AT387589B - Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate - Google Patents

Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate

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AT387589B
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Balzers Hochvakuum
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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    • C23C14/50Substrate holders

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Description


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   Die Erfindung betrifft eine Mehrfach-Haltevorrichtung für zu behandelnde, z. B. zu reinigende und nachfolgend durch Vakuumaufdampfen oder Kathodenzerstäubung zu beschichtende Substrate, vorzugsweise für fertig zugeschliffene Brillengläser, welche Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken, aufweist. 



   Es sind verschiedene Haltevorrichtungen für die Reinigung und die Beschichtung von Substraten,   z. B.   von Brillengläsern, bekannt, welche diese an ihrem Rand fassen, wobei die Haltevorrichtungen nach Beladung wahlweise in die Reinigungs- oder Beschichtungseinrichtung eingesetzt werden können. Probleme ergeben sich jedoch immer wieder dadurch, dass die Substratflächen nicht vollständig bis zum Rand beschichtet werden können, weil die Haltevorrichtungen die zu beschichtenden Flächen stellenweise abdecken und also an diesen Stellen die Beschichtung verhindern. Besonders bei Brillengläsern, bei denen nicht nur auf die technisch einwandfreie Wirkung einer Beschichtung, sondern auch auf das Aussehen derselben grosser Wert gelegt wird, fällt dieser Mangel ins Gewicht. 



   Es sind Beschichtungsanlagen bekannt, bei denen die Haltevorrichtungen als ebene Platten mit Ausnehmungen für die zu beschichtenden Substrate ausgebildet sind, wobei mehrere solcher Platten in ein Drehgestell der Anlage eingesetzt werden können und zusammen eine sogenannte Kalotte bilden. Haltevorrichtungen dieser Art sind im allgemeinen nur für eine   bestimmte Beschich-   tungsanlage geeignet und Arbeitsvorgänge vor oder nach der Beschichtung erfordern deshalb gewöhnlich ein Umladen des zu behandelnden Gutes auf andere Träger, welche für die Weiterbearbeitung in andern Geräten geeignet sind. Das Umladen bedeutet aber für einen Fabrikationsprozess einen zusätzlichen Aufwand an Arbeitszeit und stellt deshalb einen nicht unbedeutenden Kostenfaktor dar. 



   Da die einzelnen zu behandelnden Substrate wechselnde Grössen besitzen, werden oft der jeweiligen Grösse der Substrate angepasste Einzelträger verwendet, die ihrerseits in eine für diese Träger passend ausgestaltete Haltevorrichtung eingesetzt werden können, und letztere sind auf die Anlage, in welcher die Beschichtung oder ein anderer Arbeitsvorgang durchgeführt wird, abgestimmt. Es ist klar, dass das Arbeiten mit einem solchen System von ineinandergeschachtelten Trägern bzw. Haltevorrichtungen immer noch einen   ziemlichen   Arbeitsaufwand bedeutet. 



   Die Erfindung hat sich nun zur Aufgabe gestellt, eine Mehrfach-Haltevorrichtung der eingangs erwähnten Art anzugeben, welche eine grössere Flexibilität in der Anwendung durch Aufnahme von Substraten unterschiedlicher Form und Grösse besitzt und eine vereinfachte Handhabung und damit Arbeitsersparnis durch nur einmaliges Einspannen und Verwendbarkeit ein und derselben Haltevorrichtung für mehrere Arbeitsvorgänge erzielt. 



   Diese erfindungsgemässe Haltevorrichtung weist Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken, auf und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Halteschienen ein Kreuz bilden, dessen vier Balken auf ihren den vier Quadranten zugewendeten Seiten mit einer Nut versehen sind. 



   Man erreicht dadurch nicht nur, wie gesagt, eine erhöhte Flexibilität, indem die gleiche Halterung für verschiedenste Substratgrössen geeignet ist, und eine vereinfachte Handhabung, indem die Substrate in der gleichen Halterung nacheinander in verschiedene Bearbeitungsstationen   z. B.   für die der Beschichtung vorangehende chemische Reinigung der zu behandelnden Oberflächen sowie die nachfolgende Beschichtung in einer Aufdampf- oder Kathodenzerstäubungsanlage eingesetzt werden können, sondern erhält darüber hinaus noch zusätzliche Vorteile, die sich vor allem bei der Brillenglasbeschichtung zeigen. 



   Die kreuzförmige Anordnung der Halteschienen, die Raum für die gleichzeitige Halterung von vier Brillengläsern,   d. h.   von zwei Paaren von Brillengläsern, bietet, ist nämlich besonders wirtschaftlich, da Brillengläser immer paarweise angeliefert werden. Sie bietet erhöhte Sicherheit gegen Vertauschen, im Gegensatz zu solchen Haltevorrichtungen, die drei oder fünf oder mehr Einzellinsen aufnehmen können. Vierer-Haltevorrichtungen sind auch noch klein genug, um einer Beschichtungsanlage mit Hilfe eines passenden Gestells die übliche Kalottenform - Ausschnitt aus einer   Kugelfläche - nachbilden   zu können, so dass alle zu beschichtenden Flächen von einer im Krümmungsmittelpunkt der Kalotte angeordneten Dampfquelle annähernd gleich grossen Abstand 

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 haben und damit gleichmässig beschichtet werden.

