CH659485A5 - Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde substrate. - Google Patents

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CH659485A5
CH659485A5 CH2652/84A CH265284A CH659485A5 CH 659485 A5 CH659485 A5 CH 659485A5 CH 2652/84 A CH2652/84 A CH 2652/84A CH 265284 A CH265284 A CH 265284A CH 659485 A5 CH659485 A5 CH 659485A5
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Karl Baumann
Hermann Staub
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Balzers Hochvakuum
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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