CH676034A5 - - Google Patents
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Description
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Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Reinraumsystem nach dem Oberbegriff von Anspruch 1.
Ein solches System ist bereits z.B. in der Veröffentlichung «Reinraumtechnik/Grundlagen und Anwendungen» der Anmelderin im Herbst 1986 beschrieben, insbesondere im Zusammenhang mit Bild 23 und 24 derselben.
Die dort beschriebenen Reinraumsysteme haben gewisse Nachteile, so kann z.B. der in der Mitte eines Arbeitstisches aufgestellte Reinluftverteiler beim Arbeiten räumlich stören und von einer am Tisch arbeitenden Person könnte die auf sie geradlinig gerichtete Reinluftströmung zumindest bei mangelnder Gewöhnung als unangenehm empfunden werden.
Ein im Reinraumsystem nach der Erfindung verwendbares Reingaserzeugungsgerät ist z.B. in der CH-PS 576 109 der Ciba-Geigy AG, Basel, veröffentlicht am 31.5.1976, bzw. der US-PS 4 023 472 von Grunder et al, patentiert am 17. Mai 1977, beschrieben.
In Reinraumtechnik I, Berichte herausgegeben 1973 von der Schweizerischen Gesellschaft für Reinraumtechnik, Zürich, wird in einem Artikel «Application of Special Clean Air in Surgical, Medicai, Microbiological and Pharmaceutical Facilities» von Alexander G. Nesher auf Seite 120 in Fig. 4 ein Reinluftverteiler in Gestalt einer Lochplatte mit gekrümmter Austrittsfläche vorgeschlagen. Jedoch müssen zur Erzeugung einer laminaren Strömung und Verhinderung eines seitlichen Induktionseffektes, wie er in Fig. 2 auf der gleichen Seite 120 gezeigt ist, seitliche Führungswände rechts und links der gekrümmten Fläche vorhanden sein, um die gewünschte laminare Strömung zu erhalten. Auch mit Führungswänden ist jedoch bekanntlich eine solche aus einer Lochplatte mit gekrümmter Außenfläche austretende laminare Verdrängungsströmung gegen geringfügige seitliche Querströmungen sehr empfindlich und führt dann zu einer Ablenkung der laminaren Hauptströmung mit starker Wirbelströmung zu beiden Seiten derselben.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Reinraumsystem der obigen Art zu verwirklichen, bei dem diese Nachteile nicht auftreten, sondern eine größere ununterbrochene Arbeitsfläche mit angenehm empfundener Reingas-, insbesondere Rein-iuftströmung bestrichen wird.
Diese Aufgabe wird gelöst und andere Ziele, die sich aus der folgenden Beschreibung ergeben, werden erreicht bei einem Reinraumsystem der eingangs beschriebenen Art, das die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 aufgeführten Merkmale aufweist.
Bevorzugte Ausführungsformen des Reinraumsystems nach der Erfindung besitzen mindestens eines der in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Merkmale.
Überraschend ist bei der konvexen Ausbildung der dem Reinraum zugekehrten Außenseite des an diesen Raum angrenzenden äußeren der beiden Siebe, daß im Zwischenraum zwischen diesem äußeren Reingasverteilersieb und der Arbeitsfläche keine nennenswerte Turbulenz des Gasstromes auftritt, sondern sich vielmehr hier eine echte laminare Verdrängungsströmung ausbildet, die infolge ihrer fächerartigen Ausbreitung praktisch nicht als stö-5 rend empfunden wird.
