WO2024004614A1 - 半導体装置 - Google Patents

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WO2024004614A1
WO2024004614A1 PCT/JP2023/021725 JP2023021725W WO2024004614A1 WO 2024004614 A1 WO2024004614 A1 WO 2024004614A1 JP 2023021725 W JP2023021725 W JP 2023021725W WO 2024004614 A1 WO2024004614 A1 WO 2024004614A1
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WO
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semiconductor device
die pad
main surface
semiconductor element
terminal lead
Prior art date
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PCT/JP2023/021725
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English (en)
French (fr)
Inventor
英俊 安部
Original Assignee
ローム株式会社
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/60Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor

Definitions

  • the present disclosure relates to a semiconductor device.
  • Patent Document 1 semiconductor devices are known in which semiconductor elements such as diodes or transistors are covered with resin packages (for example, Patent Document 1).
  • the semiconductor device described in Patent Document 1 includes a semiconductor element, a lead frame, and a resin package.
  • the lead frame includes a plurality of leads, one of which includes a die bonding pad.
  • a semiconductor element is mounted on a die bonding pad.
  • the resin package covers the semiconductor element and also partially covers each of the plurality of leads. The portion of each lead exposed from the resin package is a terminal of the semiconductor device.
  • Such a semiconductor device is mounted on a circuit board of, for example, an electronic device and used in a power supply circuit.
  • a plurality of semiconductor devices may be used in the power supply circuit, and in this case, the plurality of semiconductor devices are mounted on the aforementioned circuit board.
  • An object of the present disclosure is to provide a semiconductor device that is improved over the conventional semiconductor device.
  • one of the objectives of the present disclosure is to provide a semiconductor device that can reduce the mounting area on a circuit board.
  • a semiconductor device provided by one aspect of the present disclosure includes a first semiconductor element having a first main surface facing one side in the thickness direction and a first main surface electrode disposed on the first main surface; a second semiconductor element having a second main surface facing in the same direction as the first main surface and a second main surface electrode disposed on the second main surface; a first die pad on which the first semiconductor element is mounted; a second die pad arranged on one side of the first die pad in a first direction perpendicular to the thickness direction and on which the second semiconductor element is mounted; and a second die pad spaced apart from the first die pad and the second die pad.
  • the semiconductor device includes a one-terminal lead and a sealing resin that covers the first semiconductor element and the second semiconductor element. The first main surface electrode and the second main surface electrode are electrically connected to the first terminal lead inside the sealing resin.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a semiconductor device according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing the semiconductor device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing the sealing resin with imaginary lines in the plan view of FIG. 2.
  • FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3.
  • FIG. 5 is a bottom view showing the semiconductor device according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a front view showing the semiconductor device according to the first embodiment.
  • FIG. 7 is a right side view showing the semiconductor device according to the first embodiment.
  • FIG. 8 is a partially enlarged view of FIG. 7, showing the sealing resin with imaginary lines.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX in FIG. 3.
  • FIG. 10 is a sectional view taken along line XX in FIG.
  • FIG. 11 is a partially enlarged view of FIG. 9 .
  • FIG. 12 is a partially enlarged view of FIG. 9 .
  • FIG. 13 is a partially enlarged view of FIG. 9 .
  • FIG. 14 is a partially enlarged view of FIG. 10.
  • FIG. 15 is a partial enlarged view of a part of FIG. 3.
  • FIG. 16 is a partially enlarged view of FIG. 3.
  • FIG. 17 is a partially enlarged view of FIG. 3.
  • FIG. 18 is a partially enlarged view of FIG. 3.
  • FIG. 19 is a diagram showing an example of the circuit configuration of the semiconductor device according to the first embodiment.
  • FIG. 20 is a plan view showing a semiconductor device according to a first modification of the first embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 20 is a plan view showing a semiconductor device according to a first modification of the first embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 20 is a plan view showing a semiconductor device according
  • FIG. 21 is a plan view showing a semiconductor device according to a second modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 22 is a plan view showing a semiconductor device according to a third modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 23 is a plan view showing a semiconductor device according to a fourth modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 24 is a plan view showing a semiconductor device according to a fifth modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a fifth modification of the first embodiment.
  • FIG. 26 is a plan view showing a semiconductor device according to a sixth modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 27 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a sixth modification of the first embodiment.
  • FIG. 28 is a plan view showing a semiconductor device according to a seventh modification of the first embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 29 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a seventh modification of the first embodiment.
  • FIG. 30 is a plan view showing the semiconductor device according to the second embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 31 is a cross-sectional view taken along the XXXI-XXXI line in FIG. 30.
  • FIG. 32 is a diagram showing an example of the circuit configuration of the semiconductor device according to the second embodiment.
  • FIG. 33 is a plan view showing a semiconductor device according to a first modification of the second embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 34 is a sectional view taken along line XXXIV-XXXIV in FIG. 33.
  • FIG. 35 is a plan view showing a semiconductor device according to a second modification of the second embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 36 is a cross-sectional view taken along line XXXVI-XXXVI in FIG. 35.
  • FIG. 37 is a plan view showing a semiconductor device according to a third modification of the second embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 33 is a plan view showing a semiconductor device according to a first modification of the second embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 34 is a sectional view taken along line XXXIV
  • FIG. 38 is a cross-sectional view taken along the line XXXVIII-XXXVIII in FIG. 37.
  • FIG. 39 is a plan view showing a semiconductor device according to a fourth modification of the second embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 40 is a plan view showing a semiconductor device according to a fifth modification of the second embodiment, in which a sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 41 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a fifth modification of the second embodiment.
  • FIG. 42 is a plan view showing a semiconductor device according to a sixth modification of the second embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 43 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a sixth modification of the second embodiment.
  • FIG. 44 is a plan view showing a semiconductor device according to a seventh modification of the second embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 45 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a semiconductor device according to a seventh modification of the second embodiment.
  • FIG. 46 is a plan view showing the semiconductor device according to the third embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 47 is a plan view showing a semiconductor device according to a modification of the third embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 48 is a plan view showing the semiconductor device according to the fourth embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • FIG. 49 is a plan view showing a semiconductor device according to a modification of the fourth embodiment, in which the sealing resin is shown with imaginary lines.
  • an object A is located on an object B
  • an object A is in contact with an object B, and an object A is located on an object B.
  • an object A overlaps an object B when viewed in a certain direction means, unless otherwise specified, “an object A overlaps all of an object B" and "a certain object A overlaps an object B".
  • a certain thing A (the material of the thing) includes a certain material C” means "a case where the thing A (the material of the thing A) consists of a certain material C" and "the main component of the thing A (the material of the thing)”. "is a certain material C”.
  • the semiconductor device A10 includes a first die pad 10A, a second die pad 10B, a plurality of terminal leads 13, a first semiconductor element 21, a second semiconductor element 22, a first conduction section 31, a pair of first connection members 41A and 41B, and a pair of first connection members 41A and 41B.
  • the plurality of terminal leads 13 include a first terminal lead 14, a second terminal lead 15, a third terminal lead 16, a fourth terminal lead 171, a fifth terminal lead 172, a sixth terminal lead 181, and a seventh terminal lead 182. .
  • the thickness direction of the semiconductor device A10 will be referred to as the "thickness direction z.”
  • one side of the thickness direction z may be referred to as upper side, and the other side may be referred to as lower side.
  • descriptions such as “upper”, “lower”, “upper”, “lower”, “upper surface”, and “lower surface” indicate the relative positional relationship of each component etc. in the thickness direction z, and do not necessarily mean It is not a term that defines the relationship with the direction of gravity.
  • “planar view” refers to when viewed in the thickness direction z.
  • a direction perpendicular to the thickness direction z is referred to as a "first direction x.”
  • a direction perpendicular to the thickness direction z and the first direction x is referred to as a "second direction y.”
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B are located apart from each other in the first direction x, as shown in FIGS. 3 and 9.
  • the first die pad 10A, along with the second die pad 10B and the plurality of terminal leads 13, are configured from the same lead frame.
  • the lead frame is made of copper (Cu) or a copper alloy. Therefore, the compositions of the first die pad 10A, the second die pad 10B, and the plurality of terminal leads 13 include copper.
  • Each of the first die pad 10A and the second die pad 10B has a rectangular shape in plan view, for example.
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B each have a main surface 101 and a back surface 102.
  • the main surface 101 and the back surface 102 described below are common to the first die pad 10A and the second die pad 10B unless otherwise specified.
  • the main surface 101 faces in the thickness direction z (upward).
  • the main surface 101 is covered with a sealing resin 50.
  • a first semiconductor element 21 is mounted on the main surface 101 of the first die pad 10A.
  • the back surface 102 of the first die pad 10A faces the opposite side to the side where the first semiconductor element 21 is located in the thickness direction z.
  • a second semiconductor element 22 is mounted on the main surface 101 of the second die pad 10B.
  • the sealing resin 50 connects the first semiconductor element 21, the second semiconductor element 22, the first conductive part 31, and the first die pad 10A and the second die pad 10B. covering at least a portion of each. Further, the sealing resin 50 partially covers each of the plurality of terminal leads 13.
  • the sealing resin 50 has electrical insulation properties.
  • the sealing resin 50 includes, for example, black epoxy resin. As shown in FIG. 2, a dimension L1 of the sealing resin 50 in the first direction x is longer than a dimension L2 of the sealing resin 50 in the second direction y.
  • the sealing resin 50 has a resin main surface 51, a resin back surface 52, a pair of first side surfaces 53, a second side surface 54, a third side surface 55, a plurality of recesses 56, a groove 57, and a plurality of recesses 581, 582.
  • the resin main surface 51 faces the same side as each main surface 101 of the first die pad 10A and the second die pad 10B in the thickness direction z.
  • the resin back surface 52 faces the opposite side from the resin main surface 51 in the thickness direction z.
  • each back surface 102 of the first die pad 10A and the second die pad 10B is exposed from the resin back surface 52.
  • the pair of first side surfaces 53 are located apart from each other in the first direction x.
  • the pair of first side surfaces 53 face in the first direction x and extend in the second direction y.
  • the pair of first side surfaces 53 are connected to the resin main surface 51 and the resin back surface 52.
  • the second side surface 54 and the third side surface 55 are located apart from each other in the second direction y.
  • the second side surface 54 and the third side surface 55 face oppositely to each other in the second direction y and extend in the first direction x.
  • the second side surface 54 and the third side surface 55 are connected to the resin main surface 51 and the resin back surface 52.
  • a plurality of terminal leads 13 are exposed from the third side surface 55.
  • the plurality of recesses 56 are recessed from the third side surface 55 in the second direction y, and extend from the resin main surface 51 to the resin back surface 52 in the thickness direction z. In the first direction They are located individually between the terminal lead 15 and between the second terminal lead 15 and the sixth terminal lead 181.
  • the groove portion 57 is recessed from the resin back surface 52 in the thickness direction z and extends along the second direction y. Both sides of the groove portion 57 in the second direction y are connected to the second side surface 54 and the third side surface 55. When viewed in the thickness direction z, the groove portion 57 separates the back surface 102 of the first die pad 10A and the back surface 102 of the second die pad 10B. Note that the sealing resin 50 does not need to have the groove portion 57.
  • each of the plurality of recesses 581, 582 is recessed from the main resin surface 51 in the thickness direction z.
  • the plan view shape of each of the plurality of recesses 581 and 582 is not particularly limited, in the illustrated example, it is circular.
  • Each of the plurality of recesses 581 overlaps the first die pad 10A in plan view.
  • the plurality of recesses 581 are individually located near the four corners of the first die pad 10A in plan view.
  • Each of the plurality of recesses 582 overlaps the second die pad 10B in plan view.
  • the plurality of recesses 582 are individually located near the four corners of the second die pad 10B in plan view.
  • Each of the plurality of recesses 581 and 582 does not overlap the first conductive portion 31 in plan view. Furthermore, each of the plurality of recesses 581, 582 does not overlap with either the pair of first connecting members 41A, 41B or the pair of second connecting members 42A, 42B in plan view.
