CH491208A

CH491208A - Evaporator device

Info

Publication number: CH491208A
Application number: CH754768A
Authority: CH
Inventors: Hauser Johann
Original assignee: Hauser Johann
Priority date: 1968-05-20
Filing date: 1968-05-20
Publication date: 1970-05-31

Description

  

      Verdampfervorrichtung       Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampfer  vorrichtung mit einem Heizteil und einem     Verdampferteil     zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes.  



  Bei den bekannten     Verdampfervorrichtungen,    welche  in     Metallisierungsanlagen    zum Aufdampfen von Metallen  dienen, besteht das Problem, nicht nur auf kleinstem  Raum die grössten     Verdampferleistungen    hervorzubrin  gen, sondern auch diese     Verdampfervorrichtungen    be  züglich Verschleiss bzw. Standzeiten zu verbessern. In  diesem Sinne bezweckt die vorliegende Erfindung die  bisher aufgrund der relativ geringen Widerstände der  metallischen Heizelemente relativ grossräumigen Ausfüh  rungen zu verbessern und durch entsprechende Kon  struktion auch deren Standzeiten zu erhöhen. Diesen  Zweck erreicht die Erfindung dadurch, dass als Heizteil  ein Graphit- oder     Kohlenstoffstab    vorgesehen ist.  



  Der Erfindungsgegenstand wird anschliessend bei  spielsweise anhand einer Figur erläutert, in welcher in  schaubildlicher Darstellung eine     Verdampfervorrichtung     dargestellt ist. Diese besteht aus dem eigentlichen Ver  dampfer 1 zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes,  welcher beispielsweise aus     Nitrid,        Borid,    einer Keramik  masse oder ähnlichem hergestellt ist und von der     Schmel-          zc    sowie dem verdampften Metall relativ wenig angegrif  fen wird.

   Dieser Verdampfer 1 weist an seiner für die  Aufnahme des zu verdampfenden     Metalles    vorgesehenen  Fläche einen     Verdampfungstrog    3 auf und auf der dieser  Fläche abgewandten Seite eine Nut 5 zur Aufnahme eines  Graphitstabes 7, mit dessen Hilfe der Verdampfer 1  aufgeheizt wird. Diese Konstruktion weist den Vorteil  auf, dass, bedingt durch den grossen elektrischen Wider  stand des     Graphites    oder Kohlenstoffes, aus welchem der  Stab 7 hergestellt ist, sehr hohe Temperaturen des  Verdampfers 1 erreicht werden. Dieses Material weist  dazu auch noch den Vorteil auf, dass es mit zunehmen  der Temperatur biegefester wird und sich somit die    Standzeiten mit steigender Temperatur verbessern.

   Wei  terhin ist Graphit unempfindlich gegen Temperatur  schocks, so dass auch diesbezüglich die Standzeit wesent  lich verbessert werden kann. Die     Verdampfervorrichtung     ist daher viel weniger heikel als die bisher bekannten  Ausführungen. Durch die dargelegte Konstruktion wird  der direkte zerstörende Kontakt zwischen dem zu ver  dampfenden Metall und dem Graphit verhütet, was  ebenfalls die Lebensdauer der Vorrichtung erhöht.  



  Die erläuterte Konstruktion ist bedeutend billiger, als  die bisher bekannten. Sie lässt sich leicht bearbeiten und  gibt erst noch der Vorrichtung sehr lange Standzeiten.  Zudem kann sie in den Abmessungen klein gehalten  werden.    PATENTANSPRUCH       Verdampfervorrichtung    mit einem Heizteil und einem       Verdampferteil    zur Aufnahme des zu verdampfenden  Stoffes, dadurch gekennzeichnet, dass als Heizteil ein  Graphit- oder     Kohlenstoffstab    vorgesehen ist.  



  UNTERANSPRÜCHE  1.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    rittlings  auf dem Heizstab angeordnet ist.  



  2.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    ungefähr  der Heizstablänge     bedeckt.     



  3.     Verdampfervorrichtung    nach Patentanspruch, da  durch gekennzeichnet, dass der     Verdampferteil    eine       trogftirmige        Verdampfungsfläche    aufweist.



      The present invention relates to an evaporator device with a heating part and an evaporator part for receiving the substance to be evaporated.



  With the known evaporator devices, which are used in metallization systems for the evaporation of metals, there is the problem of not only producing the greatest evaporator capacities in the smallest of spaces, but also of improving these evaporator devices in terms of wear and tear and service life. In this sense, the present invention aims to improve the relatively large Ausfüh ments due to the relatively low resistances of the metallic heating elements and to increase their service life by appropriate construction. The invention achieves this purpose in that a graphite or carbon rod is provided as the heating part.



  The subject matter of the invention will then be explained with the aid of a figure, for example, in which an evaporator device is shown in a diagrammatic representation. This consists of the actual Ver evaporator 1 for receiving the substance to be vaporized, which is made, for example, of nitride, boride, a ceramic mass or the like and is relatively little attacked by the Schmelzc and the vaporized metal.

   This evaporator 1 has an evaporation trough 3 on its surface provided for receiving the metal to be evaporated and, on the side facing away from this surface, a groove 5 for receiving a graphite rod 7 with the aid of which the evaporator 1 is heated. This construction has the advantage that, due to the large electrical resistance of the graphite or carbon from which the rod 7 is made, very high temperatures of the evaporator 1 can be reached. This material also has the advantage that it becomes more resistant to bending as the temperature increases, and thus the service life improves as the temperature increases.

   Furthermore, graphite is insensitive to temperature shocks, so that the service life can also be significantly improved in this regard. The evaporator device is therefore much less tricky than the previously known designs. The construction shown prevents direct destructive contact between the metal to be evaporated and the graphite, which also increases the service life of the device.



  The construction explained is significantly cheaper than the previously known. It is easy to process and gives the device a very long service life. In addition, its dimensions can be kept small. PATENT CLAIM Evaporator device with a heating part and an evaporator part for receiving the substance to be evaporated, characterized in that a graphite or carbon rod is provided as the heating part.



  SUBClaims 1. Evaporator device according to claim, characterized in that the evaporator part is arranged astride the heating rod.



  2. Evaporator device according to claim, characterized in that the evaporator part covers approximately the length of the heating rod.



  3. Evaporator device according to claim, characterized in that the evaporator part has a trough-shaped evaporation surface.