EP2839499A1 - Funkenstrecke - Google Patents

Funkenstrecke

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EP2839499A1
EP2839499A1 EP12729934.5A EP12729934A EP2839499A1 EP 2839499 A1 EP2839499 A1 EP 2839499A1 EP 12729934 A EP12729934 A EP 12729934A EP 2839499 A1 EP2839499 A1 EP 2839499A1
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EP
European Patent Office
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spark gap
anode
cathode
useful
pressure
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Oliver Heid
Timothy Hughes
Jennifer SIRTL
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Siemens AG
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Siemens AG
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/22—X-ray tubes specially designed for passing a very high current for a very short time, e.g. for flash operation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/025—X-ray tubes with structurally associated circuit elements
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details

Definitions

  • Spark gap The invention relates to a spark gap with an anode and a cathode.
  • a spark gap of the type described above is described in ⁇ example in DE 2 259 382.
  • This is an X-ray source which uses a spark gap to generate X-radiation.
  • the Fun ⁇ ken zone consists of an anode and a cathode, wherein the anode is used as a target for the generation of the X-ray radiation.
  • the X-radiation is produced when an arc is ignited in the spark gap, which excites the target to emit X-ray radiation.
  • the object of the invention is therefore to provide a spark gap with which a possible defined ignition point can be realized.
  • High-pressure spark gap and a useful spark gap which are interconnected by a center piece.
  • the spark gap between the cathode and the with ⁇ telst Culture is formed.
  • the middle piece is connected to the anode via a line in which an electrical resistance is provided.
  • the useful spark gap is formed between the middle piece and the anode.
  • the arrangement of the high-pressure spark gap and the useful spark gap is a series connection. However, the middle piece is over the resistance with the anode connected. To ignite the useful spark gap an increasing voltage is applied to the ge ⁇ entire arrangement. Since the high-pressure spark gap is filled with a gas which is under high pressure, a comparatively high flashover potential is ensured here. While the tension ⁇ voltage increases, is up to the useful radio link at no switching relevant differential potential because it is connected to the center piece, which is equivalent to at this time an on-circuit to ground. Once the comparatively defined switching point of the high-pressure spark gap it is ⁇ enough ignites them.
  • the resistance is 100 to 1000 ⁇ . In this case, it is ensured that switching of the useful spark gap takes place because the adjacent
  • the useful spark gap is provided for generating X-radiation.
  • the anode is used as the target for generating the X-ray radiation.
  • the X-ray radiation can be made available at a defined time switching point. This is an important advance ⁇ requisite for various applications.
  • the X-ray radiation can be used for imaging methods - for example in a flash X-ray source.
  • monochromatic X-ray radiation can be generated with the anode.
  • Monochromatic X-ray radiation can be generated, for example, if the target used is a very thin metal foil, for example made of aluminum or another light metal.
  • the lanthanides can also be used as the target material.
  • the metals and their alloys LE will be referred to aschtme ⁇ metals in the sense of the application, the density of which is less than 5 g / cm 3.
