CH441503A - Verfahren und Anordnung zum Erfassen der Kenndaten von elektrischen Bauelementen - Google Patents

Description

  



  Verfahren und Anordnung zum Erfassen der Kenndaten von elektrischen Bauelementen
Die Erfindung bezieht sich auf   ein-Verfahren    zum Erfassen der Kenndaten von in   Miniaturbauweise    ausgeführten elektrischen Bauelementen und eine Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens.



   Bei der Herstellung elektrischer Bauelemente ist es häufig erwünscht, genaue Kenndaten des hergestellten Bauelementes angeben zu können. Insbesondere bei einer Fertigung mit hohen Stückzahlen und bei   geforder-    ten engen Toleranzen der Kenndaten ist es jedoch schwierig, eine solche Prüfung mit herkömmlichen Mitteln durchzuführen. Es ist bereits bekannt, die zu messenden   BaueIemente    mehrere   Prüfstationen    durchlaufen zu lassen, wobei an jeder   Prüfstation    nur eine einzige Prüfung vorgenommen wird. Weiterhin ist es bekannt, die zu prüfenden Bauelemente einer einzigen   Prüfstation    zuzuführen, an der   dann mehrere Prüfvor-    gänge durchgeführt werden.



   Sollen mit den bekannten Prüfvorrichtungen Bauelemente geprüft werden, die nur sehr geringe räumliche Abmessungen aufweisen, von denen jedoch jedes Bauelement mehreren   Prüfvorgängen unterzogen werden    muss, so   ergeben sich unüberwindbare Schwierigkeiten.   



  Zu prüfende Bauelemente der erwähnten Art können beispielsweise Halbleiterplättchen sein, wie sie in integrierten   Schattungen verwendet    werden. Für diesen als Beispiel gewählten Fall ist die Apparatur zu aufwendig, da an jeder Station nur ein Prüfvorgang vorgenommen worden kann. Bei einer grösseren Zahl von Prüfungen, wie sie gerade Halbleiter notwendig ist,   müsste    die Anzahl der   Prüfstationen    in einem nicht vertretbaren Mass   vergrössert werden.    Die meiste Zeit ginge für den Transport eines   Prüflings    von einer Station zu der nächsten verloren. Wegen der erwähnten Vielzahl der gewünschten Prüfungen treten beim Aufbau der elektrischen Schaltungsanordnung, welche den Prüfvorgang steuert und auswertet, erhebliche Schwierigkeiten auf.



  Dies ist besonders dann der Fall, wenn Prüfungen mit Hochfrequenz ausgeführt werden.   Ausserdem spielt    auch bei dieser Anordnung das Zeit-und   Transportproblem    eine Rolle. Da alle Prüfungen eines   Prüflings    an der gleichen Station durchgeführt werden, müssen die   Prüfun-    gen zeitlich nacheinander ablaufen. Bei hohen zu   prüfen-    den Stückzahlen müssen relativ viele solcher Prüfanord  nungen    vorgesehen werden.



   Es ist Aufgabe der Erfindung, ein   rationolleres    Prüfverfahren sowie eine Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens anzugeben, das die relativ hohe Zahl von   Prüfvorgängen    in möglichst kurzer Zeit durchführt.



  Diese Aufgabe wird f r ein eingangs erwähntes Verfahren   erfindungsgemäss    dadurch gelöst, dass jedes der zu messenden Bauelemente schrittweise nacheinander mehreren   Prüfstationen    zugeführt wird, dass eine jede dieser   Messtationen    mehrere Kenndaten des gleichen Bauelementes erfasst und dass den   Prüflingen    nach Passieren aller   Messtationen    an Hand aller ermittelten Messergebnisse eine vorher programmierte   Güteklas-    sifikation zugeordnet wird.



   Eine Weiterbildung der Erfindung besteht darin, dass die Daten über die ermittelte   Güteklassifikation    zur Steuerung einer Sortieranlage herangezogen werden, in welcher die Prüflinge nach Güteklassen getrennt eingeordnet werden. Weitere Einzelheiten von Ausfüh  rungsbeispielen    der Erfindung, sowie eine Anordnung zur Durchführung eines erfindungsgemässen Verfahrens ergeben sich aus der folgenden Beschreibung.



   Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen Verfahrens wird an Hand der Zeichnungen an einer Anordnung zur Durchführung des   erfindungsgemässen    Verfahrens im folgenden erläutert. Es zeigen :
Fig.   1    das Blockdiagramm der erfindungsgemässen Anordnung. 



   Fig. 2 un 3 die Systemsteuerung gemäss Fig. 1.



   Fig. 4 die Zusammensetzung von Fig. 2 und 3.



   Fig. 5 und 6 das Blockschaltbild der Blöcke 3 und 4 gemäss Fig.   l.   



   Fig. 7 die Zusammensetzung von Fig. 5 und 6.



   Fig. 8 die Schaltung des Ringgenerators.



   Fig. 9 die Schaltung der Blocksteuerungen.



   Fig. 10 die Ansicht der Programmtafel.



   Fig. 11 einen Schnitt durch die   Programmtafel    gemäss Fig. 10.



   Fig. 12 die Zusammensetzung der Fig. 9 und 10.



   Fig. 13 und 14 das Schaltbild eines der acht Sortier  verriegelungskreise.   



   Fig 15 die Zusammensetzung der Fi, g. 13 und 14.



   Fig. 16 das Schaltbild des Schieberegisters.



   Fig. 17 das Ausführungsbeispiel einer   Sortiersteue-    rung.



   Fig. 18 die   Wechsolstrom-Prüfkassette    mit der zugehörigen Schaltung.



   Fig. 19 den Verlauf der   Kollektor-und      Basis-Span-    nungen während des Einschaltvorganges.



   Fig. 20 die Basis-und Kollektorspannungen während des   Ausschaltvorganges.   



   Fig. 21 die Basis-und Kollektorspannungen für die Messung der Speicherzeit.



   Fig. 22 die Schaltung innerhalb einer Wechselstrom Testkassette.



   Fig. 22A eine Schaltungsanordnung zur Lieferung der gewünschten Prüfergebnisse.



   Fig. 23 das Schaltbild des Schaltzeitmessers.



   Fig. 24 das Zeitdiagramm während des Ablaufs eines Prüfvorganges.



   Fig. 25 die Ansicht eines zu messenden   Prüflings.   



   Fig. 26 die Aufsicht auf die Transportvorrichtung.



   Fig. 27 die Vorderansicht der gleichen Transportvorrichtung.



   Fig. 28 einen vergrösserten Ausschnitt der Anoidnung gemäss Fig. 27.



   Fig. 29 Einzelheiten der Anordnung gemäss den Fig. 27 und 28.



   Fig. 30 einen Teil der Vibrationszuführung gemäss Fig. 27.



   Fig. 31 die Ansicht der Orientierungs-Abtaststation.



   Fig. 32 einen Schnitt durch die Anordnung   gemäss    Fig.   31.   



   Fig. 33 die Darstellung der   Kontaktabfühlung.   



   Fig. 34 die Darstellung der Ausrichtstation.



   Fig. 35, 36 und 37 Schnitte durch die Anordnung gemäss Fig. 34.



   Fig. 38 Darstellung der Schaltung zur Steuerung der Ausrichtstation.



   Fig. 39 ein Diagramm zur Erklärung der   Wirkungs-    weise der Anordnung gemäss Fig. 38.



     'Fig.    40 die Ansicht der Kontaktvorrichtung für den   Prüfling.   



   Fig. 41 die vergrösserte Darstellung der Anordnung gemäss Fig. 38 mit aufgelegtem   Prüfling    und
Fig. 42 einen Schnitt durch die Anordnung gemäss Fig. 41.



   Gesamtsystem
An Hand von   Fi,-,    1 wird zunächst die   Gesamtanord-    nung funktionsmässig allgemein beschrieben, und danach werden der Aufbau und die Wirkungsweise jedes Bauelementes erläutert. Das hier zum Zwecke der Veranschaulichung beschriebene Ausführungsbeispiel der Erfindung umfasst zwei   Halbleiterplättchen-,    Halte-un Transportvorrichtungen, die in Fig.   1    als   erster Hal  ter   1    und   zweiter   Halters-2 bezeichnet    sind.

   Durch jeden dieser Halter werden die Halbleiterplättchen orientiert und nacheinander vier Prüfstationen und schliesslich einer Sortierstation zugeleitet, wo das   Plätt-    chen in eins von acht Fächern je nach den Ergebnissen der an den vier Stationen ausgeführten elektrischen Prüfungen abgelegt wird.



   Die Halter 1 und 2 arbeiten im   Doppelbetrieb.   



  Während an den vier Halbleitrplättchen an den vier   Prüfstationen    des einen Halters Prüfungen vorgenommen werden, wird der andere Halter weitergeschaltet, um jedes Plättchen zur nächstfolgenden Station zu befördern. Nach Abschluss der Prüfungen an dem einen Halter wird dieser dann weitergeschaltet, während der andere im Stillstand bleibt, damit seine Plättchen den   Prüfvorgängen    unterzogen werden können.



   Die die elektrischen Prüfungen steuernde Schaltungsanordnung ist in zwei   Schaltungsblöcken    untergebracht, die in Fig.   1    als   erster Block)  >  3 und   zweiter Block)) 4 bezeichnet sind. Diese beiden Blöcke 3 und 4   kön-    nen einander im Aufbau gleichen. Vorzugsweise werden sie aber so programmiert, dass sie verschiedene Gruppen von Prüfungen ausführen. Die Schaltungsanordnung ist nur zur Erleichterung der   dichtgedrängten    mechanischen Unterbringung in den beiden getrennten Blöcken 3 und 4 untergebracht. Selbstverständlich kann die ganze Schaltung beider Blöcke in einem einzigen Block zusammengefasst werden.



   Jeder der Blöcke 3 und 4 steuert die Prüfungen an zwei der Stationen beider Halter   I    und 2. Im einzelnen steuert der erste Block 3 die Wechselstromprüfungen oder die Prüfung des   Einschwingverhaltens    an Stationen 1 des ersten Halters   1    und ausserdem die gleichen Prüfungen an der Station 2 des zweiten Halters 2. Ausserdem steuert der erste Block 3 die Gleichstrom-Prüfungen an der Station 4 des ersten Halters 1 sowie an der gleichen Station des zweiten Halters 2. Ebenso steuert der zweite Block 4 die   Wechselstrom-Prüfungen    an jeder Station 2 beider Halter sowie eine Gruppe von Gleichstrom-Prüfungen an jeder Station 3 beider Halter.



   Die Systemsteuerung   5    gemäss Fig.   1    leitet die Schaltvorgänge der Halter 1 und 2 ein, empfängt Signale aus den Haltern, welche anzeigen, dass die Weiterschaltung abgeschlossen ist, teilt den Blöcken 3 und 4 durch entsprechende Signale mit, dass sie ihre Prüfoperationen beginnen sollen, und empfängt nach Abschluss der Prüfungen Signale aus den Blöcken 3 und 4. Die Systemsteuerung 5 besorgt somit die zeitliche Steuerung der Funktionsabläufe an den Haltern 1 und 2.



   Im einzelnen empfängt die Systemsteuerung 5 ein Signal aus dem ersten Halter   1    über Leitung 6, welches angibt, dass der erste Halter   1    seine Weiterschaltung beendet hat. Dann überträgt die Systemsteuerung 5 ein Signal über Leitung 7 zum zweiten Halter 2, das diesen zur Weiterschaltung veranlasst, wenn seine   Prüfun-    gen abgeschlossen sind. Weiter sendet die Systemsteuerung 5 über Leitung 8 Signale zum ersten Block 3 und zum zweiten Block 4, um die   Prüfvorgänge      bezug-    lich der vier   Halbleiterplättchen    an den vier Stationen des ersten Halters   1    einzuleiten. Der Abschluss der Prüfungen durch den ersten Block 3 wird der Systemsteuerung 5 über Leitung 9 mitgeteilt.

   Der Abschluss der Prüfungen durch den zweiten Block 4 wird der Systemsteuerung 5 über Leitung 10 mitgeteilt. Dann wird der erste Halter 1 über Leitung 11 durch die Systemsteuerung 5 veranlasst, seine Weiterschaltung zu beginnen. Durch ein Signal aus dem zweiten Ha, lter 2 erfährt die Systemsteuerung 5 über Leitung 12, dass dessen Weiterschaltung abgeschlossen ist. Nun wird Leitung 8 durch die Systemsteuerung 5 erregt, um die   Prüfopera-    tionen an den Blöcken 3 und 4 für die vier Plättchen an den vier Stationen des Halters 2 einzuleiten. Der Arbeitszyklus wird dann ständig wiederholt, wobei jeder Halter abwechselnd seine   Halbleiterplättchen    weiterschaltet, während die Plättchen am anderen Halter geprüft werden.



   Den beiden Blöcken 3 und 4 und dem ersten Halter   1    sind ein erstes   Sortierschieberegister    13 und eine erste Vorzugssortiersteuerung 14 zugeordnet. Ebenso sind den beiden Blöcken 3 und 4 und dem zweiten Halter 2 ein zweites Sortierschieberegister 15 und eine zweite Vor  zugssortiersteuerung    16 zugeordnet. Nachdem ein   Halbleiterplättchen    eine ganze Folge von Wechselstrom Prüfungen an der Station 1 des ersten Halters   1    durchlaufen hat,  bertrÏgt der erste Block 3 über das Kabel 17 zum ersten   Sortierschieberegister    eine Information, die besagt dauber, in welche der sieben Kategorien das Halbleiterplättchen einzuordnen ist.

   Die Anordnung kann so programmiert werden, dass das Plättchen, um sich für eine bestimmte der sieben möglichen Kategorien zu qualifizieren, nur einige bestimmte Prüfungen oder aber die ganze   Prüfungsfolge    an der Station 1 durchlaufen muss. Das Kabel 17 umfasst daher sieben Leitungen, die jede bei ihrer Erregung (d. h. wenn eine positive Gleichspannung auftritt) anzeigen, dass ein   Halbleiterplättchen alle Prüfungen    bestanden hat, die für eine der sieben möglichen Kategorien nötig sind. Ebenso enthält das Kabel 18 sieben Leitungen für die sieben Möglichkeiten, für die sich das Plättchen qualifizieren kann, nachdem es die ganze Folge von   Wechselstrom-    Prüfungen an der Station 2 des ersten Halters 1 durchlaufen hat.

   Die Kabel 19 und 20 umfassen jeweils sieben Leitungen für die Folgen von Gleichstrom-Prüfungen an der Station 3 bzw. der Station 4 des ersten Halters   1.    Die Kabel 21 bis 24 übertragen entsprechende   Sortiersignale    aus den Blöcken 3 und 4 zum zweiten Sortierschieberegister 15 in Verbindung mit den an vier Stationen des zweiten Halters 2 ausgeführten Wechsel  strom-und Gleichstrom-Prüfungen.   



   Jedes der Sortierschieberegister 13, 15 speichert die   Sortierinformationen    für jedes Halbleiterplättchen beim Vorrücken des Plättchens von Station zu Station. Falls sich ein Plättchen schliesslich für eine bestimmte Sortierkategorie qualifizieren soll, muss es sich für diese an allen vier Stationen qualifizieren und wird bezüglich dieser Sortierkategorie   disqualifiziert,    wenn es eine der er  forderlichen Prüfungen    an einer der vier Stationen nicht besteht. Beim Weitertransport des Plättchens von Station zu Station wird seine   Sortierkennzeichnung    stufenweise in einem der Schieberegister 13 bzw. 14 weitergeschoben.

   Diese   Schiebeoperation    wird eingeleitet durch Signale auf den Leitungen 13a, 15a aus der Systemsteuerung 5, nachdem beide Blöcke 3 und 4 alle Prüfungen jeder Folge abgeschlossen haben.



   Die sieben Kategorien sind nach Vorrang geordnet, und zwar hat Kategorie Nr.   1    den höchsten und Kategorie Nr. 7 den niedrigsten Vorrang. Wenn sich ein   Plätt-    chen für eine der sieben Kategorien nicht qualifiziert, wird es in eine achte ¸   Ausschuss       -Kategorie      einsortiert.   



  Wenn ein Halbleiterplättchen sich für mehrere Kategorien qualifiziert, wird es derjenigen mit dem höchsten Vorrang zugeteilt. Würde sich ein Plättchen z. B. für die Kategorien Nr. 3, 6 und 8 qualifizieren, so würde es schliesslich der Kategorie Nr. 3 zugeteilt. Die Zuteilung jedes Plättchens zu der Kategorie mit dem höchsten Vorrang erfolgt durch die erste Vorzugssortiersteuerung 14 für diejenigen Plättchen, die am ersten Halter   1    geprüft worden sind, und durch die zweite   Vorzugssortier-    steuerung 16 für diejenigen Plättchen, die am zweiten Halter 2 geprüft worden sind.

   Jedes der Kabel 25, 26 aus den Sortiorschieberegistern 13, 15 zu den Vor  zugssortiersteuerungen    14 bzw. 16 umfasst dreizehn Si  gnalleitungen,    und zwar sieben Leitungen zum Anzeigen eines   Durchgangs ¯ f r jede der sieben Kategorien und sechs Leitungen für die ersten sechs Kategorieen zur Erzeugung von    <  (Sperr  -Signalen, welche die    den Kategorien mit niedrigerem Vorrang entsprechenden Verriege  lungsschaltungen    in der nachstehend beschriebenen Art und Weise abschalten. Die von den Vorzugssortiersteuerungen 14, 16 zu den Haltern 1 und 2 verlaufenden Kabel 27, 28 bestehen aus je sieben   Signalleitun-    gen entsprechend den sieben Kategorien.



   Systemsteuerung
Die   Schaltungseinzolheiten    der Systemsteuerung 5 sind in Fig. 2 und 3 dargestellt und werden nachstehend beschrieben. Wie unten erläutert wird, enthält jeder der Blöcke 3 und 4 eine in Fig. 9 dargestellte Blocksteuerung. Gemäss Fig. 2 wird die aus dieser Blocksteuerung kommende Eingangsleitung 29 erregt, wenn die   Prüfvor-    gänge an den Stationen 1 und 4 abgeschlossen sind.



  Durch die Erregung dieser Eingangsleitung 29 wird die Verriegelungsschaltung 30 eingestellt. Die Verriegelungsschaltungen sind jeweils von herkömmlichem Aufbau, und zwar besteht jede aus einer Oder-Schaltung (z. B.



  30a) und einer Und-Schaltung (z. B. 30b), die in der üblichen Art miteinander verbunden sind. Die andere aus der Blocksteuerung kommende Eingangsleitung 31 wird erregt, wenn die   Prüfvorgänge    an den Stationen 2 und 3 abgeschlossen sind, wodurch die Verriegelungsschaltung 32 eingestellt wird. Nach dem Einstellen beider   Verriegelungsschaltungen    30 und 32 wird die Und Schaltung 33 bereit und ihr Ausgang steigt auf ein positives Potential an.



