AT267905B - Vakuumkammer als Zubehör für Auflichtmikroskope - Google Patents

Description

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  Vakuumkammer als Zubehör für Auflichtmikroskope 
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 dieser Vakuumkammer befindlichen Beobachtungsfenster, einer in der Vakuumkammer befindlichen Haltevorrichtung für die Probe und einer um die zu untersuchenden Probe herum angeordneten von einem Hochfrequenzgenerator gespeisten Induktionsspule dadurch gelöst, dass   erfindungsgemäss   die Induktionsspule konisch gewickelt ist und die Durchmesser der Spulenwindungen sich in der Richtung der Spule vergrössern, wo die Erwärmung der Probe am niedrigsten sein soll. Das die Spule durchfliessende Kühlmedium nimmt die von der Probe abgestrahlte Wärmeenergie in hohem Masse auf und verringert dadurch die thermische Belastung der Vakuumkammer. 



   Dadurch erhält man in der Probe ein in axialer Richtung verlaufendes Temperaturgefälle und man verhindert durch diese Massnahmen ein Anschmelzen der Probe auf ihrer Unterlage. 



   Soll eine elektrisch nicht leitende Probe betrachtet werden, so ergibt sich eine vorteilhafte Ausführung, wenn der diese Probe möglichst weitgehend umschliessende Objektträger aus elektrisch leitendem Material besteht und die konisch gewickelte Induktionsspule vorzugsweise koaxial zur optischen Achse in der Vakuumkammer angeordnet ist. Bei Betrachtung einer aus elektrisch leitendem Material bestehenden Probe ist die Haltevorrichtung aus einem elektrisch nicht leitenden Material. 



   Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. 



   Unter dem Objektiv-l-eines in den übrigen Teilen nicht mit dargestellten Auflichtmikroskops befindet sich eine aus einem   Grundkörper-2-und   einem Deckel-3- 
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 befindet sich auf einer   Unterlage --6-- aus   einem Material mit geringer thermischer Leitfähigkeit. Die   Probe-5-ist   von einer konisch gewickelten   Induktionsspule --7-- aus   Kupferrohr umgeben. Die Verbindung dieser Spule zum nicht mit dargestellten Hochfrequenzgenerator ist durch eine 
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 --7'-- zur Induktionsspule je eine   Verschraubung --9-- nach   Art einer Überwurfmutter, die über Schliffverbindungen sowohl eine gute elektrische Verbindung als auch eine dichte Zu-und Abführung eines die Induktionsspule durchfliessenden Kühlmittels gewährleistet.

   Hinter der Verschraubung-9in Richtung zum Hochfrequenzgenerator befindet sich in beiden Kupferleitungen je ein Metallfaltenbalg   - -10--,   der ein elastisches Zwischenglied zwischen der Vakuumkammer und dem Hochfrequenzgenerator darstellt und bei einer Bewegung des Mikroskoptisches entsprechend nachgiebig 
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Der mit einer   Überwurfmutter-12-aufsetzbare Deckel-3-und   der Grundkörper - der Vakuumkammer weisen   Hohlräume-13   bzw. 14-auf, durch die bei Bedarf ein Kühlmittel geleitet werden kann. Die hiezu erforderlichen Rohrstutzen sind in der Zeichnung nicht sichtbar. 



   Ein axial zum   Grundkörper-2-der   Vakuumkammer angeordneter Rohrstutzen --15-dient zur Einführung eines nicht mit dargestellten Thermoelementes, welches tief in die   Probe-5-   einführbar ist. 



   Zwischen der   Probe-5-und   einem vakuumdichten   Einblickfenster-16-im   Deckel - der Vakuumkammer befindet sich ein in seinen Einzelheiten nicht mit dargestellter Schieber   - -17--.   Dieser Schieber enthält nebeneinander mehrere   Gläser --18--,   von denen nur eines in der Zeichnung erkennbar ist. Mit Hilfe dieses Schiebers kann bei Bedarf zwischen der   Probe-5-und   dem   Einblickfenster-16-eines   der   Zwischengläser--18-eingeschaltet   werden. Dadurch wird erreicht, dass eventuell aus der Probe verdampfendes Material sich nur auf dem jeweils im Strahlengang befindlichen Zwischenglas und nicht als störender Belag auf dem   Einblickfenster-16--   niederschlagen kann.

   Dieser   Schieber --17-- ist   so eingerichtet, dass das jeweils im Strahlengang befindliche beschlagene   Zwischenglas --18-- zur   Wiederherstellung der guten Erkennbarkeit der Probe noch während der Beobachtung gegen ein anderes unbedampftes Zwischenglas austauschbar ist. 
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 --19-Probenoberfläche--5'--liegt. 



   Über einen nicht mit dargestellten Rohrstutzen mit entsprechendem Ventil ist es möglich, eine dosierbare Menge von Gasen oder andern Stoffen in den Vakuumraum zu geben.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE : 1. Vakuumkammer als Zubehör für Auflichtmikroskope zur mikroskopischen Untersuchung einer in ihr befindlichen Probe, mit einem an dieser Kammer befindlichen Beobachtungsfenster, einer in der Vakuumkammer befindlichen Haltevorrichtung für die Proben und einer um die zu untersuchende Probe herum angeordneten von einem Hochfrequenzgenerator gespeisten Induktionsspule, EMI3.1 Durchmesser der Spulenwindungen sich in der Richtung vergrössern, wo die Erwärmung der Probe am niedrigsten sein soll. EMI3.2