  • this definition applies to the following light metals: all alkali metals, alkaline earth metal all ⁇ le except radium, also scandium, yttrium, titanium and aluminum.
  • Other advantageous material groups for forming the target are tungsten, molybdenum and the group of Lanthanoi ⁇ de. Specifically, this is the element lanthanum, the 14 elements following the lanthanum in the periodic table.
  • the useful spark gap is housed in an evaku ⁇ ible housing, in which a gene for Rönt ⁇ ray radiation transparent window is provided and from which the X-ray radiation can be coupled out.
  • the purpose of the collector is to electrostatically decelerate the electron flow accelerated by the anode, thus depriving it of kinetic energy so far that when the electrons hit the collector, the kinetic energy below the level required for the generation of bremsstrahlung is reached , In this way, the parasitic Erzeu- is avoided by broadband bremsstrahlung supply that would otherwise superimpose the monochromatic, charac ⁇ cal radiation generated by the anode.
  • the anode, the middle piece and the cathode are arranged coaxially. Moreover, it is advantageous if the anode, the center piece and the cathode are formed centrally symmetrical to the common axis. As a result, the formation of inductances is minimized, which would adversely affect the temporal pulse behavior of the spark gaps (rise time of the pulse current).
  • Figure 1 shows schematically the structure of an embodiment of the spark gap according to the invention with a representation of the switching operation without the inclusion of the function of the collector and
  • Figure 2 schematically shows a geometric configuration
  • spark gap according to Figure 1 in section with depicting ⁇ development of the collector. From Figure 1, the structure of the spark gap according to the invention is clear. This has an anode 11 and a cathode 12. Between the anode 11 and the cathode 12, a middle ⁇ piece 13 is connected, so that two spark gaps, namely a high-pressure spark gap 14 and a useful spark gap 15, arise.
  • the center piece 13, which acts as an anode for the useful spark gap 15, via a line 16 and the resistor 17 high impedance to the anode potential is ⁇ connected.
  • the center piece 13 forms the Ka ⁇ method.
  • the high pressure Spark gap shows the defined switching behavior 18, wherein at a defined voltage increase U with known steep ⁇ unit the switching point is reached after a defined time t. With the switching point (t s / U s ), the switching timing of the useful spark gap can be predicted comparatively accurately.
  • the center piece 13 Due to the low-impedance characteristic of the useful spark gap 14, the center piece 13 has cathode potential in the switching instant of the spark plug 14. The resistor 17 is now the full voltage between the cathode and anode.
  • Figure 2 can be inferred that the arrangement of the anodes de 12, the middle piece 13, the cathode 11 and a collector ⁇ gate 21 is coaxially constructed. In addition, all of these construction ⁇ parts are also centrally symmetrical to the common axis 22 of the coaxial structure.
  • the high-pressure spark gap is housed in a first housing 23, wherein the first housing can be filled with a suitable working gas with the required pressure (filling device not shown in detail).
  • the useful spark gap 15 is located together with the collector ⁇ tor 21 in a second housing 24, which is evacuated.
  • This second housing also has a window 25, can be coupled out of the housing by the X-ray radiation 26 and ei ⁇ ner application can be supplied.

