EP1797331B1 - Reibungsvakuumpumpe - Google Patents

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EP1797331B1
EP1797331B1 EP05791919A EP05791919A EP1797331B1 EP 1797331 B1 EP1797331 B1 EP 1797331B1 EP 05791919 A EP05791919 A EP 05791919A EP 05791919 A EP05791919 A EP 05791919A EP 1797331 B1 EP1797331 B1 EP 1797331B1
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EP
European Patent Office
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housing
rotor
pump
vacuum pump
cartridge
Prior art date
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Not-in-force
Application number
EP05791919A
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English (en)
French (fr)
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EP1797331A1 (de
Inventor
Ralf Adamietz
Roland Blumenthal
Dirk Kalisch
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Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
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Filing date
Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the invention relates to a friction vacuum pump with a housing having a vane-free pump stator, a rotor drive and a rotor bearing.
  • WO 2004/015 272 A1 is known a screw pump whose housing consists essentially of three axially adjoining parts, which are joined to the housing, for example, bolted together.
  • the three housing parts are a stator housing part, an outlet housing part, of which a cartridge having the motor and / or the bearing is held, and a bearing housing part.
  • seals are arranged to produce the required tightness, which are difficult or impossible, for example, with a corrosion-inhibiting coating, can be coated under certain circumstances.
  • the temperature behavior of the entire housing is inhomogeneous because of the multi-part of the housing.
  • EP-A-0 283 736 and US-A-5 154 572 describe in each case a vacuum pump with a bell-shaped, cylindrical rotor which is axially mounted inside the rotor and is surrounded on the outside by a stator.
  • FR-A-2 611 818 describes a rotary pump with a rotor and with a two-part stator. A first part of the stator is surrounded by the rotor on the outside and a second part of the stator encloses the rotor on the outside.
  • the object of the invention is to improve the physical properties of a friction vacuum pump.
  • the housing is integrally formed over its entire axial length, so that the one-piece housing surrounds the entire axial length of the pump rotor, the rotor drive and the rotor bearing. Due to the integral nature of the housing, a homogeneous temperature behavior of the housing is ensured. By eliminating seals, the tightness of the housing is also ensured in the long term.
  • the housing itself does not have to consist of several parts assembled together, so that assembly work and resulting error sources omitted. By eliminating seals in the area of the housing, the inside of the housing is easy and completely coatable.
  • the friction vacuum pump housing for example, has only one end lid, which has no supporting function, and therefore requires no special precision in assembly.
  • the one-piece construction of the housing improves a large number of physical properties of the friction vacuum pump, in particular the temperature behavior, the tightness and the quality of a coating on the inside of the housing.
  • the rotor bearing and the rotor drive are arranged in a cartridge, which is held by the housing and is surrounded over its entire axial length of the housing.
  • a cartridge is understood to mean an arrangement which consists of a cartridge housing which is cup-shaped or completely closed and in which a shaft is rotatably mounted in a rotor bearing which can be driven by a rotor drive located in the cartridge.
  • the storage and the drive are arranged completely pre-assembled in the closed or almost closed cartridge.
  • the shaft protruding from the cartridge may be connected to the pump rotor, and this assembly may then be inserted into the housing with the cartridge being mounted in the housing interior.
  • the assembly of the friction vacuum pump is simple and reliable vorappelbar.
  • the integrity of the friction vacuum pump housing and the provision of a single drive and storage cartridge result in a modular construction of the friction vacuum pump. Both measures together simplify the assembly or disassembly, which in turn improves the assembly accuracy, the assembly work is reduced and the maintenance or repair is simplified and accelerated.
  • the cartridge has a pot-shaped housing, which is formed integrally with the friction vacuum pump housing. After the rotor bearing and the rotor drive are inserted into the cup-shaped housing, the pot opening is closed by a cartridge lid. Due to the one-piece design of the friction vacuum pump housing with the pot-shaped cartridge housing, the assembly is simplified as a whole, leaks are reduced and in particular a more precise positioning of the cartridge or the rotor drive and the rotor bearing is ensured.
  • the axial length of the cartridge is at least 50% surrounded by the pump rotor, i. the cartridge projects axially into the pot-shaped pump rotor with at least half of its axial length. In this way, a compact axial construction of the friction vacuum pump is realized.