   Es sei angenommen, dass der erste Halter   1    soeben seine   Prüfvorgänge    abgeschlossen hat und zur Weiterschaltung bereit ist, während der zweite Halter 2 soeben die Weiterschaltung beendet hat und zum Beginn des Prüfens bereit ist. Dann arbeitet die Systemsteuerung 5 wie folgt : Durch das Schliessen des nockenbetätigten Schaltkontakts 35 (fig. 3) beim Abschluss der vorange  gangenen Weiterschaltung    des ersten Halters   1    ist die Verriegelungsschaltung 34 eingestellt worden, wie es nachstehend beschrieben wird. Die am Ausgang der Verriegelungsschaltung 34 beginnende Leitung 36 wird daher erregt, um eine der beiden Eingangsbedingungen f r die Und-Schaltung 37 zu erfüllen.

   Daher kann das Signal aus der bereiten Und-Schaltung 33 über die Leitung 38 an den zweiten Eingang der Und-Schaltung 37 gelangen.



  Deren Ausgangssignal wird über die Leitung 39 übertra gen und erregt die monostabile Kippschaltung 40, die einen   200ms-Impuls erzeugt.    Dieser erregt die Relaisspule 41 über die Leitung 42 und schliesst dadurch den Relaiskontakt 43, so dass die Spule 44 erregt und eine   Eintourenkupplung      45    betätigt werden. Die Kupplung schaltet den ersten Halter   1    einen Schritt weiter, so dass jedes   Halbleiterplättchen    zur nächstfolgenden   Prüfstation      befordert    wird. Das Ausgangssignal der monostabilen Kippschaltung 40 wird über Leitung 40a zu einem Inverter 40b übertragen, der einen negativen Impuls über Leitung 40c zu einer Verriegelungsschaltung 90 überträgt und diese dadurch rückstellt.



   Ausserdem wird das Ausgangssignal der Und-Schaltung 33 über Leitung 46 zu einer Verzögerungsschaltung 47 übertragen. Diese hat im Beispiel eine   Verzögerungs-    zeit von 50   tus,    die lang genug ist, um das Anstossen der monostabilen Kippschaltung 40 zu ermöglichen und dadurch eine Weiterschaltung des ersten Halters 1 zu bewirken, bevor die Verriegelungsschaltung 34 durch das   Signal ruckgestellt wird,    welches aus der Verzögerungsschaltung 47 über Leitung 48 und Inverter   49    zum Rückstelleingang 50 dieser Verriegelungsschaltung 34 übertragen wird.



   Durch die Weiterschaltung des zweiten Halters 2 wird ein Nocken 51 betätigt, der nach Abschluss der Schaltbewegung des Halters den   Schalterkontakt    52 schliesst. Durch das Schliessen des Kontakts 52 wird die Leitung 53 erregt und dadurch die Verriegelungsschaltung 54 eingestellt, was anzeigt, dass der zweite Halter 2 seine Weiterschaltung beendet hat. Das Ausgangssignal 55 der Verriegelungsschaltung 54 bildet ein Eingangssignal für die Und-Schaltung 56, deren anderer Eingang durch die Leitung 57 aus dem Inverter 58 und die Leitungen 60 und 61 beim Rückstellen der Verriegelungsschaltung 34 erregt wird. Durch die Betätigung der Und Schaltung 56 wird die Leitung 62 erregt, die die Ver  riegelungsschaltung    63 in den   Einstell-Zustand    bringt.



  Dadurch wird deren Ausgangsleitung 64 erregt und angezeigt, dass die   Prüfeinrichtungen    des zweiten Halters 2 betätigt sind.



   Die Leitung 64 ist über die Leitung 65 an die   Oder-    Schaltung 66 angeschlossen, die mit einer 3-ms-Verzö  gerungsschaltung 67    in Serie geschaltet ist. Dadurch wird eine monostabile Kippschaltung 68 angestossen, die einen   50-als-Impuls    auf Leitung 69 erzeugt als Signal für das Einleiten der   Prüfoperation    beider Blöcke 3 und 4. Der Ausgangsimpuls der monostabilen Kippschaltung 68 wird über   Leitung 70    zum Inverter 71 und dann zu den   Rückstelleingängen    72 und 73 der   Verriegelungsschal-    tungen   30    bzw. 32 übertragen.



   Nach Abschluss der Prüfungen an allen vier Stationen des zweiten Halters 2 werden die Eingangsleitungen 29, 31 aus den jeweiligen Blocksteuerungen der Blöcke 3 und 4 erregt. Dadurch werden die Verriegelungsschaltungen 30 und 32 eingestellt, um die Und-Schaltung 33 zu betätigen und dadurch über die Leitung 38 einen der beiden Eingänge der Und-Schaltung 74 zu erregen.



  Der andere Eingang dieser Schaltung wird erregt durch die   Leitung 75,    die vom Ausgang der eingestellten Ver  riegelungsschaltung    63 kommt. Dadurch wird der Eingang 76 der Und-Schaltung 74 erregt, und es wird eine weitere monostabile Kippschaltung 77 angestossen, die einen 200-ms-Impuls erzeugt und dadurch das Relais   79    über die Leitung 80 erregt. Der Relaiskontakt 81 wird geschlossen und erregt die Spule 82. Dadurch wird die Eintourenkupplung 83 betätigt, welche die Weiterschaltung des zweiten Halters 2 einleitet. Das Ausgangssignal der monostabilen Kippschaltung 77 wird über Leitung 78a zu dem Inverter 79a übertragen, wodurch die Verriegelungsschaltung 54 rückgestellt wird.



   Durch die Betätigung der Und-Schaltung 33 wird der Rückstelleingang 84 der Verriegelungsschaltung 63 erregt. Diese wird über die Leitung 46, die   Verzögerungs-    schaltung   47    und den Inverter 49 rückgestellt, wie es oben fiir die Verriegelungsschaltung 34 beschrieben worden ist. Beim   Riickstellen    der Verriegelungsschaltung 63 entsteht ein negatives Signal auf Leitung 64, das durch den Inverter 85 umgekehrt wird, so dass über die Leitung 86 ein positiver Impuls zu einem der Eingänge der Und-Schaltung 87 gelangt. Deren anderer Eingang 91 wird durch das Schliessen des   Schalterkontakts    35 durch den Nocken 88 erregt, wenn der erste Halter 1 seine Weiterschaltung beendet.

   Durch das Schliessen des Schalterkontakts 35 wird die Leitung 89 erregt, die die Verriegelungsschaltung 90 einstellt, deren   Ausgangsim-    puls den Eingang 91 der Und-Schaltung 87 erregt. Bei ihrer Betätigung sendet diese Und-Schaltung einen Impuls über die Leitung 92 zum   Einstelleingang    93 der Ver  riegelungsschaltung    34, wodurch diese eingestellt und die Prüfung am ersten Halter 1 eingeleitet wird.



     Schaltiing    der Block
Fig. 5 und 6 zeigen die Schaltungsanordnung für jeden der Blöcke 3 und 4. Es sind zwei stabilisierte Regelspannungsquellen 101, 102 und zwei stabilisierte Regel  stromquellan    103, 104 vorgesehen. Die erste Span  nungsquelle    101 hat eine negative Ausgangsleitung 105, eine positive Ausgangsleitung 106 und zwei Fernsteuerleibungen 107, 111. Eine der   Fernsteuerleitungen    107 ist an das eine Ende jedes   Programmpotentiometers    108 angeschlossen, von denen jedes einen Schleifer hat, der mit einer der N Leitungen 109 verbunden ist, welche zu einer Reihe von Potentiometer-Auswählrelais 110 führen.

   Die andere   Fernsteuerleitung    111 verläuft ebenfalls zu der Relaisreihe 110, so dass bei deren Betätigung eins der   Programmpotentiometer    108 ausgewählt und an die Leitungen 107, 111 angeschlossen wird.



   Durch Handeinstellung der Schleifer der Programmpotentiometer 108   lässt    sich der Widerstand zwischen der einen   Fernsteuerleitung    107 und der anderen   Fern-    steuerleitung 111 wahlweise verändern. Die erste Spannungsquelle 101 ist konventionell aufgebaut, so dass die an den Ausgangsleitungen 105, 106 erscheinende Spannung entsprechend dem Widerstand verändert wird, der an den   Fernsteuerleitungen    107, 111 liegt. Jedes der Pro  grammpobentiometer der Reihe    108 kann also so eingestellt worden, dass es bei seiner Auswahl durch die Reihe von Potentiometer-Auswählrelais 110 auf den Ausgangsleitungen 105, 106 eine   Prüfspannung    der gewünschten Grosse erzeugt.

   Durch Betätigung der Reihe von   Leistungsrelais    112 kann erreicht werden, dass diese Prüfspannung entweder eine positive oder eine negative Polarität erhält. Daher kann die Ausgangsleitung 113 der   Leistungsrelais    112 für jede Prüfung eine Spannung der gewünschten Grosse und Polarität aufweisen.



   Die zweite Spannungsquelle 102 ist mit der gleichen Steuerschaltung versehen, wie sie vorstehend in bezug auf die erste Spannungsquelle 101 besprochen worden ist.



  Diese Schaltungsanordnung trägt entsprechende Be  zugsziffern    mit   nachgestelltem        a  . Die    beiden Stromquellen 103, 104 sind ebenfalls mit entsprechenden Steuerelementen versehen, die die gleichen Bezugsziffern mit   nachgestelltem   b   bzw.   c tragen. Statt    einer stabilisierten Spannung übertragen die Ausgangsleitungen    105b,    106b der ersten Stromquelle 103 und die Aus  gangsleitungen      105c,    106c der zweiten Stromquelle 104 stabilisierte Ströme, die wahlweise verändert werden durch das Verstellen des   Programmpotentiometers    108b bzw. 108c an den   Fernsteuerleitungen    107b, lllb bzw.



   107c, lllc durch die Potentiometer-Auswählrelais 110b bzw. 110c.



   Die Bezugsziffer 114 bezeichnet allgemein eine Reihe von Relais für die Auswahl nachgeschalteter Elektroden, die während jeder Prüfung so programmiert werden, dass eine der Speiseleitungen 113, 113a, 113b oder 113c zu einer Kollektorspeiseleitung 115, einer   Basisspei-    seleitung 116 und einer   Emitterspeiseleitung    117 geschaltet wird. Die Leitungen 115, 116, 117 sind an den Kollektor, die Basis bzw. den Emitter des zu prüfenden   Transistor-Halbleiterplättchens über    eine Schaltungsanordnung innerhalb einer Gleichstrom-Prüfkassette 118 angeschlossen. Die sogenannten        Wechselstrom oder Einschwingverhalten-Prüfungen werden durch eine Wechselstrom-Prüfkassette 119 ausgeführt, die mit eigenen Stromquellen versehen ist, wie es nachstehend noch im einzelnen beschrieben wird.



   Die Ausgangssignale des Transistorplättchens   wäh-    rend einer Folge von   Gleichstrom-Prüfungen    werden über die Leitung 120 zu einem Eingang eines Differentialverstärkers 121 übertragen. Dem anderen Eingang 122 des Differentialverstärkers 121 wird eine Gleichstrom-Be  zugsspannung    wie folgt zugeführt :

   Bei 123 ist eine ne  gative    Quelle von   beispielsweise-15    V dargestellt, die an eine Reihe von Begrenzungspotentiometern 124 angeschlossen ist ; diese sind jeweils über einen Schleifer mit einer der N Leitungen   125    verbunden, von denen jede beliebige ausgewählte Leitung durch programmierte Betätigung der Reihe von   Grenzwert-Wählrelais    126 so angeschlossen werden kann, dass eine regelbare, ausgewählte Bezugsspannung dem Bezugseingang 122 des   Differentialverstiirkers    121 zugeführt wird. Die Relais 126 werden während jeder Prüfung betätigt, um eins der Potentiometer 124 entsprechend der Programmierung auf   einer Schalttafelanordnung,    die unten beschrieben wird, auszuwählen.

   In gleicher Weise ist eine positive 30V Quelle 123a an einen zweiten Satz von Begrenzungspotentiometem 124a und weiter an den   Differentialverstär-    ker 121 über Grenzwert-Wählrelais 126 angeschlossen.



  Der Differentialverstärker 121 ist eine bekannte Anordnung und erzeugt eine positive Ausgangsspannung auf Leitung 127, wenn das Ausgangssignal des zu prüfenden Transistorplättchens eine höhere Spannung als die Bezugsspannung am Bezugseingang 122 hat.



   Wie noch im   einzolnen    erläutert wird, führt die Wech  sèlstrom-Prüfkassette    119 eine Reihe von Prüfungen bezüglich des   Einschwingverhaltens    des zu prüfenden Transisto, rs aus. Auf der Ausgangsleitung 128 der Wechsel  strom-Prüfkassette    119 erscheint eine Folge von   Gleich-      stromsignalen,    die jedes ein Merkmal hinsichtlich des Einschwingverhaltens des zu prüfenden Transistors darstellen. Diese   Gleichstromsignale    werden einem Eingang eines weiteren Differentialverstärkers 129 zugeführt. Wieder legen wie bei den Gleichstromprüfungen Grenzwert-Wählrelais 126 eine Reihe von Bezugsspannungen an den Bezugseingang 130 eines   Differentialverstär-    kers 129.



   Sowohl im   Wechselstrom-als    auch im Gleichstromsystem vergleichen die Differentialverstärker 121,   129    das Bezugssignal mit dem Ausgangssignal der   Prüf-    kassette und erzeugen positive oder negative Spannungen, welche die Prüfergebnisse des Transistors darstellen und den   Sortier-Verriegelungs-und      Torschaltungen    131 und 132 zugeleitet werden, die an Hand von Fig. 13 bis 15 noch näher beschrieben werden.



   Ein   n      Prüfbeginn     -Signal aus der Systemsteuerung 5 wird in die Blocksteuerung 133 eingespeist, die an Hand von Fig. 9 noch im einzelnen beschrieben wird. Die Blocksteuerung 133 hat die Funktion, eine Folge von   Taktsignalen über    Leitung 134 zu erzeugen, die einen   Ringsteuer-Generator      135    steuern.



   Die Eingangsleitung 136 verläuft von der Programmschalttafel 137 aus zu der Blocksteuerung 133 und überträgt ein Signal, welches den Beginn der letzten Prüfung einer Folge anzeigt. Wenn z. B. nur zwanzig Prüfungen auszuführen sind, wird die   Letzte Prüfung  -Steuerleitung auf der Programmschalttafel 137 so programmiert, dass die Blocksteuerung 133 betätigt wird, wenn die Ringsteuerung 135 den   zwanzigsten    Schritt erreicht.



  Dieses     Letzte Prüfung  -Signal    setzt die Blocksteuerung 133 für den Abschluss der letzten Prüfung in Umlauf.



  Nach der letzten Prüfung erzeugt die Blocksteuerung 133 ein Signal, das über Leitung 138 der Systemsteuerung 5 zugeleitet wird. Wenn die Systemsteuerung 5 ein ¸ Letzte Prüfung abgeschlossen   s-Signal    aus beiden Blöcken 3 und 4 empfängt, erzeugt sie ein Weiterschaltsignal und überträgt es zu dem Halter, an dem die Prüfungen abgeschlossen worden sind. In Verbindung mit einem zeitlich gesteuerten Signal aus der Programmschalttafel 137 über Leitung 141 steuert die Blocksteuerung 133 die   Leistungsrelais    112 über die Leitung 142. Bei Koinzidenz der Signale aus der Schalttafel 137 und der Blocksteuerung 133 werden die   Leistungsrelais    112 erregt und   verbinden die Spannungs-und    Stromquellen 101, 102, 103, 104 über die Relais 114 mit der Gleichstrom-Prüfkassette 118.



   Die Ringsteuerung 135 wird in Verbindung mit Fig. 8 näher beschrieben. Grundsätzlich besteht sie aus einer Reihe von Flipflops, die nacheinander durch Signale aus der Blocksteuerung 133 weitergeschaltet und eingestellt werden. Die Ringsteuerung 135 liefert eine Folge von 25 positiven Impulsen, die nacheinander der Programmschalttafel 137 zugeführt werden. Diese steuert die Zeiten und Arbeitsgänge jedes der Schaltkreise in jedem der Steuer-und   Prüfsysteme    in noch zu beschreibender Art und Weise. Die Schalttafel 137 koppelt ein ¸ Letzte   Prüfung  -Signal über Leitung    136 in die Blocksteuerung 133, steuert über Leitung 139 Grenzwert-Auswählrelais 126, die Wechselstrom-Prüfkassette 119 über Leitung 144, die Gleichstrom-Prüfkassette 118 über Leitung 140 und die Relais 114 über Leitung 143.



   Ringsteuer-Generator
In Fig. 8 ist die Ringsteuerung 135, die in der Beschreibung von Fig. 6 zum erstenmal erwähnt worden ist, im einzelnen dargestellt. Die Schaltung 135 erzeugt eine Reihe von 25 Taktsignalen, die die Reihenfolge jeder der einzelnen Prüfungen steuern, welche von der erfindungsgemässen Anordnung durchgeführt werden.



  Die Schaltung 135 umfasst 13 Flipflopstufen 201 bis 213, die in Reihe geschaltet sind. Zur Erleichterung der Beschreibung werden nur die Stufen 201, 202, 203, 212 und 213 gezeigt und beschrieben.



   Jede   Flipflopstufe    arbeitet wie folgt : Eine der Stufen 201 bis 213 wird als im   a      E n) s-Zustand befindlich    ange sehen, wenn ihre obere Ausgangsklemme ein positives Potential und ihre untere Ausgangsklemme ein negatives Potential aufweisen. Der Zustand einer einzelnen Flipflopstufe wird umgeschaltet, wenn ein entsprechendes Torsignal aus der vorhergehenden Flipflopstufe und ein   Ringschaltsignal    aus der monostabilen Kippschaltung 216 gleichzeitig angelegt werden. Die monostabile Kippschaltung 215 wird betätigt durch ein Signal aus der Blocksteuerung (Fig. 9), nach Abschluss jeder Prüfung.



  Der Aufbau der Flipflopstufen 201 bis 213 und der monostabilen Kippschaltung 215 ist in der Technik bekannt und wird hier nicht näher beschrieben.



   Jede Hälfte einer Flipflopstufe 201 bis 213 ist mit   einem der Bezugsziffer folgenden   a > ) oder  <  (b   gekenn-    zeichnet und wird durch die entsprechende Hälfte der vorhergehenden   Flipflopstufe betätigt.    Z. B. wird die obere Hälfte   202a    der Stufe 202 durch die obere Hälfte 201a der Stufe   201    gesteuert. Eine Ausnahme bildet natürlich die Stufe 201, deren obere Hälfte 201a durch die untere Hälfte   213b    der Stufe 213 und deren untere Hälfte 201b durch die obere Hälfte 213a der Stufe 213 betätigt werden.



