CN100406139C

CN100406139C - 涂布装置

Info

Publication number: CN100406139C
Application number: CNB2005101202622A
Authority: CN
Inventors: 高村幸宏; 增市干雄; 松家毅; 铃木聪; 西牟田浩史
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Skilling Group; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2004-12-27
Filing date: 2005-11-09
Publication date: 2008-07-30
Anticipated expiration: 2025-11-09
Also published as: KR100725824B1; CN1796001A; TW200621380A; TWI295196B; JP2006181410A; JP4573645B2; KR20060074821A

Abstract

本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。

Description

涂布装置

技术领域

本发明涉及一种涂布装置，特别是涉及一种从喷嘴向载置于载物台上的基板排出液柱状态的涂布液来进行涂布的涂布装置。

背景技术

一直以来，都在对向基板等被处理物体涂布涂布液的涂布装置进行各种开发。例如，如JP特开2003-31460号公报(以下，记载为专利文献1)公开那样地，在向基板涂布涂布液时，为了回收涂布在基板外的涂布液或是无用的涂布液，在基板外缘部设置有接液部。在上述专利文献1公开的接液部，被沿着基板外缘设置，以便能够回收更多的显影液。

此外，也在开发在从喷嘴排出涂布液的同时，连续地、一气呵成地在基板涂布涂布液的涂布装置。例如，在制造有机EL显示装置的装置中，将有机EL材料以规定的图案形状喷嘴涂布到载置于载物台上的玻璃基板等的基板的主面。此时，在喷嘴移动到基板外时接受涂布液的接液部设置在基板外。

如图11所示，有机EL显示装置的制造装置具有：载置接受红、绿、以及蓝色的有机EL材料的涂布的玻璃基板P的载物台101、排出红色的有机EL材料的红色用喷嘴102、排出绿色的有机EL材料的绿色用喷嘴103、排出蓝色的有机EL材料的蓝色用喷嘴104、以及回收排到基板P外的有机EL材料的接液部105。作为红、绿和蓝色的有机EL材料，可以使用如具有流动程度的粘性的有机性EL材料，以便其能在条纹状地形成于基板P上的槽内扩展。并且，以规定的压力以及流量，从喷嘴102～104以直线棒状(以下，记载为液柱状态)排出有机EL材料，涂布在基板P上。另外，接液部105设置在基板P的两边外侧(图11中，只表示一边)，且上面开口。

喷嘴102～104在并列设置的状态下由保持构件(未图示)支承着，该保持构件和载物台101，通过有机EL显示装置的制造装置的各驱动机构来工作。驱动机构在横穿基板P的规定方向(形成于基板P的条纹状的槽的方向，图示箭头F方向)上，使支承喷嘴102～104的保持构件做往复移动。此时，驱动机构从设置在基板P一侧边缘外侧的接液部105的上部空间，到横穿基板P设置在基板P的另一侧边缘外侧的接液部105的上部空间之间，使上述保持构件做往复移动。此外，在上述保持构件配置在接液部105的上部空间时，使载物台101在与上述喷嘴往复移动方向垂直的规定方向(垂直于纸面的方向)上，只移动规定的间距。这样的驱动机构动作的同时，通过从喷嘴102～103，以液柱状态排出有机EL材料，红、绿和蓝色的有机EL材料以红、绿、蓝色的顺序排列在条纹状的每一个槽内，在基板P上形成所谓的条纹排列。

但是，在向设置于基板P外的接液部105排出液柱状态的涂布液的情况下，有下述的问题。由于喷嘴102～104与接液部105的距离h1+h2变长，呈液柱状态的涂布液，因为表面张力而被液滴化。例如，虽然可以将从喷嘴102～104的前端部到基板P上面之间的距离h1设定为0.25～0.50mm左右的能够保证液柱状态的距离，但是，如果距离h1+h2为20mm左右的情况下，只调整排出压力和流量很难防止液滴化。此外，在喷嘴102～104向图示F方向高速移动的情况下，相应于该速度，已经液滴化了的涂布液进一步分裂成细微的雾状。并且，高速移动的喷嘴102～104的背后空间变为负压，导致成为了雾状的涂布液在喷嘴102～104的附近飞扬。其结果，在基板P外产生的雾状的涂布液，落下到基板P上并附着在上面，成为涂布不良的原因。

