CN112088251B - 真空泵及其冷却部件 - Google Patents

Abstract

为了提供一种能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而进行相对于冷却部件的冷却配管的连接作业、使用方便性良好的真空泵以及冷却部件，冷却部件（8）具备：多个端口对（81），由第一以及第二端口（81A、81B）构成；冷却介质的流路（82），与多个端口对的各端口连通；设定机构（83），设定多个端口对的使用形态，多个端口对沿外装框体的周向方向设置，设定机构为，在多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、能够使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出。

Description

真空泵及其冷却部件

技术领域

本发明涉及一种真空泵，被用作半导体制造处理装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他的真空腔室的气体排气机构，特别地为适于正确地判断泵维护的必要性的真空泵。

背景技术

以往，作为这种真空泵，公知有例如专利文献1所述的真空泵。该真空泵（以下称为“以往的真空泵”）为以下构造：在由外筒（127）、基座部（129）等构成的外装框体的内侧收纳有旋转体（103），借助该旋转体（103）的旋转对气体进行吸气和排气。

此外，在以往的真空泵中，相对于构成外装框体的基座部（129）设置作为冷却部件的水冷管（149），从而进行真空泵的冷却。

但是，若基于以往的真空泵，则水冷管（149）被埋设于基座部（129），相对于水冷管（149）供给冷却水或从水冷管（149）将冷却水排出的冷却水供给/排出用端口被固定在既定的位置。为此，在将真空泵设置于既定的现场的状态中，存在该冷却水供给/排出用端口的位置与现场的冷却配管布局不对应的情况，在该情况下，存在如下的问题点：在现场的相对于冷却水供给/排出用端口的冷却配管的连接作业变得困难等，不能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业，使用方便性较差。

在以上的说明中，括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。

专利文献1: WO2012/053270

日本特开2017-194040号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题点而提出的，其目的在于提供一种使用方便性良好的真空泵及其冷却部件，能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业。

为了达成前述目的，本发明是一种借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有收纳前述旋转体的外装框体、被配置于前述外装框体的外周的冷却部件，前述冷却部件具备：由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的前述各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。

此外，本发明是一种被配置于真空泵的外装框体外周的真空泵的冷却部件，其特征在于，具备由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。

在前述本发明中，其特征在于，作为前述设定机构，采用连接管，在前述多个端口对中，在使用被选择的一个端口对从外部向前述流路内进行冷却介质的供给以及从前述流路内向外部进行冷却介质的排出的情况下，通过将前述连接管安装在没有被选择的其他的端口对上，使构成前述其他的端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接。

在前述本发明中，其特征在于，作为前述设定机构，采用中间流路、以及第一及第二塞，前述中间流路构成为具有用于插入前述第一塞的塞插入孔部、并且将构成前述多个端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接，前述第一塞以既定量插入到前述中间流路的前述塞插入孔部从而与该插入量对应而具备下述功能：作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出、并且截断在前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能、以及作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出、并且维持前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能，前述第二塞被能够拆装地安装于构成前述多个端口对的前述第一、第二端口，在其安装时，作为禁止经由前述第一、第二端口的冷却介质的出入的机构而起作用。

在本发明中，作为真空泵及其冷却部件的具体的结构，如前所述，采用了端口对沿外装框体的周向方向设置多个这样的结构。为此，在设置真空泵的现场中，从多个端口对中选择与现场的冷却配管布局对应的一个端口对而相对于选择后的端口对连接对应的冷却配管即可，所以能够提供一种使用方便性良好的真空泵及其冷却部件，能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业。

附图说明

图1是应用了本发明的真空泵的剖视图。

图2是图1的真空泵中采用的冷却部件的第一概念图。

图3是在图2的冷却部件中，与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。

图4是图2的真空泵中采用的冷却部件的第二概念图。

图5是在图4的冷却部件中，与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。

图6是作为截止塞或者填充塞而起作用的第一塞的局部剖视示意图（作为填充塞而起作用的状态）。

图7是图6所示的第一塞的动作说明图（作为截止塞而起作用的状态）。

图8是应用了本发明的其他的真空泵的剖视图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边详细地说明用于实施本发明的最优的方式。

