BE1025923A1 - Sel, generateur d'acide, composition de resist et procede pour produire un motif de resist - Google Patents

Sel, generateur d'acide, composition de resist et procede pour produire un motif de resist Download PDF

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Abstract

La présente invention peut fournir un sel et une composition de résist incluant le sel, capable de produire un motif de résist avec une inégalité des bords de trait (IBT) satisfaisante. Un sel représenté par la formule (I): (C6HFOR3R4R5)S+R1R2 A- où R1 et R2 représentent chacun un groupe hydrocarboné à chaîne qui peut avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné aromatique qui peut avoir un substituant, ou R1 et R2 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, R3, R4 et R5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-, et A- représente un contre-anion.

Description

SEL, GENERATEUR D'ACIDE, COMPOSITION DE RESIST ET PROCEDE POUR PRODUIRE UN MOTIF DE RESIST
Domaine technique [0001]
La présente invention concerne un sel, un générateur d'acide, une composition de résist et un procédé pour produire un motif de résist.
Etat de la technique [0002]
Le document de brevet 1 mentionne une composition de résist comprenant un sel représenté par la formule suivante comme générateur d'acide.
BE2018/5779
Le document de brevet 2 mentionne une composition de résist comprenant un sel représenté par la formule suivante comme générateur d'acide.
Document de l'état de la technique
Document de brevet [0003]
Document de brevet 1: JP 2011-051981 A
Document de brevet 2: JP 2014-235248 A
Résumé de l'invention
Problèmes devant être résolus par l'invention [0004]
2018/5779
BE2018/5779
Un but de la présente invention est de fournir un sel capable de produire un motif de résist ayant une inégalité de bord de trait (IBT) qui est meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir de la composition de résist comprenant un sel mentionnée ci-dessus.
Moyens pour résoudre les problèmes [0005]
La présente invention inclut les inventions suivantes.
[1] Un sel représenté par la formule (I):
(I) où, dans la formule (I),
R1 et R2 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, ou R1 et R2 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle qui peut avoir un substituant ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, et CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne, le groupe hydrocarboné alicyclique et le cycle peut être remplacé par -O-, -S-, -SO2ou -CO,
R3, R4 et R5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-, et
A' représente un contre-anion.
[2] Le sel selon [1], où R4 est un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[3] Le sel selon [1] ou [2], où R3 et R5 sont des atomes d'hydrogène.
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BE2018/5779 [4] Le sel selon l'un quelconque de [1] à [3], où le contre-anion est un anion d'acide sulfonique organique.
[5] Le sel selon [4], où l'anion d'acide sulfonique organique est un anion représenté par la formule (I-A):
(I-A) où, dans la formule (I-A),
Q1 et Q2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
L1 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et
Y représente un groupe méthyle substitué qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou CO-.
[6] Un générateur d'acide comprenant le sel selon l'un quelconque de [1] à [5].
[7] Une composition de résist comprenant le générateur d'acide selon [6] et une résine ayant un groupe labile en milieu acide.
[8] La composition de résist selon [7], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
[9] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend:
(1) une étape d'application de la composition de résist selon [7] ou [8] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition,
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BE2018/5779 (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
Effets de l'invention [0006]
Il est possible de fournir un sel et une composition de résist incluant ce sel, capable de produire un motif de résist avec une inégalité des bords de trait (IBT) satisfaisante.
Mode pour mettre en œuvre l'invention [0007]
Dans la présente description, monomère (méth)acrylique signifie au moins l'un des monomères ayant une structure de CH2 =CH-CO- ou CH2 =C(CH3 )-CO-. De manière similaire, (méth)acrylate et acide (méth)acrylique signifient chacun au moins l'un d'acrylate et méthacrylate et au moins l'un d'acide acrylique et d'acide méthacrylique. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, concernant les groupes capables d'avoir une structure linéaire et une structure ramifiée, ils peuvent avoir la structure linéaire ou la structure ramifiée. Quand il existe de stéréoisomères, tous les stéréoisomères sont inclus.
[0008] <Sel (I)>
Le sel de la présente invention est un sel représenté par la formule (I) (parfois appelé dans la suite sel (I)).
Dans la formule (I), le groupe hydrocarboné à chaîne représenté par R1 et R2 représente un groupe alkyle, un groupe alcényle et un groupe alcynyle.
Les exemples de groupe alkyle incluent, par exemple, un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues.
2018/5779
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Les exemples de groupe alcényle incluent un groupe vinyle, un groupe 1-propényle, un groupe 2-propényle, un groupe l-méthyl-2propényle, un groupe l,l-diméthyl-2-propényle et analogues.
Les exemples de groupe alcynyle incluent un groupe éthynyle, un groupe 1-propynyle, un groupe 2-propynyle, un groupe l,l-diméthyl-2propynyle, un groupe 5-hexynyle et analogues.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique incluent les groupes cycloalkyle monocycliques ou polycycliques comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe cyclononyle, un groupe cyclodécyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et un groupe isobornyle.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle et un groupe anthryle.
Le cycle formé par combinaison ensemble avec les atomes de soufre peut être un cycle saturé ou insaturé, ou un cycle monocyclique ou polycyclique, et inclut les cycles suivants. Parmi ces cycles, un cycle saturé C5-C8 est préféré.
[0009]
Les exemples de substituant qui peut être possédé par le groupe hydrocarboné à chaîne, le groupe hydrocarboné alicyclique, le groupe hydrocarboné aromatique et le cycle incluent un groupe hydroxy, un atome d'halogène, un groupe cyano, un groupe carboxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone, et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
2018/5779
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Quand le substituant est lié au groupe hydrocarboné représenté par R1 et R2, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné. [0010]
Les exemples d'atome d'halogène dans le substituant incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Les exemples de groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe octyloxy, un groupe 2-éthylhexyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy et un groupe dodécyloxy.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone dans le substituant incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et analogues.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe phényle et un groupe naphtyle.
Les exemples de groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe propoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle, un groupe pentyloxycarbonyle, un groupe hexyloxycarbonyle, un groupe octyloxycarbonyle, un groupe 2éthylhexyloxycarbonyle, un groupe nonyloxycarbonyle, un groupe décyloxycarbonyle, un groupe undécyloxycarbonyle et un groupe dodécyloxycarbonyle.
Les exemples de groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
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Les exemples de groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone dans le substituant incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy.
[0011]
Les exemples de groupe obtenu en combinant des substituants incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe hydroxy avec un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone et analogues.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent les groupes alcoxyalkyle ayant 2 à 24 atomes de carbone, comme un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle et un groupe éthoxyméthyle.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe hydroxy avec un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent les groupes hydroxyalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent les groupes alcoxyalcoxy ayant 2 à 24 atomes de carbone comme un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy et un groupe éthoxyéthoxy.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent les groupes alcoxyalkylcarbonyle ayant 3 à 25 atomes de carbone comme un groupe méthoxyacétyle, un groupe
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BE2018/5779 méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle et un groupe éthoxypropionyle.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent les groupes alcoxyalkylcarbonyloxy ayant 2 à 24 atomes de carbone, comme un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy et un groupe éthoxypropionyloxy.
Les exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone incluent les groupes aralkyle ayant 7 à 22 atomes de carbone, comme un groupe benzyle.
Le substituant est de préférence un groupe hydroxy, un atome de fluor, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 24 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ou un groupe cyano ayant 2 à 24 atomes de carbone.
[0012]
Les exemples de groupe hydrocarboné à chaîne dans lesquels CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne est remplacé par -O-, S-, -SO2- ou -CO- incluent un groupe hydroxy, un groupe carboxy, un groupe méthoxy, un groupe méthylcarbonyle, un groupe méthoxycarbonyle, un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe méthoxycarbonyloxy, un groupe éthoxy, un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyméthyle et un groupe méthoxyméthoxy.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel -CH2inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S-, SO2- ou -CO- incluent les groupes hydrocarbonés alicycliques suivants.
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Les exemples de cycle dans lequel -CH2- inclus dans le cycle est remplacé par -O-, -S-, -SO2- ou -CO- incluent les cycles suivants.
[0013]
Les exemples de groupe hydrocarboné (-CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-) représenté par R3, R4 et R5 incluent un groupe hydrocarboné à chaîne, un groupe hydrocarboné alicyclique et un groupe hydrocarboné aromatique.
Les exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe alkyle, un groupe alcényle et un groupe alcynyle.
Les exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Les exemples de groupe alcényle incluent un groupe vinyle (groupe éthényle), un groupe allyle (groupe 2-propényle), un groupe isopropényle (groupe 1-méthyléthényle) et analogues.
Les exemples de groupe alcynyle incluent un groupe éthynyle, un groupe propynyle et un groupe butynyle.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle et analogues.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe phényle.
Les exemples de groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné est remplacé par -0- ou -CO- incluent un groupe hydroxy, un groupe carboxyle, un groupe méthoxy, un groupe méthylcarbonyle, un groupe méthoxycarbonyle, un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe
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BE2018/5779 méthoxycarbonyloxy, un groupe éthoxy, un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyméthyle, un groupe méthoxyméthoxy, et un cycle lactone.
Quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné représenté par R1, R2, R3, R4 et R5 est remplacé par -O-, -S-, -CO- ou -SO2 -, le nombre 5 d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné.
R3 et R5 sont de préférence des atomes d'hydrogène.
R4 est de préférence un atome d'hydrogène ou un atome de fluor. [0014]
Les exemples de cation (I) incluent les cations suivants.
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(I-c-4)
F
(I-c-5) (I-c-6)
(I-c-9) (I-C-10) (I-c-11) (I-c-12) (I-c-8)
(I-c-15)
OH
(I-c-18)
Parmi ces cations, les cations représentés par la formule (I-c-1) à la formule (I-c-10) sont préférés, les cations représentés par la formule (I-c5 1), la formule (I-c-2) et la formule (I-c-7) à la formule (I-c-10) sont préférés encore, et les cations représentés par la formule (I-c-1), la formule (I-c-2), la formule (I-c-7) et la formule (I-c-8) sont préférés encore.
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A' représente un contre-anion, et des exemples spécifiques incluent les contre-anions comme un ion halogénure, un ion hydroxyde, un anion d'acide sulfonique organique, un anion de sulfonylimide organique, un anion de sulfonylméthide organique, un anion alcoolate, un anion phénylate et un anion d'acide carboxylique.
A' est de préférence un ion halogénure ou un anion organique, de préférence encore un anion d'acide sulfonique organique ou un anion d'acide carboxylique, et de préférence encore un anion d'acide sulfonique organique.
L'anion d'acide sulfonique organique est de préférence un anion d'acide sulfonique organique ayant un groupe sulfo et un atome de fluor, et de préférence encore un anion représenté par la formule (I-A):
(I-A) où, dans la formule (I-A),
Q1 et Q2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
L1 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et
Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-.
[0016]
Les exemples de groupe perfluoroalkyle représenté par Q1 et Q2 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe
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BE2018/5779 perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotertbutyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, Q1 et Q2 sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, ils sont l'un et l'autre des atomes de fluor.
[0017]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L1 incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en utilisant deux ou plusieurs de ces groupes en combinaison.
Des exemples spécifiques incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-
1,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe heptane-l,7-diyle, un groupe octane1,8-diyle, un groupe nonane-l,9-diyle, un groupe décane-l,10-diyle, un groupe undécane-l,ll-diyle, un groupe dodécane-l,12-diyle, un groupe tridécane-l,13-diyle, un groupe tétradécane-l,14-diyle, un groupe pentadécane-l,15-diyle, un groupe hexadécane-lz16-diyle et un groupe heptadécane-l,17-diyle;
les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1diyle, un groupe propane-l,l-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle;
les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques qui sont des groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-l,3-diyle, un groupe cyclopentane-l,3-diyle, un groupe cyclohexane-l,4-diyle et un groupe cyclooctane-l,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-l,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-l,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L1 est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par
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BE2018/5779 exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (bl-1) à la formule (bl-3). Dans les groupes représentés par la formule (bl-1) à la formule (bl-3) et les groupes représentés par la formule (bl-4) à la formule (bl-11) qui sont des exemples spécifiques, * représente un site de liaison à -Y.
