CH693684A5 - Heizbares Tellerventil. - Google Patents

Description

  



   Die vorliegende Erfindung betrifft ein Tellerventil gemäss Oberbegriff des Anspruchs 1. Dieses wird verwendet, um physikalische oder chemische Geräte oder Vorrichtungen mit einem Arbeitsmedium, beispielsweise ein Reaktionsgas, zu speisen, oder für die Druckreduktion einer Vakuumkammer verwendet wird, in welcher derartige Reaktionsgase eingesetzt werden. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein heizbares Tellerventil, welches derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Heizung verhindert werden kann, dass Substanzen des Arbeitsmediums am Tellerventil haften bleiben. 



  In Vorrichtungen zur Herstellung von Halbleitern wird beispielsweise ein Reaktionsgas mit hohen Temperaturen verwendet. Dieses wird für eine chemische Bearbeitung, wie Ätzen, verwendet, und in eine Vakuumkammer gebracht. Um das Reaktionsgas zu fördern oder um den Druck in der Vakuumkammer zu reduzieren wird ein Tellerventil verwendet. Wenn die Temperatur des Reaktionsgases gesenkt wird, werden Restsubstanzen abgelagert, welche an verschiedenen Ventilteilen, beispielsweise an Bälgen oder ähnliche Teilen im Innern des Tellerventils, haften, wodurch die \ffnungs-/Schliessgenauigkeit des Tellerventils beeinträchtigt wird. Deshalb ist es bei einem solchen Tellerventilen wichtig, dass dieses derart aufgebaut ist, dass die Ablagerung von Restsubstanzen aus dem Arbeitsmedium oder das Haften derselben an den Ventilteilen oder Ähnlichem möglichst verhindert wird. 



  Aus diesen Gründen sind heizbare Tellerventile bekannt, mit denen das Innere des Ventilgehäuses und/oder die Ventilteile mithilfe einer Heizvorrichtung beheizbar sind, um die Haftung von Restsubstanzen zu vermindern. Im japanischen Patent mit der Publikationsnummer 3 005 449 wird ein Tellerventil offenbart, in welchem ein Heizband um eine äussere Fläche eines Gehäuses gewickelt ist und ein Heizstab an einem Ventilteil zum \ffnen oder Schliessen des Strömungswegs über das Innere eines hohlen Stabs, welcher aus dem Ventilteil ragt, befestigt ist. Ebenso wird im japanischen Patent Nr. 3 012 831 ein Tellerventil beschrieben, bei welchem eine elastisches Heiz-element ("rubber heater") an einer äusseren Fläche eines Gehäuses befestigt ist und ein anderes Heizelement an der äusseren Peripherie eines zy-lindrischen Haltekörpers integral an dem Ventilteil -befestigt ist.

   Ausserdem ist in der Publikation JP-A-11-82 807 ein Tellerventil beschrieben, bei welchem ein elastisches Heizelement an einer äusseren Fläche eines Gehäuses befestigt ist und ein flexibles Heizelement im Innern eines im Ventilteil integrierten hohlen Stabes gelagert ist. 



   Diese bekannten Tellerventile, bei denen ein Heizelement zum Heizen des Ventilteils oder des bewegbaren Ventilstabs befestigt ist, haben den Nachteil, dass das Gewicht, des gesamten beweglichen Teils inklusive des Ventiltellers oder des Ventilstabs, wegen des daran befestigten Heizelements, erhöht ist, sodass die zum \ffnen/Schliessen den Ventils benötigte Antriebskraft nicht nur entsprechend erhöht werden muss, sondern auch die Reaktionsfähigkeit verschlechtert wird. Darüber hinaus erweist es sich als Nachteil, dass die durch jede Schliess-/\ffnungsbewegung des Tellerventils erzeugten Schläge, die direkt auf das Heizelement übertragen werden, dazu führen, dass sich das Heizelement löst oder leicht bricht.

