CN100458171C - 摩擦真空泵 - Google Patents

摩擦真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN100458171C
CN100458171C CNB2005800329501A CN200580032950A CN100458171C CN 100458171 C CN100458171 C CN 100458171C CN B2005800329501 A CNB2005800329501 A CN B2005800329501A CN 200580032950 A CN200580032950 A CN 200580032950A CN 100458171 C CN100458171 C CN 100458171C
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotor
housing
pump
vacuum pump
drag vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2005800329501A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101031724A (zh
Inventor
拉尔夫·阿达米茨
罗兰·布卢门塔尔
迪尔克·卡利施
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of CN101031724A publication Critical patent/CN101031724A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100458171C publication Critical patent/CN100458171C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

一种真空泵(10)包括：构成无叶片的泵定子(30)的壳体(12)、转子驱动器和可转动地支撑具有叶片(18)的泵转子(16)的转子支架。壳体(12)环绕着泵转子(16)、转子驱动器和转子支架的整个轴向长度。根据现有技术的壳体由多部件构成并且因此在壳体部件之间具有密封件。这些密封件不易涂敷并且将成为或者变成为发生泄漏的地方。与之相反，根据本发明的壳体(12)是单件结构的，因此在任何情况下壳体(12)的与真空气体相接触的区域是不用密封件的。