   Die erfindungsgemässe Haltevorrichtung in der Form eines aus vier Balken gebildeten Koordinatenkreuzes gestattet die Aufnahme von Brillenglaslinsen verschiedener Grössen, und das Auswechseln der Gläser bzw. das Wenden, um gegebenenfalls beide Seiten zu beschichten, ist sehr einfach. Vor allem aber wird eine weitestgehend abschattungsfreie randlose Beschichtung ermöglicht. 



   In den Zeichnungen zeigen Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der Haltevorrichtung gemäss der Erfindung, wobei zwei eingelegte Brillengläser gezeichnet und zwei Plätze freigelassen sind ; Fig. 2 eine Seitenansicht nach der Linie BB der Haltevorrichtung nach   Fig. l,   Fig. 3 eine Seitenansicht nach der Linie A-A derselben Vorrichtung, wobei im kreisförmigen Ausschnitt der Fig. 3 die Stossstelle zwischen einem der die Quadranten bildenden Balken und einer eingelegten Brillenglaslinse vergrössert dargestellt ist. 



   In den Zeichnungen sind die vier Balken des Koordinatenkreuzes der Haltevorrichtung mit-la bis   1d-- bezeichnet.   Diese vier Balken sind miteinander verschweisst,   u. zw.   soll die Schweissstelle eine glatte Oberfläche besitzen und möglichst frei von Löchern und Hohlräumen sein, um in den Wasch- und Reinigungsanlagen mit mehreren Trögen das Verschleppen von in Hohlräumen und Vertiefungen der Schweissnähte abgesetzten Chemikalien möglichst zu vermeiden. 



  Das (in den Zeichnungen) obere bzw. untere Ende der beiden Vertikalbalken-la und lc-- 
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 Ausführungsbeispiel als Vierkant ausgebildet ist. Selbstverständlich muss auch die Aufnahmevorrichtung in der betreffenden Bearbeitungsstation als Gegenstück dazupassend ausgebildet sein. 



   Die beiden waagrechten Balken --lb und   1d-- des   Koordinatenkreuzes dagegen sind mit je einem plattenförmigen Flansch --3-- verbunden, wobei die Flansche --3-- die Federn --4a bis   4d-- tragen,   welche die Aufgabe haben, die in die Nut --5-- der Balken eingelegten Brillenglaslinsen oder sonstigen zu beschichtenden Substrate gegen die Balken anzudrücken und so festzuhalten. Auch diese Federn besitzen einen nutenförmigen Querschnitt, welcher so bemessen ist, dass die Gläser zwar zuverlässig gehaltert, aber gerade nur an ihrem angeschliffenen Rand umfasst werden, ohne dass die eigentliche Linsenfläche abgedeckt wird. Die Anpressfedern sind elastisch und gestatten dadurch das Einsetzen verschiedener Linsengrössen.

   Trotzdem wird dank der starr miteinander verschweissten Balken eine sehr stabile Halterung erreicht, die ein sicheres Handhaben und auch Transportieren ermöglicht, ohne dass die Gefahr besteht, dass die Gläser dabei herausfallen. 



   Es ist klar, dass die Einzelheiten des beschriebenen Ausführungsbeispiels abgewandelt werden können, ohne vom Grundgedanken der Erfindung abzuweichen. Die   Endstücke --2-- können     z. B.   auch anders (in an sich bekannter Weise) als Teile von Befestigungseinrichtungen ausgebildet werden. Ebenso können die   Anpressfedern --4-- abgewandelt   und die Nuten in den Balken und Federn den jeweils zu verarbeitenden   Substraten-Brillengläser,   Linsen, Filterplatten od. dgl.im Einzelfalle besonders angepasst werden. 



    PATENTANSPRÜCHE :    
1. Mehrfach-Haltevorrichtung für zu behandelnde,   z. B.   zu reinigende und nachfolgend durch Vakuumaufdampfen oder Kathodenzerstäubung zu beschichtende Substrate, vorzugsweise für fertig zugeschliffene Brillengläser, welche Halteschienen mit Nuten zur Halterung der Substrate an ihrem Rand und Anpressfedern, um die Substrate in die Nuten zu drücken, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteschienen ein Kreuz bilden, dessen vier Balken (la bis Id) auf ihren den vier Quadranten zugewendeten Seiten mit einer Nut (5) versehen sind.

Claims (1)

  1. 2. Mehrfach-Haltevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jedem der Quadranten je eine Anpressfeder (4a bis 4d) von nutförmigem Querschnitt zugeordnet ist.
AT113685A 1984-05-30 1985-04-16 Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate AT387589B (de)

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DE942835C (de) * 1939-11-18 1956-07-05 Leitz Ernst Gmbh Einrichtung zum Aufbringen von UEberzugsschichten auf optisch wirksame Flaechen, insbesondere Glasflaechen
US3486001A (en) * 1968-02-05 1969-12-23 Stanley R Czarnowski Vapor deposition material support

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