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  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Funkenstrecke mit einer Kathode (12) und einer Anode (11). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Funkenstrecke durch ein Mittelstück (13) in zwei Teil-Funkenstrecken unterteilt ist, nämlich einer Hochdruck-Funkenstrecke (14) und einer Nutz-Funkenstrecke (15). Die Nutz-Funkenstrecke (15) kann z. B. zur Erzeugung von monochromatischer Röntgenstrahlung (26) verwendet werden. Um einen definierten Schalzeitpunkt zu gewährleisten, wird die Hochdruck-Funkenstrecke (14) genutzt, die zuerst definiert geschaltet wird. Durch das Schalten steht am Mittelstück ein so hohes Potential zur Verfügung, dass die Nutz-Funkenstrecke (15) beim Schalten der Hochdruck-Funkenstrecke (14) ohne wesentliche Verzögerungen bei einer deutlich überhöhten Spannung ebenfalls definiert geschaltet werden kann.

Description

Beschreibung
Funkenstrecke Die Erfindung betrifft eine Funkenstrecke mit einer Anode und einer Kathode.
Eine Funkenstrecke der eingangs angegebenen Art ist bei¬ spielsweise in der DE 2 259 382 beschrieben. Hierbei handelt es sich um eine Röntgenstrahlungsquelle, die zur Erzeugung von Röntgenstrahlung eine Funkenstrecke verwendet. Die Fun¬ kenstrecke besteht aus einer Anode und einer Kathode, wobei die Anode als Target für die Erzeugung der Röntgenstrahlung zum Einsatz kommt. Die Röntgenstrahlung entsteht, wenn ein Lichtbogen in der Funkenstrecke gezündet wird, der das Target zur Aussendung der Röntgenstrahlung anregt.
Für die Anwendung der Röntgenstrahlung ist es wünschenswert, wenn die Funkenstrecke einen möglichst definierten Zündpunkt hat. Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Funkenstrecke anzugeben, mit der sich ein möglichst definierter Zündpunkt verwirklichen lässt.
Diese Aufgabe wird mit der eingangs angegebenen Funkenstrecke erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Funkenstrecke eine
Hochdruck-Funkenstrecke und eine Nutz-Funkenstrecke aufweist, welche durch ein Mittelstück miteinander verbunden sind. Dabei ist die Funkenstrecke zwischen der Kathode und dem Mit¬ telststück ausgebildet. Das Mittelstück ist über eine Lei- tung, in der ein elektrischer Widerstand vorgesehen ist, mit der Anode verbunden. Die Nutz-Funkenstrecke ist zwischen dem Mittelstück und der Anode ausgebildet. Diese Anordnung erlaubt vorteilhaft einen sehr definierten Zündpunkt, wobei dieser durch folgenden Zündmechanismus gewährleistet ist.
Bei der Anordnung der Hochdruck-Funkenstrecke und der Nutz- Funkenstrecke handelt es sich um eine Serienschaltung. Allerdings ist das Mittelstück über den Widerstand mit der Anode verbunden. Zum Zünden der Nutz-Funkenstrecke wird an die ge¬ samte Anordnung eine steigende Spannung angelegt. Da die Hochdruck-Funkenstrecke mit einem Gas gefüllt ist, welches unter einem hohen Druck steht, ist hier ein vergleichsweise hohes Überschlagspotential gewährleistet. Während die Span¬ nung steigt, liegt an der Nutz-Funkenstrecke noch kein schaltrelevantes Differentialpotential an, da diese mit dem Mittelstück verbunden ist, was zu diesem Zeitpunkt einem An- schluss an Masse gleichzusetzen ist. Sobald der vergleichs- weise definierte Schaltpunkt der Hochdruck-Funkenstrecke er¬ reicht ist, zündet diese. Bei dem Durchschlag in der Hoch¬ druck-Funkenstrecke bildet sich dann ein Lichtbogen aus, der einer niederimpedanten Verbindung der Kathode mit dem Mittelstück gleichkommt. Damit liegt an der Nutz-Funkenstrecke schlagartig ein Potential an, das deutlich über dem nötigen Zündpotential der Nutz-Funkenstrecke liegt. Diese zündet da¬ her zuverlässig zum definierten Zeitpunkt aufgrund der in Gang gesetzten Kettenreaktion. Durch das Zünden der Hochdruck-Funkenstrecke steht die notwendige Spannung nämlich au- genblicklich zur Verfügung (die Steilheit des zeitlichen Spannungsverlaufs ist ausgesprochen hoch) .