Description

摩擦真空泵
技术领域
本发明涉及一种摩擦真空泵，其包括构成无叶片泵定子的壳体、转子驱动器和转子支架。
背景技术
这种例如涡轮分子泵或霍尔威克泵的摩擦真空泵的壳体环绕着泵转子、转子驱动器和转子支架的整个轴向长度。从WO 2004/015272 A1中可知一种螺杆泵，其壳体基本上由三个轴向互相连接的部分组成，所述部分例如螺接在一起形成壳体接。三个壳体部分是定子壳体部分、用于支撑包括电动机和/或支架的筒的出口壳体部分及轴承壳体部分。在两个邻接的壳体部分之间分别设置有密封件以确保所需的密封性，其中的密封件可能很难或者根本不可能被涂敷，例如涂敷防蚀涂层材料。即使在装配工作中再细心也不能完全地防止发生在密封区域的泄漏。另外，由于壳体的多部件结构，整个壳体的温度变化特性是不均匀的。
从US 2002/00448666 A1可知一种螺杆泵，其壳体由两部分组成，其中，排放侧壳体部分与轴承和电机壳体一体地形成。这种壳体的两部分结构同样导致了前面所述的缺点。
发明内容
本发明的目的是提高摩擦真空泵的物理特性。
根据本发明，该目的通过一种根据本发明的摩擦真空泵实现。根据本发明的摩擦真空泵包括：形成无叶片的泵定子的壳体；和转子驱动器和支撑具有叶片的泵转子的转子支架。其中所述壳体环绕所述泵转子、所述转子驱动器和所述转子支架的整个轴向长度，并且所述壳体是单件结构的。并且转子支架和转子驱动器设置在筒内，所述筒被所述壳体支撑并且在整个轴向长度上被所述壳体环绕。
在根据本发明的摩擦泵中，壳体在其整个轴向长度上配置为一个单件，因此该单件的壳体环绕着泵转子、转子驱动器和转子支架的整个轴向长度。壳体的这种单件结构确保了壳体均匀的温度变化特性。此外由于没有设置密封件，所以也能很长时间地确保壳体的密封性。壳体自身不必由多个部分构成，因此消除装配工作以及由此产生缺点的根源。由于在壳体区域没有设置密封件，壳体内可以容易地且连续地进行涂层。例如，这种摩擦泵壳体只具有一个端部的盖，该盖没有承载功能，因此在安装工作期间也不需要特别地精确。
壳体的这种单件结构提高了摩擦真空泵的多个物理特性，特别是温度变化特性、密封性和壳体内部的涂层的质量。
根据一个优选的方面，转子支架和转子驱动器设置在筒内，筒被壳体支撑并且在其整个轴向长度上被壳体环绕。在这里，筒是指由筒壳体组成的装置，该筒壳体具有罐状或完全封闭的结构，在转子支架中的轴可旋转地支撑在该筒壳体中，该轴通过位于筒内的转子驱动器驱动。支架和驱动器在完全预装的情况下设置在封闭的或近似封闭的筒内。当装配摩擦真空泵时，首先将自筒延伸的轴与泵转子连接，然后所述装置能被插入壳体中，其中筒被固定在壳体内部。以这种方式，摩擦真空泵能简单且可靠地进行装配。摩擦真空泵壳体的单件结构以及设置唯一的驱动和支撑筒导致了摩擦真空泵的模块化结构。这两个特征一起简化了装配和拆卸工作，从而又提高了装配精确性，减小了装配费用，简化和加速了维护和修理工作。
优选地，筒具有与摩擦真空泵一体构成的罐状壳体。在转子支架和转子驱动器被插入罐状壳体后，罐状体的开口被筒盖封闭。摩擦真空泵壳体与罐状筒壳体的一体结构方便了装配工作，减小了泄漏，特别是确保了筒和/或转子驱动器和转子支架更准确的定位。
根据一个优选的方面，筒的轴向长度的至少50％被泵转子环绕，即，筒轴向长度的至少一半轴向地伸进罐状泵转子。以这种方式实现了摩擦真空泵的在整个轴向长度方面的紧凑结构。
根据一个优选的方面，筒壳体的一部分由摩擦真空泵的壳体构成。筒壳体包括两段，即，从筒在壳体上的紧固位置观察，一个设置在转子侧，另一个设置在远离转子处。筒的远离转子设置的段由摩擦真空泵壳体构成，即，罐状筒壳体不包括筒自身的筒盖，而是由摩擦真空泵壳体封闭。因而，减少了部件的总数。
根据一个优选的方面，壳体内部包括圆周形凸肩，筒优选地在吸入侧贴靠该凸肩并紧固到其上。筒和转子一起优选地从吸入侧被插进壳体中。筒被设置在圆周形凸肩上，优选地从凸肩的排放侧以合适的紧固装置紧固，例如螺栓。圆周形的凸肩易于生产并且允许筒被气密地紧固到壳体上。
优选地，泵转子是一种霍尔威克泵转子。位于径向平面内的、壳体侧定子壁和转子侧轮毂之间的表面朝排放侧减小。
因此，摩擦真空泵的入口截面是相对较大的，所以导致了相对大的气体通过量。
现在参照附图详细描述本发明的一种实施方式。
附图说明
附图示出根据本发明的摩擦真空泵的纵向截面。
具体实施方式
附图示出摩擦真空泵10，它是一种螺杆泵，也被称为霍尔威克泵。摩擦真空泵10基本上包括壳体12、筒14和泵转子16，其中，壳体12以漏斗形状向着吸入侧变窄，筒14设置并紧固在壳体12中并且包括未示的转子支架和未示的转子驱动器，泵转子16包括多个设置成螺旋形的叶片18。
壳体12具有单件结构并且环绕着泵转子16以及包括转子驱动器和转子支架的筒14的整个轴向长度。壳体12的排放侧端被前侧壳体盖20封闭。
在壳体12中，在内周上设置有圆周形凸肩22，筒14相应的圆周形凸肩24气密地支撑在凸肩22上。壳体12的凸肩22和筒14的凸肩24互相螺旋连接。
转子轴26自筒的吸入侧延伸，该轴26支撑转子16。转子16例如通过螺接的方式与转子轴相连。
转子16的转子轮毂28朝吸入侧逐渐变细。壳体12的内侧形成定子壁30，该定子壁朝吸入侧扩大。由于沿朝向吸入侧的方向定子壁的内径扩大且转子轮毂28的外径减小，所以在径向平面内的、定子壁30和转子轮毂28之间的表面朝吸入侧增大并且朝排放侧减小。
在壳体12在其吸入侧轴向端包括进气口32。在泵转子16的排放侧设置有沿径向的出气口34。
壳体12由于其单件结构，在其封闭真空的部分，不具有任何朝向邻接的壳体部分的密封件。因此，特别是在壳体12的暴露于真空的区域中，达到了均匀的温度变化特性。定子30的涂层不需中断。由于在两壳体部分之间没有设置密封件，所以不会发生泄漏。