此外，即使在上述有机EL显示装置的制造装置采用了设置于基板附近的上述专利文献1的接液部，因为为了尽可能多的进行回收而开放了接液部的上面、或是扩大了接液口，在接液部内部发生相同的液滴化和雾化，所以发生同样的问题。

发明内容

由此，本发明的目的在于提供一种涂布装置，其在向基板涂布液柱状态的涂布液时，排出到基板外的涂布液不影响该基板。

为了达成上述目的，本发明具有以下所述的特征。

第一局面：本涂布装置是将垂直向下方向的成为直线棒状的液柱状态的涂布液排出在基板上，涂布该涂布液的涂布装置。涂布装置具备喷嘴、载物台、喷嘴移动机构和接液部。喷嘴从其前端部以液柱状态排出涂布液。载物台在其上面载置基板。喷嘴移动机构在载物台上的空间，使喷嘴在横贯该载物台面的方向上做往复移动。接液部在喷嘴移动机构使喷嘴沿着横贯方向在从台上偏离的位置移动时，接受从该喷嘴排出到载物台外的涂布液。接液部的上面形成有在从沿横贯方向配置在从载物台上偏离的位置的喷嘴的前端部向下方垂直的位置与其横穿方向平行的狭缝状的开口，通过该开口，回收从喷嘴排出的液柱状态的涂布液。

第二局面：上述第一局面中，形成于接液部的开口形成在比从喷嘴排出的涂布液从液柱状态开始分裂的高度更靠近该喷嘴侧的位置。

第三局面：上述第一局面中，接液部被设置在载物台侧面附近。形成于接液部的开口形成在比载物台的上面更靠下方的位置。

第四局面：上述第三局面中，基板以架设于形成了开口的接液部的上面的一部分的上方的方式，载置在载物台上。

第五局面：上述第一局面中，涂布装置具备多个喷嘴。喷嘴移动机构使多个喷嘴在横穿方向一体地进行往复移动。形成于接液部的上面的开口是在从沿横贯方向配置在从载物台上偏离的位置的多个喷嘴的前端部向下方垂直的位置与其横穿方向平行的狭缝状的开口，并形成为使从多个喷嘴排出的所有的液柱状态的涂布液同时通过的形状。

第六局面：上述第一局面中，涂布装置在载物台上对置的2个侧面附近分别具有沿横穿方向的2个接液部。载物台能够在相对横穿方向垂直的水平方向移动。

根据上述第一局面，由于接液部的上面没有开放、而形成了让以液柱状态排出的涂布液通过的狭缝状的开口，所以可以防止排出到接液部内的涂布液再次向外部飞扬。因此，排出到载物台外的涂布液，不会落下并附着到载置于该载物台的基板上，可以防止涂布不良。

根据上述第二局面，由于可以用设置于载物台外的接液部，回收保持原状的液柱状态的涂布液，所以涂布液不会液滴化或雾化，可以防止液滴化或雾化的涂布液返回基板上。

根据上述第三局面，在可靠地回收排出到载物台外的涂布液的同时，可以防止载置于载物台上的基板与接液部的干涉。

根据上述第四局面，由于基板叠加并载置在接液部的上面的一部分，所以可以可靠地回收排出到基板外的涂布液。

根据第五局面，即使在使用多个喷嘴，同时向基板涂布涂布液的装置中，也可以防止排出到接液部内的涂布液再次向外部飞扬。因此，排出到载物台外的涂布液，不会落下并附着到载置于该载物台上的基板上，可以防止涂布不良。

根据第六局面，使沿横穿载物台的方向排出涂布液的喷嘴移动到一个接液部上之后，使载物台移动规定量，使沿横穿载物台的方向排出涂布液的喷嘴移动到另一个接液部上，通过反复进行上述动作，就可以对基板面条纹状地涂布涂布液。

本发明的这些和其他目的，特征，局面，效果，对照附图，可以从以下的详细说明就进一步明确。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式涉及的有机EL显示装置的制造装置1的要部概略结构的俯视图和主视图。