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung beträgt der Widerstand 100 bis 1000 ΜΩ. Hierbei ist gewährleistet, dass ein Schalten der Nutz-Funkenstrecke erfolgt, da die anliegende
Spannung aufgrund des hohen Widerstandes nicht über die Lei¬ tung abgebaut werden kann, die das Mittelstück mit der Anode verbindet . Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Nutz-Funkenstrecke zur Erzeugung von Röntgenstrahlung vorgesehen ist. Als Target zur Erzeugung der Röntgenstrahlung kommt die Anode zum Einsatz. Damit kann die Röntgenstrahlung zu einem definierten Zeitschaltpunkt zur Verfügung gestellt werden. Dieses ist eine wichtige Voraus¬ setzung für verschiedene Applikationen. Beispielsweise kann die Röntgenstrahlung für bildgebende Verfahren zum Einsatz kommen - zum Beispiel in einer Blitz-Röntgenstrahlungsquelle. Gemäß einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass mit der Anode monochromatische Röntgenstrahlung erzeugbar ist. Wird zur Erzeugung der monochromatischen Rönt- genstrahlung eine Nutz-Funkenstrecke verwendet, so kann zur Erzeugung vorteilhaft ein genügend hoher Puls zur Verfügung gestellt werden, damit monochromatische Röntgenstrahlung in einem für die verfolgten Untersuchungszwecke genügenden Umfang zur Verfügung gestellt wird. Monochromatische Röntgen- Strahlung lässt sich beispielsweise erzeugen, wenn als Target eine sehr dünne Metallfolie beispielsweise aus Aluminium oder einem anderen Leichtmetall verwendet wird. Als Targetmaterial können auch die Lanthanoide verwendet werden. Als Leichtme¬ talle im Sinne der Anmeldung sollen die Metalle und deren Le- gierungen bezeichnet werden, deren Dichte unterhalb von 5 g/cm3 liegt. Im Einzelnen trifft diese Definition auf folgende Leichtmetalle zu: alle Alkalimetalle, alle Erdalkalimetal¬ le außer Radium, außerdem Scandium, Yttrium, Titan und Aluminium. Andere vorteilhafte Werkstoffgruppen zur Ausbildung des Targets sind Wolfram, Molybdän und die Gruppe der Lanthanoi¬ de. Im Einzelnen handelt es sich dabei um das Element Lanthan die 14 im Periodensystem auf das Lanthan folgenden Elemente.
Um eine Röntgenstrahlungsquelle technisch zu realisieren, ist es vorteilhaft, wenn die Nutz-Funkenstrecke in einem evaku¬ ierbaren Gehäuse untergebracht ist, in dem auch ein für Rönt¬ genstrahlung transparentes Fenster vorgesehen ist und aus dem die Röntgenstrahlung ausgekoppelt werden kann. Der Kollektor dient dazu, den durch die Anode beschleunigten Elektronen- ström elektrostatisch abzubremsen und ihm damit die kinetische Energie so weit zu entziehen, dass beim Aufprall der Elektronen auf den Kollektor die kinetische Energie unterhalb des Nieveaus ist, die für die Erzeugung von Bremsstrahlung erforderlich ist. Auf diese Weise wird die parasitäre Erzeu- gung von breitbandiger Bremsstrahlung vermieden, die sonst die von der Anode erzeugte monochromatische, charakteristi¬ sche Strahlung überlagern würde. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Anode, das Mittelstück und die Kathode koaxial angeordnet sind. Vorteilhaft ist es überdies, wenn die Anode, das Mittelstück und die Kathode zentralsymmetrisch zur gemeinsamen Achse ausgebildet sind. Hierdurch wird die Ausbildung von Induktivitäten minimiert, die das zeitliche Pulsverhalten der Funkenstrecken (Anstiegszeit des Pulsstromes) negativ beeinflussen würden.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben. Gleiche oder sich entsprechende Zeichnungselemente sind jeweils mit den gleichen Bezugszei¬ chen versehen und werden nur insoweit mehrfach erläutert, wie sich Unterschiede zwischen den einzelnen Figuren ergeben. Es zeigen :
Figur 1 schematisch den Aufbau eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Funkenstrecke mit einer Darstellung des Schaltvorgangs ohne Einbeziehung der Funktion des Kollektors und
Figur 2 schematisch eine geometrische Ausgestaltung der