  • the plurality of recesses 581 are formed by pins for fixing the first die pad 10A during manufacturing of the semiconductor device A10. The pin is pressed against the first die pad 10A before forming the sealing resin 50, and fixes the first die pad 10A. In this state, formation of the sealing resin 50 is started. Then, the pin is pulled out before the formation of the sealing resin 50 is completed.
  • the sealing resin 50 is formed in at least a portion of the area where the pin was arranged, so that the main surface 101 of the first die pad 10A is covered with the sealing resin 50.
  • the plurality of recesses 581 are marks formed by such a molding process of the sealing resin 50.
  • the plurality of recesses 582 are formed by pins for fixing the second die pad 10B during manufacturing of the semiconductor device A10.
  • the plurality of recesses 582 are marks formed by the molding process of the sealing resin 50.
  • the sealing resin 50 further has a plurality of traces 589, as shown in FIGS. 1, 2, and 5.
  • the plurality of marks 589 are, for example, marks caused by pressing an ejector pin for ejecting the sealing resin 50 from the mold when the sealing resin 50 was formed.
  • Each of the plurality of traces 589 is depressed from either the resin main surface 51 or the resin back surface 52. Note that none of the plurality of traces 589 may be formed on the sealing resin 50.
  • the back surface 102 of the first die pad 10A and the back surface 102 of the second die pad 10B each have a trace 109.
  • the traces 109 formed on the first die pad 10A and the traces 109 formed on the second die pad 10B are traces where the ejector pins described above were pressed.
  • the trace 109 formed on the first die pad 10A is depressed from the back surface 102 of the first die pad 10A, and the trace 109 formed on the second die pad 10B is depressed from the back surface 102 of the second die pad 10B. Note that the trace 109 does not need to be formed on either the first die pad 10A or the second die pad 10B.
  • the depths of the plurality of traces 589 and the plurality of traces 109 are, for example, smaller than the depths of the plurality of recesses 581, but may be larger or the same.
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B have a first end surface 111, a second end surface 112, a third end surface 113, and a fourth end surface 114.
  • the first end surface 111, the second end surface 112, the third end surface 113, and the fourth end surface 114 are covered with a sealing resin 50.
  • the first end surface 111 faces in the first direction x and extends in the second direction y.
  • the first end surface 111 is located closest to the pair of first side surfaces 53 of the sealing resin 50.
  • the second end surface 112 faces in the second direction y and extends in the first direction x.
  • the second end surface 112 is located closest to the second side surface 54 of the sealing resin 50.
  • the third end surface 113 faces opposite to the second end surface 112 in the second direction y, and extends in the first direction x.
  • the third end surface 113 is located closest to the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the fourth end surface 114 faces opposite to the first end surface 111 in the first direction x, and extends in the second direction y.
  • a groove 57 is located between the fourth end surface 114 of the first die pad 10A and the fourth end surface 114 of the second die pad 10B.
  • the distance P2 between the third end surface 113 and the third side surface 55 is longer than the distance P1 between the second end surface 112 and the second side surface 54.
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B have a first corner end surface 121.
  • the first corner end surface 121 is located between the first end surface 111 and the second end surface 112, and is located at the corner of either the first die pad 10A or the second die pad 10B.
  • the first corner end surface 121 is a plane that is covered with the sealing resin 50 and is inclined with respect to the first end surface 111 and the second end surface 112. Either the first inclination angle ⁇ 1 of the first corner end face 121 with respect to the first end face 111 shown in FIG. 15 and the second inclination angle ⁇ 2 of the first corner end face 121 with respect to the second end face 112 shown in FIG. ° or less.
  • One of the plurality of recesses 581 is located near the first corner end surface 121 of the first die pad 10A in plan view, and one of the plurality of recesses 582 is located near the second die pad 10B in plan view. It is located near the first corner end face 121 of.
  • the longest normal line Nmax of the first corner end face 121 is set.
  • the longest normal Nmax is the closest from the first corner end surface 121 of either the first die pad 10A or the second die pad 10B to the first corner end surface 121 of the pair of first side surfaces 53 of the sealing resin 50. This is the maximum value of the normal line of the first corner end surface 121 that reaches the first side surface 53 located therein.
  • the longest normal Nmax is 1.0 times or more the length of the intersection line C (see FIG. 15) between the first corner end surface 121 and a virtual plane whose in-plane directions are the first direction x and the second direction y. It is 1.5 times or less.
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B have a second corner end surface 122.
  • the second corner end surface 122 is located between the first end surface 111 and the third end surface 113, and is located at the corner of either the first die pad 10A or the second die pad 10B.
  • the second corner end surface 122 is a plane that is covered with the sealing resin 50 and is inclined with respect to the first end surface 111 and the third end surface 113. Either the third inclination angle ⁇ 3 of the second corner end face 122 with respect to the first end face 111 shown in FIG. 16 and the fourth inclination angle ⁇ 4 of the second corner end face 122 with respect to the third end face 113 shown in FIG. ° or less.
  • One of the plurality of recesses 581 is located near the second corner end surface 122 of the first die pad 10A in a plan view, and one of the plurality of recesses 582 is located near the second die pad 10B in a plan view. It is located near the second corner end face 122 of.
  • One of the plurality of recesses 581 is located near the third corner end surface 123 of the first die pad 10A in plan view, and one of the plurality of recesses 582 is located near the second die pad 10B in plan view. It is located near the third corner end face 123 of.
  • One of the plurality of recesses 581 is located near the fourth corner end surface 124 of the first die pad 10A in plan view, and one of the plurality of recesses 582 is located near the second die pad 10B in plan view. It is located near the fourth corner end face 124 of.
  • the second die pad 10B has a seat surface 103 and an upright surface 104.
  • the seat surface 103 faces the same side as the main surface 101 in the thickness direction z, and is located between the main surface 101 and the back surface 102 in the thickness direction z.
  • the seat surface 103 is connected to a fourth end surface 114.
  • the upright surface 104 faces in a direction perpendicular to the thickness direction z, and is connected to the seat surface 103 and the main surface 101.
  • the seat surface 103 and the upright surface 104 form a step difference in the second die pad 10B.
  • Each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 is, for example, a transistor.
  • the transistor in the semiconductor device A10 is a MOSFET (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor), but may also be a bipolar transistor, an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor), etc. .
  • parasitic diode components built into each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 are also illustrated.
  • Each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 is, for example, an n-channel type, but may be a p-channel type.
  • Each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 includes a compound semiconductor substrate.
  • the composition of the compound semiconductor substrate includes silicon (Si) or silicon carbide (SiC).
  • the first semiconductor element 21 is mounted on the first die pad 10A, as shown in FIGS. 3 and 9.
  • the center of gravity of the first semiconductor element 21 overlaps with the center of the first die pad 10A.
  • the center of the first die pad 10A is the center when the first die pad 10A is divided into Nx (Nx is a positive odd number) in the first direction x, and the center of the first die pad 10A is divided into Ny (Ny is a positive odd number) This is the area corresponding to the center when divided.
  • Nx and Ny are each 3 or 5, for example, although they are not limited in any way.
  • the first semiconductor element 21 has a first main surface 21a and a first back surface 21b.
  • the first main surface 21a and the first back surface 21b are spaced apart from each other in the thickness direction z.
  • the first main surface 21a faces the same direction as the main surface 101 of the first die pad 10A.
  • the first back surface 21b faces opposite to the first main surface 21a in the thickness direction z, and faces the main surface 101 of the first die pad 10A.
  • the first main surface electrode 211 is arranged on the first main surface 21a. A current corresponding to the power converted by the first semiconductor element 21 flows through the first main surface electrode 211 .
  • the first main surface electrode 211 is, for example, a source electrode.
  • the first main surface electrode 211 includes a plurality of metal plating layers.
  • the first main surface electrode 211 includes a nickel (Ni) plating layer and a gold (Au) plating layer laminated on the nickel plating layer.
  • the first main surface electrode 211 may include a nickel plating layer, a palladium (Pd) plating layer laminated on the nickel plating layer, and a gold plating layer laminated on the palladium plating layer. But that's fine.
  • the main surface electrode 212 is arranged on the first main surface 21a.
  • a first drive signal (gate voltage) for driving the first semiconductor element 21 is applied to the main surface electrode 212 .
  • the main surface electrode 212 is, for example, a gate electrode.
  • the area of the main surface electrode 212 is smaller than the area of the first main surface electrode 211.
  • the first back electrode 213 is arranged on the first back surface 21b.
  • the first back electrode 213 is provided facing the main surface 101 of the first die pad 10A.
  • a current corresponding to the power before being converted by the first semiconductor element 21 flows through the first back electrode 213 .
  • the first back electrode 213 is, for example, a drain electrode.
  • the second semiconductor element 22 is mounted on the main surface 101 of the second die pad 10B.
  • the center of gravity of the second semiconductor element 22 overlaps the center of the second die pad 10B in plan view.
  • the center of the second die pad 10B is the center when the second die pad 10B is divided into Lx (Lx is a positive odd number) in the first direction x, and the center of the second die pad 10B is divided into Ly (Ly) in the second direction y. is a positive odd number) This is the area corresponding to the center when divided.
  • Lx and Ly are each 3 or 5, for example, although there are no limitations.
  • the second semiconductor element 22 has a second main surface 22a and a second back surface 22b.
  • the second main surface 22a and the second back surface 22b are spaced apart from each other in the thickness direction z.
  • the second main surface 22a faces the same direction as the main surface 101 of the second die pad 10B.
  • the second back surface 22b faces the opposite side from the second main surface 22a in the thickness direction z, and faces the main surface 101 of the second die pad 10B.
  • the second semiconductor element 22 is mounted on the second die pad 10B, as shown in FIGS. 3 and 9. As shown in FIG. 12, the second semiconductor element 22 has a second main surface electrode 221, a main surface electrode 222, and a second back electrode 223.
  • the second main surface electrode 221 is arranged on the second main surface 22a. A current corresponding to the power converted by the second semiconductor element 22 flows through the second main surface electrode 221 .
  • the second main surface electrode 221 is, for example, a source electrode.
  • the second main surface electrode 221 includes a plurality of metal plating layers.
  • the second main surface electrode 221 includes a nickel (Ni) plating layer and a gold (Au) plating layer laminated on the nickel plating layer.
  • the second principal surface electrode 221 may include a nickel plating layer, a palladium (Pd) plating layer laminated on the nickel plating layer, and a gold plating layer laminated on the palladium plating layer. But that's fine.
  • the main surface electrode 222 is arranged on the second main surface 22a.
  • a second drive signal (gate voltage) for driving the second semiconductor element 22 is applied to the main surface electrode 222 .
  • the main surface electrode 222 is, for example, a gate electrode.
  • the area of the main surface electrode 222 is smaller than the area of the second main surface electrode 221.
  • the second back electrode 223 is arranged on the second back surface 22b.
  • the second back electrode 223 is provided facing the main surface 101 of the second die pad 10B.
  • a current corresponding to the power before being converted by the second semiconductor element 22 flows through the second back electrode 223 .
  • the second back electrode 223 is, for example, a drain electrode.
  • the semiconductor device A10 further includes two die bonding layers 231 and 232.
  • Each of the two die bonding layers 231 and 232 has conductivity.
  • Each die bonding layer 231, 232 is, for example, solder.
  • each die bonding layer 231, 232 may be made of sintered metal.
  • the die bonding layer 232 is interposed between the main surface 101 of the second die pad 10B and the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22, as shown in FIGS. 9, 10, and 12.
  • the die bonding layer 232 bonds the main surface 101 of the second die pad 10B and the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22. Thereby, the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22 is electrically connected to the second die pad 10B.
  • the first terminal lead 14 is located apart from the first die pad 10A and the second die pad 10B in the second direction y, and the second terminal lead 15 and the third terminal lead in the first direction x. It is located between 16 and 16.
  • the first terminal lead 14 extends along the second direction y.
  • the first terminal lead 14 is electrically connected to the first main surface electrode 211 (source electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (source electrode) of the second semiconductor element 22 .
  • the first terminal lead 14 includes a covering portion 14A and an exposed portion 14B. As shown in FIG. 10, the covering portion 14A is covered with a sealing resin 50. As shown in FIGS.
  • the exposed portion 14B is connected to the covering portion 14A and exposed from the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the exposed portion 14B extends in the second direction y away from the first die pad 10A and the second die pad 10B.
