DE1516941B2 - Automatisch arbeitende Prüf und Sortiereinrichtung fur elektrische Bauelemente - Google Patents

Description

Schalter, die für die Durchführung einer großen Zahl von Prüfungen an einer Prüfstation erforderlich sind, stellen nämlich für die Hochfrequenz Impedanzen dar, die unerwünschte Kopplungseffekte und Verzögerungen der Signale bewirken, so daß die Prüfergebnisse ungenau und unbrauchbar werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine automatisch arbeitende Prüf- und Sortiereinrichtung für elektrische Bauelemente anzugeben, die es gestattet, eine große Anzahl von Prüfungen schnell durchzuführen, ohne daß die Prüfergebnisse infolge von Impedanz-, Kopplungs- und Verzögerungsproblemen unzuverlässig werden.

Die genannte Aufgabe wird gelöst mit Hilfe einer automatisch arbeitenden Prüf- und Sortiereinrichtung für elektrische Bauelemente, bei welcher jedes der zu prüfenden Bauelemente schrittweise nacheinander einer Reihe von Prüfstationen zugeführt wird und die in digitaler Form gespeicherten Prüfergebnisse die Sortierung der Bauelemente entsprechend den Prüfergebnissen steuern, welche Einrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß jeder der für eine Reihe von Prüfungen eingerichteten m Prüf Stationen eine Klassifizierschaltung zum Zusammenfassen der Prüfergebnisse dieser Station zu einer von η vorgesehenen Sortier-Klassen zugeordnet ist, daß jeder der η Ausgänge einer Klassifizierschaltung mit einem der betreffenden Sortier-Klasse zugeordneten m-stufigen Sortier-Register verbunden ist, dessen m Stufen den m Prüfstationen entsprechen und bei denen eine Stufe in Abhängigkeit vom Schaltzustand der vorhergehenden Stufe und einem Ausgangssignal der der betreffenden Stufe zugeordneten Klassifizierschaltung einstellbar ist, und daß die Ausgänge der η Sortier-Register mit Ausnahme des EINS-Ausgangs des der besten Sortier-Klasse zugeordneten Registers über UND-Glieder mit Sortierweichen steuernde Relais-Treiberschaltungen verbunden sind, derart, daß ein UND-Glied mit dem EINS-Ausgang des ihm zugeordneten Sortier-Registers und den Null-Ausgängen aller besseren Sortier-Klassen zugeordneten Sortier-Register verbunden ist.

Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wird an Hand der Zeichnungen an einer Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens im folgenden erläutert. Es zeigt

F i g. 1 das Blockdiagramm der erfindungsgemäßen Anordnung,

F i g. 2 und 3 die Systemsteuerung gemäß F i g. 1,
F i g. 4 die Zusammensetzung von F i g. 2 und 3,
Fig. 5 und 6 das Blockschaltbild der Blöcke3 und4 gemäß Fig. 1,

F i g. 7 die Zusammensetzung von F i g. 5 und 6,
F i g. 8 die Schaltung des Ringgenerators,
F i g. 9 die Schaltung der Blocksteuerungen,
F i g. 10 die Ansicht der Programmtafel,
F i g. 11 ein Schnitt durch die Programmtafel gemäß Fig. 10,

Fig. 12 die Zusammensetzung der Fig. 9 und 10, Fig. 13 und 14 das Schaltbild eines der acht Sortierverriegelungskreise,

Fig. 15 die Zusammensetzung der Fig. 13 und 14,

Fig. 16 das Schaltbild des Schieberegisters,
Fig. 17 das Ausführungsbeispiel einer Sortiersteuerung,

Fig. 18 die Wechselstrom-Prüfkassette mit der zugehörigen Schaltung,

Fig. 19 den Verlauf der Kollektor- und Basis-Spannungen während des Einschaltvorganges,

Fig. 20 die Basis- und Kollektorspannungen während des Ausschaltvorganges,

Fig. 21 die Basis- und Kollektorspannungen für die Messung der Speicherzeit, . .

..Fig. 22 die Schaltung innerhalb einer Wechselstrom-Testkassette, , . . ■

Fig.. 22 A eine Schaltungsanordnung zur Lief βίο rung der gewünschten Prüfergebnisse,

...: Fi g. 23 das Schaltbild des Schaltzeitmessers,

Fig. 24 das Zeitdiagramm während des Ablaufs eines Prüfvorganges, . :

Fig. 25 die Ansicht eines zu messenden Prüflings, Fig. 26 die Aufsicht auf die Transportvorrichtung,. ... .... .. .... ..·....

Fig. 27 die Vorderansicht der gleichen Transportvorrichtung, ..·.,.

Fig. 28 einen vergrößerten Ausschnitt der Anordnung gemäß F i g. 27,

F i g. 29 Einzelheiten der Anordnung gemäß den Fig. 27 und 28,

Fig.30 ein Teil der Vibrationszuführung gemäß Fig. 27,

F i g. 31 die Ansicht der Orientierungs-Abtaststation, . . .

F i g. 32 einen Schnitt durch die Anordnung gemäß Fig.31, . ■ . . .

; Fig. 33 die Darstellung der Kontaktabfühlung,
Fig. 34 die Darstellung der Ausrichtstation,

Fig. 35, 36 und 37 Schnitte durch die Anordnung gemäß F ig. 34, ...,.,

Fig. 38 Darstellung der Schaltung zur Steuerung der Ausrichtstation,

Fig. 39 ein Diagramm zur Erklärung der Wirkungsweise der Anordnung gemäß F i g. 38,

Fig. 40 die Ansicht der Kontaktvorrichtung für den Prüfling,

Fig. 41 die vergrößerte Darstellung der Anordnung gemäß F i g. 38 mit aufgelegtem Prüfling und

F i g. 42 einen Schnitt durch die Anordnung gemäß Fig.41.

Gesamtsystem

An Hand von F i g. 1 wird zunächst die Gesamtanordnung der Erfindung funktionsgemäß allgemein beschrieben, und danach werden der Aufbau und die Wirkungsweise jedes Bauelements erläutert. Das hier zum Zwecke der Veranschaulichung beschriebene Ausführungsbeispiel der Erfindung besteht aus zwei Halbleiterplättchen-, Halte- und Transportvorrichtungen, die in F i g. 1 als »erster Halter« 1 und »zweiter Halter« 2 bezeichnet sind. Durch jeden dieser Halter werden die Halbleiterplättchen orientiert und nacheinander vier Prüfstationen und schließlich einer Sortierstation zugeleitet, wo das Plättchen in eins von acht Fächern je nach den Ergebnissen, .der an den vier Stationen ausgeführten elektrischen Prü-

fungen abgelegt wird. ,./.

Die Halter 1 und 2 arbeiten im Doppelbetrieb. Während an den vier Halbleiterplättchen an den vier Prüfstationen des einen Halters Prüfungen vorgenommen werden, wird der andere Halter weitergeschaltet, um jedes Plättchen zur nächstfolgenden Station zu befördern. Nach Abschluß der Prüfungen an dem einen Halter wird dieser dann weitergeschaltet, während der andere im Stillstand bleibt, damit seine

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Plättchen den Prüfvorgängen unterzogen werden eine erste Vorzugssortiersteuerung 14 zugeordnet,

können. Ebenso sind den beiden Blöcken 3 und 4 und dem

Die die elektrischen Prüfungen steuernde Schal- zweiten Halter 2 ein zweites Sortierschieberegister 15 tungsanordnung ist in zwei Schaltungsblöcken unter- und eine zweite Vorzugssortiersteuerung 16 zugeordgebracht, die in F i g. 1 als »erster Block« 3 und 5 net. Nachdem ein Halbleiterplättchen eine ganze »zweiter Block« 4 bezeichnet sind. Diese beiden Folge von Wechselstrom-Prüfungen an der Station 1 Blöcke 3 und 4 können einander im Aufbau gleichen. des ersten Halters 1 durchlaufen hat, überträgt der Vorzugsweise werden sie aber so programmiert, daß erste Block 3 über das Kabel 17 zum ersten Sortiersie verschiedene Gruppen von Prüfungen ausführen. schieberegister eine Information, die besagt darüber, Die Schaltungsanordnung ist nur zur Erleichterung io in welche der sieben Kategorien das Halbleiterplättder dichtgedrängten mechanischen Unterbringung in chen einzuordnen ist. Die Anordnung kann so proden beiden getrennten Blöcken 3 und 4 unterge- grammiert werden, daß das Plättchen, um sich für bracht. Selbstverständlich kann die ganze Schaltung eine bestimmte der sieben möglichen Kategorien zu beider Blöcke in einem einzigen Block zusammenge- qualifizieren, nur einige bestimmte Prüfungen oder faßt werden. 15 aber die ganze Prüfungsfolge an der Station 1 durch-

Jeder der Blöcke 3 und 4 steuert die Prüfungen an laufen muß. Das Kabel 17 umfaßt daher sieben Lei-

zwei der Stationen beider Halter 1 und 2. Im einzel- tungen, die jede bei ihrer Erregung (d. h. wenn eine

nen steuert der erste Block 3 die Wechselstromprü- positive Gleichspannung auftritt) anzeigen, daß ein

fungen oder die Prüfung des Einschwingverhaltens Halbleiterplättchen alle Prüfungen bestanden hat, die

an Stationen 1 des ersten Halters 1 und außerdem die 20 für eine der sieben möglichen Kategorien nötig sind,

gleichen Prüfungen an der Station 2 des zweiten Hai- Ebenso enthält das Kabel 18 sieben Leitungen für

ters2. Außerdem steuert der erste Block 3 die die sieben Möglichkeiten, für die sich das Plättchen

Gleichstrom-Prüfungen, an der Station 4 des ersten qualifizieren kann, nachdem es die ganze Folge von

Halters 1 sowie an der gleichen Station des zweiten Wechselstrom-Prüfungen an der Station 2 des ersten

Halters 2. Ebenso steuert der zweite Block 4 die 25 Halters 1 durchlaufen hat. Die Kabel 19 und 20 um-

Wechselstrom-Prüfungen an jeder Station 2 beider fassen jeweils sieben Leitungen für die Folgen von

Halter sowie eine Gruppe von Gleichstrom-Prüfun- Gleichstrom-Prüfungen an der Station 3 bzw. der

gen an jeder Station 3 beider Halter. Station 4 des ersten Halters 1. Die Kabel 21 bis 24

Die Systemsteuerung 5 gemäß Fig. 1 leitet die übertragen entsprechende Sortiersignale aus den

Schaltvorgänge der Halter 1 und 2 ein, empfängt Si- 30 Blöcken 3 und 4 zum zweiten Sortierschieberegister

gnale aus den Haltern, welche anzeigen, daß die 15 in Verbindung mit den an vier Stationen des zwei-

Weiterschaltung abgeschlossen ist, teils den Blök- ten Halters 2 ausgeführten Wechselstrom- und

ken 3 und 4 durch entsprechende Signale mit, daß sie Gleichstrom-Prüfungen.

ihre Prüfoperationen beginnen sollen, und empfängt Jedes der Sortierschieberegister 13, 15 speichert nach Abschluß der Prüfungen Signale aus den Blök- 35 die Sortierinformationen für jedes Halbleiterplättken 3 und 4. Die Systemsteuerung 5 besorgt somit die chen beim Vorrücken des Plättchens von Station zu zeitliche Steuerung der Funktionsabläufe an den Hai- Station. Falls sich ein Plättchen schließlich für eine tern 1 und 2. bestimmte Sortierkategorie qualifizieren soll, muß es

Im einzelnen empfängt die Systemsteuerung 5 ein sich für diese an allen vier Stationen qualifizieren

Signal aus dem ersten Halter 1 über Leitung 6, wel- 40 und wird bezüglich dieser Sortierkategorie disqualifi-

ches angibt, daß der erste Halter 1 seine Weiterschal- ziert, wenn es eine der erforderlichen Prüfungen an

tung beendet hat. Dann überträgt die Systemsteue- einer der vier Stationen nicht besteht. Beim Weiter-

rung 5 ein Signal über Leitung 7 zum zweiten Hai- transport des Plättchens von Station zu Station wird

ter 2, das diesen zur Weiterschaltung veranlaßt, wenn seine Sortierkennzeichnung stufenweise in einem der

seine Prüfungen abgeschlossen sind. Weiter sendet 45 Schieberegister 13 bzw. 14 weitergeschoben. Diese

die Systemsteuerung 5 über Leitung 8 Signale zum er- Schiebeoperation wird eingeleitet durch Signale auf

sten Block 3 und zum zweiten Block 4, um die Prüf- den Leitungen 13 a, 15 α aus der Systemsteuerung 5,

vorgänge bezüglich der vier Halbleiterplättchen an nachdem beide Blöcke 3 und 4 alle Prüfungen jeder

den vier Stationen des ersten Halters 1 einzuleiten. Folge abgeschlossen haben.

Der Abschluß der Prüfungen durch den ersten 50 Die sieben Kategorien sind nach Vorrang geord-Block 3 wird der Systemsteuerung 5 über Leitung 9 net, und zwar hat Kategorie Nr. 1 den höchsten und mitgeteilt. Der Abschluß der Prüfungen durch den Kategorie Nr. 7 den niedrigsten Vorrang. Wenn sich zweiten Block 4 wird der Systemsteuerung 5 über ein Plättchen für eine der sieben Kategorien nicht Leitung 10 mitgeteilt. Dann wird der erste Halter 1 qualifiziert, wird es in eine achte »Ausschuß«- über Leitung 11 durch die Systemsteuerung 5 veran- 55 Kategorie einsortiert. Wenn ein Halbleiterplättchen laßt, seine Weiterschaltung zu beginnen. Durch ein sich für mehrere Kategorien qualifiziert, wird es Signal aus dem zweiten Halter 2 erfährt die System- derjenigen mit dem höchsten Vorrang zugeteilt, steuerung 5 über Leitung 12, daß dessen Weiterschal- Würde sich ein Plättchen z. B. für die Kategorien tung abgeschlossen ist. Nun wird Leitung 8 durch die Nr. 3, 6 und 8 qualifizieren, so würde es schließ-Systemsteuerung 5 erregt, um die Prüfoperationen an 60 lieh der Kategorie Nr. 3 zugestellt. Die Zuteilung jeden Blöcken 3 und 4 für die vier Plättchen an den des Plättchens zu der Kategorie mit dem höchsten vier Stationen des Halters 2 einzuleiten. Der Arbeits- Vorrang erfolgt durch die erste Vorzugssortiersteuezyklus wird dann ständig wiederholt, wobei jeder rung 14 für diejenigen Plättchen, die am ersten Hai-Halter abwechselnd seine Halbleiterplättchen weiter- ter 1 geprüft worden sind, und durch die zweite Vorschaltet, während die Plättchen am anderen Halter 65 zugssortiersteuerung 16 für diejenigen Plättchen, die geprüft werden. am zweiten Halter 2 geprüft worden sind. Jedes der

Den beiden Blöcken 3 und 4 und dem ersten Hai- Kabel 25, 26 aus den Sortierschieberegistern 13, 15

ter 1 sind ein erstes Sortierschieberegister 13 und zu den Vorzugssortiersteuerungen 14 bzw. 16 umfaßt

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dreizehn Signalleitungen, und zwar sieben Leitungen das Anstoßen der monostabilen Kippschaltung 40 zu zum Anzeigen eines »Durchgangs« für jede der sie- ermöglichen und dadurch eine Weiterschaltung des ben Kategorien und sechs Leitungen für die ersten ersten Halters 1 zu bewirken, bevor die Verriegesechs Kategorien zur Erzeugung von »Sperr«-Signa- lungsschaltung 34 durch das Signal rückgestellt wird, len, welche die den Kategorien mit niedrigerem Vor- S welches aus der Verzögerungsschaltung 47 über Leirang entsprechenden Verriegelungsschaltungen in der tung 48 und Inverter 49 zum Rückstelleingang 50 nachstehend beschriebenen Art und Weise abschal- dieser Verriegelungsschaltung 34 übertragen wird,
ten. Die von den Vorzugssortiersteuerungen 14, 16 Durch die Weiterschaltung des zweiten Halters 2

zu den Haltern 1 und 2 verlaufenden Kabel 27, 28 wird ein Nocken 51 betätigt, der nach Abschluß der bestehen aus je sieben Signalleitungen entsprechend io Schaltbewegung des Halters den Schalterkontakt 52 den sieben Kategorien. schließt. Durch das Schließen des Kontakts 52 wird

die Leitung 53 erregt und dadurch die Verriegelungs-

ijystemsteuerung schaltung 54 eingestellt, was anzeigt, daß der zweite

Die Schaltungseinzelheiten der Systemsteuerung 5 Halter 2 seine Weiterschaltung beendet hat. Das sind in F i g. 2 und 3 dargestellt und werden nächste- 15 Ausgangssignal 55 der Verriegelungsschaltung 54 hend beschrieben. Wie unten erläutert wird, enthält bildet ein Eingangssignal für die Und-Schaltung 56, jeder der Blöcke 3 und 4 eine in F i g. 9 dargestellte deren anderer Eingang durch die Leitung 57 aus dem Blocksteuerung. Gemäß F i g. 2 wird die aus dieser Inverter 58 und die Leitungen 60 und 61 beim Rück-Blocksteuerung kommende Eingangsleitung 29 er- stellen der Verriegelungsschaltung 34 erregt wird, regt, wenn die Prüfvorgänge an den Stationen 1 ao Durch die Betätigung der Und-Schaltung 56 wird die und 4 abgeschlossen sind. Durch die Erregung dieser Leitung 62 erregt, die die Verriegelungsschaltung 63 Eingangsleitung 29 wird die Verriegelungsschaltung in den Einstell-Zustand bringt. Dadurch wird deren 30 eingestellt. Die Verriegelungsschaltungen sind je- Ausgangsleitung 64 erregt und angezeigt, daß die weils von herkömmlichem Aufbau, und zwar besteht Prüfeinrichtungen des zweiten Halters 2 betätigt sind, jede aus einer Oder-Schaltung (z.B. 30a) und einer 35 Die Leitung 64 ist über die Leitung 65 an die Und-Schaltung (z. B. 30 b), die in der üblichen Art Oder-Schaltung 66 angeschlossen, die mit einer miteinander verbunden sind. Die andere aus der 3-ms-Verzögerungsschaltung 67 in Serie geschaltet Blocksteuerung kommende Eingangsleitung 31 wird ist. Dadurch wird eine monostabile Kippschaltung 68 erregt, wenn die Prüfvorgänge an den Stationen 2 angestoßen, die einen 50^s-Impuls auf Leitung 69 und 3 abgeschlossen sind, wodurch die Verriege- 30 erzeugt als Signal für das Einleiten der Prüfoperation lungsschaltung 32 eingestellt wird. Nach dem Ein- beider Blöcke 3 und 4. Der Ausgangsimpuls der mostellen beider Verriegelungsschaltungen 30 und 32 nostabilen Kippschaltung 68 wird über Leitung 70 wird die Und-Schaltung 33 bereit, und ihr Ausgang zum Inverter 71 und dann zu den Rückstelleingänsteigt auf ein positives Potential an. gen 72 und 73 der Verriegelungsschaltungen 30 bzw.