图1是应用了本发明的真空泵的剖视图，图2是图1的真空泵中采用的冷却部件的第一概念图。

图1的真空泵P1具备：外装框体1；旋转体2，其被收纳在外装框体1内；支承机构3，其能够旋转地支承旋转体2；驱动机构4，其旋转驱动旋转体2；吸气口5，其用于通过旋转体2的旋转而对气体进行吸气；排气口6，其用于将从吸气口5吸气后的气体进行排气；气体的流路7（以下称为“气体流路”），其为从吸气口5朝向排气口6移动的气体的流路；冷却部件8，其被配置在外装框体1的外周，且真空泵P1为借助旋转体2的旋转而将气体进行吸气和排气的构造。

外装框体1具有泵基座1B及位于泵基座1B之上的筒状的泵壳体1A，泵壳体1A的上端部侧作为前述吸气口5而开口。吸气口5与在真空环境中实施既定的处理的装置、例如半导体制造装置的处理腔室等那样地成为高真空的真空腔室（省略图示）连接。

在泵基座1B的下端部侧表面设置有排气端口9，排气端口9的一端与前述气体流路7连通，该排气端口9的另一端为作为前述排气口6而开口的形态。排气口6与未图示的辅助泵连通连接。

在泵壳体1A内的中央部设置有定子柱10。该定子柱10为从泵基座1B朝向吸气口5的方向立起的构造。在这样的构造的定子柱10上安装有各种电装部件（参照后述的驱动马达15等）。在图1的真空泵中，采用了定子柱10和泵基座1B作为一个部件而一体化了的构造，但也不被限定于此。例如虽然省略图示，但定子柱10也可以和泵基座1B作为另外的部件而构成。

在定子柱10的外侧设置有前述旋转体2。即，定子柱10构成为位于旋转体2的内侧，旋转体2被内包于泵壳体1A以及泵基座1B，并且为包围定子柱10的外周的圆筒形状。

在定子柱10的内侧设置有旋转轴12。旋转轴12被配置为其上端部侧朝向吸气口5的方向。此外，该旋转轴12利用磁性轴承（具体地，是公知的两组径向磁性轴承13和一组轴向磁性轴承14）能够旋转地被支承。进而，在定子柱10的内侧设置有驱动马达15，利用该驱动马达15，旋转轴12绕其轴心地被旋转驱动。

旋转轴12的上端部从定子柱10的圆筒上端面向上方突出，相对于该突出的旋转轴12的上端部，旋转体2的上端侧利用螺栓等的紧固机构被一体地固定。因而，旋转体2经由旋转轴12，利用磁性轴承（径向磁性轴承13、轴向磁性轴承14）能够旋转地被支承，通过在该支承状态下启动驱动马达15，旋转体2能够和旋转轴12一体地绕其轴心地旋转。概要地说，在图1的真空泵P1中，磁性轴承作为能够旋转地支承旋转体2的支承机构而起作用，此外，驱动马达15作为旋转驱动旋转体2的驱动机构而起作用。

并且，图1的真空泵P1在从吸气口5到排气口6之间具备作为将气体分子排气的机构而起作用的多个翼排气段16。

进而，图1的真空泵P1在多个翼排气段16的下游部，具体地在从多个翼排气段16中最下级的翼排气段16（16-n）到排气口6之间，具备螺纹槽泵段17。

《翼排气段16的详细说明》

在图1的真空泵P1中，旋转体2的比大致中间靠上游的位置作为多个翼排气段16而起作用。以下，详细地说明多个翼排气段16。

在比旋转体2的大致中间靠上游的旋转体2外周面设置有多个与旋转体2一体地旋转的旋转翼18，这些旋转翼18在每个翼排气段16（16-1、16-2、…16-n）以旋转体2的旋转中心轴（具体地是旋转轴12的轴心）或者外装框体1的轴心（以下称为“泵轴心”）为中心而放射状地以既定间隔配置。另外，旋转翼18在其构造上与旋转体2一体地旋转，因此是构成旋转体2的要素，以下，言及旋转体2时是包含旋转翼18的。