   Der Anfangszustand der   Ringsteuerung 135 ist der    Rückstell-Zustand, in welchem alle Flipflops 201 bis 213 im Aus-Zustand sind. D. H., alle Ausgangssignale der oberen        a   -Hälften    der Flipflops 201 bis 213 haben ein negatives Potential, und alle Ausgangssignale der unteren     b       -Hälften    der Flipflops 201 bis 213 haben ein positives Potential. In diesem Zustand wird ein positives Signal der oberen Hälfte 201a des Flipflops 201 von der unteren Hälfte 213b des Flipflops 213 aus zugeführt, während bei jedem der übrigen Flipflops 202 bis 213 ein negatives Potential an der oberen ¸ a)    > -Hälfte    von der oberen     a       -Hälfte    des jeweils vorhergehenden Flipflops aus anliegt.

   Wenn daher ein   Ringschaltsignal    aus der Blocksteuerung (Fig. 9) allen   FlipNops    201 bis 213 zugeführt wird, wird nur die Stufe 201 aus dem Aus-in den Ein-Zustand geschaltet.



   Durch diese Umschaltung gelangt ein positives Potential an einen der Eingänge der Und-Schaltung 216, die ihr anderes Eingangssignal aus der unteren Hälfte 202b des Flipflops 202 empfängt. Dieses Eingangssignal ist ebenfalls positiv, da 202 im Aus-Zustand ist. Die Und Schaltung 216 wird daher betätigt und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangsleitung 226, wodurch die erste Prüfung eingeleitet wird. Wenn das Flipflop 201 in den Ein-Zustand umschaltet, sendet es ein positives Potential zur oberen Hälfte 202a des Flipflops 202.



   Bei Ankunft eines zweiten Ringschaltsignals aus der Blocksteuerung (Fig. 9) wird also das Flipflop 202 in den Ein-Zustand geschaltet. Dadurch gelangt ein positives Potential an einen der Eingänge der Und-Schaltung 217, die ihr anderes Eingangssignal aus der unteren Hälfte 203b des Flipflops 203 empfängt. Dieses Eingangssignal ist positiv, da 203 im Aus-Zustand ist. Die Und-Schaltung 217 wird daher betätigt und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangsleitung 227, wodurch die zweite Prüfung eingeleitet wird.



   Dieser Vorgang wird fortgesetzt, bis alle dreizehn Stufen 201 bis 213 der Ringsteuerung 135 in den Ein Zustand geschaltet worden sind. Zu diesem Zeitpunkt wird die Und-Schaltung 218 betätigt und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangsleitung 232, wodurch die   dreizehnte Prüfung eingeleitet    wird. Jetzt ist das Flipflop 201 im Ein-Zustand und empfängt ein positives Potential an seiner unteren Hälfte 201b aus der oberen Hälfte 213a des Flipflops 213. Ein jetzt aus der Blocksteuerung (Fig.   9) gesendetes Ringschaltsignal    schaltet das Flipflop 201 in den Aus-Zustand. Beim Umschalten des Flipflops 201 in den Aus-Zustand wird das Ausgangssignal seiner unteren Hälfte 201b positiv.

   Daher gelangt ein positives Potential an den einen Eingang der Und  Schaltung 219,    die ihr zweites Eingangssignal aus der oberen Hälfte 202a des Flipflops 202 empfängt. Dieses Signal ist positiv, da 202 im Ein-Zustand ist. Die Und Schaltung 219 wird also betätigt und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangsleitung 228, wodurch die vierzehnte Prüfung eingeleitet wird.



   Durch das Umschalten des Flipflops 201 in den Aus Zustand gelangt ein positives Potential zur unteren Hälfte 202b des Flipflops 202. Das nächste   Ringschalt-    signal aus der Blocksteuerung schaltet daher das Flipflop 202 in den Aus-Zustand, wodurch die Und-Schaltung 220 betätigt wird und ein Signal auf der Ausgangsleitung 229 erzeugt, wie es oben beschrieben ist. Dieser Vorgang setzt sich fort, bis alle Flipflops 201 bis 213 in den Aus Zustand geschaltet worden sind.

   Die Und-Schaltungen 232, 233 und 234 sowie die anderen in Fig. 8 zur Verdeutlichung der Darstellung   weggelassenen    Und Schaltungen arbeiten in gleicher Weise, so dass aufein  anderfolgende      Prüfungseinleitungssignale    auf den Aus  gangsleitungen erzeugt    werden, für die die Leitungen 235, 236 und 237 weitere Beispiele sind. Die Rückstellung der Ringsteuerung 135 in den Anfangszustand erfolgt durch ein aus der Blocksteuerung (Fig. 9) auf die Eingangsleitung   231    gegebenes positives Signal. Durch dieses Signal werden alle dreizehn Flipflops 201 bis 213 in den Aus Zustand geschaltet, indem ihnen ein negatives   Rückstell-    Signal aus dem Inverter 230 zugeführt wird.



      Bloclcsteuerung   
Fig. 9 enthält ein genaues Schaltschema jeder der beiden Blocksteuerungen. Ein ¸   Prüfbeginn  -Signal    auf der Eingangsleitung 300 aus der Systemsteuerung wird einer Oder-Schaltung 301 zugeleitet. Diese leitet daraufhin über die Leitung 379 einen Impuls weiter zu der monostabilen Kippschaltung 215 der Ringsteuerung 135, die oben an Hand von Fig. 8 beschrieben ist.



   Eine Ausgangsleitung 320 der Oder-Schaltung 301 führt ausserdem in eine mit 303 bezeichnete Verriege  lungsschaltung,    die bei Empfang eines Signals auf Leitung 302 eingestellt wird. Es sei zunächst angenommen, dass sich die Verriegelungsschaltung 303 im   Rückstell-    Zustand befindet, in welchem das Potential auf 302 negativ ist. Das Potential auf Leitung 321 sowie das Potential auf der Ausgangsleitung 308 der Und-Schaltung 307 sind negativ. Das Potential an 381 ist negativ und das Potential auf Leitung 382 ist positiv. Die Und-Schaltung 312 ist im Aus-Zustand, die Oder-Schaltung 304 ist ebenfalls im Aus-Zustand.



   Ein über Leitung 302 zum   Einstelleingang    der Ver  riegelungsschaltung 303 gelangendes    positives Eingangssignal bewirkt das Einschalten der Oder-Schaltung 304.



  Daher erscheint ein positives Signal auf Leitung 381. Da zunächst auf der Eingangsleitung 382 der Und-Schaltung 312 ein positives Signal liegt, wird diese Und-Schaltung eingeschaltet und sendet ein positives Signal über die Leitung 380 zum Eingang der Oder-Schaltung 304. Das Ergebnis ist, dass die Verriegelungsschaltung 303 nun mit einem positiven Signal an den Klemmen 383 und 380 eingestellt wird. An diesen Klemmen bleibt ein positives Signal bestehen, bis die Verriegelungsschaltung 303 rückgestellt wird. Aus der vorstehenden Beschreibung geht hervor, dass durch ein positives Signal auf der Lei  tung 302    die Verriegelungsschaltung 303 eingestellt wird, wodurch die Leitungen 305 und 383 positiv werden.



   Dieses Ausgangssignal auf Leitung 305 wird direkt dem einen Eingang der Und-Schaltung 307 und indirekt über eine   2-ts-Verzögerungsschaltung    309 dem anderen Eingang der Und-Schaltung 307 zugeführt. Nach dieser Verzögerung wird die   Und-Schaltung 307 betätigt.    Sie erzeugt ein positives Potential an ihrem Ausgang 308, das 3, 5 ms lang bestehen bleibt. Durch die Ausgangsleitung 308 gelangt ein positives Potential an je einen Eingang jeder der Und-Schaltungen 367, 369, 373 und 375. Diese werden ausserdem gesteuert durch die 51 bis 54. Treiberleitung, die nachstehend an Hand der die Pro  grammschalttafel    137 darstellenden Fig. 10 beschrieben werden.

   Die Treiberleitungen leiten die Kommandosignale weiter, die angeben, welche   Prüfoperation      wäh-    rend eines   Prüfschrittes    ausgeführt werden soll. Durch die Koinzidenz positiver Eingangssignale an beiden Eingängen einer der Und-Schaltungen 367, 369, 373 und 375 wird eins der Netzrolais 354 bis 357 erregt, wodurch wiederum die zugeordnete Prüfschaltungsanordnung be  tätigt    wird.



   Wenn z. B. für eine bestimmte Prüfung die durch die 51. Treiberleitung gesteuerten Operationen auf der Pro  grammschalttafel    137 programmiert sind, hat diese Leitung Erdpotential, das als        positives  >  Signal angesehen wird. Bei Betätigung der Und-Schaltung 307 wird infolge der Koinzidenz positiver Signale    an beiden Eingängen der    Und-Schaltung 367 diese betätigt und die   Netzrelaisspule    354 über die Leitung 362 erregt. Dadurch schaltet sein Relaiskontakt während der Prüfung um.



   Wenn z. B. die 52. Treiberleitung nicht in die Schaltung hineinprogrammiert worden ist, bewirkt ein Aus  gangssignal    der Und-Schaltung 307 auf Leitung 308 keine Betätigung der Und-Schaltung 369. Daher spricht das Relais 355 nicht an, und die ihm zugeordnete Schaltungsanordnung ist während dieses   Prüfschrittes    ausser Betrieb.



   Das Signal am Ausgang 383 der   Verriegelungsschal-    tung 303 dient ebenfalls zum Einstellen der Verriege  lungsschaltung    333, nachdem es durch eine 2 ms Verzögerungsschaltung 309 und in einer 3, 5   ms-Verzöge-      rungsschaltung    316 verzögert worden ist. Das Signal auf Leitung 318 gelangt daher zu der Verriegelungsschaltung 333, 5, 5 ms nachdem das ursprüngliche Signal auf Leitung 383 die Verriegelungsschaltung 303 verlassen hat.



  Das positive Signal am Eingang 318 stellt die Verriege  lungsschaltung    333 in derselben Weise ein, wie es oben bezüglich der Verriegelungsschaltung 303 beschrieben worden ist, und   lässt    dadurch das Potential auf den Leitungen 327 und 325 positiv werden, d. h. den oberen oder   Erdspannungspegel    annehmen.



   Das positive Signal auf Leitung 327 veranlasst eine Verzögerungsschaltung 326, etwa 50   sts    später einen positiven Impuls zur Leitung 328 zu senden. Die Eingangsleitung 330 der Und-Schaltung 331 ist normalerweise positiv. Wenn das Signal auf Leitung 325 und das normalerweise positive Signal auf   Leitung 330 koinzidieren    wird die Und-Schaltung 331 betätigt. Sie erhöht dadurch das Potential auf Leitung 378. Das Ausgangssignal der Verzögerungsschaltung 326 wird durch den Inverter 329 umgekehrt und macht die Leitung 330 negativ, wodurch die Und-Schaltung 331 abgeschaltet wird.

   Infolgedessen hat das positive Signal auf Leitung 378 eine Impulsdauer von 50   tels.    Dieser Impuls wird den Stationssortier-Ver    riegelungsschaltungen    131, 132 zugeführt, wie es unten an Hand von Fig. 13 bis 15 erläutert wird.



   Der Impuls auf Leitung 328 aus der   Verzögerungs-    schaltung 326 wird ausserdem über die Leitung 314 dem Inverter 313 zugeleitet, in diesem umgekehrt und über die Leitung 382 zum Rückstelleingang der Verriegelungsschaltung 303 übertragen. Das Signal auf Leitung 328 wird weiter über die Leitung 335 einer 2ms-Verzöge  rungsschaltung    311 zugeführt. Deren Ausgangssignal wird durch den Inverter 315 umgekehrt und zum Rückstelleingang 323 der Verriegelungsschaltung 333 übertragen.



   Die Verriegelungsschaltung 336 ist normalerweise im Rückstellzustand, d. h. die Leitungen 339, 346 und 344 führen normalerweise ein negatives Potential. Wenn ein verzögertes Signal auf Leitung 317 zu der Verriegelungs  schaltung 336    gelangt, schaltet diese nicht um, weil kein   Letzte   Prüfung  -Signal    aus der Programmschalttafel 137 auf Leitung 337 vorliegt. Wenn die Verriegelungsschaltung 336 im Rückstellzustand ist, wird eine negative Spannung auf Leitung 339 durch den Inverter 340 in ein positives Signal auf Leitung 341 umgekehrt. Durch die Koinzidenz eines positiven Signals auf Leitung 341 und eines positiven Signals auf Leitung 350 von der Leitung 347 aus, spricht die Und-Schaltung 342 an und überträgt ein positives Signal über die Leitung 343 zur Oder Schaltung 301.

   Es entsteht also ein positives Ausgangssignal auf Leitung 379, durch das eine Weiterschaltung der Ringsteuerung zur nächsten Phase für die nächste Prüfung bewirkt wird.



   Solange die Verriegelungsschaltung 336 im   Rückstell-    zustand ist, liegt ein negatives Signal auf Leitung 348 vor und verhindert so, dass die Und-Schaltung 351 das    <     Letzte Prüfung beendet    -Signa ; l    und das Signal für die Rückstellung der Ringsteuerung auslöst.



   Zu Beginn der letzten Prüfung, für welche die Pro  grammschalttafel    137 programmiert worden ist, wird ein positives Signal über Leitung 337 in die Verriegelungsschaltung 336 übertragen. Dadurch wird die Verrie  gelungsschaltung    336 umgeschaltet und erzeugt ein positives Ausgangssignal auf Leitung 339, wie es oben für die Verriegelungsschaltung 303 beschrieben worden ist.



  Dieses positive Signal auf Leitung 339 wird durch den Inverter 340 umgekehrt, damit die Und-Schaltung 342 nicht betätigt wird. Es gelangt also ein negatives Signal auf Leitung 343 zum Eingang 343a der Oder-Schaltung 301, wodurch die Ringsteuerung nacheinander weitergeschaltet wird. Dieses Signal ist nötig, weil das  <    Prüfungs-      beginn  -Signal    aus der Systemsteuerung nur für die erste Prüfung einer Folge erzeugt wird.



   Ausserdem wird ein positives Signal auf Leitung 339 über die Leitung 348 zu der Und-Schaltung 351 übertragen und veranlasst sie, ein   ((Letzte Prüfung beendet t-    Signal auf der Ausgangsleitung 29 zu erzeugen sowie durch das Signal über die Leitung 353 die Ringsteuerung 135 rückzustellen.



      Programrrzschalttafel   
Fig. 10 und 11 zeigen die Programmschalttafel 137, durch welche die vorliegende Anordnung für jede   Wech-    selstrom-und   Gleichstrom-Prüfung    programmiert werden kann. Pro Block ist nur eine Schalttafel 137 vorhanden, wie es Fig. 6 zeigt.



   Die Schalttafel 137 ist eine rechteckige Platte 400 aus Isoliermaterial, die auf ihrer Vorderseite 401 eine Reihe von beispielsweise fünfundzwanzig horizontalen leitenden  Kupferstreifen 402 aufweist, welche vertikal getrennt sind. Am linken Rand der Schalttafel 137 ist jeder dieser horizontalen Streifen 402 mit einer Nummer bezeichnet, die einer der fünfundzwanzig Prüfungen, welche die Maximalzahl in jeder Folge bilden, entspricht. Die linken Anschlüsse der horizontalen Streifen 402 sind an Leitungen angeschlossen. welche ein Kabel 403 aus der Ringsteuerung 135 bilden.



   Auf der anderen Seite der   Isolierplatte    400 der Schalttafel 137 befindet sich eine Reihe von hundert vertikalen Kupferstreifen 404 in horizontalen Abständen. die etwa senkrecht zu den horizontalen Kupferstreifen 402 verlaufen. Jeder der vertikalen Streifen 404 bildet eine Treiberleitung zum Erregen einer bestimmten Relaisspule oder logischen Schaltung. Die Erregung eines Relais oder einer Schaltung besteht darin, dass eine von deren Klemmen geerdet wird. so dass Strom durch die Relaisspule oder die Schaltung zu deren anderer Klemme fliesst, die ständig mit einer negativen Quelle verbunden ist und auf einem vorherbestimmten Potential unter dem Erdpegel gehalten wird. Die häufig in der Beschreibung erwähnte (positive   Spannung ist also in Wirklichkeit Erdpotential.

   Jede der hundert Treiberleitungen oder vertikalen Kupferleisten 404 ist entlang des unteren Randes der Platte 400 numeriert.



   Wie schon bei der Beschreibung von Fig. 9 erwähnt, sind die 51., 52.. 53. und die 54. Treiberleitung an die Und-Schaltung 367, 369, 373 bzw. 375 durch das Kabel 405 angeschlossen, das aus den Leitungen 368. 370, 372 und 376 besteht. Andere Treiberleitungen sind an verschiedene logische Schaltungen über das Kabel 406 und an die verschiedenen Relaisspulen über das Kabel 407 angeschlossen.



   Gemäss Fig. 10 scheinen die horizontalen Kupferstreifen 402 die vertikalen Kupferstreifen 404 zu kreuzen.



  Tatsächlich sind die horizontalen Streifen 402, wie es Fig. 11 zeigt, vor den vertikalen Streifen 404 in einem Abstand angeordnet, der gleich der Stärke der Isolierplatte 400 ist. An jedem scheinbaren Schnittpunkt geht ein Loch 408 durch einen der horizontalen Kupferstreifen 402, einen der vertikalen Kupferstreifen 404 und ausserdem durch die dazwischenliegende Isolierplatte   400    hindurch.



   Jedes dieser Löcher 408 kann den Schaft 409 einer Diode aufnehmen, die allgemein mit 410 bezeichnet ist und einen vergrösserten zylindrischen Griff 411 aufweist, damit die Diode 410 manuell mit ihrem Schaft 409 in eins der Löcher 408 eingeführt oder herausgezogen werden kann. Der Schaft 409 weist am anderen Ende zwei leitende Teile 412. 413 auf, sowie einen   dazwischenliegen-    den   Halbleiterteil      414    mit einem   PN-tJbergang.    Der leitende Schaftteil 412 schafft in dem Loch 408 eine Verbindung mit dem vertikalen Kupferstreifen 404. Das andere leitende Endteil 413 schafft in gleicher Weise in dem Loch 408 eine Verbindung mit dem   horizcntalen    Kupferstreifen 402.



   Durch manuelles Einstecken von Dioden 410 in eine ausgewählte Gruppe von Löchern 408 werden also die entsprechenden Treiberleitungen oder vertikalen Kupferstreifen 404 mit den entsprechenden horizontalen Kupferstreifen 402 verbunden, wenn diese durch die Ringsteuerung 135 erregt oder auf den sogenannten     positi-    ven    >     Spannungspegel angehoben werden. Für jeden der fünfundzwanzig   Prüfschritte    in einer   Prüffolge    hebt die Ringsteuerung 135 eine der horizontalen Leisten 402 für eine Impulsdauer, die gleich der zur Ausführung einer Prüfung benötigten Zeit ist, auf den positiven Spannungspegel an. Diese Impulse werden der Reihe nach den horizontalen Streifen 402 zugeführt.

   Beim Anheben jedes der horizontalen Streifen 402 auf den positiven oder   Erdspannungspegel,    werden auch diejenigen vertikalen Treiberleitungen 404, die durch vorheriges Einführen einer Diode 410 mit dem erregten horizontalen Streifen 402 verbunden worden sind, auf den positiven Pegel gebracht und dadurch die logischen Schaltungen oder Relaisspulen erregt, an die die Treiberleitungen durch die Kabel 405, 406 und   407    angeschlossen sind.