  • the surface of the exposed portion 14B is plated with tin, for example.
  • the covering portion 14A of the first terminal lead 14 has a seat surface 14C and an upright surface 14D.
  • the seat surface 14C faces the same side as each main surface 101 of the first die pad 10A and the second die pad 10B in the thickness direction z, and is thicker than the upper surface of the covering portion 14A (the surface facing upward in the thickness direction z). It is located on the lower side in direction z.
  • the upright surface 14D faces in a direction perpendicular to the thickness direction z and is connected to the seat surface 14C and the upper surface of the covering portion 14A.
  • the seat surface 14C and the upright surface 14D form a step difference in the covering portion 14A of the first terminal lead 14. Note that the covering portion 14A does not need to have either the seat surface 14C or the upright surface 14D.
  • the second terminal lead 15 includes a portion extending along the second direction y, and is connected to the first die pad 10A. Therefore, the second terminal lead 15 is electrically connected to the first back electrode 213 (drain electrode) of the first semiconductor element 21 via the first die pad 10A.
  • the second terminal lead 15 includes a covering portion 15A and an exposed portion 15B.
  • the covering portion 15A is connected to the third end surface 113 of the first die pad 10A, and is covered with the sealing resin 50.
  • the covering portion 15A is bent when viewed in the first direction x.
  • the exposed portion 15B is connected to the covering portion 15A and exposed from the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the exposed portion 15B extends away from the first die pad 10A in the second direction y.
  • the surface of the exposed portion 15B is plated with tin, for example.
  • the fourth terminal lead 171 includes a covering portion 171A and an exposed portion 171B.
  • the covering portion 171A is covered with a sealing resin 50.
  • the exposed portion 171B is connected to the covering portion 171A and exposed from the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the exposed portion 171B extends away from the first die pad 10A in the second direction y. For example, tin plating is applied to the surface of the exposed portion 171B.
  • the fifth terminal lead 172 includes a covered portion 172A and an exposed portion 172B.
  • the covering portion 172A is covered with a sealing resin 50.
  • the exposed portion 172B is connected to the covering portion 172A and is exposed from the sealing resin 50.
  • the exposed portion 172B extends away from the second die pad 10B in the second direction y.
  • the surface of the exposed portion 172B is plated with tin, for example.
  • the sixth terminal lead 181 is located away from the first die pad 10A in the second direction y, and between the second terminal lead 15 and the fourth terminal lead 171 in the first direction x. To position. As shown in FIG. 3, the seventh terminal lead 182 is located away from the second die pad 10B in the second direction y, and between the third terminal lead 16 and the fifth terminal lead 172 in the first direction x. To position. The sixth terminal lead 181 is electrically connected to the first main surface electrode 211 (source electrode) of the first semiconductor element 21 . A voltage corresponding to the current flowing through the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 is applied to the sixth terminal lead 181 .
  • the seventh terminal lead 182 is electrically connected to the second main surface electrode 221 (source electrode) of the second semiconductor element 22 .
  • a voltage corresponding to the current flowing through the second main surface electrode 221 (source electrode) of the second semiconductor element 22 is applied to the seventh terminal lead 182.
  • the sixth terminal lead 181 includes a covering portion 181A and an exposed portion 181B.
  • the covering portion 181A is covered with a sealing resin 50.
  • the exposed portion 181B is connected to the covering portion 181A and exposed from the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the exposed portion 181B extends away from the first die pad 10A in the second direction y. For example, tin plating is applied to the surface of the exposed portion 181B.
  • the seventh terminal lead 182 includes a covered portion 182A and an exposed portion 182B.
  • the covering portion 182A is covered with a sealing resin 50.
  • the exposed portion 182B is connected to the covering portion 182A and exposed from the third side surface 55 of the sealing resin 50.
  • the exposed portion 182B extends away from the second die pad 10B in the second direction y. For example, tin plating is applied to the surface of the exposed portion 182B.
  • each height h of the exposed portion 14B of the first terminal lead 14, the exposed portion 15B of the second terminal lead 15, and the exposed portion 16B of the third terminal lead 16 is They are the same (or nearly the same). Furthermore, each of these thicknesses are the same (or substantially the same). Therefore, when viewed in the first direction x, at least a portion (exposed portion 14B) of the first terminal lead 14 overlaps each of the second terminal lead 15 and the third terminal lead 16 (see FIG. 7).
  • the first conductive portion 31 connects the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21, the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22, and the first terminal lead 14 to each other.
  • Make conductive The first conductive portion 31 is a metal plate.
  • the first conductive portion 31 is a metal clip.
  • the composition of the first conductive portion 31 includes copper, for example.
  • the first conductive portion 31 is covered with a sealing resin 50.
  • the first conductive section 31 includes a first joint section 311 , a second joint section 312 , a third joint section 313 , a first connection section 314 , and a second connection section 315 .
  • the first bonding portion 311 is bonded to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21, as shown in FIGS. 3, 4, 9, and 11.
  • the first joint portion 311 includes two band-shaped portions 311a. As shown in FIGS. 3 and 4, each of the two strip portions 311a has the first direction x as its longitudinal direction. The two strips 311a are arranged parallel to each other in plan view. Note that the first joint portion 311 does not need to be separated into two band-like portions 311a.
  • the area of the first joint portion 311 in a plan view (the sum of the areas of the two strip portions 311a) is, for example, 10% or more and 100% or less of the area of the first main surface electrode 211 in a plan view.
  • the second bonding portion 312 is bonded to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22, as shown in FIGS. 3, 4, 9, and 12.
  • the second joint portion 312 includes two band-shaped portions 312a. As shown in FIGS. 3 and 4, each of the two strip portions 312a has a first direction x as its longitudinal direction. The two strips 312a are arranged parallel to each other in plan view. Note that the second joint portion 312 does not need to be separated into two band-like portions 312a.
  • the area of the second joint portion 312 in a plan view (the sum of the areas of the two strip portions 312a) is, for example, 10% or more and 100% or less of the area of the second main surface electrode 221 in a plan view.
  • the third joint portion 313 is joined to the covering portion 14A of the first terminal lead 14, as shown in FIGS. 3, 4, 10, and 14.
  • the third joint portion 313 is joined to the seat surface 14C of the first terminal lead 14.
  • the third joint 313 extends in the first direction x. At least a portion of the third joint portion 313 is accommodated in a region defined by the seating surface 14C and the upright surface 14D of the first terminal lead 14. Note that when the seating surface 14C and the upright surface 14D are not formed on the covering portion 14A of the first terminal lead 14, the third joint portion 313 is formed on the upper surface of the covering portion 14A (the surface facing upward in the thickness direction z). ).
  • the first connecting part 314 is connected to the first joint part 311 and the second joint part 312, as shown in FIGS. 3, 4, and 9.
  • the first connecting portion 314 has a band shape extending in the first direction x when viewed from above.
  • the first connecting portion 314 includes a main body portion 314a and a pair of bent portions 314b and 314c, as shown in FIGS. 4 and 9.
  • the main body part 314a constitutes the main part of the first connecting part 314.
  • the main body portion 314a is strip-shaped in plan view.
  • the main body portion 314a extends in the first direction x.
  • the main body portion 314a is located above the first joint portion 311 and the second joint portion 312 in the thickness direction z.
  • the pair of bent portions 314b and 314c are respectively connected to both ends of the main body portion 314a in the first direction x.
  • the pair of bent portions 314b and 314c are bent downward in the thickness direction z from the main body portion 314a.
  • the pair of bent portions 314b are connected to the first joint portion 311, and the pair of bent portions 314c are connected to the second joint portion 312.
  • the bent portion 314b is bifurcated, and is connected to the two band-like portions 311a, respectively.
  • the bent portion 314b does not have to be bifurcated.
  • the first joint portion 311 does not need to be separated into two band-like portions 311a.
  • the bent portion 314c is bifurcated and is connected to the two band-like portions 312a, respectively.
  • the bent portion 314c does not have to be bifurcated.
  • the second joint portion 312 does not need to be separated into two strip portions 312a.
  • the second connecting part 315 is connected to the first connecting part 314 and the third joint part 313, as shown in FIGS. 3, 4, and 10.
  • the second connecting portion 315 has a band shape extending in the second direction y when viewed from above.
  • the second connecting portion 315 extends from the first connecting portion 314 in the second direction y and is connected to the third joint portion 313 .
  • the second connecting portion 315 is connected to the center of the main body portion 314a of the first connecting portion 314 in the first direction x.
  • the second connecting portion 315 includes a main body portion 315a and a bent portion 315b, as shown in FIGS. 4, 10, and 14.
  • the main body part 315a constitutes the main part of the second connecting part 315.
  • the main body portion 315a is strip-shaped in plan view.
  • the main body portion 315a extends in the second direction y.
  • the main body portion 315a is located above the third joint portion 313 in the thickness direction z.
  • the main body portion 315a is arranged at the same (or substantially the same) position as the main body portion 314a in the thickness direction z.
  • the bent portions 315b are respectively connected to end portions of the main body portion 315a on one side in the second direction y (the side where the third joint portion 313 is located in the second direction y).
  • the bent portion 315b is bent downward in the thickness direction z from the main body portion 315a.
  • the bent portion 315b is connected to the third joint portion 313.
  • the first conductive portion 31 is bent in the thickness direction z by each of the pair of bending portions 314b, 314c and the bending portion 315b, but unlike this configuration, the first conduction portion 31
  • the first main surface 21a, the second main surface 22a of the second semiconductor element 22, and the upper surface of the covering portion 14A of the first terminal lead 14 are the same ( or substantially the same height), the first conductive portion 31 does not need to be bent in the thickness direction z. That is, the first conductive portion 31 may be a flat plate.
  • the first conductive portion 31 is T-shaped in plan view. Further, the first conductive portion 31 is symmetrical with respect to the auxiliary line La as the axis in plan view.
  • the auxiliary line La extends in the second direction y and overlaps the third joint 313 in plan view.
  • the auxiliary line La overlaps the center of the second connecting portion 315 in the first direction x when viewed from above, and also overlaps the center of the first connecting portion 314 in the first direction x when viewed from above.
  • the center of gravity CG (see FIG. 4) of the first conductive portion 31 is located above the first conductive portion 31. That is, the center of gravity CG of the first conductive part 31 overlaps with the first conductive part 31 in plan view.
  • the semiconductor device A10 further includes a plurality of bonding layers 33, 34, and 35, as shown in FIGS. 11, 12, and 14.
  • Each of the plurality of bonding layers 33, 34, and 35 is electrically conductive.
  • Each of the plurality of bonding layers 33, 34, and 35 is made of, for example, solder, but may also be made of sintered metal.
  • the bonding layer 33 is interposed between the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the first bonding portion 311 of the first conductive portion 31 .
  • the bonding layer 33 electrically connects the first main surface electrode 211 and the first bonding portion 311 . As shown in FIG.
  • the bonding layer 34 is interposed between the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 and the second bonding portion 312 of the first conductive portion 31 .
  • the bonding layer 34 electrically connects the second main surface electrode 221 and the second bonding portion 312.
  • the bonding layer 35 is interposed between the covering portion 14A of the first terminal lead 14 and the third bonding portion 313 of the first conductive portion 31.
  • the bonding layer 35 electrically connects the covering portion 14A and the third bonding portion 313.
  • the thickness t (see FIG. 11) of the first bonding portion 311 is 0.1 mm or more, and the maximum thickness Tmax (see FIG. 11) of the bonding layer 33. It is less than twice that.
  • the maximum thickness Tmax of the bonding layer 33 is greater than the thickness of the first semiconductor element 21.
  • the thickness t (see FIG. 12) of the second bonding portion 312 is 0.1 mm or more and not more than twice the maximum thickness Tmax (see FIG. 12) of the bonding layer 34. It is.
  • the maximum thickness Tmax of the bonding layer 34 is greater than the thickness of the second semiconductor element 22.
  • Each of the pair of first connecting members 41A, 41B and the pair of second connecting members 42A, 42B is, for example, a bonding wire.
  • Each composition of the pair of first connecting members 41A, 41B and the pair of second connecting members 42A, 42B includes gold.
  • the compositions of the pair of first connecting members 41A, 41B and the pair of second connecting members 42A, 42B may include copper or aluminum (Al).