另一方面，在外装框体1内（具体地，是泵壳体1A的内周侧）设置有多个固定翼19。各固定翼19的泵径向方向以及泵轴心方向的位置由在泵基座1B多级地叠层的多个固定翼衬垫20定位而固定。这些固定翼19也和旋转翼18同样地，在每个翼排气段16（16-1、16-2、…16-n）以泵轴心为中心而放射状地以既定间隔配置。

即，各翼排气段16（16-1、16-2、…16-n）在从吸气口5到排气口6之间被多级地设置，并且在每个翼排气段16（16-1、16-2、…16-n）具备放射状地以既定间隔配置的多个旋转翼18和固定翼19，为利用这些旋转翼18和固定翼19对气体分子进行排气的构造。

任意的旋转翼18都是与旋转体2的外径加工部一体地利用切削加工而切出形成的叶片状的切削加工品。以最适合气体分子的排气的角度倾斜。此外任意的固定翼19也以最适合气体分子的排气的角度倾斜。

《多个翼排气段16中的排气动作的说明》

在由以上的结构构成的多个翼排气段16中，在最上级的翼排气段16（16-1）中，利用驱动马达15的启动，多个旋转翼18和旋转轴12以及旋转体2一体地以高速旋转，借助旋转翼18的旋转方向前面且向下（从吸气口5朝向排气口6的方向，之后简称为向下）的倾斜面对从吸气口5入射的气体分子赋予向下方向且切线方向的运动量。这样的具有向下方向的运动量的气体分子借助设置于固定翼19的与旋转翼18旋转方向反向的向下的倾斜面，被向下一个翼排气段16（16-2）送入。

在下一个翼排气段16（16-2）以及其之后的翼排气段16，也和最上级的翼排气段16（16-1）同样地，旋转翼18旋转，进行如前所述的基于旋转翼18的对气体分子的运动量的赋予和基于固定翼19的气体分子的送入动作，从而吸气口5附近的气体分子以朝向旋转体2的下游顺序移动的方式被排气。

从如上所述的多个翼排气段16的气体分子的排气动作可知，在多个翼排气段16而被设定在旋转翼18和固定翼19之间的间隙成为用于将气体排气的流路（以下称为“叶片间排气流路7A”）。

《螺纹槽泵段17的详细说明》

图1的真空泵P1中，比旋转体2的大致中间靠下游作为螺纹槽泵段17而起作用。以下，详细地说明螺纹槽泵段17。

螺纹槽泵段17中，在旋转体2的外周侧（具体地，是比旋转体2的大致中间靠下游的旋转体2部分的外周侧）作为形成螺纹槽排气流路7B的机构而具有螺纹槽排气部定子21。作为螺纹槽排气部定子21的具体的结构例，在图1的真空泵P1中，所述螺纹槽排气部定子21作为真空泵P1的固定部件而夹在泵基座1B与泵壳体1A之间，从而构成外装框体1的一部分，但不限定于像这样的结构例。例如，在将泵基座1B和泵壳体1A利用螺栓等紧固机构连结的构造时，也可以在泵壳体1A的内侧配置螺纹槽排气部定子21。

螺纹槽排气部定子21是被配置为其内周面与旋转体2的外周面对置的圆筒形的固定部件，配置为包围旋转体2的比大致中间靠下游的旋转体2部分。

并且，比旋转体2的大致中间靠下游的旋转体2部分是作为螺纹槽泵段17的旋转部件而旋转的部分，经由既定的空隙被插入/收纳于螺纹槽排气部定子21的内侧。

在螺纹槽排气部定子21的内周部形成有深度朝向下方向而小径化的以锥形形状变化的螺纹槽22。该螺纹槽22从螺纹槽排气部定子21的上端到下端刻设为螺旋状。

利用具备了如前所述的螺纹槽22的螺纹槽排气部定子21，在旋转体2的外周侧形成用于将气体进行排气的螺纹槽排气流路7B。虽然省略了图示，但可以如下地构成：通过在旋转体2的外周面形成之前说明的螺纹槽22而设置如前所述的螺纹槽排气流路7B。