   Stationssortier-Verriegelungsschaltungen
In   Fig. 13    und 14 sind Wechselstrom-und Gleich  strom-Stationssortier-Verriegelungsschaltungen    im einzelnen dargestellt, die in Fig. 6 allgemein als Reihen bei 131 und 132 angedeutet sind. Die Funktion dieser Ver  riegelungsschaltungen    besteht darin, die einzelnen   Prüfer-      gebnisse    an jeder Station in Form einer Entscheidung über die Sortenqualifikation für die Ubertragung zum   Sortierschieberegister    13 oder 15 zu sammeln.

   Da im vorliegenden Ausführungsbeispiel auf jedem Halter vier Prüfungsstationen verwendet werden, sind insgesamt acht solcher   Sortier-Verriegelungsschaltungen    vorhanden, von denen vier für Wechselstrom-Stationen und vier für   Gleichstrom-Stationen    bestimmt sind. Da alle acht Ver  riegelungsschaltungen    einander gleichen, ist in der   Zeich-    nung nur eine dargestellt worden.



   Für jede Prüfung einer Folge empfängt die Eingangsleitung 127 einer Verriegelungsschaltung 500 das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 121. Ob die Leitung 506 ein Signal gleicher oder umgekehrter Polarität entsprechend dem Ausgangssignal des Differentialver  stärkers    121 empfängt, hängt davon ab, ob die Exklusiv Oder-Schaltung 507 so programmiert ist, dass sie das    s    Ausgangssignal des Verstärkers 121 für die betreffende Prüfung umkehrt oder nicht umkehrt. Die   Programmie-    rungsschaltung 507 ist nötig, weil ein in die Verrie  gelungsschaltung 500 gelangendes    positives Ausgangssignal des Differentialverstärkers gewöhnlich einen Ausfall darstellt.

   Wenn statt dessen in einer bestimmten Prüfung ein positives Ausgangssignal eine        bestandene Prüfung darstellen soll, wird dadurch, dass die Schaltung 507 durch Erregung einer Treiberleitung 572 in die Schaltung mit aufgenommen wird, das positive Signal in ein negatives Signal umgekehrt.



   Das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 121 wird über die Leitung 127 der einen Eingangsklemme 503 der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 zugeführt, deren   ande-    rer Eingang 504 durch Leitung 572 mit der Programmschalttafel 137 verbunden ist. Diese kann so   program-    miert werden, dass sie ein positives Signal in die Exklusiv-Oder-Schaltung 507 einspeist. Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 zeigt an, ob das Ein  gangssignal    auf der Treiberleitung 572 und das Eingangssignal auf der Leitung 127 aus dem Differentialverstärker 121 die gleiche Polarität haben. Ein    <     (Prüfung bestanden    > -Resultat    wird angezeigt durch Eingangssignale gleicher Polarität für die Schaltung 507.

   Ein   Versagen        wird angezeigt durch Eingangssignale ent  gegengesetzter Polarität für    die   Schaltung 507.    Wenn das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 121 und das Signal auf Leitung 136 positiv sind, ist die Ausgangsleitung 506 der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 negativ. Falls das Signal auf Leitung 127 und das Eingangssignal auf Leitung 572 negativ sind, ist die Ausgangsleitung 506 negativ. Falls das Ausgangssignal des Verstärkers 121 negativ und das Eingangssignal auf   Leitung 136    positiv sind oder umgekehrt, erzeugt die Schaltung   507    ein positives Ausgangssignal.



   Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 ist eine Schrittfunktion und dient zum Anzeigen oder Darstellen einer     Bestanden)  > -oder   Versagt)  > -Ent-    scheidung, wie sie oben erläutert ist. Das Vorliegen eines positiven Signals auf Leitung 506, wenn die Schalttafel
137 entsprechend programmiert ist, zeigt an, dass die laufende Prüfung nicht bestanden ist. Ein negatives Signal weist auf eine bestandene Prüfung hin.



   Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 wird über die Leitung 506 dem einen Eingang der Und Schaltung 510 zugeleitet, deren anderer Eingang einen positiven Abtastimpuls auf Leitung 511 aus der Blocksteuerung 133 empfängt. Die Und-Schaltung 510 wird nur dann betätigt, wenn auf beiden Leitungen   511    und 506 je ein positives Signal vorliegt. Der Abtastimpuls ist zeitlich so gesteuert, dass er um eine bestimmte Verzöge  rungszeit    nach Beginn jeder Prüfung auftritt, so dass die anfänglichen   Einschwingvorgänge Zeit    zum Abklingen haben, bevor die eigentliche Prüfmessung vorgenommen wird.



   Das auf der Leitung 519 erscheinende Ausgangssignal der Und-Schaltung 510 wird gleichzeitig den Eingangsklemmen 519 bis 525 von sieben Und-Schaltungen 512 bis 518 zugeleitet, deren andere Eingangsklemmen 526 bis 532 an die Treiberleitungen 534 bis 540 des Treiberleitungskabels 541 angeschlossen sind. Je nach der Systemprogrammierung liegt auf einer dieser   Treiberleitun-    gen 534 bis 540 entweder ein positives oder ein negatives Signal vor. Durch ein positives Signal wird die betreffende Und-Schaltung 512 bis 518 betätigt, wenn ein positives Ausgangssignal auf Leitung 519 vorliegt. Die auf den Treiberleitungen   534    bis 540 erscheinenden   Treiber-    signale werden durch die Programmschalttafel 137 gesteuert.

   Jede beliebige der sieben Und-Schaltungen 512 bis 518 erzeugt also ein positives Ausgangssignal, wenn die entsprechende   Prüfung nicht bestanden ist, vorausge-    setzt, die betreffende der Treiberleitungen 534 bis 540 ist für diese Prüfung programmiert.



   Die Ausgangssignale der sieben Und-Schaltungen 512 bis 518 werden durch zugeordnete Leitungen 541 bis 547 den Eingangsklemmen 548 bis 554 der Verriegelungsschaltungen 555 bis 561 zugeführt. Jede dieser Schaltungen ist so aufgebaut, wie es bei 562 gezeigt ist. Und zwar besteht jede aus einem Inverter 563, einer Und-Schal  tung 564    und einer Oder-Schaltung 565. Alle Verriege  lungsschaltungen    werden eingestellt durch einen   Prüfbe-      ginn-Impuls über    die Leitungen 548 bis 554, bevor ein   Halbleiterplättchen    der Folge von Prüfungen unterzogen wird.

   Durch eine   nicht bestandene        Prüfung wird die normalerweise eingestellte Verriegelungsschaltung 565 rückgestellt, so dass ihr positiver   Ausgangspegel    in einen negativen Pegel umgekehrt wird. Eine bestandene   Prü-      fung    beeinflusst den Einstellzustand nicht. Die Leitungen 581 bis 587 steuern die   Sortierschieberegister.    Nach Abschluss aller Prüfungen zeigt eine positive Spannung auf Leitung 581 bis 587 an, dass das Halbleiterplättchen alle Prüfungen bestanden hat, die an der für die entsprechende Sorte benötigten Station ausgeführt worden sind.



   Sortierschieberegister
Fig. 16 zeigt ein Schieberegister, das die Resultate einzelner Prüfungen bezüglich eines Transistors sammelt.



  Dieses Register, das mit 599 bezeichnet ist und nachstehend als Sortierschieberegister erwähnt wird, schiebt die Prüfergebnisse derart weiter, dass Informationen bezüglich der Kategorien gespeichert werden, für welche sich ein Transistor qualifiziert, und zwar nach den   Prü-    fungen an jeder Station. Diese Informationen werden von einer nachstehend zu beschreibenden Vorzugssortierschaltung verarbeitet, um das Einsortieren jedes   Haib-      leiterplättchens    in die Kategorie mit dem höchsten Vorrang zu leiten, für die es sich schliesslich nach   Durchlau-    fen der Prüfungen an allen vier   Prüfstationen    qualifiziert.



   An jeder der vier Prüfstationen eines der Halter wird entschieden, ob das Halbleiterplättchen die zur Qualifikation für jede von sieben möglichen Kategorien nötigen Prüfungen bestanden hat oder nicht. Das Plättchen muss alle Prüfungen für eine gegebene Sorte an jeder der vier Prüfstationen bestehen, damit es sich für die betreffende Kategorie qualifiziert. Nach Abschluss der Prüfungen an der vierten und letzten   Prüfstation    wird das   Halbleiter-    plättchen in den Behälter eingelegt, der der Kategorie mit dem höchsten Vorrang entspricht.



   Gemäss Fig. 16 besteht jedes der Sortierschieberegister 13, 14 aus achtundzwanzig Flipflopstufen, die in sieben horizontalen Reihen und vier vertikalen Spalten angeordnet sind. Jede der sieben Reihen entspricht einer der sieben möglichen Kategorien, und jede der vier Spalten entspricht einer der vier   Prüfstationen.    Da alle Stufen des   Sortierschieberegisters    einander gleichen, wird nur die oberste Reihe, die die Kategorie Nr.   1    darstellt, im einzelnen gezeigt und beschrieben. Die übrigen Reihen, die die Kategorien Nr. 2 bis 7 darstellen, sind   schema-    tisch dargestellt und werden allgemein durch die   Bezugs-    ziffern 625 bis 630 angedeutet.



   Die Wirkungweise des   Sortierschieberegisters    wird verständlich, wenn man die Prüfungen bezüglich eines einzigen Halbleiterplättchens für die der Kategorie Nr.   1    entsprechende Reihe durch alle vier   Prüfstationen    verfolgt.

   Wenn ein Halbleiterplättchen in die   Prüfstation    Nr.   1    eingebracht wird und die Prüfungen an dieser Station abgeschlossen sind, befindet sich auf einer Ein  gangsleitung    611, die als Ausgangsleitung 581 der Sortier Verriegelungsschaltung 131 in Fig. 13 gezeigt ist, ein positives Potential, falls das Plättchen alle Prüfungen für Kategorie Nr.   1    besteht, und ein negatives Potential, wenn das Plättchen eine der für die Kategorie Nr.   1    nötigen Prüfungen nicht besteht.

   Nach Abschluss der   Prü-    fungen an den übrigen drei Stationen wird ein  <  Ende der   Prüfungen  -Signal    aus der Systemsteuerung auf die Ein  gangsleitung      601    gegeben, wodurch die monostabile Kippschaltung 602 angestossen wird.



   Ein positiver Ausgangsimpuls der Kippschaltung 602 gelangt dann zu der Und-Schaltung 603, deren zweite Eingangsleitung 600 durch die Systemsteuerung 5 gesteuert wird und am Ende der   Prüffolge    eine positive Spannung aufweist. Dadurch wird die Und-Schaltung 603 betätigt und sendet einen positiven Impuls zu den Steuereingängen aller achtundzwanzig Flipflops des Sortierschieberegisters. einschliesslich des Flipflops 621. Durch dieses positive Signal wird jedes Flipflop in den Ein-Zustand gebracht, falls sein Eingang (z. B. 611 für Flipflop 621) positiv ist, oder in den Aus-Zustand, wenn sein Eingang negativ ist, wobei der Anfangszustand der Flipflops keine Rolle spielt.



   Wenn angenommen wird, dass das zu prüfende   Halbleiterplättchen    alle Prüfungen für Kategorie Nr.   1    an Station Nr.   1    besteht, ist Flipflop 621 im Ein-Zustand, nachdem es durch das Ausgangssignal der Und-Schaltung 603 umgeschaltet worden ist. Das Ausgangssignal des Flipflops 621 ist daher positiv und betätigt die Und Schaltung 632. Die übrigen sechs Reihen 625 bis 630, die den anderen sechs Kategorien der Station Nr.   1    entsprechen, werden gleichzeitig mit der der Kategorie Nr.



     I    entsprechenden ersten Reihe betätigt. Nach Abschluss der Prüfungen an Station Nr.   1    wird der Halbleiterplätt  chen-Halter weitergeschaltet,    und das   Halbleiterplätt-    chen bewegt sich in der nachstehend beschriebenen Weise zur Station Nr. 2. Dort wird es einer anderen Gruppe von Prüfungen unterzogen.



   Falls an Station Nr. 2 das   Halbleiterplättchen    die zur   Qualifikation    in Kategorie Nr.   1    nötigen Prüfungen besteht, gelangt ein positives Signal auf die Eingangsleitung 612 der Und-Schaltung 632, deren anderer Eingang durch das Flipflop   621    erregt wird. Die Und-Schaltung 632 wird daher betätigt und bringt dadurch ihr Aus  gangssignal    und daher auch das Eingangssignal des Flipflops 622 auf einen positiven Pegel.



   Nach Abschluss aller Prüfungen an allen vier Stationen gelangt durch das ¸ Ende der Prüfungen  -Signal auf   Leitung 601    ein Steuersignal auf Leitung 672, zu allen Flipflops und veranlasst sie je nach ihrem Eingangszustand zum Umschalten in den anderen Zustand. Dieser Vorgang wird an den   Prüfstationen    Nr. 3 und 4   wieder-    holt. Wenn das Transistorplättchen die erforderliche Prüfung an allen vier Stationen für die Kategorie Nr.   1    besteht, liegt an der Ausgangsklemme 650 des letzten Flipflops 624 ein positives Potential. Durch einen nachstehend beschriebenen Sortierer wird das   Halbleiterplätt-    chen dann in den Behälter für die Kategorie Nr. 1. eingebracht.



   Falls sich das Plättchen an einer der vier   Prüfstatio-    nen nicht für die Kategorie Nr.   1    qualifiziert, werden die Polaritäten der Ausgangsklemmen 650, 651 umgekehrt und die   Vorzugssortiereinrichtung    betätigt, um das   Plätt-    chen in die Kategorie mit dem höchsten Vorgang, für die es sich qualifiziert hat,   hineinzubringen,    wie es nachstehend erläutert wird. Das heisst, falls das Plättchen die Prüfungen für Kategorie Nr.   1    an einer der vier Prüfstationen nicht besteht, werden alle Stufen des Sortierschie  beregisters,    die auf die   Prüfstation in der    das Versagen erfolgt ist, folgen, in den Aus-Zustand geschaltet. Falls das Halbleiterplättchen z.

   B. die Prüfungen für Kategorie Nr.   I    an Station Nr. 2 nicht besteht, ist das Signal auf der Eingangsleitung 612 negativ und betätigt die Und Schaltung 632 nicht. Daher wird das Flipflop 622 in den Aus-Zustand geschaltet, wenn der Steuerimpuls aus der Und-Schaltung 603 über Leitung 672 herangeführt wird.



  Das Ausgangssignal des Flipflops 622 ist daher negativ und macht eine Betätigung der Und-Schaltung 633 unmöglich. Nach der nächsten   Prüffolge    an Station Nr. 3 wird daher das Flipflop 623 in den Aus-Zustand geschaltet, ohne Rücksicht auf den Zustand des Eingangs 613.



  Ebenso wird ohne Rücksicht auf die Resultate der   Prü-    fungen an der   Prüfstation    Nr. 4 das Flipflop 624 in den Aus-Zustand geschaltet, so dass die Ausgangsklemme 650 negativ und die Ausgangsklemme 651 positiv werden.



  Die   Vorzugssortiersteuerungen    14 oder 16 sprechen dann in der nachstehend beschriebenen Art und Weise an.



      VorztsRssortiersterserung   
In Fig. 17 sind die   Vorzugssortierschaltungen    14 und 16 im einzelnen dargestellt. Die Schaltungen 14, 16 bestehen jeweils aus sieben Und-Schaltungen 702 bis 708 und acht   Relaistreibern    731 bis 738. Die sieben Paare von Eingangsleitungen 650 bis 663 sind die Paare von Ausgangsleitungen des in Fig. 16 gezeigten Sortierschie  beregisters    mit den gleichen Bezugsziffern. Z. B. entsprechen die Ausgangsleitungen 650 und 651 von Fig. 16 den Eingangsleitungen 650 und 651 von Fig. 17. Jedes Paar von Eingangsleitungen entspricht einer Kategorie.



  Z. B. entsprechen das   Eingangsleitungspaar    650, 651 der Kategorie Nr.   1    und das   Eingangsleitungspaar    662, 663 der Kategorie Nr. 7.



   Die Eingangsleitungen jedes Paares ergänzen einander ; wenn eine ein negatives Potential hat, hat die andere ein positives. Wenn z.   B.    die Eingangsleitung 650 ein positives Potential führt, weist die Eingangsleitung 651 ein negatives Potential auf, und wenn die Eingangsleitung 662 ein positives Potential hat, hat die Eingangsleitung 663 ein negatives Potential. Die mit der niedrigeren Nummer bezeichnete Eingangsleitung eines Paares hat ein positives Potential, wenn ein in Prüfung begriffenes Halbleiterplättchens alle Prüfungen für die jeweilige Kategorie an allen vier   Prüfstationen    bestanden hat. Die mit der höheren Nummer bezeichnete Eingangsleitung ist jeweils positiv, wenn das geprüfte Halbleiterplättchen die Prüfungen der jeweiligen Kategorie an einer der vier Prüfstationen nicht besteht.



   Wenn also ein gerade   geprüftes    Halbleiterplättchen alle Prüfungen für Kategorie Nr.   1    an allen   Prüfstatio-    nen besteht, führt die Eingangsleitung 650 ein positives Potential, und auf ihrer   Ergänzungsleitung    651 befindet sich ein negatives Potential. Durch das positive Potential auf der Eingangsleitung 650 wird der Relaistreiber 731 erregt und sendet ein Signal zu dem Halbleiterplättchen Halter über die Ausgangsleitung 741. Dieses Ausgangssignal veranlasst den Halter, das geprüfte   Halbleiterplätt-    chen in den Behälter für Kategorie Nr. 1 abzulegen.

   Das komplementäre negative Signal auf der Eingangsleitung 721 sperrt alle Und-Schaltungen 702 bis 708, so dass keine der Ausgangsleitungen   742    bis 748, die den Kategorien mit niedrigerem Vorrang entsprechen, erregt werden kann.



   Wenn das geprüfte Halbleiterplättchen ein oder mehrere Prüfungen für Kategorie Nr.   1    nicht besteht, hat die Eingangsleitung 650 ein negatives und die   Eingangslei-    tung 651 ein positives Potential. Daher wird der Relaistreiber 731 nicht erregt, aber ein Eingang der Und  Schaltung 702    wird erregt. Wenn das Halbleiterplättchen die Prüfungen für Kategorie Nr. 2 bestanden hat. führt die Eingangsleitung 652 ein positives Potential und erregt den anderen Eingang der Und-Schaltung 702 ; dadurch wird der   Relaistreiber    732 erregt und erzeugt ein Signal auf der Ausgangsleitung 742. Dieses veranlasst den Halbleiterplättchen-Halter, das Plättchen in den Behälter für Kategorie Nr. 2 abzulegen.