Das Reinraumsystem nach der Erfindung weist neben dem angestrebten und zufriedenstellend erreichten Vorteil einer über eine Arbeitsfläche hinwegstreichenden, als angenehmer empfundenen la-10 minaren Verdrängungsströmung noch weitere Vorzüge auf. So ergibt sich dabei:
(a) eine bessere Abschirmung der manipulierten Objekte vor Partikel- und Keimausstreuung durch
15 die manipulierende Person;
(b) eine größere räumliche Ausdehnung des durch Laminarströmung geschützten Raumbereiches und demzufolge ein besseres Preis/Leistungsverhältnis gegenüber den konventionellen Anord-
20 nungen mit ebenem Reinluftverteiler;
(c) die Möglichkeit eines im Vergleich mit dem ebenen Reinluftverteiler kleineren räumlichen Abstan-des zwischen dem erfindungsgemäßen Reinluftverteiler und dem zu schützenden Objekt; und
25 (d) die Möglichkeit, einander gegenüberliegende Arbeitsplätze einwandfrei zu schützen, ohne daß zwischen ihnen eine Trennwand erforderlich ist. Das ist besonders dann wichtig, wenn zwischen den Arbeitsplätzen ein Förderband für den Material-30 transport unterzubringen ist.
Weitere Merkmale, Ziele und Vorteile des Reinraumsystems nach der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einiger Ausführungs-35 formen derselben im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen; in diesen zeigen:
Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstellung der Einrichtung eines Reinraumes mit einer 40 ersten Ausführungsform des Reingasverteilers nach der Erfindung in einem ersten erfindungsgemäßen Reinraumsystem;
Fig. 2 eine schematische Ansicht im Längsschnitt durch ein Reingaserzeugungsgerät bekann-45 ter Bauart, an welches die neue Ausführungsform des Reingasverteilers angeschlossen werden kann;
Fig. 3 eine Längsschnittansicht durch eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Reingasverteilers ähnlich der in Fig. 1 gezeigten Ausfüh-50 rungsform des letzteren;
Fig. 4 eine Querschnittansicht der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform des Reingasverteilers längs der darin durch IV—IV angedeuteten Ebene;
Fig. 5 und 6 Queransichten einer zweiten bzw. 55 dritten Ausführungsform des Reingasverteilers nach der Erfindung;
Fig. 7 eine bekannte Ausführungsform des Reingasverteilers mit gekrümmter Außenfläche ähnlich der in Fig. 3 auf Seite 120 des oben genannten Arti-60 kels von A.G. Nesher dargestellten;
Fig. 8 eine Längsschnittansicht durch eine vierte, verbesserte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Reingasverteilers;
Fig. 9 eine Querschnittansicht durch diese vierte 65 Ausführungsform längs einer in Fig. 8 durch IX—IX
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angedeuteten Ebene;
Fig. 10 eine Querschnittansicht durch eine fünfte, besonders bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Reingasverteilers; und
Fig. 11 eine weitere Ausführungsform des Reinraumsystems nach der Erfindung mit einer sechsten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Reingasverteilers.
Als Reingas wird in erster Linie Luft verwendet. Daneben kann auch bei Vorhandensein einer automatischen Handhabung von Arbeitsstücken von außerhalb auf der Arbeitsfläche ein inertes Gas, z.B. Stickstoff oder ein Edelgas als Reingas verwendet werden.
Das in Fig. 1 gezeigte Reinluftsystem umfaßt die Luftaufbereitungseinheit 10 bekannter Bauart, deren Aufbau aus Fig. 2 ersichtlich ist. Es können auch je nach der Größe des Reinraumes 1 mehrere Einheiten 10 benötigt werden; auch kann das Rein-iuftverteiisystem an eine zentrale Reinluftaufbereitung angeschlossen werden. Eine solche Einheit 10, die in der CH-PS 576 109 beschrieben wurde, umfaßt hintereinandergeschaltet ein Gehäuse 2 mit Lufteinlaß 3, einen Vorfilter 13, ein Gebläse 11 und einen Schwebstoffilter 12, aus welchem die gereinigte und filtrierte Luft turbulent durch die Luftleitungen 20, 21 in den Luftverteiler 30 an dessen beiden Enden einströmt. Im Luftverteiler 30 befinden sich an seiner einem Arbeitsfeld 4 zugekehrten Seite ein äußeres Sieb 32 (Fig. 3 und 4), dem mindestens ein inneres Sieb 33 in geringem Abstand vorgeschaltet ist. Die Siebe 32 und 33 sind in bekannter Weise aus feinmaschigem Metalldraht- oder Kunstfasergewebe, z.B. aus monofilem Polyester, hergestellt. Die Maschenweite kann 0,005 bis 1 mm, vorzugsweise 0,01 bis 0,1 mm betragen.
