CH215768A - Einrichtung zur elektronenoptischen Abbildung mittels kurzzeitiger Stossspannungen. - Google Patents

Einrichtung zur elektronenoptischen Abbildung mittels kurzzeitiger Stossspannungen.

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CH215768A
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261Details
    • H01J37/265Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination

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  • Analytical Chemistry (AREA)
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Description


  Einrichtung zur elektronenoptischen Abbildung mittels kurzzeitiger Stossspannungen.    Es gibt zahlreiche elektrische Entladungs  gefässe, die mit einer hohen Betriebsspan  nung arbeiten müssen. Hierzu gehören in er  ster Linie     elektronenoptische    Einrichtungen,  von denen insbesondere die Elektronenmikro  skope zu nennen sind. Die Herstellung hoher  Betriebsgleichspannungen für derartige Ent  ladungsgefässe ist oft mit einem verhältnis  mässig hohen technischen Aufwand verbun  den. In vielen Fällen ist es jedoch nicht un  bedingt notwendig, eine hohe Gleichspannung  für den Betrieb des Gefässes herzustellen,  sondern es genügen auch Spannungen belie  biger     Kurvenform,    wenn diese nur genügend  hohe     Scheitelwerte    besitzen.  



  Der Betrieb eines elektrischen Entla  dungsgefässes mit     kurzzeitigen    Stossspan  nungen führt zu einer     Reihe    wichtiger Vor  teile. So ist es wesentlich einfacher, eine  Stossspannung herzustellen als eine Gleich  spannung, deren Grösse den Spitzen der Stoss  spannung entspricht.

   Weiterhin ist es     abar       auch für die Röhre von Vorteil, wenn sie nur  mit Stossspannungen an Stelle entsprechend  hoher     Gleichspannungen    belastet wird; hier  bei werden die Elektroden weniger bean  sprucht, da     Kriechentladungen    zwischen zwei  Elektroden, die an die hohe     Stossspannung     gelegt sind, wegen der kurzen Dauer der  Spannungsstösse sich nicht in dem Masse auf  bauen können, wie bei der länger währenden  Belastung durch eine Gleichspannung. Man  hat so die Möglichkeit, das Entladungsgefäss  weitgehend zu schonen oder es mit höheren  Spannungen zu betreiben, als dies beim Be  trieb     mit,einem        Gleichspannung    möglich wäre.  



  Weitere Vorteile ergeben sich insbeson  dere beim Betrieb von elektronenoptischen       Einrichtungen    mit einer Stossspannung. In  folge' der verhältnismässig kurzzeitigen Be  lastung der Einrichtung durch die Span  nungsstösse wird erreicht, dass zum Beispiel  das elektronenoptisch zu untersuchende Prä  parat wenig     Wärmte    durch Elektronenauf-      prall aufnehmen und daher weitgehend ge  schont werden kann.  



  Bei derartigen Einrichtungen spielt es für  die Erzeugung des     Elektronenbildes    keine  wesentliche Rolle, wenn statt der hohen Be  triebsgleichspannungen hohe Stossspannungen  verwendet werden. Es wird hierdurch weni  ger die Schärfe des Elektronenbildes als seine  Helligkeit beeinflusst. Zur Erhöhung der  Bildschärfe sind nun nach der Erfindung       Mittel    vorgesehen, um einen begrenzten Be  reich von Augenblickswerten der Stossspan  nungen für die elektronenoptische Abbildung  wirksam werden zu lassen. ,  Es wird also z.

   B. die Stossspannung nur  dann auf das     Entladungsgefäss        übertragen,     wenn diese genügend gross     geUTorden    ist.     Hierzu          enübt        es,in    die Leitung zu     demEntladung-s.          gefäss    vor einem dem Gefäss parallel     liegenden          Widerstand    eine Funkenstrecke einzuschal  ten, die erst bei hohen Werten der Spannung  zündet und die     Spannung    dem Gefäss zu  führt,

   sowie     gegebenenfa.lils    hinter dem     MTi-          derstand    und parallel zu diesem eine weitere  Funkenstrecke anzuordnen, die durch ihr  Zünden einen schnellen Abfall der Spannung  bewirkt. Das Entladungsgefäss 4 ist also bei  spielsweise mit der Spannungsquelle 1 über  einen Widerstand 2 und eine Funkenstrecke  3 verbunden. Zu dem Entladungsgefäss 4 ist  einerseits der Widerstand 5 und anderseits  die Funkenstrecke 6 parallel geschaltet. Die  Funkenstrecken 3 und 6 unterscheiden sich  dadurch, dass die Funkenstrecke 6 gegenüber  der Funkenstrecke 3 mit einer gewissen Ver  zögerung anspricht.