  • a part of the cartridge housing is formed by the friction vacuum pump housing.
  • the cartridge housing has two sections, namely one which, viewed from the mounting location of the cartridge on the housing on the rotor side and one which is oriented away from the rotor.
  • the rotor-facing portion of the cartridge may be formed by the friction vacuum pump housing, i. the pot-shaped cartridge housing has no cartridge-specific lid, but is closed by the friction vacuum pump housing. As a result, the number of components is reduced overall.
  • the housing has on the inside a circular shoulder, on which the cartridge preferably bears on the suction side and to which it is attached.
  • the cartridge is preferably inserted from the suction side into the housing together with the rotor.
  • the cartridge is placed on the circular shoulder and preferably fastened from the pressure side of the heel with suitable fastening means, for example with threaded screws.
  • the circular shoulder is easy to produce and allows a gas-tight attachment of the cartridge to the housing.
  • the pump rotor is a Holweck pump rotor.
  • the radial plane surface between a housing-side stator wall and a rotor-side hub can shrink towards the pressure side.
  • the figure shows a Reibungsvakuumpumpe invention in longitudinal section.
  • a friction vacuum pump 10 which is a screw pump, also called Holweck pump.
  • the friction vacuum pump 10 consists essentially of a suction-side towards the funnel-shaped narrowing housing 12, arranged in the housing 12 and mounted cartridge 14, which includes a rotor bearing, not shown, and a rotor drive, not shown, and a pump rotor 16, the plurality of helically arranged wings 18 has.
  • the housing 12 is formed in one piece and surrounds the entire axial length of the pump rotor 16 and the cartridge 14 containing the rotor drive and the rotor bearing.
  • the pressure-side end of the housing 12 is closed by a front-side housing cover 20.
  • a circular shoulder 22 is provided on its inner circumference, on which a corresponding circular shoulder 24 of the cartridge 14 is supported gas-tight.
  • the paragraphs 22, 24 of the housing 12 and the cartridge 14 are bolted together.
  • a rotor shaft 26 thereof From the cartridge protrudes at its suction end, a rotor shaft 26 thereof, which holds the rotor 16.
  • the rotor 16 is connected to the rotor shaft, for example screwed.
  • the rotor hub 28 of the rotor 16 tapers towards the suction side.
  • the inside of the housing 12 forms a stator 30, which widens towards the suction side. Due to the extension of the inner diameter of the stator and the reduction of the outer diameter of the rotor hub 28 to the suction side, the radial plane surface between the stator 30 and the rotor hub 28 is increased toward the suction side and reduced to the pressure side.
  • the housing 12 has a gas inlet 32 at its one suction-side axial end. On the pressure side of the pump rotor 16, a radial gas outlet 34 is provided.
  • the housing 12 in the part in which it encloses the vacuum not a single seal with a subsequent housing part.
  • a homogeneous temperature behavior is realized. Coatings of the stator wall 30 are free of discontinuities. Lack of a seal between two housing parts and no leaks can occur.

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Reibungsvakuumpumpe mit einem Gehäuse, das einen flügelfreien Pumpenstator, einen Rotorantrieb und eine Rotorlagerung aufweist.
  • Das Gehäuse derartiger Reibungsvakuumpumpen, beispielsweise Turbomolekularpumpen oder Holweckpumpen, umgibt die gesamte axiale Länge des Pumpenrotors, des Rotorantriebes und der Rotorlagerung. Aus WO 2004/015 272 A1 ist eine Schraubenpumpe bekannt, deren Gehäuse im Wesentlichen aus drei axial aneinander anschließenden Teilen besteht, die zu dem Gehäuse zusammengefügt, beispielsweise miteinander verschraubt sind. Die drei Gehäuseteile sind ein Statorgehäuseteil, ein Auslass-Gehäuseteil, von dem eine den Motor und/oder die Lagerung aufweisende Kartusche gehalten wird, sowie ein Lagergehäuseteil. Zwischen jeweils zwei aneinander angrenzenden Gehäuseteilen sind zur Herstellung der erforderlichen Dichtigkeit entsprechende Dichtungen angeordnet, die unter Umständen nur schwer oder gar nicht, beispielsweise mit einer korrosionshemmenden Beschichtung, beschichtbar sind. Trotz aller Sorgfalt bei der Montage können Undichtigkeiten im Bereich der Dichtungen nie völlig ausgeschlossen werden. Ferner ist das Temperaturverhalten des gesamten Gehäuses wegen der Mehrteiligkeit des Gehäuses inhomogen.