   Darüber hinaus erweist es sich als weiterer Nachteil, dass durch das ständige Beheizen des Tellerventils, auch bei geringem Durchfluss des Arbeitsmediums, die Heizeffizienz gering ist und die elastischen Dichtungselemente, durch die thermische Belastung, schneller altern. 



  Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Tellerventil mit einem Heizelement zu schaffen, welches Ventil einen effizienten und sinnvollen Aufbau aufweist und die oben beschriebenen bekannten Probleme löst, in dem eine Anordnung verwendet wird, bei welcher ein Heizelement zum Heizen des Ventiltellers an einer festen Stelle innerhalb des Ventilgehäuses vorgesehen ist, ohne das Heizelement am Ventilteller, am Ventilstab oder an ähnlichen bewegbaren Teilen zu befestigen, und gleichzeitig den Transfer von so viel Wärme wie benötigt zum Ventilteller zu ermöglichen. 



  Erfindungsgemäss wird das obige Problem durch ein Tellerventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Insbesondere wird ein Tellerventil mit einem Heizelement geschaffen, welches umfasst: ein Ventilgehäuse mit einer ersten Hauptöffnung und einer zweiten Hauptöffnung; einen Strömungsweg, welcher die beiden Hauptöffnungen miteinander verbindet und einen, innerhalb des Strömungswegs angeordneten Ventilsitz, aufweist; einen Zylinder, welcher über ein Wärmeisolationsteil mit dem Ventilgehäuse verbunden ist; ein als Tellerventil ausgebildetes Ventilteil, welches im Ventilgehäuse angeordnet ist, um den Ventilsitz zu öffnen bzw. zu schliessen; einen Ventilstab, dessen distales Ende mit dem Ventilteller verbunden ist und dessen proximales Ende durch den Wärmeisolationsteil in das Innere des Zylinders ragt;

   einen Kolben, der mit einem Dichtungselement gleitend im Innern des Zylinders angeordnet ist und mit dem proximalen Ende des Ventilstabs verbunden ist; einen Wärmetransferkörper, der an einer festen Stelle innerhalb des Ventilgehäuses und längs dem Stab angeordnet ist und dessen distales Ende mit einer Wärmetransferfläche versehen ist, welche den Ventilteller in einer Ventilöffnungsstellung kontaktiert; ein erstes Heizelement, welches am Wärmetransferkörper befestigt ist; und ein zweites Heizelement, welches an einer äusseren Fläche des Ventilgehäuses befestigt ist. 



  Bei dem Tellerventil gemäss der vorliegenden Erfindung mit obigem Aufbau, bei welchem der Wärmetransferkörper in einer festen Stellung innerhalb des Ventilgehäuses angeordnet ist und bei welchem das erste Heizelement zum Beheizen des Ventiltellers/Ventilteils am Wärmetransferkörper derart befestigt ist, dass der Ventilteller in Kontakt mit dem Wärmetransferkörper ist, welcher beim \ffnen des Tellerventils beheizt wird, treten die genannten Probleme nicht auf. Insbesondere wird die Antriebskraft beim \ffnen/Schliessen wegen der Gewichtszunahme des Tellerventils nicht erhöht oder wird die Reaktionsfähigkeit nicht verschlechtert, wie dies der Fall ist, wenn das Heizelement direkt am Ventilteller oder Ventilstab befestigt ist.

   Da bei der erfindungsgemässen Anordnung das Tellerventil in Kontakt mit dem Wärmetransferkörper kommt, welcher während der Ventilöffnungsphase, bei welcher das Arbeitsmedium in das Innere des Ventils fliesst, direkt beheizt wird, ist die Energieeffizienz hoch und altert das Dichtungsteil kaum. Ausserdem wird das Problem einer Heizelementbeschädigung verhindert, da die Stösse, welche beim \ffnen oder Schliessen des Ventiltellers erzeugt werden, nicht auf das Heizelement übertragen werden. 



  Gemäss einer besonderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist der Wärmetransferkörper eine zylindrische Form auf und ist derart angeordnet, dass er den Ventilstab umgibt und das Heizelement im Innern des Wärmetransferkörpers liegt. 