Es sei angenommen, daß der erste Halter 1 soeben 35 32 übertragen.

seine Prüfvorgänge abgeschlossen hat und zur Nach Abschluß der Prüfungen an allen vier Statio-

Weiterschaltung bereit ist, während der zweite Hai- nen des zweiten Halters 2 werden die Eingangsleitunter 2 soeben die Weiterschaltung beendet hat und gen 29, 31 aus den jeweiligen Blocksteuerungen der zum Beginn des Prüfens bereit ist. Dann arbeitet die Blöcke 3 und 4 erregt. Dadurch werden die Verriege-Systemsteuerung 5 wie folgt: Durch das Schließen 40 lungsschaltungen 30 und 32 eingestellt, um die des nockenbetätigten Schaltkontakts 35 (Fig. 3) Und-Schaltung 33 zu betätigen und danach über die beim Abschluß der vorangegangenen Weiterschal- Leitung 38 einen der beiden Eingänge der Und-¹ tung des ersten Halters 1 ist die Verriegelungsschal- Schaltung 74 zu erregen. Der andere Eingang dieser tung 34 eingestellt worden, wie es nachstehend be- Schaltung wird erregt durch die Leitung 75, die vom schrieben wird. Die am Ausgang der Verriegelungs- 45 Ausgang der eingestellten Verriegelungsschaltung 63 schaltung 34 beginnende Leitung 36 wird daher er- kommt. Dadurch wird der Eingang 76 der Undregt,.um eine der beiden Eingangsbedingungen für Schaltung 74 erregt, und es wird eine weitere monodie Und-Schaltung 37 zu erfüllen. Daher kann das stabile Kippschaltung 77 angestoßen, die einen Signal aus der bereiten Und-Schaltung 33 über die 200-ms-Impuls erzeugt und dadurch das Relais 79 Leitung 38 an den zweiten Eingang der Und-Schal- 50 über die Leitung 80 erregt. Der Relaiskontakt 81 tüng 37 gelangen. Deren Ausgangssignal wird über wird geschlossen und erregt die Spule 82. Dadurch die Leitung 39 übertragen und erregt die monostabile wird die Eintourenkupplung 83 betätigt, welche die Kippschaltung 40, die einen 200-ms-Impuls erzeugt. Weiterschaltung des zweiten Halters 2 einleitet. Das Dieser erregt die Relaisspule 41 über die Leitung 42 Ausgangssignal der monostabilen Kippschaltung 77 und schließt dadurch den Relaiskontakt 43, so daß 55 wird über Leitung 78 α zu dem Inverter 79 α übertradie Spule 44 erregt und eine Eintourenkupplung 45 gen, wodurch die Verriegelungsschaltung 54 rücfcgebetätigt werden. Die Kupplung schaltet den ersten stellt wird.

Halter 1 einen Schritt weiter, so daß jedes Halbleiter- Durch die Betätigung der Und-Schaltung 33 wird

plättchen zur nächstfolgenden Prüf station befördert der Rückstelleingang 84 der Verriegelungsschaltung wird. Das Ausgangssignal der monostabilen Kipp- 60 63 erregt. Diese wird über die Leitung 46, die Verschaltung 40 wird über Leitung 40 α zu einem Inver- zögerungsschaltung 47 und den Inverter 49 rückgeter 40 b übertragen, der einen negativen Impuls über stellt, wie es oben für die Verriegelungsschaltung 34 Leitung 40 c zu einer Verriegelungsschaltung 90 beschrieben worden ist. Beim Rückstellen der Verüberträgt und diese dadurch rückstellt, riegelungsschaltung 63 entsteht ein negatives Signal Außerdem wird das Ausgangssignal der Und- 65 auf Leitung 64, das durch den Inverter 85 umgekehrt Schaltung 33 über Leitung 46 zu einer Verzögerungs- wird, so daß über die Leitung 86 ein positiver Impuls schaltung 47 übertragen. Diese hat im Beispiel eine zu einem der Eingänge der Und-Schaltung 87 ge-Verzögerungszeit von 50 ys, die lang genug ist, um langt. Deren anderer Eingang 91 wird durch das

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miert werden, daß eine der Speiseleitungen 113, 113 a, 113 b oder 113 c zu einer Kollektorspeiseleitung 115, einer Basisspeiseleitung 116 und einer Emitterspeiseleitung 117 geschaltet wird. Die Leitun-5 gen 115, 116, 117 sind an den Kollektor, die Basis bzw. den Emitter des zu prüfenden Transistor-Halbleiterplättchens über eine Schaltungsanordnung innerhalb einer Gleichstrom-Prüfkassette. 118 angeschlossen. Die sogenannten »Wechselstrom«- oder

ist, wie es nachstehend noch im einzelnen beschrieben wird.

Die . Ausgangssignale des Transistorplättchens während einer Folge von Gleichstrom-Prüfungen werden über die Leitung 120 zu einem Eingang eines Differentialverstärkers 121 übertragen. Dem anderen Eingang 122 des Differentialverstärkers 121 wird

weise —15 V dargestellt, die an eine Reihe von Begrenzungspotentiometern 124 angeschlossen ist; diese sind jeweils über einen Schleifer mit einer der N Leitungen 125 verbunden, von denen jede beliebige ausgewählte Leitung durch programmierte Betätigung der Reihe von Grenzwert-Wählrelais 126 so angeschlossen werden kann,.daß eine regelbare, ausgewählte Bezugsspannung dem Bezugseingang 122

Schließen des Schalterkontakts 35 durch den Nocken 88 erregt, wenn der erste Halter 1 seine Weiterschaltung beendet. Durch das Schließen des Schalterkontakts 35 wird die Leitung 89 erregt, die die Verriegelungsschaltung 90 einstellt, deren Ausgangsimpuls den Eingang 91 der Und-Schaltung 87 erregt. Bei ihrer Betätigung sendet diese Und-Schaltung einen Impuls über die Leitung 92 zum Einstelleingang 93 der Verriegelungsschaltung 34, wodurch diese eingestellt

und die Prüfung am ersten Halter 1 eingeleitet wird. io Einschwingverhalten-Prüfungen werden durch eine

■·:■.· - - c-v -, , -r.,.. , erfindungsgemäße Wechselstrom-Prüfkassette 119

schaltung der blocKe ausgeführt, die mit eigenen Stromquellen versehen

F i g. 5 und 6 zeigen die Schaltungsanordnung für jeden der Blöcke 3 und 4. Es sind zwei stabilisierte Regelspannungsquellen 101, 102 und zwei stabili- 15 sierte Regelstromquellen 103, 104 vorgesehen. Die erste Spannungsquelle 101 hat eine negative Ausgangsleitung 105, eine positive Ausgangsleitung 106 und zwei Fernsteuerleitungen 107, 111. Eine der

Fernsteuerleitungen 107 ist an das eine Ende jedes 20 eine Gleichstrom-Bezugsspannung wie folgt zuge-Programmpotentiometers 108 angeschlossen, von de- führt: Bei 123 ist eine negative Quelle von beispielsnen jedes einen Schleifer hat, der mit einer der N i

Leitungen 109 verbunden ist, welche zu einer Reihe von Potentiometer-Auswählrelais 110 führen. Die andere Fernsteuerleitung 111 verläuft ebenfalls zu 25 der Relaisreihe 110, so daß bei deren Betätigung eins der Programmpotentiometer 108 ausgewählt und an die Leitungen 107,111 angeschlossen wird.

Durch Handeinstellung der Schleifer der Pro- g gpg ggg

grammpotentiometer 108 läßt sich der Widerstand 30 des Differentialverstärkers 121 zugeführt wird. Die zwischen der einen Fernsteuerleitung 107 und der Relais 126 werden während jeder Prüfung betätigt, anderen Fernsteuerleitung 111 wahlweise verändern. um eins der Potentiometer 124 entsprechend der Die erste Spannungsquelle 101 ist konventionell auf- Programmierung auf einer Schalttafelanordnung, die gebaut, so daß die an den Ausgangsleitungen 105, unten beschrieben wird, auszuwählen. In .gleicher 106 erscheinende Spannung entsprechend dem 35 Weise ist eine positive 30-V-Quelle 123 a an einen Widerstand verändert wird, der an den Fernsteuerlei- zweiten. Satz von Begrenzungspotentiometern 124 a tungen 107, 111 liegt. Jedes der Programmpotentio- und weiter an den Differentialverstärker 121 über meter der Reihe 108 kann also so eingestellt werden, Grenzwert-Wählrelais 126. angeschlossen. Der Difdaß. es bei seiner Auswahl durch die Reihe von Po- ferentialverstärker 121 ist eine bekannte Anordnung tentiometer-Auswählrelais 110 auf den Ausgangslei- 4° und erzeugt eine positive Ausgangsspannung auf Leitungen 105, 106 eine Prüfspannung der gewünschten rung 127, wenn das Ausgangssignal des zu prüfenden Größe erzeugt. Durch Betätigung der Reihe von Lei- Transistorplättchens eine höhere Spannung als die stungsrelais 112 kann erreicht werden, daß diese Bezugsspannung am Bezugseingang 122 hat. Prüfspannung entweder eine positive oder eine nega- Wie noch im einzelnen erläutert, wird, führt die

tive Polarität erhält. Daher kann die Ausgangsleitung 45 Wechselstrom-Prüfkassette 119 eine Reihe von Prü-113 der .Leistungsrelais 112 für jede Prüfung eine fungen bezüglich des Einschwingverhaltens des zu Spannung der gewünschten Größe und Polarität auf- prüfenden Transistors aus. Auf der Ausgangsleitung weisen. . 128 der Wechselstrom-Prüfkassette 119 .erscheint

:Die zweite Spannungsquelle 102 ist mit der glei- eine Folge, von Gleichstromsignalen,. die jedes ein chen Steuerschaltung versehen, wie sie vorstehend in 50 Merkmal hinsichtlich.des .Einschwingverhaltens des bezug auf die erste Spannungsquelle 101 besprochen zu prüfenden Transistors darstellen. Diese Gleichworden ist. Diese Schaltungsanordnung trägt entspre- stromsignale werden einem Eingang eines weiteren chende Bezugsziffern mit nachgestelltem »α«. Die Differentialverstärkers 129 zugeführt. Wieder legen beiden Stromquellen 103, 104 sind ebenfalls mit ent- wie bei den Gleichstromprüfungen Grenzwert-Wählsprechenden Steuerelementen versehen, die die glei- 55 relais 126 eine Reihe von Bezugsspannungen an den chen Bezugsziffern mit nachgestelltem »6« bzw. »c« Bezugseingang 130 eines Differentialverstärkers 129. tragen. Statt einer stabilisierten Spannung übertragen Sowohl im Wechselstrom-· als auch im Gleich-

die Ausgangsleitungen 105 b, 106 b der ersten Strom- Stromsystem vergleichen die Differentialverstärker quelle 103.und die Ausgangsleitungen 105c, 106c 121, 129 das Bezugssignal mit dem Ausgangssignal der zweiten Stromquelle 104 stabilisierte Ströme, die 60 der Prüfkassette und erzeugen positive oder negative wahlweise verändert werden durch das Verstellen des Spannungen, welche die Prüfergebnisse des Transi-Programmpotentiometers 108 b bzw. 108 c an den stors darstellen und den Sortier-Verriegelungs- und Fernsteuerleitungen 107 b, UIb bzw. 107 c, 111c Torschaltungen 131 und 132 zugeleitet werden, die

durch die Potentiometer-Auswählrelais 110 & bzw. 110 c.

Die Bezugsziffer 114 bezeichnet allgemein eine Reihe von Relais für die Auswahl nachgeschalteter Elektroden, die während jeder Prüfung so program-

an Hand von Fig. 13 bis 15 noch näher beschrieben 65 werden.

Ein »Prüfbeginn«-Signal aus der Systemsteuerung 5 wird in die Blocksteuerung 133 eingespeist, die an Hand von Fig. 9 noch im einzelnen beschrie-

11 12

ben wird. Die Blocksteuerung 133 hat die Funktion, angelegt werden. Die monostabile Kippschaltung 215

eine Folge von Taktsignalen über Leitung 134 zu er- wird betätigt durch ein Signal aus der Blocksteue-

zeugen, die einen Ringsteuer-Generator 135 steuern. rung (F i g. 9), nach Abschluß jeder Prüfung. Der

Die Eingangsleitung 136 verläuft von der Pro- Aufbau der Flipflopstufen 201 bis 213 und der mo-

grammschalttafel 137 aus zu der Blocksteuerung 133 5 nostabilen Kippschaltung 215 isLin der. Technik be-

und überträgt ein Signal, welches den Beginn der kannt und wird hier nicht näher beschrieben. : .

letzten Prüfung einer Folge anzeigt. Wenn z.B. nur _: Jede Hälfte einer Flipflopstufe 20Ϊ bis 213 ist mit

zwanzig Prüfungen auszuführen sind, wird die einem der Bezugsziffer folgenden »s«.. oder.soZ»« ge-

»Letzte Prüfung«-Steuerleitung auf der Programm- kennzeichnet und wird durch die entsprechende

schalttafel 137 so programmiert, daß die Blocksteue- io Hälfte der vorhergehenden Flipflopstufe betätigt,

rung 133 betätigt wird, wenn, die Ringsteuerung 135 Zum Beispiel wird die obere Hälfte 202.Ä. der.Stufe

den zwanzigsten Schritt erreicht. Dieses »Letzte Prü- 202 durch die obere Hälfte 201 α der Stufe 201 ge^

fung« -Signal setzt die Blocksteuerung 133 für den steuert-. Eine Ausnahme bildet natürlich die-Stufe

Abschluß der letzten Prüfung in Umlauf. Nach der 201, deren obere Hälfte 201a durch die.—untere

letzten Prüfung erzeugt die Blocksteuerung 133 ein 15 Hälfte 213 b der Stufe 213 und deren untere /Halfte

Signal, das über Leitung 138 der Systemsteuerung 5 201 fr; durch die obere Hälfte 213 α der Stufe 213 be^

zugeleitet wird. Wenn die Systemsteuerung 5 ein tätigt werden. ■■■ :&_.

»Letzte Prüfung abgeschlossenÄ-Signal aus beiden < DeE Anfangszustand der Ringsteuerung 135 ist der

Blöcken 3 und 4 empfängt, erzeugt sie ein Weiter- Rückstell-Zustand, in welchem alle Flipflops 201 bis

schaltsignal und überträgt es zu dem Halter, an dem 20 203 im Aus-Zustand sind. Das heißt, alle Ausgangs*

die Prüfungen abgeschlossen worden sind. In Verbin- signale der oberen »««-Hälften der Flipflops 201 bis.

dung mit. einem zeitlich gesteuerten Signal aus der 213 haben ein negatives Potential, und alle Aus-

Programmschalttafel 137 über Leitung 141 steuert gangssignale der unteren »^«-Hälften der Flipflops

die Blocksteuerung 133 die Leistuiigsrelais 112 über 201 bis 213 haben ein positives Potential. In diesem

die Leitung 142. Bei Koinzidenz der Signale aus der 25 Zustand wird ein positives Signal der oberen .Hälfte

Schalttafel 137 und der Blocksteuerung 133 werden 201 α des Flipflops 201 von der unteren Hälfte 2132)

die Leistungsrelais 112 erregt und verbinden die des; Flipflops 213 aus zugeführt, während bei.jedem

Spannungs- und Stromquellen 101, 102, 103,' 104 der übrigen Elipflops 202 bis 213 ein negatives. Pa^

über die Relais 114 mit der Gleichstrom-Prüfkassette tential an der oberen »««-Hälfte von der. otereS

118. ■·.··-■-.■ ■·.·-...- 30 .»««-Hälfte des jeweils vorhergehenden Elipflops aus

■ Die Ringsteuerung 135 wird in Verbindung mit anliegt. Wenn daher ein Ringschaltsignal, aus der

Fig. 8 näher beschrieben. Grundsätzlich besteht sie Blocksteuerung (Fig. 9) allen Flipflops 201 bis 213

aus einer Reihe von; Flipflops, die nacheinander zugeführt wird, wird nur die Stufe 201 aus dem Aus-

durch Signale aus der Blocksteuerung 133 weiterge- in den Ein-Zustand geschaltet,

schaltet.und eingestellt werden. Die Ringsteuerung 35 Durch diese Umschaltung gelangt ein positives Po-

135 liefert eine Folge von 25 positiven Impulsen, die tential aa-, einen der Eingänge der UndrSchaltüng

nacheinander der Programmschalttafel 137 zugeführt 216, .'.dierihr anderes Eingangssignal aus der. unteren;

werden. Diese steuert die Zeiten und Arbeitsgänge Hälfte 2026 des Flipflops 202 empfängt. Dieses Ein-

jedes der Schaltkreise in jedem der Steuer- und Prüf- gangssignal ist ebenfalls positiv, da 202 im Aus-Zu-

systeme in noch zu beschreibender Art und Weise. 40 stand ist. Die Und-Schaltung 216 wird daher betätigt

Die Schalttafel 137 koppelt ein »Letzte Prüfung«-Si- und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangslei-

gnal über Leitung 136 in die Blocksteuerung 133, tung 226, wodurch die erste Prüfung eingeleitet wird,

steuert über Leitung 139 Grenzwert-Auswählrelais Wenn, das Flipflop 201 in den Ein-Zustand umschal-?

126, die Wechselstrom-Prüfkassette 119 über Lei- tet, sendet es ein positives Potential zur oberen

tung 144, die Gleichstrom-Prüfkassette 118 über Lei- 45 Hälfte 202 α des Flipflops 202. ...· "

tung 140 und die Relais 114 über Leitung 143. Bei Ankunft eines zweiten Ringschaltsignals aus

. der Blocksteuerung (F i g. 9) wird also das Flipflop

Rmgsteuer-Crenerator _{202 in} <j_en Ein-Zustand geschaltet. Dadurch gelangt

In F i g. 8 ist die Ringsteuerung 135, die in der Be- ein positives Potential an einen der Eingänge der Schreibung von F i g. 6 zum erstenmal erwähnt wor- 50 Und-Schaltung 217, die ihr anderes Eingangssignal den ist, im einzelnen dargestellt. Die Schaltung 135 aus der unteren Hälfte 203 b des Flipflops 203 emperzeugt eine Reihe von 25 Taktsignalen, die die Rei- fängt. Dieses Eingangssignal ist positiv, da 203 im henfolge jeder der einzelnen Prüfungen steuern, Aus-Zustand ist. Die Und-Schaltung 217 wird daher welche von der erfindungsgemäßen Anordnung betätigt und erzeugt ein positives Signal auf der Ausdurchgeführt werden. Die Schaltung 135 umfaßt 13 55 gangsleitung 227, wodurch die zweite Prüfung einge"-Flipflopstufen 201 bis 213, die in Reihe geschaltet leitet wird. . :..<■ sind. Zur Erleichterung der Beschreibung werden nur Dieser Vorgang wird fortgesetzt, bis alle dreizehn die Stufen 201, 202, 203, 212 und 213 gezeigt und Stufen 201 bis 213 der Ringsteuerung 135 in den beschrieben. Ein-Zustand geschaltet worden sind. Zu diesem. Zeit-

Jede Flipflopstufe arbeitet wie folgt: Eine der Stu- 60 punkt wird die Und-Schaltung 218 betätigt und: er-

fen 201 bis 213 wird als im »Ein«-Zustand befind- zeugt ein positives Signal auf der Ausgangsleitung

lieh angesehen, wenn ihre obere Ausgangsklemme 232, wodurch die dreizehnte Prüfung eingeleitet

ein positives Potential und ihre untere Ausgangs- wird. Jetzt ist das Flipflop 201 im Ein-Züstand und

klemme ein negatives Potential aufweisen. Der Zu- empfängt ein positives Potential an seiner unteren

stand einer einzelnen Flipflopstufe wird umgeschal- 65 Hälfte 201 b aus der oberen Hälfte 213ια des FIi-

tet, wenn ein entsprechendes Torsignal aus der vor- pflops 213. Ein jetzt aus der Blocksteuerung (F i g. 9)

hergehenden Flipflopstufe und ein Ringschaltsignal gesendetes Ringschaltsignal schaltet das Flipflop 201

aus der monostabilen Kippschaltung 216 gleichzeitig in den Aus-Zustand. Beim Umschalten des Flipflops

13 14

201 in den Aus-Zustand wird das Ausgangssignal Signal bestehen, bis die Verriegelungsschaltung 303

seiner unteren Hälfte 201 b positiv. Daher gelangt rückgestellt wird. Aus der vorstehenden Beschrei-

ein positives Potential an den einen Eingang der bung geht hervor, daß durch ein positives Signal auf

Und-Schaltung 219, die ihr zweites Eingangssignal der Leitung 302 die Verriegelungsschaltung 303 ein-

aus der oberen-Hälfte 202α des Flipflops 202 emp- 5 gestellt wird, wodurch die Leitungen 305 und 383

fängt. Dieses Signal ist positiv, da 202 im Ein-Zu- positiv werden.

stand' ist. Die^: Und-Schaltung 219 wird also betätigt Dieses Ausgangssignal auf Leitung 305 wird direkt

und erzeugt ein positives Signal auf der Ausgangslei- dem einen Eingang der Und-Schaltung 307 und indi-

tung 228,/wodurch die vierzehnte Prüfung eingeleitet rekt über eine 2^s-Verzögerungsschaltung 309 dem

wird.";.· ■ ίο anderen Eingang der Und-Schaltung 307 zugeführt.

