된다.
즉, 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 중, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 속도는 거의 동일하게 된다.
이에 따라, 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 유기발광층(170a~170c)의 두께 균일성은 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에서 동일하게 된다.
또한, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(170a~170c)의 서로 다른 두께 균일성으로 인해 발생되는 휘도 불균일 현상을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 표시품질을 향상시키고, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 대해 설명하겠다.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 단계별 제조 공정 단면도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 제1전극(120)을 형성하는 단계와, 제1뱅크(130)를 형성하는 단계와, 뱅크홈(155a, 155b)을 구비하는 제2뱅크(150)를 형성하는 단계와, 제1전극(120) 상부면을 전처리하는 단계와 제2물질층(165) 및 유기발광층(170a~170c)을 형성하는 단계를 포함한다.
먼저, 도5a에 도시한 바와 같이, 기판(110) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 제1전극(120)을 각각 형성한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)은 각각 서로 다른 면적을 갖는다.
예를 들어, 도면에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적의 크기는 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)<제3화소영역(P3)일 수 있다.
이 때, 서로 다른 면적을 갖는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 가장 작은 면적을 갖는 화소영역 즉 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치되는 뱅크홈(155a)의 폭은 그 이외의 뱅크홈(155b)의 폭 보다 더 크게 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 제1전극(120)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.
다음, 도 5b에 도시한 바와 같이, 기판(110) 전면에 제1뱅크층(미도시)을 형성하고, 제1뱅크층(미도시)을 패터닝하여 제1전극(120) 가장자리부를 덮으며 기판(110) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸는 제1뱅크(130)를 형성한다.
이 때, 제1뱅크(130)는 친수성을 갖는 무기물질 예를 들면 SiO2, SiNx 등으로 이루어질 수 있다.
다음, 도 5c 및 5d에 도시한 바와 같이, 기판(110) 전면에 제2뱅크층(151)을 형성하고, 제2뱅크층(151)을 패터닝하여 뱅크홈(155a, 155b) 및 제2뱅크(150)를 형성한다.
이 때, 제2뱅크층(151)은 감광성을 갖는 유기물질 예를 들면 폴리아크릴(polyacryl), 폴리이미드(polyimide), 폴리아마이드(PA), 벤조사이클로부텐(BCB) 및 페놀수지로 이루어지며, 표면처리를 통해 그 상부 표면에만 소수성을 가질 수 있다.
특히, 뱅크홈(155a, 155b) 및 제2뱅크(150)는 반투과 마스크(153)를 사용하여 형성될 수 있다.
구체적으로, 광의 모두 투과시키는 제1투과영역(153a)과 광을 일부만 투과시키는 제2투과영역(153b) 및 광을 차단하는 차단영역(153c)이 마련된 반투과 마스크(153)를 통해 제2뱅크층(151)에 빛을 조사한 후, 반투과 마스크(153)를 통해 빛이 조사된 제2뱅크층(151)을 현상하여, 제1 및 제2투과영역(153a, 153b)에 제2뱅크(150)를 형성하되 제2투과영역(153b)에는 제1투과영역(153a) 보다 낮은 두께를 가지며 오목한 형상을 가지는 뱅크홈(155a, 155b)을 형성하고, 차단영역(153c)에는 제1뱅크(130)의 가장자리부 및 제1전극(120)이 노출된다.
이와 같이, 제2뱅크(150) 및 뱅크홈(155a, 155b)을 하나의 마스크 공정으로 형성함으로써, 제조공정 수를 줄여 제조비용을 절감할 수 있다.
이 때, 반투과 마스크(153)는 광의 일부만 투과시키는 제2투과영역(153b)에 회절 패턴이 형성되어, 뱅크홈(155a, 155b)이 형성되는 영역에 입사되는 광의 일부만을 투과시킬 수 있다.
또한, 반투과 마스크(153)는 슬릿 형태의 부분적으로 광을 차단하는 바와 광을 투과시키는 스페이스로 구성될 수 있다.
다음, 도 5e에 도시한 바와 같이, 제1전극(120) 상부에 제1물질층(160)을 형성하여 제1전극(120) 상부면을 전처리한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(120) 상부에 제1물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제1물질층(160)을 형성한다.