图2是表示图1的有机EL显示装置的制造装置1的控制功能的方块图。

图3是表示图1的接液部53的结构的立体图。

图4是关于接液部53的一部分的、从B方向看到的图3的A-A剖面的剖面图。

图5是从图3的D方向看到的接液部53的侧面概要图。

图6是表示从图1的喷嘴521～523排出的有机EL材料与接液部53的位置关系的立体图。

图7是表示图1的喷嘴521～523移动时与接液部53之间的位置关系的立体图。

图8是用于说明狭缝部533的其它例子的、从B方向看到的图3的A-A剖面的剖面图。

图9是用于表示图3的局部排气部535的其它例子的、从D方向看到的侧面概要图。

图10是用于表示图3的局部排气部535的其它例子的、从D方向看到的侧面概要图。

图11是表示以往的有机EL显示装置的制造装置的喷嘴102～104与接液部105之间的位置关系的侧面概要图。

具体实施方式

下面，参照附图，针对本发明一个实施方式涉及的涂布装置进行说明。为了具体的进行说明，以该涂布装置适用于制造有机EL显示装置的装置为例，进行下面的说明。制造有机EL显示装置的装置是向载置于载物台上的玻璃基板上，以规定的图案形状涂布有机EL材料来制造有机EL显示装置的装置。图1是表示有机EL显示装置的制造装置的要部概略结构的俯视图和主视图。

图1中，有机EL显示装置的制造装置1大致具有基板载置装置2和有机EL涂布机构5。有机EL涂布机构5具有喷嘴移动机构部51、喷嘴单元52和接液部53。喷嘴移动机构部51载沿图示X轴方向上延伸设置导向构件511，使喷嘴单元52沿导向构件511在图示X轴方向移动。喷嘴单元52以并列设置的状态保持分别排出红、绿和蓝色的有机EL材料的喷嘴521～523。分别从供给部(参照图2)向各喷嘴521～523供给红、绿和蓝色的有机EL材料。

基板载置装置2具有载物台21、旋转部22、平行移动工作台23、接受导向部24和导向构件25。载物台21将成为被涂布体的玻璃基板等的基板P载置在该载物台上面。载物台21的下部通过旋转部22支承着，通过旋转部22的转动动作，在图示θ方向载物台21可自由转动。此外，在载物台21的内部设置有加热机构，该加热机构用于在台面上对涂布了有机EL材料的基板P进行预加热处理。

以通过有机EL涂布机构5的下方的方式，导向构件25沿与上述X轴方向垂直的图示Y轴方向延伸设置并固定。在平行移动工作台23的下面，固定设置有与导向构件25接触并在导向构件25上滑动的接受导向部24。此外，在平行移动工作台23的上面，固定设置有旋转部22。由此，如平行移动工作台23可以接受来自直线电动机(未图示)的驱动力，沿着导向构件25的图示Y轴方向移动，从而也可以移动由旋转部22支承的载物台21。

在载物台21上载置基板P，在平行移动工作台23移动到有机EL涂布机构5的下方时，该基板P处于从喷嘴521～523接受红、绿和蓝色的有机EL材料的涂布的位置。并且，控制部(参照图2)，以使喷嘴单元52在X轴方向做往复移动的方式控制喷嘴移动机构部51，以使载物台21每次在Y轴方向直线移动仅移动规定的间距的方式控制平行移动工作台23，从喷嘴521～523排出规定流量的有机EL材料。此外，在喷嘴521～523的X轴方向排出位置，在脱离载置于载物台21的基板P的两边空间中，分别固定设置有接收偏离基板P而排出的有机EL材料的接液部53L和53R。喷嘴移动机构部51使喷嘴单元52在从配置在基板P的一侧边缘外侧的接液部53的上部空间，到横穿基板P并配置在基板P的另一侧边缘外侧的接液部53的上部空间之间做往复移动。此外，平行移动工作台23，在喷嘴单元52配置在接液部53的上部空间时，使载物台21在与喷嘴往复移动方向垂直的规定方向(图示Y轴方向)仅移动规定的间距。这种喷嘴移动机构部51和平行移动工作台23动作的同时，通过从喷嘴521～523以液柱状态排出有机EL材料，红、绿和蓝色的有机EL材料，按红、绿、蓝色的顺序排列在形成于基板P的条纹状的各槽内，在基板P上形成所谓的条纹排列。