■ .'=Dürch das Umschalten des Flipflops 201 in den Nach dieser Verzögerung wird die Und-Schaltung

Aus-Zustand gelangt ein positives Potential zur unte- 307 betätigt. Sie erzeugt ein positives Potential an ih-

ren::Hälfte 202 b des Flipflops 202. Das nächste rem Ausgang 308, das 3,5 ms lang bestehenbleibt.

Ringschaltsignal aus der Blocksteuerung schaltet da- Durch die Ausgangsleitung 308 gelangt ein positives

her äas Flipflop 202 in den Aus-Zustand, wodurch 15 Potential an je einen Eingang jeder der Und-Schal-

<iie'Und-Schaltung 220 betätigt wird und ein Signal tungen 367, 369, 373 und 375. Diese werden außer-

auf der Ausgangsleitung 229 erzeugt, wie es oben be- dem gesteuert durch die 51. bis 54. Treiberleitung,

schrieben ist. Dieser Vorgang setzt sich fort, bis alle die nachstehend an Hand der die Programmschaltta-

FJipflops 201 bis 213 in den Aus-Zustand geschaltet fei 137 darstellenden Fig. 10 beschrieben werden,

-worden sind. Die Und-Schaltungen 232, 233 und 234 ao Die Treiberleitungen leiten die Kommandosignale

sowie die anderen in F i g. 8 zur Verdeutlichung der weiter, die angeben, welche Prüfoperation während

■Darstellung weggelassenen Und-Schaltungen arbeiten eines Prüf Schrittes ausgeführt werden soll. Durch die

in gleicher Weise, so daß aufeinanderfolgende Prü- Koinzidenz positiver Eingangssignale an beiden Ein-

fungseinleitungssignale auf den Ausgangsleitungen gangen einer der Und-Schaltungen 367, 369, 373 und

erzeugt werden, für die die Leitungen 235, 236 und 25 375 wird eins der Netzrelais 354 bis 357 erregt, wo-

237 weitere Beispiele sind. Die Rückstellung der durch wiederum die zugeordnete Prüfschaltungsan-

Ringsteuerung 135 in den Anfangszustand erfolgt Ordnung betätigt wird.

durch ein aus der Blocksteuerung (F i g. 9) auf die Wenn z. B. für eine bestimmte Prüfung die durch

Eingangsleitung 231 gegebenes positives Signal. die 51. Treiberleitung gesteuerten Operationen auf

Durch dieses Signal werden alle dreizehn Flipflops 30 der Programmschalttafel 137 programmiert sind, hat

201 bis 213 in den Aus-Zustand geschaltet, indem diese Leitung Erdpotential, das als »positives« Signal

ihnen ein negatives Rückstell-Signal aus dem Inver- angesehen wird. Bei Betätigung der Und-Schaltung

ter 230 zugeführt wird. 307 wird infolge der Koinzidenz positiver Signale an

beiden Eingängen der Und-Schaltung 367 diese betä-

. Blocksteuerung _{3S ügt und die} Netzrelaisspule 354 über die Leitung 362

F i g. 9 enthält ein genaues Schaltschema jeder der erregt. Dadurch schaltet sein Relaiskontakt während

beiden Blocksteuerungen. Ein »Prüfbeginn«-Signal der Prüfung um.

auf der Eingangsleitung 300 aus der Systemsteuerung Wenn z. B. die 52. Treiberleitung nicht in die

wird einer Oder-Schaltung 301 zugeleitet. Diese leitet Schaltung hineinprogrammiert worden ist, bewirkt

daraufhin über die Leitung 379 einen Impuls weiter 40 ein Ausgangssignal der Und-Schaltung 307 auf Lei-

zu der monostabilen Kippschaltung 215 der Ring- tung 308 keine Betätigung der Und-Schaltung 369.

steuerung 135, die oben an Hand von F i g. 8 be- Daher spricht das Relais 355 nicht an, und die ihm

schrieben ist. zugeordnete Schaltungsanordnung ist während dieses

• Eine Ausgangsleitung 320 der Oder-Schaltung 301 Prüf Schrittes außer Betrieb.

führt außerdem in eine mit 303 bezeichnete Verrie- 45 Das Signal am Ausgang 383 der Verriegelungs-

gelungsschaltung, die bei Empfang eines Signals auf schaltung 303 dient ebenfalls zum Einstellen der

Leitung 302 eingestellt wird. Es sei zunächst ange- Verriegelungsschaltung 333, nachdem es durch eine

.nommen, daß sich die Verriegelungsschaltung 303 im 2-ms-Verzögerungsschaltung 309 und in einer 3,5-

Rückstell-Zustand befindet, in welchem das Potential ms-Verzögerungsschaltung 316 verzögert worden ist.

auf»302 negativ ist. Das Potential auf Leitung 321 50 Das Signal auf Leitung 318 gelangt daher zu der

sowie das Potential auf der Ausgangsleitung 308 der Verriegelungsschaltung 333, 5,5 ms, nachdem das ur-

Und-Schaltung 307 sind negativ. Das Potential an sprüngliche Signal auf Leitung 383 die Verriege-

381 ist negativ und das Potential auf Leitung 382 ist lungsschaltung 303 verlassen hat. Das positive Signal

positiv^· Die Und-Schaltung 312 ist im Aus-Zustand, am Eingang 318 stellt die Verriegelungsschaltung

die Oder-Schaltung 304 ist ebenfalls im Aus-Zu- 55 333 in derselben Weise ein, wie es oben bezüglich

stand. der Verriegelungsschaltung 303 beschrieben worden

. Ein über Leitung 302 zum Einstelleingang der ist, und läßt dadurch das Potential auf den Leitungen

.Verriegelungsschaltung 303 gelangendes positives 327 und 325 positiv werden, d.h. den oberen oder

Eingangssignal bewirkt das Einschalten der Oder- Erdspannungspegel annehmen. ^;

Sehaltung 304. Daher erscheint ein positives Signal 60 Das positive Signal auf Leitung 327 veranlaßt eine

auf Leitung 381. Da zunächst auf der Eingangslei- Verzögerungsschaltung 326, etwa 50 μβ später einen

.tang 382 der Und-Schaltung 312 ein positives Signal positiven Impuls zur Leitung 328 zu senden. Die

liegt,-! wird diese Und-Schaltung eingeschaltet und Eingangsleitung 330 der Und-Schaltung 331 ist nor-

sendet ein positives Signal über die Leitung 380 zum malerweise positiv. Wenn das Signal auf Leitung 325

Eingang der Oder-Schaltung 304. Das Ergebnis ist, 65 und das normalerweise positive Signal auf Leitung

daß die'.Verriegelungsschal tung 303 nun mit einem 330 koindizieren, wird die Und-Schaltung 331 betä-

positiven Signal an den Klemmen 383 und 380 einge- tigt. Sie erhöht dadurch das Potential auf Leitung

stellt wird. An diesen. Klemmen bleibt ein positives 378. Das Ausgangssignal der Verzögerungsschaltung

15 16

326 wird durch den Inverter 329 umgekehrt und grammiert werden kann. Pro Block ist nur eine

macht die Leitung 330 negativ, wodurch die Und- Schalttafel 137 vorhanden, wie es F i g. 6 zeigt.

Schaltung 331 abgeschaltet wird. Infolgedessen hat Die Schalttafel 137 ist eine rechteckige Platte 400

das positive Signal auf Leitung 378 eine Impulsdauer aus Isoliermaterial, die auf ihrer Vorderseite 401

von 50 μβ. Dieser Impuls wird den Stationssortier- 5 eine Reihe von beispielsweise 25 horizontalen leiten-

Verriegelungsschaltungen 131, 132 zugeführt, wie es den Kupferstreifen 402 aufweist, welche vertikal ge-

unten an Hand von Fig. 13 bis 15 erläutert wird. trennt sind. Am linken Rand der Schalttafel 137 ist

Der Impuls auf Leitung 328 aus der Verzöge- jeder dieser horizontalen Streifen 402 mit einer rungsschaltung 326 wird außerdem über die Leitung Nummer bezeichnet, die einer der 25 Prüfungen, 314 dem Inverter 313 zugeleitet, in diesem umge- io welche die Maximalzahl in jeder Folge bilden, entkehrt und über die Leitung 382 zum Rückstellein- spricht. Die linken Anschlüsse der horizontalen Streigang der Verriegelungsschaltung 303 übertragen. fen 402 sind an Leitungen angeschlossen, welche ein Das Signal auf Leitung 328 wird weiter über die Lei- Kabel 403 aus der Ringsteuerung 135 bilden,
tung 335 einer 2-ms-Verzögerungsschaltung 311 zu- Auf der anderen Seite der Isolierplatte 400 der geführt. Deren Ausgangssignal wird durch den Inver- 15 Schalttafel 137 befindet sich eine Reihe von hundert ter 315 umgekehrt und zum Rückstelleingang 323 vertikalen Kupferstreifen 404 in horizontalen Abder Verriegelungsschaltung 333 übertragen. ständen, die etwa senkrecht zu den horizontalen

Die Verriegelungsschaltung 336 ist normalerweise Kupferstreifen 402 verlaufen. Jeder der vertikalen im Rückstellzustand, d. h., die Leitungen 339, 346 Streifen 404 bildet eine Treiberleitung zum Erregen und 344 führen normalerweise ein negatives Poten- 20 einer bestimmten Relaisspule oder logischen Schaltial. Wenn ein verzögertes Signal auf Leitung 317 zu tung. Die Erregung eines Relais oder einer Schaltung der Verriegelungsschaltung 336 gelangt, schaltet besteht darin, daß eine von deren Klemmen geerdet diese nicht um, weil kein »Letzte Prüfung<:-3ignal wird, so daß Strom durch die Relaisspule oder die aus der Programmschalttafel 137 auf Leitung 337 Schaltung zu deren anderer Klemme fließt, die stänvorliegt. Wenn die Verriegelungsschaltung 336 im 25 dig mit einer negativen Quelle verbunden ist und auf Rückstellzustand ist, wird eine negative Spannung einem vorherbestimmten Potential unter dem Erdpeauf Leitung 339 durch den Inverter 340 in ein positi- gel gehalten wird. Die häufig in der Beschreibung erves Signal auf Leitung 341 umgekehrt. Durch die wähnte »positive« Spannung ist also in Wirklichkeit Koinzidenz eines positiven Signals auf Leitung 341 Erdpotential. Jede der hundert Treiberleitungen oder und eines positiven Signals auf Leitung 350 von der 30 vertikalen Kupferleisten 404 ist entlang des unteren Leitung 347 aus spricht die Und-Schaltung 342 an Randes der Platte 400 numeriert,
und überträgt ein positives Signal über die Leitung Wie schon bei der Beschreibung von F i g. 9 er-343 zur Oder-Schaltung 301. Es entsteht also ein po- wähnt, sind die 51., 52., 53. und die 54. Treiberleisitives Ausgangssignal auf Leitung 379, durch das tung an die Und-Schaltung 367, 369, 373 bzw. 375 eine Weiterschaltung der Ringsteuerung zur nächsten 35 durch das Kabel 405 angeschlossen, das aus den Lei-Phase für die nächste Prüfung bewirkt wird. tungen 368, 370, 372 und 376 besteht. Andere Trei-

Solange die Verriegelungsschaltung 336 im Rück- berleitungen sind an verschiedene logische Schaltun-

stellzustand ist, liegt ein negatives Signal auf Leitung gen über das Kabel 406 und an die verschiedenen

348 vor und verhindert so, daß die Und-Schaltung Relaisspulen über das Kabel 407 angeschlossen.

351 das »Letzte Prüfung beendet«-Signal und das Si- 40 Gemäß Fig. 10 scheinen die horizontalen Kupfer-

gnal für die Rückstellung der Ringsteuerung auslöst. streifen 402 die vertikalen Kupferstreifen 404 zu

Zu Beginn der letzten Prüfung, für welche die Pro- kreuzen. Tatsächlich sind die horizontalen Streifen

grammschalttafel 137'programmiert worden ist, wird 402, wie es Fig. 11 zeigt, vor den vertikalen Streifen

ein positives Signal über Leitung 337 in die Verriege- 404 in einem Abstand angeordnet, der gleich der

lungsschaltung 336 übertragen. Dadurch wird die 45 Stärke der Isolierplatte 400 ist. An jedem scheinba-

Verriegelungsschaltung 336 umgeschaltet und er- ren Schnittpunkt geht ein Loch 408 durch einen der

zeugt ein positives Ausgangssignal auf Leitung 339, horizontalen Kupferstreifen 402, einen der vertikalen

wie es oben für die Verriegelungsschaltung 303 be- Kupferstreifen 404 und außerdem durch die dazwi-

schrieben worden ist. Dieses positive Signal auf Lei- schenliegende Isolierplatte 400 hindurch,

tung 339 wird durch den Inverter 340 umgekehrt, 50 Jedes dieser Löcher 408 kann den Schaft 409 einer

damit die Und-Schaltung 342 nicht betätigt wird. Es Diode aufnehmen, die allgemein mit 410 bezeichnet

gelangt also ein negatives Signal auf Leitung 343 ist und einen vergrößerten zylindrischen Griff 411

zum Eingang 343 a der Oder-Schaltung 301, wo- aufweist, damit die Diode 410 manuell mit ihrem

durch die Ringsteuerung nacheinander weitergeschal- Schaft 409 in eins der Löcher 408 eingeführt oder

tet wird. Dieses Signal ist nötig, weil das »Prüfungs- 55 herausgezogen werden kann. Der Schaft 409 weist

beginn«-Signal aus der Systemsteuerung nur für die am anderen Ende zwei leitende Teile 412, 413 auf

erste Prüfung einer Folge erzeugt wird. sowie einen dazwischenliegenden Halbleiterteil 414

Außerdem wird ein positives Signal auf Leitung mit einem PN-Übergang. Der leitende Schaftteil 412

339 über die Leitung 348 zu der Und-Schaltung 351 schafft in dem Loch 408 eine Verbindung mit dem

übertragen und veranlaßt sie, ein »Letzte Prüfung 60 vertikalen Kupferstreifen 404. Das andere leitende

beendet«-Signal auf der Ausgangsleitung 29 zu er- Endteil 413 schafft in gleicher Weise in dem Loch

zeugen sowie durch das Signal über die Leitung 353 408 eine Verbindung mit dem horizontalen Kupfer-

die Ringsteuerung 135 rückzustellen. streifen 402.

Durch manuelles Einstecken von Dioden 410 in

Programmschalttafel _{6s dne ausgewä}hlte Gruppe von Löchern 408 werden

Fig. 10 und 11 zeigen die Programmschalttafel also die entsprechenden Treiberleitungen oder verti-

137, durch welche die vorliegende Anordnung für kalen Kupferstreifen 404 mit den entsprechenden ho-

jede Wechselstrom- und Gleichstrom-Prüfung pro- rizontalen Kupferstreifen 402 verbunden, wenn diese

17 18

durch die Ringsteuerung 135 erregt oder auf den so- gleicher Polarität für die Schaltung 507. Ein »Vergenannten »positiven« Spannungspegel angehoben sagen« wird angezeigt durch Eingangssignale entwerden. Für jeden der 25 Prüfschritte in einer Prüf- gegengesetzter Polarität für die Schaltung 507. Wenn folge hebt die Ringsteuerung 135 eine der horizonta- das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 121 len Leisten 402 für eine Impulsdauer, die gleich der 5 und das Signal auf Leitung 136 positiv sind, ist die zur Ausführung einer Prüfung benötigten Zeit ist, auf Ausgangsleitung 506 der Exklusiv-Oder-Schaltung den positiven Spannungspegel an. Diese Impulse 507 negativ. Falls das Signal auf Leitung 127 und werden der Reihe nach den horizontalen Streifen 402 das Eingangssignal auf Leitung 572 negativ sind, ist zugeführt. Beim Anheben jedes der horizontalen die Ausgangsleitung 506 negativ. Falls das Aus-Streifen 402 auf den postitiven oder Erdspannungs- io gangssignal des Verstärkers 121 negativ und das Einpegel werden auch diejenigen vertikalen Treiberlei- gangssignal auf Leitung 136. positiv sind oder umtungen 404, die durch vorheriges Einführen einer gekehrt, erzeugt die Schaltung 507 ein positives AusDiode 410 mit dem erregten horizontalen Streifen gangssignal.

