ATE514652T1 - Oberflächig mikrohergestellter absolutdrucksensor und dessen herstellungsverfahren - Google Patents

Oberflächig mikrohergestellter absolutdrucksensor und dessen herstellungsverfahren

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ATE514652T1
ATE514652T1 AT01982512T AT01982512T ATE514652T1 AT E514652 T1 ATE514652 T1 AT E514652T1 AT 01982512 T AT01982512 T AT 01982512T AT 01982512 T AT01982512 T AT 01982512T AT E514652 T1 ATE514652 T1 AT E514652T1
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AT01982512T
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Martti Blomberg
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Valtion Teknillinen
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    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm

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