Die beiden Siebe 32, 33 verlaufen besonders bei größerer Krümmung, also größerem Öffnungswinkel oc, vorzugsweise parallel miteinander. Bei kleinerem Öffnungswinkel oder geringerer Konvexkrümmung, d.h. aus der Sekantenebene P heraus zur Arbeitsfläche 4 hin weniger stark vorspringend, kann das äußere Sieb 32 gekrümmt, das innere Sieb 34 hingegen eben sein (Fig. 6), was eine gewisse Vereinfachung bei der Herstellung bedeutet. Die kreisförmige Krümmung des Siebes 32 wird durch das sich aus dem Querschnitt, z.B. nach Fig. 5 ergebende Verhältnis von Höhe h des Krümmungskreismittelpunktes M auf der Sekante S des Krümmungskreises durch die Längsränder 32a, 32b des äußeren Siebes 32 bestimmt. Je größer dieses Verhältnis, um so flacher verläuft die Krümmung des Siebes 32 bzw. seiner Austrittsfläche. Bei einem Verhältnis von h:S/2 = 100, d.h. ctg (1/2 S), ergibt sich ein Öffnungswinkel a über der Sekante S von ca. 2°. Beträgt dieser Öffnungswinkel 180° (d.h. h:S = O) so erstreckt sich die durch das äußere Sieb 32 gebildete Austrittsfläche über einen Halbkreis mit dem Radius 1/2 S.
Ein besonderer Vorteil besteht in der breiteren Fächerung der aus der gekrümmten Austrittsfläche austretenden Verdrängungsströmung, die so einen größeren Raum mit Reingas bzw. Reinluft versorgt.
Überraschend ist dabei, dass trotz der Krümmung der Austrittsfläche eine weitgehend laminare Verdrängungsströmung im Raum zwischen der gekrümmten Austrittsfläche und der Arbeitsfläche 4, z.B. der Oberfläche eines Arbeitstisches auftritt, also nicht die in der Reinraumtechnik übliche Verdrängungsströmung mit ausgeprägter Mikroturbu-lenz, und daß die Induktion kontaminierter Falschluft von außen in den Reinraumbereich sowie Strömungsablösungen nicht beobachtet werden.
In Fig. 7 ist ein Verteiler 40 bekannter Bauart nach A.G. Nesher, supra, gezeigt, welcher eine gekrümmte Lochplatte 41 sowie Führungswände 42, 43 gegen Verwirbelungen erzeugende seitliche Induktionseffekte aufweist. Bei Auftreten verhältnismäßig geringfügiger seitlicher Querströmungen kann trotzdem leicht eine seitliche Ablenkung der laminaren Hauptströmung im Raum zwischen der gekrümmten Verteilerplatte 41 und einer Arbeitstischfläche 44 erfolgen, die ihrerseits Verwirbelungen zu beiden Seiten der abgelenkten Hauptströmung und damit auch auf der Arbeitstischfläche 44 erzeugen kann. Die aus der gekrümmten Austrittsfläche des Reingasverteilers 30 nach der Erfindung austretende laminare Verdrängungsströmung ist überraschender Weise wesentlich stabiler gegenüber solchen seitlichen Querströmungen.