402 verbunden worden sind, auf den positiven Pegel Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder-Schaltung

gebracht und dadurch die logischen Schaltungen 15 507 ist eine Schrittfunktion und dient zum Anzeigen

oder Relaisspulen erregt, an die die Treiberleitungen oder Darstellen einer »Bestanden«- oder »Ver-

durch die Kabel 405, 406 und 407 angeschlossen sagt«-Entscheidung, wie sie oben erläutert ist. Das

sind. Vorliegen eines positiven Signals auf Leitung 506,

Stationssortier-Verriegelungsschaltungen ^{wenn die} Schalttafel Ψ,entsprechend programmiert

20 ist, zeigt an, daß die laufende Prüfung mcht bestan-

In Fig. 13 und 14 sind Wechselstrom-Gleich- den ist. Ein negatives Signal weist auf eine bestanstrom-Stationssortier-Verriegelungsschaltungen im dene Prüfung hin.

einzelnen dargestellt, die in F i g. 6 allgemein als Rei- Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder-Schaltung

hen bei 131 und 132 angedeutet sind. Die Funktion 507 wird über die Leitung 506 dem einen Eingang dieser Verriegelungsschaltungen besteht darin, die 25 der Und-Schaltung 510 zugeleitet, deren anderer einzelnen Prüfergebnisse an jeder Station in Form Eingang einen positiven Abtastimpuls auf Leitung einer Entscheidung über die Sortenqualifikation für 511 aus der Blocksteuerung 133 empfängt. Die die Übertragung zum Sortierschieberregister 13 oder Und-Schaltung 510 wird nur dann betätigt, wenn auf 15 zu sammeln. Da im vorliegenden Ausführungsbei- beiden Leitungen 511 und 506 je ein positives Signal spiel auf jedem Halter vier Prüfungsstationen ver- 3° vorliegt. Der Abtastimpuls ist zeitlich so gesteuert, wendet werden, sind insgesamt acht solcher Sor- daß er um eine bestimmte Verzögerungszeit nach Betier-Verriegelungsschaltungen vorhanden, von denen ginn jeder Prüfung auftritt, so daß die anfänglichen vier Wechselstrom-Stationen und vier für Gleich- Einschwingvorgänge Zeit zum Abklingen haben, bestrom-Stationen bestimmt sind. Da alle acht Verrie- vor die eigentliche Prüfmessung vorgenommen wird, gelungsschaltungen einander gleichen, ist in der 35 Das auf der Leitung 519 erscheinende Ausgangs-Zeichnung nur eine dargestellt worden. . signal der Und-Schaltung 510 wird gleichzeitig den

Für jede Prüfung einer Folge empfängt die Ein- Eingangsklemmen 519 bis 525 von sieben Undgangsleitung 127 einer Verriegelungsschaltung 500 Schaltungen 512 bis 518 zugeleitet, deren andere das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 121. Eingangsklemmen 526 bis 532 an die Treiberleitun-Ob die Leitung 506 ein Signal gleicher oder umge- 4° gen 534 bis 540 des Treiberleitungskabels 541 angekehrter Polarität entsprechend dem Ausgangssignal schlossen sind. Je nach der Systemprogrammierung des Differentialverstärkers 121 empfängt, hängt da- liegt auf einer dieser Treiberleitungen 534 bis 540 von ab, ob die Exklusiv-Oder-Schaltung 507 so pro- entweder ein positives oder ein negatives Signal vor. grammiert ist, daß sie das Ausgangssignal des Ver- Durch ein positives Signal wird die betreffende stärkers 121 für die betreffende Prüfung umkehrt 45 Und-Schaltung 512 bis 518 betätigt, wenn ein positi- oder nicht umkehrt. Die Programmierungsschaltung ves Ausgangssignal auf Leitung 519 vorliegt. Die auf 507 ist nötig, weil ein in die Verriegelungsschaltung den Treiberleitungen 534 bis 540 erscheinenden 500 gelangendes positives Ausgangssignal des Diffe- Treibersignale werden durch die Programmschalttarentialverstärkers gewöhnlich einen Ausfall darstellt. fei 137 gesteuert. Jede beliebige der sieben Und-Wenn statt dessen in einer bestimmten Prüfung ein 50 Schaltungen 512 bis 518 erzeugt also ein positives positives Ausgangssignal eine »bestandene Prüfung« Ausgangssignal, wenn die entsprechende Prüfung darstellen soll, wird dadurch, daß die Schaltung 507 nicht bestanden ist, vorausgesetzt, die betreffende der durch Erregung einer Treiberleitung 572 in die Treiberleitungen 534 bis 540 ist für diese Prüfung Schaltung mit aufgenommen wird, das positive Signal programmiert,
in ein negatives Signal umgekehrt. 55 Die Ausgangssignale der sieben Und-Schaltungen

Das Ausgangssignal des Differentialverstärkers 512 bis 518 werden durch zugeordnete Leitungen 121 wird über die Leitung 127 der einen Eingangs- 541 bis 547 den Eingangsklemmen 548 bis 554 der klemme 503 der Exklusiv-Oder-Schaltung 507 züge- Verriegelungsschaltungen 555 bis 561 zugeführt, führt, deren anderer Eingang 504 durch Leitung 572 Jede dieser Schaltungen ist so aufgebaut, wie es bei mit der Programmschalttafel 137 verbunden ist. 60 562 gezeigt ist. Und zwar besteht jede aus einem In-Diese kann so programmiert werden, daß sie ein po- verter 563, einer Und-Schaltung 564 und einer sitives Signal in die Exklusiv-Oder-Schaltung 507 Oder-Schaltung 565. Alle Verriegelungsschaltungen einspeist. Das Ausgangssignal der Exklusiv-Oder- werden eingestellt durch einen Prüfbeginn-Impuls Schaltung 507 zeigt an, ob das Eingangssignal auf über die Leitungen 548 bis 554, bevor ein Halbleiterder Treiberleitung 572 und das Eingangssignal auf 65 plättchen der Folge von Prüfungen unterzogen wird, der Leitung 127 aus dem Differentialverstärker 121 Durch eine »nicht bestandene« Prüfung wird die nordie gleiche Polarität haben. Ein »Prüfung bestan- malerweise eingestellte Verriegelungsschaltung 565 den«-Resultat wird angezeigt durch Eingangssignale rückgestellt, so daß ihr positiver Ausgangspegel in

einen negativen Pegel umgekehrt wird. Eine bestandene Prüfung beeinflußt den Einstellzustand nicht. Die Leitungen 581 bis 587 steuern die Sortierschieberregister. Nach Abschluß aller Prüfungen zeigt eine positive Spannung auf Leitung 581 bis 587 an, daß das Halbleiterplättchen alle Prüfungen bestanden hat, die an der für die entsprechende Sorte benötigten Station ausgeführt worden sind.

Sortierschieberegister

Fig. 16 zeigt ein ,Schieberregister, das die Resultate einzelner Prüfungen bezüglich eines Transistors sammelt. Dieses Register, das mit 599 bezeichnet ist und nachstehend als Sortierschieberegister erwähnt wird, schiebt die Prüfergebnisse derart weiter, daß Informationen bezüglich der Kategorien gespeichert werden, für welche sich ein Transistor qualifiziert, und zwar nach den Prüfungen an jeder Station. Diese Informationen werden von einer nachstehend zu beschreibenden Vorzugssortierschaltung verarbeitet, um das Einsortieren jedes Halbleiterplättchens in die Kategorie mit dem höchsten Vorrang zu leiten, für die es sich schließlich nach Durchlaufen der Prüfungen an allen vier Prüfstationen qualifiziert.

An jeder der vier Prüf Stationen eines der Halter wird entschieden, ob das Halbleiterplättchen die zur Qualifikation für jede von sieben möglichen Kategorien nötigen Prüfungen bestanden hat oder nicht. Das Plättchen muß alle Prüfungen für eine gegebene Sorte an jeder der vier Prüfstationen bestehen, damit es sich für die betreffende Kategorie qualifiziert. Nach Abschluß der Prüfungen an der veirten und letzten Prüf station wird das Halbleiterplättchen in den Behälter eingelegt, der der Kategorie mit dem höchsten Vorrang entspricht.

Gemäß Fig. 16 besteht jedes der Sortierschieberegister 13, 14 aus 28 Flipflopstufen, die in sieben horizontalen Reihen und vier vertikalen Spalten angeordnet sind. Jede der sieben Reihen entspricht einer der sieben möglichen Kategorien, und jede der vier Spalten entspricht einer der vier Prüfstationen. Da alle Stufen des Sortierschieberegisters einander gleichen, wird nur die oberste Reihe, die Kategorie Nr. 1 darstellt, im einzelnen gezeigt und beschrieben. Die übrigen Reihen, die die Kategorien Nr. 2 bis 7 darstellen, sind schematisch dargestellt und werden allgemein durch die Bezugsziffern 625 bis 630 angedeutet.

Die Wirkungsweise des Sortierschieberegister wird vesständlich, wen man die Prüfungen bezüglich eines einzigen Halbleiterplättchens für die der Kategorie Nr. 1 entsprechende Reihe durch alle vier Prüfstationen verfolgt. Wenn ein Halbleiterplättchen in die Prüfstation Nr. 1 eingebracht wird und die Prüfungen an dieser Station abgeschlossen sind, befindet sich auf einer Eingangsleitung 611, die als Ausgangsleitung 581 der Sortier-Verriegelungsschaltung 131 in Fig. 13 gezeigt ist, ein positives Potential, falls das Plättchen alle Prüfungen für Kategorie Nr. 1 besteht, und ein negatives Potential, wenn das Plättchen eine der für die Kategorie Nr. 1 nötigen Prüfungen nicht besteht. Nach Abschluß der Prüfungen an den übrigen drei Stationen wird ein »Ende der Prüfungen«- Signal aus der Systemsteuerung auf die Eingangsleitung 601 gegeben, wodurch die monostabile Kippschaltung 602 angestoßen wird.

Ein positiver Ausgangsimpuls der Kippschaltung 602 gelangt dann zu der Und-Schaltung 603, deren zweite Eingangsleitung 600 durch die Systemsteuerung 5 gesteuert wird und am Ende der Prüffolge eine positive Spannung aufweist. Dadurch wird die Und-Schaltung 603 betätigt und sendet einen positiven Impuls zu den Steuereingängen aller 28 Flipflops des Sortierschieberegisters einschließlich des Flipflops 621. Durch dieses positive Signal wird jedes Flipflop in den Ein-Zustand gebracht, falls sein Eingang (z. B. 611 für Flipflop 621) positiv ist, oder in den Aus-Zustand, wenn sein Eingang negativ ist, wobei der Anfangszustand der Flipflops keine Rolle spielt.

Wenn angenommen wird, daß das zu prüfende Halbleiterplättchen alle Prüfungen für Kategorie Nr. 1 an Station Nr. 1 besteht, ist Flipflop 621 im Ein-Zustand, nachdem es durch das Ausgangssignal der Und-Schaltung 603 umgeschaltet worden ist. Das Ausgangssignal des Flipflops 621 ist daher positiv und betätigt die Und-Schaltung 632. Die übrigen sechs Reihen 625 bis 630, die den anderen sechs Kategorien der Station Nr. 1 entsprechen, werden gleichzeitig mit der der Kategorie Nur. 1 entsprechenden ersten Reihe betätigt. Nach Abschluß der Prüfungen an Station Nr. 1 wird der Halbleiterplättchen-Halter weitergeschaltet, und das Halbleiterplättchen bewegt sich in der nachstehend beschriebenen Weise zur Station Nr. 2. Dort wird es einer anderen Gruppe von Prüfungen unterzogen.

Falls an der Station Nr. 2 das Halbleiterplättchen die zur Qualifikation in Kategorie Nr. 1 nötigen Prüfungen besteht, gelangt ein positives Signal auf die Eingangsleitung 612 der Und-Schaltung 632, deren anderer Eingang durch das Flipflop 621 erregt wird. Die Und-Schaltung 632 wird daher betätigt und bringt dadurch ihr Ausgangssignal und daher auch das Eingangssignal des Flipflops 622 auf einen positiven Pegel.

Nach Abschluß aller Prüfungen an allen vier Stationen gelangt durch das »Ende der Prüfungen«-Signal auf Leitung 601 ein Steuersignal auf Leitung 672, zu allen Flipflops und veranlaßt sie je nach ihrem Eingangszustand zum Umschalten in den anderen Zustand. Dieser Vorgang wird an den Prüfstationen Nr. 3 und 4 wiederholt. Wenn das Transistorplättchen die erforderliche Prüfung an allen vier Stationen für die Kategorie Nr. 1 besteht, liegt an der Ausgangsklemme 650 des letzten Flipflops 624 ein positives Potential. Durch einen nachstehend beschriebenen Sortierer wird das Halbleiterplättchen dann in den Behälter für die Kategorie Nr. 1 eingebracht.

Falls sich das Plättchen an einer der vier Prüfstationen nicht für die Kategorie Nr. 1 qualifiziert, werden die Polaritäten der Ausgangsklemmen 650, 651 umgekehrt und die Vorzugssortiereinrichtung betätigt, um das Plättchen in die Kategorie mit dem höchsten Vorrang, für die es sich qualifiziert hat, hineinzubringen, wie es nachstehend erläutert wird. Das heißt, falls das Plättchen die Prüfungen für Kategorie Nr. 1 an einer der vier Prüfstationen nicht besteht, werden alle Stufen des Sortierschieberegisters, die auf die Prüfstation in der das Versagen erfolgt ist, folgen, in den Aus-Zustand geschaltet. Falls das Halbleiterplättchen z. B. die Prüfungen für Kategorie Nr. 1 an Station Nr. 2 nicht besteht, ist das Signal auf der Eingangsleitung 612 negativ und betätigt die Und-Schaltung 632 nicht. Daher wird das Flipflop 622 in den Aus-Zustand geschaltet, wenn der Steuer-

impuls aus der Und-Schaltung 603 über Leitung 672 herangeführt wird. Das Ausgangssignal des Flipflops

622 ist daher negativ und macht eine Betätigung der Und-Schaltung 633 unmöglich. Nach der nächsten Prüffolge an Station Nr. 3 wird daher das Flipflop

623 in den Aus-Zustand geschaltet ohne Rücksicht auf den Zustand des Eingangs 613. Ebenso wird ohne Rücksicht auf die Resultate der Prüfungen an der Prüfstation Nr. 4 das Flipflop 624 in den Aus-Zustand geschaltet, so daß die Ausgangsklemme 650 negativ und die Ausgangsklemme 651 positiv werden. Die Vorzugssortiersteuerungen 14 oder 16 sprechen dann in der nachstehend beschriebenen Art und Weise an.

Vorzugssortiersteuerung

In Fig. 17 sind die Vorzugssortierschaltungen 14 und 16 im einzelnen dargestellt. Die Schaltungen 14, 16 bestehen jeweils aus sieben Und-Schaltungen 702 bis 708 und acht Relaistreibern 731 bis 738. Die sieben Paare von Eingangsleitungen 650 bis 663 sind die Paare von Ausgangsleitungen des in F i g. 16 gezeigten Sortierschieberegisters mit den gleichen Bezugsziffern. Zum Beispiel entsprechen die Ausgangsleitungen 650 und 651 von F i g. 16 den Eingangsleitungen 650 und 651 von Fig. 17. Jedes Paar von Eingangsleitungen entspricht einer Kategorie. Zum Beispiel entsprechen das Eingangsleitungspaar 650, 651 der Kategorie Nr. 1 und das Eingangsleitungspaar 662, 663 der Kategorie Nr. 7.

Die Eingangsleitungen jedes Paares ergänzen einander; wenn eine ein negatives Potential hat, hat die andere ein positives. Wenn z. B. die Eingangsleitung 650 ein positives Potential führt, weist die Eingangsleitung 651 ein negatives Potential auf, und wenn die Eingangsleitung 662 ein positives Potential hat, hat die Eingangsleitung 663 ein negatives Potential. Die mit der niedrigeren Nummer bezeichnete Eingangsleitung eines Paares hat ein positives Potential, wenn ein in Prüfung begriffenes Halbleiterplättchen alle Prüfungen für die jeweilige Kategorie an allen vier Prüfstationen bestanden hat. Die mit der höheren Nummer bezeichnete Eingangsleitung ist jeweils positiv, wenn das geprüfte Halbleiterplättchen die Prüfungen der jeweiligen Kategorie an einer der vier Prüf Stationen nicht besteht.

Wenn also ein gerade geprüftes Halbleiterplättchen alle Prüfungen für Kategorie Nr. 1 an allen Prüfstationen besteht, führt die Eingangsleitung 650 ein positives Potential, und auf ihrer Ergänzungsleitung 651 befindet sich ein negatives Potential. Durch das positive Potential auf der Eingangsleitung 650 wird der Relaistreiber 731 erregt und sendet ein Signal zu dem Halbleiterplättchen-Halter über die Ausgangsleitung 741. Dieses Ausgangssignal veranlaßt den Halter, das geprüfte Halbleiterplättchen in den Behälter für Kategorie Nr. 1 abzulegen. Das komplementäre negative Signal auf der Eingangsleitung 721 sperrt alle Und-Schaltungen 702 bis 708, so daß keine der Ausgangsleitungen 742 bis 748, die den Kategorien mit niedrigerem Vorrang entsprechen, erregt werden kann.

Wenn das geprüfte Halbleiterplättchen eine oder mehrere Prüfungen für Kategorie Nr. 1 nicht besteht, hat die Eingangsleitung 650 ein negatives und die Eingangsleitung 651 ein positives Potential. Daher wird der Relaistreiber 731 nicht erregt, aber ein Eingang der Und-Schaltung 702 wird erregt. Wenn das Halbleiterplättchen die Prüfungen für Kategorie Nr. 2 bestanden hat, führt die Eingangsleitung 652 ein positives Potential und erregt den anderen Eingang der Und-Schaltung 702; dadurch wird der Relaistreiber 732 erregt und erzeugt ein Signal auf der Ausgangsleitung 742. Dieses veranlaßt den Halbleiterplättchen-Halter, das Plättchen in den Behälter für Kategorie Nr. 2 abzulegen.

ίο Wenn ein Plättchen alle Prüfungen einer gegebenen Kategorie besteht, sperren die Eingangsleitungen für die diese Kategorie darstellende Vorzugssortiersteuerung alle Und-Schaltungen von Kategorien mit niedrigerem Vorrang. Wenn z.B. ein Plättchen die Prüfungen für Kategorie Nr. 4 besteht, ist die Leitung 657 negativ, wodurch die Und-Schaltungen 705 bis 708 gesperrt werden. Wenn das gleiche Halbleiterplättchen sich außerdem nicht für die ersten drei Sorten qualifiziert hat, wird durch die positive Spannung auf den Eingangsleitungen 651, 653, 655 und 656 die Und-Schaltung 704 betätigt. Dadurch wird der Relaistreiber 734 erregt, so daß ein Signal auf der Ausgangsleitung 744 entsteht, wodurch das Plättchen in den Behälter für Kategorie Nr. 4 gelangt. Wenn sich das Halbleiterplättchen für keine der sieben Kategorien qualifiziert, wird die Und-Schaltung 708 betätigt, die den Relaistreiber 738 erregt, wodurch ein Signal auf die Ausgangsleitung 748 gelangt, durch welches das Plättchen in den »Ausschuß«-Behälter befördert wird.

Prüfung des Einschwingverhaltens

Nachstehend wird die Einrichtung beschrieben, mit welcher die erfindungsgemäße Anordnung bestimmte Einschwingverhalten-Prüfungen bezüglich eines Transistorplättchens ausführt. Fig. 18 zeigt eine Wechselstrom-Prüfkassette 810, einen Schaltzeitmesser 811 und die Eingänge und Ausgänge dafür. Die Kassette benötigt bestimmte Eingangsspannungen aus dem System. Diese Eingangssignale sind in Fig. 18 durch die Funktionsleitungen 828 bis 834 dargestellt. Neun Treiberleitungen aus der Diodenprogrammschalttafel, die durch Funktionsleitungen 819 bis 827 dargestellt sind, führen in die Prüfkassette 810. Bei ihrer Erregung steuert jede der Treiberleitungen eine andere Relaisreihe innerhalb der Prüf kassette 810. Alle Spulen innerhalb der Prüf kassette 810 sind mit einem Ende an — 24 Volt und mit dem anderen Ende an die jeweiligen Treiberleitungen angeschlossen. Die Reihenfolge, in der diese Treiberleitungen erregt werden, ist eine Funktion der Programmschalttafel. Dadurch wird die Reihenfolge der innerhalb der Kassette ausgeführten Prüfungen gesteuert. Eine durch die Funktionsleitung 817 dargestellte besondere Signaltreiberleitung »Z?« wird als Prüftreiberleitungseingang benötigt. Ihr Zweck wird im Anschluß an die Beschreibung der Wirkungsweise der Prüf kassette erläutert.