이 때, 제1물질액(미도시)은 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)이 빠르게 건조될 수 있도록 비교적 소량을 드롭핑(dropping)하여 제1물질층(160)을 50Å 이하의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
이와 같이, 제1전극(120) 상부에 유기발광층(170a~170c)을 형성하기 전에 미리 비교적 얇은 두께로 제1물질층(160)을 제1전극(120) 상부에 배치함으로써, 제1전극(120)의 상부면을 전처리하는 효과가 있다.
즉, 제2뱅크(150)를 형성하는 과정에서 제1전극(120) 상부면에 남겨진 제2뱅크(150)를 이루는 유기물질을 제1물질층(160)이 덮음으로써, 제1물질층(160) 상부에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 향상시킬 수 있다.
또한, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 이용한 전처리과정을 생략할 수 있어, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone)에 의해 제2뱅크(150)의 상부면의 소수성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 제2뱅크(150)가 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 혼합되는 것을 방지하여, 건조 과정 후 각 화소영역(P1~P3)에 혼색된 유기발광층(170a~170c)이 형성되어 유기전계발광표시장치의 표시품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
다음, 도5f 및 도5g에 도시한 바와 같이, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 제2물질층(165)을 형성하고, 제1물질층(160) 상부에 유기발광층(170a~170c)을 형성한다.
구체적으로, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 제2물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 제1물질층(160) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 드롭핑한다.
이 때, 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치된 뱅크홈(155a)의 폭은 그 이외의 뱅크홈(155b)의 폭보다 더 크기 때문에, 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치된 뱅크홈(155a) 내부에 더 많은 양의 제2물질액이 드롭핑(dropping)된다.
한편, 제2물질액(미도시) 및 유기발광물질용액(미도시)은 동시에 드롭핑(dropping)할 수도 있다.
이 때, 제2물질액(미도시)은 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매로 이루어질 수 있으며, 제1물질액(미도시)과 동일한 물질일 수 있다. 이에 따라, 건조 과정 이후에는 제2물질층(165)은 제1물질층(160)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
또한, 드롭핑(dropping)된 제2물질액(미도시)의 건조 과정 전에, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1물질층(160) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 순차적으로 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제2물질층(165)과 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(170a~170c)을 각각 형성한다.
이 때, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 위치한 제2물질액(미도시)으로 인하여, 제1 및 제2화소영역(P1, P2) 및 그 주위 즉, 뱅크홈(155a, 155b) 내부에 각각 위치한 유기발광물질용액(미도시) 및 제2물질액(165)의 양은 제3화소영역(P3)에 위치한 유기발광물질용액(미도시)양과 비슷하기 때문에, 각 화소영역(P1~P3) 마다 각 화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 환경은 거의 동일하게 된다.
즉, 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 중, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 속도는 거의 동일하게 된다.
이에 따라, 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 유기발광층(170a~170c)의 두께 균일성은 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에서 동일하게 된다.
또한, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(170a~170c)의 서로 다른 두께 균일성으로 인해 발생되는 휘도 불균일 현상을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 표시품질을 향상시키고, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있다.
<제 2 실시예>
도 6은 본 발명의 제2실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이고, 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 단면도이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 포함하는 기판(210)과, 기판(210) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 배치되는 제1전극(220)과, 제1전극(220) 가장자리부를 덮으며 기판(210) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크(230)와, 제1뱅크(230) 가장자리부를 노출하며 제1뱅크(230) 상부에 배치되는 제2뱅크(250)를 포함한다.
특히, 제2뱅크(250)는 그 상부면에 뱅크홈(255)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 하나는 나머지 화소영역과 서로 다른 면적을 갖는다.
예를 들어, 도면에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적의 크기는 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)=제3화소영역(P3)일 수 있다.
또한, 뱅크홈(255)은, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 가장 큰 면적을 갖는 화소영역을 기준으로 그 보다 작은 화소영역을 둘러싸며 배치되는 제2뱅크(250) 상부면에 구비된다.
예를 들어, 도면에 도시한 바와 같이, 뱅크홈(255)은 가장 큰 면적을 갖는 제2 및 제3화소영역(P2, P3) 보다 작은 제1화소영역(P1)을 둘러싸며 배치되는 제2뱅크(250) 상부면에 구비될 수 있다.