Claims (13)

1.一种摩擦真空泵(10)，包括
形成无叶片的泵定子的壳体(12)，和
转子驱动器和支撑具有叶片(18)的泵转子(16)的转子支架，
其中所述壳体(12)环绕所述泵转子(16)、所述转子驱动器和所述转子支架的整个轴向长度，并且所述壳体(12)是单件结构的，其特征在于，转子支架和转子驱动器设置在筒(14)内，所述筒(14)被所述壳体(12)支撑并且在整个轴向长度上被所述壳体(12)环绕。
2.根据权利要求1所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述筒具有与摩擦真空泵壳体一体形成的罐状壳体。
3.根据权利要求1或2所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述筒(14)的轴向长度的至少50％被所述泵转子(16)环绕。
4.根据权利要求1所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述筒的壳体的一部分由所述摩擦真空泵的壳体构成。
5.根据权利要求1、2、4中任一项所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述壳体(12)具有圆周形的凸肩(22)，所述筒(14)紧固在所述凸肩上。
6.根据权利要求3所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述壳体(12)具有圆周形的凸肩(22)，所述筒(14)紧固在所述凸肩上。
7.根据权利要求1、2、4、6中任一项所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述泵转子(16)是一种螺杆泵转子。
8.根据权利要求3所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述泵转子(16)是一种螺杆泵转子。
9.根据权利要求5所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，所述泵转子(16)是一种螺杆泵转子。
10.根据权利要求1、2、4、6、8、9中任一项所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，径向平面内的、泵定子(30)和所述泵转子(16)的轮毂(28)之间的表面朝排放侧减小。
11.根据权利要求3所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，径向平面内的、泵定子(30)和所述泵转子(16)的轮毂(28)之间的表面朝排放侧减小。
12.根据权利要求5所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，径向平面内的、泵定子(30)和所述泵转子(16)的轮毂(28)之间的表面朝排放侧减小。
13.根据权利要求7所述的摩擦真空泵(10)，其特征在于，径向平面内的、泵定子(30)和所述泵转子(16)的轮毂(28)之间的表面朝排放侧减小。
CNB2005800329501A 2004-10-01 2005-09-21 摩擦真空泵 Expired - Fee Related CN100458171C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004047930.5 2004-10-01
DE102004047930A DE102004047930A1 (de) 2004-10-01 2004-10-01 Reibungsvakuumpumpe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101031724A CN101031724A (zh) 2007-09-05
CN100458171C true CN100458171C (zh) 2009-02-04

Family

ID=35427899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005800329501A Expired - Fee Related CN100458171C (zh) 2004-10-01 2005-09-21 摩擦真空泵

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080206041A1 (zh)
EP (1) EP1797331B1 (zh)
JP (1) JP2008514862A (zh)
CN (1) CN100458171C (zh)
AT (1) ATE454555T1 (zh)
DE (2) DE102004047930A1 (zh)
WO (1) WO2006037730A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1395718B1 (it) * 2009-09-30 2012-10-19 Nuovo Pignone Spa Compressore a flusso assiale a sbalzo, reattore e metodo
US9279417B2 (en) 2013-04-26 2016-03-08 Sol-Electrica, Llc Solar power system
CN103452872A (zh) * 2013-09-18 2013-12-18 北京北仪创新真空技术有限责任公司 一种抗大气冲击的分子泵
WO2015039443A1 (zh) * 2013-09-18 2015-03-26 北京北仪创新真空技术有限责任公司 一种抗大气冲击的分子泵
CN104613008B (zh) * 2015-02-28 2017-10-24 北京北仪创新真空技术有限责任公司 一种分子泵的转子
EP3670924B1 (de) * 2019-11-19 2021-11-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe und verfahren zur herstellung einer solchen