Für alle innerhalb der Prüfkassette 810 ausgeführten Prüfungen ist ein 20-kHz-Auslöseimpuls nötig. Die Kassette empfängt also den Auslöseimpuls während der Ausführung der Wechselstromprüfungen in Mehrfachschaltung. Die Erzeugung des Auslöseimpulses auf Leitung 816 ist ebenfalls in Fig. 18 veranschaulicht. Ein 20-kHz-Oszillator 812 ist an eine monostabile Kippschaltung 813 angeschlossen, die den Impuls so formt, daß er das erforderliche Tastver-

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hältnis und den richtigen niedrigeren Gleichstrompe- spannung eines so gesteuerten Transistors darstellen, gel erhält. Ein Impulsformer 814 sorgt für die Im- ist die Speicherzeit die in der Figur angedeutete Zeit, pulsanstiegszeit (kürzer als 2 ns) und den richtigen Typische Wellenformen, die zur Steuerung des zu oberen Gleichstrompegel. Dieser Impuls wird über prüfenden Transistors beispielsweise verwendet werdie übertragungsleitung 815 der Prüfkassette 810 zu- 5 den könnten, während eine Folge von Wechselstromgeleitet. Die Funktion dieses Anregungsimpulses prüfungen in Mehrfachschaltung ausgeführt wird, wird nach der Beschreibung der Wirkungsweise der sind folgende: Eine Abschalt- Basissteuerspannung, Prüfkassette 810 deutlich. die von 1,5 Volt auf 300 mV bei einer Abfallzeit von

Das Ausgangssignal der Prüfkassette 810 erscheint 25 ns abfällt, eine Speicherzeit-Basissteuerspannung, auf einer einzelnen Leitung 850, die an Block 3 oder io die von 5,0 auf —1,0 Volt bei einer Abfallzeit von 4 angeschlossen ist. Die Ausgangsleitung 850 führt weniger als 5 ns abfällt, und eine Einschalt-Basiseine Gleichspannung, die proportional der Leistung spannung, die von 30OmV auf 3,5 Volt bei einer Ander geprüften Vorrichtung ist. Diese Gleichspannung stiegszeit von 10 ns ansteigt. Innerhalb der Prüfkasändert sich mit der Prüfmehrfachschaltung, so daß sette stehen Steuerungen zur Verfügung, die so gedie Ausgangsleitung 850 Analoginformationen über 15 schaffen sind, daß die hohen und niedrigen Spanden Vorrichtungsparameter liefert, der während nungspegel sowie die Anstiegs- oder Abfallzeiten eines bestimmten Treibleitungssignals geprüft wird. jeder dieser Wellenform fortlaufend durch weiter Der Schaltzeitmesser 811 ist auf der Prüfkassette 810 unten besprochene Einrichtungen innerhalb von angeordnet. Er empfängt die Basis- und Kollektor- Sägezahngeneratoren einstellbar sind,
spannungen der geprüften Vorrichtung innerhalb der 20 Die Einschwingverzögerung ist die Zeit, die der Prüfkassette 810 und wandelt sie in Analoginforma- Kollektor des zu prüfenden Transistors 860 benötigt, tionen um. Der Ausgang des Schaltzeitmessers 811 um von einer vorherbestimmten Spannung unterhalb ist durch die Funktionsieitung 849 mit der Früfkas- der Speisespannung auf eine andere vorherbestimmte sette 810 verbunden. Während einige der Prüfungen Spannung oberhalb der Sättigungsspannung abzufalausgeführt werden, ist der Ausgang des Messers mit 25 len, nachdem die Basiseinschaltspannung dem Trandem Prüfkassettenausgang 850 verbunden. Während sistor 860 zugeführt worden ist. Die Einschwingverder Durchführung anderer Prüfungen erfährt aber zögerung des Transistors, dessen Kollektorspannung das Ausgangssignal eine weitere Verarbeitung inner- die durch 888 dargestellte Wellenform hat, wird in halb der Prüfkassette 810. Der Schaltzeitmesser 811 der Figur durch T_a„ dargestellt. Die Abklingverzöist eine bekannte Ausführung. Wie die Prüfkassette 30 gerung ist die Zeit, die die Vorrichtung braucht, um 810 und der Schaltzeitmesser 811 arbeiten, wird von einer Spannung oberhalb der Sättigungsspannach der eingehenden Beschreibung erläutert. In der nung auf eine andere vorherbestimmte Spannung unnachstehenden Besprechung wird bei den angegebe- terhalb der Kollektorspeisespannung anzusteigen, nen Polaritäten angenommen, daß der geprüfte Tran- nachdem die Abschaltbasisspannung angelegt worsistor ein NPN-Transistor ist. 35 den ist. Die Abklingverzögerung der Vorrichtung mit

Die Prüfung kann auf folgende Parameter erfol- der Kollektorspannung 890 wird dargestellt durch

gen: Einschaltverzögerung, Abschaltverzögerung, T_ab.

Speicherzeit, Einschwingverzögerung und Abkling- Die Wirkungsweise der Prüfkassette 810 geht aus

verzögerung. Die Definition dieser Ausdrücke wer- dem Diagramm von F i g. 22 hervor. Der Auslöseim-

den am besten aus Fig. 19 bis 21 verständlich. Die 40 puls 816 wird der Relaisreihe 851 zugeleitet. Daher

Einschaltverzögerung ist die Zeit, die die Spannung durchläuft der Auslöseimpuls 816 die Relaiskontakte

am Kollektor der Vorrichtung braucht, um von der und steuert nur einen der drei Sägezahngeneratoren

Speisespannung auf einen vorherbestimmten Pegel 852, 853 oder 854. Der Sägezahngenerator, dem der

abzufallen, nachdem die Basissteuerspannung einen Auslöseimpuls zugeführt wird, wird bestimmt durch

vorherbestimmten Pegel erreicht hat. Wenn also die 45 die gerade ausgeführte Prüfung, die durch die zu die-

Wellenform 887 die Basissteuerspannung ist, die die ser Zeit erregten Treiberleitungen zur Relaisreihe

zu prüfende Vorrichtung einschaltet, und die Wellen- 851 gesteuert wird. Die Kontakte der Relaisreihe 855

form 888 die Kollektorspannung der so gesteuerten werden durch die gleichen Treiberleitungen gesteu-

Vorrichtung, so ist die Einschaltverzögerung die ert, welche diejenigen der Relaisreihe 851 steuern,

durch T_ein in der Figur dargestellte Zeit. 50 Die Kontakte der Relaisreihe 855 sind so angeord-

Die Abschaltverzögerung ist die Zeit, die die net, daß der Ausgang des den Auslöseimpuls emp-Spannung am Kollektor der Vorrichtung braucht, um fangenden Sägezahngenerators mit dem restlichen auf einen vorherbestimmten Prozentsatz der Kollek- Teil der Schaltung innerhalb der Prüfkassette vertorspeisespannung anzusteigen, nachdem die Basis- bunden ist und die Ausgänge der anderen beiden Sästeuerspannung auf einen vorherbestimmten Pegel 55 gezahngeneratoren im Leerlauf sind. Auf diese Weise abgefallen ist. Wenn die Wellenform 889 die Basis- verbinden die Relaisreihen 851 und 855 nur denjenisteuerung ist, die die zu prüfende Vorrichtung ab- gen Sägezahngenerator, der für die gerade ausgeführte schaltet, und die Wellenform 890 die Kollektorspan- Prüfung verwendet werden soll, und isolieren die beinung der so abgeschalteten Vorrichtung, dann ist die den anderen Sägezahngeneratoren.
Abschaltverzögerung die durch T_aus in der Figur 60 Die Relaisreihe 856 verbindet die richtige Eindargestellte Zeit. Die Speicherzeit des zu prüfenden gangsimpedanz mit der Basis 860 b des Transistors Transistors ist die Zeit, die der Transistor benötigt, 860, der gerade geprüft wird. Für eine Abschaltprüum von seiner Sättigungsspannung aus anzusteigen, fung wird also der Abschaltsägezahngenerator 852 nachdem er durch eine negative Basisspannung abge- über die Eingangsimpedanz 857 mit der Basis 860 b schaltet worden ist, deren Abfallzeit kurz ist im Ver- 65 des Transistors 860 verbunden. Ebenso wird der Sägleich zu der Schaltfähigkeit des zu prüfenden Tran- gezahngenerator 853 über die Impedanz 858 wähsistors. Wenn die Wellenform 891 eine solche Basis- rend einer Speicherprüfung mit der Basis 860 b des spannung und die Wellenform 892 die Kollektor- Transistors 860 verbunden. Während einer Ein-

schaltprüfung wird der Sägezahngenerator 854 über die Impedanz 859 mit der Basis 860 b verbunden. Die Relaisreihe 861 wählt die richtige Belastung und Vorspannung für Kollektor 860 c des Transistors 860 aus. Während .einer Abschaltprüfung verbinden ihre Kontakte daher die Last 862 mit dem Kollektor

860 c, während einer Speicherzeitprüfung die Last 863 mit dem Kollektor 860 c und während einer Einschaltprüfung die Last 864 mit dem Kollektor 860 c. Die Kontakte innerhalb der Relaisreihen 856 und

861 sowie die Kontakte aller nachstehend erwähnten Relaisreihen werden durch die zugeordneten Treiberleitungen ebenso gesteuert wie die oben beschriebenen Kontakte der Relaisreihen 851 und 855. Der Emitter 860 e ist geerdet.

Auf diese Weise werden durch die Relaisreihen 851, 855, 856 und 861 bestimmte Schaltverbindungen in Mehrfachanordnung zu der Vorrichtung 860 für jede innerhalb der Prüfkassette 810 ausgeführte Prüfung hergestellt. Die folgende Besprechung befaßt sich mit der Art und Weise, in der der mit der Prüfkassette 810 zusammenwirkende Schaltzeitmesser 811 die Reaktion des Prüflings 860 auf die speziellen Schaltbedingungen in brauchbare Analoginformationen umsetzt.

Der Schaltzeitmesser 811 spricht auf einen voreingestellten Wert der Basisspannung und einen voreingestellten Wert der Kollektorspannung an und liefert eine Ausgangsspannung, die proportional der Zeit zwischen dem Auftreten dieser beiden voreinstestellten Werte ist. Die Wirkungsweise des Schaltzeitmessers 811 wird an Hand von F i g. 23 erläutert. Die Meßvorrichtung hat zwei Betriebsarten, die durch die Relaisreihe 870 gesteuert werden. Die Kontakte der Relaisreihe 870 schalten die Betriebsart um und durch Erden eines der Schalteingänge 835 oder 836 des Schaltzeitmessers (Fig.23). Wenn z.B. der Schalter 836 geschlossen und der Schalter 835 offen sind, werden die Sekundärspulen 876 und 877 der Transformatoren Tl bzw. Γ 2 an die Schaltung angeschlossen und die Spulen 897 und 898 vom restlichen Teil der Schaltung abgetrennt.

Unter diesen Bedingungen arbeitet der Schaltzeitmesser 811 wie folgt: Ein positives Signal aus der Wechselstrom-Prüfkassette wird dem Eingang 899 zugeführt und steuert den Positivdiskriminator 872 über einen Widerstand 899 a. Wenn dieses positive Eingangssignal den vorherbestimmten Pegel erreicht, überträgt der Positivdiskriminator 872 einen Impuls, der durch den Impulsverstärker 874 verstärkt wird. Der verstärkte Impuls wird über den Transformator T1 und die Diode D 1 dem an die Sekundärspule 876 angeschlossenen Inverter 878 zugeführt. Durch den Ausgangsimpuls des Inverters 878 wird die Verriegelungsschaltung 881 eingestellt. Im Einstellzustand hat das Ausgangssignal der Verriegelungsschaltung 881 einen positiven Gleichspannungspegel, der beibehalten wird, bis die Schaltung 881 durch einen der 25-ns-Verzögerungsleitung 880 zugeführten Impuls rückgestellt wird.

Dieser Rückstellimpuls wird von einem negativen Eingangssignal 901 abgeleitet, das ebenfalls aus der Prüfkassette 810 stammt, und zwar ebenso wie der Einstellimpuls von dem positiven Eingangssignal abgeleitet worden ist. Das heißt, ein Impuls wird von dem Negativdiskriminator 873 aus übertragen, wenn das negative Signal am Eingang 901 einen vorherbestimmten negativen Pegel erreicht. Dieser Impuls wird durch den Verstärker 875 verstärkt und zum Eingang des Inverters 879 über den Transformator T 2, insbesondere die Sekundärspule 877, und die Diode D 2 übertragen. Der Ausgangsimpuls des Inverters 879 erfährt eine Verzögerung von 25 ns durch die Verzögerungsleitung 880 und wird dann dem Rückstelleingang der Verriegelungsschaltung 881 zugeführt.

In dieser Betriebsart sind die positiven und negativen Eingangssignale aus der Prüfkassette 810 die Basis- bzw. die Kollektorspannung des Transistors 860 bei dessen Einschaltung. Da der Transistor 860 mit einer Frequenz von 2OkHz geschaltet wird, die durch die Frequenz des 20-kHz-Auslöseimpulses 816 bestimmt wird, wird die Verriegelungsschaltung 881 mit einer Frequenz von 20 kHz ein- und rückgestellt, während der Auslöseimpuls 816 ansteigt. Dieses Ein- und Rückstellen der Verriegelungsschaltung 881 findet während der ganzen Dauer des Steuerleitungssignals statt, das die derzeit ausgeführte Prüfung steuert. Während dieses Vorgangs ist also das Ausgangssignal der Verriegelungsschaltung ein 20-kHz-Signal, dessen Tastverhältnis oder Impulsbreite bestimmt wird durch die Zeit zwischen dem Auftreten eines voreingestellten Wertes der positiven Eingangsspannung und dem Auftreten des voreingestellten Wertes der negativen Eingangsspannung.

Dieses Ausgangssignal der Verriegelungsschaltung 881 wird dann einem Integrationverstärker 882 zugeführt. Das durch die Funktionsleitung 849 dargestellte Ausgangssignal des Verstärkers 882 ist eine Gleichspannung, die dem Tastverhältnis des Signals an seinem Eingang proportional ist. Daher ist das Ausgangssignal 849 proportional der Zeit zwischen dem Auftreten der beiden voreingestellten Pegel der positiven und negativen Signale, die zum Eingang des Schaltzeitmessers bei 899 bzw. 901 gelangen.

Die voreingestellten Werte, bei welchen die jeweiligen Diskriminatoren eingeschaltet werden, werden

+o bestimmt durch zwei andere Eingangsspannungen 900 und 902, die über Widerstände 900 α bzw. 902 a den Tunneldioden 801 bzw. 802 zugeführt werden. Diese Bezugsspannungen bestimmen den Wert der Diskriminator-Eingangsspannung, bei welchem der Diskriminator reagieren wird, durch Einstellung der Vorspannung der jeweiligen Tunneldioden.

Die andere Betriebsart wird erreicht, wenn der Schalter 836 offen und der Schalter 835 geschlossen sind. Unter diesen Umständen werden die Sekundärspulen 897 und 898 über Dioden D 3, D 4 an den restlichen Teil der Schaltzeitmeßschaltung 811 angeschlossen, während jetzt die Sekundärspulen 876 und 877 isoliert sind. Unter diesen Bedingungen wird Γ1 an den Eingang des Inverters 879 angeschlossen und T 2 an den Inverter 878. Der Impuls, der auftritt, wenn der vorherbestimmte Pegel des positiven Eingangssignals erreicht wird, stellt nun also die Verriegelungsschaltung 881 zurück, während derjenige, der nach Erreichen des voreingestellten Pegels des negativen Signals auftritt, die Verriegelungsschaltung 881 jetzt einstellt.

Gemäß F i g. 22 werden die Signale der Basisspannung und der Kollektorausgangsspannung des Transistors 860 zu verschiedenen Funktionsblöcken und dann zum Schaltzeitmesser 811 übertragen. Die Kollektorausgangsspannung wird über die Emitterfolgeschaltung 865 zu dem Betriebsartschalter 866 und die Basissteuerspannung des Transistors 860 von

einem Punkt zwischen den beiden Relaisreihen 855 und 856 direkt zum Betriebsartschalter 866 übertragen. Der Betriebsartschalter 866 stellt sicher, daß die positive Wellenform dem Eingang 899 zugeführt wird und dadurch den Positivdiskriminator steuert und daß die negative Wellenform dem Eingang 901 zugeführt wird und dadurch den Negativdiskriminator steuert. Denn je nach der durchgeführten Prüfung kann die Basisspannung entweder positiv oder negativ gerichtet sein, und die Kollektorspannung hat stets die entgegengesetzte Richtung.

Zum Beispiel verbinden Relais innerhalb des Betriebsartschalters 866 den Ausgang der Emitterfolgestufe 865 mit dem Eingang 899, so daß er den Positivdiskriminator 872 steuert, während eine Abschaltprüfung stattfindet, während die Basissteuerspannung an den Eingang 901 geführt wird und dadurch den Negativdiskriminator betätigt. Während einer Einschaltprüfung ist die Kollektorspannung ein negativ gerichtetes Signal und die Basissteuerspannung ein positiv gerichtetes Signal. Die Relais in dem Betriebsartschalter 866 leiten daher die Kollektorspannung zum Negativdiskriminator 873 und die Basisspannung zum Positivdiskriminator 872.

Die Relaisreihen 867, 868, 869 und die durch deren Kontakte gehenden Spannungen bestimmen die Tunneldioden-Vorspannungen, die an den Bezugseingängen 900 und 903 erscheinen, und stellen die Diskriminator-Eingangsspannungspegel ein, bei denen die Diskriminatoren ansprechen. Diese Relaiskontakte sind an Spannungsteiler angeschlossen, so daß die Bezugsspannungen in Übereinstimmung mit verschiedenen Angaben für jede der ausgeführten Prüfungen angepaßt werden können. Diese Spannungsteiler bestehen teilweise aus veränderlichen Widerständen, so daß variable Bezugsspannungen über einen kontinuierlichen, veränderlichen Bereich gemäß der Vorrichtungsspezifikation voreingestellt werden können. Die Relaisreihe 870 verbindet die richtigen Sekundärspulen der Transformatoren Tl und Γ 2 innerhalb des Schaltzeitmessers 811, wie schon beschrieben. Wichtig ist, daß die Relaisreihe 870 und der Betriebsartschalter 866 so in Verbindung miteinander arbeiten, daß die Basisspannung die Verriegelungsschaltung 881 einstellt, ob sie nun eine positiv oder eine negativ gerichtete Wellenform ist, und das Kollektorsignal die Verriegelungsschaltung 881 rückstellt, ob sie nun eine positiv oder eine negativ gerichtete Wellenform ist. Zum Beispiel verbindet während einer Abschaltprüfung der Betriebsartschalter 866 die Basissteuerspannung so, daß sie den Negativdiskriminator 873 betätigt, und die Relaisreihe 870 leitet den Impuls von Negativdiskriminator 873 aus weiter, um die Verriegelungsschaltung 881 zurückzustellen.