接着，参照图2，针对有机EL显示装置的制造装置1的控制功能的概略结构进行说明。另外，图2是表示有机EL显示装置的制造装置1的控制功能的方块图。

图2中，有机EL显示装置的制造装置1除上述的结构部以外，还具有控制部3、第一供给部54a、第二供给部54b、和第三供给部54e。第一供给部54a向红色用喷嘴521供给红色有机EL材料。第二供给部54b向绿色用喷嘴522供给绿色有机EL材料。第三供给部54c向蓝色用喷嘴523供给蓝色有机EL材料。第一供给部54a具有红色有机EL材料的供给源541a、用于从供给源541a取出红色有机EL材料的泵542a、检测出红色有机EL材料的流量的流量计543a、用于除去红色有机EL材料中的异物的过滤器544a。此外，第二供给部54b具有绿色有机EL材料的供给源541b、用于从供给源541b取出绿色有机EL材料的泵542b、检测出绿色有机EL材料的流量的流量计543b、用于除去绿色有机EL材料中的异物的过滤器544b。进而，第三供给部54c具有蓝色有机EL材料的供给源541c、用于从供给源541c取出蓝色有机EL材料的泵542c、检测出蓝色有机EL材料的流量的流量计543c、用于除去蓝色有机EL材料中的异物的过滤器544c。并且，控制部3控制第一～第三供给部54a～54c、旋转部22、平行移动工作台23和喷嘴移动机构部51的各个动作。

在接受红、绿和蓝色的有机EL材料的涂布的基板P的表面，以多条并列设置的方式形成有对应于应涂布的各个颜色的有机EL材料的规定图案形状的条纹状的槽。作为红、绿和蓝色的有机EL材料，可以使用例如具有流动程度的粘度的有机性EL材料，以便其能在基板P上的槽内扩展，具体来说，可以使用每种颜色的高分子类型的有机EL材料。喷嘴单元52绕规定的支承轴可自由转动地被支承着，通过控制部3的控制，使其绕该支承轴转动，从而可以调整各个颜色的涂布间距间隔。另外，喷嘴521～523中的用于排出有机EL材料的孔径，比形成于基板P的槽的宽度小数十μm左右，例如，10～70μm。

控制部3基于载置于载物台21的基板P的位置或方向，以形成于基板P的槽的方向为上述X轴方向的方式调整旋转部22的角度，算出涂布开始点、即在形成于基板P的槽的一个端部侧开始涂布的涂布开始位置。另外，上述涂布开始位置成为一个接液部53的上部空间。并且，控制部3如上所述那样地驱动平行移动工作台23和喷嘴移动机构部51。

在上述涂布开始位置，控制部3指示各个泵542a～542c开始从各个喷嘴521～523排出有机EL材料。此时，控制部3相应于喷嘴521～523的移动速度控制其涂布量，并反馈从流量计543a～543c得到的流量信息来进行控制，以便条纹状的槽的各个点的有机EL材料的涂布量变得均匀，以液柱状态排出有机EL材料。并且，为了向基板P上的槽内注入有机EL材料，控制部3控制喷嘴单元52沿导向构件511移动，使得有机EL材料沿着基板P上的槽注入到此槽内。根据此动作，以液柱状态排出的红、绿和蓝色的有机EL材料同时注入到各自的槽中。

控制部3，当喷嘴单元52横穿基板P而位于固定设置在另一侧端部的外侧的另一个接液部53上时，保持从喷嘴521～523继续排出有机EL材料的状态下，停止由喷嘴移动机构部51引起的喷嘴单元52的移动。通过这一次移动，完成向3列槽的有机EL材料的涂布。

接着，控制部3，将平行移动工作台23沿Y轴方向只进给3列槽的间距，然后向接下来3列槽进行有机EL材料的涂布。并且，控制部3，从另一侧的接液部53的上部空间开始，使喷嘴单元52向相反方向横穿基板P而位于一侧的接液部53上的位置时，保持从喷嘴521～523继续排出有机EL材料的状态下，停止由喷嘴移动机构部51引起的喷嘴单元52的移动。通过这第二次的移动，完成向接下来3列槽的有机EL材料的涂布。通过重复这样的动作，各个颜色的有机EL材料被注入到每个槽内。这样一来，红、绿和蓝色的有机EL材料，按红、绿、蓝色的顺序排列在形成于基板P的条纹状的每个槽里，形成所谓的条纹排列。

接下来，参照图3～图7，针对接液部53进行说明。另外，图3是表示接液部53结构的立体图。图4是关于接液部53的一部分的、从B方向看到的图3的A-A剖面的剖面图。图5是从图3的D方向看到的接液部53的侧面概要图。图6是表示从喷嘴521～523排出的有机EL材料与接液部53的位置关系的立体图。图7是表示喷嘴521～523移动时与接液部53的位置关系的立体图。另外，相对于载物台21位于两边的接液部53L和接液部53R(参照图1)，具有以载物台21为对称的相同的结构，图3和图5～图7中，将其中一个作为接液部53来表示。