  Darüber hinaus besteht das wärmeisolierende Bauteil aus einer zylindrisch geformten, Wärme isolierenden Platte mit einer Mehrzahl von Lüftungsöffnungen und ist die Wärme isolierende Platte zwischen dem Ventilgehäuse und dem konzentrisch zum Stab liegenden Zylinder angeordnet. 



  Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst der Stab einen ventiltellerseitig angeordneten ersten Teil und einen kolbenseitig angeordneten zweiten Teil. Der zweite Teil ist aus einem Material gefertigt, welches eine Wärmeübertragungsfähigkeit aufweist, die kleiner ist als diejenige des Materials, aus welchem der erste Teil gefertigt ist. 



  Gemäss einer besonderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist zwischen einer Trennwand eines Endstückes des Ventilgehäuses und dem Ventilteller ein Balg vorgesehen. Der Wärmetransferkörper ist im Innern des Balgs angeordnet. Eine Wärme aufnehmende Fläche, welche in Kontakt mit einer Wärmetransferfläche des Wärmetransferkörpers steht, ist an einem Teil einer Rückseite des Ventiltellers angeordnet, welcher Teil ebenfalls innerhalb des Balges liegt. Die Erfindung soll anhand einer Ausführungsform und mithilfe der Figur näher beschrieben werden. 



  Fig. 1 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform des erfindungsgemässen Tellerventils. 



  Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform eines erfindungsgemässen heizbaren Tellerventils. Dieses Tellerventil kann zur Druckreduzierung in einer Vakuumkammer einer Halbleiter-Herstellungsvorrichtung verwendet werden, und weist ein zylindrisch geformtes Ventilgehäuse 1, sowie einen Zylinder 2 auf, welcher Zylinder 2 an ein Endteil des Ventilgehäuses 1 in axialer Richtung, über ein Wärmeisolationsteil 3 gekoppelt ist. 



  Im Ventilgehäuse 1 ist eine erste Hauptöffnung 11 zum Anschluss an eine der Vakuumkammern und an eine Vakuumpumpe vorgesehen, und ist eine zweite Hauptöffnung 12 zum Anschluss an die zweite Vakuumkammer und an eine zweite Vakuumpumpe vorgesehen. Die Richtungen dieser \ffnungen 11, 12 stehen im Winkel von 90 DEG  zueinander, wobei ein Strömungsweg 13 diese Hauptöffnungen 11, 12 miteinander verbindet und wobei ein Ventilsitz 14 innerhalb des Strömungsweges 13 angeordnet ist. 



  Ein als Tellerventil ausgebildeter Ventilteil 17 ist innerhalb des Ventilgehäuses 1 vorgesehen zum \ffnen/Schliessen des Ventilsitzes 14. Dieser Ventilteil 17 umfasst ein Gummi-Dichtungselement 17b, welches an eine untere und äussere Peripherie eines discförmigen Sockelteils bzw. Ventiltellers 17a befestigt ist und sich auf den Ventilsitz 14 bringen und wieder entfernen lässt. Ein distales Endteil eines Antriebsstabes 18 an einen mittigen Bereich der Rückseite des Ventilteiles 17 befestigt. Ein proximales Endteil des Stabes 18 durchdringt eine Trennwand 19 eines Endteils des Ventilgehäuses 1 und den Wärmeisolationsteil 3, um in das Innere des Zylinders 2 zu ragen und mit einem Kolben 21 gekoppelt zu werden.

   Der Kolben 21 ist im Inneren des Zylinders 2 mit einem Dichtungselement 23 bewegbar angeordnet, und es entstehen eine erste Druckkammer 24a und eine zweite Druckkammer 24b an beiden Seiten des Kolbens 21. Diese Druckkammern 24a, 24b sind je mit einer ersten Arbeitsöffnung 25a und einer zweiten Arbeitsöffnung 25b verbunden, welche an einer Seitenfläche des Zylinders 2 geöffnet sind. In der Figur bezeichnet das Referenzzeichen 26 eine Abdeckung zur Schliessung eines Endteils des Zylinders 2. 