Funkenstrecke gemäß Figur 1 im Schnitt mit Darstel¬ lung des Kollektors. Aus Figur 1 wird der Aufbau der erfindungsgemäßen Funkenstrecke deutlich. Diese weist eine Anode 11 und eine Kathode 12 auf. Zwischen die Anode 11 und die Kathode 12 ist ein Mittel¬ stück 13 geschaltet, so dass zwei Funkenstrecken, nämlich eine Hochdruck-Funkenstrecke 14 und eine Nutz-Funkenstrecke 15, entstehen. Außerdem ist das Mittelstück 13, welches als Anode für die Nutz-Funkenstrecke 15 fungiert, über eine Leitung 16 und dem Widerstand 17 hochohmig an das Anodenpotential ange¬ bunden . Für die Hochdruck-Funkenstrecke, für die eine Gasfüllung mit hohem Druck verwendet wird, bildet das Mittelstück 13 die Ka¬ thode. Als Füllgase für die Hochdruck-Funkenstrecke können Edelgase als Füllgase verwendet werden. Die Hochdruck- Funkenstrecke zeigt das definierte Schaltverhalten 18, wobei bei einem definierten Spannungsanstieg U mit bekannter Steil¬ heit der Schaltpunkt nach einer definierten Zeit t erreicht wird. Mit dem Schaltpunkt (ts/Us) kann der SchaltZeitpunkt der Nutz-Funkenstrecke vergleichsweise genau vorhergesagt werden. Wie bereits erläutert, steht im Falle des Schaltens der Hochdruck-Funkenstrecke nämlich das notwendige Schaltpo¬ tential zur Schaltung der Nutz-Funkenstrecke 15 sofort zur Verfügung. Durch die niederohmige Charakteristik der Nutzfun- kenstrecke 14 hat im SchaltZeitpunkt der Nutzfunkenstecke 14 das Mittelstück 13 Kathodenpotential. Am Widerstand 17 liegt nun die volle Spannung zwischen Kathode und Anode an. Es fließt ein durch den Widerstandswert von Widerstand 17 defi¬ nierter Strom durch den Widerstand. Die parasitären Indukti- vitäten des Widerstandes 17 reduzieren den systembedingten Stromfluss durch den Widerstand 17 zusätzlich. Durch den steilen Spannungsanstieg zwischen dem Zwischenstück 13 und der Anode 11 wird das Überschlagsverhalten der Nutzfunkenstrecke 15 so positiv beeinflusst, dass zum Überschlags- Zeitpunkt der Nutzfunkenstrecke 15 eine deutlich höhere Span¬ nung anliegt, als dies durch eine konventionelle Zündung mit niedrigem Spannungsanstiegsgradienten möglich wäre. Die
Schaltung der Nutz-Funkenstrecke 15 zum Zeitpunkt ts ist un¬ gefähr to, da der Spannungsanstieg bedingt durch die niedrige Induktivität der Anordnung extrem steil ist. Das notwendige Schaltpotential Us der Nutzfunkenstrecke 15 wird durch den extrem steilen Spannungsgradienten deutlich übertroffen Im Ergebnis liegt an der Nutzfunkenstrecke innerhalb sehr kurzer Zeit (Nanosekunden) , eine deutlich über der Zündspannung lie- genden Spannung an. Damit bildet sich ein starker Überschlag durch die Anode hindurch aus . Die Durchbruchspannung der Nutzfunkenstrecke 15 ist durch diese Anordnung nicht mehr vorrangig von Us abhängig, die im wesentlichen durch die Geometrie und dem Vakuum abhängig ist, sonder von der von außen angelegten Anodenspannung und der entsprechenden Auslegung der Hochdruckfunkenstrecke 14. Die Dauer der Entladung der Nutzfunkenstrecke ist bestimmt durch die Kapazität der Anord- nung und der darin gespeicherten Energie und den parasitären Induktivitäten im Aufbau.
Der Figur 2 lässt sich entnehmen, dass die Anordnung der Ano- de 12, des Mittelstücks 13, der Kathode 11 und eines Kollek¬ tors 21 koaxial aufgebaut ist. Außerdem sind alle diese Bau¬ teile auch zentralsymmetrisch zur gemeinsamen Achse 22 des koaxialen Aufbaus. Die Hochdruck-Funkenstrecke ist in einem ersten Gehäuse 23 untergebracht, wobei das erste Gehäuse mit einem geeigneten Arbeitsgas mit dem geforderten Druck befüllt werden kann (Befüllvorrichtung nicht näher dargestellt) . Die Nutz-Funkenstrecke 15 befindet sich gemeinsam mit dem Kollek¬ tor 21 in einem zweiten Gehäuse 24, welches evakuiert ist. Dieses zweite Gehäuse weist auch ein Fenster 25 auf, durch das Röntgenstrahlung 26 aus dem Gehäuse ausgekoppelt und ei¬ ner Anwendung zugeführt werden kann.