  • Aus US 2002/0044866 A1 ist eine Schraubenpumpe bekannt, deren Gehäuse aus zwei Teilen besteht, wobei das druckseitige Gehäuseteil einstückig mit einem Lager- und Motorgehäuse verbunden ist. Durch die Zweiteiligkeit des Gehäuses ergeben sich auch hier die oben beschriebenen Nachteile.
  • DE 625 444 C , auf das sich der Oberbegriff von Patentanspruch 1 bezieht, beschreibt eine Molekularluftpumpe, die von einem einstückigen Gehäuse über die gesamte axiale Länge umgeben ist. Eine solche Vakuumpumpe ist auch aus DE 197 56 837 A1 und aus WO 99/32792 A bekannt.
  • EP-A-0 283 736 und US-A-5 154 572 beschreiben jeweils eine Vakuumpumpe mit einem glockenförmigen, zylindrischen Rotor, der innerhalb des Rotors axial gelagert ist und außen von einem Stator umgeben ist.
  • FR-A-2 611 818 beschreibt eine Rotationspumpe mit einem Rotor und mit einem zweiteiligen Stator. Ein erster Teil des Stators wird von dem Rotor außen umgeben und ein zweiter Teil des Stators umschließt den Rotor außen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, die physikalischen Eigenschaften einer Reibungsvakuumpumpe zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.
  • Bei der erfindungsgemäßen Reibungsvakuumpumpe ist das Gehäuse über seine gesamte axiale Länge einstückig ausgebildet, so dass das einstückige Gehäuse die gesamte axiale Länge des Pumpenrotors, des Rotorantriebes und der Rotorlagerung umgibt. Durch die Einstückigkeit des Gehäuses wird ein homogenes Temperaturverhalten des Gehäuses sichergestellt. Durch den Wegfall von Dichtungen ist ferner auch langfristig die Dichtigkeit des Gehäuses sichergestellt. Das Gehäuse selbst muss nicht aus mehreren Teilen zusammenmontiert: werden, so dass Montagearbeiten und hieraus resultierende Fehlerquellen entfallen. Durch den Wegfall von Dichtungen im Bereich des Gehäuses ist die Gehäuse-Innenseite einfach und lückenlos beschichtbar. Das Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse weist beispielsweise lediglich noch einen endseitigen Deckel auf, der keine tragende Funktion hat, und daher keine besondere Präzision bei der Montage erfordert.
  • Durch die einstückige Ausbildung des Gehäuses werden eine Vielzahl physikalischer Eigenschaften der Reibungsvakuumpumpe verbessert, insbesondere das Temperaturverhalten, die Dichtigkeit und die Qualität einer gehäuseinnenseitigen Beschichtung.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung sind die Rotorlagerung und der Rotorantrieb in einer Kartusche angeordnet, die von dem Gehäuse gehalten wird und über ihre gesamte axiale Länge von dem Gehäuse umgeben ist. Unter einer Kartusche wird vorliegend eine Anordnung verstanden, die aus einem Kartuschen-Gehäuse besteht, das topfförmig oder vollständig geschlossen ausgebildet ist, und in dem drehbar eine Welle in einer Rotorlagerung drehbar gelagert ist, die durch einen in der Kartusche befindlichen Rotorantrieb antreibbar ist. Die Lagerung und der Antrieb sind komplett vormontiert in der geschlossenen oder annähernd geschlossenen Kartusche angeordnet. Beim Zusammenbau der Reibungsvakuumpumpe kann zunächst die aus der Kartusche herausragende Welle mit dem Pumpenrotor verbunden werden, und diese Anordnung anschließend in das Gehäuse eingesetzt werden, wobei die Kartusche in dem Gehäuse-Innenraum befestigt wird. Auf diese Weise ist die Montage der Reibungsvakuumpumpe einfach und zuverlässig vornehmbar. Die Einstückigkeit des Rcibungsvakuumpumpen-Gehäuses und das Vorsehen einer einzigen Antriebs- und Lagerungs-Kartusche führen zu einem modularen Aufbau der Reibungsvakuumpumpe. Beide Maßnahmen zusammen vereinfachen die Montage bzw. Demontage, wodurch wiederum die Montagegenauigkeit verbessert wird, der Montageaufwand verringert wird sowie die Wartung bzw. Reparatur vereinfacht und beschleunigt wird.