이에 따라, 제2 및 제3화소영역(P2, P3)의 단축방향에 배치된 제2뱅크(250) 상부면과 제2 및 제3화소영역(P2, P3) 사이에 배치된 제2뱅크(250) 상부면에는 뱅크홈(255)이 구비되지 않게 된다.
또한, 제1전극(220)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.
또한, 제1뱅크(230)는 친수성을 갖는 무기물질 예를 들면 SiO2, SiNx 등으로 이루어지고, 제2뱅크(250)는 유기물질 예를 들면 폴리아크릴(polyacryl), 폴리이미드(polyimide), 폴리아마이드(PA), 벤조사이클로부텐(BCB) 및 페놀수지로 이루어지며, 표면처리를 통해 그 상부 표면에만 소수성을 가질 수 있다.
또한, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(220) 상부에 제1물질층(260)이 각각 배치되고, 뱅크홈(255)에 제2물질층(265)이 배치되고, 제1물질층(260) 상부에 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(270a~270c)이 각각 배치된다.
이 때, 제1 및 제2물질층(260, 265)과 유기발광층(270a~270c)은 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 방식 또는 노즐 프린팅(nozzle printing) 방식 등의 용액 공정(soluble process)으로 적층된다.
구체적으로, 먼저 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(220) 상부에 제1물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제1물질층(260)을 형성한다.
이 때, 제1물질액(미도시)은 후술할 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)이 빠르게 건조될 수 있도록 비교적 소량을 드롭핑(dropping)하여 제1물질층(260)을 50Å 이하의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
이와 같이, 제1전극(220) 상부에 유기발광층(270a~270c)을 형성하기 전에 미리 비교적 얇은 두께로 제1물질층(260)을 제1전극(220) 상부에 배치함으로써, 제1전극(220)의 상부면을 전처리하는 효과가 있다.
즉, 제2뱅크(250)를 형성하는 과정에서 제1전극(220) 상부면에 남겨진 제2뱅크(250)를 이루는 유기물질을 제1물질층(260)이 덮음으로써, 제1물질층(260) 상부에 드롭핑(dropping)된 후술할 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 향상시킬 수 있다.
또한, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 이용한 전처리과정을 생략할 수 있어, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone)에 의해 제2뱅크(250)의 상부면의 소수성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 제2뱅크(250)가 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 혼합되는 것을 방지하여, 건조 과정 후 각 화소영역(P1~P3)에 혼색된 유기발광층(270a~270c)이 형성되어 유기전계발광표시장치의 표시품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
다음, 뱅크홈(255) 내부에 제2물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 제1물질층(260) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 드롭핑한다.
한편, 제2물질액(미도시) 및 유기발광물질용액(미도시)은 동시에 드롭핑(dropping)할 수도 있다.
이 때, 제2물질액(미도시)은 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)과 동일한 물질일 수 있다. 이에 따라, 건조 과정 이후에는 제2물질층(265)은 제1물질층(260)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
또한, 드롭핑(dropping)된 제2물질액(미도시)의 건조 과정 전에, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1물질층(260) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 순차적으로 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제2물질층(265)과 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(270a~270c)을 각각 형성한다.
이 때, 뱅크홈(255) 내부에 위치한 제2물질액(미도시)으로 인하여, 제1화소영역(P1) 및 그 주위 즉, 뱅크홈(255) 내부에 위치한 유기발광물질용액(미도시) 및 제2물질액(265)의 양은 제1 및 제3화소영역(P2, P3)에 위치한 유기발광물질용액(미도시)양과 비슷하기 때문에, 각 화소영역(P1~P3) 마다 각 화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 환경은 거의 동일하게 된다.
즉, 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 중, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 내의 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 속도는 거의 동일하게 된다.
이에 따라, 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 유기발광층(270a~270c)의 두께 균일성은 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에서 동일하게 된다.
또한, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(270a~270c)의 서로 다른 두께 균일성으로 인해 발생되는 휘도 불균일 현상을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 표시품질을 향상시키고, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있다.
이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 대해 설명하겠다.
제2실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법과 대부분 동일하기 때문에 차이점을 중심으로 설명하겠다.
본 발명의 제2실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 제1전극(220)을 형성하는 단계와, 제1뱅크(230)를 형성하는 단계와, 뱅크홈(255)을 구비하는 제2뱅크(250)를 형성하는 단계와, 제1전극(220) 상부면을 전처리하는 단계와 제2물질층(265) 및 유기발광층(270a~270c)을 형성하는 단계를 포함한다.
