WO2024062635A1 - Dispositif de test et procédé de test - Google Patents
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Abstract
Un dispositif de test selon la présente invention comprend : une unité d'acquisition qui acquiert une pluralité d'éléments de données d'image par capture d'une image d'une zone de test d'au moins une partie d'un substrat un certain nombre de fois qui correspond à la progression d'un travail de substrat prescrit sur le substrat ; et une unité de détermination qui détermine l'état de la zone de test en comparant des données d'image de référence qui sont des données d'image acquises au niveau d'une première machine de travail qui applique un élément de jonction à la zone de test en tant que travail de substrat avec des données d'image de test qui sont des données d'image acquises au niveau d'une seconde machine de travail qui monte un composant au niveau de la zone de test en tant que travail de substrat.
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2022
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