[0018]
O (b1-2) (b1-3)
Dans la formule (bl-1),
Lb2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb2 et Lb3 est 22 ou moins.
Dans la formule (bl-2),
Lb4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb4 et Lb5 est 22 ou moins.
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Dans la formule (bl-3),
Lb6 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,
Lb7 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb6 et Lb7 est 23 ou moins.
Dans les groupes représentés par la formule (bl-1) à la formule (bl-3), quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de Lbl. [0019]
Lb2 est de préférence une simple liaison.
Lb3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
Lb4 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
Lb5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lb6 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
Lb7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être
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[0020]
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Lbl est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (bl-1) ou la formule (bl-
3).
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-1) incluent les groupes représentés par la formule (bl-4) à la formule (bl-8).
Dans la formule (bl-4),
Lb8 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (bl-5),
Lb9 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Lbl° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb9 et Lbl° est 20 ou moins.
Dans la formule (bl-6),
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Lb 11 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone,
Lbl2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl1 et Lbl2 est 21 ou moins.
Dans la formule (bl-7),
Lbl3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à atomes de carbone,
Lbl4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Lbl5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl3 à Lbl5 est 19 ou moins.
Dans la formule (bl-8),
Lb 16 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Lbl7 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone,
Lbl8 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl6 à Lbl8 est 19 ou moins.
[0021]
Lb8 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
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Lb9 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
Lbl4 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Lbl5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl6 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
Lbl7 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Lbl8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0022]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-3) incluent les groupes représentés par la formule (bl-9) à la formule (bl-11).
O (b1-9) (b1-10) (b1-11)
Dans la formule (bl-9),
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Lbl9 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb2° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl9 et Lb20 est 23 ou moins.
Dans la formule (bl-10),
Lb21 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb22 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone,
Lb23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb21, Lb22 et Lb23 est 21 ou moins.
Dans la formule (bl-11),
Lb24 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb25 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à atomes de carbone,
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Lb26 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHjinclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb24, Lb25 et Lb26 est 21 ou moins.
[0023]
Dans les groupes représentés par la formule (bl-9) à la formule (bl-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Les exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues. [0024]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-4) incluent les suivants:
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0025]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-5) incluent les suivants:
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où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0026]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-6) incluent les suivants:
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0027]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-7) incluent les suivants:
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où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0028]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-8) incluent les suivants:
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0029]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-2) incluent
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0030]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-9) incluent les suivants:
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F F
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de 5 liaison à Y.
[0031]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-10) incluent les suivants:
où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0032]
Les exemples de groupe représenté par la formule (bl-11) incluent les suivants:
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où * et ** représentent des sites de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0033]
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Yl) à la formule (Yll) et la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique 10 représenté par Y est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Les exemples d'un tel groupe incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y41).
[0034]
(Y11) (Y12) (Y13) (Y14) (Y15) (Y16) (Y17) (Y18) (Y19) (Y20)
(Y32) (Y33) (Y34) (Y35) (Y36) (Y37) (Y38) (Y39) (Y40) (Y41)
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Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Yl) à la formule (Y20), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y41), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Yll), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39) ou la formule (Y40), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Yll), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y30), la formule (Y39) ou la formule (Y40).
Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est un cycle spiro incluant un atome d'oxygène, comme la formule (Y28) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y40), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène inclut de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure de cétal, il est préféré qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0035]
Les exemples de substituant de groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CH2 )j a -CO-O-Rb 1 ou un groupe -(CH2 )j a -O-CORb 1 (où Rb 1 représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou les groupes obtenus en combinant ces groupes, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO2- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4) et analogues.
Les exemples de substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui peut avoir un groupe hydroxy comme substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un
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BE2018/5779 groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CH2 )j a -CO-O-Rb 1 ou un groupe -(CH2 )j a -O-CO-Rb 1 (où Rbl représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou les groupes obtenus en combinant ces groupes, ja représente un entier de 0 à 4, et CH2- inclus dans le groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone et le groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-) et analogues.
[0036]
Les exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Le groupe hydrocarboné alicyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne, et les exemples de ceux-ci incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné aromatique inclut, par exemple, les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et est de préférence un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe péthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2-méthyl-6éthylphényle, etc.) ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone (un groupe p-adamantylphényle, un groupe p-cyclohexylphényle, etc.).
Le groupe alkyle inclut, par exemple, un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un
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BE2018/5779 groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues.
Les exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent les groupes hydroxyalkyle comme un groupe hydroxy méthyle et 5 un groupe hydroxyéthyle.
Les exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Les exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Le groupe alkylcarbonyle inclut, par exemple, un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
[0037]
Les exemples de Y incluent les suivants.
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BE2018/5779 [0038]
[0039]
Y est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à atomes de carbone qui peut avoir un substituant, de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CH2- constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être 10 remplacé par -CO-, -S(O)2- ou -CO-. Y est de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle, ou des groupes représentés par les suivants.
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BE2018/5779
[0040]
A* est de préférence des anions représentés par la formule (Bl-A5 1) à la formule (Bl-A-55) [dans la suite appelé parfois anion (Bl-A-1) selon le numéro de formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bl-A-1) à la formule (Bl-A-4), la formule (Bl-A-9), la formule (Bl-A-10), la formule (Bl-A-24) à la formule (Bl-A-33), la formule (Bl-A-36) à la formule (Bl-A-40) et la formule (Bl10 A-47) à la formule (Bl-A-55).
(Bl-A-4)
(Bl-A-5) [0042]
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BE2018/5779
(Bl-A-6)
(Bl-A-10)
(Bl-A-13) (Bl-A-11) [0044]
(Bl-A-15) (Bl-A-14)
(Bl-A-16) (Bl-A-17) [0045]
2018/5779
BE2018/5779
(Bl-A-19)
(Bl-A-21)
(Bl-A-23) [0046]
(Bl-A-26) (Bl-A-27)
[0047]
2018/5779
BE2018/5779
(Bl-A-34)
(Bl-A-37)
(Bl-A-39)
(Bl-A-40)
(Bl-A-41)
[0048]
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BE2018/5779
°><QbO °3S
(Bl-A-55)
Rl2 à Rl7 représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe 5 méthyle ou un groupe éthyle. R18 est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un
2018/5779
BE2018/5779 groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone ou les groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA41 est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone.
Des exemples spécifiques de A' incluent les anions mentionnés dans JP 2010-204646 A.
[0049]
Des exemples de A’ sont de préférence les anions représentés par la formule (Bla-1) à la formule (Bla-34).
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(Bla-3)
(Bla-12) (Bla-13)
(Bla-17) (Bla-18) (Bla-19) [0050]
(Bla-20) (Bla-21) (Bla-22)
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BE2018/5779 [0051]
[0052]
(Bla-32)
(Bla-33) (Bla-34)
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Parmi ces anions, A' est de préférence un anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bla-1) à la formule (Bla-3) et de la formule (Bla-7) à la formule (Bla-19) et de la formule (Bla-22) à la formule (Bla-34).
[0053]
Le sel (I) est de préférence une combinaison des anions et cations mentionnés ci-dessus. Ces anions et cations peuvent être éventuellement combinés. Des exemples spécifiques de sel (I) sont montrés dans le tableau 1 au tableau 3.
Dans le tableau 1, par exemple, le sel (1-1) signifie un sel consistant en un anion représenté par la formule (Bla-1) et un cation représenté par la formule (I-c-1) et indique les sels suivants.
[Tableau 1]
Sel (I) Anion Cation
(Μ) (Bla-1) (I-c-1)
(1-2).... (Bla-2) (I-c-1)
(1-3) (Bla-3) (I-c-1)
(1-4) (Bla-7) (I-c-1)
(1-5) (Bla-8) (I-c-1)
(1-6) (Bla-9) (I-c-1)
(1-7) (Bla-10) (I-c-1)
(1-8) (Bla-11) (I-c-1)
(1-9) (Bla-12) (I-c-1)
(MO) (Bla-13) (I-c-1)
(Ml) (Bla-14) (I-c-1)
(1-12) (Bla-15) (I-c-1)
(M3) (Bla-16) (I-c-1)
(1-14) (Bla-17) (I-c-1)
IL15) (Bla-18) (I-c-1)
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(1-16) (Bla-19) (I-c-1)
(1-17) (Bla-23) (I-c-1)
(1-18) (Bla-24) (I-c-1)
(1-19) (Bla-25) (I-c-1)
(1-20) (Bla-26) (I-c-1)
(1-21) (Bla-27) (I-c-1)
(1-22) (Bla-28) (I-c-1)
(1-23) (Bla-29) (I-c-1)
(1-24) (Bla-30) (I-c-1)
(1-25) (Bla-1) (I-c-2)
(1-26) (Bla-2) (I-c-2)
(1-27) (Bla-3) (I-c-2)
(1-28) (Bla-7) (I-c-2)
(1-29) (Bla-8) (I-c-2)
(1-30) (Bla-9) (I-c-2)
(1-31) (Bla-10) (I-c-2)
(1-32) (Bla-11) (I-c-2)
(1-33) (Bla-12) (I-c-2)
(1-34) (Bla-13) (I-c-2)
(1-35) (Bla-14) (I-c-2)
(1-36) (Bla-15) (I-c-2)
(1-37) (Bla-16) (I-c-2)
(1-38) (Bla-17) (I-c-2)
(1-39) (Bla-18) (I-c-2)
(1-40) (Bla-19) (I-c-2)
(1-41) (Bla-23) (I-c-2)
(1-42) (Bla-24) (I-c-2)
(1-43) (Bla-25) (I-c-2)
(1-44) (Bla-26) (I-c-2)
(1-45) (Bla-27) (I-c-2)
(1-46) (Bla-28) (I-c-2)
(1-47) (Bla-29) (I-c-2)
(1-48) (Bla-30) (I-c-2)
(1-49) (Bla-1) (I-c-3)
-0^0) (Bla-2) (I-c-3)
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BE2018/5779
(1-51) (Bla-3) (I-c-3)
(1-52) (Bla-7) (I-c-3)
(1-53) (Bla-8) (I-c-3)
(1-54) (Bla-9) (I-c-3)
(1-55) (Bla-10) (I-c-3)
(1-56) (Bla-11) (I-c-3)
(1-57) (Bla-12) (I-c-3)
(1-58) (Bla-13) (I-c-3)
(1-59) (Bla-14) (I-c-3)
(1-60) (Bla-15) (I-c-3)
(1-61) (Bla-16) (I-c-3)
(1-62) (Bla-17) (I-c-3)
(1-63) (Bla-18) (I-c-3)
(1-64) (Bla-19) (I-c-3)
(1-65) (Bla-23) (I-c-3)
(1-66) (Bla-24) (I-c-3)
(1-67) (Bla-25) (I-c-3)
(1-68) (Bla-26) (I-c-3)
(1-69) (Bla-27) (I-c-3)
(1-70) (Bla-28) (I-c-3)
(1-71) (Bla-29) (I-c-3)
(1-72) (Bla-30) (I-c-3)
(1-73) (Bla-1) (I-c-4)
(1-74) (Bla-2) (I-c-4)
(1-75) (Bla-3) (I-c-4)
(1-76) (Bla-7) (I-c-4)
(1-77) (Bla-8) (I-c-4)
(1-78) (Bla-9) (I-c-4)
(1-79) (Bla-10) (I-c-4)
(1-80) (Bla-11) (I-c-4)
(1-81) (Bla-12) (I-c-4)
(1-82) (Bla-13) (I-c-4)
(1-83) (Bla-14) (I-c-4)
(1-84) (Bla-15) (I-c-4)
1^85] (Bla-16) .(I-c-4)
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BE2018/5779
(1-86) (Bla-17) (I-c-4)
(1-87) (Bla-18) (I-c-4)
(1-88) (Bla-19) (I-c-4)
(1-89) (Bla-23) (I-c-4)
(1-90) (Bla-24) (I-c-4)
(1-91) (Bla-25) (I-c-4)
(1-92) (Bla-26) (I-c-4)
(1-93) (Bla-27) (I-c-4)
(1-94) (Bla-28) (I-c-4)
(1-95) (Bla-29) (I-c-4)
(1-96) (Bla-30) (I-c-4)
(1-97) (Bla-1) (I-c-5)
(1-98) (Bla-2) (I-c-5)
(1-99) (Bla-3) (I-c-5)
(1-100) (Bla-7) (I-c-5)
(1-101) (Bla-8) (I-c-5)
(1-102) (Bla-9) (I-c-5)
(1-103) (Bla-10) (I-c-5)
(1-104) (Bla-11) (I-c-5)
(1-105) (Bla-12) (I-c-5)
(1-106) (Bla-13) (I-c-5)
(1-107) (Bla-14) (I-c-5)
(1-108) (Bla-15) (I-c-5)
(1-109) (Bla-16) (I-c-5)
(1-110) (Bla-17) (I-c-5)
(i-iii) (Bla-18) (I-c-5)
(1-112) (Bla-19) (I-c-5)
(1-113) (Bla-23) (I-c-5)
(1-114) (Bla-24) (I-c-5)
(1-115) (Bla-25) (I-c-5)
(1-116) (Bla-26) (I-c-5)
(1-117) (Bla-27) (I-c-5)
(1-118) (Bla-28) (I-c-5)
(1-119) (Bla-29) (I-c-5)
(1-120) (Bla-30) (I-c-5)
2018/5779
BE2018/5779
(1-121) (Bla-1) (I-c-6)
(1-122) (Bla-2) (I-c-6)
(1-123) (Bla-3) (I-c-6)
(1-124) (Bla-7) (I-c-6)
(1-125) (Bla-8) (I-c-6)
(1-126) (Bla-9) (I-c-6)
(1-127) (Bla-10) (I-c-6)
(1-128) (Bla-11) (I-c-6)
(1-129) (Bla-12) (I-c-6)
(1-130) (Bla-13) (I-c-6)
(1-131) (Bla-14) (I-c-6)
(1-132) (Bla-15) (I-c-6)
(1-133) (Bla-16) (I-c-6)
(1-134) (Bla-17) (I-c-6)
(1-135) (Bla-18) (I-c-6)
(1-136) (Bla-19) (I-c-6)
(1-137) (Bla-23) (I-c-6)
(1-138) (Bla-24) (I-c-6)
(1-139) (Bla-25) (I-c-6)
(1-140) (Bla-26) (I-c-6)
(1-141) (Bla-27) (I-c-6)
(1-142) (Bla-28) (I-c-6)
(1-143) (Bla-29) (I-c-6)
(1-144) (Bla-30) (I-c-6) .