먼저, 기판(210) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 제1전극(220)을 각각 형성한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 중 하나는 나머지 화소영역과 서로 다른 면적을 갖는다.
예를 들어, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 면적의 크기는 제1화소영역(P1)<제2화소영역(P2)=제3화소영역(P3)일 수 있다.
다음, 기판(210) 전면에 제1뱅크층(미도시)을 형성하고, 제1뱅크층(미도시)을 패터닝하여 제1전극(220) 가장자리부를 덮으며 기판(210) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸는 제1뱅크(230)를 형성한다.
다음, 기판(210) 전면에 제2뱅크층(미도시)을 형성하고, 제2뱅크층(미도시)을 패터닝하여 뱅크홈(255) 및 제2뱅크(250)를 형성한다.
다음, 제1전극(220) 상부에 제1물질층(260)을 형성하여 제1전극(220) 상부면을 전처리한다.
다음, 뱅크홈(255) 내부에 제2물질층(265)을 형성하고, 제1물질층(260) 상부에 유기발광층(270a~270c)을 형성한다.
<제 3 실시예>
도 8은 본 발명의 제3실시예의 유기전계발광표시장치를 도시한 평면도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ를 따라 절단한 단면도이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 포함하는 기판(310)과, 기판(310) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 배치되는 제1전극(320)과, 제1전극(320) 가장자리부를 덮으며 기판(310) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크(330)와, 제1뱅크(330) 가장자리부를 노출하며 제1뱅크(330) 상부에 배치되는 제2뱅크(350)를 포함한다.
특히, 제2뱅크(350)는 그 상부면에 뱅크홈(355)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)은 서로 동일한 면적을 갖는다.
또한, 뱅크홈(355)은, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸며 배치되는 제2뱅크(350) 상부면에 구비된다.
또한, 제1전극(320)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.
또한, 제1뱅크(330)는 친수성을 갖는 무기물질 예를 들면 SiO2, SiNx 등으로 이루어지고, 제2뱅크(350)는 유기물질 예를 들면 폴리아크릴(polyacryl), 폴리이미드(polyimide), 폴리아마이드(PA), 벤조사이클로부텐(BCB) 및 페놀수지로 이루어지며, 표면처리를 통해 그 상부 표면에만 소수성을 가질 수 있다.
또한, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(320) 상부에 제1물질층(360)이 각각 배치되고, 뱅크홈(355)에 제2물질층(365)이 배치되고, 제1물질층(360) 상부에 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(370a~370c)이 각각 배치된다.
이 때, 제1 및 제2물질층(360, 365)과 유기발광층(370a~370c)은 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 방식 또는 노즐 프린팅(nozzle printing) 방식 등의 용액 공정(soluble process)으로 적층된다.
구체적으로, 먼저 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1전극(320) 상부에 제1물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제1물질층(360)을 형성한다.
이 때, 제1물질액(미도시)은 후술할 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)이 빠르게 건조될 수 있도록 비교적 소량을 드롭핑(dropping)하여 제1물질층(360)을 50Å 이하의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
이와 같이, 제1전극(320) 상부에 유기발광층(370a~370c)을 형성하기 전에 미리 비교적 얇은 두께로 제1물질층(360)을 제1전극(320) 상부에 배치함으로써, 제1전극(320)의 상부면을 전처리하는 효과가 있다.
즉, 제2뱅크(350)를 형성하는 과정에서 제1전극(320) 상부면에 남겨진 제2뱅크(350)를 이루는 유기물질을 제1물질층(360)이 덮음으로써, 제1물질층(360) 상부에 드롭핑(dropping)된 후술할 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 향상시킬 수 있다.
또한, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 이용한 전처리과정을 생략할 수 있어, 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone)에 의해 제2뱅크(350)의 상부면의 소수성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 제2뱅크(350)가 각 화소영역(P1~P3)에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 혼합되는 것을 방지하여, 건조 과정 후 각 화소영역(P1~P3)에 혼색된 유기발광층(370a~370c)이 형성되어 유기전계발광표시장치의 표시품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
다음, 뱅크홈(355) 내부에 제2물질액(미도시)을 드롭핑(dropping) 한 후, 제1물질층(360) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 드롭핑한다.