   Wenn ein Plättchen alle Prüfungen einer gegebenen Kategorie besteht, sperren die Eingangsleitungen für die diese Kategorie darstellende Vorzugssortiersteuerung alle Und-Schaltungen von Kategorien mit niedrigerem Vorrang. Wenn z. B. ein Plättchen die Prüfungen für Kategorie Nr. 4 besteht, ist die Leitung 657 negativ, wodurch die Und-Schaltungen 705 bis   708    gesperrt werden. Wenn das   gleiche Halbleiterplättchen    sich ausserdem nicht für die ersten drei Sorten qualifiziert hat, wird durch die positive Spannung auf den Eingangsleitungen 651, 653, 655 und 656 die   Und-Schaltung 704 betätigt.    Dadurch wird der Relaistreiber 734 erregt, so dass ein Signal auf der Ausgangsleitung   ? 44 entsteht,    wodurch das Plättchen in den Behälter für Kategorie Nr. 4 gelangt.

   Wenn sich das Halbleiterplättchen für keine der sieben Kategorien qualifiziert, wird die Und-Schaltung 708 betätigt, die den Relaistreiber 738 erregt, wodurch ein Signal auf die Aus  gangsleitung 748 gelangt,    durch welches das Plättchen in den   ((Ausschuss)  > -Behälter befördert    wird.



      Prufastag des Einschwingverhaltens   
Nachstehend wird die Einrichtung beschrieben, mit welcher die   erfindungsgemässe    Anordnung bestimmte   Einschwingverhalten-Prüfungen bezüglich    eines Transi  storplättchens ausführt. Fig.    18 zeigt eine Wechselstrom-Prüfkassette 810, einen Schaltzeitmesser 811 und die Eingänge und Ausgänge dafür. Die Kassette benötigt bestimmte Eingangsspannungen aus dem System. Diese Eingangssignale sind in Fig. 18 durch die Funktionsleitungen 828 bis 834 dargestellt. Neun Treiberleitungen aus der   Diodenprogrammschalttafel,    die durch Funktionsleitungen 819 bis 827 dargestellt sind, führen in die   Prüf-    kassette 810.

   Bei ihrer Erregung steuert jede der Trei  berleitungen    eine andere Relaisreihe innerhalb der   Prüf-    kassette 810. Alle Spulen innerhalb der   Prüfkassette    810 sind mit einem Ende   an-24    Volt und mit dem anderen Ende an die jeweiligen Treiberleitungen angeschlossen.



  Die Reihenfolge, in der diese Treiberleitungen erregt werden, ist eine Funktion der Programmschalttafel. Dadurch wird die Reihenfolge der innerhalb der Kassette ausgeführten Prüfungen gesteuert. Eine durch die Funktionsleitung 817 dargestellte besondere Signaltreiberleitung     B))    wird als   Prüftreiberleitungseingang    benötigt. Ihr Zweck wird im Anschluss an die Beschreibung der Wir  kungsweise    der Prüfkassette erläutert.



   Für alle innerhalb der Prüfkassette 810 ausgeführten Prüfungen ist ein 20KHz-Auslöseimpuls nötig. Die Kassette empfängt also den   Auslöseimpuls    während der Ausführung der Wechselstromprüfungen in Mehrfachschaltung. Die Erzeugung des Auslöseimpulses auf Leitung   816    ist ebenfalls in Fig. 18 veranschaulicht. Ein 20KHz Oszillator 812 ist an eine monostabile Kippschaltung 813 angeschlossen, die den Impuls so formt, dass er das erforderliche Tastverhältnis und den richtigen niedrigeren Gleichstrompegel erhält. Ein Impulsformer 814 sorgt für die Impulsanstiegszeit (kürzer als 2 ns) und den richtigen oberen   Gleichstrompegel.    Dieser Impuls wird über die   Ubertragungsleitung    815 der   Prüfkassette    810 zugeleitet.

   Die Funktion dieses Anregungsimpulses wird nach der Beschreibung der Wirkungsweise der Prüfkassette   810    deutlich.



   Das Ausgangssignal der Prüfkassette 810 erscheint auf einer einzelnen Leitung   850,    die an Block 3 oder 4 angeschlossen ist. Die Ausgangsleitung 850 führt eine Gleichspannung, die proportional der Leistung der geprüften Vorrichtung ist. Diese Gleichspannung ändert sich mit der   Prüfmehrfachschaltung,    so dass die Aus  gangsleitung    850 Analoginformationen über den Vorrich  tungsparameter    liefert, der während eines bestimmten   Treiberleitungssignals geprüft    wird. Der Schaltzeitmesser 811   ist auf der Prüfkassotte    810 angeordnet. Er empfängt die Basis-und Kollektorspannungen der geprüften Vorrichtung innerhalb der   Prüfkassette    810 und wandelt sie in Analoginformationen um.

   Der Ausgang des Schalt  zeitmessers    811 ist durch die Funktionsleitung 849 mit der Prüfkassette 810 verbunden. Während einige der   Prü-    fungen ausgeführt werden, ist der Ausgang des Messers mit dem   Prüfkassettenau. sgang    850 verbunden. Während der Durchführung anderer Prüfungen erfährt aber das Ausgangssignal eine weitere Verarbeitung innerhalb der Prüfkassette 810. Der Schaltzeitmesser 811 ist eine bekannte Ausführung. Wie die Prüfkassette 810 und der Schaltzeitmesser 811 arbeiten, wird nach der eingehenden Beschreibung erläutert. In der nachstehenden   Bespre-    chung wird bei den angegebenen Polaritäten angenommen, dass der geprüfte Transistor ein NPN-Transistor ist.



   Die Prüfung kann auf folgende Parameter erfolgen :   Einschaltverzögerung,      Abschaltverzögerung,    Speicherzeit,   Einschwingverzögerung    und   Abklingverzögerung.   



  Die Definition dieser Ausdrücke wird am besten aus Fig.



  19 bis 21 verständlich. Die Einschaltverzögerung ist die Zeit, die die Spannung am Kollektor der Vorrichtung braucht, um von der Speisespannung auf einen vorherbestimmten Pegel abzufallen, nachdem die Basissteuerspannung einen vorherbestimmten Pegel erreicht hat.



  Wenn also die Wellenform 887 die   Basissteuerspannung    ist, die die zu prüfende Vorrichtung einschaltet, und die Wellenform 888 die Kollektorspannung der so   gesteuer-    ten Vorrichtung, so ist die Einschaltverzögerung die   durch Tein in    der Figur dargestellte Zeit.



   Die   Abschaltverzögerung    ist die Zeit, die die Spannung   g am Kollektor    der Vorrichtung braucht, um auf einen vorherbestimmten Prozentsatz der   Kollektorspeise-    spannung anzusteigen, nachdem die   Basissteuerspannung    auf einen vorherbestimmten Pegel abgefallen ist. Wenn die Wellenform 889 die   Basissteuerung    ist, die die zu prüfende Vorrichtung abschaltet, und die Wellenform 890 die Kollektorspannung der so abgeschalteten Vorrichtung, dann ist die Abschaltverzögerung die durch   Tauds    in der Figur dargestellte Zeit.

   Die Speicherzeit des zu prüfenden Transistors ist die Zeit, die der Transistor benötigt, um von seiner   Sättigungsspannung    aus anzusteigen, nachdem er durch eine negative Basisspannung abgeschaltet worden ist, deren Abfallzeit kurz ist im Vergleich zu der   Schaltfähigkeit    des zu prüfenden Transistors. Wenn die Wellenform 891 eine solche Basisspannun, g und die Wellenform 892 die Kollektorspannung ei  nes    so gesteuerten Transistors darstellen, ist die   Speicher-    zeit, die in der Figur angedeutete Zeit.



   Typische Wellenformen, die zur Steuerung des zu prüfenden Transistors beispielsweise verwendet werden könnten, während eine Folge von Wechselstromprüfungen in   Mehrfachschaltung    ausgeführt wird, sind folgende :   Eine Abschalt-Basissteuerspannung,    die von 1, 5 Volt auf 300 mV bei einer Abfallzeit von 25ns abfällt, eine Spei  cherzeit-Basissteuerspannung,    die von 5, 0 V   auf-1,    0 Volt bei einer Abfallzeit von weniger als   5ns    abfällt, und eine   Einschalt-Basisspannung,    die von 300 mV auf 3, 5 V bei einer   Anstiegszeit    von   10ns    ansteigt.

   Innerhalb der Prüfkassette stehen Steuerungen zur Verfügung, die so geschaffen sind, dass die hohen und niedrigen Spannungspegel sowie die   Anstiegs-oder    Abfallzeiten jeder dieser Wellenformen fortlaufend durch weiter unten besprochene Einrichtungen innerhalb von Sägezahngeneratoren einstellbar sind.



   Die   Einschwingverzögerung    ist die Zeit, die der Kol  lektor    des zu prüfenden Transistors 860 benötigt, um von einer vorherbestimmten Spannung unterhalb der Speisespannung auf eine andere vorherbestimmte Spannung oberhalb der Sättigungsspannung abzufallen, nachdem   die Basiseinschaltspannung    dem Transistor 860 zugeführt worden ist. Die   Einschwingverzögerung    des Transistors, dessen Kollektorspannung die durch 888 dargestellte  Wellenform hat, wird in der Figur durch   Ta" darge-    stellt.

   Die   Abklingverzögerung    ist die Zeit, die die Vorrichtung braucht, um von einer Spannung oberhalb der Sättigungsspannung auf eine andere vorherbestimmte Spannung unterhalb der   Kollektorspeisespannung    anzusteigen, nachdem die Abschaltbasisspannung angelegt worden ist. Die Abklingverzögerung der Vorrichtung mit der Kollektorspannung 890 wird dargestellt durch   Tab.   



   Die Wirkungsweise der Prüfkassette 810 geht aus dem Diagramm von Fig. 22 hervor. Der   Auslöseimpuls    816 wird der Relaisreihe 851 zugeleitet. Daher durchläuft der Auslöseimpuls 816 die Relaiskontakte und steuert nur einen der drei Sägezahngeneratoren 852, 853 oder 854.



  Der   Sägezahngenerator    dem der   Auslöseimpuls    zugeführt wird, wird bestimmt durch die gerade ausgeführte   Prüfuna,    die durch die zu dieser Zeit erregten   Treiber-    leitungen zur Relaisreihe 851 gesteuert wird. Die Kontakte der Relaisreihe 855 werden durch die gleichen Treiberleitungen gesteuert, welche diejenigen der Relaisreihe 851 steuern. Die Kontakte der Relaisreihe 855 sind so angeordnet, dass der Ausgang des den Auslöseimpuls empfangenden Sägezahngenerators mit dem restlichen Teil der Schaltung innerhalb der   Prüfkassette    verbunden ist und die Ausgänge der anderen beiden Sägezahngeneratoren im Leerlauf sind.

   Auf diese Weise verbinden die Relaisreihen 851 und 855 nur denjenigen Sägezahngenerator, der für die gerade ausgeführte Prüfung verwendet werden soll, und isolieren die beiden anderen   Sägezahngeneratoren.   



   Die Relaisreihe 856 verbindet die richtige Eingangsimpedanz mit der Basis 860b des Transistors 860, der gerade geprüft wird. Für eine   Abschaltprüfung    wird also der Abschaltsägezahngenerator 852 über die Eingangsimpedanz 857 mit der Basis 860b des Transistors 860 verbunden. Ebenso wird der   Sägezahngenerator    853 über die Impedanz 858 während einer Speicherprüfung mit der Basis 860b des Transistors 860 verbunden. Während einer   Einschaltprüfung    wird der Sägezahngenerator 854 über die Impedanz 859 mit der Basis 860b verbunden.



  Die Relaisreihe 861 wählt die richtige Belastung und Vorspannung für Kollektor 860c des Transistors 860 aus.



  Während einer   Abschaltprüfung    verbinden ihre Kontakte daher die Last 862 mit dem Kollektor   860c,    während einer   Speicherzeitprüfung    die Last 863 mit dem Kollektor    r    860c und während einer   Einschaltprüfung    die Last 864 mit dem Kollektor 860c. Die Kontakte innerhalb der Relaisreihen 856 und 861 sowie die Kontakte aller nachstehend erwähnten Relaisreihen werden durch die zugeordneten Treiberleitungen ebenso gesteuert wie die oben beschriebenen Kontakte der Relaisreihen 851 und   855.    Der Emitter 860e ist geerdet.



   Auf diese Weise werden durch die Relaisreihen 851, 855, 856 und 861 bestimmte Schaltverbindungen in Mehrfachanordnung zu der Vorrichtung 860 für jede innerhalb der Prüfkassette 810 ausgeführte Prüfung hergestellt. Die folgende   Besprechung befasst    sich mit der Art und Weise, in der der mit der Prüfkassette 810 zusammenwirkende Schaltzeitmesser 811 die Reaktion des   Prüflings    860 auf die speziellen   Schaltbedingungen    in brauchbare Analoginformationen umsetzt.



   Der Schaltzeitmesser 811 spricht auf einen voreingestellten Wert der Basisspannung und einen voreingestellten Wert der Kollektorspannung an und liefert eine Ausgangsspannung, die proportional der Zeit   t zwischen    dem Auftreten dieser beiden voreingestellten Werte ist.



  Die Wirkungsweise des Schaltzeitmessers 811 wird an Hand von Fig. 23 erläutert. Die   Messvorrichtung    hat zwei Betriebsarten, die durch die Relaisreihe 870 gesteuert werden. Die Kontakte der Relaisreihe 870 schalten die Betriebsart um und durch Erden eines der   Schalteingange    835 oder 836 des Schaltzeitmessers (Fig.



  23). Wenn z.   B. der    Schalter 836 geschlossen und der Schalter 835 offen sind, werden die Sekundärspulen 876 und 877 der Transformatoren Tl bzw. T2 an die Schaltung angeschlossen und die Spulen 897 und 898 vom restlichen Teil der Schaltung abgetrennt.



   Unter diesen Bedingungen arbeitet der Schaltzeitmesser 811 wie folgt : Ein positives Signal aus der Wechselstrom-Prüfkassette wird dem Eingang 899 zugeführt und steuert den   Positivdiskriminator    872 über einen Widerstand 899a. Wenn dieses positive Eingangssignal den vorherbestimmten Pegel erreicht, überträgt der   Positivdis-      kriminator    872 einen Impuls, der durch den Impulserstärker 874 verstärkt wird. Der verstärkte Impuls wird über den Transformator Tl und die Diode Dl dem an die   Sekundärspule    876 angeschlossenen Inverter 878 zugeführt. Durch den Ausgangsimpuls des Inverters 878 wird die Verriegelungsschaltung 881 eingestellt.

   Im   EinstsHzustandhatdas    Ausgangssignal der Verriege  lungsschaltung    881 einen positiven Gleichspannungspegel, der beibehalten wird, bis die Schaltung 881 durch einen der 25ns-Verzögerungsleitung 880 zugeführten Impuls rückgestellt wird.



   Dieser   Rückstellimpuls    wird von einem negativen Eingangssignal 901 abgeleitet, das ebenfalls aus der Prüfkassette 810 stammt, und zwar ebenso wie der Ein  stellimpuls    von dem positiven Eingangssignal abgeleitet worden ist. D. h., ein Impuls wird von dem Negativdiskriminator 873 aus übertragen, wenn das negative Signal am Eingang 901 einen vorherbestimmten negativen Pegel erreicht. Dieser Impuls wird durch den Verstärker 875 verstärkt und zum Eingang des Inverters 879 über den Transformator T2, insbesondere die Se  kundärspule    877, und die Diode D2 übertragen.

   Der Ausgangsimpuls des Inverters 879 erfährt eine   Verzöge-    rung von   25ns    durch die   Verzögerungsleitung    880 und wird dann dem Rückstelleingang der   Verriegelungsschal-    tung 881 zugeführt.



   In dieser Betriebsart sind die positiven und negativen   Eingangssignale aus der Prüfkassette    810 die Basis-bzw. die Kollektorspannung des Transistors 860 bei dessen Einschaltung. Da der Transistor 860 mit einer Frequenz von 20 KHz geschaltet wird, die durch die Frequenz des 20KHz-Auslöseimpulses 816 bestimmt wird, wird die Verriegelungsschaltung 881 mit einer Frequenz von   20 KHz    ein-und rückgestellt, während der   Auslöseim-    puls 816 ansteigt. Dieses Ein-und Rückstellen der Ver  riegelungsschaltung    881 findet während der ganzen Dauer des Steuerleitungssignals statt, das die derzeit ausgeführte Prüfung steuert.

   Während dieses Vorgangs ist also das Ausgangssignal der Verriegelungsschaltung ein   20KHz-Signal,    dessen Tastverhältnis oder Impulsbreite bestimmt wird durch die Zeit zwischen dem Auftreten eines voreingestellten Wertes der positiven Eingangsspannung und dem Auftreten des voreingestellten Wertes der negativen Eingangsspannung.



   Dieses Ausgangssignal der Verriegelungsschaltung 881 wird dann einem   Integrationsverstärker    882 zugeführt. Das durch die Funktionsleitung 849 dargestellte Ausgangssignal des Verstärkers 882 ist eine   Gleichspan-    nung, die dem Tastverhältnis des Signals an seinem Ein gang proportional ist. Daher ist das Ausgangssignal 849 proportional der Zeit zwischen dem Auftreten der beiden voreingestellten Pegel der positiven und negativen Signale, die zum Eingang des Schaltzeitmessers bei 899 bzw.   901    gelangen.



   Die voreingestellten Werte, bei welchen die   jeweili-    gen Diskriminatoren eingeschaltet werden, werden bestimmt durch zwei andere Eingangsspannungen 900 und   902,    die   uber Widerstande    900a den Tunneldioden 801 bzw.   802    zugeführt werden. Diese Bezugsspannungen bestimmen den Wert der Diskriminator-Eingangsspannung, bei welchem der Diskriminator reagieren wird, durch Einstellung der Vorspannung der jeweiligen Tunneldioden.



   Die andere Betriebsart wird erreicht, wenn der Schalter 836 offen und der Schalter 835 geschlossen sind. Unter diesen Umstanden werden die   Sekundarspulen    897 und 898 iiber Dioden D3,   D4    an den restlichen Teil der Schaltzeitmesschaltung 811 angeschlossen, während jetzt   die Sekundarspulen    876 und 877 isoliert sind. Unter diesen Bedingungen wird T1 an den Eingang des Inverters 879 angeschlossen und T2 den Inverter 878. Der Impuls, der auftritt, wenn der vorherbestimmte Pegel des positiven Eingangssignals erreicht wird, stellt nun also die Verriegelungsschaltung 881   zurück, während    der  jenige,    der nach Erreichen des voreingestellten Pegels des negativen Signals auftritt, die Verriegelungsschaltung 881 jetzt einstellt.



     Gemäss    Fig.   22    werden die Signale der Basisspannung und der Kollektorausgangsspannung des Transistors 860 zu verschiedenen   Funktionsblocken    und dann zum Schaltzeitmesser 811   iibertragen.    Die   Kollektorausgangs-    spannung wird   tuber    die   Emitterfolgeschaltung    865 zu dem   Betriebsartschalter    866 und die Basissteuerspannung des Transistors 860 von einem Punkt zwischen den beiden Relaisreihen 855 und 856 direkt zum Betriebsartschalter 866   ubertragen.