(1-145) (Bla-1) (I-c-7)
(1-146) (Bla-2) (I-c-7)
(1-147) (Bla-3) (I-c-7)
(1-148) (Bla-7) (I-c-7)
(1-149) (Bla-8) (I-c-7)
(1-150) (Bla-9) (I-c-7)
(1-151) (Bla-10) (I-c-7)
(1-152) (Bla-11) (I-c-7)
(1-153) (Bla-12) (I-c-7)
(1-154) (Bla-13) (I-c-7)
(1-155) (Bla-14) (I-c-7)
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BE2018/5779
(1-156) (Bla-15) (I-c-7)
(1-157) (Bla-16) (I-c-7)
(1-158) (Bla-17) (I-c-7)
(1-159) (Bla-18) (I-c-7)
(1-160) (Bla-19) (I-c-7)
(1-161) (Bla-23) (I-c-7)
(1-162) (Bla-24) (I-c-7)
(1-163) (Bla-25) (I-c-7)
(1-164) (Bla-26) (I-c-7)
(1-165) (Bla-27) (I-c-7)
(1-166) (Bla-28) (I-c-7)
(1-167) (Bla-29) (I-c-7)
(1-168) (Bla-30) (I-c-7)
(1-169) (Bla-1) (I-c-8)
(1-170) (Bla-2) (I-c-8)
(1-171) (Bla-3) (I-c-8)
(1-172) (Bla-7) (I-c-8)
(1-173) (Bla-8) (I-c-8)
(1-174) (Bla-9) (I-c-8)
(1-175) (Bla-10) (I-c-8)
(1-176) (Bla-11) (I-c-8)
(1-177) (Bla-12) (I-c-8)
(1-178) (Bla-13) (I-c-8)
(1-179) (Bla-14) (I-c-8)
(1-180) (Bla-15) (I-c-8)
(1-181) (Bla-16) (I-c-8)
(1-182) (Bla-17) (I-c-8)
(1-183) (Bla-18) (I-c-8)
(1-184) (Bla-19) (I-c-8)
(1-185) (Bla-23) (I-c-8)
(1-186) (Bla-24) (I-c-8)
(1-187) (Bla-25) (I-c-8)
(1-188) (Bla-26) (I-c-8)
(1-189) (Bla-27) (I-c-8)
(1-190) (Bla-28) li^8)
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BE2018/5779
(1-191) (Bla-29) (I-c-8)
(1-192) (Bla-30) (I-c-8)
(1-193) (Bla-1) (I-c-9)
(1-194) (Bla-2) (I-c-9)
(1-195) (Bla-3) (I-c-9)
(1-196) (Bla-7) (I-c-9)
(1-197) (Bla-8) (I-c-9)
(1-198) (Bla-9) (I-c-9)
(1-199) (Bla-10) (I-c-9)
(1-200) (Bla-11) (I-c-9)
(1-201) (Bla-12) (I-c-9)
(1-202) (Bla-13) (I-c-9)
(1-203) (Bla-14) (I-c-9)
(1-204) (Bla-15) (I-c-9)
(1-205) (Bla-16) (I-c-9)
(1-206) (Bla-17) (I-c-9)
(1-207) (Bla-18) (I-c-9)
(1-208) (Bla-19) (I-c-9)
(1-209) (Bla-23) (I-c-9)
(1-210) (Bla-24) (I-c-9)
(1-211) (Bla-25) (I-c-9)
(1-212) (Bla-26) (I-c-9)
(1-213) (Bla-27) (I-c-9)
(1-214) (Bla-28) (I-c-9)
(1-215) (Bla-29) (I-c-9)
(1-216) (Bla-30) 11^9)
[0054]
Parmi ces sels, le sel (I) inclut de préférence le sel (1-1) au sel (I-
3), le sel (1-5), le sel (1-12) au sel (1-22), le sel (1-25) au sel (1-27), le sel (1-29), le sel (1-36) au sel (1-46), le sel (1-49) au sel (1-51), le sel (1-53), le sel (1-60) au sel (1-70), le sel (1-73) au sel (1-75), le sel (1-77), le sel (I84) au sel (1-94), le sel (1-97) au sel (1-99), le sel (1-101), le sel (1-108) au sel (1-118), le sel (1-121) au sel (1-123), le sel (1-125), le sel (1-132) au sel (1-142), le sel (1-145) au sel (1-147), le sel (1-149), le sel (1-156) au sel (I
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166), le sel (1-169) au sel (1-171), le sel (1-173), le sel (1-180) au sel (I190), le sel (1-193) au sel (1-195), le sel (1-197) et le sel (1-204) au sel (I214).
[0055] <Procédé pour produire le sel (I)>
Le sel (I) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-a) avec un sel représenté par la formule (I-b) dans un solvant:
Na A (l-b)
où R1, R2, R3, R4, R5 et A sont les mêmes que défini ci-dessus.
La réaction est habituellement conduite par une agitation à 10°C à 60°C, et de préférence 20°C à 40°C.
La durée de réaction est habituellement 0,5 heure à 24 heures.
Les exemples de solvant dans cette réaction incluent le chloroforme, l'acétonitrile, l'eau et analogues.
[0056]
Le sel représenté par la formule (I-b) peut être synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2010-134445 A, et les exemples de ceux-ci incluent les sels représentés par les suivants.
©Θ Na O3S
©©F^Fn K ?
Na O3S^°/PV<t17 J 0 w
O ©Θ Na O3S
H
ΘΘ Na O3S
[0057]
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Le sel représenté par la formule (I-a) peut être produit par réaction d'un composé représenté par la formule (I-c) avec un composé représenté par la formule (I-d) en présence de pentoxyde de phosphore et d'acide méthylsulfurique dans un solvant:
ch3so3h p205
ch3so3 (l-a) où R1, R2, R3, R4 et R5 sont les mêmes que défini ci-dessus.
La réaction est habituellement conduite par une agitation à 5°C à 80°C, et de préférence 10°C à 60°C.
La durée de réaction est habituellement 0,5 heure à 24 heures.
Les exemples de solvant dans cette réaction incluent l'acide méthanesulfonique, l’acétonitrile, le chloroforme et analogues.
[0058]
Le composé représenté par la formule (I—c) inclut les composés représentés par les formules suivantes et est aisément accessible sur le marché.
Le composé représenté par la formule (I—d) inclut les composés représentés par les formules suivantes et est aisément accessible sur le marché.
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Le sel (I) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-e) avec un sel représenté par la formule (I-f) dans un solvant:
CH3SO4
Et-r^H A ___
Et (i-f)
où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
Les exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène, l'acétonitrile, l'eau et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 80°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0059]
Les exemples de sel représenté par la formule (I-f) incluent les sels représentés par les formules suivantes. Ces sels peuvent être obtenus par le même procédé que celui mentionné dans JP 2011-116747 A.
[0060]
Le sel représenté par la formule (I-e) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-g) avec un composé représenté par la formule (I-h) en présence d'un catalyseur dans un solvant:
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CH3SO4 (l-g) (I-h)
CH3SO4 où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
Les exemples de catalyseur incluent l'acétate de cuivre (II) et analogues.
Les exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 80°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0061]
Le composé représenté par la formule (I-h) inclut les composés représentés par les formules suivantes et est aisément accessible sur le marché.
[0062]
Le sel représenté par la formule (I-g) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-i) avec l'acide diméthylsulfurique dans un solvant:
(I-i) (CH3)2SO4
ch3so4 (i-g) où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
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Les exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 80°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0063]
Le sel représenté par la formule (I-i) peut être produit par réaction d'un composé représenté par la formule (I-d) avec un composé représenté par la formule (I-j) en présence d'acide sulfurique dans un solvant, ce qui est suivi par le mélange avec le bromure de sodium:
(i-d)
KIO3 <I-j)
H2SO4
NaBr
où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
Les exemples de solvant incluent l'acide acétique, l'anhydride acétique et analogues.
La température de réaction est habituellement 0°C à 60°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0064]
Le sel (I) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-k) avec un composé représenté par la formule (I-h) en présence d'un catalyseur dans un solvant:
où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
Les exemples de catalyseur incluent l'acétate de cuivre (II) et analogues.
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Les exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 80°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0065]
Le sel représenté par la formule (I-k) peut être produit par réaction d'un sel représenté par la formule (I-g) avec un sel représenté par la formule (I-f) dans un solvant:
CH3SO4 (i-g)
Et—fsHH A
Et (i-f)
où tous les symboles sont les mêmes que défini ci-dessus.
Les exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène, l'acétonitrile, l'eau et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 80°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0066] <Générateur d'acide>
Le générateur d'acide de la présente invention est un générateur d'acide incluant le sel (I). Le générateur d'acide peut inclure un sel (I) ou peut utiliser deux ou plusieurs sels (I) en combinaison.