在螺纹槽泵段17中，为了利用螺纹槽22和旋转体2的外周面处的拖拽效果而将气体一边压缩一边移送，该螺纹槽22的深度设定为在螺纹槽排气流路7B的上游入口侧（靠近吸气口5的流路开口端）最深，在其下游出口侧（靠近排气口6的流路开口端）最浅。

螺纹槽排气流路7B的入口（上游开口端）朝向之前说明的叶片间排气流路7A的出口开口，具体地，朝向构成最下级的翼排气段16-n的固定翼19和螺纹槽排气部定子21之间的间隙（以下称为“最终间隙GE”）而开口，此外，该螺纹槽排气流路7B的出口（下游开口端）通过泵内排气口侧流路7C而与排气口6连通。

泵内排气口侧流路7C如下地形成：在旋转体2、螺纹槽排气部定子21的下端部与泵基座1B的内底部之间设置既定的间隙（在图1的真空泵P1中，绕定子柱10的下部外周一周的形态的间隙），从而从螺纹槽排气流路7B的出口连通到排气口6。

《螺纹槽泵段17中的排气动作的说明》

借助基于之前说明的多个翼排气段16处的排气动作的移送而到达最终间隙GE（叶片间排气流路7A的出口）的气体分子向螺纹槽排气流路7B移动。移动后的气体分子借助由旋转体2的旋转而产生的拖拽效果，一边被从过渡流向粘性流压缩一边朝向泵内排气口侧流路7C移动。并且，到达泵内排气口侧流路7C后的气体分子向排气口6流入，通过未图示的辅助泵而向外装框体1之外被排气。

《真空泵P1内的气体流路7的说明》

从以上的说明可知，在图1的真空泵P1中，气体流路7包含叶片间排气流路7A、最终间隙GE、螺纹槽排气流路7B、以及泵内排气口侧流路7C而构成，通过该气体流路7，气体从吸气口5朝向排气口6移动。

《冷却部件8的说明》

旋转体2（包含多个旋转翼18）的热量，被放射到固定翼19、固定翼衬垫20侧，从最下级的固定翼衬垫20E（20）向螺纹槽排气部定子21的方向移动。为此，在图1的真空泵P1中，对螺纹槽排气部定子21的一部分组装冷却部件8。

若参照图2，则冷却部件8具备：多个端口对81，其由第一以及第二端口构成；冷却介质的流路82（以下称为“冷却介质流路82”），其与多个端口对81的各端口81A、81B连通；设定机构83，设定多个端口对81的使用形态。

多个端口对81沿外装框体1的周向方向C1设置。在图2的例子中，设置了两个端口对81，但端口对81的数量不被限定为两个，能够根据需要适当地增加。

此外，在图2的例子中，两个端口对81从真空泵P1的泵轴心沿泵径向方向而放射状地配置，并且在两个端口对81中，在从一个端口对81-1绕泵轴心而沿外装壳体1的周向方向错开90度的位置处配置另外的端口对81-2，但像这样的端口对81的配置角度结构能够根据需要适当地变更。这一点在具备三个以上的端口对81的情况时也是同样的。

构成各端口对81的第一以及第二端口81A、81B的顶端开口，以使其能够作为冷却介质的出入口（IN、OUT）而使用。

作为冷却介质流路82的具体的结构，在图2的冷却部件8中，采用如下的构造：利用第一管体82-1连接构成一个端口对81-1的第一端口81A和构成其他的端口对81-2的第一端口81A的构造，以及利用第二管体82-2连接构成一个端口对81-1的第二端口81B和构成其他的端口对81-2的第二端口81B的构造，和将该第一以及第二管体82-1、82-2内作为冷却介质流路82而使用的结构。