  • Vorzugsweise weist die Kartusche ein topfförmiges Gehäuse auf, das einstückig mit dem Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse ausgebildet ist. Nachdem die Rotorlagerung und der Rotorantrieb in das topfförmige Gehäuse eingesetzt sind, wird die Topföffnung durch einen Kartuschen-Deckel verschlossen. Durch die einstückige Ausbildung des Reibungsvakuumpumpen-Gehäuses mit dem topfförmigen Kartuschen-Gehäuse wird die Montage insgesamt vereinfacht, werden Undichtigkeiten verringert und wird insbesondere eine präzisere Positionierung der Kartusche bzw. des Rotorantriebes und der Rotorlagerung sichergestellt.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die axiale Länge der Kartusche zu mindestens 50% von dem Pumpenrotor umgeben, d.h. ragt die Kartusche mit mindestens der Hälfte ihrer Axiallänge in den topfförmigen Pumpenrotor axial hinein. Auf diese Weise wird eine bezüglich der Axial-Gesamtlänge kompakte Konstruktion der Reibungsvakuumpumpe realisiert.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung wird ein Teil des Kartuschen-Gehäuses von dem Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse gebildet. Das Kartuschen-Gehäuse weist zwei Abschnitte auf, nämlich einen, der vom Befestigungsort der Kartusche an dem Gehäuse aus betrachtet rotorseitig und einen, der rotorabgewandt orientiert ist. Der rotorabgewandte Abschnitt der Kartusche kann von dem Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse gebildet sein, d.h. das topfförmige Kartuschen-Gehäuse weist keinen kartuscheneigenen Deckel auf, sondern wird durch das Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse abgeschlossen. Hierdurch wird die Anzahl der Bauteile insgesamt verringert.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung weist das Gehäuse innenseitig einen zirkulären Absatz auf, an den die Kartusche vorzugsweise saugseitig anliegt und an dem sie befestigt ist. Die Kartusche wird zusammen mit dem Rotor vorzugsweise von der Saugseite aus in das Gehäuse eingesetzt. Die Kartusche wird auf den zirkulären Absatz aufgesetzt und vorzugsweise von der Druckseite des Absatzes aus mit geeigneten Befestigungsmitteln, beispielsweise mit Gewindeschrauben, befestigt. Der zirkuläre Absatz ist einfach herstellbar und erlaubt eine gasdichte Befestigung der Kartusche an dem Gehäuse.
  • Vorzugsweise ist der Pumpenrotor ein Holweck-Pumpenrotor. Die Radialebenen-Fläche zwischen einer gehäuseseitigen Statorwand und einer rotorseitigen Nabe kann sich zur Druckseite hin verkleinern.
  • Hierdurch ist der Eintrittsquerschnitt der Reibungsvakuumpumpe relativ groß, so dass der Gasdurchsatz ebenfalls relativ groß ist.
  • Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
  • Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Reibungsvakuumpumpe im Längsschnitt.
  • In der Figur ist eine Reibungsvakuumpumpe 10 dargestellt, die eine Schraubenpumpe ist, auch Holweck-Pumpe genannt. Die Reibungsvakuumpumpe 10 besteht im Wesentlichen aus einem sich zur Saugseite hin trichterförmig verengenden Gehäuse 12, einer in dem Gehäuse 12 angeordneten und befestigten Kartusche 14, die eine nicht dargestellte Rotorlagerung und einen nicht dargestellten Rotorantrieb enthält, und einem Pumpenrotor 16, der mehrere schraubenförmig angeordnete Flügel 18 aufweist.