在图3，接液部53具有下段接受部531、上段箱部532、狭缝部533、上段支承构件534和局部排气部535。

下段接受部531例如连接到喷嘴移动机构部51，与喷嘴移动机构部51的位置关系为通常固定那样地固定设置着。下段接受部531具有其上面开放的箱形状，其一部分架设在载物台21的下部那样地设置着。排出到下段接受部531内部的有机EL材料，经由从其最下位置流出的液道(未图示)，由排液容器(未图示)回收。此外，在下段接受部531内部，设有吸引载物台21侧面附近空间气体的局部排气部535。进而，在下段接受部531的上端面，固定设置有支承上段箱部532的上段支承构件534。

上段箱部532被上段支承构件534支承，并固定设置在下段接受部531的上部空间。上段箱部532有开放了上面的箱形状，以覆盖其上面的方式设置有狭缝部533来闭合上段箱部532。狭缝部533形成有长度开口方向为图示X轴方向的细宽度(例如，1～3mm)的狭缝开口部533a。如图4所示，狭缝部533像上段箱部532的盖那样地安装着，并且能从上段箱部532取下那样地被嵌入。并且，当狭缝部533安装于上段箱部532时，狭缝开口部533a就具有上段箱部532的内部空间与外部空间的开孔的作用。此外，排出到上段箱部532内部的有机EL材料，经由从其最下位置流出的液道(未图示)，向下段接受部531内部流动。

狭缝部533的上面与载物台21的上面大致相同的高度(参照图5的高度d)地固定设置。上段箱部532和狭缝部533的载物台21侧前端部，在该载物台21附近形成规定的间隙(参照图5的间隙a)地被固定设置。并且，在狭缝部533的上面，对于从载物台21的侧面向图示X轴方向的一部分露出那样地(参照图5的长度b)载置的基板P(图3中表示为虚线)，这一部分叠加(参照图5的叠加长度c)配置。

在图5中，上段箱部532和狭缝部533的载物台21侧前端部被设置成与载物台21侧面形成间隙a。此间隙a是为了使载物台21和上段箱部532和狭缝部533不会因向载物台21的图示Y轴方向的平行移动动作或旋转部22的转动动作干涉而设置，例如为4mm。此外，基板P对于载物台21的端面在接液部53一侧仅露出长度b地载置。长度b以狭缝部533的上面和基板P仅叠加长度c的方式被设置，b＝a+c，例如长度b＝5mm，叠加长度c＝1mm。虽然为了防止从基板P的端部向下方的泄漏，狭缝部533的上面，最好与载物台21的上面设置为同一高度，但是为了如上所述那样地平行移动和转动载置于载物台21的基板P，就需要防止基板P的下面与狭缝部533的上面的干涉。为此，狭缝部533的上面设置为仅比载物台21的上面低高度d，例如高度d＝0.5～2.0mm。如果以狭缝部533的上面配置在从喷嘴521～523排出的有机EL材料从液柱状态开始分裂的高度的上方位置的方式来设定高度d的话，就可以获得本发明的效果。

另外，虽然说明了为了防止基板P的下面与狭缝部533的上面的干涉，狭缝部533的上面设置为仅比载物台21的上面低高度d的例子，但是在不期待这种效果的情况下，狭缝部533的上面即使设置为比载物台21的上面高的高度也没关系。只要狭缝部533的上面设置得比喷嘴521～523的前端部低的话，就可以获得本发明的效果。

接着，参照图6，针对喷嘴521～523与接液部53之间的位置关系进行说明。另外，在图6，主要表示了喷嘴521～523、接液部53和基板P，而省略表示其它的部位。如上所述，在对基板P涂布有机EL材料时，在涂布开始和结束时刻、或者X轴方向折返时刻等，喷嘴521～523配置在接液部53的上部空间。此时，喷嘴521～523，向接液部53的上面排出液柱状态的有机EL材料。