  Ein Wärmetransferkörper 28 ist im Innern des Ventilgehäuses 1 entlang des Stabes 18 angeordnet. Der Wärmetransferkörper ist zylindrisch aus einem Metall geformt, welches ausgezeichnete Wärmeleitwerte aufweist, wie z.B. Aluminium, und ist konzentrisch um den Stab 18, unter Beibehaltung eines kleinen Abstandes dazu, angeordnet. Der Wärmetransferkörper ist fest an einer fixen Stelle innerhalb des Ventilgehäuses 1 angeordnet, in dem sein proximales Endteil mittels eines Bolzens an der Trennwand 19 befestigt ist. Ein oder mehrere stabförmige erste Heizelemente 31 vom Typ eines Elektrowiderstandheizgenerators sind in der Wandung des Wärmetransferkörpers 28 angeordnet, parallel zum Stab 18. Ausserdem ist ein distales Endteil des Wärmetransferkörpers 28 als ringförmige Wärmetransferfläche 28a ausgebildet.

   Die Wärmetransferfläche 28a ist vom Ventilteil 17 in einer Ventilschliess-Stellung fest beabstandet; sodass diese sich nicht berühren. Jedoch kontaktiert die Wärmetransferfläche 28a eine ringförmige Wärmeaufnahmefläche 17c auf der Rückseite des Ventilteils 17, wenn das Ventilteil 17 bei offenem Ventil zurückgezogen ist. 



  Ein dehnbarer Balg 33 ist zwischen der Trennwand 19 des Ventilgehäuses 1 und dem Ventilteil 17 angeordnet. Der Wärmetransferkörper 28 ist im Inneren des Balges 33 angeordnet, zusammen mit der Wärmeaufnahmefläche 17 an der Rückseite des Ventilteils 17. 



  Das Wärmeisolationsteil 3 ist aus einer zylindrisch geformten Wärmeisolationsplatte 34 gebildet und weist eine Mehrzahl Lüftungsöffnungen 34a auf. Diese Platte 34 ist so zwischen dem Ventilgehäuse 1 und dem Zylinder 2 angeordnet, dass der Stab 18 konzentrisch umgeben wird, wobei der Stab 18 durch Luft, welche im Innern der Wärmeisolationsplatte 34 strömt, gekühlt wird. Ferner werden Anschlussdrähte 31a des ersten Heizelementes 31 durch einige der Lüftungsöffnungen 34a der Wärme-isolationsplatte 34 oder durch spezifisch dafür vorgesehene Durchlassöffnungen nach aussen geführt. 



  Ein zweites Heizelement 32, welches das Innere des Ventilgehäuses von aussen erwärmt, ist an einer Aussenfläche des Ventilgehäuses 1 vorgesehen. Dieses zweite Heizelement 32 kann, wie das erste Heizelement 1, stabförmig ausgebildet sein, kann aber auch flächig und flexibel ausgebildet sein. Dieses, dem Fachmann bekannte flächige Heizelement umfasst einen Heizkörper, welcher mithilfe eines elektrischen Widerstands Wärme generiert, und welcher Heizkörper in einer äusseren Umhüllung aus Silikongummi oder einem ähnlichen Material angeordnet ist. 



  In dem Tellerventil gemäss der obigen Beschreibung werden der Kolben 21 und der Stab 18 nach vorne gerückt, wenn Druckmedium aus der ersten Arbeitsöffnung 25a in die erste Druckkammer 24a geführt wird, wie auf der linken Seite der Fig. 1 dargestellt. Dies bewirkt, dass das Ventilteil 17 am distalen Ende des Stabs 18 ebenfalls vorgerückt wird, bis es am Ventilsitz 14 anstösst und den Ventilsitz 14 schliesst. Hierbei ist das Ventilteil 17 vom Wärmetransferkörper 28 um einen vorgegebenen Abstand beabstandet, und Wärme vom ersten Heizelement 31 wird nicht direkt zur Wärmeaufnahmefläche 17c über den Wärmetransferkörper 28 übertragen, sodass das Ventilteil 17 in einen Zustand gebracht wird, in welchem es indirekt vom ersten Heizelement 31 und vom zweiten Heizelement 32 erwärmt wird.