设定机构83作为下述机构而起作用：在多个端口对81之中，关于被选择的一个端口对81-1，以能够使用其第一端口81A从外部向冷却介质流路82内进行冷却介质的供给，能够使用其第二端口81B从冷却介质流路82内向外部进行冷却介质的排出的方式进行设定的机构，以及，关于它们以外的其他的端口对81-2，以禁止使用其第一端口81A从外部向冷却介质流路82内进行冷却介质的供给，并且禁止使用其第二端口81B从冷却介质流路82内向外部进行冷却介质的排出的方式进行设定的机构。

《设定机构83的具体的结构例（其一）》

图2是图1的真空泵中采用的冷却部件的第一概念图。

若参照图2，则作为用于实现之前说明的设定机构83的功能的具体的结构例，在图2的冷却部件8中，采用连接管84。另外，图2是作为与设置真空泵P1的现场的冷却配管布局对应而使用的端口对而选择一个端口对81-1使用的例子。

在多个端口对81中，在使用被选择的一个端口对81-1（以下称为“选择端口对81-1”）而从外部向冷却介质流路82内进行冷却介质的供给以及从冷却介质流路内向外部进行冷却介质的排出的情况下，通过将连接管84安装于没有被选择的其他的端口对81-2（以下称为“非选择端口对81-2”）而使构成非选择端口对81-2的第一端口81A和第二端口81B连通连接。

由此，从构成选择端口对81-1的第一端口81A到第二端口82B之间，经由构成非选择端口对81-2的第一以及第二端口81A、81B和连接管84，成为在第一以及第二管体81-1、81-2连通了的状态。

连接管84具有作为用于连结第一端口81A和第二端口81B的管接头的功能。因而，相对于非选择端口对81-2安装连接管84的作业为，将连接管84的一端与第一端口81A连接、并且将该连接管84的另一端与第二端口81B连接即可。

并且，相对于构成选择端口对81-1的第一以及第二端口81A、81B，经由管接头（参照图8的附图标记CN）等连接外部配管，若从连接的外部配管相对于例如其第一端口81A而供给冷却介质，则被供给的冷却介质流过第一管体82-1、构成非选择端口对81-2的第一端口81A、连接管84、构成非选择端口对81-2的第二端口81B、第二管体82-2，最终地，从构成选择端口对81-1的第二端口81B被排出。

此时，通过相对于非选择端口81-2安装连接管84，禁止使用构成非选择端口81-2的第一端口81A而从外部向冷却介质流路82内进行冷却介质的供给，并且禁止使用其第二端口81B的冷却介质流路82内向外部进行冷却介质的排出。

连接管84的形状不被限定为如图2所示的U字形状，此外，连接管84的材质可以是金属也可以是橡胶等的弹性部件。连接管84的形状和材质能够根据需要进行适当地变更。

图3是在图2的冷却部件8中与设置真空泵P1的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。即，图3是作为使用的端口对，选择和在图2的例子中选择的一个端口对81-1不同的另外的端口对81-2而使用的例子。

在将选择/使用的端口对从图2的例子变更为像图3的例子那样的情况下，从图2的非选择端口对81-2取下连接管84，将取下的连接管84安装于图2的选择端口对81-1即可。在该情况下，图2的非选择端口对81-2在图3中成为选择端口对81-1，此外，图2的选择端口对81-1在图3中成为非选择端口对81-2。

《设定机构83的具体的结构例（其二）》

图4是图2的真空泵中采用的冷却部件的第二概念图，图6是作为截止塞或者填充塞而起作用的第一塞的局部剖视示意图（作为填充塞而起作用的状态），图7是图6所示的第一塞的动作说明图（作为截止塞而起作用的状态）。

若参照图4，则作为用于实现之前说明的设定机构83的功能的具体的结构例，在图4的冷却部件8中，采用中间流路85和第一以及第二塞86-1、86-2。

若参照图6以及图7，则为如下的构造：中间流路85具有用于朝向其流路内插入第一塞86-1的塞插入部85A，并且与构成端口对81的第一端口81A和第二端口82B连通。

