WO2024019169A1

WO2024019169A1 - 蒸着用基材フィルム、および蒸着フィルム

Info

Publication number: WO2024019169A1
Application number: PCT/JP2023/026859
Authority: WO
Inventors: 祐作野本; 公俊中村
Original assignee: 株式会社クラレ
Priority date: 2022-07-21
Filing date: 2023-07-21
Publication date: 2024-01-25

Abstract

耐熱性、可撓性、寸法安定性が高い、その少なくとも一方の面に蒸着膜を設けるために用いられる基材フィルムおよび該基材フィルムと蒸着膜とを有してなる、蒸着フィルムを提供すること。　メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、下記式（１）で表される構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを有するメタクリル系共重合体（ａ）を含有し、且つガラス転移温度が１３５℃以上である、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなり、且つフィルム厚みが１０～８０μｍであり、二軸延伸倍率が１．５～８倍である、蒸着用基材フィルム。（式（Ｉ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、明細書に記載の通り。）

Description

蒸着用基材フィルム、および蒸着フィルム

　本発明は、蒸着用基材フィルム、および蒸着用基材フィルムに蒸着膜が具備された蒸着フィルムに関する。より詳細に、本発明は、寸法安定性、蒸着膜との密着性、柔軟性に優れる、蒸着用途に適したフィルム、および蒸着により導電層またはガスバリア層を形成した蒸着フィルムに関する。

　基材フィルムの少なくとも一方の面に蒸着膜を形成させて、該基材フィルムに種々の機能を付与させることが行われている。例えば、意匠性や導電性などを基材フィルムに付与するためにスズ添加酸化インジウムなどの金属を蒸着する技術が知られている（例えば、特許文献１）。また、ガスバリア性、反射防止性などを基材フィルムに付与するために酸化ケイ素などの無機化合物を蒸着する技術が知られている（例えば、特許文献２）。

　前記基材フィルムには光透過性に優れていることがさらに要求されることがある。メタクリル樹脂は極めて光透過性に優れた樹脂である。ところが、メタクリル樹脂フィルムは、一般に、蒸着膜との密着性が低く、蒸着用基材フィルムとして用いることが難しい。

　前記問題を解決する手段として、特許文献３は、メタクリル樹脂を含有する樹脂組成物（ａ）からなる熱可塑性樹脂層（Ａ）の少なくとも一方の面に、スチレン系単量体とシアン化アルケニルとの共重合体を含有する樹脂組成物（ｂ１）からなるスチレン系樹脂層（Ｂ１）が積層されてなる金属直接蒸着用積層フィルムを提案している。また、特許文献４および５は、酸価が０．２～１．５ｍｍｏｌ／ｇの（メタ）アクリル系樹脂組成物を成形してなる、金属蒸着用アクリル系樹脂フィルムを提案している。しかし、上記フィルムは耐熱性が不足しており、基材フィルムを高温で使用できず、また成形時の残留歪みによる加熱収縮等の問題もある。特許文献６は、グルタルイミド構造単位とメタクリル酸メチル構造単位とを有するグルタルイミドアクリル樹脂を成形しフィルムを得、それを二軸延伸してなる基材フィルムを提案している。また、特許文献７は、ポリメチルメタクリルイミド樹脂とアクリル系エラストマーとの混合樹脂から成る透明導電性フィルム用基材を提案している。しかし、上記フィルムは吸水率が高く、吸水による物性低下や寸法変化が大きいという課題があった。

特開平２－６１２６号公報特開２００４－２７６５６６号公報特開２０１１－１４３５８４号公報特開２０１２－５７０６７号公報特開２０１０－２３６０８５号公報特開平６－２５６５３７号公報特開２０２０－１２２１２５号公報

　　上記事情を鑑み、本発明の目的は、耐熱性、可撓性、寸法安定性が高い、その少なくとも一方の面に蒸着膜を設けるために用いられる基材フィルムおよび該基材フィルムと蒸着膜とを有してなる、蒸着フィルムを提供することにある。

　本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、以下の形態を包含する本発明を完成するに至った。

　［１］
　メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、下記式（１）で表される構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを有するメタクリル系共重合体（ａ）を含有し、且つガラス転移温度が１３５℃以上である、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなり、且つフィルム厚みが１０～８０μｍであり、二軸延伸倍率が１．５～８倍である、蒸着用基材フィルム。

（式（Ｉ）中、Ｒ^１は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり、Ｒ^２は、水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基である。）。
　［２］
　ガラス転移温度が１４５℃以上であるメタクリル系樹脂組成物からなる、［１］に記載の蒸着用基材フィルム。
　［３］
　飽和吸水率が３．０質量％以下であるメタクリル系樹脂組成物からなる、［１］に記載の蒸着用基材フィルム。
　［４］
　［１］に記載の基材フィルムと、該基材フィルムの少なくとも１方の面に設けた蒸着膜とを有してなる蒸着フィルム。
　［５］
　蒸着膜が、導電性蒸着膜である、［４］に記載の蒸着フィルム。
　［６］
　蒸着膜が、ガスバリア性蒸着膜である、［４］に記載の蒸着フィルム。
　［７］
　メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、下記式（１）で表される構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを有するメタクリル系共重合体（ａ）を含有し、且つガラス転移温度が１３５℃以上である、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）を成形してフィルムを得、該フィルムを面積比で１．５～８倍に二軸延伸することを含む［１］に記載の基材フィルムの製造方法。

（式（Ｉ）中、Ｒ^１は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり、Ｒ^２は、水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基である。）

　本発明の基材フィルムは、耐熱性、可撓性、寸法安定性が高い。本発明の基材フィルムは、蒸着プロセスに好適に用いることができる。

　本発明の蒸着フィルムは、蒸着膜との密着性が高く、種々の用途において高性能の機能付与が可能となる。本発明の蒸着フィルムの一実施形態である透明導電性フィルムは太陽電池の光電変換素子の窓電極、電磁シールドの電磁遮蔽膜、透明電波吸収体、透明タッチパネル等の入力装置の電極、液晶ディスプレイ用、有機ＥＬディスプレイ用、またはタッチパネル用の透明電極などの基材として有用である。また、本発明の蒸着フィルムの別の一実施形態であるガスバリア性フィルムは、食品、医薬品等の包装材料、有機ＥＬ素子、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタ、フレキシブル液晶等の封止材料として有用である。

　本明細書において、単数形（ａ, ａｎ, ｔｈｅ等）は、本明細書で別途明示がある場合又は文脈上明らかに矛盾する場合を除き、単数と複数を含むものとする。
　本発明の基材フィルムは、蒸着に用いられるフィルムである。蒸着には、物理蒸着と化学蒸着とがある。本発明の基材フィルムは、従来公知の真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法、または化学蒸着法等を適宜採用し得る。これらの中でも真空蒸着法が好ましい方法として用いられる。

　本発明の蒸着用の基材フィルムに用いるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、メタクリル系共重合体（ａ）を含有する。１つの好ましい実施形態において、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、メタクリル系共重合体（ａ）と、メタクリル樹脂を含有する。メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）中のメタクリル系共重合体（ａ）の含有量は５１質量％以上であることが好ましく、６５質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましく、メタクリル系共重合体（ａ）のみから構成されてもよい。

［メタクリル系共重合体（ａ）］
　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを、含有する。上記のようにメタクリル系共重合体（ａ）には無置換またはＮ－置換マレイミド単位が０質量％、すなわち無置換またはＮ－置換マレイミド単位を含まないものも包含される。本発明に用いるメタクリル系共重合体（ａ）は、さらにメタクリル酸メチルに共重合可能なその他のビニル系単量体単位を含んでもよい。本発明において重合体中の構造単位とは、重合体を構成する繰り返し単位又は当該繰り返し単位の少なくとも一部を誘導体化してなる単位（例えば、無置換若しくはＮ－置換グルタルイミド単位）のことを意味する。また、本明細書においては、用語「構造単位」をメタクリル酸メチル単位、構造単位（ｒ）、α－メチルスチレン単位、スチレン単位、及びその他のビニル系単量体単位を総称して用いる場合もある。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、メタクリル酸メチル単位の割合が、全構造単位に対して、５～７３質量％であり、６～７０質量％が好ましく、６～６０質量％がより好ましく、６～５０質量％がさらに好ましい。得られるメタクリル系共重合体の透明性及び耐熱分解性の観点から、メタクリル酸メチル単位の割合が上記範囲であることが好ましい。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、α－メチルスチレン単位の割合が、全構造単位に対して、１～４８質量％であり、３～４０質量％が好ましく、５～３５質量％がより好ましく、７～３０質量％がさらに好ましい。得られるメタクリル系共重合体の耐熱性、剛性、耐熱分解性の観点、生産性（重合性）の観点、さらに、後記の隣り合う二つの（メタ）アクリル酸に由来する構造単位の分子内環化によるグルタルイミド化反応の阻害を抑制する観点、基材フィルムの加熱収縮率、蒸着フィルムの寸法安定性の観点等から、α－メチルスチレン単位の割合が上記範囲であることが好ましい。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、スチレン単位またはマレイン酸無水物単位の割合が、全構造単位に対して、１～４８質量％であり、３～４０質量％が好ましく、５～３５質量％がより好ましく、７～３０質量％がさらに好ましい。得られるメタクリル系共重合体の耐熱分解性、流動性、耐熱性の観点、さらに、後記の隣り合う二つの（メタ）アクリル酸に由来する構造単位の分子内環化によるグルタルイミド化反応の阻害を抑制する観点、未延伸フィルムの延伸性の観点等から、スチレン単位の割合が上記範囲であることが好ましい。得られるメタクリル系共重合体の耐熱分解性、流動性の観点、さらに、後記の隣り合う二つの（メタ）アクリル酸に由来する構造単位の分子内環化によるグルタルイミド化反応の阻害を抑制する観点、未延伸フィルムの延伸性の観点等から、マレイン酸無水物単位の割合が上記範囲であることが好ましい。本発明においては、生産性のより優れるスチレン単位を含むことが好ましい。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、α－メチルスチレン単位とスチレン単位との合計割合が、全構造単位に対して、２～４０質量％であることが好ましく、５～３５質量％であることがより好ましく、１０～３０質量％であることがさらに好ましい。α －メチルスチレン単位とスチレン単位との合計割合が上記範囲にあると、後記の隣り合う二つの（メタ）アクリル酸に由来する構造単位の分子内環化によるグルタルイミド化反応を阻害し難い。また、α－メチルスチレン単位の割合が、α－メチルスチレン単位とスチレン単位との合計割合に対して、３０～９５質量％であることが好ましく、３５～９０質量％であることがより好ましく、４０～８５質量％であることがさらに好ましい。α－メチルスチレン単位の割合が上記範囲にあると、本発明に用いるメタクリル系共重合体は耐熱性と低吸水性のバランスが優れるため、得られるフィルムの寸法安定性が良好である。