Die in Figuren 8 bis 10 gezeigten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Reingasverteilers 50 sind besonders einfach herzustellen, da die beiden hintereinander geschalteten Siebe aus einer endlosen Maschensiebgewebebahn 51 (nachfolgend «Gewebebahn» genannt) bestehen, die an den gemeinsam gegenüberliegenden Längsrandberei-chen 52 und 53 der gekrümmten äußeren und inneren Bereiche bzw. unteren und oberen Trumme 54 bzw. 55 um Abstandhalter oder -rollen 56 und 57 gelegt ist, die in an sich bekannter Weise an der linken Endwand 61 bzw. der rechten Endwand 62 des Verteilergehäuses 60 befestigt sind. Die Krümmung des unteren Trumms 54 wird durch ein starres, in den beiden Endwänden 61 und 62 befestigtes Führungsgitter 58 aus Metall oder möglichst unelastischem Kunststoff bestimmt, das sich zwischen den beiden Abstandhaltern 56 und 57 von Endwand zu Endwand erstreckt. Die Gewebebahn 51 wird zunächst lose auf die Abstandhalter 56 und 57 aufgeschoben, so daß das untere Trumm 54 sich unterhalb und das obere Trumm 56 sich oberhalb des Führungsgitters 58 befindet. Die Gewebebahn 51 wird dann gespannt, so daß ihr unteres Trumm 54 von unten gegen das Führungsgitter 58 gezogen wird und dadurch die gleiche Krümmung erhält wie dieses, während das obere Trumm 55 der Gewebebahn 51 unter Spannung möglichst gleichförmig abwärts, d.h. in Richtung auf das untere Trumm 54 hin gedrückt wird. Das Spannen des oberen Trumms 55 kann dabei auf verschiedene Weise erfolgen.
So ist in Fig. 9 ein Spanngitter 59 gezeigt, das Führungsstäbe 63 aufweist, die in vertikalen Schlitzen 64 in den Endwänden 61 und 62 aufwärts und abwärts bewegt werden können. Beim Einführen der Gewebebahn 51 in das Verteilergehäuse 60 befinden sich die Längsstäbe 63 am oberen Ende der Schlitze 64, so daß das ganze Spanngitter 59 sich in der in Fig. 9 gestrichelt angedeuteten Stellung be5
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findet und die Gewebebahn, ohne an das Spanngitter 59 anzustoßen, eingeführt werden kann. Durch Senken der Längsstäbe 63 in den Vertikalschlitzen 64 drückt nun das ganze Spanngitter 59 von oben gegen das obere Trumm 55 der Gewebebahn 51 und spannt die letztere. (Gitter 59 ist in Fig. 8 weggelassen.)
Auch bei der in Figuren 8 und 9 gezeigten Ausführungsform erstrecken sich die Seitenwände 67 und 68 des Verteilergehäuses 60 höchstens bis zu denjenigen Stellen des unteren Trumms 54, wo dieses auf den Abstandhaltern 56 bzw. 57 seitlich außen aufliegt. Es sind also keine sich über die unteren Enden der Gehäuseseitenwänden 66 und 67 hinaus abwärts erstreckende, nach auswärts abgewinkelte Seitenflächen 42 und 43 erforderlich, wie dies bei der bekannten Ausführungsform nach Nesher (Fig. 7) der Fall war.
In Fig. 10 haben Teile gleicher Bedeutung wie in Figuren 8 und 9 gleiche Bezugszeichen. Doch ist hier das Spanngitter 59 nebst Zubehör durch zwei Spannstangen 65 und 66 ersetzt, die nach Einführen der Gewebebahn 51 auf das obere Trumm aufgebracht werden; z.B. können sie bei genügendem Eigengewicht einfach aufgedrückt werden (Führung wie in Fig. 9).
Eine weitere Ausführungsform der Spannvorrichtung, die weniger bevorzugt wird, da sie konstruktiv aufwendiger ist, wäre eine nockenförmige Ausbildung der Abstandhalter 56 und 57, z.B. mit exzentrischem Drehpunkt, so daß beim Einführen der Gewebebahn 51 der kürzere Arm der Exzenter jeweils nach außen gerichtet ist und dann durch Drehen der beiden Abstandhalter der längere Arm des Exzenter nach außen gedreht wird und hierdurch die Gewebebahn 51 spannt, wobei diese eine der in Fig. 6 gezeigten Konfiguration der beiden Siebe 32 und 34 entsprechende Querschnittgestalt annimmt.