第一塞86-1在塞插入部85A中以既定量朝向中间流路85内被插入，从而与其插入量对应而具有如下两个功能，具体地，作为防止自塞插入部85A的冷却介质的流出并且停止在中间流路85内的冷却介质的流动的机构（以下称为“截止塞”）的功能（参照图7），以及作为防止自塞插入部85A的冷却介质的流出并且容许在中间流路85内的冷却介质的流动的机构（以下称为“第一填充塞”）的功能（参照图6）。

第二塞86-2构成为能够拆装地被安装于构成端口对81的第一、第二端口81A、81B，并且在其安装时作为禁止经由第一、第二端口81A、81B的冷却介质的出入的机构（以下称为“第二填充塞”）而起作用。

若参照图4，则在图4的冷却部件8中，作为与设置真空泵P1的现场的冷却配管布局对应而使用的端口对而选择一个端口对81-1。在该情况下，在选择端口对81-1处，第一塞86-1作为前述的“截止塞”而起作用（参照图7）。另一方面，在非选择端口对81-2处，第一塞86-1作为前述的“第一填充塞”而起作用（参照图6），第二塞86-2作为前述的“第二填充塞”而起作用（参照图6）。

因而，相对于构成选择端口对81-1的第一以及第二端口81A、81B，经由管接头等连接外部配管，若从连接的外部配管例如相对于其第一端口81A供给冷却介质，则被供给的冷却介质流经第一管体82-1、构成非选择端口对81-2的第一以及第二端口81A、81B和连通连接它们的中间流路85、和第二管体82-2，最终地，从构成选择端口对81-1的第二端口81B被排出。

此时，在非选择端口81-2处，相对于构成非选择端口81-2的各端口81A、81B安装第二塞86-2，以及，插入中间流路85的塞插入部85A的第一塞86-1作为填充塞而起作用，从而禁止以下任一情况：使用构成非选择端口81-2的第一端口81A而从外部向冷却介质流路82内进行冷却介质的供给，使用其第二端口81B从冷却介质流路82内向外部进行冷却介质的排出，和从塞插入孔部85A的冷却介质的出入。

图5是在图4的冷却部件8中与设置真空泵P1的现场的冷却配管布局对应而变更了使用的端口对的例子的说明图。即，图5是作为使用的端口对，选择和在图4的例子中选择的一个端口对81-1不同的另外的端口对821-2而使用的例子。

在将选择/使用的端口对从图4的例子变更为像图5的例子那样的情况下，可以按照下述《顺序一》和《顺序二》进行作业。

《顺序一》

在图4的非选择端口对81-2中，将现在作为“第二填充塞”而起作用的第二塞86-2从第一以及第二端口81A、81B取下（参照图5）。并且，将该取下的第二塞86-2或者另外准备的第二塞86-2安装于构成图4的选择端口对81-1的第一以及第二端口81A、81B（参照图5）。

《顺序二》

在图4的非选择端口对81-2中，将现在作为“第一填充塞”而起作用的第一塞86-1设定为作为“截止塞”而起作用（参照图5）。并且，在图4的选择端口对81-1中，将现在作为“截止塞”而起作用的第一塞86-1设定为作为“第一填充塞”而起作用（参照图5）。

《冷却部件8的组装方式》

作为相对于螺纹槽排气部定子21的冷却部件8的具体的的组装方式，在图1的真空泵P1中，冷却部件8的特定构成要素（在图2的例子中，是端口对81和冷却介质流路82、在图4的例子中是端口对81、冷却介质流路82、以及中间流路85及其塞插入孔部85A）采用埋设在螺纹槽排气部定子21内的方式，但不被限定于该方式。关于相对于螺纹槽排气部定子21的冷却部件8的具体的组装方式，能够根据需要适当地进行变更。

例如，可以像图8所示的真空泵P2那样采用下述方式：将螺纹槽排气部定子21的一部分作为另外部件（冷却介质套30）而构成，在设置于该另外部件（冷却介质套30）的槽部30A处设置如前所述的冷却部件8的特定构成要素。

