DE3513137A1 - Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate - Google Patents

Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde, z.b. zu reinigende und nachfolgend durch vakuumaufdampfen oder kathodenzerstaeubung zu beschichtende substrate

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Karl Sargans Baumann
Bernhard Balzers Bracher
Hermann Azmoos Staub
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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