   In einem Zustand, bei dem das Ventilteil 17 den Ventilsitz 14 geschlossen hat und das Arbeitsmedium respektive Reaktionsgas nicht in grossen Mengen am Tellerventil vorbei strömt und das Ventilteil 17 daher nicht in Kontakt mit einer grossen Menge des Arbeitsmediums steht, kann die Wärmemenge, welche zum Erwärmen des Tellerventils und insbesondere des Ventilteils 17 benötigt wird, reduziert werden. Wie zuvor beschrieben, wird eine Adhäsion von Reaktionsprodukten zuverlässig vermieden, in dem lediglich indirekte Wärme vom ersten und zweiten Heizelement 31, 32 übertragen wird. 



  Wenn ferner die erste Arbeitsöffnung 25a geöffnet wird und Druckmedium von der zweiten Arbeitsöffnung 25b in die zweite Druckkammer 24b geführt wird, wie auf der rechten Seite der Fig. 1 dargestellt, werden der Kolben 21 und der Stab 18 zurückgezogen, sodass das Ventilteil 17 den Ventilsitz 14 öffnet und die Wärmeaufnahmefläche 17c des Ventilteils 17 an der Wärmetransferfläche 28a anstösst, welche am distalen Ende des Wärmetransferkörpers 28 angeordnet ist. Somit wird Wärme direkt vom ersten Heizelement 31 zum Ventilteil 17 über den Wärmetransferkörper 28 übertragen und das Ventilteil 17 erwärmt. Dadurch wird die Wärmemenge, welche zum Ventilteil 17 geführt wird, erhöht.

   Wenn das Ventilteil 17 mit einer grossen Menge des Arbeitsmediums in Kontakt kommt, wird das Arbeitsmedium nur so weit gekühlt, dass zuverlässig verhindert wird, dass Restprodukte am Ventilteil 17 haften bleiben. 



  Demgegenüber erlaubt eine zwischen dem Wärmetransferkörper 28 und dem Stab 18 angeordnete kleine Lücke die relative Verschiebung dieser Teile. Wenn eine grössere Menge Wärme vom ersten Heiz-element 31 und vom Wärmetransferkörper 28 an das Ventilteil 17 über den Stab 18 abgegeben werden soll, wird die Lücke möglichst klein ausgebildet und gleichzeitig wird der Stab 18 aus einem Material mit ausgezeichneten Wärmeleiteigenschaften, wie beispielsweise Aluminium, ausgebildet. Hingegen, um den Wärmetransfer vom ersten Heizelement 31 an den Stab 18 via den Wärmetransferkörper 28 zu erschweren, kann die Lücke möglichst gross ausgebildet sein, kann der Stab 18 aus einem Material mit hohem Wärmeleitwiderstand, wie beispielsweise Keramik, ausgebildet sein, oder können beide Lösungen verwendet werden. 



  Wärme, welche vom ersten Heizelement 31 an den Stab 18 über den Wärmetransferkörper 28 abgegeben wurde, wird von diesem Stab 18 an die Kolbenseite 21 weitergeleitet; jedoch wird der grösste Teil dieser Wärme durch im Wärmeisolationsteil 3 abgeleitet, sodass nur sehr wenig Wärme den Kolben 21 erreicht. Somit wird die Möglichkeit einer Beschädigung des Dichtungselements 23 verhindert. Um den Wärmefluss vom Stab 18 zum Kolben 21 zuverlässig zu verhindern, können die Teile derart ausgebildet sein, dass der Stab 18 in ein erstes, ventilteilseitig angeordnetes Teilstück 18a, und in ein zweites, kolbenseitig angeordnetes Teilstück 18b, unterteilt wird, wie in der Figur durch eine gestrichelte Linie dargestellt, und das zweite Teilstück 18b aus einem Material mit hohem Wärmeleitwiderstand ausgebildet ist.