  • the first connecting member 41A is joined to the main surface electrode 212 of the first semiconductor element 21 and the covering portion 171A of the fourth terminal lead 171.
  • the fourth terminal lead 171 is electrically connected to the main surface electrode 212 of the first semiconductor element 21 .
  • the first connecting member 41B is joined to the main surface electrode 222 of the second semiconductor element 22 and the covering portion 172A of the fifth terminal lead 172, as shown in FIG. Thereby, the fifth terminal lead 172 is electrically connected to the main surface electrode 222 of the second semiconductor element 22.
  • the second connecting member 42A is joined to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the covering portion 181A of the sixth terminal lead 181.
  • the sixth terminal lead 181 is electrically connected to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 .
  • the second connecting member 42B is joined to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 and the covering portion 182A of the seventh terminal lead 182, as shown in FIG. Thereby, the seventh terminal lead 182 is electrically connected to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 .
  • the semiconductor device A10 configured as described above, as shown in FIG. 19, the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 are electrically connected to each other. and are commonly connected to the first terminal lead 14.
  • the semiconductor device A10 has the source electrodes of the two MOSFETs connected in common to one terminal (first terminal lead 14). Configure a circuit (source common connected circuit).
  • the functions and effects of the semiconductor device A10 according to the first embodiment are as follows.
  • the semiconductor device A10 includes a first semiconductor element 21, a second semiconductor element 22, and a sealing resin 50.
  • the sealing resin 50 covers the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22. According to this configuration, in the semiconductor device A10, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are packaged with one sealing resin 50. Therefore, the semiconductor device A10 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor device A10 is mounted.
  • the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 are electrically connected to the first terminal lead 14 inside the sealing resin 50.
  • the first terminal lead 14 becomes a common terminal for the first main surface electrode 211 and the second main surface electrode 221.
  • the semiconductor device A10 is connected to the common source.
  • the first terminal lead 14 serves as a common terminal for each source of the two MOSFETs. In other words, in the semiconductor device A10, a circuit in which two MOSFETs are connected to common source can be packaged into one package.
  • the first conductive portion 31 includes a first bonding portion 311, a second bonding portion 312, and a third bonding portion 313.
  • the first bonding portion 311 is conductively bonded to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21, the second bonding portion 312 is conductively bonded to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22, and the third
  • the joint portion 313 is electrically connected to the first terminal lead 14 (sheathing portion 14A).
  • the first principal surface electrode 211, the second principal surface electrode 221, and the first terminal lead 14 can be electrically connected to each other by one member (first conductive portion 31).
  • the first conductive portion 31 is symmetrical with respect to the axis (auxiliary line La) extending in the second direction y when viewed in the thickness direction z. Further, the axis (auxiliary line La) overlaps the third joint portion 313. According to this configuration, the conductive distance from the third bonding portion 313 (covering portion 14A of the first terminal lead 14) to the first bonding portion 311 (first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21) and the third It is possible to equalize the conduction distance from the joint portion 313 (covering portion 14A of the first terminal lead 14) to the second joint portion 312 (second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22).
  • the center of gravity CG of the first conductive portion 31 overlaps with the first conductive portion 31 when viewed in the thickness direction z. According to this configuration, it is possible to transport the first conductive portion 31 in a stable posture during manufacturing of the semiconductor device A10. As a result, it is possible to prevent the first conductive part 31 from being joined to the first semiconductor element 21, the second semiconductor element 22, and the first terminal lead 14 in an inclined state. It can be appropriately bonded to each of the first main surface electrode 211 of the semiconductor element 21, the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22, and the covering portion 14A of the first terminal lead 14.
  • the first conductive section 31 includes a first connecting section 314 and a second connecting section 315.
  • the first connecting portion 314 extends along the first direction x between the first joint portion 311 and the second joint portion 312 when viewed in the thickness direction z.
  • the second connecting portion 315 extends in the second direction y between the first connecting portion 314 (main body portion 314a) and the third joint portion 313 when viewed in the thickness direction z.
  • the first conductive portion 31 has a T-shape when viewed in the thickness direction z, so that the first conductive portion 31 can be made line symmetrical with respect to the axis (auxiliary line La).
  • the center of gravity CG of the first conductive portion 31 can be overlapped with the first conductive portion 31 when viewed in the thickness direction z.
  • the sealing resin 50 has a plurality of recesses 581.
  • Each of the plurality of recesses 581 is recessed from the main resin surface 51 in the thickness direction z.
  • the plurality of recesses 581 overlap the first die pad 10A in plan view.
  • the plurality of recesses 581 are marks formed by fixing the first die pad 10A with a plurality of pins during manufacturing of the semiconductor device A10. Therefore, since the first die pad 10A is held down by the plurality of pins during the manufacture of the semiconductor device A10, it is possible to suppress the first die pad 10A from swinging during the manufacture. Thereby, it is possible to suppress the generation of a gap between the back surface 102 of the first die pad 10A and the mold for forming the sealing resin 50, so it is possible to suppress the generation of resin burrs on the sealing resin 50. .
  • the sealing resin 50 has a plurality of recesses 582.
  • Each of the plurality of recesses 582 is recessed from the main resin surface 51 in the thickness direction z.
  • the plurality of recesses 582 overlap the second die pad 10B in plan view.
  • the plurality of recesses 582 are marks formed by fixing the second die pad 10B with a plurality of pins during manufacturing of the semiconductor device A10. Therefore, since the second die pad 10B is held down by the plurality of pins during the manufacture of the semiconductor device A10, it is possible to suppress the second die pad 10B from swinging during the manufacture. Thereby, it is possible to suppress the generation of a gap between the back surface 102 of the second die pad 10B and the mold for forming the sealing resin 50, so it is possible to suppress the generation of resin burrs on the sealing resin 50. .
  • the first conductive portion 31 does not overlap the four corners of the first die pad 10A in plan view. According to this configuration, when manufacturing the semiconductor device A10, it becomes possible to press the four corners of the first die pad 10A with the pins that fix the first die pad 10A. In other words, in the semiconductor device A10, it is possible to suppress the swinging of the first die pad 10A during manufacturing. Similarly, the first conductive portion 31 does not overlap the four corners of the second die pad 10B in plan view. According to this configuration, when manufacturing the semiconductor device A10, it is possible to press the four corners of the second die pad 10B with the pins that fix the second die pad 10B. In other words, in the semiconductor device A10, it is possible to suppress the swinging of the second die pad 10B during manufacturing.
  • FIGS. 20 to 22 respectively show semiconductor devices A11 to A13 according to a first modification to a third modification of the first embodiment.
  • Each of the semiconductor devices A11 to A13 differs from the semiconductor device A10 in the following points.
  • the difference is that the first conductive portion 31 has a different shape in plan view. Note that in the examples shown in FIGS. 20 to 22 (each of the semiconductor devices A11 to A13), it is assumed that the first conductive portion 31 is not bent in the thickness direction z; It may be bent in direction z.
  • the first conductive part 31 of the semiconductor device A11 includes a first joint part 311, a second joint part 312, a third joint part 313, a
  • the first connecting portion 314 and the second connecting portion 315 are included.
  • the first connecting portion 314 does not extend linearly along the first direction x, but is bent in a V-shape in a plan view.
  • the first connecting part 314 includes a band-shaped part that extends from the first joint part 311 at an angle with respect to each of the first direction x and the second direction y in a plan view, and the second joint part 312 in a plan view.
  • the first conductive portion 31 of the semiconductor device A11 has a Y-shape in plan view.
  • the first conduction section 31 of the semiconductor device A12 includes a first junction section 311, a second junction section 312, a third junction section 313, and a pair of connecting sections 316.
  • One of the pair of connecting parts 316 is connected to the first joint part 311 and the third joint part 313.
  • the connecting portion 316 extends linearly from the first joint portion 311 to the third joint portion 313 in a plan view.
  • the other of the pair of connecting parts 316 is connected to the second joint part 312 and the third joint part 313.
  • the connecting portion 316 extends linearly from the second joint portion 312 to the third joint portion 313 in a plan view. Both of the pair of connecting portions 316 extend from the third joint portion 313 .
  • the first conductive portion 31 of the semiconductor device A12 has a V-shape in plan view.
  • the first conduction section 31 of the semiconductor device A13 includes a first junction section 311, a second junction section 312, a third junction section 313, a first connection section 314, and a second connection section 315.
  • the second connecting portion 315 connects to the first bonding portion 311 instead of the first connecting portion 314. That is, the second connecting portion 315 of the semiconductor device A13 connects the first bonding portion 311 and the third bonding portion 313.
  • the second joint portion 312 and the third joint portion 313 are electrically connected via the first joint portion 311.
  • Each of the semiconductor devices A11 to A13 according to the first modification to the third modification of the first embodiment has two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) in one, similar to the semiconductor device A10.
  • One package is made up of two sealing resins 50. Therefore, similarly to the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A11 to A13 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A11 to A13 are mounted.
  • each of the semiconductor devices A11 to A13 has the same configuration as the semiconductor device A10, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A10.
  • the first conductive portion 31 is line symmetrical with respect to the auxiliary line La. Therefore, like the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A11 and A12 is connected from the third bonding portion 313 (covering portion 14A of the first terminal lead 14) to the first bonding portion 311 (the first main surface of the first semiconductor element 21). the conductive distance from the third joint 313 (covering portion 14A of the first terminal lead 14) to the second joint 312 (second principal surface electrode 221 of the second semiconductor element 22); It is possible to equalize the Further, in the semiconductor device A11, the center of gravity CG of the first conductive portion 31 overlaps with the first conductive portion 31 when viewed in the thickness direction z. Therefore, when manufacturing the semiconductor device A11, it is possible to transport the first conductive portion 31 in a stable posture.
  • the first conductive portion 31 is As long as the first main surface electrode 211, the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22, and the first terminal lead 14 are electrically connected to each other, the shape can be changed as appropriate.
  • FIG. 23 shows a semiconductor device A14 according to a fourth modification of the first embodiment.
  • the semiconductor device A14 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, the first conductive section 31 of the semiconductor device A14 is divided into a plurality of parts.
  • the first conductive portion 31 of the semiconductor device A14 includes a first conductor 31A and a second conductor 31B that are spaced apart from each other.
  • the first conductor 31A is joined to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the covering portion 14A of the first terminal lead 14 to electrically connect them.
  • the first conductor 31A includes a joint portion 317A, a joint portion 318A, and a connecting portion 319A.
  • the bonding portion 317A is bonded to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21.
  • the joint portion 317A is divided into two band-shaped portions 311a, similar to the first joint portion 311 described above. Unlike this example, the joint portion 317A does not need to be divided into two parts.
  • the joint portion 318A is joined to the covering portion 14A of the first terminal lead 14.
  • the connecting portion 319A is connected to the joint portion 317A and the joint portion 318A.
  • the second conductor 31B is joined to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 and the covering portion 14A of the first terminal lead 14 to electrically connect them.
  • the second conductor 31B includes a joint portion 317B, a joint portion 318B, and a connecting portion 319B.
  • the bonding portion 317B is bonded to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22.
  • the joint portion 317B is divided into two band-like portions 312a, similar to the second joint portion 312 described above. Unlike this example, the joint portion 317B does not have to be divided into two parts.
  • the joint portion 318B is joined to the covering portion 14A of the first terminal lead 14.
  • the connecting portion 319B is connected to the joint portion 317B and the joint portion 318B.
  • the semiconductor device A14 In the semiconductor device A14 according to the fourth modification of the first embodiment, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are packaged in one package using one sealing resin 50, similarly to the semiconductor device A10. has been made into Therefore, like the semiconductor device A10, the semiconductor device A14 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor device A14 is mounted. In addition, the semiconductor device A14 has the same configuration as the semiconductor device A10, and has the same effects as the semiconductor device A10.
  • the first conductive portions 31 are not limited to being one member, but are spaced apart from each other.
  • the structure may include two or more members.
  • the semiconductor device A15 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A15 is not a transistor but a diode.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A15 has a first main surface electrode 211 and a first back electrode 213.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A11 does not have the main surface electrode 212, as shown in FIG.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A15 is a diode
  • the first main surface electrode 211 is, for example, an anode electrode
  • the first back surface electrode 213 is, for example, a cathode electrode.