   Der      Betriebsartschalter      866    stellt sicher, dass die positive Wellenform dem Eingang 899 zugef hrt wird und dadurch den   Positivdiskrimina-    tor steuert und dass die negative Wellenform dem Eingang 901 zugeführt wird und dadurch den   Negativdis-      kriminator    steuert. Denn je nach der durchgef hrten Prüfung kann die   Basisspannung entweder posvtiv oder    negativ gerichtet sein, und die Kollektorspannung hat stets die entgegengesetzte Richtung.



   Z. B. verbinden Relais innerhalb des Betriebsartschalters 866 den Ausgang der   Emitterfolgestufe    865 mit dem Eingang   899,    do dass er den   Positivdiskriminator    872 steuert, während eine   Abschaltprufung stattfindet,      wahrend    die Basissteuerspannung an den Eingang 901 gef hrt wird und dadurch den Negativdiskriminator betÏtigt. WÏhrend einer Einschaltpr fung ist die   Kollektor-    spannung ein negativ gerichtetes Signal und die Basissteuerspannung ein positiv gerichtetes Signal. Die Relais in dem   Betriebsartschalter    866 leiten daher die Kollektor  spannung zum Negativdiskriminator    873 und die Basisspannung zum Positivdiskriminator 872.



   Die Relaisreihen 867, 868,   869    und die durch deren Kontakte gehenden Spannungen bestimmen die Tunneldioden-Vorspannungen, die an den   Bezugseingangen    900 und 903 erscheinen, und stellen die   Diskriminator-Ein-    gangsspannungspegel ein, bei denen die Diskriminatoren ansprechen. Diese Relaiskontakte sind an   Spannungen-    teiler angeschlossen, so dass die Bezugsspannungen in   t7bereinstimmung    mit verschiedenen   An,-aben fdr    jede der   augefuhrten Prufungen      angepasst    werden k¯nnen.



  Diese Spannungsteiler bestehen teilweise aus verÏnderlichen Widerständen, so dass variable Bezugsspannungen   liber    einen kontinuierlichen, verÏnderlichen Bereich gemÏss der Vorrichtungsspezifikation voreingestellt werden k¯nnen. Die Relaisreihe 870 verbindet die richtigen Sek  undärspulen    der Transformatoren Tl und T2 innerhalb des Schaltzeitmessers   811,    wie schon beschrieben.

     Wich-    tig ist, dass die Relaisreihe 870 und der   Betriebsartschal-    ter 866 so in Verbindung miteinander arbeiten, dass die Basisspannung die Verriegelungsschaltung 881 einstellt, ob sie nun eine positiv oder eine negativ gerichtete Wellenform ist, und das Kollektorsignal die Verriegelungsschaltung 881 r ckstellt, ob sie nun eine positiv oder eine negativ gerichtete Wellenform ist. Z. B. verbindet   wäh-    rend einer Abschaltpriifung der Betriebsartschalter 866 die Basissteuerspannung so, dass sie den   Negativdiskri-      minator    873 betätigt, und die Relaisreihe 870 leitet den Impuls vom Negativdiskriminator 873 aus weiter, um die Verriegelungsschaltung 881   ruckzustellen.   



   Auf diese Weise werden Analoginformationen   bezug    lich der   Einschalt-und/oder    der   Abschaltverzögerung    des   Prüflings    aus der   Prüfkassette    810 und dem Schaltzeitmesser erhalten. Die Wellenform 887 bis 892 von Fig.   19    bis 21 veranschaulichen, wie ein typischer Transistor, der geprüft wird, reagiert. Das Ausgangssignal 849 des Schaltzeitmesser 811 ist eine Spannung, die pro  portional    der 25ns-Einschaltzeitverz¯gerung ist, wie sie   finir    die Wellenformen 887 und 888 gezeigt ist. Die durch   V,    bis   V8    dargestellten Spannungswerte sind die Eingangswerte, bei denen die Diskriminatoren 872 und 873 ansprechen.

   Diese Werte werden voreingestellt und durch Schalten der Vorspannung der Tunneldioden   1    und   2      angepasst,    wie   oben erlautert. Fur    die Einschalt  prufung    wird die Basisspannung 887 die Verriegelungsschaltung 881 durch   Betatigung    des   Positivdiskriminators    872 einstellen, nachdem die Basisspannung 887 den durch   V,    dargestellten Wert erreicht.

   Die Verriegelungsschaltung 881 wird   50ns spater    (25ns der Einschaltver  zögerung    plus 25ns der feststehenden   Riickstellverzoger-      uns liber    die   Verzogerungsleitung    880) durch die Kollektorspannung 888   tuber    den   Negativdiskriminator riickge-    stellt, wenn die Kollektorspannung 888 den durch V2 dargestellten voreingestellten Wert erreicht.

   Entsprechend   konnen Analoginformationen bezuglich    der Ab  schaltverzogerung    der typischen, hier   geprüften,    Vorrichtung als eine Spannung proportional der 30ns-Abschaltverzögerung zwischen den Wellenformen 889 und 890 erlangt werden.   Für diese Prüfung    sind die Relaisreihe 870 und der   Betriebsartschalter    866 so ausgelegt, dass die Basisspannung 889 die Verriegelungsschaltung 881   tuber    den Negativdiskriminator 873 einstellt und die   Kollektor-    spannung 890 die Verriegelungsschaltung 881   liber    den Positivdiskriminator 872   rilekstellt.   



   Die Speicherzeit der geprüften Vorrichtung wird ähnlich wie die Abschaltzeit gemessen. Der Unterschied zwischen disen beiden Prüfungen besteht in den Schalt  ungsbedingungen      finir    den Transistor 860. Die Umkehrung der Transistorreaktion in brauchbare   Analoginformatio-    nen erfolgt unter solchen   Schaltungsbedingungen    durch die gleiche Operation, wie sie bei der   Abschaltprüfung    verwendet wird. Das Ausgangssignal des   Speicherzeit-      Sägezahngenerators    853 hat eine   grosserie    Amplitude und eine schnellere Abfallzeit als das Signal des   Abschalt-      Sägezahngonerators    852.

   Die Zeitdifferenz zwischen Einstellung und R ckstellung der Verriegelungsschaltung 881 ist also die Zeit, die nötig ist, um den Transistor 860 aus dem   Sättigungsbereich herauszuführen.   



   Ein der Übergangszeit des Transistors proportionales Ausgangssignal kann mit dem gleichen Schaltzeitmesser 811 erlangt werden, der für die anderen Operationen benutzt wird. Dies wird durch   Mehrfachschaltung    des Schaltzeitmessers erreicht, mittels der im Block 871 in Fig. 22 enthaltenen Schaltung. Die Wellenform 888   lässt    erkennen, dass die   Einschwingverzögerung    durch die Ausführung von zwei aufeinanderfolgenden Einschaltprüfungen bestimmt werden kann. Falls die erforderliche   Einschaltverzögerung Tp, n    bestimmt wird (z. B. 25 ns für einen typischen   Prüfling,)    und kann die Einschaltzeit   (T,.      ;"-tir)    bestimmt wird, z.

   B.   45ns,    können die beiden Zeiten subtrahiert werden. Die Differenz ist die gesuchte   Einschwingzeit      T;,.Analogdazukann    die   Abling-      vorzögerung gefunden    werden, wie es für die Basis-und Kollektorwellenformen 889 und 890 gezeigt ist.



   Für eine   Einschwing-bzw. Abklingzeitmessung läuft    also der Schaltzeitmesser 811 zweimal nacheinander durch und liefert zwei aufeinanderfolgende Spannungen.



  Jede dieser Messungen erfolgt auf zwei selbständige Trei  berleitungssignale    hin. Während des ersten dieser Signale wird die Ausgangsleitung 850 des Blocks 871 direkt über seine Eingangsleitung verbunden. Das Ausgangssignal 850 der   Prüfkassette    810 enthält also die   Analoginfor-    mation bezüglich der Einschaltverzögerung des   Prüflings.   



  Während des zweiten   Treiberleitungssignals    erfolgt eine Einschaltzeitmessung, und die Ausgangsspannung des Schaltzeitmessers 811 stellt sich auf einen Wert proportional dieser zweiten Zeitmessung ein. Die Schaltung 871 verarbeitet dann die beiden aufeinanderfolgenden Spannungen so, dass ihre Ausgangsspannung auf Leitung 850 die Differenz zwischen den Werten der ersten und der zweiten Eingangsspannung darstellt. Diese Differenz ist direkt proportional der Differenz zwischen den beiden Zeiten   T, il    und   (Tein-T,).   



   Die im Block 871 enthaltene Schaltung ist in Fig.



  22A schematisch dargesellt. Diese Schaltung dient zum Messen von Differenzen zwischen zwei aufeinanderfolgenden Spannungen, die auf aufeinanderfolgende Zeitsteuerungsimpulse hin erscheinen. Die zugeordneten Wellenformen sind in Fig. 24 gezeigt. Das Kommandosignal 893 verbindet den Ausgang 849 des Schaltzeitmessers 811 mit dem Eingang des Schaltungsblocks 871 bei der ersten Messung der   Einschaltverzögerung.    Zu diesem Zeitpunkt ist die Eingangsleitung der Schaltung 871 direkt über ihre Ausgangsleitung geschaltet, weil das Relais 886 nicht erregt ist. Die Wellenform der Eingangsund Ausgangssignale der Schaltung sind daher identisch, wie es bei 895 bzw. 896 zu sehen ist.

   Während der Schaltzeitmesser 811 so mit der Schaltung 871 verbunden ist, erregt der spezielle Steuerimpuls B das Relais 885, so dass die positive Seite des Kondensators   884    geerdet wird. Der Kondensator 884 hält sich daher auf eine Spannung auf, die der Eingangsspannung der Schaltung 871 entspricht, bei der es sich natürlich um die Aus  gangsspannung    des Schaltzeitmessers 811 handelt. Vor dem Ende dieser ersten Einschaltverzögerung endet das   Treiberleitungssignal    B, so dass das Relais 885 wieder abfällt. Dadurch gelangt der Kondensator 884 in einen nicht geschlossenen Stromkreis, do dass er auf die ursprüngliche Eingangsspannung aufgeladen bleibt.



   Das zweite Treiberleitungssignal verbindet den zweiten Ausgang des Schaltzeitmessers 811 mit dem Eingang der Schaltung 871 und erregt das Relais 886. Im An  sprechzustand    des Relais 886 ist die am Ausgang der Schaltung 871 erscheinende Spannung gleich der Summe der zur Zeit am Eingang der Schaltung 871 liegenden Spannung und der Spannung am Kondensator 884.

   Da   die Spanung    am Kondensator 884 gleich der ersten Aus  gangsspannung des    Schaltzeitmessers ist und eine der gegenwärtigen Eingangsspannung der Schaltung 871 entgegengesetzte Polarität hat und die Spannung am Eingang gleich der zweiten Ausgangsspannung des Schalt  zeitmessers    ist, ist die am Ausgang der Schaltung 871 erscheinende Spannung die Differenz zwischen der ersten und der zweiten Ausgangsspannung des Schaltzeitmessers 811. Wie schon erläutert, ist diese Spannungsdifferenz proportional der   Einschwingzeit    des geprüften Transistors 860. Die Ausgangsspannung während dieser Messung wird durch die Wellenform 896 dargestellt.



   Die Prüfung der   Abklingverzögerung erfolgt in    gleicher Weise. Zwei aufeinanderfolgende   Ausgangsspannun-    gen des Schaltzeitmessers 811 sind Spannungen, die den beiden für die Wellenformen 889 und 890 gezeigten Abschaltzeiten proportional sind. Die   Schaltung 871    arbeitet ebenso wie vorher, als die beiden die Einschwingverzögerungszeiten darstellenden Spannungen ihrem Eingang zugeführt wurden. Während des Vorliegens eines   Abschalttreiberleitungssignals    ist daher der Ausgang der Schaltung 871 mit ihrem Eingang verbunden. Die auf der Leitung 850 erscheinende Ausgangsspannung ist die   Analoginformation    für die   Abklingverzögerung    des   Tran-    sistors 860.



   Wie die Wellenformen 895 und 896 während dieses Signals erkennen lassen, sind die Amplituden des Schaltzeitmesser-Ausgangssignal 849s und des Prüfkassetten Ausgangssignals 850 gleich. Wieder tritt das spezielle   B-Kommandosignal    während des Abschaltverzöger  ungssignals    auf. Während dieser Zeit ist das Aus  gangssignal    der   Messvorrichtung proportional    der zweiten Abschaltzeitmessung und wird dargestellt durch die   500mV-Amplitude    der Wellenform 895 während dieses Kommandos.

   Wieder ist während dieses   Kommandos    die   Ausgangsspannung    der Schaltung 871 gleich der Span  nungsdifferenz    zwischen der ersten und der zweiten Aus  gangsspannung    des Schaltzeitmessers 811. Dies wird während des   Abschalt-Treiberleitungssignals    durch die Amplitude der Wellenform 896 dargestellt, die jetzt 200 mV beträgt.



   Der Schaltzeitmesser ist so bemessen, dass das Ver  hältnis    zwischen der Ausgangsspannung und der gemessenen Zeit   10 mV    pro Nanosekunde beträgt. Wie aus der Wellenform 896 hervorgeht. stellt daher die 250 mV Ausgangsspannung während eines Einschaltsignals eine Einschaltverzögerung von 25ns dar, die   200 mV-Aus-      gangsspannung stellt während    des   Einschwingsignals    20ns dar, die   300 mV-Ausgangsspannung während des      Abschaltverzögerungssignals    eine   Abschaltverzögerung    von 30ns dar.

   Während des   Abklingkommandos    stellt die 200 mV-Spannung 20ns dar. und die 350 mV-Spanung während des Speicherzeit-Trieberleitungssignals die Speicherzeit von 35ns dar. Diese Werte sind natürlich nur Beispiele für eine bestimmte Vorrichtug.



   Die in Fig. 24 gezeigte   Arbeitsfolge (Einschaltver-      zögerung. Einschwingverzögerung, Abschaltverzögerung,      Abklingverzögerung    und Speicherzeit) ist nur ein Beispiel für die Reihenfolge, die durch die Programmschalttafel jedes Blocks 3 oder 4 des Systems programmiert werden kann. Es ist nicht nötig, dass alle gezeigten Prüfungen ausgeführt werden oder dass sie in der gezeigten Reihenfolge ausgeführt werden. Jedoch muss eine Einschwing  verzögerungsprüfung    auf eine   Einschaltverzögerungsprü-    fung und eine   Abklingverzögerunsprüfung    auf eine Abschaltverzögerunsprüfung folgen.

   Dies ist nötig, weil die   Zeitinformation    aus der Subtraktion der beiden aufeinanderfolgenden Einschaltmessungen erlangt wird. Die erste dieser Messungen ergibt die tatsächlich benötigte Ein  Schaltverzögerungszeit    und die zweite die Einschwingzeit.



     Gemäss    Fig. 25 sei der   Prüfling    ein plättchenförmiger Transistor 20', der einen   Plättchenkörper    21 aus einem Halbleitermaterial, wie z. B. Silizium oder Germanium, mit vorstehenden Kontakten 22', 23'und 24'besitzt.



  Diese Kontakte stellen nicht nur elektrische Verbindungen zu den Basis-, Kollektor-und Emitterschichten des Transistors 20'her, sondern verhindern durch ihre phy  sikalischen    Eigenschaften auch, dass der   Plättchenkörper    21'die Oberfläche, auf die der Transistor aufgesetzt ist, berührt. Die Kantenlänge des Transistors   20'beträgt    beispielsweise etwa 6 mm und der Abstand zwischen den Kontakten 22', 23'und 24'ca. 4 mm. Jeder Kontakt hat beispielsweise einen Durchmesser von 0, 13 mm.



   1.   Gesamtbeschreibung der Prüfvorrichtung   
Gemäss Fig. 26 umfasst die Prüfvorrichtung acht Stationen, und zwar den Vibrationszuführbehälter 25', die Plättchenorientierungs-Abfühlvorrichtung 26', die   Plättchenausrichtvorrichtung    28', die Pättchenkontak  tierungs-und prüfstation    30', weitere   Prüfstationen    32',   34'und    36'und die Vakuumsortiervorrichtung 38'.



  Durch den Indexkopf 40'werden die Plättchen von Station zu Station transportiert. Der die einzelnen Plättchen transportierende Teil des Indexkopfes 40'besteht aus acht Vakuumstiften 42' (Fig. 27), die jeder, wenn sie einem Vakuum ausgesetzt werden ein Plättchen festhalten und es zwischen den Stationen transportieren   kön-    nen.



   Bevor nun dieses System näher beschrieben wird, soll die folgende Zusamenfassung der von jeder Station ausgeführten Arbeiten zum Verständnis der Wirkungsweise des System beitragen. Der Virbrationszuführbehälter 25'führt nacheinander die Halbleiterplättchen mit nach unten ausgerichteten Kontakten einer   Aufheb-    stelle zu. Der   Vibrationszuführbehälter    25'kann die erforderliche Orientierung nicht gewährleisten. Daher nimmt der Vakuumstift 42 ein   Pättchen    an der Aufhebstelle auf und befördert es zu der   Plättchenorientierung-Abfühl-    station 26', die die Orientierung des exponierten, vorstehenden Kontakts (in diesem Falle des Kontakts 24') feststellt.

   Es wird ein Signal erzeugt, das die abgefühlte Orientierung anzeigt, und zu der Halbleiterplättchen  Orientierungsstation    28'übertragen. Wenn der Vakuumstift 42'das Plättchen das nächste Mal in den Plättchenausrichter   28'einführt,    wird das Plättchen in die gewünschte Richtung gedreht, während es noch von dem Vakuumstift 42'festgehalten wird. Nach der Aasrichtung des Plättchens wird es von dem Vakuumstift 42'zu der   Prüfstation    30'transportier, wo speziell montierte Kon  taktarme    die Kontakte   22'bis    24'mit der Prüfschaltung verbinden. An nachfolgenden   Prüfstationen    ist ein ebensolcher Kontakmechanismus für weitere   Prüfschaltung-    en vorgesehen.

   Die Prüfergebnisse werden dem Vakuumsortierer 38'zugeleitet, der das Plättchen von dem Vakuumstift 41'übernimmt und es durch ein einstellbares Vakuum entsprechend den Prüfergebnissen in eine   Öff-    nung führt.



  * Der Indexkopf 40' (Fig. 27) besteht aus zwei Teilen, der Indexscheibe 44'und dem Stifteinziehkopf 46'. In der Indexscheibe 44'sind mehrere Vakuumstifthaltehülsen 48'fest montiert. In jeder Hülse 48'ist ein hohler Vakuumstift 42'gleitend angebracht. Jeder Stift 42' weist einen Kragen 50'auf, der unter Federdruck an der Fläche 52'des Einziehkopfes 46'anliegt. Durch die Einstellung des Kragens 50'wird die wirksame Tiefe des Vakuumstiftes 42'eingestellt. Wie noch gezeigt wird, dreht sich sowohl die Indexscheibe 44'als auch der Stifteinziehkopf 46'im Verlauf der Weiterbewegung der Vakuumstifte von Station zu Station.