   Ferner können die ersten und zweiten Teilstücke 18a, 18b durch geeignete Mittel, wie beispielsweise Verschrauben, Druckverschluss oder Ähnlichen, miteinander verbunden werden. 



  Der Aufbau des erfindungsgemässen Ventiltellers, d.h. der Wärmetransferkörper 28 ist an einer vorgegebenen Position innerhalb des Ventilgehäuses 1 vorgesehen, das erste Heizelement 31 ist am Wärmetransferkörper 28 angebracht, und das zu wärmende Ventilteil 17 wird beim \ffnen des Ventilteils 17 mit dem Wärmetransferkörper 28 in Kontakt gebracht, verhindert das Problem, dass die Kraft beim \ffnen bzw. beim Schliessen des Ventils durch ein erhöhtes Gewicht des Ventilteils 17 erhöht ist und somit die Reaktionsleistung verringert wird, wie es entstehen würde, wenn das Heizelement 31 direkt am Ventilteil 17 oder am Stab 18 angebracht wäre.

   Wenn das Ventilteil 17 geöffnet wurde und das Arbeitsmedium im Ventil strömt, wird der Zustand erreicht, bei dem das Ventilteil 17 mit dem Wärmetransferkörper 28 in Kontakt kommt und Wärme direkt vom ersten Heizelement 31 an das Ventilteil über diesen Wärmetransferkörper abgegeben wird, sodass die Energieeffizienz ausgezeichnet ist und eine Zerstörung des Dichtungselements, wie sie bei einer konstanten Erhitzung vorkommt, vermieden wird. 



   Mit dem erfindungsgemässen Aufbau, bei welchem ein Heizelement zur Erwärmung eines Ventilteils über einen Wärmetransferkörper an einer vorgegebenen Stelle im Innern eines Ventilgehäuses angeordnet ist, ohne dass das Heizelement an einem Ventilteil, einem Stab oder Ähnlichem, fixiert ist, und wobei die Wärme direkt über den Wärmetransferkörper an das Ventilteil abgegeben wird, wird das bei herkömmlichen Ventilen auftretende Problem gelöst, wenn ein Heizelement an einem Ventilteil, bspw. einem Stab oder Ähnlichem, angeordnet ist. Damit lässt sich also ein Tellerventil mit einem Heizelement mit effizientem und sinnvollem Aufbau schaffen.

Claims (8)

1. Tellerventil mit Heizelement, umfassend: ein Ventilgehäuse (1) mit einer ersten Hauptöffnung (11) und einer zweiten Hauptöffnung (12), ein Strömungsweg (13), welcher die erste Hauptöffnung (11) und die zweite Hauptöffnung (12) miteinander verbindet, und einen in dem Strömungsweg (13) angeordneten Ventilsitz (14); einen Zylinder (2), welcher, über ein Wärmeisolationsteil (3), an das Ventilgehäuse (1) gekoppelt ist; ein als Tellerventil ausgebildetes Ventilteil (17), welches, zum \ffnen und Schliessen des Ventilsitzes (14), innerhalb des Ventilgehäuses (1) angeordnet ist; einen Stab (18), dessen distales Endteil an das Ventilteil (17) gekoppelt ist und dessen proximales Endteil, durch das Wärmeisolationsteil (3), in das Innere des Zylinders (2) ragt;

einen Kolben (21) mit einem Dichtungselement (23), welcher Kolben verschiebbar im Inneren des Zylinders (2) angeordnet ist und welcher an das proximale Ende des Stabs (18) gekoppelt ist; einen Wärmetransferkörper (28), welcher an einer vorgegebenen Stelle innerhalb des Ventilgehäuses (1) entlang des Stabs (18) angeordnet ist, und dessen distales Endteil mit einer Wärmetransferfläche (28a) versehen ist, welche Fläche (28a), bei geöffnetem Ventil, in Kontakt mit dem Ventilteil (17) kommt; ein erstes Heizelement (31), welches mit dem Wärmetransferkörper (28) verbunden ist; und ein zweites Heizelement (32), welches an einer äusseren Fläche des Ventilgehäuses (1) angeordnet ist.