  • the semiconductor device A15 does not include either the first connection member 41A or the second connection member 42A.
  • the fourth terminal lead 171 and the sixth terminal lead 181 are not electrically connected to either the first semiconductor element 21 or the second semiconductor element 22, respectively. Therefore, in the semiconductor device A15, the fourth terminal lead 171 and the sixth terminal lead 181 are each non-connect terminals.
  • the semiconductor device A15 does not need to further include the second connection member 42B. In this case, the seventh terminal lead 182 also becomes a non-connect terminal.
  • FIGS. 26 and 27 show a semiconductor device A16 according to a sixth modification of the first embodiment.
  • the semiconductor device A16 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A12 is not a transistor but a diode.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A16 has a second main surface electrode 221 and a second back surface electrode 223.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A16 does not have the main surface electrode 222, as shown in FIG.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A16 is a diode
  • the second main surface electrode 221 is, for example, an anode electrode
  • the second back surface electrode 223 is, for example, a cathode electrode.
  • the semiconductor device A16 does not include either the first connection member 41B or the second connection member 42B.
  • the fifth terminal lead 172 and the seventh terminal lead 182 are not electrically connected to either the first semiconductor element 21 or the second semiconductor element 22, respectively. Therefore, in the semiconductor device A16, the fifth terminal lead 172 and the seventh terminal lead 182 are each non-connect terminals. Note that, unlike the examples shown in FIGS. 26 and 27, the semiconductor device A16 does not need to further include the second connection member 42A. In this case, the sixth terminal lead 181 also becomes a non-connect terminal.
  • the semiconductor device A16 As shown in FIG. 27, in the semiconductor device A16, the first main surface electrode 211 (source electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (anode electrode) of the second semiconductor element 22 are electrically connected to each other. It is connected to the.
  • the semiconductor device A16 has a circuit configuration in which the source electrode of the MOSFET and the anode electrode of the diode are commonly connected to the first terminal lead 14.
  • FIGS. 28 and 29 show a semiconductor device A17 according to a seventh modification of the first embodiment.
  • the semiconductor device A17 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A17 is a diode instead of a transistor.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A17 has a first main surface electrode 211 and a first back surface electrode 213.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A17 does not have the main surface electrode 212, as shown in FIG.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A17 is a diode
  • the first main surface electrode 211 is an anode electrode
  • the first back surface electrode 213 is a cathode electrode.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A17 has a second main surface electrode 221 and a second back surface electrode 223.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A17 does not have the main surface electrode 222, as shown in FIG.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A17 is a diode
  • the second main surface electrode 221 is an anode electrode
  • the second back surface electrode 223 is a cathode electrode.
  • the semiconductor device A17 does not include either the pair of first connecting members 41A, 41B and the pair of second connecting members 42A, 42B.
  • the fourth terminal lead 171, the fifth terminal lead 172, the sixth terminal lead 181, and the seventh terminal lead 182 are connected to the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element, respectively. There is no conduction to any of 22. Therefore, in the semiconductor device A17, the fourth terminal lead 171, the fifth terminal lead 172, the sixth terminal lead 181, and the seventh terminal lead 182 are each non-connect terminals.
  • the semiconductor device A17 As shown in FIG. 29, in the semiconductor device A17, the first main surface electrode 211 (anode electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (anode electrode) of the second semiconductor element 22 are electrically connected to each other. It is connected to the. In other words, the semiconductor device A17 has a circuit configuration in which the anode electrodes of two diodes are commonly connected to the first terminal lead 14.
  • each of the semiconductor devices A15 to A17 according to the fifth modification to the seventh modification of the first embodiment, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are integrated into one, similarly to the semiconductor device A10.
  • One package is made up of two sealing resins 50. Therefore, similarly to the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A15 to A17 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A15 to A17 are mounted.
  • each of the semiconductor devices A15 to A17 has the same configuration as the semiconductor device A10, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A10.
  • the semiconductor device of the present disclosure has three types of circuits (each source electrode of two MOSFETs) by combining the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22. , a circuit in which the source electrode of a MOSFET and an anode electrode of a diode are connected in common, and a circuit in which each anode electrode of two diodes is connected in common).
  • the configurations of each terminal lead 13, sealing resin 50, etc. are common to each semiconductor device A10, A15 to A17. Therefore, the semiconductor device of the present disclosure can configure any of three types of circuits while keeping the package appearance the same.
  • the semiconductor device of the present disclosure even if each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 is a transistor or a diode, the configuration of each terminal lead 13 and the sealing resin 50 can be maintained as is. Can be used. As a result, the semiconductor device of the present disclosure can use a common package structure for any of the three types of circuits described above, which is preferable for improving productivity.
  • the semiconductor device of the present disclosure is arranged such that the center of gravity of the first semiconductor element 21 overlaps the center of the first die pad 10A in plan view. Further, the second semiconductor element 22 is arranged so that its center of gravity overlaps with the center of the second die pad 10B. This configuration is preferable in making the first conductive portion 31 common.
  • FIG. 30 to 32 show a semiconductor device A20 according to the second embodiment.
  • the semiconductor device A20 differs from the semiconductor device A10 in the following points. The point is that the second conductive portion 32 is further provided.
  • the second conductive portion 32 is joined to the first die pad 10A and the second die pad 10B, as shown in FIGS. 30 and 31.
  • the second conductive portion 32 is a metal plate.
  • the second conductive portion 32 is a metal clip.
  • the composition of the second conductive portion 32 includes copper, for example.
  • the first die pad 10A and the second die pad 10B are electrically connected to each other via the second conductive portion 32.
  • the first back electrode 213 and the second back electrode 223 are electrically connected to each other via the first die pad 10A, the second conductive portion 32, and the second die pad 10B.
  • the second conductive portion 32 is covered with a sealing resin 50.
  • the second conductive portion 32 is strip-shaped in plan view.
  • the second conductive section 32 includes a fourth joint section 321, a fifth joint section 322, and a third connecting section 323.
  • the second die pad 10B does not have either the seat surface 103 or the upright surface 104, but it may have these.
  • the fourth joint portion 321 is joined to the main surface 101 of the first die pad 10A, as shown in FIGS. 30 and 31.
  • the main surface 101 of the first die pad 10A is an example of a "first mounting surface” described in the claims.
  • the fifth bonding portion 322 is bonded to the main surface 101 of the second die pad 10B, as shown in FIGS. 30 and 31.
  • the main surface 101 of the second die pad 10B is an example of a "second mounting surface” described in the claims.
  • the third connecting part 323 is connected to the fourth joint part 321 and the fifth joint part 322, as shown in FIGS. 30 and 31.
  • the third connecting portion 323 extends along the first direction x.
  • the semiconductor device A20 further includes two bonding layers 36 and 37, as shown in FIGS. 30 and 31.
  • the two bonding layers 36 and 37 are each electrically conductive.
  • the two bonding layers 36, 37 are each made of, for example, solder, but may also be made of sintered metal.
  • the bonding layer 36 is interposed between the first die pad 10A and the fourth bonding portion 321 of the second conductive portion 32.
  • the bonding layer 36 electrically connects the first die pad 10A and the fourth bonding portion 321 of the second conductive portion 32.
  • the bonding layer 37 is interposed between the second die pad 10B and the fifth bonding portion 322 of the second conductive portion 32.
  • the bonding layer 37 electrically connects the second die pad 10B and the fifth bonding portion 322 of the second conductive portion 32.
  • the semiconductor device A20 configured as above, as shown in FIG. 32, like the semiconductor device A10, the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode of the second semiconductor element 221 are electrically connected to each other.
  • the semiconductor device A20 constitutes a circuit in which the respective source electrodes of the two MOSFETs are connected in common (source common connected circuit).
  • the semiconductor device A20 as shown in FIG. 32, the first back electrode 213 of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22 are electrically connected to each other.
  • the semiconductor device A20 constitutes a circuit in which the respective drain electrodes of the two MOSFETs are connected in common. Therefore, as shown in FIG. 32, the semiconductor device A20 constitutes a circuit in which the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 (two MOSFETs) are connected in parallel.
  • the semiconductor device A20 like the semiconductor device A10, two semiconductor elements (first semiconductor element 21 and second semiconductor element 22) are packaged with one sealing resin 50. Therefore, like the semiconductor device A10, the semiconductor device A20 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor device A20 is mounted. In addition, the semiconductor device A20 has the same configuration as the semiconductor device A10, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A10.
  • the semiconductor device A20 the first die pad 10A and the second die pad 10B are electrically connected by the second conductive portion 32. According to this configuration, the first back electrode 213 of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22 are electrically connected to each other.
  • the semiconductor device A20 has a structure in which each of the drains of the two MOSFETs A circuit is formed in which the electrodes are connected in common. In other words, in the semiconductor device A20, a circuit in which the drain electrodes of two MOSFETs are commonly connected can be packaged into one package.
  • the semiconductor device A20 like the semiconductor device A10, the first main surface electrode 211 and the second main surface electrode 221 are further electrically connected. Therefore, in the semiconductor device A20, a circuit in which the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 are connected in parallel can be packaged into one package.
  • FIGS. 33 and 34 show a semiconductor device A21 according to a first modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A21 differs from the semiconductor device A20 in the following points. That is, the first die pad 10A has a seat surface 103 and a rising surface 104, similarly to the second die pad 10B.
  • the seat surface 103 and the rising surface 104 of the first die pad 10A are configured similarly to the seat surface 103 and the rising surface 104 of the second die pad 10B, respectively.
  • the fourth bonding portion 321 of the second conductive portion 32 is bonded to the seating surface 103 of the first die pad 10A via the bonding layer 36. At least a portion of the fourth joint 321 is accommodated in a region defined by the seat surface 103 and the upright surface 104 of the first die pad 10A. Further, in the semiconductor device A21, the fifth bonding portion 322 of the second conductive portion 32 is bonded to the seating surface 103 of the second die pad 10B via the bonding layer 37. At least a portion of the fifth joint portion 322 is accommodated in a region defined by the seat surface 103 and the upright surface 104 of the second die pad 10B.
  • 35 and 36 show a semiconductor device A22 according to a second modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A22 differs from the semiconductor device A20 in the following points. The difference is that the position of the second conductive portion 32 is different.
  • the second conductive portion 32 overlaps the first conductive portion 31 (first connecting portion 314) in plan view.
  • the pair of bent portions 314b and 314c make the first connecting portion 314 (main body portion 314a) stronger than the first connecting portion 311 and the second connecting portion 312. is arranged above in the thickness direction z. Therefore, the distance between the main body portion 314a and the main surface 101 of the first die pad 10A and the main surface 101 of the second die pad 10B becomes large. By increasing this distance, the second conductive portion 32 can be disposed below the first conductive portion 31 in the thickness direction z.
  • the second conductive portion 32 overlaps the line segment connecting the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 in plan view.
  • FIGS. 37 and 38 show a semiconductor device A23 according to a third modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A23 differs from the semiconductor device A20 in the following points. That is, the second conductive portion 32 of the semiconductor device A23 is arranged below the first die pad 10A and the second die pad 10B in the thickness direction z.
  • the second conductive portion 32 is bonded to the back surface 102 of the first die pad 10A by the bonding layer 36, and is bonded to the back surface 102 of the second die pad 10B by the bonding layer 37. has been done.
  • the second conductive portion 32 is larger than the first die pad 10A and the second die pad 10B in plan view. In plan view, the entire first die pad 10A and the entire second die pad 10B overlap the second conductive portion 32, respectively.
  • the lower surface of the second conductive portion 32 (the surface facing downward in the thickness direction z) is exposed from the sealing resin 50 (resin back surface 52). Unlike this configuration, the lower surface of the second conductive portion 32 may be covered with the sealing resin 50.
  • an insulating member an insulating plate or an insulating sheet
  • each of the semiconductor devices A21 to A23 according to the first modification to the third modification of the second embodiment, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are integrated into one, similarly to the semiconductor device A20.
  • One package is made up of two sealing resins 50. Therefore, similarly to the semiconductor device A20, each of the semiconductor devices A21 to A23 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A21 to A23 are mounted.
  • each of the semiconductor devices A21 to A23 has the same configuration as the semiconductor device A20, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A20.