   In dieser Zeit wird der Stifteinziehkopf 46'zusätzlich nach oben gedrückt, wodurch er die Spitze der Vakuumstifte 42'zurückzieht, um so die festgehaltenen Plättchen von den jeweiligen Stationen zu lösen und sie um alle zwischen den Stationen liegenden Hindernisse herumzuführen.



   Die Indexscheibe 44'ist starr an der Welle 54'befestigt, die ihrerseits an den Indexmechanismus 56'angeschlossen ist. Dieser wird durch die Welle 58'angetrieben, die mit einem Motor verbunden ist. Die Einzelheiten des Indexmechanismus 56'sind nicht gezeigt. Grund  sätzlich    erteilt dieser Mechanismus der Welle 54'eine intermittierende Drehbewegung über eine aus Nocken und mehreren Folgearmen bestehenden Anordnung.



   Fig. 28 ist eine vergrösserte Darstellung des Bereichs, in dem die Welle 54'mit der Indexscheibe 44'verbunden ist. Eine Kappe 60'hält die Indexscheibe 44'am loberen Ende der Welle 54'fest. Der Kragen 62'ist gleitend auf die Welle 54'gesetzt und seinerseits über Stifte   54'mit    dem Stifteinziehkopf 46'verbunden. Ein gleitend innerhalb der Indexscheibe 44'montiertes Ab  standstück    67'umgibt jeden Stift   64'.    Es sind acht solche Stifte vorgesehen ; Fig. 28 zeigt nur zwei davon.



   Der Kragen 62'ist gleitend und drehbar in dem Gussteil 66'angebracht. Dieses wiederum ist an dem starren Element 68'befestigt, welches einen Teil des Rahmens der Maschine bildet. Das Gussteil 66'ist mit einer Umfangsrille 70'versehen, in der ein elastisches   Vakuumventilelement    72'sitzt. Das Element 72'wird durch mehrere Federn 74'nach oben gegen die Ventilplatte 76'gedrückt. Die Konstruktion des Vakuumventils ist in Fig. 29 genauer dargestellt. Das elastische Element 72'ist mit einer Nut 78'versehen, die durch die Öffnung   79'mit    einer Vakuumquelle verbunden ist.



  Die Ventilplatte 76'besitzt mehrere Löcher 80', die mit der Nut 78'fluchten. Auch ein Loch 81'führt auf die Nut 78', ist aber von Vakuum auf Druck umschaltbar.



  Während der Drehung der Indexscheibe 44' (Fig. 27) dreht sich auch die Ventilplatte 76'und bewirkt, dass sich das Loch 81'an einen anderen Platz innerhalb der Platte verschiebt. Durch das Auftreten des Vakuums in der Nut 78'entsteht über die Löcher 80'und 81'in    n    dem Ventilgehäuse 76'ein Vakuum in den acht Vaku  umstiften    42'. Die Vakuumbahnen verlaufen in Fig. 28 von der Vakuumöffnung 79'aus zu der Nut 78', durch das Loch 80'im Plattendeckel 76', durch die Offnung 82' und über das elastische Rohr 86'zu den Vakuumstiften 42'. Jedes der starren Rohre 84'ist in der Indexscheibe 44'befestigt und geht durch ein Loch im   Einziehkopf    46'hindurch.

   Durch die Unterlegescheiben 88'und die Federn 90'entsteht eine zwangsläufige   Rückführungs-    kraft für den   Einziehkopf    46'während des Betriebs.



   Gemäss Fig. 29 wird dem Vakuumventil Druck über das Rohr 92'und die Öffnung 94'in dem elastischen Element 72'zugeführt. Wenn der Ventildeckel 76'in seiner normalen Lage über dem elastischen Element 72' ist, fluchten die Löcher 80'und 81'mit der Nut 78'. Die Druckluftöffnung 94'fluchtet mit keinem der Löcher.



  Der an dem elastischen Element 72'fest angebrachte Schieber 96'kann jedoch nach rechts gedrückt werden, wodurch das elastische Element 72'zur Drehung veranlasst wird. In diesem Fall deckt sich die   Druckluftöff-      nung 94'mit    dem Loch 81'. Statt eines dem Loch 81' von der Nut 78'aus zugeführten Vakuums wird jetzt ein positiver Druck angelegt. Dadurch wird an der Sor  tierstation    38'ein auf der Spitze des Vakuumstiftes 42' festgehaltenes Halbleiterplättchen durch den Luftdruck in den Vakuumsortiermechanismus hineingestossen.



   Wie schon angedeutet, erhält der Indexkopf 40'seinen Antrieb über die Welle 54'von dem   Indexmecha-    nismus 56' (Fig. 27). Der Indexantrieb wird durch die Welle 54'auf die Indexscheibe 44'übertragen. Die   Indexbewegung    ihrerseits wird über Stifte 64'und Abstandsstücke 67'auf den Einziehkopf 46'übertragen.



  Das Heben und Senken des Einziehkopfes 46'und das wahlweise Umschalten zwischen Vakuum und Druckluft erfolgen durch den Mehrfachnocken 110'und die Folgearme 120'und 130'. Der Nocken 110'sitzt auf der Welle 111'und führt pro Indexschritt des   Indexkopfes    40'eine Drehung aus. Durch eine interne Verbindung innerhalb des Indexmechanismus 56'wird die Drehbe  wegung    der Welle 58'auf die Welle   111'übertragen.   



  Die Welle   111'trägt    ausserdem mehrere nockenbetätigte   Stromkreisunterbrecher,    die nachstehend in Verbindung mit der Wirkungsweise des Plättchensausrichters 28'beschrieben werden.



   Der Nocken 110'besteht aus zwei Nocken, dem inneren Nocken 112'und dem   äusseren    Nocken 114', deren Wirkungen einander ergänzen. Der Nockenfolger 122'des Folgearmes 120'sitzt auf der Oberfläche des inneren Nockens   112'auf    und der Nockenfolger 132'des   Folgearms    130'auf der Oberfläche des   äusseren    Nokkens 114'.   Der Folgearm 120'ist    am Punkt 14'angelenkt und weist am einen Ende einen verlängerten Stift   126'auf,    der in einem Schlitz 128'des Kragens 62'mitgenommen wird.

   Da der Kragen 62'bekanntlich gleitend auf der Welle 54'sitzt, dreht sich, wenn der Nockenfolger 122'durch die Nockenfläche des inneren Nockens 112'entgegen dem Uhrzeigersinne geschoben wird, der   Folgearm    120'ebenfalls und wirkt mit dem Schlitz 128'zusammen, wodurch der Kragen 62'nach oben geschoben wird. Diese Aufwärtsbewegung wird über die Stifte 64'und die Abstandstücke 67'und über die Indexscheibe 44'auf den   Einziehkopf    46'übertragen. Dieser wird daher angehoben und hebt seinerseits die Vakuumstifte   42'soweit    an, dass ihre Spitzen und die darauf sitzenden   Halbleiterplättchen    Hindernisse in der Indexbahn umgehen.



   Der   Folgearm    130'ist am Punkt 133'angelenkt und hat einen verlängerten Armteil 134'. Der   Schieberarm    96'des   Vakuumventils    geht durch den Schlitz 135'in dem Gussteil 66'hindurch und wird durch eine am Pfosten 136'befestigte Feder nach links gespannt. Wenn der Nockenfolger 132'auf die Erhöhung des   äusseren    Nockens   114'gelangt,    drückt der   Folgearm 134'gegen    den Schieber 96'und dreht das elastische   Vakuumventil-    element 72'entgegen dem Uhrzeigersinn.

   Dies ermöglicht die oben erwähnte Ausrichtung des Loches 81'auf die   Druckluftöffnung      94'.    Zu einem späteren Zeitpunkt während des   Indexumlaufs    fällt der Nockenfolger   132'    auf die   Vertiefung des äusseren    Nockens   114'ab.    Daher kann die Feder das elastische Element 72'in dessen ur  sprüngliche    Lage zurückführen, wodurch alle Stifte an das Vakuum angeschlossen sind.



   Il.   Vibrationszufuhrbehdlter   
Zunächst müssen die   Halbleiterplättchen    einer Aufhebstation für die Vakuumstifte so zugeführt werden, dass ihre Kontakte nach unten weisen und sie im rechten Winkel zueinander stehen. Insbesondere muss ein kon  tinuierlicher    Transport von   Halbleiterplättchen    erfolgen, die so orientiert sein müssen, dass ein Vakuumstift stets ein Plättchen in einer bestimmten Orientierung bezüglich dessen Kontakte hält. Diese Funktion wird von der Vi  brationszufiihrvorrichtung    25' (Fig. 26) ausgeführt. Eine   grössere    Menge   Halbleiterplättchen    wird in die Mitte des Behälters gefüllt, der sie dann zu einer   Aufhebstation    befördert.

   Da die Plättchen auf der Seite rechtwinklig sind, hat der Behälter die Möglichkeit, ein Plättchen in einer von vier Orientierungen zur   Aufhebstation    zu befördern. In allen Fällen wird ein Plättchen der Aufhebstation stets mit nach unten weisenden Kontakten zugeführt.



   Wie aus der Schnittdarstellung in Fig. 30 hervorgeht, ist der   Vibrationszuführbehälter      25'mit    einer spiralförmigen Spur 150'versehen, die über die schräge Fläche   152'läuft.    Durch einen hier nicht gezeigten Vi  brationsantrieb    wird der Behälter zu einer kombinierten drehenden und leicht vertikalen Vibration veranlasst.



  Solche Vibratoren sind bekannt und werden hier nicht weiter besprochen. Die Spur   150'führt    zu der Aufhebstation 154'über eine schiefe Ebene 156'. Wie aus der vergrösserten Darstellung 158'hervorgeht, besteht die Spur 150'aus mehreren Rillen, die dazu dienen, die vorstehenden Kontakte auf der Unterseite des Halblei  terplättchens    20'zu erfassen und festzuhalten. Wenn ein Plättchen so in der Spur festgehalten wird, wird es durch die dem Behälter 25'erteilte Vibrationsbewegung veranlasst, sich entlang der Spur 150'zu bewegen, bis es schliesslich die Aufhebstation 154'erreicht.

   Wenn sich dagegen ein Plättchen über die schräge Fläche 152'mit nach oben weisenden Kontakten bewegt, wird es durch die kombinierte Wirkung der Vibrationsbewegung und der Schräge veranlasst, wieder in den Mittelteil des Be  hälter      25'zurückzugleiten.    Der Vibrationszuführbehälter 25'ist hier nur schematisch dargestellt. Gewöhnlich weist er verschiedene Nockenflächen und andere Vorrichtungen auf, durch die falsch ausgerichtete   Halbleiter-    plättchen aus der Spur 150'entfernt werden.    lll. Pldttcheizorientierungs-Abfiihlvorrichtung   
Nachdem ein   Halbleiterplättchen    von einem Vakuumstift 42'aufgehoben worden ist, können seine Kontakte in einer beliebigen von vier Richtungen orientiert sein.

   Vor dem Prüfen des Halbleiterplättchens muss die Lage seiner Kontakte so verändert werden, dass sie   bszüglich    der in einer   Prüfstation    befindlichen   elektri-    schen Kontakte richtig orientiert sind. Die Feststellung der Orientierung der Halbleiterplättchenkontakte erfolgt durch die   Plättchenorientierungs-Abfühlstation    26'. Diese ist in Draufsicht mit abgenommenem Deckel in Fig. 31 und im Querschnitt (entlang der Linie   7A'-7A')    in Fig. 32 (mit aufgesetztem Deckel) dargestellt. Eine vergrösserte Darstellung des Plättchenabfühlbereichs zeigt Fig. 33. 



   Die   Hauptelemente    der   Orientierungsabfiihlstation    26'sind identische Hebelarme 150', 152', 154'und 156'. Der Hebelarm 152'ist z. B. drehbar auf einen Arm 158'gesetzt, der drehbar in den Lagern 160'und 162'gelagert ist, die ihrerseits in   Montageblöcken 166'    bzw. 164'eingebettet sind. Jeder der Dreharme der Hebelarme 150', 154'und 156'ist in gleicher Weise in Lagern montiert, die in zugeordneten   Montageblöcken    eingebettet sind.



   Am einen Ende jedes Hebelarmes 150',   152',    154' und 156'ist jeweils starr ein   Fühlerflügel      170',    172',   174'    bzw. 176'befestigt. Am anderen Ende weist jeder dieser Hebelarme einen   Ferritstöpsel    180'auf, der sich jeweils direkt über einem Gehäuse 182'befindet, welches die Spule eines Oszillators enthält. Jede Spule ist mit ihrem Oszillator über ein Koaxialkabel 184'verbunden.



   Für jeden Hebelarm ist ein Ablenkungsbegrenzer 186'mit einer eingeschraubten Stellschraube 188'vorgesehen. Die Schraube 188'begrenzt den Weg des Hebelarms 152'nach oben, während die in den Arm 162'eingedrehte Schraube die untere Begrenzung bildet. Die gesamte Einrichtung ist von dem Gehäuse 192'umschlossen. Der über das Gehäuse 192'passende Deckel 194'ist mit einer Öffnung 196'versehen, in welche ein   Halbleiterplättchen    durch einen Vakuumstift   42'einge-    setzt werden kann. Ausserdem besitzt der Deckel 194' flache Einbuchtungen 198'und 200', die eine drehbare Lagerung der Hebelarme gestatten, so dass dadurch die   Fühlerflügel    eben mit der Unterseite der Öffnung 196' abschliessen, wenn kein   Halbleiterplättchen    eingesetzt ist.



   Wie die vergrösserte Darstellung in Fig. 33 zeigt, ist der Hebelarm 154'mit einem Dreharm 159'versehen.



  Von jedem Ende des Dreharms 159'stehen zwei exzentrisch angeordnete Drehzapfen 202'und 204'ab. Durch die Stellschraube 206'wird eine Drehung des Mittelteils des Dreharms   159'gegenüber    dem Hebelarm   154'ver-    hindert. Die anderen Abfühlarme 150', 152'und 156' weisen ebenfalls einen solchen Dreharm auf. Diese Dreharme ermöglichen die Einstellung der relativen Lage der Fühlerflügel 170'bis 176'gegenüber der Öffnung 196' und relativ, zueinander. Durch Drehen eines der Dreharme kann bewirkt werden, dass der jeweils damit ver  bundene      Fühlerflügel    sich zur Mitte des Mechanismus oder von der Mitte weg bewegt.



   Gemäss Fig. 32 wird durch die Nähe einer Ferritspitze 180'in bezug auf das Spulengehäuse 182'die Schwingungsfrequenz der zugeordneten   Oszillatorschal-    tung gesteuert. Wenn also die   Ferritspitze    180'von dem Spulengehäuse   182'wegbewegt    wird, verringert sich die Induktivität der Spule, wodurch die Schwingungsfrequenz erhöht wird. Wenn dagegen die   Ferritspitze    180'näher an das   Spulengehäuse 182'heranbewegt wird,    steigt die Induktivität, und die Schwingungsfrequenz wird niedriger. Ist kein   Halbleiterplättchen    vorhanden, befinden sich die Hebelarme 150', 152', 154'und 156'an ihrer tiefsten Stelle.

   Dadurch wird die stärkste Annäherung der Ferritspitzen 180'an die Spulengehäuse 182'mit den resultierenden tiefsten Schwingungsfrequenzen erreicht.



   Es sei nun angenommen, dass der Vakuumstift 42' das   Halbleiterplättchen    210'durch die Öffnung 196'einführt. Wenn gemäss Fig. 33 das Halbleiterplättchen 210' so liegt, dass sein charakteristischer Kontakt 212'nach rechts gerichtet ist, wird der   Fühlerflügel    172'nach unten abgelenkt entsprechend der Dicke des vorstehenden Kontakts 212'. Dadurch wiederum wird der Hebelarm 152'nach oben abgelenkt, was zu einer Frequenzerhöhung bei dem zugeordneter Oszillator führt. Diese Frequenzerhöhung   lässt    sich leicht feststellen und dient als Anzeige dafür, welcher der Hebelarme abgelenkt worden ist. Die anderen   Fühlerflügel    sind so gestellt, dass sie zwischen die Kontakte auf der Unterseite des   Plätt-    chens 210'fallen.

   Je nach der Orientierung des charak  teristischen    Kontakts 212'wird also stets ein   Fühlerflügel    abgelenkt. Das dadurch erzeugte Signal wird festgestellt und zur Steuerung der nachgeschalteten   Plättchenorien-    tierstation 28'verwendet.



      IV. Plattchenorientierer   
Wenn die Orientierung eines   Halbleiterplättchens    bekannt ist, muss dieses so umorientiert werden, dass seine Kontakte in der richtigen Lage für den Anschluss an die   Prüfstation    sind. Wird festgestellt, dass das Plättchen schon richtig ausgerichtet ist, ist keine Umorientierung erforderlich. Aber wenn das Plättchen in einer der anderen drei möglichen Ausrichtungen liegt, muss es entsprechend gedreht werden.



   Gemäss Fig. 34 ist der Plättchenausrichtkopf 220' starr auf der Welle   222'befestigt.    Ein Teil des   Plätt-      chenausrichtkopfes    220'ist abgeschnitten, um den Einsatz 224'sehen zu lassen, der so ausgefräst ist, dass eine Plättchenaufnahmeeinbuchtung   226'entsteht    (siehe Fig.



  35). Jedes durch einen Vakuumstift in die Einbuchtung 226'eingelegte Plättchen wird durch die schrägen Seiten des Einsatzes 224'am Boden der Einbuchtung   festgehal-    ten.



   Eine Riemenscheibe 228', die starr an der Nabe 230' befestigt ist, wird durch den Treibriemen   232'angetrie-    ben, der seinerseits durch einen geeigneten Antrieb ständig betätigt wird. Ein Teil 234'der Nabe 230'mit kleinerem Durchmesser erstreckt sich in einen Federkupp  lungsmechanismus    hinein, der nachstehend noch beschrieben wird. Die Riemenscheibe 228', die Nabe 230' und der verdünnte Teil 234'drehen sich bei Antrieb durch den Treibriemen 232'frei auf der Welle 222'.



  Ausserdem trägt die Welle   222'einen    Kragen 236', der durch die Schraube 238'starr an ihr befestigt ist. Um den Kragen 236'und den Nabenteil 234'ist die Feder 240' gewickelt. Die Feder 240'ist von einer Muffe 242'umgeben, die in bezug auf den Kragen 235'und den Nabenteil 234'drehbar gelagert ist. Durch einen nach unten abgewinkelten Teil 244'wird die Feder 240'starr mit dem Kragen 236'verbunden. Ihr nach oben abgewinkelter Teil 246'erstreckt sich durch einen Schlitz in die Muffe 242'und bewirkt so eine starre Verbindung damit. Auf der Aussenseite der Muffe 242'befindet sich ein Anschlag 248', der zum Ausrücken der Federkupplung dient. Die Schnittdarstellung in Fig. 36 zeigt den Anschlag 248'genauer und zeigt ausserdem den nach oben abgewinkelten Teil 246'der Feder 240', der über einen Schlitz in die Muffe 242'hineinragt. Ausserdem zeigt Fig.