2.

Tellerventil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmetransferkörper (28) zylindrisch ausgebildet ist und um den Stab (18) konzentrisch angeordnet ist, und dass das erste Heiz-element (31) im Innern des Wärmetransferkörpers (28) angeordnet ist.

3. Tellerventil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeisolationsteil (3) aus einer zylindrisch geformten Wärmeisolationsplatte (34) besteht, welche Wärmeisolationsplatte (34) eine Mehrzahl Lüftungsöffnungen (34a) aufweist, und welche Wärmeisolationsplatte (34) zwischen dem Ventilgehäuse (1) und dem Zylinder (2) so angeordnet ist, dass die Wärmeisolationsplatte (34) den Stab (18) umgibt.

4.

Tellerventil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab (18) in ein erstes Teilstück (18a) und ein zweites Teilstück (18b) unterteilt ist, wobei das erste Teilstück (18a) auf der Seite des Ventilteils (17) angeordnet ist und das zweite Teilstück (18b) auf der Seite des Kolbens (21) angeordnet ist und aus einem Material geformt ist, welches einen schlechteren Wärmeübertragungswert aufweist als das Material des ersten Teilstücks (18a).

5.

Tellerventil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Balg (33) zwischen einer Trennwand (19) eines Endteils des Ventilgehäuses (1) und dem Ventilteil (17) angeordnet ist, dass der Wärmetransferkörper (28) innerhalb des Balgs (33) angeordnet ist, und dass eine Wärmeaufnahmefläche (17c), welche in Kontakt mit der Wärmetransferfläche (28a) des Wärmetransferkörpers (28) kommt, an einem Teil einer Rückseite des Ventilteils (17) angeordnet ist, welche Wärmeaufnahmefläche (17c) innerhalb des Balgs (33) liegt.

6.

Tellerventil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmetransferkörper (28), zylindrisch geformt ist und innerhalb des Ventilgehäuses (1) so angeordnet ist, dass der Stab (18) konzentrisch umfasst wird, wobei die ein oder mehreren erste Heizelemente (31), im Wärmetransferkörper (28) angeordnet sind; und ein bewegbarer Balg (33), welcher im Inneren des Ventilgehäuses (1) so angeordnet ist, dass ein Ende des Balgs (33) an einer Trennwand (19) eines Endteils des Ventilgehäuses (1) befestigt ist und das andere Ende des Balgs (33) an dem Ventilteil (17) befestigt ist, und welcher Balg (33) den Wärmetransferkörper (28) umgibt.

7.

Tellerventil gemäss Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeisolationsteil (3) aus einer zylindrisch geformten Wärmeisolationsplatte (34) gebildet ist, welche Wärmeisolationsplatte (34) eine Mehrzahl Lüftungsöffnungen (34a) aufweist, und welche Wärmeisolationsplatte (34) zwischen dem Ventilgehäuse (1) und dem Zylinder (2) so angeordnet ist, dass die Wärmeisolationsplatte (34) den Stab (18) umgibt.

8.

Tellerventil gemäss Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab (18) in ein erstes Teilstück (18a) und ein zweites Teilstück (18b) unterteilt ist, wobei das erste Teilstück (18a) auf der Seite des Ventilteils (17) angeordnet ist und das zweite Teilstück (18b) auf der Seite des Kolbens (21) angeordnet ist, und welches zweite Teilstück (18b) aus einem Material geformt ist, welches einen schlechteren Wärmeübertragungswert als das Material des ersten Teilstücks (18a) aufweist.