　構造単位（ｒ）は、Ｎ－置換若しくは無置換グルタルイミド単位からなる群より選ばれる環構造を主鎖に有する構造単位である。

　Ｎ－置換若しくは無置換グルタルイミド単位は、Ｎ－置換若しくは無置換２，６－ジオキソピペリジンジイル構造を有する単位である。Ｎ－置換若しくは無置換２，６－ジオキソピペリジンジイル構造を有する単位としては、式（Ｉ）で表される構造単位を挙げることができる。

　式（Ｉ）中、Ｒ^１はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基であり、２つのＲ^１がともにメチル基であるのが好ましい。Ｒ^２は水素原子または炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基、または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基であり、好ましくはメチル基、ｎ－ブチル基、シクロヘキシル基またはベンジル基であり、より好ましくはメチル基、ｎ－ブチル基、またはシクロヘキシル基であり、最も好ましくはメチル基である。

　また、構造単位（ｒ）は、例えば、押出機において前駆体ポリマーにイミド化剤を加えて混練、反応させるイミド環化反応等により形成することができる。好ましい実施形態において、式（Ｉ）で表される構造単位は、例えばスキーム（ｉ）で示されるように対応する酸無水物（ＩＩａ）とＲ^２ＮＨ_２で表されるイミド化剤の反応により生成してもよく、式（ＩＩＩ）の部分構造を有する共重合体の分子内環化反応により生成してもよい。分子内環化反応により式（ＩＩＩ）で表される構造単位を式（Ｉ）で表される構造単位に変換するために加熱することが好ましい。

スキーム（ｉ）

(式中、Ｒ^１、Ｒ^２は前記に定義される通りである。)

　Ｎ－置換若しくは無置換グルタルイミド単位は、ＷＯ２００５／１０８３８Ａ１、特開２０１０－２５４７４２号公報、特開２００８－２７３１４０号公報、特開２００８－２７４１８７号公報などに記載の方法、具体的には、隣り合う二つのメタクリル酸メチルに由来する構造単位または無水グルタル酸単位に、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、ｎ－プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ－ブチルアミン、イソブチルアミン、ｔｅｒｔ－ブチルアミン、ｎ－ヘキシルアミン等の脂肪族炭化水素基含有アミン、アニリン、トルイジン、トリクロロアニリン、N－メチルベンジルアミン等の芳香族炭化水素基含有アミン、シクロヘキシルアミン、N－メチルシクロヘキシルアミン等などの脂環式炭化水素基含有アミン、尿素、１，３－ジメチル尿素、１，３－ジエチル尿素、１，３－ジプロピル尿素などのイミド化剤を反応させることによって得ることができる。これらの中で、１級アミンは必須であり２級アミンを併用してもよく、１級アミンとしてはメチルアミンが好ましい。このイミド化反応の際に、メタクリル酸メチル単位の一部が加水分解されてカルボキシル基になることがあり、このカルボキシル基は、エステル化剤で処理するエステル化反応で元のメタクリル酸メチル単位に戻すことが好ましい。エステル化剤としては、本願の効果を発揮できる範囲であれば特に制限はされないが、好適にはジメチルカーボネート等を使用することができる。また、エステル化剤に加えて、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン等の３級アミンを、触媒として併用することもできる。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、構造単位（ｒ）の割合が、全構造単位に対して、２５～７０質量％であり、３０～６８質量％が好ましく、３５～６５質量％がより好ましく、４０～６０質量％がさらに好ましい。得られるメタクリル系共重合体の耐熱性、耐熱分解性、低吸水性、成形加工性の観点、さらに基材フィルムの加熱収縮率、蒸着層との密着性、蒸着フィルムの寸法安定性の観点等から、構造単位（ｒ）の割合が上記範囲であることが好ましい。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、構造単位（ｒ）等の他に、Ｎ－置換若しくは無置換マレイミド単位を含んでもよい。Ｎ－置換若しくは無置換マレイミド単位は、Ｎ－置換若しくは無置換２，５－ピロリジンジオン構造を有する単位である。

　Ｎ－置換若しくは無置換２，５－ピロリジンジオン構造を有する単位としては、式（ＶＩ）で表される構造単位を挙げることができる。

（式（ＶＩ）中、Ｒ^１０は、水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基である。）

　式（ＶＩ）で表される構造単位は、式（ＶＩ）で表される単量体を含む単量体混合物を重合する方法、マレイン酸無水物を含む単量体混合物を重合した反応生成物中のマレイン酸無水物単とＲ^３ＮＨ_２で表されるイミド化剤の反応等によって、メタクリル系共重合体に含有させることができる。

　Ｎ－置換若しくは無置換マレイミド単位は、特公昭６１－０２６９２４号公報、特公平７－０４２３３２号公報、特開平９－１００３２２号公報、特開２００１－３２９０２１号公報などに記載の方法、具体的には、マレイン酸無水物単位に、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、ｎ－プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ－ブチルアミン、イソブチルアミン、ｔｅｒｔ－ブチルアミン、ｎ－ヘキシルアミン等の脂肪族炭化水素基含有アミン、アニリン、トルイジン、トリクロロアニリン等の芳香族炭化水素基含有アミン、シクロヘキシルアミン等などの脂環式炭化水素基含有アミン、尿素、１，３－ジメチル尿素、１，３－ジエチル尿素、１，３－ジプロピル尿素などのイミド化剤を反応させることによって得ることができる。これらの中で、メチルアミンが好ましい。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、構造単位（ｒ）等の他に、その他のビニル系単量体単位から誘導される構造単位として、ラクトン環単位を含んでも良い。ラクトン環単位は、＞ＣＨ－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－基を環構造に含む構造単位である。＞ＣＨ－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－基を環構造に含む構造単位は、環構成元素の数が好ましくは、４～８個、より好ましくは５～６個、最も好ましくは６個である。＞ＣＨ－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－基を環構造に含む構造単位としては、β－プロピオラクトンジイル構造単位、γ－ブチロラクトンジイル構造単位、δ－バレロラクトンジイル構造単位などのラクトンジイル構造単位を挙げることができる。＞ＣＨ－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－基を環構造に含む構造単位は、例えば、ヒドロキシ基およびエステル基を有する重合体を、ヒドロキシ基およびエステル基による分子内環化によって得ることができる。なお、式中の「＞Ｃ」は炭素原子Ｃに結合手が２つあることを意味する。

　例えば、δ－バレロラクトンジイル構造単位としては、式（ＩＶ）で表される構造単位を挙げることができる。

　式（ＩＶ）中、Ｒ^６、Ｒ^７およびＲ^８はそれぞれ独立に水素原子または炭素数１～２０の有機基、好ましくは水素原子または炭素数１～１０の有機基、より好ましくは水素原子または炭素数１～５の有機基である。ここで、有機基は、炭素数１～２０であれば、特に限定されず、例えば、直鎖若しくは分岐状のアルキル基、直鎖若しくは分岐状のアリール基、－ＯＣＯＣＨ_３基、－ＣＮ基等が挙げられる。有機基は酸素原子などのヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒ^６およびＲ^７はメチル基であるのが好ましく、Ｒ^８は水素原子であるのが好ましい。

　ラクトン環単位は、特開２０００－２３００１６号公報、特開２００１－１５１８１４号公報、特開２００２－１２０３２６号公報、特開２００２－２５４５４４号公報、特開２００５－１４６０８４号公報などに記載の方法、例えば、２－（ヒドロキシアルキル）アクリル酸エステルに由来する構造単位と（メタ）アクリル酸メチルに由来する構造単位との分子内環化などによって、メタクリル系共重合体に含有させることができる。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（Ｉ）は、構造単位（ｒ）等の他に、その他のビニル系単量体単位から誘導される構造単位として、無水グルタル酸単位を含んでも良い。無水グルタル酸単位は、２，６－ジオキソジヒドロピランジイル構造を有する単位である。２，６－ジオキソジヒドロピランジイル構造を有する単位としては、式（Ｖ）で表される構造単位を挙げることができる。

　　式（Ｖ）中、Ｒ^９はそれぞれ独立に水素原子または炭素数１～５のアルキル基であり、メチル基であるのが好ましい。

　２，６－ジオキソジヒドロピランジイル構造を有する単位は、特開２００７－１９７７０３号公報、特開２０１０－９６９１９号公報などに記載の方法、例えば、隣り合う二つの（メタ）アクリル酸に由来する構造単位の分子内環化、（メタ）アクリル酸に由来する構造単位と（メタ）アクリル酸メチルに由来する構造単位とのの分子内環化などによって、メタクリル系共重合体に含有させることができる。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、メタクリル酸メチル単位と共重合可能なその他のビニル系単量体単位を含んでもよい。前記その他のビニル系単量体単位は、メタクリル系共重合体（ａ）に求められる特性に応じて、適宜材料を選択することができるが、熱安定性、流動性、耐薬品性、光学性、他樹脂との相溶性等の特性が特に必要な場合は、アクリル酸エステル単量体単位、スチレンおよびα－メチルスチレンを除く芳香族ビニル単量体単位ならびにシアン化ビニル単量体単位からなる群より選ばれる少なくとも一種が好適である。