한편, 제2물질액(미도시) 및 유기발광물질용액(미도시)은 동시에 드롭핑(dropping)할 수도 있다.
이 때, 제2물질액(미도시)은 유기발광물질용액(미도시) 또는 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매일 수 있으며, 제1물질액(미도시)과 동일한 물질일 수 있다. 이에 따라, 건조 과정 이후에는 제2물질층(365)은 제1물질층(360)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
또한, 유기발광물질용액(미도시)에 포함되는 용매는 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 형성되는 유기발광층(170a~170c)의 종류에 따라 다르며, 적어도 하나 이상일 수 있다.
또한, 드롭핑(dropping)된 제2물질액(미도시)의 건조 과정 전에, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 제1물질층(360) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 순차적으로 드롭핑(dropping) 한 후, 건조 과정을 거쳐 제2물질층(365)과 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(370a~370c)을 각각 형성한다.
이 때, 뱅크홈(355) 내부에 위치한 제2물질액(미도시)으로 인하여, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 중심부 주위에 위치하는 유기발광물질용액(미도시)의 양과 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)의 가장자리부 주위에 위치하는 유기발광물질용액(미도시) 및 제2물질액(365)의 양은 비슷하기 때문에, 각 화소영역(P1~P3) 내의 중심부와 가장자리부에 각각 위치한 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 환경은 거의 동일하게 된다.
즉, 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 중, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3) 내의 중심부와 가장자리부에 위치한 유기발광물질용액(미도시)의 용매분자들의 증발 속도는 거의 동일하게 된다.
이에 따라, 각 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 유기발광층(370a~370c)의 두께 균일성은 향상된다.
또한, 적색, 녹색 및 청색 유기발광층(370a~370c)의 균일성 저하로 인해 발생되는 휘도 불균일 현상을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 표시품질을 향상시키고, 유기전계발광다이오드의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있다.
이하, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 대해 설명하겠다.
제3실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법과 대부분 동일하기 때문에 차이점을 중심으로 설명하겠다.
본 발명의 제3실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 제1전극(320)을 형성하는 단계와, 제1뱅크(330)를 형성하는 단계와, 뱅크홈(355)을 구비하는 제2뱅크(350)를 형성하는 단계와, 제1전극(320) 상부면을 전처리하는 단계와 제2물질층(365) 및 유기발광층(370a~370c)을 형성하는 단계를 포함한다.
먼저, 기판(310) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)에 제1전극(320)을 각각 형성한다.
구체적으로, 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)은 서로 동일한 면적을 갖는다.
다음, 기판(310) 전면에 제1뱅크층(미도시)을 형성하고, 제1뱅크층(미도시)을 패터닝하여 제1전극(320) 가장자리부를 덮으며 기판(310) 상의 제1 내지 제3화소영역(P1~P3)을 둘러싸는 제1뱅크(330)를 형성한다.
다음, 기판(310) 전면에 제2뱅크층(미도시)을 형성하고, 제2뱅크층(미도시)을 패터닝하여 뱅크홈(355) 및 제2뱅크(350)를 형성한다.
다음, 제1전극(320) 상부에 제1물질층(360)을 형성하여 제1전극(320) 상부면을 전처리한다.
다음, 뱅크홈(355) 내부에 제2물질층(365)을 형성하고, 제1물질층(360) 상부에 유기발광층(370a~370c)을 형성한다.