Die in Fig. 11 gezeigte Ausführungsform des Reinraumsystems nach der Erfindung umfaßt eine kreisrunde Arbeitsfläche 104 und einen mittig stehend auf ihr angebrachten Reingasverteiler 130 in welchen Reingas, insbesondere Reinluft, durch die Zuleitung 120 von oben her und gegebenenfalls durch eine weitere Zuleitung 121 von unten her zugeführt wird. Der Reingasverteiler 130 besitzt ein zylindrisches äußeres Sieb 132, das vorzugsweise auf einem Spanngitter 158 aufliegt, während ein inneres Sieb 133 ebenfalls auf einem inneren Spanngitter 159 aufliegt. Die beiden Spanngitter 158,159 sind in ähnlicher Weise in den beiden Stirnflächen 161 (von denen nur die obere in Fig. 11 zu sehen ist) des säulenförmigen Reingasverteilers 139 befestigt, wie dies bei dem Führungsgitter 58 und dem Spanngitter 59 der in Figuren 8 und 9 gezeigten Ausführungsform der Fall ist. Die beiden Spanngitter können dabei in Segmente unterteilt sein, die mit Führungsstäben 163 bzw. 166 versehen sind, die ihrerseits in Längsschiitzen 164 bzw. 165 in den Stirnseiten 161 radial einwärts oder auswärts bewegt werden können. Beim Einführen der aus Maschengebilden erzeugten Siebe 132 bzw. 133 befinden sich die Führungsstäbe der entsprechenden Spanngitter 158 bzw. 159 an den inneren Enden der Radialschlitze
164 bzw. 165. Nach beendeter Einführung der Siebe werden diese mittels der Spanngitter durch Auswärtsfahren von deren Führungsstäben zum radial außen liegenden Ende der Führungsschlitze 164,
165 hin gespannt. Auch in diesem Ausführungsbeispiel wird die durch Pfeile angedeutete, sich radial ringsum ausbreitende laminare Verdrängungsströmung nicht als störend empfunden und verhindert erfolgreich einen seitliche Turbulenzen erzeugenden Induktionseffekt.
In den verwendeten Sieben bzw. Gewebebahnen beträgt der Anteil der freien Querschnittsfläche etwa 5 bis 50, vorzugsweise 15 bis 30%. Das Verhältnis der Maschenweite zum Durchmesser jedes eine Masche begrenzenden Steges von vorzugsweise kreisrundem Querschnitt beträgt vorzugsweise etwa 2:1. Der Abstand zwischen dem inneren und dem äußeren Trum einer Gewebebahn bzw. zwischen dem äußeren und dem diesem benachbarten inneren Sieb beträgt vorzugsweise um 2 cm. Die Stäbe des Führungs- bzw. des Spanngitters haben vorzugsweise einen Durchmesser von 2 bis 6 mm; um die laminare Strömung nicht zu beeinträchtigen, sind sie rund und in genügend großem Abstand von einander, vorzugsweise von 1 bis 5 cm, im Gitter angeordnet.
Bei dem Reinraumsystem nach der Erfindung ergibt sich noch als besonderer Vorteil, daß die Einströmgeschwindigkeit des Reingases in den erfindungsgemäßen Reingasverteiler etwa zehnmal bis dreißigmal so groß sein kann wie die Ausströmgeschwindigkeit der laminaren Verdrängungsströmung aus der Austrittsseite des äußeren Maschensiebes bzw. Gewebetrumms. Letztere beträgt gewöhnlich von 0.0 bis 1 m/sec, bei speziellen Anwendungen auch bis 3 m/sec.