　上述の単量体単位を構成する単量体の中でも、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリロニトリルからなる群より選ばれる少なくとも１種が、入手のしやすさの観点から、好ましい。

　メタクリル酸メチルに共重合可能なその他のビニル系単量体単位としては、例えば、下記式（Ａ）で表されるメタクリル酸アミド単位、下記式（Ｂ）で表される２－（ヒドロキシアルキル）アクリル酸エステル単位等も挙げられる。

(式中、Ｒ^３は水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基、または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基であり、好ましくは水素原子、メチル基、ｎ－ブチル基、シクロヘキシル基またはベンジル基であり、より好ましくはメチル基、ｎ－ブチル基、またはシクロヘキシル基である。Ｒ^４およびＲ^５はそれぞれ独立に水素原子または炭素数１～２０の有機基、好ましくは水素原子または炭素数１～１０の有機基、より好ましくは水素原子または炭素数１～５の有機基である。ここで、有機基は、炭素数１～２０であれば、特に限定されず、例えば、直鎖若しくは分岐状のアルキル基、直鎖若しくは分岐状のアリール基、－ＯＣＯＣＨ_３基、－ＣＮ基等が挙げられる。有機基は酸素原子などのヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒ^４はメチル基であるのが好ましく、Ｒ^５は水素原子であるのが好ましい。)

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、メタクリル酸メチル単位と共重合可能なその他のビニル系単量体単位等の割合が、全構造単位に対して、好ましくは０～２０質量％、より好ましくは０～１５質量％、さらに好ましくは０～１０質量％である。メタクリル酸メチル単位と共重合可能なその他のビニル系単量体単位の割合が２０質量％を超えるメタクリル系共重合体は、耐熱性、剛性が低下する。なお、各単量体単位の割合は、^１Ｈ－ＮＭＲ、^１３Ｃ－ＮＭＲ、赤外分光法などによって測定することができる。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、重量平均分子量（Ｍｗ）が、好ましくは４０，０００～２５０，０００、より好ましくは５０，０００～２００，０００、さらに好ましくは６０，０００～１８０，０００である。Ｍｗが４０，０００以上であると、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は耐衝撃性が優れる。Ｍｗが２５０，０００以下であると、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）の流動性が向上し、成形加工性が向上する。

　重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるクロマトグラムを標準ポリスチレンの分子量に換算して算出される値である。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、ガラス転移温度が１３５℃以上であることが好ましく、より好ましくは１４０℃、さらに好ましくは１４５℃であり、上限として、特に制限されないが、好ましくは１７０℃である。

　本明細書において、「ガラス転移温度（Ｔｇ）」は、ＪＩＳ　Ｋ７１２１に準拠して測定する。具体的には、２５０℃まで一度昇温し、次いで室温まで冷却し、その後、室温から２５０℃までを１０℃／分で昇温させる条件にてＤＳＣ曲線を測定する。２回目の昇温時に測定されるＤＳＣ曲線から求められる中間点を「ガラス転移温度（Ｔｇ）」として求める。　　　

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）は、メルトフローレート（以下、「ＭＦＲ」と称する）が、１．０～３０ｇ／１０分の範囲であることが好ましい。かかるＭＦＲの下限値は１．５ｇ／１０分以上であることがより好ましく、２．０ｇ／１０分であることがさらに好ましい。また、かかるＭＦＲの上限値は２５ｇ／１０分以下であることがより好ましく、２０ｇ／１０分以下であることがさらに好ましい。ＭＦＲが１．０～３０ｇ／１０分の範囲にあると、加熱溶融成形の安定性が良好である。なお、本明細書におけるメタアクリル系共重合体（ａ）のＭＦＲとは、ＪＩＳＫ７２１０に準拠し、メルトインデクサーを用いて、温度２３０℃、３．８ｋｇ荷重下で測定した値である。

　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）の飽和吸水率の測定は下記の条件で行うことができる。メタクリル系共重合体をプレス成形により、厚さ１．０ｍｍのシートに成形する。得られたプレス成形シートの中央部から、５０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を切り出し、９０℃の乾燥機で、１６時間以上乾燥する。乾燥後の試験片をデシケータ内で、室温まで冷却した後、０．１ｍｇまで重量を測定し、その重量を初期重量Ｗ_０とする。２３℃の蒸留水に試験片を浸漬し、２４時間浸漬後，試験片を水から取り出し，表面の水分を清浄で乾いた布又はフィルター紙ですべて拭き取る。水から取り出して１分以内に，再度試験片を０．１ｍｇまで測る。試験片を再び浸漬し，２４時間後に再び上記と同じ方法で重量を測定する。試験片の重量変化率が、Ｗ_０の０．０２％以内になった時の重量を、飽和重量Ｗ_Ｓとする。式（１）から飽和吸水率を算出することができる。

　飽和吸水率は、好ましくは３．０質量％以下、より好ましくは２．７質量％以下、さらに好ましくは２．５質量％以下である。

［メタクリル樹脂］
　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）はメタクリル樹脂を含んでもよい。メタクリル樹脂の含有量は１～４９質量％であることが好ましく、５～４０質量％であることがより好ましく、１０～３０質量％であることがさらに好ましい。本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、メタクリル樹脂を含むことで流動性が改良される。

　上記メタクリル樹脂は、メタクリル酸エステルに由来する構造単位を含む樹脂である。かかるメタクリル酸エステルとしては、メタクリル酸メチル（以下、「ＭＭＡ」と称する）、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ－プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ｎ－ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ｔｅｒｔ－ブチル、メタクリル酸ペンチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸ヘプチル、メタクリル酸２－エチルヘキシル、メタクリル酸ノニル、メタクリル酸デシル、メタクリル酸ドデシルなどのメタクリル酸アルキルエステル；メタクリル酸１－メチルシクロペンチル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸シクロヘプチル、メタクリル酸シクロオクチル、メタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカ－８－イルなどのメタクリル酸シクロアルキルエステル；メタクリル酸フェニルなどのメタクリル酸アリールエステル；メタクリル酸ベンジルなどのメタクリル酸アラルキルエステル；などが挙げられ、入手性の観点から、ＭＭＡ、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ－プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ｎ－ブチル、メタクリル酸イソブチル、およびメタクリル酸ｔｅｒｔ－ブチルが好ましく、ＭＭＡが最も好ましい。メタクリル酸エステルは１種又は２種以上を組み合わせて使用することができる。メタクリル樹脂におけるメタクリル酸エステルに由来する構造単位の含有量は９０質量％以上が好ましく、９５質量％以上がより好ましく、９８質量％以上がさらに好ましく、メタクリル酸エステルに由来する構造単位のみであってもよい。

　メタクリル樹脂は、三連子表示のシンジオタクティシティ（ｒｒ）の下限が、５６％以上であることが好ましく、５７％以上であることがより好ましく、５８％以上であることがさらに好ましい。かかる構造の含有量の下限値が５６％以上であることで、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は耐熱性に優れるものとなる。

　ここで、三連子表示のシンジオタクティシティ（ｒｒ）（以下、単に「シンジオタクティシティ（ｒｒ）」と称することがある。）は連続する３つの構造単位の連鎖（３連子、ｔｒｉａｄ）が有する２つの連鎖（２連子、ｄｉａｄ）が、ともにラセモ（ｒｒと表記する）である割合である。なお、ポリマー分子中の構造単位の連鎖（２連子、ｄｉａｄ）において立体配置が同じものをメソ（ｍｅｓｏ）、逆のものをラセモ（ｒａｃｅｍｏ）と称し、それぞれｍ、ｒと表記する。

　メタクリル樹脂のシンジオタクティシティ（ｒｒ）（％）は、重水素化クロロホルム中、３０℃で、^１Ｈ-ＮＭＲスペクトルを測定し、そのスペクトルからテトラメチルシラン　（ＴＭＳ）を０ｐｐｍとした際の、０．６～０．９５ｐｐｍの領域の面積（Ｙ）と０．６～１．３５ｐｐｍの領域の面積（Ｚ）とを計測し、式：（Ｙ／Ｚ）×１００にて算出することができる。

　メタクリル樹脂の重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」と称する）は４０，０００～５００，０００が好ましく、６０，０００～３００，０００がより好ましく、８０，０００～２００，０００がさらに好ましい。かかるＭｗが４０，０００以上であることで、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、力学強度に優れるものとなり、５００，０００以下であることで、流動性が良好となる。

　メタクリル樹脂のガラス転移温度は、１００℃以上であることが好ましく、１０５℃以上であることがより好ましく、１１０℃以上であることがさらに好ましい。かかるガラス転移温度が１００℃以上であることで、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、耐熱性に優れるものとなる。

　メタクリル樹脂の２３℃水中における飽和吸水率が、２．５質量％以下であることが好ましく、２．３質量％以下であることがより好ましく、２．１質量％以下であることがさらに好ましい。かかる飽和吸水率が２．５質量％以下であることで、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、耐湿性に優れるものとなり、吸湿に起因するカールを抑制することができる。

　メタクリル樹脂のＭＦＲは１～２０ｇ／１０分の範囲であることが好ましい。かかるＭＦＲの下限値は１．２ｇ／１０分以上であることがより好ましく、１．５ｇ／１０分以上であることがさらに好ましい。また、かかるＭＦＲの上限値は１５ｇ／１０分以下であることがより好ましく、１０ｇ／１０分以下であることがさらに好ましい。ＭＦＲが１～１０ｇ／２０分の範囲にあると、加熱溶融成形の安定性が良好である。

［メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）］
　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、ガラス転移温度が１３５℃以上、好ましくは１４０℃、より好ましくは１４５℃であり、上限として、特に制限されないが、好ましくは１７０℃である。ガラス転移温度が１３５℃以上であることで、本発明の基材フィルムは加熱収縮率を低減できる。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、メルトフローレート（以下、「ＭＦＲ」と称する）が、１．０～３０ｇ／１０分の範囲であることが好ましい。かかるＭＦＲの下限値は１．５ｇ／１０分以上であることがより好ましく、２．０ｇ／１０分であることがさらに好ましい。また、かかるＭＦＲの上限値は２５ｇ／１０分以下であることがより好ましく、２０ｇ／１０分以下であることがさらに好ましい。ＭＦＲが１．０～３０ｇ／１０分の範囲にあると、加熱溶融成形の安定性が良好である。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、飽和吸水率が、好ましくは３．０質量％以下、より好ましくは２．５質量％以下、さらに好ましくは２．０質量％以下である。飽和吸水率が３．０質量％以下であることで、本発明の基材フィルムは寸法安定性に優れれる。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、全光線透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上がより好ましく、９０％以上がさらに好ましい。全光線透過率が８０％以上であることで、本発明の基材フィルムは透明感が良好である。なお、メタクリル系樹脂組成物の全光線透過率は、ＪＩＳ　Ｋ７３６１－１に準拠し、ヘイズメータを用いて、厚さ３ｍｍのプレスシートを用いて測定した値である。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じてフィラーを含んでいてもよい。フィラーとしては、炭酸カルシウム、タルク、カーボンブラック、酸化チタン、シリカ、クレー、硫酸バリウム、炭酸マグネシウムなどを挙げることができる。本発明の樹脂組成物に含有し得るフィラーの量は、好ましくは３質量％以下、より好ましくは１．５質量％以下である。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）は、本発明の効果を損なわない範囲で、他の重合体を含んでいてもよい。他の重合体としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン－１、ポリ－４－メチルペンテン－１、ポリノルボルネンなどのポリオレフィン樹脂；エチレン系アイオノマー；ポリスチレン、スチレン－無水マレイン酸共重合体、ハイインパクトポリスチレン、ＡＳ樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＡＥＳ樹脂、ＡＡＳ樹脂、ＡＣＳ樹脂、ＭＢＳ樹脂などのスチレン系樹脂；メチルメタクリレート－スチレン共重合体；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル樹脂；ナイロン６、ナイロン６６、ポリアミドエラストマーなどのポリアミド；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体、ポリアセタール、ポリフッ化ビニリデン、ポリウレタン、フェノキシ樹脂、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、シリコーン変性樹脂；シリコーンゴム；アクリル系多層共重合体エラストマー；メチルメタクリレート重合体ブロック‐アクリル酸ｎ－ブチル重合体ブロックのジブロック共重合体、トリブロック共重合体などのアクリル系熱可塑性エラストマー；ＳＥＰＳ、ＳＥＢＳ、ＳＩＳなどのスチレン系熱可塑性エラストマー；ＩＲ、ＥＰＲ、ＥＰＤＭなどのオレフィン系ゴムなどを挙げることができる。　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）に含有され得る他の重合体の量は、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下、最も好ましくは０質量％である。

　本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）には、本発明の効果を損なわない範囲で、酸化防止剤、熱劣化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、滑剤、離型剤、高分子加工助剤、帯電防止剤、難燃剤、染顔料、光拡散剤、有機色素、艶消し剤、蛍光体などの添加剤を含有していてもよい。

　これらの添加剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、これらの添加剤は、メタクリル系共重合体（ａ）を製造する際の重合反応液に添加してもよいし、製造されたメタクリル系共重合体（ａ）に添加してもよいし、本発明に関わるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）を調製する際に添加してもよい。本発明のメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）に含有される添加剤の合計量は、成形体の外観不良を抑制する観点から、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）に対して、好ましくは７質量％以下、より好ましくは５質量％以下、さらに好ましくは４質量％以下である。

　本発明のメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）の調製方法は特に限定されない。例えば、メタクリル樹脂の存在下にメタクリル酸メチル等を含む単量体混合物を重合してメタクリル系共重合体（ａ）を生成させる方法や、メタクリル系共重合体（ａ）およびメタクリル樹脂を溶融混練する方法を挙げることができる。溶融混練の際に、必要に応じて他の重合体や添加剤を混合してもよいし、メタクリル系共重合体（ａ）を他の重合体および添加剤と混合した後にメタクリル樹脂と混合してもよいし、メタクリル樹脂を他の重合体および添加剤と混合した後にメタクリル系共重合体（ａ）と混合してもよいし、その他の方法でもよい。混練は、例えば、ニーダールーダー、押出機、ミキシングロール、バンバリーミキサーなどの既知の混合装置または混練装置を使用して行なうことができる。これらのうち、二軸押出機が好ましい。

［蒸着用の基材フィルム］
　本発明の蒸着用の基材フィルムは、前記のメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）を成形することによって製造することができる。また、本発明の基材フィルムは、機械的強度を高めるなどの観点から、前記のメタクリル系樹脂組成物（Ｉ）を成形して原反フィルムを得、該原反フィルムを延伸処理することによって製造することができる。

　メタクリル系樹脂組成物の成形方法は、特に限定されない。成形方法としては、例えば、溶液キャスト法、溶融流涎法、押出成形法、インフレーション成形法、ブロー成形法、カレンダー成形法などを挙げることができる。これらのうち、生産性の観点から押出成形法が好ましい。押出機から吐出されるメタクリル系樹脂組成物の押出機における設定温度は、好ましくは１８０～２８０℃、より好ましくは２００～２６０℃である。

　押出成形法は、通常の熱可塑性樹脂のフィルム成形に用いられる公知の手法を採用することができる。例えば、良好な表面平滑性、良好な光沢、低ヘイズなどの観点から、フラットなＴダイと表面が鏡面仕上げされた２つ以上の金属製のポリシングロールまたはベルトを備えた装置によって成形することができる。一対の鏡面ロールまたは鏡面ベルト間の線圧は、好ましくは１０Ｎ/ｍｍ以上、より好ましくは３０Ｎ/ｍｍである。

　鏡面ロールまたは鏡面ベルトの表面温度は共に１３０℃以下であることが好ましい。また、一対の鏡面ロール若しくは鏡面ベルトは、少なくとも一方の表面温度が６０℃以上であることが好ましい。かかる表面温度に設定すると、押出機から吐出されるメタクリル樹脂組成物を自然冷却よりも速い速度で冷却することができ、表面平滑性に優れかつヘイズの低いフィルムを得やすい。

　メタクリル樹脂組成物は成形の前にフィルターにより溶融濾過することが好ましい。溶融濾過したメタクリル樹脂組成物を用いて成形することにより、異物やゲル等に由来する欠点の少ないフィルムを得やすい。溶融濾過に使用されるフィルターは、特に限定されない。該フィルターは、使用温度、粘度、求められる濾過精度などの観点で公知のものの中から適宜選択される。フィルターの具体例としては、グラスファイバー等からなる不織布；フェノール樹脂含浸セルロースフィルム；金属繊維不織布焼結フィルム；金属粉末焼結フィルム；金網；あるいはこれらを組み合わせてなるものを挙げることができる。中でも耐熱性、耐久性および耐圧力性の観点から金属繊維不織布焼結フィルムを複数枚積層して用いることが好ましい。前記フィルターの濾過精度に特に制限はないが、３０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることがさらに好ましい。

　延伸処理は、樹脂フィルムの分野において用いられる手法を採用することができる。延伸処理は、通常、加熱、延伸、熱固定、および冷却の各過程をこの順に経て行われる。この延伸処理によって、機械的強度が高まり、ひび割れし難い基材フィルムを得ることができる。延伸方法としては、例えば、一軸延伸法、同時二軸延伸法、逐次二軸延伸法、チュブラー延伸法などを挙げることができる。延伸時の温度は、均一に延伸でき、高い強度のフィルムが得られるという観点から、好ましくは１００～２００℃、より好ましくは１２０～１６０℃である。延伸時の引張速度は、長さ基準で好ましくは１００～５０００％／分である。二軸延伸における延伸倍率は、面積比で、好ましくは１．５～８倍である。延伸の後、熱固定を施したり、延伸したフィルムを弛緩させたりすることによって、熱収縮の少ない基材フィルムを得ることができる。本発明において二軸延伸における延伸倍率は、延伸前後のフィルムの長さと幅から測定することができる。

　本発明の蒸着用の基材フィルムの厚さは、１０～５０μｍ、好ましくは１５～４０μｍである。

　本発明の蒸着用の基材フィルムの全光線透過率は８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましく、９０％以上であることがさらに好ましい。全光線透過率が８０％以上であることにより、本発明で得られる蒸着用の基材フィルムは外観品位に優れる。全光線透過率はＪＩＳＫ７１０５に準じた方法で測定することができる。

　本発明の蒸着用の基材フィルムは、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなる層の表面のぬれ張力が、好ましくは３８ｍＮ／ｍ以上、より好ましくは３９ｍＮ／ｍ以上、さらに好ましくは４０ｍＮ／ｍ以上である。表面のぬれ張力が少なくとも３８ｍＮ／ｍ以上であると、本発明の蒸着用の基材フィルムと蒸着膜との接着強度が向上する。表面のぬれ張力を調整するために、例えば、コロナ放電処理、オゾン吹き付け、紫外線照射、火炎処理、化学薬品処理、その他の従来公知の表面処理を施すことができる。ぬれ張力はＪＩＳＫ６７６８に準じた方法で測定することができる。

［蒸着フィルム］
　本発明の蒸着フィルムは、本発明の基材フィルムと、該基材フィルムの少なくとも一面に設けた蒸着膜とを有してなるものである。蒸着膜は、フィルムに各種機能を付与するために設けられる。係る機能としては、例えば、加飾、耐擦傷、帯電防止、防汚、摩擦低減、防眩、光反射防止、高光反射、粘着性、耐衝撃、スティッキング防止、導電性、ガスバリアなどを挙げることができる。上記のように本発明の蒸着フィルムは、本発明の基材フィルムの少なくとも一面に蒸着膜が積層されているととらえることもできるため、本発明の蒸着フィルムは、本発明の積層フィルムと言い換えることもできる。