Auf diese Weise werden Analoginformationen bezüglich der Einschalt- und/oder der Abschaltverzögerung des Prüflings aus der Prüfkassette 810 und dem Schaltzeitmesser erhalten. Die Wellenform 887 bis 892 von Fig. 19 bis 21 veranschaulichen, wie ein typischer Transistor, der geprüft wird, reagiert. Das Ausgangssignal 849 des Schaltzeitmessers 811 ist eine Spannung, die proportional der 25-ns-Einschaltzeitverzögerung ist, wie sie für die Wellenformen 887 und 888 gezeigt ist. Die durch V^ bis V₈ dargestellten Spannungswerte sind die Eingangswerte, bei denen die Diskriminatoren 872 und 873 ansprechen. Diese Werte werden voreingestellt und durch Schalten der Vorspannung der Tunneldioden 1 und 2 angepaßt, wie oben erläutert. Für die Einschaltprüfung wird die Basisspannung 887 die Verriegelungsschaltung 881 durch Betätigung des Positivdiskriminators 872 einstellen, nachdem die Basisspannung 887 den durch V₁ dargestellten Wert erreicht. Die Verriegelungsschaltung 881 wird 50 ns später (25 ns der Einschaltverzögerung plus 25 ns der feststehenden Rückstellverzögerung über die Verzögerungsleitung 880) durch die Kollektorspannung 888 über den Negativdiskriminator rückgestellt, wenn die Kollektorspannung 888 den durch V₂ dargestellten voreingestellten Wert erreicht. Entsprechend können Analoginformationen bezüglich der Abschaltverzögerung der typischen hier geprüften Vorrichtung als eine Spannung proportional der 3 0-ns-Abschaltverzögerung zwischen den Wellenformen 889 und 890 erlangt werden. Für diese Prüfung sind die Relaisreihe 870 und der Betriebsartschalter 866 so ausgelegt, daß die Basisspannung 889 die Verriegelungsschaltung 881 über den Negativdiskriminator 873 einstellt und die Kollektorspannung 890 die Verriegelungsschaltung 881 über den Positivdiskriminator 872 rückstellt.

Die Speicherzeit der geprüften Vorrichtung wird ähnlich wie die Abschaltzeit gemessen. Der Unterschied zwischen diesen beiden Prüfungen besteht in den Schaltungsbedingungen für den Transistor 860. Die Umkehrung der Transistorreaktion in brauchbare Analoginformationen erfolgt unter solchen Schaltungsbedingungen durch die gleiche Operation, wie sie bei der Abschaltprüfung verwendet wird. Das Ausgangssignal des Speicherzeit-Sägezahngenerators 853 hat eine größere Amplitude und eine schnellere Abfallzeit als das Signal des Abschalt-Sägezahngenerators 852. Die Zeitdifferenz zwischen Einstellung und Rückstellung der Verriegelungsschaltung 881 ist also die Zeit, die nötig ist, um den Transistor 860 aus dem Sättigungsbereich herauszuführen.

Ein der Übergangszeit des Transistors proportionales Ausgangssignal kann mit dem gleichen Schaltzeitmesser 811 erlangt werden, der für die anderen Operationen benutzt wird. Dies wird durch Mehrfachschaltung des Schaltzeitmessers erreicht, mittels der im Block 871 in Fig. 22 enthaltenen Schaltung. Die Wellenform 888 läßt erkennen, daß die Einschwingverzögerung durch die Ausführung von zwei aufeinanderfolgenden Einschaltprüfungen bestimmt werden kann. Falls die erforderliche Einschaltverzögerung T_ein bestimmt wird (z. B. 25 ns für einen typischen Prüfling) und dann die Einschaltzeit (T_ein—T_r) bestimmt wird, z.B. 45ns, können die beiden Zeiten subtrahiert werden. Die Differenz ist die gesuchte Einschwingzeit T_0n. Analog dazu kann die Abklingverzögerung gefunden werden, wie es für die Basis- und Kollektorwellenformen 889 und 890 gezeigt ist.

Für eine Einschwing- bzw. Abklingzeitmessung läuft also der Schaltzeitmesser 811 zweimal nacheinander durch und liefert zwei aufeinanderfolgende Spannungen. Jede dieser Messungen erfolgt auf zwei selbständige Treiberleitungssignale hin. Während des ersten dieser Signale wird die Ausgangsleitung 850 des Blocks 871 direkt über seine Eingangsleitung verbunden. Das Ausgangssignal 850 der Prüfkassette 810 enthält also die Analoginformation bezüglich der Einschaltverzögerung des Prüflings. Während des zweiten Treiberleitungssignals erfolgt eine Einschalt-

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zeitmessung, und die Ausgangsspannung des Schalt- ihrem Eingang verbunden. Die auf der Leitung 850

Zeitmessers 811 stellt sich auf einen Wert proportio- erscheinende Ausgangsspannung ist die Analoginfor-

nal dieser zweiten Zeitmessung ein. Die Schaltung mation für die Abklingverzögerung des Transistors

871 verarbeitet dann die beiden aufeinanderfolgen- 860.

den Spannungen so, daß ihre Ausgangsspannung auf 5 Wie die Wellenformen 895 und 896 während die-

Leitung 850 die Differenz zwischen den Werten der ses Signals erkennen lassen, sind die Amplituden des

ersten und der zweiten Eingangsspannung darstellt. Schaltzeitmesser-Ausgangssignals 849 und des Prüf-

Diese Differenz ist direkt proportional der Differenz kassetien-Ausgangssignals 850 gleich. Wieder tritt

zwischen den beiden Zeiten T_ein und (T_ein—T_r). das spezielle .B-Kommandosignal während des Ab-

Die im Block 871 enthaltene Schaltung ist in io schaltverzögerungssignals auf. Während dieser Zeit F i g. 22 A schematisch dargestellt. Diese Schaltung ist das Ausgangssignal der Meßwertvorrichtung prodient zum Messen von Differenzen zwischen zwei portional der zweiten Abschaltzeitmessung und wird aufeinanderfolgenden Spannungen, die auf aufeinan- dargestellt durch die 500-mV-Amplitude der Wellenderfolgende Zeitsteuerungsimpulse hin erscheinen. form 895 während dieses Kommandos. Wieder ist Die zugeordneten Wellenformen sind in Fig. 24 ge- 15 während dieses Kommandos die Ausgangsspannung zeigt. Das Kommandosignal 893 verbindet den Aus- der Schaltung 871 gleich der Spannungsdifferenz gang 849 des Schaltzeitmessers 811 mit dem Eingang zwischen der ersten und der zweiten Ausgangsspandes Schaltungsblocks 871 bei der ersten Messung der nung des Schaltzeitmessers 811. Dies wird während Einschaltverzögerung. Zu diesem Zeitpunkt ist die des Abschalt-Treiberleitungssignals durch die Ampli-Eingangsleitung der Schaltung 871 direkt über ihre 20 tude der Wellenform 896 dargestellt, die jetzt 200 mV Ausgangsleitung geschaltet, weil das Relais 886 nicht beträgt.

erregt ist. Die Wellenform der Eingangs- und Aus- Der Schaltzeitmesser ist so bemessen, daß das gangssignale der Schaltung sind daher identisch, wie Verhältnis zwischen der Ausgangsspannung und der es bei 895 bzw. 896 zu sehen ist. Während der gemessenen Zeit 10 mV pro Nanosekunde beträgt. Schaltzeitmesser 811 so mit der Schaltung 871 ver- 25 Wie aus der Wellenform 896 hervorgeht, stellt daher bunden ist, erregt der spezielle Steuerimpuls B das die 250-mV-Ausgangsspannung während eines EinRelais 885, so daß die positive Seite des Kondensa- schaltsignals eine Einschaltverzögerung von 25 ns tors 884 geerdet wird. Der Kondensator 884 lädt sich dar, die 200-mV-Ausgangsspannung stellt während daher auf eine Spannung auf, die der Eingangsspan- des Einschwingsignals 20 ns dar, die 300-mV-Ausnung der Schaltung 871 entspricht, bei der es sich 30 gangsspannung während des Abschaltverzögerungsnatürlich um die Ausgangsspannung des Schaltzeit- signals eine Abschaltverzögerung von 30 ns dar. messers 811 handelt. Vor dem Ende dieser ersten Während des Abklingkommandos stellt die 200-mV-Einschaltverzögerung endet das Treiberleitungssignal Spannung 20 ns dar, und die 350-mV-Spannung wäh- B, so daß das Relais 885 wieder abfällt. Dadurch rend des Speicherzeit-Treiberleitungssignals die gelangt der Kondensator 884 in einen nicht geschlos- 35 Speicherzeit von 35 ns dar. Diese Werte sind natürsenen Stromkreis, so daß er auf die ursprüngliche lieh nur Beispiele für eine bestimmte Vorrichtung. Eingangsspannung aufgeladen bleibt. Die in F i g. 24 gezeigte Arbeitsfolge (Einschaltver-

Das zweite Treiberleitungssignal verbindet den zögerung, Einschwingverzögerung, Abschaltverzögezweiten Ausgang des Schaltzeitmessers 811 mit dem rung, Abklingverzögerung und Speic'herzeit) ist nur Eingang der Schaltung 871 und erregt das Relais 40 ein Beispiel für die Reihenfolge, die durch die Pro- 886. Im Ansprechzustand des Relais 886 ist die am grammschalttafel jedes Blocks 3 oder 4 des Systems Ausgang der Schaltung 871 erscheinende Spannung programmiert werden kann. Es ist nicht nötig, daß gleich der Summe der zur Zeit am Eingang der alle gezeigten Prüfungen ausgeführt werden oder daß Schaltung 871 liegenden Spannung und der Span- sie in der gezeigten Reihenfolge ausgeführt werden, nung am Kondensator 884. Da die Spannung am 45 Jedoch muß eine Einschwingverzögerungsprüfung Kondensator 884 gleich der ersten Ausgangsspan- auf eine Einschaltverzögerungsprüfung und eine Abnung des Schaltzeitmessers ist und eine der gegen- klingverzögerungsprüfung auf eine Abschaltverzögewärtigen Eingangsspannung der Schaltung 871 entge- rungsprüfung folgen. Dies ist nötig, weil die Zeitingengesetzte Polarität hat und die Spannung am Ein- formation aus der Subtraktion der beiden aufeinangang gleich der zweiten Ausgangsspannung des 5° derfolgenden Einschaltmessungen erlangt wird. Die Schaltzeitmessers ist, ist die am Ausgang der Schal- erste dieser Messungen ergibt die tatsächlich benötung 871 erscheinende Spannung die Differenz zwi- tigte Einschaltverzögerungszeit und die zweite die sehen der ersten und der zweiten Ausgangsspannung Einschwingzeit.

des Schaltzeitmessers 811. Wie schon erläutert, ist Gemäß Fig. 25 sei der Prüfling ein plättchenför-

diese Spannungsdifferenz proportional der Ein- 55 miger Transistor 20', der einen Plättchenkörper 21

schwingzeit des geprüften Transistors 860. Die Aus- aus einem Halbleitermaterial, wie z. B. Silizium oder

gangsspannung während dieser Messung wird durch Germanium, mit vorstehenden Kontakten 22', 23'

die Wellenform 896 dargestellt. und 24' besitzt. Diese Kontakte stellen nicht nur

Die Prüfung der Abklingverzögerung erfolgt in elektrische Verbindungen zu den Basis-, Kollektorgleicher Weise. Zwei aufeinanderfolgende Ausgangs- 60 und Emitterschichten des Transistors 20' her, sonspannungen des Schaltzeitmessers 811 sind Spannun- dem verhindern durch ihre physikalischen Eigengen, die den beiden für die Wellenformen 889 und schäften auch, daß der Plättchenkörper 21' die Ober- 890 gezeigten Abschaltzeiten proportional sind. Die fläche, auf die der Transistor aufgesetzt ist, berührt. Schaltung 871 arbeitet ebenso wie vorher, als die bei- Die Kantenlänge des Transistors 20' beträgt beiden die Einschwingverzögerungszeiten darstellenden 65 spielsweise etwa 6 mm und der Abstand zwischen Spannungen ihrem Eingang zugeführt wurden. Wäh- den Kontakten 22', 23' und 24' etwa 4 mm. Jeder rend des Vorliegens eines Abschalttreiberleitungssi- Kontakt hat beispielsweise einen Durchmesser von gnals ist daher der Ausgang der Schaltung 871 mit 0,13 mm.

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I. Gesamtbeschreibung der Prüfvorrichtung angetrieben, die mit einem Motor verbunden ist. Die

Einzelheiten des Indexmechanismus 56 sind nicht

Gemäß F i g. 26 umfaßt die Prüfvorrichtung acht gezeigt. Grundsätzlich erteilt dieser Mechanismus der

Stationen, und zwar den Vibrationszuführbehälter Welle 54' eine intermittierende Drehbewegung über

25', die Plättchenorientierungs-Abfühlvorrichtung 5 eine aus Nocken und mehreren Folgeannen be-

26', die Plättchenausrichtvorrichtung 28', die Platt- stehende Anordnung.

chenkontaktierungs- und -prüfstation 30', weitere Fig. 28 ist eine vergrößerte Darstellung des Be-

Prüfstationen 32', 34' und 36' und die Vakuumsor- reichs, in dem die Welle 54' mit der Indexscheibe 44'

tiervorrichtung 38'. Durch den Indexkopf 40' wer- verbunden ist. Eine Kappe 60' hält die Indexscheibe

den die Plättchen von Station zu Station transpor- io 44' am oberen Ende der Welle 54' fest. Der Kragen

tiert. Der die einzelnen Plättchen transportierende 62' ist gleitend auf die Welle 54' gesetzt und seiner-

Teil des Indexkopfes 40' besteht aus acht Vakuum- seits über Stifte 54' mit dem Stifteinziehkopf 46' ver-

stiften 42' (F i g. 27), die jeder, wenn sie einem Va- bunden. Ein gleitend innerhalb der Indexscheibe 44'

kuum ausgesetzt werden, ein Plättchen festhalten und montiertes Abstandsstück 67' umgibt jeden Stift 64'.

es zwischen den Stationen transportieren können. 15 Es sind acht solche Stifte vorgesehen; F i g. 28 zeigt

Bevor nun dieses System näher beschrieben wird, nur zwei davon.

soll die folgende Zusammenfassung der von jeder Der Kragen 62' ist gleitend und drehbar in dem Station ausgeführten Arbeiten zum Verständnis der Gußteil 66' angebracht. Dieses wiederum ist an dem Wirkungsweise des Systems beitragen. Der Vibra- starren Element 68' befestigt, welches einen Teil des tionszuführbehälter 25' führt nacheinander die Halb- 20 Rahmens der Maschine bildet. Das Gußteil 66' ist leiterplättchen mit nach unten ausgerichteten Kon- mit einer Umfangsrille 70' versehen, in der ein elastitakten einer Aufhebestelle zu. Der Vibrationszuführ- sches Vakuumventilelement 72' sitzt. Das Element behälter 25' kann die erforderliche Orientierung 72' wird durch mehrere Federn 74' nach oben gegen nicht gewährleisten. Daher nimmt der Vakuumstift die Ventilplatte 76' gedrückt. Die Konstruktion des 42 ein Plättchen an der Aufhebstelle auf und beför- 35 Vakuumventils ist in Fi g. 29 genauer dargestellt, dert es zu der Plättchenorientierungs-Abfühlstation Das elastische Element 72' ist mit einer Nut 78' ver-26', die die Orientierung des exponierten, vorstehen- sehen, die durch die öffnung 79' mit einer Vakuumden Kontakts (in diesem Falle des Kontakts 24') fest- quelle verbunden ist. Die Ventilplatte 76' besitzt stellt. Es wird ein Signal erzeugt, das die abgefühlte mehrere Löcher 80', die mit der Nut 78' fluchten. Orientierung anzeigt, und zu der Halbleiterplätt- 30 Auch ein Loch 81' führt auf die Nut 78', ist aber von chen-Orientierungsstation 28' übertragen. Wenn der Vakuum auf Druck umschaltbar. Während der Dre-Vakuumstift 42' das Plättchen das nächste Mal in hung der Indexscheibe 44' (F i g. 27) dreht sich auch, den Plättchenausrichter 28' einführt, wird das Platt- die Ventilplatte 76' und bewirkt, daß sich das Loch chen in die gewünschte Richtung gedreht, während 81' an einen anderen Platz innerhalb der Platte veres noch von dem Vakuumstift 42' festgehalten wird. 35 schiebt. Durch das Auftreten des Vakuums in der Nach der Ausrichtung des Plättchens wird es von Nut 78' entsteht über die Löcher 80' und 81' in dem dem Vakuumstift 42' zu der Prüfstation 30' transpor- Ventilgehäuse 76' ein Vakuum in den acht Vakuumtiert, wo speziell montierte Kontaktarme die Kon- stiften 42'. Die Vakuumbahnen verlaufen in F i g. 28 takte 22' bis 24' mit der Prüfschaltung verbinden. An von der Vakuumöffnung 79' aus zu der Nut 78', nachfolgenden Prüfstationen ist ein ebensolcher 40 durch das Loch 80' im Plattendeckel 76', durch die Kontaktmechanismus für weitere Prüfschaltungen öffnung 82' und über das elastische Rohr 86' zu den vorgesehen. Die Prüfergebnisse werden dem Vaku- Vakuumstiften 42'. Jedes der starren Rohre 84' ist in umsortierer 38' zugeleitet, der das Plättchen von dem der Indexscheibe 44' befestigt und geht durch ein Vakuumstift 42' übernimmt und es durch ein ein- Loch im Einziehkopf 46' hindurch. Durch die Unterstellbares Vakuum entsprechend den Prüfergebnissen 45 legscheiben 88' und die Federn 90' entsteht eine in eine Öffnung führt. zwangläufige Rückführungskraft für den Einziehkopf

Der Indexkopf 40' (F i g. 27) besteht aus zwei Tei- 46' während des Betriebs.

len, der Indexscheibe 44' und dem Stifteinziehkopf Gemäß F i g. 29 wird dem Vakuumventil Drück

46'. In der zweiten Indexscheibe 44' sind mehrere über das Rohr 92' und die öffnung 94' in dem elasti-

Vakuumstifthaltehülsen 48' fest montiert. In jeder 50 sehen Element 72' zugeführt. Wenn der Ventildeckel

Hülse 48' ist ein hohler Vakuumstift 42' gleitend an- 76' in seiner normalen Lage über dem elastischen

gebracht. Jeder Stift 42' weist einen Kragen 50' auf, Element 72' ist, fluchten die Löcher 80' und 81' mit

der unter Federdruck an der Fläche 52' des Einzieh- der Nut 78'. Die Druckluftöffnung 94' fluchtet mit

kopfes 46' anliegt. Durch die Einstellung des Kra- keinem der Löcher. Der an dem elastischen Element

gens 50' wird die wirksame Tiefe des Vakuumstiftes 55 72' fest angebrachte Schieber 96' kann jedoch nach

42' eingestellt. Wie noch gezeigt wird, dreht sich so- rechts gedrückt werden, wodurch das elastische EIe-

wohl die Indexscheibe 44' als auch der Stifteinzieh- ment 72' zur Drehung veranlaßt wird. In diesem Fall

kopf 46' im Verlauf der Weiterbewegung der Vaku- deckt sich die Druckluftöffnung 94' mit dem Loch

umstifte von Station zu Station. In dieser Zeit wird 81'. Statt eines dem Loch 81' von der Nut 78' aus

der Stifteinziehkopf 46' zusätzlich nach oben ge- 60 zugeführten Vakuums wird jetzt ein positiver Druck

drückt, wodurch er die Spitze der Vakuumstifte 42' angelegt. Dadurch wird an der Sortierstation 38' ein

zurückzieht, um so die festgehaltenen Plättchen von auf der Spitze des Vakuumstiftes 42' festgehaltenes

den jeweiligen Stationen zu lösen und sie um alle Halbleiterplättchen durch den Luftdruck in den Va-

zwischen den Stationen liegenden Hindernisse her- kuumsortiermechanismus hineingestoßen,

umzuführen. 65 Wie schon angedeutet, erhält der Indexkopf 40'