《作用效果》

在以上说明的实施方式的真空泵及其冷却部件中，采用了端口对沿外装框体的周向方向设置多个这样的结构。为此，在设置真空泵的现场中，从多个端口对中选择与现场的冷却配管布局对应的一个端口对，相对于选择的端口对连接对应的冷却配管即可，所以在能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业这一点上，使用方便性优异。

本发明不被限定于以上说明的实施方式，在本发明的技术构思内，能够由在该领域具有通常的知识的人进行多种变形。

附图标记

1 外装框体

1A 泵壳体

1B 泵基座

2 旋转体

3 支承机构

4 驱动机构

5 吸气口

6 排气口

7 气体的流路

7A 叶片间排气流路

7B 螺纹槽排气流路

7C 泵内排气口侧流路

8 冷却部件

81 端口对

81A 第一端口

81B 第二端口

82 流路（冷却介质流路）

82-1 第一管体

82-2 第二管体

83 设定机构

9 排气端口

10 定子柱

12 旋转轴

13 径向磁性轴承

14 轴向磁性轴承

15 驱动马达

16 翼排气段

16-1 最上级的翼排气段

16-n 最下级的翼排气段

17 螺纹槽泵段

18 旋转翼

19 固定翼

20 固定翼衬垫

20E 最下级的固定翼衬垫

21 螺纹槽排气部定子

22 螺纹槽

30 冷却介质外套

30A 槽部

C1 外装框体的周向方向

CN 管接头

GE 最终间隙

P1、P2 真空泵。

Claims (4)

1.一种真空泵，是借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有：

外装框体，收纳前述旋转体；

冷却部件，被配置在前述外装框体的外周，

前述冷却部件具备：

多个端口对，由第一以及第二端口构成；

冷却介质的流路，与前述多个端口对的前述各端口连通；

设定机构，设定前述多个端口对的使用形态，

前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，

在构成前述各端口对的前述第一以及第二端口间，前述流路不连通，

前述设定机构为，在前述多个端口对之中，关于某个被选择的一个端口对，构成该端口对的第一以及第二端口使得能够从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、从该流路内向外部进行冷却介质的排出，从而作为前述冷却介质的出入口起作用，另一方面，关于在此之外的没有被选择的其他端口对，设定为通过将构成该端口对的前述第一以及第二端口连通连接而作为前述流路的一部分起作用。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

作为前述设定机构采用连接管，

在前述多个端口对中，使用某个被选择的一个端口对而从外部向前述流路内进行冷却介质的供给以及从前述流路内向外部进行冷却介质的排出的情况下，通过将前述连接管安装于没有被选择的其他的端口对，使构成前述其他的端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

作为前述设定机构采用中间流路和第一以及第二塞，

前述中间流路构成为具有用于插入前述第一塞的塞插入孔部，并且将构成前述多个端口对的前述第一端口和前述第二端口连通连接，

前述第一塞以既定量被插入到前述中间流路的前述塞插入孔部，与该插入量对应而具备下述功能：作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出并且截断在前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能，以及、作为防止自前述塞插入孔部的冷却介质的流出并且维持在前述中间流路内的冷却介质的流动的机构的功能，

前述第二塞被能够拆装地安装于构成前述多个端口对的前述第一、第二端口，在其安装时，作为禁止经由前述第一、第二端口的冷却介质的出入的机构而起作用。

4.一种真空泵的冷却部件，是被配置在真空泵的外装框体外周的真空泵的冷却部件，其特征在于，

具备：

多个端口对，由第一以及第二端口构成；

冷却介质的流路，与前述多个端口对的各端口连通；

设定机构，设定前述多个端口对的使用形态，

前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，

在构成前述各端口对的前述第一以及第二端口间，前述流路不连通，

前述设定机构为，在前述多个端口对之中，关于某个被选择的一个端口对，构成该端口对的第一以及第二端口使得能够从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、从该流路内向外部进行冷却介质的排出，从而作为前述冷却介质的出入口起作用，另一方面，关于在此之外的没有被选择的其他端口对，设定为通过将构成该端口对的前述第一以及第二端口连通连接而作为前述流路的一部分起作用。

Images