　蒸着膜に用いられる材料は、特に限定されず、元素金属（エレメンタルメタル）、元素半金属（エレメンタルメタロイド）、無機化合物、有機化合物などを挙げることができる。無機化合物としては、Ｓｉ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｃｅ、Ｔａ等の酸化物および酸化窒化物が好ましい。有機化合物としては、有機高分子化合物が好ましい。また、ポリシロキサン；ポリパラキシリレン；ポリウレタン（ジイソシアナート／グリコール）、ポリ尿素（ジイソシアナート／ジアミン）、ポリチオ尿素（ジチオイソシアナート／ジアミン）、ポリチオエーテルウレタン（ビスエチレンウレタン／ジチオール）、ポリイミン（ビスエポキシ／第一アミン）、ポリペプチドアミド（ビスアゾラクトン／ジアミン）、ポリアミド（ジオレフィン／ジアミド）などの付加重合体、アクリレートポリマーなどを用いることができる。

　これら材料から選ばれる少なくとも１つを用いた蒸着膜を基材フィルムの片面または両面に１層または２層以上設けることができる。

　酸化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウムなどからなる蒸着膜は、光線透過性に優れ、光学用途に適している。

　ポリシロキサンは、例えば、ＲＦ電極を用いた平行平板型のプラズマ装置にヘキサメチルジシロキサンを加熱蒸発させた蒸気を導入し、プラズマ中で重合反応させながら基材フィルム上に堆積させて製膜する。ポリシロキサンからなる蒸着膜は、酸素プラズマ等で容易に親水化でき、無機蒸着膜との密着性が良好であり、且つ曲げ耐性に優れる。

　ポリパラキシリレンは、例えば、高真空中でジパラキシリレンを加熱蒸発させ、この蒸気を６５０℃～７００℃に加熱してジパラキシリレンを熱分解させてラジカルを発生させる。このラジカルを基材フィルムの設置されたチャンバー内に導くと、ラジカルが基材フィルムに吸着され、同時にラジカル重合が進行して、ポリパラキシリレンの膜を形成できる。ポリパラキシリレンからなる蒸着膜は、機械的強度、熱的強度、化学的強度などに優れる。

　付加重合体は、例えば、真空中でモノマー上記を付加重合させながら基材フィルムに堆積させて製膜する。付加重合体のうち、透明性や材料コスト等の観点から、ポリ尿素が好ましい。

　光反射防止機能を付与するために、例えば、基材フィルムの屈折率よりも低い屈折率の蒸着膜を基材フィルム表面に設けるか、または高い屈折率の蒸着膜と低い屈折率の蒸着膜をこの順で基材フィルム表面に設ける。

　導電機能を付与するために、例えば、金属酸化物を含む導電層を基材フィルムに設ける。必要に応じて、インデックスマッチング層、ハードコート層および／またはアンチブロッキングハードコート層を有していてもよい。インデックスマッチング層、ハードコート層、アンチブロッキング層については、業界で周知の構成が採用され得るので、詳細な説明は省略する。

　導電層を構成する材料としては、例えば、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、インジウム－スズ複合酸化物、スズ－アンチモン複合酸化物、亜鉛－アルミニウム複合酸化物、インジウム－亜鉛複合酸化物等を挙げることができる。なかでも好ましくは、インジウム－スズ複合酸化物（ＩＴＯ）である。

　ガスバリア機能を付与するために、例えば、水分子、酸素分子などのバリア対象ガス分子が透過できないほどの緻密な蒸着膜（ガスバリア性蒸着膜）を基材フィルム表面に設ける。

　ガスバリア性蒸着膜を構成する材料としては、例えば、アルミニウム、ニッケル、クロム、鉄、コバルト、亜鉛、金、銀、銅等の元素メタルやそれらの組み合わせからなるメタルアロイ；珪素、ゲルマニウム、炭素（ダイヤモンドライクカーボン、黒鉛など）等の元素メタロイド；酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化インジウム、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ホウ素、酸化亜鉛、酸化セリウム、酸化ハフニウム、酸化バリウム等の酸化物；窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化マグネシウム等の窒化物；炭化珪素等の炭化物；酸化炭化物；窒化炭化物；酸化窒化物；酸化窒化炭化物；硫化物等を挙げることができる。

　これらの材料の中で、酸化物、窒化物、炭化物、酸化炭化物、窒化炭化物、酸化窒化物、および酸化窒化炭化物からなる群より選ばれる少なくともひとつの無機化合物が好ましい。係る無機化合物は、ケイ素化合物（Ｓｉ）、アルミニウム化合物（Ａｌ）、インジウム化合物（Ｉｎ）、スズ化合物（Ｓｎ）、亜鉛化合物（Ｚｎ）、チタン化合物（Ｔｉ）、銅化合物（Ｃｕ）、またはタンタル化合物（Ｔａ）が好ましく、ケイ素化合物（Ｓｉ）、アルミニウム化合物（Ａｌ）、インジウム化合物（Ｉｎ）、スズ化合物（Ｓｎ）、亜鉛化合物（Ｚｎ）、またはチタン化合物（Ｔｉ）がより好ましく、ケイ素化合物またはアルミニウム化合物が最も好ましい。これらの材料は一種単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。例えば、前記無機化合物と、元素メタルや元素メタロイドと、を組み合わせて用いることができる。

　得られた蒸着膜の分析は、例えば、光電子分光光度計、Ｘ線光電子分光装置（ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用いて行うことができる。これらの装置はイオンエッチングによって蒸着膜の厚さ方向での分析を行うことができる。

　本発明の蒸着フィルムにおける蒸着膜は異種または同種の材料からなる膜を２以上積層させたものであってもよい。一例として、透明導電膜の抵抗値の安定性、耐熱安定性を高めるために、ガスバリア性蒸着膜の上に透明導電膜を設ける構成が挙げられる。そのようなガスバリア性蒸着膜の厚さは、特に制限はないが、例えば、０．００１～１μｍが好ましく、０．００２～０．１μｍがより好ましく、０．００３～０．０５μｍがさらに好ましい。かかるガスバリア性蒸着膜の具体例としては、金属酸化物、金属窒化物、若しくはこれらの混合物で構成された薄膜であることが好ましい。

　別の一例として、ガスバリア性蒸着膜を保護するため、またはガスバリア性を高めるために、ガスバリア性蒸着膜の上にさらに一層以上の蒸着膜を設けてもよい。そのような保護用蒸着膜の厚さは、特に制限はないが、例えば、０．０１μｍ～１０μｍが好ましく、０．０３μｍ～５μｍがより好ましく、０．０５μｍ～１μｍがさらに好ましい。保護用蒸着膜の具体例としては、金属酸化物または金属酸化窒化物から成る蒸着膜、有機高分子材料から成る蒸着膜を挙げることができる。

　蒸着膜の厚さは、付与させる機能に応じて設定することができるが、好ましくは３０～２０００ｎｍ、より好ましくは５０～１５００ｎｍ、さらに好ましくは１００～１０００ｎｍ、最も好ましくは２００～８００ｎｍである。薄すぎると蒸着膜への斑、欠陥が生じやすさを抑制する観点、コストの抑制、光透過性低下抑制、着色抑制の観点から、蒸着膜の厚さを上記範囲にすることが好ましい。

　蒸着膜は、公知の蒸着法によって形成することができる。蒸着法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法（ＰＶＤ法）；減圧化学蒸着法、触媒化学蒸着法、プラズマ化学蒸着法等の化学蒸着法（ＣＶＤ法）を挙げることができる。高速成膜が可能であり、基材に対する密着性が良好であることから化学蒸着法が好ましく、プラズマ化学蒸着法がより好ましい。プラズマ化学蒸着法に用いられるプラズマ源の方式としては、平行平板電極を用いた容量結合プラズマ（平行平板型）、誘導結合プラズマ（コイル方式）、表面波を利用したマイクロ波励起プラズマ等を挙げることができる。原料ガス分子を効率的にプラズマ化することができる誘導結合方式が好ましい。

　蒸着は、プラズマ化学蒸着法と他の方式の化学蒸着法（例えば、触媒化学蒸着法など）を併用して行っても良い。プラズマ化学蒸着法と触媒化学蒸着法とを併用することで、プラズマダメージが極めて小さい処理や、成膜レートの高い処理などを行うことが可能となる。

　蒸着を行う前に、本発明の目的を損なわない範囲で、基材フィルムの表面に表面処理を施してもよい。表面処理としては、例えば、低温プラズマ処理、コロナ放電処理等の放電処理法；酸処理、アルカリ処理、有機溶剤処理などの化学薬品処理法；プライマー塗料の塗布による処理法（アンカー層の形成）；などを挙げることができる。放電処理法によってカルボニル基、カルボキシル基、水酸基などを増加させることができるようであり、化学薬品処理法によって、アミノ基、水酸基、カルボニル基などの極性基を増加させることができるようである。

　アンカー層は、特に限定されない。一例を挙げると、アンカー層は、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなる層との密着性がよく、かつ、蒸着膜構成材料の受理性がよい原料であればよく、アクリル系樹脂、ニトロセルロース系樹脂、ポリウレタン系樹脂（ポリオール樹脂を主剤とし、イソシアネート系樹脂を硬化剤として硬化させたものを含む）、アクリルウレタン系樹脂（アクリルポリオール樹脂を主剤とし、イソシアネート系樹脂を硬化剤として硬化させたものを含む）、ポリエステル系樹脂、スチレン－マレイン酸系樹脂、塩素化ＰＰ系樹脂等である。これらの中でも、アンカー層は、密着性がより優れる点から、アクリル系樹脂を含むことが好ましい。

　アクリル系樹脂は特に限定されず、前記したメタクリル樹脂の範疇に含まれるものであってもよい。アンカー層の厚みは、０．１～３μｍが好ましい。アンカー層は厚みが上記範囲であることにより、蒸着フィルムは、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなる層と蒸着膜との密着性が優れる。

