WO2024202412A1 - Dispositif de traitement au plasma - Google Patents

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WO2024202412A1
WO2024202412A1 PCT/JP2024/001070 JP2024001070W WO2024202412A1 WO 2024202412 A1 WO2024202412 A1 WO 2024202412A1 JP 2024001070 W JP2024001070 W JP 2024001070W WO 2024202412 A1 WO2024202412 A1 WO 2024202412A1
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plasma
water vapor
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atmospheric pressure
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勝彦 白石
度均 皇甫
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株式会社日立製作所
国立大学法人筑波大学
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La présente invention concerne un dispositif de traitement au plasma capable de commander la quantité de vapeur d'eau ajoutée à un gaz de fonctionnement et la distance d'irradiation et de commander largement la mouillabilité de la surface d'un matériau de résine qui est l'objet. Ce dispositif de traitement au plasma effectue un traitement au plasma par irradiation d'un objet (80) avec du plasma atmosphérique (99). Le dispositif de traitement au plasma comprend : un récipient de génération de bulles (64) pour ajouter de la vapeur d'eau à un gaz de fonctionnement ; un dispositif de mesure de point de rosée (31) pour ajuster la quantité de vapeur d'eau ajoutée au gaz de fonctionnement ; une unité de génération de plasma (90) pour générer un plasma à pression atmosphérique par application d'une puissance haute fréquence au gaz de fonctionnement dans lequel la quantité de vapeur d'eau ajoutée a été ajustée ; une unité de distribution de plasma (91) pour distribuer le plasma à pression atmosphérique vers l'objet ; et une unité d'ajustement de distance d'irradiation (400) pour ajuster la distance d'irradiation de plasma (L1) de l'unité de distribution de plasma à l'objet.
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