CH491208A - Verdampfervorrichtung - Google Patents

Verdampfervorrichtung

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CH491208A
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CH754768A
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Description


      Verdampfervorrichtung       Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampfer  vorrichtung mit einem Heizteil und einem     Verdampferteil     zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes.  



  Bei den bekannten     Verdampfervorrichtungen,    welche  in     Metallisierungsanlagen    zum Aufdampfen von Metallen  dienen, besteht das Problem, nicht nur auf kleinstem  Raum die grössten     Verdampferleistungen    hervorzubrin  gen, sondern auch diese     Verdampfervorrichtungen    be  züglich Verschleiss bzw. Standzeiten zu verbessern. In  diesem Sinne bezweckt die vorliegende Erfindung die  bisher aufgrund der relativ geringen Widerstände der  metallischen Heizelemente relativ grossräumigen Ausfüh  rungen zu verbessern und durch entsprechende Kon  struktion auch deren Standzeiten zu erhöhen. Diesen  Zweck erreicht die Erfindung dadurch, dass als Heizteil  ein Graphit- oder     Kohlenstoffstab    vorgesehen ist.  



  Der Erfindungsgegenstand wird anschliessend bei  spielsweise anhand einer Figur erläutert, in welcher in  schaubildlicher Darstellung eine     Verdampfervorrichtung     dargestellt ist. Diese besteht aus dem eigentlichen Ver  dampfer 1 zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes,  welcher beispielsweise aus     Nitrid,        Borid,    einer Keramik  masse oder ähnlichem hergestellt ist und von der     Schmel-          zc    sowie dem verdampften Metall relativ wenig angegrif  fen wird.

   Dieser Verdampfer 1 weist an seiner für die  Aufnahme des zu verdampfenden     Metalles    vorgesehenen  Fläche einen     Verdampfungstrog    3 auf und auf der dieser  Fläche abgewandten Seite eine Nut 5 zur Aufnahme eines  Graphitstabes 7, mit dessen Hilfe der Verdampfer 1  aufgeheizt wird. Diese Konstruktion weist den Vorteil  auf, dass, bedingt durch den grossen elektrischen Wider  stand des     Graphites    oder Kohlenstoffes, aus welchem der  Stab 7 hergestellt ist, sehr hohe Temperaturen des  Verdampfers 1 erreicht werden. Dieses Material weist  dazu auch noch den Vorteil auf, dass es mit zunehmen  der Temperatur biegefester wird und sich somit die    Standzeiten mit steigender Temperatur verbessern.

   Wei  terhin ist Graphit unempfindlich gegen Temperatur  schocks, so dass auch diesbezüglich die Standzeit wesent  lich verbessert werden kann. Die     Verdampfervorrichtung     ist daher viel weniger heikel als die bisher bekannten  Ausführungen. Durch die dargelegte Konstruktion wird  der direkte zerstörende Kontakt zwischen dem zu ver  dampfenden Metall und dem Graphit verhütet, was  ebenfalls die Lebensdauer der Vorrichtung erhöht.  



  Die erläuterte Konstruktion ist bedeutend billiger, als  die bisher bekannten. Sie lässt sich leicht bearbeiten und  gibt erst noch der Vorrichtung sehr lange Standzeiten.  Zudem kann sie in den Abmessungen klein gehalten  werden.    PATENTANSPRUCH       Verdampfervorrichtung    mit einem Heizteil und einem       Verdampferteil    zur Aufnahme des zu verdampfenden  Stoffes, dadurch gekennzeichnet, dass als Heizteil ein  Graphit- oder     Kohlenstoffstab    vorgesehen ist.  



  UNTERANSPRÜCHE  1.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    rittlings  auf dem Heizstab angeordnet ist.  



  2.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    ungefähr  der Heizstablänge     bedeckt.     



  3.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    eine       trogftirmige        Verdampfungsfläche    aufweist.

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2515691A1 (fr) * 1981-10-30 1983-05-06 Kennecott Corp Nacelle chauffee par resistance pour vaporisation de metal
EP0989200A1 (de) * 1998-09-24 2000-03-29 Leybold Systems GmbH Bedampfungsvorrichtung

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