  • Das Gehäuse 12 ist einstückig ausgebildet und umgibt die gesamte axiale Länge des Pumpenrotors 16 und der den Rotorantrieb und die Rotorlagerung enthaltenden Kartusche 14. Das druckseitige Ende des Gehäuses 12 ist durch einen stirnseitigen Gehäusedeckel 20 verschlossen.
  • In dem Gehäuse 14 ist an seinem Innenumfang ein zirkulärer Absatz 22 vorgesehen, an dem sich ein entsprechender zirkulärer Absatz 24 der Kartusche 14 gasdicht abstützt. Die Absätze 22, 24 des Gehäuses 12 und der Kartusche 14 sind miteinander verschraubt.
  • Aus der Kartusche ragt an ihrem saugseitigen Ende eine Rotorwelle 26 hieraus, die den Rotor 16 hält. Der Rotor 16 ist mit der Rotorwelle verbunden, beispielsweise verschraubt.
  • Die Rotornabe 28 des Rotors 16 verjüngt sich zur Saugseite hin. Die Innenseite des Gehäuses 12 bildet eine Statorwand 30, die sich zur Saugseite hin erweitert. Durch die Erweiterung des Innendurchmessers der Statorwand und durch die Verringerung des Außendurchmessers der Rotornabe 28 zur Saugseite hin ist die Radialebenen-Fläche zwischen der Statorwand 30 und der Rotornabe 28 zur Saugseite hin vergrößert und zur Druckseite hin verkleinert.
  • Das Gehäuse 12 weist an seinem einen saugseitigen axialen Ende einen Gaseinlass 32 auf. An der Druckseite des Pumpenrotors 16 ist ein radialer Gasauslass 34 vorgesehen.
  • Durch seine einstückige Ausbildung weist das Gehäuse 12 in dem Teil, in dem es das Vakuum umschließt, keine einzige Dichtung auf mit einem anschließenden Gehäuseteil. Hierdurch wird insbesondere in dem dem Vakuum ausgesetzten Bereich des Gehäuses 12 ein homogenes Temperaturverhalten realisiert. Beschichtungen der Statorwand 30 sind frei von Unstetigkeiten. Mangels einer Dichtung zwischen zwei Gehäuseteilen können auch keine Undichtigkeiten auftreten.

Claims (7)

  1. Reibungsvakuumpumpe (10) mit
    einem Gehäuse (12), das einen flügelfreien Pumpenstator bildet, und
    einem Rotorantrieb und einer Rotorlagerung, von der ein einen Flügel (18) aufweisender Pumpenrotor (16) gehalten wird,
    wobei das Gehäuse (12) die gesamte axiale Länge des Pumpenrotors (16), des Rotorantriebes und der Rotorlagerung umgibt, und
    wobei das Gehäuse (12) einstückig ausgebildet ist,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Rotorlagerung und der Rotorantrieb in einer Kartusche (14) angeordnet sind, die von dem Gehäuse (12) gehalten wird und über ihre gesamte axiale Länge von dem Gehäuse (12) umgeben ist.
  2. Reibungsvakuumpumpe (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kartusche ein topfförmiges Gehäuse aufweist, das einstückig mit dem Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse ausgebildet ist.
  3. Reibungsvakuumpumpe (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Länge der Kartusche (14) zu mindestens 50% von dem Pumpenrotor (16) umgeben ist.
  4. Reibungsvakuumpumpe (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil des Kartuschen-Gehäuses von dem Reibungsvakuumpumpen-Gehäuse gebildet ist.
  5. Reibungsvakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (12) einen zirkulären Absatz (22) aufweist, an den die Kartusche (14) befestigt ist.
  6. Reibungsvakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Pumpenrotor (16) ein Schrauben-Pumpenrotor ist.
  7. Reibungsvakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Radialebenen-Fläche zwischen dem Pumpenstator (30) und einer Nabe (28) des Pumpenrotors (16) zur Druckseite hin verkleinert.
EP05791919A 2004-10-01 2005-09-21 Reibungsvakuumpumpe Not-in-force EP1797331B1 (de)

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Country Status (7)

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EP (1) EP1797331B1 (de)
JP (1) JP2008514862A (de)
CN (1) CN100458171C (de)
AT (1) ATE454555T1 (de)
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