CH491208A - Verdampfervorrichtung - Google Patents
VerdampfervorrichtungInfo
- Publication number
- CH491208A CH491208A CH754768A CH754768A CH491208A CH 491208 A CH491208 A CH 491208A CH 754768 A CH754768 A CH 754768A CH 754768 A CH754768 A CH 754768A CH 491208 A CH491208 A CH 491208A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- evaporator
- evaporator device
- graphite
- service life
- rod
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Verdampfervorrichtung Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampfer vorrichtung mit einem Heizteil und einem Verdampferteil zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes. Bei den bekannten Verdampfervorrichtungen, welche in Metallisierungsanlagen zum Aufdampfen von Metallen dienen, besteht das Problem, nicht nur auf kleinstem Raum die grössten Verdampferleistungen hervorzubrin gen, sondern auch diese Verdampfervorrichtungen be züglich Verschleiss bzw. Standzeiten zu verbessern. In diesem Sinne bezweckt die vorliegende Erfindung die bisher aufgrund der relativ geringen Widerstände der metallischen Heizelemente relativ grossräumigen Ausfüh rungen zu verbessern und durch entsprechende Kon struktion auch deren Standzeiten zu erhöhen. Diesen Zweck erreicht die Erfindung dadurch, dass als Heizteil ein Graphit- oder Kohlenstoffstab vorgesehen ist. Der Erfindungsgegenstand wird anschliessend bei spielsweise anhand einer Figur erläutert, in welcher in schaubildlicher Darstellung eine Verdampfervorrichtung dargestellt ist. Diese besteht aus dem eigentlichen Ver dampfer 1 zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes, welcher beispielsweise aus Nitrid, Borid, einer Keramik masse oder ähnlichem hergestellt ist und von der Schmel- zc sowie dem verdampften Metall relativ wenig angegrif fen wird. Dieser Verdampfer 1 weist an seiner für die Aufnahme des zu verdampfenden Metalles vorgesehenen Fläche einen Verdampfungstrog 3 auf und auf der dieser Fläche abgewandten Seite eine Nut 5 zur Aufnahme eines Graphitstabes 7, mit dessen Hilfe der Verdampfer 1 aufgeheizt wird. Diese Konstruktion weist den Vorteil auf, dass, bedingt durch den grossen elektrischen Wider stand des Graphites oder Kohlenstoffes, aus welchem der Stab 7 hergestellt ist, sehr hohe Temperaturen des Verdampfers 1 erreicht werden. Dieses Material weist dazu auch noch den Vorteil auf, dass es mit zunehmen der Temperatur biegefester wird und sich somit die Standzeiten mit steigender Temperatur verbessern. Wei terhin ist Graphit unempfindlich gegen Temperatur schocks, so dass auch diesbezüglich die Standzeit wesent lich verbessert werden kann. Die Verdampfervorrichtung ist daher viel weniger heikel als die bisher bekannten Ausführungen. Durch die dargelegte Konstruktion wird der direkte zerstörende Kontakt zwischen dem zu ver dampfenden Metall und dem Graphit verhütet, was ebenfalls die Lebensdauer der Vorrichtung erhöht. Die erläuterte Konstruktion ist bedeutend billiger, als die bisher bekannten. Sie lässt sich leicht bearbeiten und gibt erst noch der Vorrichtung sehr lange Standzeiten. Zudem kann sie in den Abmessungen klein gehalten werden. PATENTANSPRUCH Verdampfervorrichtung mit einem Heizteil und einem Verdampferteil zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes, dadurch gekennzeichnet, dass als Heizteil ein Graphit- oder Kohlenstoffstab vorgesehen ist. UNTERANSPRÜCHE 1. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil rittlings auf dem Heizstab angeordnet ist. 2. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil ungefähr der Heizstablänge bedeckt. 3. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil eine trogftirmige Verdampfungsfläche aufweist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH491208A true CH491208A (de) | 1970-05-31 |
Family
ID=4326853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH491208A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2515691A1 (fr) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Kennecott Corp | Nacelle chauffee par resistance pour vaporisation de metal |
EP0989200A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Bedampfungsvorrichtung |
-
1968
- 1968-05-20 CH CH754768A patent/CH491208A/de not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2515691A1 (fr) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Kennecott Corp | Nacelle chauffee par resistance pour vaporisation de metal |
DE3239949A1 (de) * | 1981-10-30 | 1983-05-11 | Kennecott Corp., 06904 Stamford, Conn. | Widerstandsbeheiztes schiffchen zum verdampfen von metallen |
EP0989200A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Bedampfungsvorrichtung |
US6189806B1 (en) | 1998-09-24 | 2001-02-20 | Leybold Systems Gmbh | Metallizing device for vacuum metallizing |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2527681C3 (de) | Elektrische Kontaktanordnung | |
DE3619913A1 (de) | Vorrichtung zur lagerung einer verbund-nockenwelle waehrend eines sintervorgangs | |
DE2757668C2 (de) | Mehrteiliger Kolben für Verbrennungsmotoren | |
CH491208A (de) | Verdampfervorrichtung | |
EP0439760A1 (de) | Vorrichtung zum Abstützen von Wärmebehandlungsgut in einem Erwärmungsofen | |
DE1565778A1 (de) | Erhitzungseinrichtung | |
DE2832027A1 (de) | Kathode fuer elektronenmission | |
CH656953A5 (de) | Vorrichtung zur zuendung von sprengkoerpern. | |
DE348150C (de) | Kolben fuer Gleichstromdampfmaschinen | |
DE3035932A1 (de) | Elektrisches zuendmittel | |
DE687629C (de) | Kontaktanschluss an metallisierten Flaechen elektrischer Schaltelemente, z. B. Kondensatoren, Widerstaende | |
DE60474C (de) | Zeitzünder für Sprenggeschosse | |
DE882880C (de) | Anschlusskoerper fuer Heizstaebe in elektrischen Widerstandsoefen | |
DE848293C (de) | Verfahren zum Verschmelzen von Eisen und Eisenlegierungen mit Kohlenstoff, insbesondere Graphit | |
DE202010001575U1 (de) | Spannbare Heizpatrone und Heizung | |
DE521890C (de) | Elektrischer Widerstandsofen | |
DE102008046471A1 (de) | Dampfgenerator | |
DE865968C (de) | Klemmschelle zur Verbindung von zwei rohrfoermigen Bauelementen | |
DE2419780B2 (de) | Konstruktion zum Tragen thermisch·"··11·!"1"*»61' flächiger Bauteile, wie Böden von Alkalimetall-Kesseln | |
DE102018006707A1 (de) | Kolonne mit Trennwand | |
AT43962B (de) | Elektrischer Induktionsofen. | |
DE46261C (de) | Neuerung an dem unter Nr. 43 311 patentirten Dampferzeuger mit capillaren Dampfentwickelungsrohren | |
DE641568C (de) | Sohle fuer Elektrodenoefen | |
DE461521C (de) | Zuendkerze | |
DE1194201B (de) | Gluehkerze fuer Brennkraftmaschinen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PL | Patent ceased |