JPH01225218A - 真空トリガギヤツプ - Google Patents
真空トリガギヤツプInfo
- Publication number
- JPH01225218A JPH01225218A JP4954188A JP4954188A JPH01225218A JP H01225218 A JPH01225218 A JP H01225218A JP 4954188 A JP4954188 A JP 4954188A JP 4954188 A JP4954188 A JP 4954188A JP H01225218 A JPH01225218 A JP H01225218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- switch
- electrode
- trigger
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 2
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は大電流パルス源の制御用スイッチに係り、特に
、高頻度、大電流パルス源が要求されるプラズマＸ線源
に好適な真空トリガギャップに関する。
、高頻度、大電流パルス源が要求されるプラズマＸ線源
に好適な真空トリガギャップに関する。
真空トリガギャップは、アーク電圧が低く、電極材料か
らの蒸発が少ないことから、大電流通電用スイッチとし
て用いられている（例えば特願昭４３−２１６２２ ）
。最近、レーザ発生装置やプラズマＸ線源などの高頻度
パルス大電流スイッチとしても検討されている（例えば
特開昭６ｌ−１７３４９８）。
らの蒸発が少ないことから、大電流通電用スイッチとし
て用いられている（例えば特願昭４３−２１６２２ ）
。最近、レーザ発生装置やプラズマＸ線源などの高頻度
パルス大電流スイッチとしても検討されている（例えば
特開昭６ｌ−１７３４９８）。
上記従来技術は真空トリガギャップの点弧特性について
配慮がされておらず、点弧失敗等のトラブルが生ずるこ
とがあった。
配慮がされておらず、点弧失敗等のトラブルが生ずるこ
とがあった。
本発明の目的は、真空トリガギャップの点弧失敗を無く
し、長寿命で信頼性の高い真空トリガギヤツブを提供す
ることにある。
し、長寿命で信頼性の高い真空トリガギヤツブを提供す
ることにある。
上記目的は、トリガ電極と主ｆＩ＆極の外部引呂端子間
にコンデンサとスイッチの直列回路を接続させ、コンデ
ンサの充電電荷をスイッチにより、トリガ電極と主電極
に注入し、この電荷量で主電極間を点弧させることによ
り達成される。
にコンデンサとスイッチの直列回路を接続させ、コンデ
ンサの充電電荷をスイッチにより、トリガ電極と主電極
に注入し、この電荷量で主電極間を点弧させることによ
り達成される。
真空トリガギャップは主電極間に課電しておき主電極の
一方の電極と第３電極間にトリガパルスを印加し、電極
間で放電させる。この放電により主電極間にイオンが生
成され、イオンを引金にして主電極が放電する機構にな
っている。一般に真空トリガギャップは高真空（１０−
６〜１０−’Ｔｏｒｒ）中で加熱により脱ガス処理後、
真空対じされる。
一方の電極と第３電極間にトリガパルスを印加し、電極
間で放電させる。この放電により主電極間にイオンが生
成され、イオンを引金にして主電極が放電する機構にな
っている。一般に真空トリガギャップは高真空（１０−
６〜１０−’Ｔｏｒｒ）中で加熱により脱ガス処理後、
真空対じされる。
この場合、主電極間にｌｌ！電しても、電極間を飛行す
る電子やイオンがガス分子と衝突する機会が少なくなる
ため、第３電極よりトリガパルスを印加して主電極と第
３電極間で放電させてもイオンの発生も少なく、主電極
が放電しないいわゆる点弧失敗が生ずることになる。本
発明によれば、外部に接続されるコンデンサの容量によ
り必要注入エネルギが供給できるので、点弧失敗のない
スイッチができる。
る電子やイオンがガス分子と衝突する機会が少なくなる
ため、第３電極よりトリガパルスを印加して主電極と第
３電極間で放電させてもイオンの発生も少なく、主電極
が放電しないいわゆる点弧失敗が生ずることになる。本
発明によれば、外部に接続されるコンデンサの容量によ
り必要注入エネルギが供給できるので、点弧失敗のない
スイッチができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。プラ
ズマＸ線源、レーザ等の電源回路構成はコンデンサ１を
電源としてスイッチ２、負荷放電管３が直列に接続され
ている。コンデンサ１は直流電源４により充電されてい
る。スイッチ２は主電極５，６とトリガ電極７で構成さ
れており高真空で封じ切られた真空トリガギャップを構
成している。主電極５とトリガ電極７の外部にコンデン
サ８とスイッチ９が直列に接続され、コンデンサ８は小
容量の直流電源１０で充電されている。スイッチ９は真
空リレー等が使用され光ケーブル１１で絶縁され、パル
ス源１２からの信号で動作する。コンデンサ１の電荷は
、パルス源１２からの信号でスイッチ９を閉にする。こ
れによりコンデンサ８の充電電圧で主電極５とトリガ電
極間で放電し、コンデンサ８の電荷が注入される。これ
により主電極５，６間が放電し、負荷放電管３が放電す
ることになる。負荷放電管３がプラズマＸ線源の場合、
外部にＸ線が放射されることになる。
ズマＸ線源、レーザ等の電源回路構成はコンデンサ１を
電源としてスイッチ２、負荷放電管３が直列に接続され
ている。コンデンサ１は直流電源４により充電されてい