　アンカー層は、着色剤や金属顔料が付与されることにより、意匠性が付与されてもよい。たとえば、着色剤としてイエロー顔料が配合されることにより、フィルムは、金色の外観を表現し得る。着色剤の種類や含有量は、所望する金属調の外観に応じて適宜調整され得る。また、アンカー層は、帯電防止剤が配合されることにより、帯電防止効果などの機能が付与されてもよい。さらに、アンカー層は、イソシアネート系樹脂を有する硬化剤が混合されてもよい。イソシアネート系樹脂を有する硬化剤が混合されることにより、得られる蒸着フィルムは、耐熱性、耐候性、耐水性がより向上し得る。

　アンカー層を形成する方法は特に限定されない。一例を挙げると、アンカー層は、ロールコーター等を用いて、適宜溶剤（たとえばメチルエチルケトン、トルエン、酢酸エチル等）に溶解したアンカー層を構成する樹脂溶液を、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなる層に塗布し、次いで８０～１００℃程度で３０秒から１分乾燥することにより形成し得る。

　本発明の蒸着フィルムは、蒸着膜表面に、塗布膜をさらに有してもよい。塗布膜とは、塗料組成物を塗布し、必要に応じて乾燥させ、硬化させて成る膜である。塗布膜によって、各種機能を付与することができる。係る機能としては、例えば、加飾、耐擦傷、帯電防止、防汚、摩擦低減、防曇、防眩、光反射防止、高光反射、粘着性、耐衝撃、スティッキング防止、ガスバリア、透明導電などを挙げることができる。塗料組成物の塗布の仕方に特に制限はなく、例えば、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコート、カーテンフローコート、スプレーコート、バーコート等の方法を用いることができる。

　本発明の蒸着フィルムは、例えば、自動車内外装、パソコン内外装、モバイル端末内外装、ウェアラブル端末内外装、太陽電池内外装、太陽電池バックシート、液晶用導光板、拡散板、バックシート、反射シート、偏光子保護フィルムや位相差フィルムなどの液晶ディスプレイ用フィルム、表面保護フィルムなどの情報機器分野、光ファイバ、光スイッチ、光コネクターなどの光通信分野、自動車ヘッドライトやテールランプレンズ、インナーレンズ、計器カバー、サンルーフ、グレージング、などの車両分野、眼鏡やコンタクトレンズ、内視鏡用レンズ、道路標識、浴室設備、床材、道路透光板、ペアガラス用レンズ、採光窓やカーポート、照明用レンズや照明カバー、建材用サイジングなどの建築・建材分野、電子レンジ調理容器（食器）、家電製品のハウジング、玩具、サングラス、文房具、太陽の集光フィルムなどに使用可能である。また転写泊シートを使用した成形品の代替用途としても使用出来る。

　導電性蒸着膜を具備する透明導電性フィルムの具体的用途としては、太陽電池の光電変換素子の窓電極、電磁シールドの電磁遮蔽膜、透明電波吸収体、透明タッチパネル等の入力装置の電極、液晶ディスプレイ用、有機ＥＬディスプレイ用、またはタッチパネル用の透明電極などの基材等が挙げられる。

　ガスバリア性蒸着膜を具備するガスバリア性フィルムの具体的用途としては、携帯電話、電子書籍等の小型電子モバイルディスプレイの表面パネル部材、有機ＥＬ素子のガスバリア部材、液晶表示素子の保護部材（例えば、偏光子保護フィルムなど）、量子ドット蛍光素子の封止部材、光発電／太陽電池等に用いられる部材、薄膜トランジスタ、タッチパネル、電子ペーパー等に用いられる部材、食品や医薬品等の包装材等が挙げられる。

　以下に実施例および比較例を示して本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
　物性等の測定は以下の方法によって実施した。

（重合転化率）
　島津製作所社製ガスクロマトグラフＧＣ－１４Ａに、カラムとしてＧＬ　Ｓｃｉｅｎｃｅｓ　Ｉｎｃ．製ＩＮＥＲＴＣＡＰ１（ｄｆ＝０．４μｍ、０．２５ｍｍＩ．Ｄ．×６０ｍ）を繋ぎ、下記の条件にて分析を行い、それに基づいて算出した。
　　ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ温度＝２５０℃
　　ｄｅｔｅｃｔｏｒ温度＝２５０℃
　　温度条件：６０℃で５分間保持→１０℃／分で２５０℃まで昇温→２５０℃で１０分間保持

（前駆体ポリマーの各単位組成）
　^１３Ｃ－ＮＭＲによりα-メチルスチレン単位のフェニル基とメタクリル酸メチル単位のカルボニル基とスチレン単位のフェニル基とマレイン酸無水物単位のカルボニル基とのカーボン比を求め、これによって各単位組成を算出した。

（重量平均分子量）
　製造例で得られた各樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＧＰＣ（ゲル・パーミエイション・クロマトグラフィー）法により求めた。測定対象樹脂４ｍｇをテトラヒドロフラン５ｍｌに溶解させて試料溶液を調整した。カラムオーブンの温度を４０℃に設定し、溶離液流量０．３５ｍｌ／分で、試料溶液２０μｌを装置内に注入して、クロマトグラムを測定した。分子量が４００～５，０００，０００の範囲内にある標準ポリスチレン１０点をＧＰＣ測定し、保持時間と分子量との関係を示す検量線を作成した。この検量線に基づいて測定対象樹脂のＭｗを決定した。ＧＰＣにより測定されたクロマトグラムから標準ポリスチレンの分子量に相当する値を共重合体の分子量とした。装置：東ソー社製ＧＰＣ装置ＨＬＣ－８３２０
　分離カラム：東ソー社製のＴＳＫｇｕａｒｄｃｏｌｕｍＳｕｐｅｒＨＺ－ＨとＴＳＫｇｅｌＨＺＭ－ＭとＴＳＫｇｅｌＳｕｐｅｒＨＺ４０００とを直列に連結
　溶離剤：テトラヒドロフラン
　溶離剤流量：０．３５ｍｌ／分
　カラム温度：４０℃
　検出方法：示差屈折率（ＲＩ）

（メタクリル系共重合体中の各単位組成）
　α-メチルスチレン単位とスチレン単位は前駆体ポリマーの各単位組成と同組成とした。
^１Ｈ－ＮＭＲ（Ｂｒｕｋｅｒ社製；商品名ＵＬＴＲＡ　ＳＨＩＥＬＤ　４００　ＰＬＵＳ）を用いて、メタクリル系共重合体の^１Ｈ－ＮＭＲ測定を行い、メタクリル系共重合体中のイミド単位（グルタルイミドとマレイミド）、メタクリル酸メチル単位、芳香族ビニル（α-メチルスチレンとスチレン）単位などの各単量体単位それぞれの含有量（ｍｏｌ％）を求め、当該含有量（ｍｏｌ％）を、各単量体単位の分子量を使用して含有量（重量％）に換算した。また、赤外分光光度計を用いて、１７００ｃｍ^－１付近のマレイミドのカルボニル単位に由来するピークの吸収強度と、１７８０ｃｍ^－１付近のマレイン酸無水物のカルボニルに由来するピークの吸収強度とからマレイン酸無水物のイミド化率（Ｒｍ）を求めた。^１３Ｃ-ＮＭＲで求めた前駆体ポリマーのマレイン酸無水物量（ｍ）とイミド化率（Ｒｍ）より、次式で求めた値をメタクリル共重合体中のマレイン酸無水物量（Ｍ）とした。
　マレイン酸無水物量（Ｍ）＝ｍ×（１００－Ｒｍ）／１００
さらに、赤外分光光度計を用いて、１６８５ｃｍ^－１付近のグルタルイミドのカルボニルに由来するピークの吸収強度と、１７００ｃｍ^－１付近のマレイミドのカルボニル単位に由来するピークの吸収強度とから、メタクリル系共重合体中におけるグルタルイミド単位とマレイミド単位との比率を求めた。^１Ｈ－ＮＭＲで求めたメタクリル系共重合体中のイミド単位量とグルタルイミド単位とマレイミド単位との比率から、メタクリル共重合体中のグルタルイミド単位とマレイミド単位の含有量を求めた。

（全光線透過率；Ｔｔ）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をプレス成形することで、厚さ３ｍｍのシートを成形した。ＪＩＳ　Ｋ７３６１－１に準じて、ヘイズメータ（村上色彩研究所製；商品名ＨＭ－１５０）を用いて上記プレス板の全光線透過率を測定した。

（ガラス転移温度；Ｔｇ）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をクロロホルムに溶解し、メタノールにて再沈殿させたのち、沈殿した樹脂を１００℃で１２時間以上真空乾燥した。真空乾燥した樹脂をＪＩＳ　Ｋ７１２１に準拠して、示差走査熱量測定装置（島津製作所製、ＤＳＣ－５０（品番））を用いて、２５０℃まで一度昇温し、次いで室温まで冷却し、その後、室温から２００℃までを１０℃／分で昇温させる条件にてＤＳＣ曲線を測定した。２回目の昇温時に測定されるＤＳＣ曲線から求められる中間点ガラス転移温度を本発明におけるガラス転移温度とした。

（１％熱重量減少温度）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物を熱重量測定装置（島津製作所製、ＴＧＡ－５０）を用いて、窒素雰囲気下、１０℃／ｍｉｎで昇温し、２００℃を起点とした際において１％重量減少した時点での温度を、１％熱重量減少温度とした。

（飽和吸水率）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をプレス成形後に切削加工することで、厚さ３ｍｍ、一辺５０ｍｍの正方形の試験片を得た。温度８０℃、５ｍｍＨｇの条件下において試験片を２４時間真空乾燥させた。次いで、試験片をデシケータ中で放冷した。デシケータから試験片を取り出して直ぐに質量（初期質量）を測定した。次いで該試験片を２３ ℃の蒸留水に浸漬した。試験片を水から取り出し、表面に付着した水を拭き取って質量を測定した。質量変化がなくなるまで蒸留水への浸漬、質量測定を繰り返した。質量変化がなくなったときの質量（吸水質量）と、初期質量とから、下式によって飽和吸水率を算出した。
　飽和吸水率（％）＝［（吸水質量－初期質量）／初期質量］×１００