  • FIG. 39 shows a semiconductor device A24 according to a fourth modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A24 differs from the semiconductor device A20 in the following points. The difference is that the first conductive portion 31 has a different shape in plan view.
  • the first conductive portion 31 is V-shaped in plan view, similar to the first conductive portion 31 of the semiconductor device A14. Note that the first conductive portion 31 of the semiconductor device A24 is configured similarly to the first conductive portion 31 of the semiconductor device A14, but unlike this example, the first conductive portion 31 of the semiconductor device A11 or the semiconductor device A13 is configured similarly to the first conductive portion 31 of the semiconductor device A14. They may be configured similarly.
  • the second conductive portion 32 overlaps the line segment connecting the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 in plan view. That is, in the semiconductor device A24, the distance of the conduction path between the first back electrode 213 of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 of the second semiconductor element 22 is shortened compared to the semiconductor device A20.
  • the semiconductor device A24 according to the fourth modification of the second embodiment includes two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) in one package using one sealing resin 50. has been made into Therefore, like the semiconductor device A20, the semiconductor device A24 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor device A24 is mounted. In addition, the semiconductor device A24 has the same configuration as the semiconductor device A20, and has the same effects as the semiconductor device A20.
  • FIGS. 40 and 41 show a semiconductor device A25 according to a fifth modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A25 differs from the semiconductor device A20 in the following points.
  • the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A25 is not a transistor but a diode like the semiconductor device A15.
  • the first main surface electrode 211 (anode electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (source electrode) of the second semiconductor element 22 are connected to each other via the first conductive part 31. , electrically connected. Further, the first back electrode 213 (cathode electrode) of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 (drain electrode) of the second semiconductor element 22 are electrically connected via the second conductive part 32 . ing. That is, in the semiconductor device A25, as shown in FIG. 41, a MOSFET and a diode are connected in parallel.
  • FIGS. 42 and 43 show a semiconductor device A26 according to a sixth modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A26 differs from the semiconductor device A20 in the following points.
  • the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A26 is not a transistor but a diode like the semiconductor device A16.
  • the first main surface electrode 211 (source electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (anode electrode) of the second semiconductor element 22 are connected to each other via the first conductive part 31. , electrically connected. Further, the first back electrode 213 (drain electrode) of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 (cathode electrode) of the second semiconductor element 22 are electrically connected via the second conductive part 32. ing. That is, in the semiconductor device A26, as shown in FIG. 43, a MOSFET and a diode are connected in parallel.
  • FIGS. 44 and 45 show a semiconductor device A27 according to a seventh modification of the second embodiment.
  • the semiconductor device A27 differs from the semiconductor device A20 in the following points. That is, each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A27 is not a transistor but a diode like the semiconductor device A17.
  • the first main surface electrode 211 (anode electrode) of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode 221 (anode electrode) of the second semiconductor element 22 are connected to each other via the first conductive part 31. , electrically connected. Further, the first back electrode 213 (cathode electrode) of the first semiconductor element 21 and the second back electrode 223 (cathode electrode) of the second semiconductor element 22 are electrically connected via the second conductive part 32. ing. That is, in the semiconductor device A27, as shown in FIG. 45, two diodes are connected in parallel.
  • each of the semiconductor devices A25 to A27 according to the fifth modification to the seventh modification of the second embodiment, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are integrated into one, similarly to the semiconductor device A20.
  • One package is made up of two sealing resins 50. Therefore, similarly to the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A25 to A27 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A25 to A27 are mounted.
  • each of the semiconductor devices A25 to A27 has the same configuration as the semiconductor device A20, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A20.
  • the semiconductor device of the present disclosure has three types of circuits (a parallel circuit of two transistors, a transistor and a diode, and a parallel circuit of two diodes).
  • the configurations of each terminal lead 13, sealing resin 50, etc. are common to each semiconductor device A20, A25 to A27. Therefore, the semiconductor device of the present disclosure can configure any of three types of circuits while keeping the package appearance the same. Further, in the semiconductor device of the present disclosure, even if each of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 is a transistor or a diode, the configuration of each terminal lead 13 and the sealing resin 50 can be maintained as is. Can be used. As a result, the semiconductor device of the present disclosure can use a common package structure for any of the three types of circuits described above, which is preferable for improving productivity.
  • FIG. 46 shows a semiconductor device A30 according to the third embodiment.
  • the semiconductor device A30 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, the size of the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A30 in plan view is smaller than the size of the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A10 in plan view. Further, the size of the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A30 in plan view is smaller than the size of the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A10 in plan view.
  • the size of the first semiconductor element 21 in plan view is reduced compared to the semiconductor device A10, the size of the first joint portion 311 of the first conductive portion 31 in plan view is reduced.
  • the area of the first joint portion 311 in plan view is equal to the area of the first main surface electrode 211 in plan view. For example, it is 10% or more and 100% or less.
  • the planar view size of the second semiconductor element 22 is reduced compared to the semiconductor device A10, the planar view size of the second joint portion 312 of the first conductive portion 31 is reduced. It has been downsized.
  • the area of the second joint portion 312 in plan view (the sum of the areas of the two strip portions 312a) is equal to the area of the second main surface electrode 221 in plan view. For example, it is 10% or more and 100% or less.
  • the width of the first connecting portion 314 of the first conductive portion 31 is the same as that of the semiconductor device A10.
  • FIG. 47 shows a semiconductor device A31 according to a modification of the third embodiment.
  • the semiconductor device A31 differs from the semiconductor device A10 in the following points.
  • the size of the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A31 in plan view is larger than the size of the first semiconductor element 21 of the semiconductor device A10 in plan view.
  • the size of the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A31 in plan view is larger than the size of the second semiconductor element 22 of the semiconductor device A10 in plan view.
  • the size of the first semiconductor element 21 in plan view is enlarged compared to the semiconductor device A10, so the size of the first joint portion 311 of the first conductive portion 31 in plan view is enlarged.
  • the area of the first joint portion 311 in plan view is equal to the area of the first main surface electrode 211 in plan view. For example, it is 10% or more and 100% or less.
  • the planar view size of the second semiconductor element 22 is enlarged compared to the semiconductor device A10, the planar view size of the second joint portion 312 of the first conductive portion 31 is increased.
  • the area of the second joint portion 312 in plan view (the sum of the areas of the two strip portions 312a) is equal to the area of the second main surface electrode 221 in plan view. For example, it is 10% or more and 100% or less.
  • the width of the first connecting portion 314 of the first conductive portion 31 is the same as that of the semiconductor device A10.
  • each of the semiconductor devices A30 and A31 according to the third embodiment and its modification, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are formed by one sealing resin 50, similarly to the semiconductor device A10. It is packaged in one. Therefore, similarly to the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A30 and A31 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A30 and A31 are mounted. In addition, each of the semiconductor devices A30 and A31 has the same configuration as the semiconductor device A10, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A10.
  • the area of the first joint portion 311 in plan view (the sum of the areas of the two strip portions 311a) is For example, it is 10% or more and 100% or less of the area of the first main surface electrode 211. According to this configuration, the size of the first joint portion 311 in plan view can be made appropriate depending on the size of the first semiconductor element 21 in plan view.
  • the area of the second joint portion 312 in plan view (the sum of the areas of the two strip portions 312a) is, for example, 10% of the area of the second main surface electrode 221 in plan view. 100% or less. According to this configuration, the size of the second joint portion 312 in plan view can be made to be an appropriate size according to the size of the second semiconductor element 22 in plan view.
  • the first conductive portion 31 As understood from the semiconductor devices A10, A30, and A31, in the semiconductor device of the present disclosure, even if the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 have different sizes in plan view, the first conductive portion 31 The first connecting portions 314 of the two have the same width.
  • the first conductive part 31 may be transported while being held by a transporting hand or the like.
  • the first connecting part 314 is sandwiched in the width direction of the first connecting part 314, adjustment of the conveying hand or the like becomes unnecessary. Therefore, even if the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 have different sizes in plan view, it is possible to use a common conveyance device such as a conveyance hand, which is preferable for improving productivity.
  • the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 have different sizes in plan view in the semiconductor device A10, but in the semiconductor device A20, the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 in plan view size may be changed.
  • FIG. 48 shows a semiconductor device A40 according to the fourth embodiment.
  • the semiconductor device A40 differs from the semiconductor device A10 in the following points. That is, it includes a plurality of first semiconductor elements 21 and a plurality of second semiconductor elements 22. In the example shown in FIG. 48, the semiconductor device A40 includes two first semiconductor elements 21 and two second semiconductor elements 22, but the number of each of the first semiconductor elements 21 and the second semiconductor elements 22 is three or more. It may be.
  • Each of the two first semiconductor elements 21 is mounted on the first die pad 10A.
  • Each of the two first semiconductor elements 21 is, for example, a transistor.
  • the two first semiconductor elements 21 are lined up along the second direction y.
  • the centers of gravity of the two first semiconductor elements 21 overlap the center of the first die pad 10A in plan view.
  • the two first semiconductor elements 21 have the same size in plan view, but may be different from each other.
  • Each of the two second semiconductor elements 22 is mounted on the second die pad 10B.
  • Each of the two second semiconductor elements 22 is, for example, a transistor.
  • the two second semiconductor elements 22 are lined up along the second direction y.
  • the centers of gravity of the two second semiconductor elements 22 overlap the center of the second die pad 10B in plan view.
  • the two second semiconductor elements 22 have the same planar size, but may be different from each other.
  • the semiconductor device A40 includes two first semiconductor elements 21 and two second semiconductor elements 22, it also differs from the semiconductor device A10 in the following points.
  • the first conductive portion 31 of the semiconductor device A30 includes two first joint portions 311, two second joint portions 312, a third joint portion 313, two first connection portions 314, and two second connection portions. This point includes a section 315.
  • the first connecting member 41A of the semiconductor device A40 covers the main surface electrode 212 of one first semiconductor element 21, the main surface electrode 212 of the other first semiconductor element 21, and the fourth terminal lead 171. This is the point where it is joined to the portion 171A.
  • the first connecting member 41A is joined to the main surface electrode 212 of the first semiconductor element 21 on the side closer to the plurality of terminal leads 13 in the second direction y, of the two first semiconductor elements 21, for example by stitch joining. ing.
  • the second connection member 42A of the semiconductor device A40 connects the first main surface electrode 211 of one first semiconductor element 21, the first main surface electrode 211 of the other first semiconductor element 21, and the sixth terminal. This is the point where it is joined to the covering portion 181A of the lead 181.
  • the second connecting member 42A is connected to the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 on the side closer to the plurality of terminal leads 13 in the second direction y, of the two first semiconductor elements 21, for example by stitch bonding. It is joined.
  • the first connecting member 41A and the second connecting member 42A are formed first, but on the contrary, the second connecting member 42A may be formed first.
  • the first connection member 41B of the semiconductor device A40 covers the main surface electrode 222 of the other second semiconductor element 22, the main surface electrode 222 of the other second semiconductor element 22, and the fifth terminal lead 172. 172A.
  • the first connecting member 41B is joined to the main surface electrode 222 of the second semiconductor element 22 on the side closer to the plurality of terminal leads 13 in the second direction y, of the two second semiconductor elements 22, for example by stitch joining. ing.
  • the second connection member 42B of the semiconductor device A40 connects the second main surface electrode 221 of one second semiconductor element 22, the second main surface electrode 221 of the other second semiconductor element 22, and the seventh terminal. This is the point where it is joined to the covering portion 182A of the lead 182.
  • the second connecting member 42B is connected to the second main surface electrode 221 of the second semiconductor element 22 on the side closer to the plurality of terminal leads 13 in the second direction y, of the two second semiconductor elements 22, for example by stitch bonding. It is joined. Note that in the semiconductor device A40, the first connecting member 41B and the second connecting member 42B are formed first, but on the contrary, the second connecting member 42B may be formed first.
  • the first conductive portion 31 of the semiconductor device A40 includes two first bonding portions 311, two second bonding portions 312, a third bonding portion 313, and two first connecting portions, as shown in FIG. 314 and two second connecting portions 315 .
  • the two first bonding parts 311 are individually bonded to the first main surface electrodes 211 of the two first semiconductor elements 21 .
  • the two second bonding portions 312 are individually bonded to the second main surface electrodes 221 of the two second semiconductor elements 22 .