Claims

Patentansprüche
1. Funkenstrecke mit einer Anode (11) und einer Kathode (12) d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass die Funkenstrecke eine Hochdruck-Funkenstrecke (14) und eine Nutz-Funkenstecke (15) aufweist, welche durch ein Mit¬ telstück (13) miteinander verbunden sind, wobei
• die Hochdruck-Funkenstrecke (14) zwischen der Kathode
(12) und dem Mittelstück (13) ausgebildet ist,
· das Mittelstück (13) über eine Leitung (16), in der ein elektrischer Widerstand (17) vorgesehen ist, mit der Anode (11) verbunden ist und
• die Nutz-Funkenstrecke (15) zwischen dem Mittelstück
(13) und der Anode (11) ausgebildet ist.
2. nach Anspruch 1,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass der Widerstand ein Wert von 100 bis 1000 ΜΩ aufweist und insbesondere auch einen Induktivitätsbelag aufweist.
3. nach Anspruch 1 oder 2
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass die Nutz-Funkenstrecke (15) zur Erzeugung von Röntgen¬ strahlung vorgesehen ist, wobei als Target zur Erzeugung der Röntgenstrahlung die Anode (11) zum Einsatz kommt.
4. nach Anspruch 3,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass mit der Anode (11) monochromatische Röntgenstralung er- zeugbar ist.
5. nach einem der Ansprüche 3 oder 4,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass die Nutz-Funkenstrecke in einem evakuierbaren Gehäuse (24) untergebracht ist, in dem auch ein Kollektor (21) vorgesehen ist und aus dem die Röntgenstrahlung ausgekoppelt werden kann.
6. nach einem der vorangehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass die Anode (11), das Mittelstück (13) und die Kathode (12) koaxial angeordnet sind.
7. nach Anspruch 6,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass die Anode (11), das Mittelstück (13) und die Kathode (12) zentralsymmetrisch zur gemeinsamen Achse ausgebildet sind.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2654493C1 (ru) * 2017-03-06 2018-05-21 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Вакуумный разрядник
RU2654494C1 (ru) * 2017-03-10 2018-05-21 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Вакуумный искровой разрядник
RU200561U1 (ru) * 2019-12-09 2020-10-29 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Управляемый вакуумный разрядник
RU196930U1 (ru) * 2019-12-09 2020-03-23 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Малогабаритный двухсекционный управляемый вакуумный разрядник
US20230293394A1 (en) 2021-09-07 2023-09-21 Nihon Kolmar Co., Ltd. Topical composition for nanobubble cosmetic

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US656667A (en) * 1899-11-27 1900-08-28 Wolfgang Schmid Flexible metal pipe-coupling.
US1283318A (en) 1918-09-03 1918-10-29 Henry Ruschmeyer Spring-bed support.
US3475646A (en) * 1967-04-10 1969-10-28 Everett Chapman Spark gap light source for impact photoelasticity
FR2075303A5 (de) * 1970-01-08 1971-10-08 Tsukerman Veniamin
GB1443048A (en) 1972-12-05 1976-07-21 Strahlen Umweltforsch Gmbh X-ray source
JPH01225218A (ja) * 1988-03-04 1989-09-08 Hitachi Ltd 真空トリガギヤツプ
US5199054A (en) * 1990-08-30 1993-03-30 Four Pi Systems Corporation Method and apparatus for high resolution inspection of electronic items
JP3500079B2 (ja) * 1998-11-10 2004-02-23 日新電機株式会社 方形波電源装置
EP1353422B1 (de) * 2002-04-11 2004-08-11 OBO Bettermann GmbH & Co. KG. Funkenstrecke
JP5468911B2 (ja) * 2010-01-05 2014-04-09 株式会社日立メディコ Ｘ線管装置及びそれを用いたｘ線ｃｔ装置
CN104412470B (zh) * 2012-05-30 2016-11-09 西门子公司 带有电容式储能器的火花间隙

Also Published As

Publication number Publication date
CN104364875A (zh) 2015-02-18
CN104364875B (zh) 2017-05-03
KR20150023015A (ko) 2015-03-04
JP2015526838A (ja) 2015-09-10
US20150187539A1 (en) 2015-07-02
RU2608364C2 (ru) 2017-01-18
EP2839499B1 (de) 2017-03-22
US9679737B2 (en) 2017-06-13
RU2015100885A (ru) 2016-08-10
KR101689486B1 (ko) 2016-12-23
WO2013185824A1 (de) 2013-12-19

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