Le générateur d'acide de la présente invention peut inclure, en plus du sel (I), un générateur d'acide connu dans le domaine des résists (dans la suite appelé parfois générateur d'acide (B)). Comme générateur d'acide (B), un générateur d'acide peut être utilisé, ou deux ou plusieurs générateurs d'acide peuvent être utilisés en combinaison.
[0067]
Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Les exemples de générateur d'acide non ionique incluent les esters sulfonates (par exemple ester de 2nitrobenzyle, sulfonate aromatique, oxime sulfonate, N-sulfonyloxyimide,
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BE2018/5779 sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues.
Des exemples typiques de générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple sel de diazonium, sel de phosphonium, sel de sulfonium, sel d'iodonium). Les exemples d'anion du sel d'onium incluent un anion d'acide sulfonique, un anion de sulfonylimide, un anion de sulfonylméthide et analogues.
Des exemples spécifiques de générateur d'acide (B) incluent les composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, brevet US No. 3,779,778, brevet US No. 3,849,137, brevet DE No. 3914407 et brevet EP No. 126,712. Des composés produits par un procédé connus peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0068]
Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (Bl) (dans la suite appelé parfois générateur d'acide (Bl), à l'exclusion du sel (I)):
où, dans la formule (Bl),
Qbl et Qb2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Lb 1 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,
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Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et
Zl+ représente un cation organique.
Les exemples d'anion dans le générateur d'acide (Bl) incluent ceux qui sont les mêmes que le contre-anion A’ dans le sel (I).
[0069]
Les exemples de cation organique représenté par Zl+ incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ces cations organiques, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-l) à la formule (b2-4) (dans la suite appelé parfois cation (b2-l) selon le numéro de la formule).
Rw
Rb5-S+
Rb6 (b2-1) (Rb7)m2 (Rb8)n2
ob9 O h
3:s+-ch-c-r pb10 I R Rb11
Rb1° b12 (b2-2) (b2-3)
Dans la formule (b2-l) à la formule (b2-4),
Rb4 à Rb6 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe
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BE2018/5779 hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être remplacé par un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Rb4 et Rb5 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rb7 et Rb8 représentent chacun indépendamment un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5, quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de Rb7 peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de Rb8 peuvent être identiques ou différents,
Rb9 et Rbl° représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
Rb9 et Rbl° peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, et -CH2 - inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rb 11 représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
Rbl2 représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe
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BE2018/5779 hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Rbl1 et Rbl2 peut être liés l'un à l'autre pour former un cycle, incluant -CH-CO- auquel ils sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rbl3 à Rbl8 représentent chacun indépendamment un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Lb31 représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène, o2, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5, q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4, u2 représente 0 ou 1, et quand o2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl3 sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl4 sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl5 sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl6 sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl7 sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de Rb 18 sont identiques ou différents.
Le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Les exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle. En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne pour Rb9 à Rbl2 a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe
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BE2018/5779 cyclodécyle. Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique pour Rb9 à Rbl2 a de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle.
Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et les exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.) et un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe padamantylphényle, etc.).
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
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Les exemples de groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtyl méthyle, un groupe naphtyléthyle et analogues.
[0070]
Les exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Les exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Les exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Les exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propylcarbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyloxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tertbutylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2éthylhexylcarbonyloxy.
Le cycle formé par liaison de Rb4 et Rb5 entre eux, ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 chaînons à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 chaînons à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants.
Le cycle formé en combinant Rb9 et Rbl° ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou
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BE2018/5779 insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 chaînons à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 chaînons à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-l-ium (cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-l-ium, un cycle l,4-oxathian-4-ium et analogues.
Le cycle formé en combinant Rbl1 et Rbl2 ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 chaînons à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 chaînons à 7 chaînons. Les exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle 10 oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0071]
Parmi les cations (b2-l) à (b2-4), un cation (b2-l) est préféré. Les exemples de cation (b2-l) incluent les cations suivants.
(b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) (b2-c-5) (b2-c-6)
[0072]
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(b2-c-12) (b2-c-13)
(b2-c-16) (b2-c-17) (b2-c-18)
(b2-c-21) (b2-c-22) (b2-c-23) (b2-c-24) (b2-c-25) (b2-c-26) (b2-c-27) [0074]
Les exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants.
(b2-c-28)
(b2-c-29)
(b2-c-30)
Les exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants.
[0075]
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(b2-c-31)
[0076]
Les exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants.
(b2-c-35) (b2-c-36) (b2-c-37)
(b2-c-38) (b2-c-39) (b2-c-40)
[0077]
Le générateur d'acide (Bl) est une combinaison de l'anion mentionné ci-dessus et du cation organique mentionné ci-dessus, et ceuxci peuvent être éventuellement combinés. Le générateur d'acide (Bl) inclut de préférence une combinaison d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bla-1) à la formule (Bla-3) et de la formule (Bla-7) à la formule (Bla-16), la formule (Bla-18), la formule (Bla-19) et
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BE2018/5779 la formule (Bla-22) à la formule (Bla-34) avec un cation (b2-l) ou un cation (b2-3).
[0078]
Le générateur d'acide (Bl) inclut de préférence ceux représentés par la formule (Bl-1) à la formule (Bl-48). Parmi ces générateurs d'acide, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés et ceux représentés par la formule (Bl-1) à la formule (Bl-3), la formule (Bl-5) à la formule (Bl-7), la formule (Bl-11) à la formule (Bl-14), la formule (Bl-20) à la formule (Bl-26), la formule (Bl-29) et la formule (Bl-31) à la formule 10 (Bl-48) sont particulièrement préférés.
[0080]
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[0081]
[0082]
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[0083]
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[0084]
Quand le sel (I) et le générateur d'acide (B) sont inclus comme 5 générateur d'acide, un rapport de la teneur du sel (I) et de celle du générateur d'acide (B) (rapport en masse; sel (I)générateur d'acide (B)) est habituellement 1:99 à 99:1, de préférence 2:98 à 98:2, de préférence encore 5:95 à 95:5, de préférence encore 10:90 à 90:10, et de manière particulièrement préférée 15:85 à 85:15.
[0085]
Composition de résist>
La composition de résist de la présente invention inclut un générateur d'acide incluant un sel (I) et une résine ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois résine (A)). Le groupe
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BE2018/5779 labile en milieu acide signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, en convertissant ainsi une unité constitutive en une unité constitutive ayant un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist de la présente invention inclut de préférence un agent de désactivation comme un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (dans la suite appelé parfois agent de désactivation (« quencher ») (C)), et inclut de préférence un solvant (dans la suite appelé parfois solvant (E)).
Dans la composition de résist de la présente invention, la teneur du générateur d'acide est de préférence 1 partie en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 3 parties en masse ou plus et 35 parties en masse ou moins, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A) mentionnée ultérieurement.
[0086] <Résine (A)>
La résine (A) inclut une unité structurelle qui n'a pas d'atome d'halogène et a un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al)). Il est préféré que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al). Les exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) incluent une unité structurelle n'ayant pas d'atome d'halogène et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois unité structurelle (s)), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) et l'unité structurelle (s) (par exemple une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a4)), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a5))) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0087] <Unité structurelle (al)>
L'unité structurelle (al) est dérivée d'un monomère ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois monomère (al)).
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Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite aussi appelé groupe (1)) et/ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite aussi appelé groupe (2)):
où, dans la formule (1), Ral, Ra2 et Ra3 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, ou Ral et Ra2 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone auxquels ils sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment 0 ou 1, et au moins l'un de ma et na représente 1, et * représente une liaison:
Ra1' * -V-C-J-O--X—Ra3 (2) \ /na' Ra2' où, dans la formule (2), Ral* et Ra2* représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, Ra3' représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou Ra2' et Ra3’ sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels ils sont liés, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné et le cycle hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou -S-,
X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na' représente 0 ou 1, et
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BE2018/5779 * représente une liaison.
[0088]
Les exemples de groupe alkyle dans Ral, Ra2 et Ra3 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans Ral, Ra2 et Ra3 peut être monocyclique et polycyclique. Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour Ra 1 à Ra3 est de préférence 3 à 16.
Le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle avec un groupe
hydrocarboné alicyclique inclut, par exemple, un groupe
méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe
méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe
adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe
norbornyléthyle et analogues.
De préférence, ma est 0 et na est 1.
Quand Ral et Ra2 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique, les exemples de -C(Ral)(Ra2)(Ra3) incluent les cycles suivants. Le cycle hydrocarboné non aromatique a de préférence 3 à 12 atomes de carbone. * représente un site de liaison à O-.
Ra3
Ra3
Ra3
Ra3
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Les exemples de groupe hydrocarboné dans Ral', Ra2' et Ra3' incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Les exemples de groupe alkyle et de groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont les mêmes que mentionné dans Ral, Ra2 etRa3.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Les exemples de groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), un groupe arylcycloalkyle comme un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand Rar et Ra3' sont liés l’un à l'autre pour former un cycle hétérocyclique ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels ils sont liés, les exemples de -C(Ral )(Ra3 )-X-Ra2’ incluent les cycles suivants. * représente une liaison.
Parmi Ral et Ra2', au moins l'un est de préférence un atome d'hydrogène.
na' est de préférence 0.
[0090]
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Les exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), Ral, Ra2 et Ra3 sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), Ral et Ra2 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels ils sont liés, Ra3 est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1. Un groupe où, dans la formule (1), Ral et Ra2 sont chacun indépendamment un groupe alkyle, Ra3 est un groupe adamantyle, ma = 10 0 et na = 1.
Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une liaison.
Yb y6 y6 Yb vb Yb
Yb Yb γφ -Yb ‘bb •Yb -Yb -Yb -Yt -yy [0091]
Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente une liaison.
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[0092]
[0093]
Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0094]
Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont cités de préférence à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (al) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0095]
L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (al-0) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al-0)),
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BE2018/5779 une unité structurelle représentée par la formule (a 1-1) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (al-2) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al-2)). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison.
Ra°1
Ra02
H2 C )=0 J |_a01 __R a 03
(a1-1)
01-2)
Ra04 (a1-0)
Dans la formule (al-0), la formule (al-1) et la formule (al-2),
La01, Lal et La2 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O(CH2 )k 1 -CO-O-, kl représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-,
Ra 01, Ra4 et Ra5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra°2, Ra03 et Ra04 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes,
Ra 6 et Ra7 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, ml représente un entier de 0 à 14, ni représente un entier de 0 à 10, et ni' représente un entier de 0 à 3.
[0096]
Ra 01, Ra4 et Ra 5 sont de préférence un groupe méthyle.
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La01, Lal et La2 sont de préférence un atome d'oxygène ou *-O(CH2)koi-CO-0- (dans lequel kOl est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et de préférence encore un atome d'oxygène.
Les exemples de groupe alkyle, de groupe hydrocarboné alicyclique et de groupes obtenus en combinant ces groupes dans Ra02,Ra03,Ra04, Ra 6 et Ra 7 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Ra 1 à Ra3 de la formule (1).
Le nombre d'atomes de carbone de groupe alkyle dans Ra02, Ra03, et Ra04 est de préférence 1 à 6, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le nombre d'atomes de carbone de groupe alkyle dans Ra6 et Ra7 est de préférence 1 à 6, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle ou un groupe isopropyle, et de préférence encore un groupe éthyle ou un groupe isopropyle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique dans Ra02, Ra03, Ra04, Ra6 et Ra7 est de préférence 5 à 12, et de préférence encore 5 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence 18 ou moins.
Ra°2 et Rao3 sont préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Ra04 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
Ra6 et Ra7 sont chacun indépendamment de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle ou un groupe isopropyle, et de préférence encore un groupe éthyle ou un groupe isopropyle.
ml est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
ni est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
ni' est de préférence 0 ou 1.