る。スイッチ２は主電極５，６とトリガ電極７で構成さ
れており高真空で封じ切られた真空トリガギャップを構
成している。主電極５とトリガ電極７の外部にコンデン
サ８とスイッチ９が直列に接続され、コンデンサ８は小
容量の直流電源１０で充電されている。スイッチ９は真
空リレー等が使用され光ケーブル１１で絶縁され、パル
ス源１２からの信号で動作する。コンデンサ１の電荷は
、パルス源１２からの信号でスイッチ９を閉にする。こ
れによりコンデンサ８の充電電圧で主電極５とトリガ電
極間で放電し、コンデンサ８の電荷が注入される。これ
により主電極５，６間が放電し、負荷放電管３が放電す
ることになる。負荷放電管３がプラズマＸ線源の場合、
外部にＸ線が放射されることになる。
本実施例によれば、真空トリガギャップで構成されたス
イッチ２の放電に、コンデンサ８の充電電荷が注入でき
るため、点弧失敗のないスイッチが得られる効果がある
。
イッチ２の放電に、コンデンサ８の充電電荷が注入でき
るため、点弧失敗のないスイッチが得られる効果がある
。
第２図は本発明による他の実施例を示す。第１図のスイ
ッチ９に気中あるいはガス人のトリガギャップを使用し
た場合であり、パルス源１７により主電極１４とトリガ
電極１６を放電させて電極間にイオンを生成し主電極１
４．１５間を放電させてコンデンサ８の電荷をスイッチ
２の電極５゜７間に印加し、第１図と同様の作用により
スイッチ２を閉にするものである。通常電極５，７間に
注入するエネルギは、主電極５，６間の注入エネルギの
数桁少なく、スイッチ１３に比較的消耗が大きい気中ギ
ャップでも長寿命が期待できる効果がある。
ッチ９に気中あるいはガス人のトリガギャップを使用し
た場合であり、パルス源１７により主電極１４とトリガ
電極１６を放電させて電極間にイオンを生成し主電極１
４．１５間を放電させてコンデンサ８の電荷をスイッチ
２の電極５゜７間に印加し、第１図と同様の作用により
スイッチ２を閉にするものである。通常電極５，７間に
注入するエネルギは、主電極５，６間の注入エネルギの
数桁少なく、スイッチ１３に比較的消耗が大きい気中ギ
ャップでも長寿命が期待できる効果がある。
本発明によれば、外部より真空トリガギャップのスイッ
チ操作に必要な電荷量が容易に注入できるので、点弧失
敗のなく、信頼性、の高い真空トリガギャップが提供で
きる効果がある。
チ操作に必要な電荷量が容易に注入できるので、点弧失
敗のなく、信頼性、の高い真空トリガギャップが提供で
きる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は本発
明による他の実施例を示す回路図である。
明による他の実施例を示す回路図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空容器と該真空容器内に設けた一対の主電極の少
なくとも一方にトリガ電極を設けた真空トリガギャップ
において、前記第３電極と主電極間にスイッチとコンデ
ンサを直列に接続し、前記コンデンサと並列に充電用電
源を接続したことを特徴とする真空トリガギャップ。 ２、特許請求の範囲第１項記載のスイッチとして、気中
トリガギャップを用いたことを特徴とする真空トリガギ
ャップ。 ３、特許請求の範囲第１項記載のスイッチとして、真空
リレーを用いたことを特徴とする真空トリガギャップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4954188A JPH01225218A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 真空トリガギヤツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4954188A JPH01225218A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 真空トリガギヤツプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01225218A true JPH01225218A (ja) | 1989-09-08 |
Family
ID=12834048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4954188A Pending JPH01225218A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 真空トリガギヤツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01225218A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015526838A (ja) * | 2012-06-14 | 2015-09-10 | シーメンス アクティエンゲゼルシャフト | スパークギャップ |
-
1988
- 1988-03-04 JP JP4954188A patent/JPH01225218A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015526838A (ja) * | 2012-06-14 | 2015-09-10 | シーメンス アクティエンゲゼルシャフト | スパークギャップ |
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