Die Indexscheibe 44' ist starr an der Welle 54' be- seinen Antrieb über die WlIe 54' von dem Indexme-

festigt, die ihrerseits an den Indexmechanismus 56' chanismus 56' (Fig.27). Der Indexantrieb wird

angeschlossen ist. Dieser wird durch die Welle 58' durch die Welle 54' auf die Indexscheibe 44' übertra-

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gen. Die Indexbewegung ihrerseits wird über Stifte Menge Halbleiterplättchen wird in die Mitte des Be-64' und Abstandsstücke 67' auf den Einzelkopf 46' hälters gefüllt, der sie dann zu einer Aufhebestation übertragen. Das Heben und Senken des Einziehkop- befördert. Da die Plättchen auf der Seite rechtwinklig fes 46' und das wahlweise Umschalten zwischen Va- sind, hat der Behälter die Möglichkeit, ein Plättchen kuum und Druckluft erfolgen durch den Mehrfach- 5 in einer von vier Orientierungen zur Aufhebstation nocken 110' und die Folgearme 120' und 130'. Der zu befördern. In allen Fällen wird ein Plättchen der Nocken 110' sitzt auf der Welle 111' und führt pro Aufhebstation stets mit nach unten weisenden Kon-Indexschritt des Indexkopfes 40' eine Drehung aus. takten zugeführt. ■■■··■ .. ; Durch eine interne Verbindung innerhalb des Index- - Wie aus der Scnnittdarstellung in Fig. 30 hervormechanismus 56' wird die Drehbewegung der Welle io geht, ist der Vibrationszuführbehälter 25' mit einer 58' auf die Welle 111' übertragen. Die Welle 111' spiralförmigen Spur 150' versehen, die über die trägt außerdem mehrere nockenbetätigte Stromkreis- schräge Fläche 152' läuft. Durch einen hier nicht geunterbrecher, die nachstehend in Verbindung mit zeigten Vibrations antrieb wird der Behälter zu einer der Wirkungsweise des Plättchenausrichters 28' be- kombinierten drehenden und leicht vertikalen Vibraschrieben werden. 15 tion veranlaßt. Solche Vibratoren sind bekannt und

Der Nocken 110' besteht aus zwei Nocken, dem werden hier nicht weiter besprochen. Die Spur 150' inneren Nocken 112'und dem äußeren Nocken 114', führt zu der Aufhebstation 154' über eine schiefe deren Wirkungen einander ergänzen. Der Nockenfol- Ebene 156'. Wie aus der vergrößerten Darstellung ger 122' des Folgearmes 120' sitzt auf der Ober- 158' hervorgeht, besteht die Spur 150' aus mehreren fläche des inneren Nockens 112' auf und der Nok- 20 Rillen, die dazu dienen, die vorstehenden Kontakte kenfolger 132' des Folgearms 130' auf der Ober- auf der Unterseite des Halbleiterplättchens 20' zu erfläche des äußeren Nockens 114'. Der Folgearm 120' fassen und festhalten. Wenn ein Plätzchen so in der ist am Punkt 124' angelenkt und weist am einen Spur festgehalten wird, wird es durch die dem Behäl-Ende einen verlängerten Stift 126' auf, der in einem ter 25' erteilte Vibrationsbewegung veranlaßt, sich Schlitz 128' des Kragens 62' mitgenommen wird. Da 25 entlang der Spur 150' zu bewegen, bis es schließlich der Kragen 62' bekanntlich gleitend auf der Welle die Aufhebstation 154' erreicht. Wenn sich dagegen 54' sitzt, dreht sich, wenn der Nockenfolger 122' ein Plättchen über die schräge Fläche 152'mit nach durch die Nockenfläche des inneren Nockens 112' oben weisenden Kontakten bewegt, wird es durch die entgegen dem -Uhrzeigersinne geschoben wird, der kombinierte Wirkung der Vibrationsbewegung und Folgearm 120' ebenfalls und wirkt mit dem Schlitz 30 der Schräge veranlaßt, wieder in den Mittelteil des 128' zusammen, wodurch der Kragen 62' nach oben Behälters 25' zurückzugleiten. Der Vibrationszuführgeschoben wird. Diese Aufwärtsbewegung wird über behälter 25' ist hier nur schematisch dargestellt. Gedie Stifte 64' und die Abstandsstücke 67' und über wohnlich weist er verschiedene Nockenflächen und die Indexscheibe 44' auf den Einziehkopf-46' über- andere Vorrichtungen auf, durch die falsch ausgetragen. Dieser wird daher angehoben und hebt 35 richtete Halbleiterplättchen aus der Spur 150' entseinerseits die Vakuumstifte 42' so weit an, daß ihre fernt werden. ·
Spitzen und die darauf sitzenden Halbleiterplättchen - ■' ·
Hindernisse in der Indexbahn umgehen. ■ ni. Plättchenorientierungs-Abfühlvorrichtung

Der Folgearm 130' ist am Punkt 133' angelenkt

und hat einen verlängerten Armteil 134'. Der Schie- 40 Nachdem ein Halbleiterplättchen von einem Vaberarm 96' des Vakuumventils geht durch den kuumstift 42' aufgehoben worden ist, können seine Schlitz 135' in dem Gußteil 66' hindurch und wird Kontakte in einer beliebigen von vier Richtungen durch eine am Pfosten 136' befestigte Feder nach orientiert sein. Vor dem Prüfen des Halbleiterplättlinks gespannt. Wenn der Nockenfolger 132' auf die chens muß die Lage seiner Kontakte so verändert Erhöhung des äußeren Nockens 114' gelangt, drückt 45 werden, daß sie bezüglich der in einer Prüfstation beder Folgearm 134' gegen den Schieber 96' und dreht findlichen elektrischen Kontakte richtig orientiert das elastische Vakuumventilelement 72' entgegen sind. Die Feststellung der Orientierung der HaIbdem Uhrzeigersinn. Dies ermöglicht die obener- leiterplättchenkontakte erfolgt durch die Plättchenwähnte Ausrichtung des Loches 81' auf die Druck- orientierungs-Abfühlstation 26'. Diese ist in Draufluftöffnung 94'. Zu einem späteren Zeitpunkt wäh- 5° sieht mit abgenommenem Deckel in F i g. 31 und im rend des Indexumlaufs fällt der Nockenfolger 132' Querschnitt (entlang der Linie 7A'-lA') in Fig. 32 auf die Vertiefung des äußeren Nockens 114' ab. Da- (mit aufgesetztem Deckel) dargestellt. Eine vergröher kann die Feder das elastische Element 72' in des- ßerte Darstellung des Plättchenabfühlbereichs zeigt sen ursprüngliche Lage zurückführen, wodurch alle Fig.33.
Stifte an das Vakuum angeschlossen sind. ,. - 55 Die Hauptelemente der Orientierungsabfühlstation

. .-.- ■., .,;,.·..,,.. ... . -,. ■ 26' sind identische Hebelarme 150', 152', 154' und

^; ' ■ ^: II.Vibrationszuführbehälter ^T -·- ¹⁵⁶'· ^Der Hebelarm 152, ist z.B. drehbar auf einen

............ ... Arm 158' gesetzt, der drehbar in den Lagern 160'

Zunächst müssen die Halbleiterplättchen einer und 162' gelagert ist, die ihrerseits in Montageblök-Aufhebstation für die Vakuumstifte so. zugeführt 60 ken 166' bzw. 164' eingebettet sind, jeder der Drehwerden, daß ihre Kontakte nach unten weisen und arme der Hebelarme 150', 154' und 156' ist in gleisie im rechten Winkel zueinander stehen. Insbeson- eher Weise in Lagern montiert, die in zugeordneten dere muß ein kontinuierlicher Transport von Halb- Montageblöcken eingebettet sind,
leiterplättchen erfolgen, die so orientiert sein müssen, Am einen Ende jedes Hebelarmes 150', 152', 154' daß ein Vakuumstift stets ein Plättchen in einer be- 65 und 156' ist jeweils starr ein Fühlerflügel 170', 172', stimmten Orientierung bezüglich dessen Kontakte 174' bzw. 176' befestigt. Am anderen Ende weist jehält. Diese Funktion wird von der Vibrationszuführ- der dieser Hebelarme einen Ferritstöpsel 180' auf, vorrichtung 25' (F i g. 26) ausgeführt. Eine größere der sich jeweils direkt über einem Gehäuse 182' be-

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findet, welches die Spule eines Oszillators enthält. .;. IV Plättchenorientierer '

Jede Spule ist mit ihrem Oszillator über ein Koaxial- . ' . ·:

kabel 184' verbunden. . Wenn die Orientierung eines Halbleiterplättchens

Für jeden Hebelarm ist ein Ablenkungsbegrenzer bekannt ist, muß dieses so umorientiert werden, daß 186' mit einer, eingeschraubten Stellschraube 188' S seine Kontakte in der richtigen Lage für den Anvorgesehen. Die Schraube 188' begrenzt den Weg des Schluß an die Prüf station sind. Wird festgestellt, daß Hebelarms 152' nach oben, während die in den Arm das Plättchen schon richtig ausgerichtet ist, .ist keine 162', eingedrehte Schraube die untere Begrenzung Umprientierung erforderlich. Aber wenn das ,Plättbildet.. Die gesamte Einrichtung ist von dem Gehäuse chen in einer der anderen drei möglichen Ausrich-192' umschlossen. Der über das Gehäuse 192' pas- ίο tungen liegt, muß es entsprechend gedreht werden..,.., sende Deckel 194' ist mit einer öffnung 196' verse- Gemäß Fig. 34 ist der Plättchenausrichtkopf 220' hen, in welche ein Halbleiterplättchen durch einen starr auf der Welle 222' befestigt..Ein Teil·des Plätt-Vakuumstift 42'eingesetzt.werden kann. Außerdem chenausrichtkopfes 220' ist abgeschnitten,-um*-den besitzt der Deckel. 194' flache Einbuchtungen: 198' Einsatz 224' sehen zu lassen, der so ausgefräst ist, und 200', die eine drehbare Lagerung der Hebelarme 15 daß eine Plättchenaufnahmeeinbuchtung 226''ent-. gestatten, so daß dadurch die Fühlerflügel eben mit steht (s. Fig. 35).. Jedes durch einen .Vakuumstift in der Unterseite der Öffnung. 196' abschließen, wenn die Einbuchtung 226' eingelegte Plättchen -wird kein Halbleiterplättchen eingesetzt ist. ,,....., . durch, die schrägen Seiten des Einsatzes 224' am Bo-

Wie die vergrößerte Darstellung in Fig..33 zeigt, den der Einbuchtung festgehalten. — · . _:i ist der Hebelarm 154' mit einem Dreharm 159' ver- 20 Eine Riemenscheibe 228', die starr an der Nabe sehen. Von jedem Ende des Dreharms 159' stehen 230' befestigt ist, wird durch den Treibriemen 232' zwei exzentrisch angeordnete Drehzapfen 202' und angetrieben, der. seinerseits durch einen geeigneten 204' ab. Durch die Stellschraube 206' wird eine Dre- Antrieb ständig betätigt wird. Ein Teil 234' der Nabe hung des Mittelteils des Dreharms 159' gegenüber 230' mit kleinerem Durchmesser erstreckt sich in dem Hebelarm 154' verhindert. Die anderen Abfühl- 25 einen Federkupplungsmechanismus hinein, der nacharme 150', 152' und 156' weisen ebenfalls einen sol- stehend noch beschrieben wird. Die· Riemenscheibe chen Dreharm auf. Diese Dreharme ermöglichen die 228', die Nabe 230' und der verdünnte Teil 234' dre-Einstellung der relativen Lage der Fühlerflügel 170' hen sich bei Antrieb durch den Treibriemen 232' frei bis 176'. gegenüber· der öffnung 196' und relativ auf der Welle 222'. Außerdem trägt die Welle 222' zueinander. Durch Drehen eines der Dreharme kann 30 einen Kragen 236', der durch die Schraube 238' starr bewirkt werden, daß der jeweils damit verbundene an ihr befestigt ist. Um den Kragen 236' und den Na^ Fühlerflügel sich zur Mitte des Mechanismus oder benteil 234' ist die Feder 240' gewickelt. Die Feder von der Mitte weg bewegt. - . ...... 240'ist von einer Muffe 242'. umgeben, die in bezug

Gemäß Fig. 32 wird durch die Nähe.einer Ferrit- auf den Kragen 235' und den Nabenteil 234' drehbar

spitze 180- in bezug auf das Spulengehäuse 182' die 35 gelagert ist. Durch einen nach unten abgewinkelten

Schwingungsfrequenz der zugeordneten Oszillator- Teil 244'wird die Feder 240'starr mit dem Kragen

schaltung gesteuert. Wenn also die Ferritspitze 180' 236' verbunden.. Ihr nach oben abgewinkelter Teil

von dem Spulengehäuse 182' wegbewegt wird, ver- 246' erstreckt sich durch einen Schlitz in die Muffe

ringert sich die Induktivität der Spule, wodurch die 242' und bewirkt so eine starre Verbindung damit.

Schwingungsfrequenz erhöht wird. Wenn dagegen die 40 Auf der Außenseite der Muffe 242' befindet sich ein

Ferritspitze 180' näher an das Spulengehäuse 182' Anschlag 248', der zum Ausrücken der Federkupp-

heranbewegt wird, steigt die Induktivität, und die lung dient. Die Schnittdarstellung in Fig.36 zeigt

Schwingungsfrequenz wird niedriger. Ist kein Halb- den Anschlag 248' genauer und zeigt außerdem den

leiterplättchen vorhanden, befinden sich die Hebel- nach oben abgewinkelten Teil 246' der Feder 240',

arme 150', 152', 154' und 156' an ihrer tiefsten 45 der über einen Schlitz in die Muffe 242' hineinragt.

Stelle. Dadurch wird die stärkste Annäherung der Außerdem zeigt Fig. 36 in (Fig. 34 nicht darge-

Ferritspitzen 180' an die Spulengehäuse 182' mit den stellt) die Relaisverriegelungsvorrichtungen : 250',

resultierenden tiefsten Schwingungsfrequenzen er- 252', 254' und 256', die wahlweise betätigbar sind,

reicht. ... . .-;·-.·:■ -■.,■ . ^ . um mit dem Anschlag 248'zusammenzuwirken und

Es sei nun angenommen, daß der Vakuumstift 42' 50 dadurch die Feder 240' aus dem Nabenteil 234' ausdas Halbleiterplättchen 210' durch die öffnung 196' zunicken. Jede der .Relaisverriegelungen 250', 252', einführt. Wenn gemäß F i g. 33 das Halbleiteiterplätt- 254' und 256' ist mit.einer Relaisspule 250 d, 252 a', chen 210'so .liegt, daß sein charakteristischer Kon- 254 a' bzw. 256 a' sowie einem Sperrstift 250 b', takt 212' nach rechts gerichtet ist, wird der Fühler- 252 b', 254 b' bzw. 256 b' versehen. Jeder der Sperrflügel 172' nach unten abgelenkt entsprechend der 55 Stifte ist normalerweise durch Federwirkung von sei-Dicke des vorstehenden Kontakts 212'. Dadurch wie- ner entsprechenden Relaisspule weggespannt. Dabei derum wird der Hebelarm .152' nach oben, abgelenkt, wirkt der Sperrstift mit dem Anschlag 248' zusam-"was zu einer Frequenzerhöhung bei dem zugeordne- men und verhindert so eine weitere Drehung der ten Oszillator führt. Diese Frequenzerhöhung läßt Muffe 242'. Bei Erregung einer zugeordneten Relaisr sich leicht feststellen und dient als Anzeige dafür, 60 spule wird der Sperrstift zurückgezogen und aus der welcher der Hebelarme abgelenkt worden ist. Die an- Bahn des Anschlags 248' herausbewegt. · .·.·.-. .·. deren Fühlerflügel sind so gestellt, daß sie zwischen Die Hauptaufgabe des Ausrichtmechanismus von die Kontakte auf der Unterseite des Plättchens 210' Fig. 34 bis 37 ist die Umorientierung eines aufgefallen. Je nach der Orientierung des charakteristi- nommenen Halbleiterplättchens in der Weise, daß sehen Kontakts 212' wird also stets ein Fühlerflügel 65 der an charakteristischer Stelle befindliche vorsprinabgelenkt. Das dadurch erzeugte Signal wird festge- gende Kontakt mit der Relaisverriegelung 250' fluchstellt und zur Steuerung der nachgeschalteten Platt- tet. Auf diesem Grund wird die Lage der Relaisverchenorientierstation 28'verwendet. riegelung 250' als Ausgangslage bezeichnet, und die

37 38

Stellungen der Relaisverriegelungen 252', 254' und Eine Quelle positiver Spannung +V ist über einen 256' werden als 90°-, 180°- bzw. 270°-Position be- nockenbetätigten Stromkreisunterbrecher CB 2' und zeichnet. den Leiter 312' an eine Seite der Relaiskontakte Gemäß F i g. 34 ist das untere Ende der Welle 222' 308 a' bis 311a' angeschlossen, deren andere Seite in dem Lagermechanismus 260' drehbar gelagert. 5 jeweils als Eingang an ein Speicherrelais 313' bis Ein ebensolcher Lagermechanismus kann auch zwi- 316' angeschlossen ist. Die Speicherrelais 313' bis sehen der Nabe 230' und dem Ausrichtkopf 222' an- 316' sind jeweils über den Leiter 317' und den nokgeordnet sein. Direkt unter dem Lagermechanismus kenbetätigten Stromkreisunterbrecher CB 1' geerdet. 260' befindet sich ein Sperrad 262', das in Fig.37 Die Speicherrelais 313' bis 316' sind so beschaffen, deutlicher gezeigt ist. Das Sperrad 262' besitzt vier io daß sie einen Haltekreis aufweisen, der sie nach Anschläge, die ständig mit der Klinke 264' zusam- Wegnahme des Eingangssignal im erregten Zustand menwrrken, wenn sich die Welle 222' entgegen dem hält. Diese Relais können dadurch rückgestellt wer-UhrzeTgersinn dreht. Das Sperrad 262' und die den, daß über den Stromkreisunterbrecher CB1' die Klinke 264' haben den Zweck, jede Rückdrehung Erdrückführungsleitung 317' unterbrochen wird,
der Welle 222' zu verhindern, solange einer der An- 15 Jedes der Speicherrelais 313' bis 316' kann einen haltestifte 250 b' bis 256 b' mit dem Anschlag 248' zugeordneten Relaisarm 313 a' bis 316 a' betätigen, zusammenwirkt. Wenn eins der Speicherrelais abgefallen ist, wird sein "Wie der Ausrichtmechanismus von Fig. 34 arbei- Relaisarm durch Federwirkung in die obere Lage getet, wird verständlich, wenn man zunächst einmal an- spannt, so daß er mit den oberen Kontakten 313 b' nimmt, daß alle Anhaltestifte 250 6', 252 b', 254 b' 20 bis 316 b' zusammenwirkt. Wenn ein Speicherrelais und 256 b' zurückgezogen sind. In diesem Falle wird im erregten Zustand ist, bewirkt es, daß sein Relaisdurch die ständige Drehung des Nabenteils 234' die arm mit einem im Leerlauf befindlichen unteren Feder 240' fest um den Kragen 236' gewickelt. Da- Kontakt 313 c' bis 316 c' zusammenwirkt. Die obedurch wird die Antriebsbewegung des Nabenteils ren Kontakte 314 b' bis 316 b' sind jeweils über 234' über die Feder 240' zum Kragen 236' übertra- 25 einen Leiter 320' an +V angeschlossen, während der gen, und der Welle 222' und dem Ausrichtkopf 220' obere Kontakt 313 ft' über den Stromkreisunterbrewird eine Drehbewegung erteilt. Wenn dagegen einer eher CB 3' an +V liegt. Die Relaisarme 313 a' bis der Anhaltestifte 250 ft' bis 256 b' vorgestreckt ist, 316 a' sind jeweils an eine zugeordnete Relaisspule erfaßt er den Anschlag 248' und bewirkt dadurch 250 a', 252 a', 254 a' bzw. 256 a' angeschlossen, eine leichte Gegendrehung der Feder 240' über den 3° Diese Relaisspulen sind ebenfalls in Fig. 36 dargenach oben gebogenen Teil 246'. Hierdurch lockert stellt.