（ノッチ無しシャルピー衝撃強度）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をプレス成形後に切削加工することで、厚さ４ｍｍ、長さ８０ｍｍ、幅１０ｍｍの試験片を得た。各試験片を２３℃、相対湿度５０％の条件において、ＪＩＳ　Ｋ７１１１－１／１ｅＵに記載された方法に準拠した方法で測定した。１０回の測定を行い、その平均値をシャルピー衝撃値として採用した。

（メルトフローレート；ＭＦＲ）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をクロロホルムに溶解し、メタノールにて再沈殿させたのち、沈殿した樹脂を１００℃で１２時間以上真空乾燥した。真空乾燥した樹脂をＪＩＳ　Ｋ７２１０に準拠して、２３０℃、３．８ｋｇ荷重の条件で測定した。

（ぬれ張力）
　製造例で得られたメタクリル系樹脂組成物をプレス成形することで、厚さ３ｍｍのシートを成形した。ぬれ張力試験用混合液（和光純薬工業社製）を使用して、２３℃、相対湿度５０％の条件において、ＪＩＳ　Ｋ６７６８に準拠して、ぬれ張力を測定した。

（加熱収縮率）
　実施例および比較例の基材フィルムから１００ｍｍ×３０ｍｍの試験片を切り出した。試験片の表面に７０ｍｍの長さの直線を記入し、１１０℃に保たれた強制循環風式恒温オーブン内で３０分間加熱した。その後、記入した直線の長さ（Ｌ（ｍｍ））をスケールで読取り、下記式により加熱収縮率を算出し、加熱収縮率が１．０％未満のものを合格とした。
　加熱収縮率（％）＝［（７０－Ｌ）／７０］×１００

（吸湿時の寸法安定性）
　実施例および比較例の基材フィルムを、温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上放置し１００ｍｍ×２０ｍｍに切り出し、初期寸法を測定した。その後、試験片を温度８５℃、相対湿度８５％ＲＨの環境中で９６時間保持した。取り出した試験片の寸法を再度測定し、試験後寸法とした。下記式により寸法変化率を算出し、寸法変化率が－３０．０～０．０％のものを合格とした。
　寸法変化率（％）＝（（試験後寸法－初期寸法）／初期寸法）×１００

（延伸性）
＜一軸延伸性＞
　実施例および比較例における未延伸フィルムから５０ｍｍ×４０ｍｍのフィルム片を切り出した。該フィルム片をチャック間２０ｍｍになるように引張試験機（島津製作所製ＡＧ－ＩＳ　５ｋＮ）にセットし、ガラス転移温度＋１０℃の延伸温度、５００％／分の延伸速度、縦方向に面積延伸倍率２倍で一軸延伸し、２分間かけて１００℃以下に冷却した。この試験をフィルム片１０枚について以下評価を行った。
　Ａ：フィルム片１０枚の中、割れやクラックの発生しなかったフィルム片が５枚以上
　Ｂ：フィルム片１０枚の中、割れやクラックの発生しなかったフィルム片が４枚以下

＜二軸延伸性＞
　実施例および比較例の基材フィルム（二軸延伸フィルム）１０枚について以下評価を行った。
　Ａ：フィルム片１０枚の中、割れやクラックの発生しなかったフィルム片が５枚以上
　Ｂ：フィルム片１０枚の中、割れやクラックの発生しなかったフィルム片が４枚以下
　一軸延伸性および二軸延伸性の評価結果から、以下の基準で延伸性の良否を判断した。
　◎：一軸延伸性と二軸延伸性がいずれもＡ判定
　〇：一軸延伸性または二軸延伸性がＡ判定
　×：一軸延伸性と二軸延伸性がＢ判定

（蒸着膜との密着性）
　実施例および比較例の基材フィルムにＳＲＣ－１０－Ｄ（日本真空技術社製）を使用して、４．５×１０^‐５Ｔｏｒｒでアルミニウム、スズ、インジウムの３種類の金属を真空蒸着した。蒸着したアルミニウム、スズ、インジウムの膜厚は５００～１５００オングストロームの範囲になるように設定した。蒸着面側にカッターナイフによって１ｃｍ^２面積中に１００個の碁盤目状の切れ込みを付け、セロテープ（登録商標）剥離テストで評価した。
　〇：蒸着膜に剥離が認められない、または１０マス未満の剥離が認められる
　×：蒸着膜に１０マス以上の剥離が認められる

（寸法安定性）
　実施例および比較例の基材フィルムにＳＲＣ－１０－Ｄ（日本真空技術社製）を使用して、４．５×１０^‐５Ｔｏｒｒでアルミニウム、スズ、インジウムの３種類の金属を真空蒸着した。蒸着したアルミニウム、スズ、インジウムの膜厚は５００～１５００オングストロームの範囲になるように設定した。蒸着膜が上になる状態で１４５℃、６０分間の加熱をした後、室温（２３℃）にて１時間放冷した。その後、蒸着膜が上になる状態で水平な面状にサンプルを置き、中央部の水平面からの高さ（カール値Ａ）を測定した。また、４隅部の水平面からの高さをそれぞれ測定し、その平均値（カール値Ｂ）を算出した。カール値からカール値Ｂを引いた値（Ａ－Ｂ）をカール値として寸法安定性の判定基準とした。
　〇：カール値が０～５０ｍｍの範囲内
　×：カール値が０～５０ｍｍの範囲外

＜各種材料例＞
　本発明に関わるメタクリル系共重合体（ａ）、スチレン－無水マレイン酸共重合体、メタクリル樹脂について、下記に示す材料を用いた。
メタクリル系共重合体（ａ－６）：ポリプラ・エボニック株式会社製ＰＬＥＸＩＭＩＤ　ＴＴ５０　（Ｍｗ＝７６，０００、ＭＭＡ／Ｎ－メチルグルタルイミド＝３０％／７０％、Ｔｇ＝１５１℃、飽和吸水率＝３．８％）
メタクリル系共重合体（ａ－７）：ポリプラ・エボニック株式会社製ＰＬＥＸＩＧＬＡＳ　ｈｗ５５　Ｃｌｅａｒ　（Ｍｗ＝１４１，０００、ＭＭＡ／スチレン／無水マレイン酸＝７４％／１５％／９％、Ｔｇ＝１２１℃、飽和吸水率＝２．２％）
スチレン－無水マレイン酸共重合体：ＰＯＬＹＳＣＯＰＥ社製ＸＩＲＡＮ　３５００　（Ｍｗ＝８０，０００、スチレン／無水マレイン酸＝７４％／２６％、Ｔｇ＝１６０℃、飽和吸水率＝０．３％）
メタクリル樹脂：株式会社クラレ製パラペット　ＨＲ（Ｍｗ＝９０，０００、ＭＭＡ／ＭＡ＝９９．３％／０．７％、Ｔｇ＝１１７℃、飽和吸水率＝２．０％）

（製造例：前駆体ポリマー）
　本製造例の前駆体ポリマーは（ｐ‐１）～（ｐ‐５）は、以下の方法で製造した。
前駆体ポリマー（ｐ‐１）～（ｐ‐２）
　撹拌機付オートクレーブに、精製されたメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）６８．０質量部、α－メチルスチレン（αＭＳｔ）２８．０質量部、スチレン（Ｓｔ）７．０質量部、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオニトリル）（ＡＩＢＮ）０．０５質量部およびｎ－オクチルメルカプタン（ｎ－ＯＭ）０．０１質量部を仕込み、均一に溶解させて重合原料を得た。窒素ガスを反応原料に吹き込み、溶存酸素３ｐｐｍまで除去した。次いで、ブライン冷却凝縮器を備えた連続流通式槽型反応器内を窒素ガスで置換した。重合原料を、平均滞留時間３．０時間となるように一定流量で、前記の槽型反応器内に連続的に供給し、重合温度１４０℃にて塊状重合させ、槽型反応器から前駆体ポリマーを含む液を連続的に排出した。なお、槽型反応器内の圧力は、ブライン冷却凝縮器に接続された圧力調整弁によって調整した。重合転化率は表１に記載の値になった。次いで、反応器から排出された液を２１０℃に加温し、２３０℃に制御された二軸押出機に供給した。該二軸押出機において未反応単量体を主成分とする揮発分を分離除去して、前駆体ポリマーをストランドにして押し出した。該ストランドをペレタイザーでカットし、前駆体ポリマー（ｐ－１）を得た。得られた前駆体ポリマー（ｐ－１）の重量平均分子量Ｍｗを測定した。その結果を表１に示す。また、精製されたメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）７７．５質量部、α－メチルスチレン（αＭＳｔ）１７．５質量部、スチレン（Ｓｔ）５．０質量部、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオニトリル）（ＡＩＢＮ）０．０４質量部およびｎ－オクチルメルカプタン（ｎ－ＯＭ）０．０５３質量部を用い、平均滞留時間を２．５時間に変更した以外、上記前駆体ポリマー（ｐ－１）の製法と同様にして、前駆体ポリマー（ｐ－２）を得た。前駆体ポリマー（ｐ－２）の重合転化率及び重量平均分子量Ｍｗも表１に示す。