본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
110 : 기판 160 : 제1물질층
120 : 제1전극 165 : 제2물질층
130 : 제1뱅크 170a~170c : 유기발광층
150 : 제2뱅크
155a, 155b : 뱅크홈

Claims (14)

  1. 제1 내지 제3화소영역을 포함하는 기판;
    상기 기판 상의 상기 제1 내지 제3화소영역에 각각 배치되는 제1전극;
    상기 제1전극 가장자리부를 덮으며 상기 기판 상의 상기 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸며 배치되는 제1뱅크;
    상기 제1뱅크 가장자리부를 노출하며 상기 제1뱅크 상부에 배치되며, 상부면에 뱅크홈을 구비하는 제2뱅크;
    상기 제1전극 상부에 배치되는 제1물질층; 및
    상기 뱅크홈 내부에 배치되는 제2물질층
    을 포함하는 유기전계발광표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3화소영역은 각각 서로 다른 면적을 갖거나, 상기 제1 내지 제3화소영역 중 하나는 나머지 화소영역과 서로 다른 면적을 가지며,
    상기 뱅크홈은 상기 제1 내지 제3화소영역 중 가장 큰 면적을 갖는 화소영역을 기준으로 그 보다 작은 화소영역을 둘러싸며 배치되는 유기전계발광표시장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    서로 다른 면적을 갖는 상기 제1 내지 제3화소영역 중 가장 작은 면적을 갖는 화소영역을 둘러싸며 배치되는 상기 뱅크홈의 폭은 그 이외의 상기 뱅크홈의 폭 보다 더 큰 유기전계발광표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3화소영역은 서로 동일한 면적을 가지며,
    상기 뱅크홈은 상기 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸며 배치되는 유기전계발광표시장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1물질층 상부에 배치되는 유기발광층을 더 포함하는 유기전계발광표시장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2물질층은 동일물질로 이루어지는 유기전계발광표시장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1물질층은 50Å 이하의 두께를 갖는 유기전계발광표시장치.
  8. 기판 상의 제1 내지 제3화소영역에 제1전극을 각각 형성하는 단계;
    상기 제1전극 가장자리부를 덮으며 상기 기판 상의 상기 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸는 제1뱅크를 형성하는 단계;
    상기 제1뱅크 상부에 상기 제1뱅크 가장자리부를 노출하는 제2뱅크를 형성하고, 상기 제2뱅크 상부면에 뱅크홈을 형성하는 단계;
    상기 제1전극 상부에 제1물질층을 형성하여 상기 제1전극 상부면을 전처리하는 단계; 및
    상기 뱅크홈 내부에 제2물질층을 형성하고, 상기 제1물질층 상부에 유기발광층을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3화소영역은 각각 서로 다른 면적을 갖거나, 상기 제1 내지 제3화소영역 중 하나는 나머지 화소영역과 서로 다른 면적을 가지며,
    상기 뱅크홈은 상기 제1 내지 제3화소영역 중 가장 큰 면적을 갖는 화소영역을 기준으로 그 보다 작은 화소영역을 둘러싸며 배치되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    서로 다른 면적을 갖는 상기 제1 내지 제3화소영역 중 가장 작은 면적을 갖는 화소영역을 둘러싸며 배치되는 상기 뱅크홈의 폭은 그 이외의 상기 뱅크홈의 폭 보다 더 큰 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3화소영역은 서로 동일한 면적을 가지며,
    상기 뱅크홈은 상기 제1 내지 제3화소영역을 둘러싸며 배치되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 제2뱅크 및 뱅크홈은 하나의 마스크 공정으로 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2물질층은 동일물질로 이루어지는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1물질층은 50Å 이하의 두께로 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190064198A (ko) * 2017-11-30 2019-06-10 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치와 이의 제조방법
CN113540188A (zh) * 2021-06-29 2021-10-22 上海天马微电子有限公司 显示基板和显示面板
US12108621B2 (en) 2020-07-15 2024-10-01 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041301A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 구사마 사부로 유기 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법 및 유기일렉트로루미네선스 장치 및 전자기기
JP2003168561A (ja) * 2001-09-19 2003-06-13 Toshiba Corp 自己発光型表示装置
KR20150017612A (ko) * 2013-08-07 2015-02-17 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기발광 디스플레이 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041301A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 구사마 사부로 유기 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법 및 유기일렉트로루미네선스 장치 및 전자기기
JP2003168561A (ja) * 2001-09-19 2003-06-13 Toshiba Corp 自己発光型表示装置
KR20150017612A (ko) * 2013-08-07 2015-02-17 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기발광 디스플레이 장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190064198A (ko) * 2017-11-30 2019-06-10 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치와 이의 제조방법
US12108621B2 (en) 2020-07-15 2024-10-01 Samsung Display Co., Ltd. Display device
CN113540188A (zh) * 2021-06-29 2021-10-22 上海天马微电子有限公司 显示基板和显示面板
CN113540188B (zh) * 2021-06-29 2024-05-14 上海天马微电子有限公司 显示基板和显示面板

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