  36 (in Fig. 34 nicht dargestellt) die Relaisverriegelungsvorrichtungen 250', 252', 254'und 256', die wahlweise betätigbar sind, um mit dem Anschlag 248'zusammenzuwirken und dadurch die Feder 240'aus dem Nabenteil   234'auszurücken.    Jede der Relaisverriegelungen 250', 252', 254'und 256'ist mit einer Relais-Relaisspule   250a',    252a', 254a'bzw. 256a'sowie einem Sperrstift 250b' 252b', 254b', bzw. 256b', versehen. Jeder der Sperrstifte ist normalerweise durch   Fedemirkung    von seiner entsprechenden Relaisspule weggspannt. Dabei wirkt der  Sperrstift mit dem Anschlag 248'zusammen und verhindert so eine weitere Drehung der Muffe 242'. Bei Erregung einer zugeordneten Relaisspule wird der Sperrstift zurückgezogen und aus der Bahn des Anschlags 248'herausbewegt.



   Die Hauptaufgabe des Ausrichtmechanismus von Fig.



     34-37    ist die Umorientierung eines aufgenommenen Halbleiterplättchens in der Weise, dass der an   charakte-    ristischer Stelle befindliche vorspringende Kontakt mit der   Relaisverriegelung    250'fluchtet. Aus diesem Grund wird die Lage der Relaisverriegelung 250'als Ausgangslage bezeichnet, und die Stellungen der Relaisverriegelungen   252',    254'und 256'werden als   90 -,    180-bzw.



     270"-Position    bezeichnet.



   Gemäss Fig. 34 ist das untere Ende der Welle 222' in dem Lagermechanismus 260'drehbar gelagert. Ein ebensolcher Lagermechanismus kann auch zwischen der   Nabe 230'und dem Ausriclitkopf 222'angeordnet    sein.



  Direkt unter dem Lagermechanismus 260'befindet sich ein Sperrad   262',    das in Fig. 37 deutlicher gezeigt ist.



  Das Sperrad 262'besitzt vier Anschläge, die ständig mit der Klinke 264'zusammenwirken. wenn sich die Welle   222'entgegen    dem Uhrzeigersinn dreht. Das Sperrad 262'und die Klinke 264'haben den Zweck, jede R ckdrehung. der Welle 222'zu verhindern, solange einer der Anhaltestifte 250b'bis 256b'mit dem   Anschlag 248'    zusammenwirkt.



   Wie der Ausrichtmechanismus von Fig. 34 arbeitet, wird verständlich, wenn man zunächst einmal annimmt, dass alle Anhaltestifte   250b',    252b', 254b'und 256b'zu  rückaezogen    sind. In diesem Falle wird durch die ständige Drehung des Nabenteils 234'die Feder 240'fest um den Kragen 236'gewickelt. Dadurch wird die Antriebsbewegung des Nabelteils   234'über    die Feder 240'zum Kragen   236'übertragen,    und der Welle 222'und dem   Ausrichtkopf      220'wird    eine Drehbewegung erteilt. Wenn dagegen einer der Anhaltestifte 250b'bis 256b'vorgestreckt ist, erfasst er den Anschlag 248'und bewirkt dadurch eine leichte   Gegendrehung    der Feder   240'über    den nach oben gebogenen Teil 246'.

   Hierdurch lockert sich die Spannung der Feder 240'um den Nabenteil   234',    wodurch eine Übertragung der Antriebsbewegung verhindert wird. Durch diesen Vorgang wird die Drehbewegung des Kragens 236'und der Welle 222'abrupt beendet. Das Sperrad 262'und die Klinke 264'wirken zusammen, um jede   Gegendrehung    der Welle 222'zu verhindern, wenn der oben beschriebene Vorgang abläuft.



   V.   Steuerscjialttzg fur dera Plattchenausrichter   
Fig. 38 zeigt die   Verbindungsschaltung zwischen    der Plättchenorientierungs-Abfühlstation 26'und der   Plätt-    chenausrichtstation 28'. Diese Schaltung steuert das Mass der Drehbewegung, welche der Plättchenausrichtkopf 220'auf ein aufgenommenes Halbleiterplättchen auf ein Signal aus der Orientierungsabfühlstation 26'hin ausübt.



   Die Eingangssignale werden der Schaltung über Schwingkreise 300'bis   303'zugeführt.    Der   Induktivitäts-    teil jeder dieser Schwingkreise ist veränderlich dargestellt. um die   Induktivitätsänderungen    anzudeuten, die infolge der   Bewegung der Ferritstöpsel 180'bezüglich    der   Spulengehäuse    182' (Fig. 32) auftreten. Die   Schwin, g-    kreise 300'bis 303'sind den Hebelarmen 150',   152',    154' bzw. 156'in der Abfühlstation 26'zugeordnet. Das Aus  gangssignal    jedes Schwingkreises 300'bis 303'wird einem zugeordneten   Frequenzdetektor    304'bis 307'zugeleitet.

   Wenn irgendein Detektor eine Steigerung der Schwingungsfrequenz seines zugeordneten   Schwingkrei-    ses feststellt,   lässt    er einen Strom durch die ihm zugeordnete   Ausgangsspule    308'bis 311'fliessen. Durch die Erregung einer der Spulen 308'bis 311'wird ein zuge  ordneter    Relaisarbeitskontakt 308a'bis   311a'geschlos-    sen. Die solchen   Frequenzdetektoren    entsprechende Schaltungsanordnung ist bekannt und wird hier nicht weiter besprochen.



   Eine Quelle positiver Spannung +V ist über einen nockenbetätigten Stromkreisunterbrecher   CB2'und    den Leiter 312'an eine Seite der Relaiskontakte   308a'bis      311a'angeschlossen,    deren andere Seite jeweils als Eingang an ein Speicherrelais   313'bis 316'angeschlossen    ist.



  Die   Speicherrelais 313'bis 316'sind jeweills über    den Leiter 317'und den nockenbetätigten   Stromkreisunter-    brecher CBI'geerdet. Die Speicherrelais 313'bis 316' sind so beschaffen, dass sie einen Haltekreis aufweisen, der sie nach Wegnahme des Eingangssignals im erregten Zustand hält. Diese Relais können dadurch rückgestellt werden, dass über den   Stromkreisunterbrecher    CBI'die   Erdrückführungsleitungt, 317'unterbrochen    wird.



   Jedes der Speicherrelais 313'bis 316'kann einen   zugeordeneten    Relaisarm 313a'bis   316a'betätigen.    Wenn eins der Speicherrelais abgefallen ist, wird sein Relaisarm durch Federwirkung in die obere Lage gespannt, so dass er mit den oberen Kontakten 313b'bis 316b'zusammenwirkt. Wenn ein Speicherrelais im erregten Zustand ist, bewirkt es, dass sein Relaisarm mit einem im Leerlauf befindlichen unteren Kontakt 313c'bis 316c'zusammenwirkt. Die oberen Kontakte 314b'bis   316b'sind    jeweils über einen Leiter   320'an + V angeschlossen, während    der obere Kontakt 313b'über den   Stromkreisunterbrecher      CB3'an + V liegt. Die Relaisarme 313a'bis    316a'sind jeweils an eine zugeordnete Relaisspule 250a', 252a', 254a'bzw. 256a'angeschlossen.

   Diese Relaisspulen sind ebenfalls in Fig. 36 dargestellt.



   Das Zeitdiagramm von Fig. 39 trägt zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung von Fig. 38 bei. Wie schon bei der Beschreibung von Fig. 27 erwähnt, sind mehrere hier nicht gezeigte   Stromkreisunterbrecher    auf der Welle 111'angeordnet. Sie werden durch deren   Drehung betätigt. Ausserdem    spricht ein innerer Nocken
112'auf die Drehung der Welle 111'dadurch an, dass er das Heben und Senken des Stifteinziehkopfes 46'und damit der Vakuumstifte   42'zu    bestimmten Zeitpunkten während des Umlaufs bewirkt. Die Tätigkeit jedes Vakuumstiftes beim Ansprechen auf diese Bewegungen wird durch die   Kurve 300'in Fig.    39 veranschaulicht.



  Die horizontale Achse des Diagramms ist in   Drehungs-    graden der Welle   111'aufgetragen.    Wie die Kurve 300' zeigt,   verv/eilt    ein Vakuumstift in seiner untersten Lage zwischen   90O    und   1800    und in seiner obersten Lage von   2400    bis   3600.    Während der anderen Teile eines Umlaufs wird der Vakuumstift entweder vorgeschoben oder von einer Ruhelage zurückgezogen.



   Da alle Stifte gemeinsam betätigt werden, bringt also ein Vakuumstift stets ein   Halbleiterplättchen    am   90O-    Punkt des Umlaufs in die Plättchenorientierungs-Ab  fühlstation    26'hinein. Daraufhin wird einer der Hebelarme in der Abfühlstation abgelenkt und gibt ein Ausgangssignal an einen der Frequenzdetektoren 304'bis 307'. Die Tätigkeit des   Stromkreisunterbrechers    CB1' (der immer geschlossen ist, ausgenommen von   90O    bis   120 )    sei für einen   Augenblick ausser acht gelassen.

   Die      Ausgangs-Relaisspule      250a'fällt    ab, weil CB3'offen ist. und jede der anderen   Relaisspulen 252a',    254a'und   256a'wird    erregt. Die Folge ist, dass der Sperrstift 250b' vorgeschoben und alle übrigen Sperrstifte eingezogen werden. Dadurch dreht sich der   Anschlag 248'in    die Ausgangslage und wird durch den Sperrstift 250b'an weiterem Drehen gehindert. Die   Federkupplung    240' wird ausgerückt und der Welle 222'wird keine weitere Antriebsbewegung erteilt.



   Nun sei angenommen, dass der Hebelarm 152'in der Orientierungsabfühlstation 26'durch den charakteristischen Kontakt eines   eingelegten Halbleiterplätt-    chens abgelenkt wird. Infolgedessen erzeugt der   Detek-    tor   305'ein    Ausgangssignal, das die Spule 309'erregt und den Schalter 309a'schliesst. Die Schalter   308a'.   



  310a'und   311a'bleiben offen.    Bei   150     wird der Stromkreisunterbrecher CB2'durch die Welle   111'geschlossen.   



  Dadurch wird über die   Leitung 312'eine    positive Spannung an jeden der Relaisschalter 308a'bis   311a'gelegt.   



  Da nur der Relaisschalter 309a'geschlossen ist, gelangt die positive Spannung nur zum Speicherrelais 314', so dass daraufhin der   Relaisarm    314a'mit dem im Leerlauf   befindlichen-unteren Kontakt 314c'verbunden    wird.



  Infolge des dadurch bewirkten Abfalls der Relaisspule 252a'kann der Sperrstift 252b'vorgeschoben werden.



  Jetzt sind die Sperrstifte 250b'und 252b'vorgeschoben und die Sperrstifte   254b und 256b'eingezogen (infolge    der   Erregung der Relaisspulen 254a'und 256a').    Anschliessend kehrt jeder   Relaisarm    in seine Ruhelage zurück. Da die Ruhelage für jedes der Speicherrelais 314' bis 316'zur Folge hat, dass der entsprechende Relaisarm mit seinem oberen Kontakt verbunden wird, der ständig positive Spannung aufweist, ist das Ergebnis die Erregung der Relaisspulen 252a',   254a'und    256a'und das Zurückziehen der zugeordneten Sperrstifte. In dem hier betrachteten Fall wird nur der   Relaisarm    314a' bewegt (da die Relaisarme 315a'und 316a'bereits in ihrer Ruhelage sind).

   Dadurch wird der Sperrstift   252b'eingezogen.    Hierdurch wird ausserdem der Relaisarm 313a'veranlasst, den oberen Kontakt 313b'zu schliessen. Zu diesem Zeitpunkt aber ist der Kontakt 313b'offen, und der Sperrstift 350b'bleibt vorgeschoben.



   Alle vorstehend beschriebenen Vorgänge finden sofort nach dem Einlegen des   Halbleiterplättchens,    das kurz zuvor geprüft worden ist, in die Einbuchtung   226'    durch den Vakuumstift 42'statt. Infolge des   Zurück-    zieliens des Sperrstiftes 252b'kann die   Federkupplung    240'eingerückt werden und die Welle 22'und den Ausrichtkopf 220'in die Ausgangslage drehen. Die Drehung des Ausrichtkopfes 220'wird über die Wände der Einbuchtung 226'auf das Plättchen übertragen.

   Da der Sperrstift 250b'vorgeschoben ist, kann sich der Anschlag 248'nur um   90O    weiterdrehen, bevor er erfasst wird und die   Federkupplung      240'ausrückt.    Auf diese Weise wird das   Halbleiterplättchen    ebenfalls um   90     gedreht, während es noch am Ende des Vakuumstiftes 42'festgehalten wird. Das Plättchen wird dadurch ausgerichtet und ist für den Transport zur nächsten Station bereit. Die übrigen Teile der Schaltung von Fig. 38 arbeiten analog. Wenn ein Halbleiterplättchen als richtig ausgerichtet festgestellt wird, wird nur das Speicherrelais 313'betätigt und keine   Ausrichtbewegung      vorge-    nommen, wenn das Halbleiterplättchen in den Ausrichtkopf 220'eingesetzt wird.



   Vl.   Pliittchenkotitaktierer   
Nach dem Ausrichten eines Halbleiterplättchens wird dieses mehreren elektrischen Prüfungen unterzogen, um seine Eigenschaften und seine Eignung zur   nachfolgen-    den Verwendung festzustellen. Jede   Prüfstation    enthält einen   Plättchenkontaktgeber    310' (Fig. 40), der dazu dient, an die ausgerichteten und vorstehenden Kontakte auf der Unterseite eines Plättchens angeschlossen zu werden.



   Die Hauptbestandteile des Plättchenkontaktgebers 310'sind die Kontaktarme 312', 314'und 316', die je an einem abgewinkelten Dreharm 318', 320'bzw. 322'drehbar gelagert sind. Die Drehpunkte jedes der Dreharme 318', 320'und 322'sind in Lagern, z. B. 324', drehbar gelagert, die ihrerseits in einer starren   Halterung befe-    stigt sind. Eine Stellschraube 326'drückt gegen den Innenteil jedes Dreharms, z. B. 322', und verhindert dessen Verdrehung gegenüber dem ihm zugeordneten Kontaktarm 316'. Die Dreharme 318', 320'und 322'führen für ihre jeweiligen Kontaktarme die gleichen Funktionen aus wie der Dreharm 158'für den Hebelarm 152'in Fig. 33. Am einen Ende jedes der Kontaktarme   312',    314'und 316'ist jeweils ein leitender Einsatz   328'.    330' bzw. 332'vorgesehen.



   In diesem Ausführungsbeispiel bestehen die Kontaktarme 312', 314'und 316'aus einem nichtleitenden Kunststoff (z. B.    <     Polystyrol    > ).    Die leitenden Einsätze   328',      330'und    331'stellen elektrischen Kontakt zu den vorstehenden Kontakten her. Hier nicht gezeigte Leiter sind an jeden der leitenden Einsätze 328', 330'und   332'ange-    schlossen und führen zu der Prüfschaltung, die dem   plätt-    chenkontaktierer 310'zugeordnet ist. Die Kontaktarme 312',   314'und    316'sind jeweils über eine Feder, z. B.



  334', 336', nach oben gespannt, wodurch ein federnder Trägermechanismus gebildet wird, wenn ein   Halbleiter-    plättchen auf die leitenden Einsätze 328', 330'und 332' gelegt wird. Ein vorzugsweise nichtleitender Deckel 338' schirmt den Kontaktmechanismus ab und ist mit einer Plättchenaufnehmeeinbuchtung 340'versehen. Die Ein  buchtung      340'dient    als Führung für ein eingesetztes Halbleiterplättchen, z. B. 342', damit dessen Kontakte genau in die Stellung über den leitenden Einsätzen   328'.   



  330'und 332'gebracht werden.



   Der Kontaktbereich mit einem eingesetzten Halb  leiterplättchen    ist in Fig. 41 vergrössert dargestellt. Wie man sieht, ist jeder leitende Einsatz mit nur einem einzigen Kontakt mit dem Plättchen 342'verbunden. Wenn das Plättchen 342'in seine Lage über den leitenden Einsätzen 328', 330'und 332'gebracht ist, wird dadurch, dass jeder dieser Einsätze für sich montiert ist, jeder von ihnen mit einer dosierbaren Kraft auf die Kontaktstelle einwirken. Fig. 42 zeigt eine Seitenansicht eines über den leitenden Einsätzen 330'und 332'befindlichen Halblei   terplättchens.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH I Verfahren zum Erfassen der Kenndaten von in Miniaturbauweise ausgeführten elektrischen Bauelementen, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der zu messenden Bauelemente schrittweise nacheinander mehreren Prüf- stationen zugeführt wird, dass eine jede dieser Stationen mehrere Kenndaten des gleichen Bauelementes erfasst und dass den Prüflingen nach Passieren aller Sta tionen an Hand aller ermittelten Messergebnisse eine vorher programmierte Güteklassifikation zugeordnet wird.

   UNTERANSPRtSCHE 1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Daten über die ermittelte Güteklassifikation zur Steuerung einer Sortieranlage herangezogen werden, in welcher die Prüflinge nach Güteklassen getrennt eingeordnet werden.

   2. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Güteklassen in eine Rangstufe eingeteilt sind und dass bei mehrdeutiger Güteklassifi- kation der Prüfling in die Güteklasse mit der höchsten Rangstufe, für die er sich klassifiziert, eingeordnet wird.

   3. Verfahren nach Patentanspruch I wobei der Prüfling ein Halbleiterschaftelement ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfungen Messungen umfassen, die sich auf den zeitlichen Verlauf von Schaltvorgängen im Element erstrecken.

   4. Verfahren nach Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass Teilzeiten der Schaltvorgänge als Dif ferenze} anderer Teilzeiten bestimmt werden durch Subtraktion zeitproportionaler Spannungen.

   5. Verfahren nach Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kondensator mit der der ersten Zeit entsprechenden Spannung aufgeladen und dann der der zweiten Zeit entsprechenden Spannung in Serie geschaltet wird.

   PATENTANSPRUCH II Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kopf (40'), auf dem mehrere Halter (42') zum Transport der Prüflinge angeordnet sind, mehreren stationär angeordneten Prüfstationen (30' bis 36') gegenüber drehbar angeordnet ist, dass ebenfalls stationär eine Sortiervorrichtung (38') eine Anordnung zur tJbernahme eines jeden Prüflings von dem Halter (42') aufweist und dass jede der Prüfstationen (30'bis 36'} mit einer elektrischen Schaltungsanordnung verbunden ist, deren Ausgang an die Sortiervorrichtung (38') angeschlossen ist.