在喷嘴521～523移动到接液部53的上部空间时，从该喷嘴521～523排出的有机EL材料通过狭缝开口部533a在上段箱部532的内部被接受那样地设置有接液部53。就是说，喷嘴521～523向X轴方向走到基板P外时，包括所有该喷嘴521～523的前端部(排出口)的正下方位置那样地形成有狭缝开口部533a。因此，喷嘴521～523的移动方向(X轴方向)与狭缝开口部533a的长度形成方向(X轴方向)是平行的，在相对于喷嘴521～523的前端部的图示Z轴向下方向形成有狭缝开口部533a。在此，为了向沿X轴方向并列设置的3列槽同时涂布有机EL材料，喷嘴521～523，向图示Y轴方向错离一些(例如，0.36mm)地被配置。狭缝开口部533a，具有让从这些喷嘴521～523以液柱状态排出的有机EL材料完全通过的宽度，例如以1～3mm的宽度形成。

在此，将从喷嘴521～523的前端部到基板P上面的距离设定为能够保证液柱状态的距离，以便向基板P的有机EL材料的涂布一边保持液柱状态一边向基板P排出。另一方面，如上所述，狭缝部533的上面设定为比载物台21的上面仅低一些，基板P的上面与狭缝部533的上面之间的高度差设定为非常小。具体来说，基板P的厚度+高度d(参照图5)为双方的高低差。因此，由于基板P与狭缝部533上面的高低差极小，如果调整来自喷嘴521～523的排出压力或流量，有机EL材料就能够在保持液柱状态的状态下通过狭缝开口部533a。就是说，在基板P外排出的有机EL材料未液滴化的状态下，在狭缝部533和上段箱部532就可以回收。此外，由于上段箱部532的上面被狭缝部533挡住，且该狭缝部533仅狭缝状地开口以液柱状态排出的有机EL材料通过的部分，所以排出在上段箱部532内的有机EL材料不会再次向外部飞扬，而会向下段接受部531流动。

此外，如图6所示，当喷嘴521～523配置在接液部53的上部空间时，不久喷嘴521～523就向为X轴方向的图示C方向高速移动(图7)。如图7所示那样，在喷嘴521～523从接液部53的上部空间向图示C方向移动时，从该喷嘴521～523排出的有机EL材料，到排出到基板P上为止，全部以液柱状态通过狭缝开口部533a并回收到上段箱部532。在此，喷嘴521～523向图示C方向高速移动的情况下，如果有液滴化了的有机EL材料，会进一步分裂成细微的雾状，导致在喷嘴521～523的背后产生的负压的影响下成为雾状的有机EL材料在喷嘴521～523的附近飞扬。虽然如此，排出到基板P外的有机EL材料，由于全部以液柱状态回收到上段箱部532，所以不会发生这种飞扬。

这样，本实施方式涉及的涂布装置，因为可以在设置于基板外的接液部回收处于液柱状态的涂布液，涂布液不会发生液滴化和雾化。因此，排出到基板外的涂布液不会落下并附着在基板上，可以防止涂布不良。

另外，如图5所示，由于在基板P的下面与狭缝部533的上面之间形成高度d的间隙，所以才有排出到狭缝开口部533a和基板的P端面附近的有机EL材料，通过该间隙向载物台21的侧面方向流出的可能性。虽然如此，在下段接受部531内部设置有吸引载物台21侧面附近空间的气体的局部排气部535(参照图3)，可以吸引并回收这种未能回收到上段箱部532的有机EL材料。

此外，由于上段箱部532的内部嵌入了可拆卸的狭缝部533，通过用户拆卸狭缝部533，可以容易地清扫上段箱部532的内部。虽然如此，为了自动进行这种维护作业，也可以使洗净用的漂洗液从未图示的流入通路向上段箱部532的内部适当的流动。通过使这种漂洗液在上段箱部532内流动，可以获得上述自动洗净效果之外，还有排出到上段箱部532内的有机EL材料与漂洗液混合并很难再次向外部流出的效果。

此外，图8是用于说明狭缝部533的其它例子的、从B方向看到的图3的A-A断面的剖面图。如图8所示，在形成于狭缝部533的狭缝开口部533a，也可以形成向下折返部533b。由此，进一步可以得到排出到上段箱部532内的有机EL材料很难再次向外部流出的效果。

此外，在上述实施方式中，虽然以有机EL显示装置的制造装置为例进行了说明，但是，只要是在基板上涂布液柱状态的涂布液的装置，本发明也是可以适用于其他装置的。例如，也可以适用于在基板涂布抗蚀液或SOG(Spin OnGlass：旋涂玻璃)液，甚至涂布空穴输送层的装置。