Claims (1)
- Patentansprüche1. Reinraumsystem, mit einer mindestens ein Gebläse und einen Schwebstoffilter enthaltenden Rein-gaserzeugungsanlage und mit einem nachgeschalteten Reingasverteiler zur Erzeugung einer laminaren Verdrängungsströmung von Reingas in einem Reinraum mit darin befindlicher Produktionseinrichtung, wobei der Reingasverteiler mindestens zwei im Abstand voneinander angeordnete, vom Reingas nacheinander zu durchströmende, aus einem Maschengebilde bestehende Siebe umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß das dem Reinraum (1) zugekehrte äußere Sieb (32) nach dem Reinraum (1) hin konvex gewölbt ist, um die Produktionseinrichtung mit der Verdrängungsströmung praktisch turbulenzfrei zu bedecken.2. Reinraumsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das an den Reinraum (1 ) angrenzende äußere Sieb (32) sowie auch das diesem im Sinne der Strömungsrichtung stromauf vorgelagerte Sieb (33) zum Reinraum (1) hin konvex gewölbt sind.3. Reinraumsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die gasdurchlässigen Wände der beiden Siebe (32, 33) parallel zueinander angeordnet sind.4. Reinraumsystem nach einem der Ansprüche 1510152025303540455055606547CH 676 034 A58bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Sieb (32) kreisförmig gekrümmt ist.5. Reinraumsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Sieb (32) einen Halbkreis bildet.6. Reinraumsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Reingasverteiler (30) sich in solchem Abstand über einer Arbeitsfläche (4) befindet, daß die Verdrängungsströmung des Reingases sich laminar über die ganze Arbeitsfläche (4) und vorzugsweise über die letztere hinaus in den sie umgebenden Reinraum ausbreitet.7. Reinraumsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Reingasverteiler (30), dessen äußeres Sieb (132) einen Zylinder bildet, auf einer Arbeitsfläche (104) mit zu dieser senkrechter Achse angeordnet ist.8. Zur Erzeugung einer laminaren Verdrängungsströmung geeigneter Reingasverteiler zur Verwendung in einem Reinraumsystem nach Anspruch 1 mit mindéstens zwei im Abstand voneinander angeordneten, vom Reingas nacheinander zu durchströmenden, aus einem Maschengebilde bestehenden Sieben, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens das äußere Sieb (32), das dazu bestimmt ist, an einen Reinraum anzugrenzen, nach außen hin konvex gewölbt ist.9. Reingasverteiler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das dem äußeren Sieb (32) in Strömungsrichtung unmittelbar vorgelagerte Sieb (33) konvex gewölbt ist und beide vorzugsweise zueinander parallel verlaufen.10. Reingasverteiler nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Sieb (32) kreisförmig gekrümmt ist.11. Reingasverteiler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß darin das äußere Sieb das äußere Trumm (54) und ein inneres Sieb das innere Trumm (55) einer einstückigen endlosen Gewebebahn (51 ) bilden, und daß ein Führungsgitter (58) mit nach außen hin konvex gekrümmtem Querschnitt innerhalb der endlosen Gewebebahn sowie Halte- und Spannmittel (52, 53, 59) im Reingasverteiler (50), vorzugsweise sich in dessen Längsrichtung erstreckend, vorgesehen sind, durch die das äußere Trumm (54) der Gewebebahn (51) an der dem Reinraum (1) zugekehrten Außenseite des Führungsgitters (58) fest gespannt werden kann.12. Reingasverteiler nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Halte- und Spannmittel Halteeinrichtungen (52, 53), die geeignet sind, die endlose Gewebebahn (51) quer über eine offene, vorzugsweise die untere Seite des Reingasverteilers (50) mit dem inneren Trumm (55) im Abstand vom äußeren Trumm (54) zu halten, sowie Spannmittel (59) umfassen, die in eine Eingriffsstellung mit dem inneren Trumm (55) gebracht werden können, daß dabei das äußere Trumm (54) gespannt am Führungsgitter (58) anliegend gegen dieses gezogen wird, während zwecks Einführen der Gewebebahn (51) in den Reingasverteiler (50) die Spannmittel (59) aus der Eingriffsstellung entfernt werden können.13. Reingasverteiler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannmittel (59) aus einem in Bezug auf das innere Trumm (55) auf dessen dem inneren des Reingasverteilers (50) zugekehrter Seite befindlichen Spanngitter bestehen, das, mittels Längsstäben (63) in in den Stirnwänden (61, 62) des Reingasverteilers (50) vorgesehenen Vertikalschlitzen (64) geführt, einerseits in eine innere Endstellung in den Schlitzen (64) vom inneren Trumm (55) entfernt und andererseits in eine äußere Endstellung in den Schlitzen (64) in spannendem Eingriff mit dem inneren Trumm (55) gebracht werden kann.14. Reingasverteiler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannmittel in Längsrichtung in diesen einführbare Spannstangen (65, 66) umfassen.15. Reingasverteiler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Sieb (132) einen Zylinder bildet.51015202530354045505560655
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PL | Patent ceased |