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BE2018/5779 [0097]
L'unité structurelle (al-0) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-0-1) à la formule (al0-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra01 dans l'unité structurelle (al-0) est substitué avec un atome d'hydrogène et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-0-1) à la formule (al-0-10).
(a1-0-2)
(a1-0-3)
(a 1-0-4)
(a1-0-5)
(a 1-0-6)
[0098]
L'unité structurelle (al-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646
A. Parmi ces unités structurelles, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-1-1) à la formule (al-1-4) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra4 dans l'unité structurelle (al-1) est substitué avec un atome d'hydrogène sont préférées, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-1-1) à la formule (al-1-4) est préférée encore.
(a1-1-1)
(a1-1-3)
(a1-1-4)
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BE2018/5779 [0099]
Les exemples d'unité structurelle (al-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a 1-2-1) à la formule (al-2-6) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra5 dans l'unité structurelle (al-2) est substitué avec un atome d'hydrogène, et les unités structurelles représentées par la formule (al-2-2), la formule (al-2-5) et la formule (al-2-6) sont préférées.
(a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) [0100]
Quand la résine (A) inclut une unité structurelle (al-0) et/ou une unité structurelle (al-1) et/ou une unité structurelle (al-2), leur teneur totale est habituellement 10 à 95 mol%, de préférence 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 25 à 70 mol%, et de préférence encore 30 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0101]
Dans l'unité structurelle (al), les exemples d'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (al-4) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al-4)):
Ra32
CH2
Ra34 —O-Ra36 (a1-4) pa35 où, dans la formule (al-4),
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Ra32 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène,
Ra33 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy.
la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de Ra33 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et
Ra34 et Ra35 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, Ra36 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou Ra35 et Ra36 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -CO- auquel ils sont liés, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par -O- ou -S-. [0102]
Les exemples de groupe alkyle dans Ra32 et Ra33 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Les exemples d'atome d'halogène dans Ra32 et Ra33 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle, un
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BE2018/5779 groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
Les exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Parmi ces groupes, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone est préféré, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy sont préférés encore, et un groupe méthoxy est préféré encore.
Les exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Les exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues.
Les exemples de groupe hydrocarboné dans Ra34, Ra35 et Ra36 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes, et les exemples de groupe alkyle et de groupe hydrocarboné alicyclique incluent les mêmes groupes que le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique dans Ra02, Ra03, Ra04, Ra6 et Ra7.
Les exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Les exemples de groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), un groupe arylcyclohexyle comme un groupe phénylcyclohexyle et analogues. En particulier, les exemples de Ra36 incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou les groupes obtenus en combinant ces groupes.
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BE2018/5779 [0103]
Dans la formule (al-4), Ra32 est de préférence un atome d'hydrogène,
Ra33 est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy et un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy, la est de préférence 0 ou 1, et de préférence encore 0,
Ra34 est de préférence un atome d'hydrogène, et
Ra35 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné pour Ra36 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou les groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aliphatique alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique dans Ra36 sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans Ra36 est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
Dans l'unité structurelle (al-4), -O-C(Ra34)(Ra35)-O-Ra36 est éliminé par contact avec un acide (par exemple l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
[0104]
L'unité structurelle (al-4) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646
A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (al-4-1) à la formule (al-4-8) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à Ra32 dans l'unité constitutive (al-4) est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore les unités structurelles représentées par la formule (al-4-1) à la formule (al-4-5).
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(a1-4-7)
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (al-4), la teneur est de préférence 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de 5 préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de manière particulièrement préférée 20 à 60 mol%, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0105]
L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant 10 un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (al-5) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (al-5)).
(a1-5)
Dans la formule (al-5),
Ra8 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène,
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Zal représente une simple liaison ou *-(CH2)h3-CO-L54-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente un site de liaison à L51,
L51, L52, L53 et L54 représentent chacun indépendamment -O- ou -s-, si représente un entier de 1 à 3, et si' représente un entier de 0 à 3.
[0106]
L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor. Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (al-5), Ra8 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle,
L51 est de préférence un atome d'oxygène,
L'un de L52 et L53 est de préférence -O- et l'autre est de préférence -S-, si est de préférence 1, si' est de préférence un entier de 0 à 2, et
Zai est de préférence une simple liaison ou *-CH2-CO-O-.
[0107]
L'unité structurelle (al-5) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (al-5-1) à la formule (al-5-4) sont préférées, et les unités structurelles représentées par la formule (al-5-1) ou la formule (al-5-2) sont préférées encore.
(a 1-5-1) (a 1-5-2) (a 1-5-3) (a 1-5-4)
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Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a 1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0108]
L'unité structurelle (al) inclut aussi les unités structurelles suivantes.
(a1-3-6) (a1-3-7)
Quand la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées cidessus comme (a 1-3-1) à (a 1-3-7), la teneur est de préférence 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de manière particulièrement préférée 20 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0109] <Unité structurelle (s)>
L'unité structurelle (s) est dérivée d'un monomère n'ayant pas d'atome d'halogène et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois monomère (s)). Il est possible d'utiliser, comme monomère duquel l'unité structurelle (s) est dérivée, un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine des résists.
L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Quand une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a2)) et/ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a3)) est utilisée dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhésion à un substrat.
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BE2018/5779 [0110] <Unité structurelle (a2)>
Le groupe hydroxy possédé par l'unité structurelle (a2) peut être un groupe hydroxy alcoolique ou un groupe hydroxy phénolique.
Quand un motif de résist est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, dans le cas de l’utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie comme un laser excimère à KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou de la lumière ultraviolette extrême (UVE), il est préféré d'utiliser une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique comme unité structurelle (a2). Quand on utilise un laser excimère à ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est de préférence encore utilisé une unité structurelle (a2-l) mentionnée ultérieurement. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[OUI]
Dans l'unité structurelle (a2), les exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a2-A)):
(a2-A) où, dans la formule (a2-A),
Ra50 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène,
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Ra51 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,
Aa50 représente une simple liaison ou *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-, et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -Ra50 est lié,
Aa52 représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Xa51 et Xa52 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de Ra51 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0112]
Les exemples d'atome d'halogène dans Ra50 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène dans Ra50 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe
1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle.
Ra50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Les exemples de groupe alkyle dans Ra51 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un
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BE2018/5779 groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Les exemples de groupe alcoxy dans Ra51 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone est préféré, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy est préféré encore, et un groupe méthoxy est préféré encore.
Les exemples de groupe alkylcarbonyle dans Ra51 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Les exemples de groupe alkylcarbonyloxy dans Ra51 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy.
Ra 51 est de préférence un groupe méthyle.
[0113]
Les exemples de *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb- incluent *-O-, *-CO-O-, *O-CO-, *-CO-O-Aa 5 2 -CO-O-, *-O-CO-Aa 5 2-O-, *-O-Aa 5 2-CO-O-, *-CO-OAa52-O-CO- et *-O-CO-Aa 5 2 -O-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-OAa 5 2-CO-O- ou *-O-Aa 5 2-CO-O- est préféré.
Les exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-1,2diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe butane-l,3-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle.
Aa52 est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Aa50 est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-OAa 5 2-CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-COO-CH2 -CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
mb est de préférence 0,1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de manière particulièrement préférée 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position o ou la position p d'un cycle benzène, et de préférence encore la position p. [0114]
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Les exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A.
Les exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-l) à la formule (a2-2-4), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a22-1) à la formule (a2-2-4). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-l), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans l'unité structurelle représentée par la formule (a2-2-l) ou l'unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3).
(a2-2-3)
Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles.
La résine (A) qui comprend en outre l'unité structurelle représentée par la formule (a2-A) peut être préparée, par exemple, par polymérisation de la résine (A) en utilisant l'unité structurelle représentée par la formule (al-4) et réaction supplémentaire avec un acide comme l'acide ptoluènesulfonique. La résine (A) qui comprend en outre l'unité structurelle représentée par la formule (a2-A) peut être préparée par polymérisation
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BE2018/5779 de la résine (A) au moyen de l'acétoxystyrène et réaction supplémentaire avec un alcali comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium.
[0115]
Les exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l'unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-l) (dans la suite appelée parfois unité structurelle (a2-l)).
Dans la formule (a2-l),
La3 représente -O- ou *-O-(CH2)k2-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison a -CO-,
Ra 14 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, r3 15 et Rai6 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et ol représente un entier de 0 à 10.
Dans la formule (a2-l), La3 est de préférence -O- ou -O-(CH2)fiCO-O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-,
Ral4 est de préférence un groupe méthyle,
Ra 15 est de préférence un atome d'hydrogène,
Ral6 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0116]
L'unité structurelle (a2-l) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule
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BE2018/5779 (a2-l-l) à la formule (a2-l-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-l-l) à la formule (a21-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-l-l) ou la formule (a2-l-3) est préférée encore.
OH
OH (a2-1-5)
OH (a2-1-6)
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-l), la teneur est habituellement 1 à 45 mol%, de préférence 1 à 40 mol%, de préférence encore 1 à 35 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 2 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0117] <Unité structurelle (a3)>
Le cycle lactone possédé par l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle ß-propiolactone, un cycle ybutyrolactone ou un cycle δ-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle ybutyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure de cycle γ-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple.
L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-l), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses:
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(a3-1) (a3-2) (a3-3) (aM) où, dans la formule (a3-l), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4),
La4, La5 et La6 représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CH2)k3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7),
La7 représente -O-, *-O-La8-O-, *-O-La8-CO-O-, *-O-La8-CO-OLa9-CO-O- ou *-O-La 8-O-CO-La 9-O-,
La8 et La9 représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle,
Ral8, Ral9 et Ra20 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra24 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, ou bien Ra24 représente un atome d'hydrogène ou encore Ra24 représente un atome d'halogène,
Xa3 représente -CH2- ou un atome d'oxygène,
Ra21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone,
Ra22, Ra23 et Ra25 représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, pl représente un entier de 0 à 5, ql représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, wl représente un entier de 0 à 8, et quand pl, ql, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de Ra21, Ra22, Ra23 et/ou rs25 peuvent êfre identiques ou différents les uns des autres.
[0118]
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Les exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans Ra21, Ra22, Ra23 et Ra25 incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Les exemples d'atome d'halogène dans Ra24 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Les exemples de groupe alkyle dans Ra24 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Les exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans Ra24 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotertbutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
Les exemples de groupe alcanediyle dans La8 et La9 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe butane-1,3diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-
1,2-diyle, un groupe penta ne-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4diyle.
[0119]
Dans la formule (a3-l) à la formule (a3-3), de préférence, La4 à La6 sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)k3-CO-O-, de préférence encore -O- et *O-CH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène,
Ral8 Razi sont préférence un groupe méthyle, de préférence, Ra22 et Ra23 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, ql et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
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Dans la formule (a3-4), Ra24 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra25 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle,
La7 est de préférence -O- ou *-O-La 8-CO-O-, et de préférence encore -O-, -O-CH2-CO-O- ou -O-C2 H4-CO-O-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3-
4)':
Ra24
(a3-4)' où Ra24 et La7 sont les mêmes que défini ci-dessus.
[0120]
Les exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-l-l), la formule (a3-l-2), la formule (a3-2-l), la formule (a32-2), la formule (a3-3-l), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-l) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant àRal8,Ral9,Ra2° et Ra24 dans la formule (a3-l) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
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[0121]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement 5 à 70 mol%, de préférence 10 à 65 mol%, et de préférence encore 10 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-l), l'unité structurelle (a32), l'unité structurelle (a3-3) ou l'unité structurelle (a3-4) est de préférence 5 à 60 mol%, de préférence encore 5 à 50 mol%, et de préférence encore 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0122] <Unité structurelle (a4)>
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Les exemples d'unité structurelle (a4) incluent les unités structurelles suivantes:
(a4) où, dans la formule (a4),
R41 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et
R42 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé représenté par R42 incluent a un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle. Les exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Les exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés
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BE2018/5779 saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0123]
Les exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par au moins une choisie dans le groupe consistant en la formule (a4-0), la formule (a4-l), la formule (a4-2), la formule (a4-3) et la formule (a4-4):
(a4-0) où, dans la formule (a4-0),
R54 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L4a représente une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone,
L3a représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et
R6 représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
Les exemples de groupe alcanediyle dans L4a incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle et un groupe butane-l,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-l,l-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle.