  • One of the two first connecting parts 314 is connected to one of the two first joining parts 311 and one of the two second joining parts 312.
  • the other of the two first connecting parts 314 is connected to the other of the two first joining parts 311 and the other of the two second joining parts 312.
  • One of the two second connecting parts 315 is connected to each of the two first connecting parts 314.
  • the other of the two second connecting parts 315 is connected to one of the two first connecting parts 314 and the third joint part 313.
  • the semiconductor device A40 may be configured as follows. That is, the semiconductor device A40 includes two first connection members 41A, and one of the first connection members 41A connects to the main surface electrode 212 of one of the first semiconductor elements 21 and the covering portion 171A of the fourth terminal lead 171. The other first connecting member 41A may be joined to the main surface electrode 212 of the other first semiconductor element 21 and the covering portion 171A of the fourth terminal lead 171. Similarly, the semiconductor device A40 includes two second connection members 42A, and one of the second connection members 42A connects the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the covering portion of the sixth terminal lead 181.
  • the semiconductor device A40 includes two first connection members 41B, and one of the first connection members 41B is connected to the main surface electrode 222 of one of the second semiconductor elements 22 and the covering portion 172A of the fifth terminal lead 172.
  • the other first connecting member 41B may be joined to the main surface electrode 222 of the other second semiconductor element 22 and the covering portion 172A of the fifth terminal lead 172.
  • the semiconductor device A40 includes two second connection members 42B, and one of the second connection members 42B connects the second main surface electrode 221 of one of the second semiconductor elements 22 and the covering portion 182A of the seventh terminal lead 182.
  • the other second connecting member 42B may be joined to the second main surface electrode 221 of the other second semiconductor element 22 and the covering portion 182A of the seventh terminal lead 182.
  • FIG. 49 shows a semiconductor device A41 according to a modification of the fourth embodiment.
  • the semiconductor device A41 differs from the semiconductor device A40 in the following points. The point is that the second conductive portion 32 is further provided.
  • the semiconductor device A41 corresponds to a configuration in which a plurality of first semiconductor elements 21 and a plurality of second semiconductor elements 22 are provided in the semiconductor device A20.
  • the semiconductor device A41 includes two first semiconductor elements 21 and two second semiconductor elements 22, but the number of each of the first semiconductor elements 21 and the second semiconductor elements 22 is 3. There may be more than one.
  • each of the semiconductor devices A40 and A41 according to the fourth embodiment and its modification, two semiconductor elements (the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22) are formed by one sealing resin 50, similarly to the semiconductor device A10. It is packaged in one. Therefore, similarly to the semiconductor device A10, each of the semiconductor devices A40 and A41 can reduce the mounting area on the circuit board on which the semiconductor devices A40 and A41 are mounted. In addition, each of the semiconductor devices A40 and A41 has a configuration common to that of the semiconductor device A10, and thus achieves the same effects as the semiconductor device A10.
  • the semiconductor device of the present disclosure can share a package structure regardless of the number of first semiconductor elements 21 and second semiconductor elements 22, which is preferable for improving productivity.
  • the two first semiconductor elements 21 are both transistors, but the present invention is not limited to this, and one of the two first semiconductor elements 21 may be a transistor and the other may be a diode. There may be.
  • the diodes are connected antiparallel to the transistors.
  • the antiparallel arrangement in an example where the transistor is a MOSFET, a drain electrode and a cathode electrode are connected, and a source electrode and an anode electrode are connected.
  • one of the two second semiconductor elements 22 may be a transistor and the other may be a diode.
  • the types of the first semiconductor element 21 and the second semiconductor element 22 are (Whether it is a transistor or a diode), size in plan view, number, etc., by simply changing the first conductive part 31 and the second conductive part 32, the first die pad 10A, the second die pad 10B, It is possible to share the terminal leads 13 and the sealing resin 50.
  • the first conductive portion 31 is a metal plate material (metal clip), but the semiconductor device of the present disclosure
  • the configuration is not limited to this.
  • the first conductive portion 31 includes one or more bonding wires, and the one or more bonding wires connect the first main surface electrode 211 of the first semiconductor element 21 and the second main surface electrode of the second semiconductor element 22.
  • the surface electrode 221 and the first terminal lead 14 may be electrically connected to each other.
  • the semiconductor device of the present disclosure does not include the first conductive portion 31. It's okay.
  • the covering portion 14A of the first terminal lead 14 may be expanded and the covering portion 14A may be directly connected to each of the first main surface electrode 211 and the second main surface electrode 221. good.
  • the package structure of the semiconductor device of the present disclosure is not limited to those exemplified in the first embodiment to the fourth embodiment (including variations thereof).
  • the semiconductor device of the present disclosure can also be applied to other TO (Transistor Outline) packages.
  • each of the semiconductor devices A10, A20, A30, and A40 according to the first to fourth embodiments is an expanded package structure called TO-247, but TO-220, TO-252 , TO263, etc. may be an extension of other package structures.
  • the semiconductor device of the present disclosure can package a plurality of semiconductor elements (first semiconductor element 21 and second semiconductor element 22) with one sealing resin 50 while maintaining an appearance similar to a conventional TO package. enable.
  • the semiconductor device according to the present disclosure is not limited to the embodiments described above.
  • the specific configuration of each part of the semiconductor device of the present disclosure can be modified in various ways.
  • the semiconductor device of the present disclosure includes embodiments related to the following additional notes. Additional note 1. a first semiconductor element having a first main surface facing one side in the thickness direction and a first main surface electrode disposed on the first main surface; a second semiconductor element having a second main surface facing in the same direction as the first main surface and a second main surface electrode disposed on the second main surface; a first die pad on which the first semiconductor element is mounted; a second die pad arranged on one side of the first die pad in a first direction perpendicular to the thickness direction, and on which the second semiconductor element is mounted; a first terminal lead spaced apart from the first die pad and the second die pad; a sealing resin that covers the first semiconductor element and the second semiconductor element; Equipped with In the semiconductor device, the first main surface electrode and the second main surface electrode are electrically connected to the first terminal lead inside the sealing resin.
  • Appendix 2 a second terminal lead extending from the first die pad in the thickness direction and a second direction perpendicular to the first direction; further comprising a third terminal lead extending from the second die pad in the second direction, The semiconductor device according to appendix 1, wherein the first terminal lead, the second terminal lead, and the third terminal lead are arranged in the first direction. Appendix 3. The semiconductor device according to appendix 2, wherein the first terminal lead is located between the second terminal lead and the third terminal lead in the first direction. Appendix 4. The semiconductor device according to appendix 3, further comprising a first conductive portion that is electrically connected to the first main surface electrode, the second main surface electrode, and the first terminal lead. Appendix 5.
  • the first conductive part includes a first joint part conductively joined to the first main surface electrode, a second joint part conductively joined to the second main surface electrode, and a second joint part electrically connected to the first terminal lead.
  • the semiconductor device according to appendix 4 comprising: a third junction.
  • the first conductive portion is symmetrical with respect to an axis extending in the second direction when viewed in the thickness direction, The semiconductor device according to appendix 5, wherein the axis overlaps the third junction.
  • the first conductive portion includes a first connecting portion that connects the first connecting portion and the second connecting portion, and a second connecting portion that connects the first connecting portion and the third connecting portion.
  • the semiconductor device according to appendix 7, wherein a center of gravity of the first conductive portion overlaps the first conductive portion when viewed in the thickness direction.
  • the first connecting portion extends along the first direction between the first joint portion and the second joint portion when viewed in the thickness direction,
  • the semiconductor device according to appendix 8, wherein the second connecting portion extends along the second direction between the first connecting portion and the third bonding portion when viewed in the thickness direction.
  • the sealing resin has a resin main surface facing in the same direction as the first main surface, and at least one recess depressed from the resin main surface,
  • the semiconductor device according to any one of attachments 4 to 9, wherein each of the at least one recess overlaps either the first die pad or the second die pad when viewed in the thickness direction.
  • Appendix 11 The semiconductor device according to appendix 10, wherein each of the at least one recessed portion does not overlap any of the first conductive portions when viewed in the thickness direction.
  • the first semiconductor element has a first back surface facing opposite to the first main surface in the thickness direction and a first back electrode disposed on the first back surface
  • the second semiconductor element has a second back surface facing opposite to the second main surface in the thickness direction and a second back electrode disposed on the second back surface, the first back electrode is electrically connected to the first die pad;
  • the semiconductor device according to appendix 12 further comprising a second conductive portion joined to the first die pad and the second die pad,
  • the first die pad has a first mounting surface facing the same direction as the first main surface electrode
  • the second die pad has a second mounting surface facing the same direction as the second main surface electrode
  • the semiconductor device according to attachment 13 wherein the second conductive portion is joined to the first mounting surface and the second mounting surface.
  • Appendix 15 The semiconductor device according to appendix 14, wherein the second conductive portion overlaps a line segment connecting the first semiconductor element and the second semiconductor element when viewed in the thickness direction. Appendix 16.
  • the semiconductor device according to any one of Supplementary notes 2 to 15.
  • Appendix 17 The semiconductor device according to any one of appendices 1 to 16, wherein the center of gravity of the first semiconductor element overlaps the center of the first die pad when viewed in the thickness direction.
  • Appendix 18 The semiconductor device according to any one of appendices 1 to 17, wherein the center of gravity of the second semiconductor element overlaps the center of the second die pad when viewed in the thickness direction.