sich die Spannung der Feder 240' um den Nabenteil Das Zeitdiagramm von Fig. 39 trägt zur Erläute-

234', wodurch eine Übertragung der Antriebsbewe- rung der Wirkungsweise der Schaltung von Fig. 38

gung verhindert wird. Durch diesen Vorgang wird bei. Wie schon bei der Beschreibung von F i g. 27 er-

die Drehbewegung des Kragens 236' und der Welle 35 wähnt, sind mehrere hier nicht gezeigte Stromkreis-

222' abrupt beendet. Das Sperrad 262' und die unterbrecher auf der Welle 111' angeordnet. Sie

Klinke 264' wirken zusammen, um jede Gegendre- werden durch deren Drehung betätigt. Außerdem

hung der Welle 222' zu verhindern, wenn der oben spricht ein innerer Nocken 112' auf die Drehung der

beschriebene Vorgang abläuft. Welle 111' dadurch an, daß er das Heben und Sen-

_TJ. „ , , ... , _,... , . , 40 ken des Stifteinziehkopfes 46' und damit der Vaku-

V. Steuerschaltung fur den Plattchenausnchter _{umstifte 4r zu bestim}mten Zeitpunkten während des

Fig. 38 zeigt die Verbindungsschaltung zwischen Umlaufs bewirkt. Die Tätigkeit jedes Vakuumstiftes der Plättchenorientierungs-Abfühlstation 26' und der beim Ansprechen auf diese Bewegungen wird durch Plättchenausrichtstation 28'. Diese Schaltung steuert die Kurve 300' in Fig. 39 veranschaulicht. Die horidas Maß der Drehbewegung, welche der Plättchen- 45 zontale Achse des Diagramms ist in Drehungsgraden ausrichtkopf 220' auf ein aufgenommenes Halbleiter- der Welle 111' aufgetragen. Wie die Kurve 300' plättchen auf ein Signal aus der Orientierungsabfühl- zeigt, verteilt ein Vakuumstift in seiner untersten station 26' hin ausübt. Lage zwischen 90 und 180° und in seiner obersten

Die Eingangssignale werden der Schaltung über Lage von 240 bis 360°. Während der anderen Teile Schwingkreise 300' bis 303' zugeführt. Der Indukti- 50 eines Umlaufs wird der Vakuumstift entweder vorgevitätsteil jeder dieser Schwingkreise ist veränderlich schoben oder von einer Ruhelage zurückgezogen,
dargestellt, um die Induktivitätsänderung anzudeu- Da alle Stifte gemeinsam betätigt werden, bringt

ten, die infolge der Bewegung der Ferritstöpsel 180' also ein Vakuumstift stets ein Halbleiterplättchen am bezüglich der Spulengehäuse 182' (F i g. 32) auftre- 90°-Punkt des Umlaufs in die Plättchenorientieten. Die Schwingkreise 300' bis 303' sind den Hebel- 55 rungs-Abfühlstation 26' hinein. Daraufhin wird einer armen 150', 152', 154' bzw. 156' in der Abfühlstation der Hebelarme in der Abfühlstation abgelenkt und 26' zugeordnet. Das Ausgangssignal jedes Schwing- gibt ein Ausgangssignal an einen der Frequenzdetekkreises 300' bis 303' wird einem zugeordneten Fre- toren 304' bis 307'. Die Tätigkeit des Stromkreisquenzdetektor 304' bis 307' zugeleitet. Wenn irgend- Unterbrechers CB 1' (der immer geschlossen ist, aus ein Detektor eine Steigerung der Schwingungsfre- 60 genommen von 90 bis 120°) sei für einen Augenquenz seines zugeordneten Schwingkreises feststellt, blick außer acht gelassen. Die Ausgangs-Relaisspule läßt er einen Strom durch die ihm zugeordnete Aus- 250 d fällt ab, weil CB 3' offen ist, und jede der angangsspule 308' bis 311' fließen. Durch die Erregung deren Relaisspulen 252 α', 254 α' und 256 α' wird ereiner der Spulen 308' bis 311' wird ein zugeordneter regt. Die Folge ist, daß der Sperrstift 250 b' vorge-Relaisarbeitskontakt 308 a' bis 311 a' geschlossen. 65 schoben und alle übrigen Sperrstifte eingezogen wer-Die solchen Frequenzdetektoren entsprechende den. Dadurch dreht sich der Anschlag 248' in die Schaltungsanordnung ist bekannt und wird hier nicht Ausgangslage und wird durch den Sperrstift 250 b' weiter besprochen. an weiterem Drehen gehindert. Die Federkupplung

240' wird ausgerückt, und der Welle 222' wird keine weitere Antriebsbewegung erteilt.

Nun sei angenommen, daß der Hebelarm 152' in der Orientierungsabfühlstation 26' durch den charakteristischen Kontakt eines eingelegten Halbleiterplättchens abgelenkt wird. Infolgedessen erzeugt der Detektor 305' ein Ausgangssignal, das die Spule 309' erregt und den Schalter 309 d schließt. Der Schalter 308 a', 310 a' und 311a' bleiben offen. Bei 150° wird der Stromkreisunterbrecher CB 2' durch die Welle 111' geschlossen. Dadurch wird über die Leitung 312' eine positive Spannung an jeden der Relaisschalter 308 d bis 311 a' gelegt. Da nur der Relaisschalter 309 a' geschlossen ist, gelangt die positive Spannung nur zum Speicherrelais 314', so daß daraufhin der Relaisarm 314 a' mit dem im Leerlauf befindlichen unteren Kontakt 314 c' verbunden wird. Infolge des dadurch bewirkten Abfalls der Relaisspule 252 a' kann der Sperrstift 252 b' vorgesehen werden. Jetzt sind die Sperrstifte 250 V und 252 b' vorgeschoben und die Sperrstifte 254 6' und 256 b' eingezogen (infolge der Erregung der Relaisspulen 254 a' und 256 a'). Anschließend kehrt jeder Relaisarm in seine Ruhelage zurück. Da die Ruhelage für jedes der Speicherrelais 314' bis 316' zur Folge hat, daß der entsprechende Relaisarm mit seinem oberen Kontakt verbunden wird, der ständig positive Spannung aufweist, ist das Ergebnis die Erregung der Relaisspulen 252 a', 254 a' und 256 a' und das Zurückziehen der zugeordneten Sperrstifte. In dem hier betrachteten Fall wird nur der Relaisarm 314 ä bewegt (da die Relaisarme 315 d und 316 a' bereits in ihrer Ruhelage sind). Dadurch wird der Sperrstift 252 b' eingezogen. Hierdurch wird außerdem der Relaisarm 313 a' veranlaßt, den oberen Kontakt 313 b' zu schließen. Zu diesem Zeitpunkt aber ist der Kontakt 313 b' offen, und der Sperrstift 350 b' bleibt vorgeschoben.

Alle vorstehend beschriebenen Vorgänge finden sofort nach dem Einlegen des Halbleiterplättchens, das kurz zuvor geprüft worden ist, in die Einbuchtung 226' durch den Vakuumstift 42' statt. Infolge des Zurückziehens des Sperrstiftes 252 b' kann die Federkupplung 240' eingerückt werden und die Welle 22' und den Ausrichtkopf 220' in die Ausgangslage drehen. Die Drehung des Ausrichtkopfes 220' wird über die Wände der Einbuchtung 226' auf das Plättchen übertragen. Da der Sperrstift 250 b' vorgeschoben ist, kann sich der Anschlag 248' nur um 90° weiterdrehen, bevor er erfaßt wird und die Federkupplung 240' ausrückt. Auf diese Weise wird das Halbleiterplättchen ebenfalls um 90° gedreht, während es noch am Ende des Vakuumstiftes 42' festgehalten wird. Das Plättchen wird dadurch ausgerichtet und ist für den Transport zur nächsten Station bereit. Die übrigen Teile der Schaltung von Fig. 38 arbeiten analog. Wenn ein Halbleiterplättchen als richtig ausgerichtet festgestellt wird, wird nur das Speicherrelais 313' betätigt und keine Ausrichtbewegung vorgenommen, wenn das Halbleiterplättchen in den Ausrichtkopf 220' eingesetzt wird.

VI. Plättchenkontaktierer

Nach dem Ausrichten eines Halbleiterplättchens wird dieses mehreren elektrischen Prüfungen unterzogen, um seine Eigenschaften und seine Eignung zur nachfolgenden Verwendung festzustellen. Jede Prüfstation enthält einen Plättchenkontaktgeber 310'

ίο (F i g. 40), der dazu dient, an die ausgerichteten und vorstehenden Kontakte auf der Unterseite eines Plättchens angeschlossen zu werden.

Die Hauptbestandteile des Plättchenkontaktgebers 310' sind die Kontaktarme 312', 314' und 316', die je an einem abgewinkelten Dreharm 318', 320' bzw. 322' drehbar gelagert sind. Die Drehpunkte jedes der Dreharme 318', 320' und 322' sind in Lagern, z. B. 324', drehbar gelagert, die ihrerseits in einer starren Halterung befestigt sind. Eine Stellschraube 326' drückt gegen den Innenteil jedes Dreharms, z.B. 322', und verhindert dessen Verdrehung gegenüber dem ihm zugeordneten Kontaktarm 316'. Die Dreharme 318', 320' und 322' führen für ihre jeweiligen Kontaktarme die gleichen Funktionen aus wie der

as Dreharm 158' für den Hebelarm 152' in Fig. 33. Am einen Ende jedes der Kontaktarme 312', 314' und 316' ist jeweils ein leitender Einsatz 328', 330' bzw. 332' vorgesehen.

In diesem Ausführungsbeispiel bestehen die Kontaktarme 312', 314' und 316' aus einem nichtleitenden Kunststoff (z. B. Polystyrol). Die leitenden Einsätze 328', 330' und 331' stellen elektrischen Kontakt zu den vorstehenden Kontakten her. Hier nicht gezeigte Leiter sind an jeden der leitenden Einsätze 328', 330' und 332' angeschlossen und führen zu der Prüfschaltung, die dem Plättchenkontaktierer 310' zugeordnet ist. Die Kontaktarme 312', 314' und 316' sind jeweils über eine Feder, 334', 336', nach oben gespannt, wodurch ein federnder Trägermechanismus gebildet wird, wenn ein Halbleiterplättchen auf die leitenden Einsätze 328', 330' und 332' gelegt wird. Ein vorzugsweise nichtleitender Deckel 338' schirmt den Kontaktmechanismus ab und ist mit einer Plättchenaufnehmeinbuchtung 340' versehen. Die Einbuchtung 340' dient als Führung für ein eingesetztes Halbleiterplättchen, z.B. 342', damit dessen Kontakte genau in die Stellung über den leitenden Einsätzen 328', 330' und 332' gebracht werden.
Der Kontaktbereich mit einem eingesetzten HaIbleiterplättchen ist in Fig.41 vergrößert dargestellt. Wie man sieht, ist jeder leitende Einsatz mit nur einem einzigen Kontakt mit dem Plättchen 342' verbunden. Wenn das Plättchen 342' in seine Lage über den leitenden Einsätzen 328', 330' und 332' gebracht ist, wird dadurch, daß jeder dieser Einsätze für sich montiert ist, jeder von ihnen mit einer dosierbaren Kraft auf die Kontaktstelle einwirken. F i g. 42 zeigt eine Seitenansicht eines über den leitenden Einsätzen 330' und 332' befindlichen Halbleiterplättchens.

Hierzu 8 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

1 2 dadurch gekennzeichnet, daß die Ausführung der Patentansprüche: Zuführungs-, Prüf- und Sortierschritte sowie der Schrittbewegungen der Drehtische unter dem

1. Automatisch arbeitende Prüf- und Sortier- Einfluß von Steuer- und Rückmeldesignalen ereinrichtung für elektrische Bauelemente, bei 5 folgt.

welcher jedes der zu prüfenden Bauelemente 7. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, schrittweise nacheinander einer Reihe von Prüf- dadurch gekennzeichnet, daß eine Programmstationen zugeführt wird und die in digitaler steuereinrichtung (137) zur Auswahl bestimmter Form gespeicherten Priifergebnisse die Sortierung Prüfungen und zur Zuordnung von Prüfungen zu der Bauelemente entsprechend den Prüfergebnis- io einer bestimmten Kategorie von Prüfungen vorsen steuern, dadurch gekennzeichnet, gesehen ist.

daß jeder der für eine Reihe von Prüfungen ein- 8. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 6, gerichteten m Prüfstationen eine Klassifizier- dadurch gekennzeichnet, daß über die Steuereinschaltung (500; Fig. 13, 14) mit einem der be- richtungen anschaltbare, jeweils in einem abgetreffenden Sortier-Klasse zugeordneten m-stufi- 15 schirmten Behälter (118, 119) untergebrachte gen Sortier-Register verbunden ist, dessen m Stu- Prüfschaltungen für Gleichstrom- und Wechselfen den m Prüfstationen entsprechen und bei de- strom-Messungen vorgesehen sind, wobei in den nen eine Stufe (z.B. 622; Fig. 16) in Abhängig- letzteren Zeitmessungen unter Verwendung zeitkeit vom Schaltzustand der vorhergehenden Stufe proportionaler Spannungen durchführbar sind,
(z. B. 621) und einem Ausgangssignal der der be- 20
treffenden Stufe zugeordneten Klassifizierschaltung einstellbar ist, und daß die Ausgänge (650

bis 663) der η Sortier-Register (599, 625 bis 630)
mit Ausnahme des EINS-Ausgangs (650) des der

besten Sortier-Klasse zugeordneten Registers 25 Die Erfindung bezieht sich auf eine automatisch (599) über UND-Glieder (702 bis 708; Fig. 17) arbeitende Prüf- und Sortiereinrichtung für elektrimit Sortierweichen steuernde Relais-Treiber- sehe Bauelemente, bei welcher jedes der zu prüfenschaltungen (732 bis 738) verbunden sind, derart, den Bauelemente schrittweise nacheinander einer daß ein UND-Glied (z.B. 703) mit dem EINS- Reihe von Prüf Stationen zugeführt wird und die in Ausgang (654) des ihm zugeordneten Sortier-Re- 30 digitaler Form gespeicherten Priifergebnisse die Sorgisters und den NULL-Ausgängen (651, 653) al- tierung der Bauelemente entsprechend den Prüferler besseren Sortier-Klassen zugeordneten Sor- gebnissen steuern.
tier-Register verbunden ist. Bei den Einrichtungen zur Prüfung und Sortierung

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- solcher elektrischer Bauelemente, an denen viele kennzeichnet, daß die Klassifizierschaltung für 35 Prüfungen vorgenommen werden müssen, unterscheijede der η Sortier-Klassen ein bistabiles Kipp- det man gewöhnlich zwischen zwei Arten. Bei der glied (555 bis 561; Fig. 13 und 14) enthält, die einen Art wird jedes Bauelement einer Reihe von vor Beginn der Prüfungen einer Prüfstation alle Prüfstationen zugeführt, an deren jeder eine Prüfung in ihren EINS-Zustand gesetzt werden und deren durchgeführt wird (vgl. beispielsweise USA.-Patentjedes bei Nichterfüllung irgendeiner der Prüfbe- 4° schrift 3 094 212). Bei der anderen Art der automatidingung für die zugeordnete Sortier-Klasse über sehen Prüfeinrichtungen werden sämtliche Prüfungen ein UND-Glied (519 bis 525) in den NULL-Zu- eines elektrischen Bauelements in einer Prüfstation stand rücksetzbar ist. durchgeführt (vgl. beispielsweise USA.-Patentschrift

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- 2 999 587).

kennzeichnet, daß zwei gleiche, jeweils um einen 45 Wenn die Anzahl der vorzunehmenden Prüfungen schrittweise drehbaren Tisch (40') angeordnete groß ist, weisen beide Arten der automatischen Prüf-Reihen von Prüfstationen (30', 32', 34', 36') vor- einrichtungen bedeutsame Nachteile auf. Bei der ergesehen sind, wobei unter dem Einfluß einer sten Art, bei der an jeder Prüfstation eine Prüfung Steuereinrichtung (5) nacheinander abwechselnd durchgeführt wird, ist eine große Anzahl von Prüfjeweils die in den Prüfstationen des einen Tisches 50 Stationen erforderlich. Dies schließt die Verwendung befindlichen Bauelemente zur Ausführung von schnell arbeitender Bauelement-Transporteinrichtun-Prüfungen mit Prüfschaltungen verbindbar sind, gen, die eine Drehbewegung ausführen, aus, da diese während der andere Tisch eine Drehschrittbewe- Transporteinrichtungen eine große Anzahl von längung ausführt. . . geren, die Bauelemente tragenden radialen Armen

4. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, 55 aufweisen müßten, um der Anzahl und der räumlidadurch gekennzeichnet, daß jedem Drehtisch chen Anordnung der Prüfstationen zu entsprechen, eine Einrichtung (25') zum automatischen Zufüh- Das aus der Vielzahl der erforderlichen Arme resulren der Bauteile, eine Abtasteinrichtung (26') zur tierende Trägheitsmoment verhindert aber eine ra-Feststellung der Orientierung der Bauteilkon- sehe Drehbewegung der Transporteinrichtung,
takte, eine Ausrichteinrichtung (28') mit einer 60 Bei der zweiten Art der automatisch arbeitenden durch die Abtastsignale beeinflußten Steuerung Prüfgeräte für elektrische Bauelemente, bei der alle und eine Sortiereinrichtung (38') zugeordnet sind. Prüfungen in einer Prüfstation vorgenommen wer-

5. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, den, ist zwar das Problem des schnellen mechanidadurch gekennzeichnet, daß Steuereinrichtungen sehen Transportes der Bauelemente vermieden. Da-(3,4) vorgesehen sind, durch welche verschiedene 65 für ergeben sich aber bei dieser Art fast unüberwind-Prüfungen in verschiedenen Prüfstationen gleich- liehe elektrische Probleme, wenn Prüfungen hinsichtzeitig ausführbar sind. lieh des Überganges- und des Hochfrequenzverhal-

6. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, tens vorzunehmen sind. Die Zuleitungen, Relais und