Les exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L3a incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoroéthylfluorométhylène, un groupe perfluoropropane-l,3-diyle, un groupe perfluoropropane-l,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle,
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BE2018/5779 un groupe perfluorobutane-l,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-l,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane-
3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-l,6-diyle, un groupe perfluorohexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-l,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4diyle, un groupe perfluorooctane-l,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2diyle, un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4diyle et analogues.
Les exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L3a incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe perfluorocyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0124]
L4a est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3a est de préférence un groupe periluoroaIcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0125]
Les exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R54 dans l'unité structurelle (a4-0) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène:
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(a4-0-9)
[0126]
[0127]
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où, dans la formule (a4-l),
Ra41 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra42 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Aa41 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-gl), dans lequel au moins l'un de Aa41 et Ra42 a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor):
*----Aa42· a43_j—ya42_^a44—* (a-g1) 'S [dans lequel, dans la formule (a-gl), s représente 0 ou 1,
Aa42 et Aa44 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
Aa43 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
Xa41 et Xa42 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, CO-O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de Aa42, Aa43, Aa44,Xa41 etXa42 est 7 ou moins], et * est un site de liaison et * sur le côté droit représente un site de liaison à -O-CO-Ra42.
[0128]
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Les exemples de groupe hydrocarboné saturé dans Ra42 incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
Les exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle. Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Les exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
Les exemples de substituant qui peut être possédé par Ra42 incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Les exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préféré:
*---Xa«_Aa45 (a^3) où, dans la formule (a-g3),
Xa43 représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-OCO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à Ra42),
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Aa45 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, et * représente une liaison.
Dans Ra42-Xa43-Aa45, quand Ra42 n'a pas d'atome d'halogène, Aa45 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé dans Aa45 incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et le groupe suivant (* représente une liaison).
[0129]
Ra42 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé qui peut avoir un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Les exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Les exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues.
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de Ra42 est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou
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BE2018/5779 moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a-g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1. [0130]
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), Ra42 est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2):
(a-g2) où, dans la formule (a-g2),
Aa46 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène,
Xa44 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à Aa46),
Aa47 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de Aa46, Aa47 et Xa44 est 18 ou moins, et au moins l'un de Aa46 et Aa47 a au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle. [0131]
Le nombre d'atomes de carbone de groupe hydrocarboné saturé pour Aa46 est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone de groupe hydrocarboné saturé pour Aa47 est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et Aa47 est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
La structure préférée du groupe représenté par la formule (a-g2) est la structure suivante (* représente un site de liaison à un groupe carbonyle).
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[0132]
Les exemples de groupe alcanediyle dans Aa41 incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle et un groupe hexane-l,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe 1méthylbutane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle.
Les exemples de substituant dans le groupe alcanediyle représenté par Aa41 incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Aa41 est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène. [0133]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Aa42, Aa43 et Aa44 dans le groupe représenté par la formule (a-gl) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique, et les groupes hydrocarbonés saturés divalents formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe l-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle et analogues.
Les exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Aa42, Aa43 et Aa44 incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
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BE2018/5779 s est de préférence 0.
[0134]
Dans un groupe représenté par la formule (a-gl), les exemples de groupe dans lequel Xa42 est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les 5 groupes suivants. Dans les exemples donnés dans la suite, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** représente un site de liaison à-O-CO-Ra42.
[0135]
Les exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-l) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Aa41 dans l'unité 15 structurelle représentée par la formule (a4-l) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
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(a4-1-1 >
(a4-1-7)
(a4-1-8)
(a4-1-10)
[0136]
(a4-1-7) (a4-1'-8) (a4-1'-9) (a4-1’-10) (a4-1'-11)
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BE2018/5779 [0137]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-l) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a4-2):
(a4-2) où, dans la formule (a4-2),
Rf5 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L44 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Rf6 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et
La limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L44 et Rf6 est 21.
Les exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pour L44 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Aa41.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé pour Rf6 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Ra42.
Le groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone dans L44 est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0138]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-l-l) à la formule (a4-l-ll). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Rf5 dans l'unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est aussi citée à titre d'exemple d'unité structurelle représentée par la formule (a4-2):
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(a4-3) où, dans la formule (a4-3),
Rf7 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L5 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Afl3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un atome de fluor,
Xfl2 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à Afl3),
Afl4 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone qui peut avoir un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Afl4 a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Afl3 et Afl4 est 20.
[0139]
Les exemples de groupe alcanediyle dans L5 incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés dans le groupe alcanediyle pour Aa41.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent qui peut avoir un atome de fluor dans Afl3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent qui peut avoir un atome de fluor et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent qui peut avoir un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent qui peut avoir un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes
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BE2018/5779 perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent qui peut avoir un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique. Les exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexanediyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Les exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0140]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé qui peut avoir un atome de fluor pour Afl4 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Ra42. Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe
1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0141]
Dans la formule (a4-3), L5 est de préférence un groupe éthylène.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent pour Afl3 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 2 à 3 atomes de carbone.
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Le groupe hydrocarboné saturé pour Afl4 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, Afl4est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0142]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-l-1) à la formule (a4-l'-ll). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Rf7 dans l'unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est aussi citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par la formule (a4-3).
[0143]
Il est aussi possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4):
(a4-4) où, dans la formule (a4-4),
Rf21 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, Af 21 représente -(CH2 )j i -, -(CH2 )j 2 -O-(CH2 )j 3 - ou -(CH2 )j 4 -CO-O(CH2)j5-, jl à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et
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Rf22 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé pour Rf22 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par Ra42. Rf22 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
Dans la formule (a4-4), Af21 est de préférence -(CH2)ji-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0144]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Rf21 dans l'unité structurelle (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de
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BE2018/5779 préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0145] <Unité structurelle (a5)>
Les exemples de groupe hydrocarboné non partant possédé par l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique.
L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-l):
Q ]_55 r5Z2 où, dans la formule (a5-l),
R51 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R52 représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et
L55 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-. [0146]
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R52 peut être monocyclique ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
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Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Les exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-hydroxyadamantyle, un groupe 3méthyladamantyle et analogues.
R52 est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle. [0147]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L55 incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Les exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Les exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent polycyclique incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle. [0148]
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L55 est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (Ll-1) à la formule (Ll-4). Dans les formules suivantes, * représente un site de liaison à un atome d'oxygène.
(L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4)
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Dans la formule (Ll-1),
Xx 1 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison àLxl),
Lx 1 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone,
Lx2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de LX1 et Lx2 est 16 ou moins.
Dans la formule (Ll-2),
Lx3 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone,
Lx4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx3 et Lx4 est 17 ou moins.
Dans la formule (Ll-3),
Lx5 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone,
Ι_χ6 et |_x7 représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx5, Lx6 et Lx7 est 15 ou moins.
Dans la formule (Ll-4),
Ι_χ8 et [_x9 représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone,
WX1 représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx8, Lx9 et WX1 est 15 ou moins.
LX1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
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Lx2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
Lx3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx4 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx5 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Lx6 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Lx7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
Lx9 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
WX1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0149]
Le groupe représenté par la formule (Ll-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
[0150]
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Le groupe représenté par la formule (Ll-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
[0152]
Le groupe représenté par la formule (Ll-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
[0153]
Le groupe représenté par la formule (Ll-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
L55 est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (Ll-1).
[0154]
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Les exemples d'unité structurelle (a5-l) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R51 dans l'unité structurelle (a5-l) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
(a5-1-4) (a5-1-5) (a5-1-6)
(a5-1-9) (85-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12) [0155]
(a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18)
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0156] cUnité structurelle (II)>
La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite appelée parfois unité structurelle (II)). Des exemples spécifiques d'unité structurelle (II) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans
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BE2018/5779 une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A'):
où, dans la formule (11-2-^,
X1113 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy,
AX1 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
RA' représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate,
R1113 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, et
ZA+ représente un cation organique.
[0157]
Les exemples d'atome d'halogène représenté par R1113 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène représenté par R1113 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène représenté par Ra8.
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Les exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par AX1 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe éthane-1,1diyle, un groupe propane-l,l-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle et analogues. [0158]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X1113 incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-
1,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe heptane-l,7-diyle, un groupe octane-l,8-diyle, un groupe nonane-1,9diyle, un groupe décane-l,10-diyle, un groupe undécane-l,ll-diyle et un groupe dodécane-l,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2méthylbutane-l,4-diyle; les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-l,3-diyle, un groupe cyclopentane-l,3-diyle, un groupe cyclohexane-l,4-diyle et un groupe cyclooctane-l,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-l,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-l,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
Ceux dans lesquels -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (XI) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * représente un site de liaison à Ax 1.
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.'°’X3' .'S’X3 0 Yx3' ,Ο^Χ3 χ ï · 0 Αθ-Χ3, *'X4-O'X3' *'X4'S'X3' 0 *'χΑχ3' -Χ4'°γχ3 0
(X1) (X2) (X3) (X4) (X5) (Χ6) {X7) (X8) (X9)
0 O'X4'°'X3' .'O'X 4'S-X3' ? .'°' *·Ό'χ4ΑΧ3' x4'°Yx- 0 0 φχθ.χ4Αο .XL
(X10) (xi 1) (X12) (X13) (X14) (X15)
χ5-Ο-χ4-θ·χ3•X5'O'X4'S'X3· (X16) [0159] o
(XV)
Ο Χ5'Ο-Χ4ΑΧ3· (Χ18) χ5-θ-χ4-θγΧ>
Ο (Χ19) χ5'υ'χ4'^τ (Χ20)
-Ογχ<ο-χ1 o (X21) (X22) (X23) ’a-W3
O o (Χ2Θ) [0160] o o .ΫοΎ/Ϋ (X34)
Xs o
'γχ1οΛχ3· o (X24)
O 'Ya'OAX3' O (X29) °yxV0'
O O (X25) χ5'°γΥ-χ3
Ο (Χ26) ογχγο'χ3' fl ο ο .
(Χ30) I „ X3 . JL χ3 (X31) (X32) •x5'°Yx4's-x' o
(X27)
O
ArV o (X33) ,χ3 J
I Λ(Χ35) rXV' (X36) (Χ37)
O Λο-χ5Ό'χΌ'χ3' (X41)
O
Ο XO-X'S'XO'X' (Χ42) Λ0-χ4γχo (X38)
O
Λγ5 γ4 γ3 0.χ.0'Λγχ'· Ο (Χ43) (Χ39)
Ο Λο-χγ°'Χ3' ο (Χ40)
Ο Ο
Ad'X'cAx4'°'X3· (Χ44)
Ο .°.χ7Α0·
O (X45)
X3 (X46) .0.,,7-Sx, (X49) χ8,Ο.χ7.Ο.χ6 ·χχβΧλχ7-8.χ6 (Χ47) χ-Ο'χ-ΟγΧ6
X8'°'X7 (X50) (X51) <X52) (X53) [0161]
X3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone.
X4 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone.
X5 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
X6 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
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X7 représente a trivalent groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X8 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0162]
Les exemples de cation organique représenté par ZA+ incluent ceux qui sont les mêmes que le cation dans le générateur d'acide (Bl).