   Um ein rasches An  sprechen der     Funkenstrecke    3 zu     bewirken,     wird diese beispielsweise mit einer Bestrah  lungslampe bestrahlt.     Bei    einer derartigen  Anordnung erhält die Stossspannung den  Charaktereiner pulsierenden Gleichspannung.  Hierdurch wird eine Korrektur gewisser Un  schärfen des Elektronenbildes vorgenommen.  



  Eine andere Möglichkeit der     Beseiti.g-ung-          von    Unschärfen besteht darin, den Strahl der  Elektronen nur in den Augenblicken wirken       7u    lassen, wenn die Stossspannung eine be  stimmte Grösse besitzt. Hierzu kann man    oder     --z;tra.hls    vor der elektronenoptischen  Mittel zur Ablenkung des Elektronenstromes  Abbildung so vorsehen, dass kein Bild ent  steht, und diese     Vorablenkung    erst dann be  seitigen, wenn die Stossspannung sich in der  Nähe der Spannungsspitzen befinden.

   Man  kann auch, wie dies bei Braunsehen Röhren  üblich ist, einen     Wchneltzylinder    im Ent  ladungsgefäss vorsehen, mittels dessen der  Elektronenstrahl hell-dunkel gesteuert wird,  und zwar im Takte der Stossspannung der  art, dass der Strahl erst dann zur Wirkung  kommt, wenn die Stossspannung ihre Spitzen  erreicht. Es kommt auch die Möglichkeit in  Frage, im     elektronenoptischen    System eine  Linse vorzusehen, welche von den Stossspan  nungen so gesteuert wird, dass mögliche Un  schärfen im Elektronenbild, die sich aus dem  Charakter der Stossspannung ergeben,     korri-          0        (Y          ert    werden.

   Schliesslich ist es möglich, an  Stelle eines gewöhnlichen Leuchtschirmes,  auf dem das     Elektronenbild    sichtbar zu ma  chen     isst,    einen     Glühschirm    oder allgemein  einen Schirm     -aus    solchen Substanzen vorzu  sehen, welche erst bei Elektronenaufprall von  Elektronen hoher Geschwindigkeit zum  Leuchten     angeregt    werden, so dass auch hier  die elektronenoptische Abbildung mir in  einem begrenzten Bereich von Augenblicks  werten wirksam wird.  



  Beim Betrieb eines Entladungsgefässes  mit einer periodischen Stossspannung muss  darauf geachtet werden, dass die Frequenz  der Spannung nicht zu hoch ist, da die Vor  teile, die sich aus dem Betrieb eines elek  trischen Entladungsgefässes mit einer Stoss  spannung ergeben, um so mehr in die Er  seheinung treten, je niedriger die Frequenz  der Spannung ist.     Unter    Umständen kann es  gegeben sein, ein Entladungsgefäss wie zum  Beispiel ein Elektronenmikroskop, dessen  Leuchtschirmbild zu photographieren ist,  auch nur mit einem einzigen Spannungsstoss  zu betreiben, welcher sich über die Dauer der  Aufnahme erstreckt.  



  Zu den     elektronenoptischen    Einrichtun  gen, welche vorzugsweise mit Stossspannun  gen betrieben werden sollen, sind auch die      Braunsehen Röhren zu rechnen, sowie über  haupt alle diejenigen     AbbildungseinricUtun-          gen,    bei denen Elektronen     emittierende,    re  flektierende oder von Elektronen durch  strahlte Elektroden elektronenoptisch abge  bildet werden. Als     Stossspannungserreger     wird beispielsweise eine Anlage nach Marx  benutzt.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Einrichtung zur elektronenoptischen Ab bildung mittels kurzzeitiger Stossspannungen, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorge sehen sind, um einen begrenzten Bereich von Augenblickswerten der Stossspannungen für die elektronenoptische Abbildung wirksam werden zu lassen. <B>UNTERANSPRÜCHE:</B> 1. Einrichtung nach dem Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass nur der oberste Teil eines jeden Spannungsstosses an das Entladungsgefäss gelangt. 2. Einrichtung nach dem Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronen- Strom erst im obersten Teil eines jeden Span nungsstosses entsteht. 3.
    Einrichtung nach dem Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronen strom erst im obersten Teil eines jeden @Span- nungsstosses wirksam ist. 4. Einrichtung nach dem Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektronen linse der Einrichtung von der Stossspannung derart gesteuert wird, dass das Elektronen bild während der Dauer eines Spannungs stosses konstante Schärfe aufweist. 5.
    Einrichtung nach dem Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass sie mit einem Ileuchtsichirm versehen ist, welcher erst beim Aufprall von Elektronen hoher Geschwindig keit aufleuchtet. 6. Einrichtung nach Unteranspruch 5, da durch gekennzeichnet, dass sie mit einem Glühschirm versehen ist.
CH215768D 1938-12-17 1939-11-08 Einrichtung zur elektronenoptischen Abbildung mittels kurzzeitiger Stossspannungen. CH215768A (de)

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