CH484517A - Verfahren zum Aufbringen eines Stoffes auf einen begrenzten Oberflächenbereich eines Halbleiters - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen eines Stoffes auf einen begrenzten Oberflächenbereich eines Halbleiters

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CH484517A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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