前駆体ポリマー（ｐ‐３）
　撹拌機付オートクレーブに、精製されたメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）６０．０質量部、α－メチルスチレン（αＭＳｔ）２５．０質量部、無水マレイン酸（Ｍａｈ）１５．０質量部、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオニトリル）（ＡＩＢＮ）０．００５質量部およびｎ－オクチルメルカプタン（ｎ－ＯＭ）０．０２質量部を仕込み、均一に溶解させて重合原料を得た。窒素ガスを反応原料に吹き込み、溶存酸素３ｐｐｍまで除去した。次いで、ブライン冷却凝縮器を備えた連続流通式槽型反応器内を窒素ガスで置換した。重合原料を、平均滞留時間２時間となるように一定流量で、前記の槽型反応器内に連続的に供給し、重合温度１３０℃にて塊状重合させ、槽型反応器から前駆体ポリマーを含む液を連続的に排出した。なお、槽型反応器内の圧力は、ブライン冷却凝縮器に接続された圧力調整弁によって調整した。重合転化率は表１に記載の値になった。次いで、反応器から排出された液を２３０℃に加温し、２４０℃に制御された二軸押出機に供給した。該二軸押出機において未反応単量体を主成分とする揮発分を分離除去して、前駆体ポリマーをストランドにして押し出した。該ストランドをペレタイザーでカットし、前駆体ポリマー（ｐ－３）を得た。得られた前駆体ポリマー（ｐ－３）の重量平均分子量Ｍｗを測定した。その結果を表１に示す。

前駆体ポリマー（ｐ‐４）
　撹拌機付オートクレーブに、精製されたメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）７５．０質量部、α－メチルスチレン（αＭＳｔ）２５．０質量部、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオニトリル）（ＡＩＢＮ）０．００４質量部およびｎ－オクチルメルカプタン（ｎ－ＯＭ）０．０２質量部を仕込み、均一に溶解させて重合原料を得た。窒素ガスを反応原料に吹き込み、溶存酸素３ｐｐｍまで除去した。次いで、ブライン冷却凝縮器を備えた連続流通式槽型反応器内を窒素ガスで置換した。重合原料を、平均滞留時間３時間となるように一定流量で、前記の槽型反応器内に連続的に供給し、重合温度１３０℃にて塊状重合させ、槽型反応器から前駆体ポリマーを含む液を連続的に排出した。なお、槽型反応器内の圧力は、ブライン冷却凝縮器に接続された圧力調整弁によって調整した。重合転化率は表１に記載の値になった。次いで、反応器から排出された液を２３０℃に加温し、２４０℃に制御された二軸押出機に供給した。該二軸押出機において未反応単量体を主成分とする揮発分を分離除去して、前駆体ポリマーをストランドにして押し出した。該ストランドをペレタイザーでカットし、前駆体ポリマー（ｐ－４）を得た。得られた前駆体ポリマー（ｐ－４）の重量平均分子量Ｍｗを測定した。その結果を表１に示す。

前駆体ポリマー（ｐ‐５）
　特開２００３－２３１７８５号公報の［実施例］の項に記載の共重合体（Ａ）の製造方法に従って、ＭＳ樹脂（メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）とスチレン（Ｓｔ）との共重合体）を重合した。オートクレーブ内に仕込むＭＭＡとＳｔの質量比を変えて、スチレン単量体単位の含有量２０質量％の前駆体ポリマー（ｐ－５）を得た。得られた前駆体ポリマー（ｐ－５）の重量平均分子量Ｍｗを測定した。その結果を表１に示す。

＜製造例１＞
　輸送部、溶融混練部、脱揮部および排出部からなり且つスクリュー回転数１５０ｒｐｍおよび温度２１０～２７０℃に設定された二軸押出機（日本製鋼社製；商品名ＴＥＸ３０ α‐７７ＡＷ－３Ｖ）の輸送部に前駆体ポリマー（ｐ－１）を１５ｋｇ／ｈｒで供給し、ニーディングブロックの設置された溶融混練部においてモノメチルアミンを表１のグルタルイミドに由来する構造単位の含有量になるように添加量を調整し二軸押出機の添加剤供給口から注入し、前駆体ポリマー（ｐ－１）とモノメチルアミンとを反応させた。なお、溶融混練部は、殆どがニーディングディスクから構成され、その両端にシールエレメントが装着されている。脱揮部において、副生成物および過剰のモノメチルアミンを、溶融混練部を通過した溶融樹脂から揮発させ、複数のベントを通して排出した。

　二軸押出機の排出部の末端に設けられたダイスからストランドとして押し出された溶融樹脂を、水槽で冷却し、その後、ペレタイザーでカットしてペレット状のメタクリル系共重合体（ａ－１）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－１）中のグルタルイミドに由来する構造単位の含有量は５３ｗｔ％であった。メタクリル系共重合体（ａ－１）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例２＞
　モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が７０ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－２）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－２）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例３＞
　前駆体ポリマー（ｐ－２）を使用し、モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が３８ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－３）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－３）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例４＞
　前駆体ポリマー（ｐ－３）を使用し、モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が２５ｗｔ％、マレイミドに由来する構造単位の含有量が１５ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－４）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－４）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例５＞
　前駆体ポリマー（ｐ－２）を使用し、モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が１５ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－５）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－５）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例６＞
　前駆体ポリマー（ｐ－４）を使用し、モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が３０ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－８）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－８）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例７＞
　前駆体ポリマー（ｐ－５）を使用し、モノメチルアミンの添加量をグルタルイミドに由来する構造単位の含有量が４８ｗｔ％になるように変更したこと以外は、実施例１と同じ方法で、メタクリル系共重合体（ａ－９）を得た。メタクリル系共重合体（ａ－９）の組成と重量平均分子量Ｍｗを表１に示す。

＜製造例８＞
　メタクリル系共重合体（ａ‐１）を軸径２０ｍｍの二軸押出機で２５０℃にて溶融混練し、押出して、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ－１）を得た。評価結果を表２に示す。

＜製造例９～１９＞
　表２に記載した処方以外は製造例６と同じ方法で、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ－２）～（Ｉ－１２）を得た。評価結果を表２に示す。

＜実施例１＞
　メタクリル系樹脂組成物（Ｉ－１）を８０℃で１２時間乾燥した。２０ｍｍφ単軸押出機（ＯＣＳ社製）を用いて、樹脂温度２６０℃にて、メタクリル系共重合体（ａ－１）を１５０ｍｍ幅のＴダイから押し出し、それを表面温度１１０℃のロールにて引き取り、幅１１０ｍｍ、厚さ１６０μｍの未延伸フィルムを得た。得られた未延伸フィルムを、１００ｍｍ×１００ｍｍに切り出し、パンタグラフ式二軸延伸試験機（東洋精機社製）により、ガラス転移温度＋１０℃の延伸温度、一方向５００％／分の延伸速度、一方向２倍の延伸倍率で逐次二軸延伸し（面積比で４倍）、２分かけて１００℃以下に冷却して取り出し、厚さ４０μｍの二軸延伸フィルム（基材フィルム）を得た。得られた基材フィルムの評価結果を表３に示す。

＜実施例２～５、比較例１～７＞
　メタクリル系樹脂組成物（Ｉ－１）の代わりに、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ－２）～（Ｉ－１２）を用いた以外は実施例１と同じ方法で二軸延伸フィルム（基材フィルム）を得た。得られた基材フィルムの評価結果を表３に示す。

　表３が示すように、実施例１～５で得られた基材フィルムは、シャルピー衝撃強度が高く、流動性に優れるメタクリル系樹脂組成物（Ｉ－１）～（Ｉ－５）を用いることで、延伸性に優れる。また、該樹脂組成物は、耐熱低吸水性であるため、実施例１～５の基材フィルムは熱収縮率が低く、寸法安定性に優れる。さらに、濡れ張力が高いことから、実施例１～５の基材フィルムは蒸着膜との密着性に優れるものとなる。以上から、実施例１～５の基材フィルムは蒸着用基材として好適である。これに対して、耐熱性や低吸水性が十分ではないメタクリル系樹脂組成物（Ｉ－６）～（Ｉ－９）、（Ｉ－１２）を用いた基材フィルム（比較例１～４）は加熱収縮率が高く、寸法安定性も悪化する。また、濡れ張力が低いメタクリル系樹脂組成物（Ｉ－６）を用いた基材フィルム（比較例１）やシャルピー衝撃強度が低い樹脂組成物（Ｉ－１０）を用いた基材フィルム（比較例５）は、延伸性や蒸着膜との密着性が低下する。耐熱分解性が低いメタクリル系樹脂組成物（Ｉ－１１）を用いた基材フィルム（比較例６）は、延伸性が低下する。

Claims

　メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、下記式（１）で表される構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを有するメタクリル系共重合体（ａ）を含有し、且つガラス転移温度が１３５℃以上である、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）からなり、且つフィルム厚みが１０～８０μｍであり、二軸延伸倍率が１．５～８倍である、蒸着用基材フィルム。

（式（Ｉ）中、Ｒ^１は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり、Ｒ^２は、水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基である。）
　ガラス転移温度が１４５℃以上であるメタクリル系樹脂組成物からなる、請求項１に記載の蒸着用基材フィルム。
　飽和吸水率が３．０質量％以下であるメタクリル系樹脂組成物からなる、請求項１に記載の蒸着用基材フィルム。
　請求項１に記載の基材フィルムと、該基材フィルムの少なくとも１方の面に設けた蒸着膜とを有してなる蒸着フィルム。
　蒸着膜が、導電性蒸着膜である、請求項４に記載の蒸着フィルム。
　蒸着膜が、ガスバリア性蒸着膜である、請求項４に記載の蒸着フィルム。
　メタクリル酸メチル単位５～７３質量％と、下記式（１）で表される構造単位（ｒ）２５～７０質量％と、α－メチルスチレン単位１～４８質量％と、スチレン単位及びマレイン酸無水物単位からなる群より選択される少なくとも一種１～４８質量％と、無置換またはＮ－置換マレイミド単位０～２０質量％とを有するメタクリル系共重合体（ａ）を含有し、且つガラス転移温度が１３５℃以上である、メタクリル系樹脂組成物（Ｉ）を成形してフィルムを得、該フィルムを面積比で１．５～８倍に二軸延伸することを含む請求項１に記載の基材フィルムの製造方法。

（式（Ｉ）中、Ｒ^１は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であり、Ｒ^２は、水素原子、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基または芳香環を含む炭素数６～１５の有機基である。）