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A') est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
(II-2-A) où, dans la formule (II-2-A), R1113, X1113 et ZA+ sont les mêmes que défini ci-dessus, z représente un entier de 0 à 6,
R1112 et R1114 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z est 2 ou plus, une pluralité de R1112 et R1114 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et
Qa et Qb représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Les exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par R1112, R1114, Qa et Qb incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par Q1.
[0163]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1):
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où, dans la formule (II-2-A-1),
R1112, R1113, R1114, Qa, Qb, z et ZA+ sont les mêmes que défini cidessus,
R1115 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, et
X12 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
[0164]
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par R1115 incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Les exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par X12 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par X1113.
[0165]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-2):
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où, dans la formule (II-2-A-2), R1113, R1115 et ZA+ sont les mêmes que défini ci-dessus, et m et n représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
[0166]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-AQ inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA+ représente un cation 10 organique.
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[0167]
SO3' ZA+ F
SO3' ZA+
SO3‘ ZA+ F--F
SO3- ZA+
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L'unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-l-l):
/ R114 \ —^CH2 Λ j RII3 O1-1’1) (y O—A111—R111_±S^ XR2
A1 où, dans la formule (II-l-l),
A111 représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent,
R111 représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant à 18 atomes de carbone,
R112 et R113 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, R112 et R113 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
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R114 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène, et
Al représente un anion organique.
[0169]
Le groupe de liaison divalent représenté par A111 inclut, par exemple, un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X1113.
Les exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R111 incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Les exemples du groupe alcoxy qui est le substituant du groupe hydrocarboné à chaîne, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et du groupe hydrocarboné à chaîne représenté par R112 et R113, de l'atome d'halogène qui est le substituant du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et du groupe hydrocarboné alicyclique, et de l'atome d'halogène ou du groupe alcoxy qui est le substituant du groupe hydrocarboné aliphatique, du groupe alkylcarbonyle et du groupe hydrocarboné aromatique incluent ceux qui sont les mêmes que Rb4 à Rb6 mentionnés dans la formule (b2-
1) ci-dessus.
Les exemples d'atome d'halogène représenté par R114 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Les exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène représenté par R114 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène représenté par Ra8.
[0170]
Les exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-l-l) incluent les unités structurelles suivantes.
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[0171]
[0172]
Les exemples d'anion organique représenté par AI' incluent un anion d'acide sulfonique, un anion de sulfonylimide, un anion de sulfonylméthide et un anion d'acide carboxylique. L'anion organique représenté par ΑΓ est de préférence un anion d'acide sulfonique, et les
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BE2018/5779 exemples d'anion d'acide sulfonique incluent ceux qui sont les mêmes que l'anion A* dans le sel (I).
[0173]
Les exemples d'anion de sulfonylimide représenté par AI’ incluent 5 les suivants.
çf3
O2S CF3 / ° O2S-CF2 L O2S CF2 O2S CF2 F2 o2s—c
ï T f I- ï /CF2
O2S-CF3 O2S~ CF2 cf3 O2S~ΟΕ2 f2c-cf2 CF·, I o2s—cf2 O2S cf2
(l-b-1) (l-b-2) (l-b-3) (l-b-4) (l-b-5)
[0174]
Les exemples d'anion de sulfonylméthide incluent les suivants.
O2S—CF3 O2 f3c-s —ç o2s-cf3
c η θ2§ CF2 F2 O2 |_ F3C-C -s —c
O2S-CF2 [0175]
Les exemples d'anion d'acide carboxylique incluent les suivants.
[0176]
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Les exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-l-
1) incluent les unités structurelles suivantes.
Quand l'unité structurelle (II) est incluse dans la résine (A), la 10 teneur de l'unité structurelle (II) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0178]
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La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles mentionnées ci-dessus, et les exemples de telles unités structurelles incluent des unités structurelles bien connues dans la technique.
La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (al) et d'une unité structurelle (s), c'est à dire un copolymère d'un monomère (al) et d'un monomère (s).
L'unité structurelle (al) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (al-0), une unité structurelle (al-1) et une unité structurelle (al-2) (de préférence l'unité structurelle ayant un groupe cyclohexyle, et un groupe cyclopentyle), et de préférence encore au moins deux.
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-l) ou la formule (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-l), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence 2000 ou plus (de préférence encore 2500 ou plus, et de préférence encore 3000 ou plus), et 50000 ou moins (de préférence encore 30000 ou moins, et de préférence encore 15000 ou moins). Dans la présente description, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel dans les conditions mentionnées dans les exemples.
[0179]
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BE2018/5779 <Résine autre que la résine (A)>
La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Les exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (al), une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et les unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5), et de préférence encore une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
Quand la composition de résist de la présente invention inclut la résine (A2), la teneur est habituellement 1 à 2500 parties en masse (de préférence encore 10 à 1000 parties en masse) sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties
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BE2018/5779 en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de manière particulièrement préférée 1 à 30 parties en masse, et de manière particulièrement préférée 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0180]
La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Dans la présente description, composant solide de la composition de résist signifie la quantité totale de composants obtenus en retirant un solvant (E) mentionné ultérieurement de la quantité totale de la composition de résist. Le composant solide de la composition de résist et la teneur de la résine peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0181] <Solvant (E)>
La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
Les exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2-heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la γ-butyrolactone. Le
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BE2018/5779 solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0182] <Agent de désactivation (C) (« quencher »)>
Les exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique, et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir d'un générateur d'acide (B). La teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 5% en masse sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist.
Les exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Les exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Les exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire.
Les exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la Ν,Ν-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la dicyclohexylméthylamine, la tris[2-(2méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4'-diamino-l,2diphényléthane, le 4,4'-diamino-3,3'-diméthyldiphénylméthane, le 4,4'diamino-3,3'-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2di(2-pyridyl)éthane, le l,2-di(4-pyridyl)éthane, le l,2-di(2-pyridyl)éthène, le l,2-di(4-pyridyl)éthène, le l,3-di(4-pyridyl)propane, le l,2-di(4
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BE2018/5779 pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4-dipyridyle, le disulfure de 4,4'-dipyridyle, la 2,2'-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence les amines aromatiques comme la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline.
Les exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, l'hydroxyde de tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3(trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-nbutylammonium et la choline.
[0183]
L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5.
Les exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois sel interne d'acide faible (D), et les sels mentionnés dans JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A. Le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est de préférence un sel interne d'acide faible (D).
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[0184]
Les exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels 5 suivants.
COO COO COO COO COO \
0-0 0—0 0—0 w^i_0—
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Quand la composition de résist inclut l'agent de désactivation (C), la teneur de l'agent de désactivation (C) dans le composant solide de la composition de résist est habituellement 0,01 à 5% en masse, et de préférence 0,01 à 3% en masse.
[0185] <Autres composants>
La composition de résist de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois autres composants (F)). Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0186] <Préparation de composition de résist>
La composition de résist de la présente invention peut être préparée par mélange d'un sel (I) et d'une résine (A), et si nécessaire, d'un générateur d'acide (B), de résines autres que la résine (A), d'un solvant (E), d'un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. Il est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation.
Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 μm.
[0187] <Procédé pour produire un motif de résist>
Le procédé pour produire un motif de résist de la présente invention inclut:
(1) une étape d'application de la composition de résist de la présente invention sur un substrat,
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BE2018/5779 (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge. Les exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé précuisson) ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 105 Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à F2 (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement exposition. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source
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BE2018/5779 d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé cuisson de post-exposition) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Les exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes, un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Les exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois solution de développement organique) est utilisée comme solution de développement.
Les exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 22018/5779
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BE2018/5779 hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,Ndiméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté par remplacement par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester. Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0188] <Application>
La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF,
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BE2018/5779 une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux UVE, en particulier une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semiconducteurs.
Exemples [0189]
La présente invention va être décrite plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisés dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une value déterminée par chromatographie par perméation de gel. Les conditions d'analyse de la chromatographie par perméation de gel sont comme suit.
Colonne: TSKgel Multipore IIXL-M x 3+colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION)
Éluant: tétrahydrofurane
Débit: 1,0 mL/min
Détecteur: détecteur RI
Température de la colonne: 40°C
Quantité d'injection: 100 pl
Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc., spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par MASSE.
[0190]
Exemple 1: Synthèse du sel représenté par la formule (1-5)
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(l-5-a)
(l-5-b) (l-5-d) (l-5-e)
1,46 partie d'un sel représenté par la formule (I-5-a) et 15 parties de diméthylformamide ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,44 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-b) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation supplémentaire à 50°C pendant 2 heures. Le mélange réactionnel ainsi obtenu a été refroidi à 23°C et 1,86 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-d) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation supplémentaire à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 30 parties de chloroforme et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 30 parties de tertbutylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire pour obtenir 2,80 parties d'un sel représenté par la formule (I-5-e).
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(l-5-f) (i-5-g)
P2O5/CH3SO3H
(l-5-e) (l-5-h)
2,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-5-f), 0,70 partie de pentoxyde de phosphore et 20 parties d'acide méthanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,66 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-g) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 5°C, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 10,74 parties d'ammoniaque ont été ajoutées pour obtenir une solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h). À la solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h) ainsi obtenue, 2,80 parties d'un sel représenté par la formule (I-5-e) et 42 parties de chloroforme ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 50 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 2,63 parties d'un sel représenté par la formule (1-5).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 297,1
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MASSE (spectre ESI (-)): M’ 517,1 [0191]
Exemple 2: Synthèse du sel représenté par la formule (1-29)
(l-29-h)
2,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-5-f), 0,70 partie de pentoxyde de phosphore et 20 parties d'acide méthanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,93 partie d'un composé représenté par la formule (I-29-g) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 5°C, 80 parties d'une solution aqueuse d'hydrogénocarbonate de sodium à 5% ont été ajoutées pour obtenir une solution contenant un sel représenté par la formule (I-29-h). À la solution contenant un sel représenté par la formule (I-29-h) ainsi obtenue, 2,45 parties d'un sel représenté par la formule (I-5-e) et 49 parties de chloroforme ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 25 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 25 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq
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BE2018/5779 fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 50 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 2,49 parties d'un sel représenté par la formule (1-29).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 315,1
MASSE (spectre ESI (-)): Μ 517,1 [0192]
Exemple 3: Synthèse du sel représenté par la formule (1-149)
2,36 parties d'un composé représenté par la formule (I-149-f), 0,70 partie de pentoxyde de phosphore et 20 parties d'acide méthanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,66 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-g) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 5°C, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 10,74 parties d'ammoniaque ont été ajoutées pour obtenir une solution contenant un sel représenté par la formule (I-149-h). À la solution contenant un sel représenté par la formule (I-149-h) ainsi obtenue, 2,80 parties d'un sel représenté par la formule (I-5-e) et 42 parties de chloroforme ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 2 heures,
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BE2018/5779 une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 25 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 25 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 50 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,26 partie d'un sel représenté par la formule (1-149).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 333,1
MASSE (spectre ESI (-)): Μ' 517,1 [0193]
Exemple 4: Synthèse du sel représenté par la formule (1-2)
2,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-5-f), 0,70 partie de pentoxyde de phosphore et 20 parties d'acide méthanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,66 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-g) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 5°C, 10 parties d'eau ayant subi un
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BE2018/5779 échange d'ions et 10,74 parties d'ammoniaque ont été ajoutées pour obtenir une solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h). À la solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h) ainsi obtenue, 1,88 parties d'un sel représenté par la formule (I-2-e) et 40 parties de chloroforme ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 50 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire pour obtenir 2,38 parties d'un sel représenté par la formule (1-2).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 297,1
MASSE (spectre ESI (-)): Μ* 339,1 [0194]
Exemple 5: Synthèse du sel représenté par la formule (1-14)
2,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-5-f), 0,70 partie de pentoxyde de phosphore et 20 parties d'acide
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BE2018/5779 méthanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. À la solution ainsi obtenue, 1,66 partie d'un composé représenté par la formule (I-5-g) a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 5°C, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 10,74 parties d'ammoniaque ont été ajoutées pour obtenir une solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h). À la solution contenant un sel représenté par la formule (I-5-h) ainsi obtenue, 1,80 partie d'un sel représenté par la formule (I-14-e) et 40 parties de chloroforme ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 21 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et 50 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire pour obtenir 2,36 parties d'un sel représenté par la formule (1-14).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 297,1
MASSE (spectre ESI (-)): Μ' 323,1 [0195]
Exemple 6: Synthèse du sel représenté par la formule (1-173)
KIO3 h2so4
NaBr
(I-173-c) (I-173-a) (I-173-b)
15,72 parties d'un composé représenté par la formule (I-173-a), 10 parties d'un composé représenté par la formule (I-173-b), 20 parties d'acide acétique et 15 parties d'anhydride acétique ont été mélangées, ce
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BE2018/5779 qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 10 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées goutte à goutte à 5°C en 20 minutes après quoi la température a été augmentée à 23°C, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 30 parties de tert-butylméthyléther et 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 5 parties de bromure de sodium, 25 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 40 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire pour obtenir 9,62 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-c).