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE625444C (de) * 1934-02-24 1936-02-08 Leybold S Nachfolger A G E Molekularluftpumpe
FR2611818A1 (fr) * 1987-02-26 1988-09-09 Cit Alcatel Pompe rotative a vide moleculaire du type a canal de gaede
EP0283736A2 (de) * 1987-02-24 1988-09-28 ALCATEL HOCHVAKUUMTECHNIK GmbH Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor
US5154572A (en) * 1990-01-26 1992-10-13 Hitachi Koki Company Limited Vacuum pump with helically threaded cylinders
WO1999032792A2 (fr) * 1997-12-19 1999-07-01 Nt Promy Proizv Pompe a vide moleculaire
WO2004015272A1 (de) * 2002-06-04 2004-02-19 Leybold Vakuum Gmbh Evakuierungseinrichtung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60139098U (ja) * 1984-02-24 1985-09-13 セイコ−精機株式会社 組合せ型軸流分子ポンプ
FR2641582B1 (fr) * 1989-01-09 1991-03-22 Cit Alcatel Pompe a vide du type a canal de gaede
JP3486000B2 (ja) * 1995-03-31 2004-01-13 日本原子力研究所 ねじ溝真空ポンプ
FR2776029B1 (fr) * 1998-03-16 2000-06-23 Alsthom Cge Alcatel Pompe turbomoleculaire
DE19846188A1 (de) * 1998-10-07 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor
US6514035B2 (en) * 2000-01-07 2003-02-04 Kashiyama Kougyou Industry Co., Ltd. Multiple-type pump
US6302641B1 (en) * 2000-01-07 2001-10-16 Kashiyama Kougyou Industry Co., Ltd. Multiple type vacuum pump

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE625444C (de) * 1934-02-24 1936-02-08 Leybold S Nachfolger A G E Molekularluftpumpe
EP0283736A2 (de) * 1987-02-24 1988-09-28 ALCATEL HOCHVAKUUMTECHNIK GmbH Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor
FR2611818A1 (fr) * 1987-02-26 1988-09-09 Cit Alcatel Pompe rotative a vide moleculaire du type a canal de gaede
US5154572A (en) * 1990-01-26 1992-10-13 Hitachi Koki Company Limited Vacuum pump with helically threaded cylinders
WO1999032792A2 (fr) * 1997-12-19 1999-07-01 Nt Promy Proizv Pompe a vide moleculaire
DE19756837A1 (de) * 1997-12-19 1999-07-01 K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr Molekular- und Viskositätspumpe
WO2004015272A1 (de) * 2002-06-04 2004-02-19 Leybold Vakuum Gmbh Evakuierungseinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
EP1797331B1 (de) 2010-01-06
US20080206041A1 (en) 2008-08-28
ATE454555T1 (de) 2010-01-15
WO2006037730A1 (de) 2006-04-13
EP1797331A1 (de) 2007-06-20
JP2008514862A (ja) 2008-05-08
CN101031724A (zh) 2007-09-05
DE502005008839D1 (de) 2010-02-25
DE102004047930A1 (de) 2006-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100458171C (zh) 摩擦真空泵
EP0971131A3 (en) Centrifugal blower assembly for an automotive vehicle
US4373861A (en) Axial-flow fan
WO2011041403A3 (en) Air cooled electric motor
CN102135110A (zh) 离心式叶轮
US9101256B2 (en) Centrifugal pump
US8025478B2 (en) Centrifugal pump
CN101334033A (zh) 磁力支承和耦接装置
US9422937B2 (en) Vacuum pump
KR100426146B1 (ko) 전주류형펌프군과그제조방법
WO1998003795A1 (en) Fan wheel for an inline centrifugal fan
JP2008157180A (ja) スクロール流体機械
JP2007278182A (ja) 遠心送風機および攪拌システム
JP6411467B2 (ja) ポンプ装置
JP2007315399A (ja) 多段形テーパファン−モータアセンブリ
JP2010270750A (ja) 電動送風機、それを搭載した電気掃除機およびその製造方法
RU2009140738A (ru) Система диффузии воздуха для промышленных насосов
CN112088251B (zh) 真空泵及其冷却部件
CN107939849A (zh) 涨紧套及电动机
CN104047958B (zh) 轴承套
US20210095691A1 (en) Centrifugal compressor
JP4244350B2 (ja) 遠心投射装置
TW202029865A (zh) 具有分叉分子泵之飛輪
JP2012200677A (ja) 混練装置および排出機
WO2017212297A1 (en) An electric supercharger having a radial flow compressor assembly

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090204

Termination date: 20100921