此外，在上述实施方式中，虽然检测出向喷嘴521～523的有机EL材料的流量来反馈控制排出有机EL材料的流量，但是也可以用压力传感器等压力检测装置检测出有机EL材料的压力，反馈控制从喷嘴521～523排出的有机EL材料的流量。

此外，在上述实施方式中，虽然对应基板P的下面与狭缝开口部533a的上面之间的高度d(参照图5)，设置有局部排气部535(参照图3)，但是也可以如图9所示那样地构成局部排气部535a。即，在高度d的间隙，非常靠近地配置局部排气部535a的吸引开口。例如，沿着上段箱部532的载物台部21侧的侧面，在与载物台部21之间，朝向上方延伸设置局部排气部535a的配管。由此，可以可靠地回收在上段箱部532未能回收的有机EL材料。在此，如上所述的间隙a是为了防止由载物台21向图示Y轴方向的平行移动动作和旋转部22的转动动作而产生的干涉设置的，因此，在将局部排气部535a设置在载物台部21与上段箱部532的侧面之间的情况下，将局部排气部535a与载物台部21之间的间隙设为间隙a。就是说，确保相同叠加长度c的情况下，也可以考虑用于设置局部排气部535a的空间来设定上述长度b是不言而喻的。

此外，对应基板P的下面与狭缝部533的上面之间的高度d，也可以如图10所示那样地构成局部排气部535b。如图10所示那样，薄壁状地形成上段箱部532的载物台部21侧底部和侧部，沿其薄壁状了的底部配设局部排气部535b的配管，在高度d的间隙非常靠近地配置局部排气部535b的吸引开口。由此，可以可靠地回收在上段箱部532未能回收的有机EL材料。

此外，在上述实施方式中，虽然用红、绿和蓝色用的3个为1组的喷嘴521～523向基板P的各槽内注入有机EL材料，但是也可以设置多组这种3个为1组的喷嘴521～523向基板P的各槽内注入有机EL材料。此时，只要分别设置对应于各喷嘴的组向X轴方向动作的位置的接液部53，就可以在缩短涂布处理花费时间的同时，获得本发明的效果。

本发明涉及的涂布装置，可以可靠地回收排出到作为被涂布体的基板的外部的涂布液，对向基板涂布液柱状态的涂布液的装置等是有用的。

以上，详细地说明了本发明，但是上述的说明只不过是本发明例示的几点，并不仅限于此范围。只要不脱离本发明的范围，可以进行各种各样的改良和变形是不言而喻。

Claims

1.一种涂布装置，将向下垂直方向的成为直线棒状的液柱状态的涂布液排出在基板上，来涂布该涂布液，其特征在于，具有：

喷嘴：从其前端部以上述液柱状态排出上述涂布液，

载物台：将上述基板载置在其上面，

喷嘴移动机构：在上述载物台上的空间，使上述喷嘴在横穿该载物台面的方向进行往复移动，

接液部：在上述喷嘴移动机构使上述喷嘴沿着上述横穿方向移动到从上述载物台上偏离的位置时，接受从该喷嘴排出到上述载物台外的上述涂布液；

在上述接液部的上面形成有狭缝状的开口，该开口在从沿上述横穿方向配置在从载物台上偏离的位置上的上述喷嘴的前端部向下方垂直的位置与该横穿方向平行，通过该开口，回收从上述喷嘴排出的液柱状态的涂布液，

形成在上述接液部的开口形成于比从上述喷嘴排出的涂布液从上述液柱状态开始分裂的高度更靠近该喷嘴侧的位置。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，上述接液部设置在上述载物台侧面附近；形成在上述接液部的开口形成在比上述载物台的上面稍微靠下方的位置。

3.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，上述基板以架设在形成了上述开口的上述接液部上面的部分上方的方式，载置在上述载物台上。

4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，上述涂布装置具有多个上述喷嘴；上述喷嘴移动机构使上述多个喷嘴在上述横穿方向一体地进行往复移动；形成在上述接液部上面的上述开口是在从沿上述横穿方向配置在从载物台上偏离的位置上的上述多个喷嘴的前端部向下方垂直的位置，与该横穿方向平行的狭缝状的开口，且形成为使从上述多个喷嘴排出的所有的液柱状态的涂布液同时通过的形状。

5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，上述涂布装置在上述载物台对置的2个侧面附近，沿上述横穿方向分别具有2个上述接液部，上述载物台可以在相对上述横穿方向垂直的水平方向移动。