(1-173-c) (CH3)2SO4
ch3so4 (I-173-d)
9,57 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-c), 45 parties de chloroforme et 3,10 parties d'acide diméthylsulfurique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures et une concentration supplémentaire. Au résidu concentré ainsi obtenu, 40 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 8,41 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-d).
ch3so4
(I-173-d) (I-173-e)
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8,33 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-d), 1,98 partie d'un composé représenté par la formule (I-173-e), 50 parties de chloroforme et 0,03 partie d'un composé représenté par la formule (1-173f) ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à reflux à 60°C pendant 12 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 23°C, 20 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 6,01 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-g).
(I-173-g)
(I-173-h)
(1-173)
5,91 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-g), 10,19 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-h) et 40 parties de chloroforme ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures. Au mélange ainsi obtenu, 20 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois, après quoi la couche organique ainsi obtenue a été filtrée. Le filtrat recueilli a été concentré et 45 parties de tertbutylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 7,99 parties d'un sel représenté par la formule (1-173).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 215,1
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MASSE (spectre ESI (-)): M’ 517,1 [0196]
Exemple 7: Synthèse du sel représenté par la formule (1-197)
(I-197-a) (I-173-b) h2so4
NaBr
(I-197-c)
18,38 parties d'un composé représenté par la formule (I-197-a), 10 parties d'un composé représenté par la formule (I-173-b), 20 parties d'acide acétique et 15 parties d'anhydride acétique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 10 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées goutte à goutte à 5°C en 20 minutes et la température a été augmentée à 23°C, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 30 parties de tert-butylméthyléther et 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 5 parties de bromure de sodium, 25 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 40 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire pour obtenir 10,98 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-c).
(I-197-c) (CH3)2SO4
(I-197-d)
10,37 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-c), 45 parties de chloroforme et 3,10 parties d'acide diméthylsulfurique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures et une concentration supplémentaire. Au résidu concentré ainsi obtenu,
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BE2018/5779 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 9,24 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-d).
Cu(AcO)2 (I-173-e) (I-173-f)
8,98 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-d), 1,98 partie d'un composé représenté par la formule (I-173-e), 50 parties de chloroforme et 0,03 partie d'un composé représenté par la formule (1-173f) ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à reflux à 60°C pendant 12 heures. Après refroidissement du mélange réactionnel ainsi obtenu à 23°C, 20 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 6,29 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-g).
6,24 parties d'un sel représenté par la formule (I-197-g), 10,19 parties d'un sel représenté par la formule (I-173-h) et 40 parties de chloroforme ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures. Au mélange ainsi obtenu, 20 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C
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BE2018/5779 pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. À la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois, après quoi la couche organique ainsi obtenue a été filtrée. Le filtrat recueilli a été concentré et 45 parties de tertbutylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 7,12 parties d'un sel représenté par la formule (1-197).
MASSE (spectre ESI (+)): M+ 233,0
MASSE (spectre ESI (-)): Μ' 517,1 [0197]
Synthèse de résine
Les composés (monomères) utilisés dans les synthèses de résine sont montrés ci-dessous. Dans la suite, ces monomères sont appelés monomère (al-1-3) selon le numéro de la formule.
(II-2-A-1-1)
(a1-1-3) (a 1-2-6)
[0198]
Exemple de synthèse 1 [Synthèse de résine Al]
En utilisant un monomère (al-4-2), un monomère (al-1-3), un monomère (al-2-6) et un monomère (II-2-A-1-1) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 35:24:38:3 [monomère (a 1-4-2):monomère (al-l-3):monomère (al-2-6):monomère
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BE2018/5779 (II-2-A-1-1)], et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée à ce mélange de monomères en la quantité de 1,5 fois en masse la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile comme initiateur a été ajouté en la quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, après quoi le mélange a été polymérisé par chauffage à 83°C pendant environ 5 heures. Au mélange réactionnel de polymérisation ainsi obtenu, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée. Après agitation pendant 6 heures, une couche organique a été isolée par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et une collecte pour obtenir une résine Al (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 4,8 x 103 avec un rendement de 78%. Cette résine Al a les unités structurelles suivantes.
A1 [0199]
Exemple de synthèse 2 [Synthèse de résine A2]
En utilisant un monomère (al-4-2), un monomère (al-1-3) et un monomère (a 1-2-6) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:24:38 [monomère (al-4-
2):monomère (al-l-3):monomère (al-2-6)], et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée à ce mélange de monomères en la quantité de 1,5 fois en masse la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile comme initiateur a été ajouté en la quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, après quoi le mélange a été polymérisé par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. Au mélange réactionnel de polymérisation ainsi obtenu, une
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BE2018/5779 solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée. Après agitation pendant 6 heures, une couche organique a été isolée par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi 5 par une filtration et une collecte pour obtenir une résine A2 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 4,6 x 103 avec un rendement de 74%. Cette résine A2 a les unités structurelles suivantes.
[0200] <Préparation de compositions de résist>
Les composants respectifs montrés dans le tableau 2 et les solvants 15 suivants ont été mélangés, et les mélanges ainsi obtenus ont été filtrés sur un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pores de 0,2 μm pour préparer des compositions de résist.
[Tableau 2]
Composition de résist Résine Générateur d'acide Sel (I) Agent de désactivati on (C) PB/PEB
Composition 1 Al = 10 parties 1-5 = 1,5 partie Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 2 A2 = 10 parties — 1-5 = 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 3 A2 = 10 parties — 1-29 = 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 4 II — 1-149 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
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parties
Composition 5 A2 = 10 parties — 1-2 = 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 6 A2 = 10 parties 1-14 = 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 7 A2 = 10 parties — 1-173 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition 8 A2 = 10 parties — 1-197 2,5 parties Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition comparative 1 A2 = 10 parties IX-1 = 2,5 parties — Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition comparative 2 A2 = 10 parties IX-2 = 2,5 parties — Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
Composition comparative 3 A2 = 10 parties Bl-25 = 2,5 parties — Cl-1 0,35 partie 100°C/130°C
[0201] <Résine (A)>
Al, A2: résine Al, résine A2 <Générateur d'acide (B)>
Bl-25: sel représenté par la formule (Bl-25); synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2011-126869 A
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BE2018/5779 <Sel (I)>
1-2: sel représenté par la formule (1-2)
1-5: sel représenté par la formule (1-5)
1-14: sel représenté par la formule (1-14)
1-29: sel représenté par la formule (1-29)
1-149: sel représenté par la formule (1-149)
1-173: sel représenté par la formule (1-173)
1-197: sel représenté par la formule (1-197)
IX-1: sel représenté par la formule (IX-1); synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2011-051981 A
H
IX-2: sel représenté par la formule (IX-2); synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2014-235248 A <Agent de désactivation (C)>
Cl-1 : synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2011-39502 A
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<Solvant (E)>
Acétate de monométhyléther de propylèneglycol 400 parties
Monométhyléther de propylèneglycol 100 parties y-butyrolactone 5 parties [0202] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons)
Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la composition est devenue ensuite 0,04 μm. La galette de silicium revêtue a été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne PB du tableau 2 pendant 60 secondes. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons (HL-800D 50 keV, fabriqué par Hitachi, Ltd.), des motifs de traits et d'espaces ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température montrée dans la colonne PEB du tableau 2 pendant 60 secondes, ce qui a été suivi par un développement à palettes avec une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 2,38 % en masse pendant 60 secondes pour obtenir un motif de résist.
Le motif de résist (motif de traits et d'espaces) ainsi obtenu a été observé au moyen d'un microscope électronique à balayage et la sensibilité effective a été définie comme étant la dose d'exposition à
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BE2018/5779 laquelle le motif de résist avec des motifs de traits et d'espaces de 60 nm-l:l était obtenu.
[0203]
Evaluation de l'inégalité des bords de trait (IBT): l'inégalité des 5 bords de trait a été déterminée en mesurant une largeur d'inégalité de l'irrégularité dans la surface de paroi d'un motif de résist produit par la sensibilité effective au moyen d'un microscope électronique à balayage. Les résultats sont montrés dans le tableau 3.
[Tableau 3]
Composition de résist IBT
Exemple 8 Composition 1 3,99
Exemple 9 Composition 2 3,96
Exemple 10 Composition 3 3,89
Exemple 11 Composition 4 3,82
Exemple 12 Composition 5 4,04
Exemple 13 Composition 6 4,12
Exemple 14 Composition 7 3,98
Exemple 15 Composition 8 3,94
Exemple comparatif 1 Composition comparative 1 4,42
Exemple comparatif 2 Composition comparative 2 4,48
Exemple comparatif 3 Composition comparative 3 4,32
Comme cela apparaît d'après les résultats ci-dessus, un sel et une composition de résist incluant le sel de la présente invention présentent une inégalité des bords de trait (IBT) satisfaisante.
Applicabilité industrielle [0204]
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Un sel et une composition de résist incluant le sel de la présente invention présentent une inégalité des bords de trait satisfaisante et sont utiles pour le traitement fin de semiconducteurs.

Claims (9)

  1. REVENDICATIONS
    1. Sel représenté par la formule (I):
    où, dans la formule (I),
    R1 et R2 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, ou R1 et R2 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle qui peut avoir un substituant ensemble avec les atomes de soufre auxquels ils sont liés, et CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne, le groupe hydrocarboné alicyclique et le cycle peut être remplacé par -O-, -S-, -SO2ou -CO,
    R3, R4 et R5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-, et
    A' représente un contre-anion.
  2. 2. Sel selon la revendication 1, où R4 est un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
  3. 3. Sel selon la revendication 1, où R3 et R5 sont des atomes d'hydrogène.
  4. 4. Sel selon la revendication 1, où le contre-anion est un anion d'acide sulfonique organique.
  5. 5. Sel selon la revendication 4, où l'anion d'acide sulfonique organique est un anion représenté par la formule (I-A):
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    (I-A) où, dans la formule (I-A),
    Q1 et Q2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
    L1 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et
    Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-.
  6. 6. Générateur d'acide comprenant le sel selon la revendication
    1.
  7. 7. Composition de résist comprenant le générateur d'acide selon la revendication 6 et une résine ayant un groupe labile en milieu acide.
  8. 8. Composition de résist selon la revendication 7, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
  9. 9. Procédé pour produire un motif de résist, qui comprend:
    (1) une étape d'application de la composition de résist selon la revendication 7 ou 8 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
    TRAITE DE COOPERATION EN MATIERE DE BREVETS
BE2018/5779A 2017-11-09 2018-11-07 Sel, generateur d'acide, composition de resist et procede pour produire un motif de resist BE1025923B1 (fr)

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