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Die Erfindung betrifft eine Objektkühleinrichtung für Durchstrahlungselektronenmikroskope, wobei ein Behälter für ein Kühlmedium exzentrisch zum Präparathalter vorgesehen und zwischen dem Behälter und dem Präparatbehälter eine Verbindung angeordnet ist.
Bei den bekannten Objektkühleinrichtungen für Elektronenmikroskope wird der Kühlmittelbehälter häufig ausserhalb des Mikroskopes fest angeordnet. Von diesem Kühlmittelbehälter führt dann meist eine elastische, gut wärmeleitende Verbindung zur Probe. Die Verbindung bildet aber keine ideale Einrichtung zum Entzug der Wärme von der Probe.
Diese Objektkühleinrichtungen erfordern einen ständigen Nachfluss von Kühlmedium.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Objektkühleinrichtung für Elektronenmikroskope zu schaffen, bei denen die Präparate bis auf tiefste Temperaturen gekühlt werden können. Im Gegensatz zu den üblichen Objektkühleinrichtungen, die einen ständigen Nachfluss von Kühlmedium erfordern, soll bei der erfindungsgemässen Objektkühleinrichtung nach Anfüllen des Kühlmittelbehälters das Präparat einige Stunden lang auf der gewünschten tiefen Temperatur gehalten werden und der Verbrauch an flüssigem Helium dadurch sehr gering gehalten werden.
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Verhältnis zum Behälter dünnen Rohr aufgehängt ist und dass sich vom Kühlmittelbehälter unter im wesentlichen rechten Winkel zum Aufhängerohr ein Stutzen bis in den Bereich der Objektivlinse erstreckt.
Durch die erfindungsgemässe Massnahme kann der Präparathalter fest und gut wärmeleitend mit dem Kühlmittelbehälter verbunden werden, wobei bei einer Präparatverschiebung der gesamte Kühlmittelbehälter mitbewegt werden kann.
Die Erfindung wird nun an Hand der Zeichnungen näher beschrieben : Fig. l zeigt den Kühlmittelbehälter, die Fig. 2 und 3 zeigen den Aufbau des innerhalb der Mikroskopsäule liegenden Teiles der Einrichtung und Fig. 4 stellt den Präparathalter im vergrösserten Massstab dar.
Der Kühlmitelbehälter --1--, der vorzugsweise flüssiges Helium enthält, ist an einem Rohr --2-befestigt, das elastisch genug ist, seitliche Bewegungen aufzunehmen. Diese sind notwendig, da bei einer Präparatverschiebung dieser Kühlmittelbehälter mitbewegt wird, wie später noch beschrieben werden wird. Das Rohr --2-- endet an einem Anschlussstück--3--, an welchem die Umfüllvorrichtung für das Kühlmittel bzw. eine Vakuumpumpe angeschlossen werden kann, durch welche der Druck innerhalb des Kühlmittelbehälters erniedrigt werden kann, um so Temperaturen unterhalb des Normalsiedepunktes von flüssigem Helium zu erreichen.
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Stickstoff angeordnet. Von diesem Zusatzbehälter --4-- gehen aus gut wärmeleitendem Material hergestellte Strahlungsschilde --5 und 6-- weg.
Diese Strahlungsschilde bilden vorzugsweise die Fortsetzung der Behälterwandungen und umgeben den Kühlmittelbehälter --1-- auf allen Seiten, um die Wärmeeinstrahlung von aussen gering zu halten.
Die Kühlmittelbehälter --1 und 4--sind vom Aussengefäss --7-- umgeben, das vakuumdicht am Gehäuse des Elektronenmikroskopes angeflanscht ist. Die Räume zwischen den Kühlmittelbehältern bzw. zwischen den Strahlungsschilden und dem Kühlmittelbehälter --1-- werden dann durch die Vakuumanlage des Elektronenmikroskopes evakuiert.
In Fig. 2 ist der in die Kammer--8--eines Durchstrahlungsmikroskopes hineinragende Teil--la--des Kühlmittelbehälters--l--zu sehen. Auch dieser Teil--la--wird von den Strahlungsschilden--S-- abgeschirmt, die auf der Temperatur des flüssigen Stickstoffes gehalten werden. Im Teil--la--des Kühlmittelbehälters ist ein thermisch gut leitender Einsatz--9--befestigt, dessen Kühlrippen vom Kühlmittel umflossen werden und so einen guten Wärmeentzug gewährleisten. Der Einsatz --9-- ist mit einer konischen
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Die Kammer --13-- wieder wird durch eine Kühlstange--17--aus gut wärmeleitendem Material gekühlt. Die Stange --17-- taucht dabei in ein Vorratsgefäss mit flüssigem Stickstoff, so dass die Kammer --13-- etwa die Temperatur des flüssigen Stickstoffes erhält. Um eine Präparatverstellung zu ermöglichen, besteht die thermische Verbindung zwischen der Kühlstange--17--und der Kammer --13-- aus einer Litze Wie man aus Fig. 2 ersieht, ist der Präparathalter --10-- allseitig von einem rohrförmigen Strahlungsschild --16-- umgeben, der nur eine Öffnung für den Elektronenstrahl aufweist. Um diesen
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