  • Appendix 19 The first semiconductor element is either a transistor or a diode

Abstract

半導体装置は、厚さ方向の一方を向く第1主面および前記第1主面に配置された第1主面電極を有する第1半導体素子と、前記第1主面と同じ方向を向く第2主面および前記第2主面に配置された第2主面電極を有する第2半導体素子と、前記第1半導体素子が搭載された第1ダイパッドと、前記第1ダイパッドに対して第1方向の一方側に配置され、前記第2半導体素子が搭載された第2ダイパッドと、前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドから離間する第1端子リードと、前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、を備える。前記第1主面電極と前記第2主面電極とは、前記封止樹脂の内部で前記第1端子リードに導通する。

Description

半導体装置
 本開示は、半導体装置に関する。
 従来、ダイオードまたはトランジスタなどの半導体素子を樹脂パッケージで覆った半導体装置が知られている(たとえば特許文献1)。特許文献1に記載の半導体装置は、半導体素子と、リードフレームと、樹脂パッケージとを備える。リードフレームは、複数のリードを含んでおり、複数のリードのうちの1つは、ダイボンディングパッドを含む。半導体素子は、ダイボンディングパッドに搭載されている。樹脂パッケージは、半導体素子を覆うとともに、複数のリードの一部ずつを覆っている。各リードにおいて、樹脂パッケージから露出する部分は、半導体装置の端子である。
 このような半導体装置は、たとえば電子機器などの回路基板に実装され、電源回路に用いられている。当該電源回路には、複数の半導体装置が用いられることがあり、この場合、複数の半導体装置が先述の回路基板に実装される。
特開2011-82523号公報
 近年、電子機器の小型化に伴い、電子機器に搭載される回路基板の小型化が求められる。しかしながら、先述のように複数の半導体装置を回路基板に実装する構成では、回路基板への実装面積が大きくなるので、回路基板の小型化を図るのは容易ではない。
 本開示は、従来より改良が施された半導体装置を提供することを一の課題とする。特に本開示は、上記事情に鑑み、回路基板への実装面積を削減することが可能な半導体装置を提供することをその一の課題とする。
 本開示の一の側面によって提供される半導体装置は、厚さ方向の一方を向く第1主面および前記第1主面に配置された第1主面電極を有する第1半導体素子と、前記第1主面と同じ方向を向く第2主面および前記第2主面に配置された第2主面電極を有する第2半導体素子と、前記第1半導体素子が搭載された第1ダイパッドと、前記第1ダイパッドに対して前記厚さ方向に直交する第1方向の一方側に配置され、前記第2半導体素子が搭載された第2ダイパッドと、前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドから離間する第1端子リードと、前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、を備える。前記第1主面電極と前記第2主面電極とは、前記封止樹脂の内部で前記第1端子リードに導通する。
 上記構成によれば、回路基板への実装面積を削減することが可能となる。
図1は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す斜視図である。 図2は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。 図3は、図2の平面図において、封止樹脂を想像線で示した図である。 図4は、図3の一部を拡大した部分拡大図である。 図5は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。 図6は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す正面図である。 図7は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す右側面図である。 図8は、図7の一部を拡大した部分拡大図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図9は、図3のIX-IX線に沿う断面図である。 図10は、図3のX-X線に沿う断面図である。 図11は、図9の一部を拡大した部分拡大図である。 図12は、図9の一部を拡大した部分拡大図である。 図13は、図9の一部を拡大した部分拡大図である。 図14は、図10の一部を拡大した部分拡大図である。 図15は、図3の一部を拡大した部分拡大図である。 図16は、図3の一部を拡大した部分拡大図である。 図17は、図3の一部を拡大した部分拡大図である。 図18は、図3の一部を拡大した部分拡大図である。 図19は、第1実施形態にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図20は、第1実施形態の第1変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図21は、第1実施形態の第2変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図22は、第1実施形態の第3変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図23は、第1実施形態の第4変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図24は、第1実施形態の第5変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図25は、第1実施形態の第5変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図26は、第1実施形態の第6変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図27は、第1実施形態の第6変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図28は、第1実施形態の第7変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図29は、第1実施形態の第7変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図30は、第2実施形態にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図31は、図30のXXXI-XXXI線に沿う断面図である。 図32は、第2実施形態にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図33は、第2実施形態の第1変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図34は、図33のXXXIV-XXXIV線に沿う断面図である。 図35は、第2実施形態の第2変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図36は、図35のXXXVI-XXXVI線に沿う断面図である。 図37は、第2実施形態の第3変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図38は、図37のXXXVIII-XXXVIII線に沿う断面図である。 図39は、第2実施形態の第4変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図40は、第2実施形態の第5変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図41は、第2実施形態の第5変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図42は、第2実施形態の第6変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図43は、第2実施形態の第6変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図44は、第2実施形態の第7変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図45は、第2実施形態の第7変形例にかかる半導体装置の回路構成例を示す図である。 図46は、第3実施形態にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図47は、第3実施形態の変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図48は、第4実施形態にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。 図49は、第4実施形態の変形例にかかる半導体装置を示す平面図であって、封止樹脂を想像線で示した図である。
 本開示の半導体装置の好ましい実施の形態について、図面を参照して、以下に説明する。以下では、同一あるいは類似の構成要素に、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。本開示における「第1」、「第2」、「第3」等の用語は、単にラベルとして用いたものであり、必ずしもそれらの対象物に順列を付することを意図していない。
 本開示において、「ある物Aがある物Bに形成されている」および「ある物Aがある物B(の)上に形成されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接形成されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに形成されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物Bに配置されている」および「ある物Aがある物B(の)上に配置されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接配置されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに配置されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物B(の)上に位置している」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに接して、ある物Aがある物B(の)上に位置していること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物が介在しつつ、ある物Aがある物B(の)上に位置していること」を含む。また、「ある方向に見てある物Aがある物Bに重なる」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bのすべてに重なること」、および、「ある物Aがある物Bの一部に重なること」を含む。また、「ある物A(の材料)がある材料Cを含む」とは、「ある物A(の材料)がある材料Cからなる場合」、および、「ある物A(の材料)の主成分がある材料Cである場合」を含む。
 図1~図19は、第1実施形態にかかる半導体装置A10を示している。半導体装置A10は、第1ダイパッド10A、第2ダイパッド10B、複数の端子リード13、第1半導体素子21、第2半導体素子22、第1導通部31、一対の第1接続部材41A,41B、一対の第2接続部材42A,42B、および封止樹脂50を備える。複数の端子リード13は、第1端子リード14、第2端子リード15、第3端子リード16、第4端子リード171、第5端子リード172、第6端子リード181および第7端子リード182を含む。
 説明の便宜上、半導体装置A10の厚さ方向を「厚さ方向z」という。以下の説明では、厚さ方向zの一方を上方といい、他方を下方ということがある。なお、「上」、「下」、「上方」、「下方」、「上面」および「下面」などの記載は、厚さ方向zにおける各部品等の相対的位置関係を示すものであり、必ずしも重力方向との関係を規定する用語ではない。また、「平面視」とは、厚さ方向zに見たときをいう。厚さ方向zに対して直交する方向を「第1方向x」という。厚さ方向zおよび第1方向xに直交する方向を「第2方向y」という。
 第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、図3および図9に示すように、第1方向xにおいて互いに離れて位置する。第1ダイパッド10Aは、第2ダイパッド10B、および複数の端子リード13とともに、同一のリードフレームから構成されている。当該リードフレームは、銅(Cu)、または銅合金である。このため、第1ダイパッド10A、第2ダイパッド10B、および複数の端子リード13の組成は、銅を含む。第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの各々は、たとえば平面視において矩形状である。
 第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bはそれぞれ、主面101および裏面102を有する。以下で説明する主面101および裏面102は、特段の断りがない限り、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bで共通する。主面101は、厚さ方向z(上方)を向く。主面101は、封止樹脂50に覆われている。第1ダイパッド10Aの主面101には、第1半導体素子21が搭載されている。第1ダイパッド10Aの裏面102は、厚さ方向zにおいて第1半導体素子21が位置する側とは反対側を向く。第2ダイパッド10Bの主面101には、第2半導体素子22が搭載されている。第2ダイパッド10Bの裏面102は、厚さ方向zにおいて第2半導体素子22が位置する側とは反対側を向く。裏面102は、封止樹脂50から露出している。裏面102には、たとえば錫(Sn)めっきが施されている。
 封止樹脂50は、図3および図8~図10に示すように、第1半導体素子21と、第2半導体素子22と、第1導通部31と、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの各々の少なくとも一部ずつとを覆う。さらに封止樹脂50は、複数の端子リード13の各々の一部ずつを覆う。封止樹脂50は、電気絶縁性を有する。封止樹脂50は、たとえば黒色のエポキシ樹脂を含む。図2に示すように、第1方向xにおける封止樹脂50の寸法L1は、第2方向yにおける封止樹脂50の寸法L2よりも長い。封止樹脂50は、樹脂主面51、樹脂裏面52、一対の第1側面53、第2側面54、第3側面55、複数の凹部56、溝部57および複数の凹部581,582を有する。
 図9に示すように、樹脂主面51は、厚さ方向zにおいて第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの各主面101と同じ側を向く。図9および図10に示すように、樹脂裏面52は、厚さ方向zにおいて樹脂主面51とは反対側を向く。図5に示すように、樹脂裏面52から、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの各裏面102が露出している。
 図2、図5および図6に示すように、一対の第1側面53は、第1方向xにおいて互いに離れて位置する。一対の第1側面53は、第1方向xを向き、かつ第2方向yに延びている。一対の第1側面53は、樹脂主面51および樹脂裏面52に繋がる。
 図2、図5および図7に示すように、第2側面54および第3側面55は、第2方向yにおいて互いに離れて位置する。第2側面54および第3側面55は、第2方向yにおいて互いに反対側を向き、かつ第1方向xに延びている。第2側面54および第3側面55は、樹脂主面51および樹脂裏面52に繋がる。図6に示すように、第3側面55から複数の端子リード13が露出している。
 図2、図5および図6に示すように、複数の凹部56は、第3側面55から第2方向yに凹むとともに、厚さ方向zにおいて樹脂主面51から樹脂裏面52に至っている。第1方向xにおいて、複数の凹部56は、第7端子リード182と第3端子リード16との間、第3端子リード16と第1端子リード14との間、第1端子リード14と第2端子リード15との間、および、第2端子リード15と第6端子リード181との間に対して個別に位置する。
 図5、図6、図9および図10に示すように、溝部57は、樹脂裏面52から厚さ方向zに凹むとともに、第2方向yに沿って延びる。溝部57の第2方向yの両側は、第2側面54および第3側面55に繋がる。厚さ方向zに見て、溝部57は、第1ダイパッド10Aの裏面102と、第2ダイパッド10Bの裏面102とを分断する。なお、封止樹脂50は、溝部57を有していなくてもよい。
 図6、図7、図9および図10に示すように、複数の凹部581,582の各々は、樹脂主面51から厚さ方向zに凹む。複数の凹部581,582の各平面視形状は、特に限定されないが、図示された例では、円形である。複数の凹部581の各々は、平面視において、第1ダイパッド10Aに重なる。図示された例では、複数の凹部581は、平面視における第1ダイパッド10Aの四隅近傍にそれぞれ個別に位置する。複数の凹部582の各々は、平面視において、第2ダイパッド10Bに重なる。図示された例では、複数の凹部582は、平面視における第2ダイパッド10Bの四隅近傍にそれぞれ個別に位置する。複数の凹部581,582の各々は、平面視において、第1導通部31に重ならない。さらに、複数の凹部581,582の各々は、平面視において、一対の第1接続部材41A,41Bおよび一対の第2接続部材42A,42Bのいずれにも重ならない。複数の凹部581は、半導体装置A10の製造時において、第1ダイパッド10Aを固定するためのピンによって形成されるものである。当該ピンは、封止樹脂50を形成する前の段階において、第1ダイパッド10Aに押し当てられ、第1ダイパッド10Aを固定する。この状態で、封止樹脂50の形成が開始される。そして、当該ピンは、封止樹脂50の形成が完了する前に引き抜かれる。これにより、当該ピンが配置されていた領域の少なくとも一部に封止樹脂50が形成されるので、第1ダイパッド10Aの主面101が封止樹脂50に覆われる。複数の凹部581は、このような封止樹脂50の成形過程によって形成される痕である。複数の凹部582も同様に、半導体装置A10の製造時において、第2ダイパッド10Bを固定するためのピンによって形成されるものである。複数の凹部582は、封止樹脂50の成形過程によって形成される痕である。
 封止樹脂50は、図1、図2および図5に示すように、さらに複数の痕跡589を有する。複数の痕跡589は、たとえば封止樹脂50の形成時において、封止樹脂50を金型から取り出すためのエジェクタピンが押し付けられた痕である。複数の痕跡589はそれぞれ、樹脂主面51または樹脂裏面52のいずれかから窪む。なお、封止樹脂50に、複数の痕跡589のいずれも形成されていなくてもよい。また、図5に示すように、第1ダイパッド10Aの裏面102および第2ダイパッド10Bの裏面102はそれぞれ、痕跡109を有する。第1ダイパッド10Aに形成された痕跡109および第2ダイパッド10Bに形成された痕跡109はそれぞれ、先述のエジェクタピンが押し付けられた痕である。第1ダイパッド10Aに形成された痕跡109は、第1ダイパッド10Aの裏面102から窪み、第2ダイパッド10Bに形成された痕跡109は、第2ダイパッド10Bの裏面102から窪む。なお、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれにも、痕跡109が形成されていなくてもよい。複数の痕跡589および複数の痕跡109の各深さはそれぞれ、たとえば、複数の凹部581の各深さよりも小さいが、反対に大きくてもよいし、同じであってもよい。
 図3および図5に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、第1端面111、第2端面112、第3端面113および第4端面114を有する。第1端面111、第2端面112、第3端面113および第4端面114は、封止樹脂50に覆われている。第1端面111は、第1方向xを向き、かつ第2方向yに延びている。第1端面111は、封止樹脂50の一対の第1側面53から最も近くに位置する。第2端面112は、第2方向yを向き、かつ第1方向xに延びている。第2端面112は、封止樹脂50の第2側面54から最も近くに位置する。第3端面113は、第2方向yにおいて第2端面112とは反対側を向き、かつ第1方向xに延びている。第3端面113は、封止樹脂50の第3側面55から最も近くに位置する。第4端面114は、第1方向xにおいて第1端面111とは反対側を向き、かつ第2方向yに延びている。図9に示すように、第1ダイパッド10Aの第4端面114と、第2ダイパッド10Bの第4端面114との間には、溝部57が位置する。
 図5および図8に示すように、第3端面113と第3側面55との間隔P2は、第2端面112と第2側面54との間隔P1よりも長い。
 図3、図5および図8に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、第1隅部端面121を有する。第1隅部端面121は、第1端面111と第2端面112との間に位置し、かつ第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれかの隅部に位置する。第1隅部端面121は、封止樹脂50に覆われ、かつ第1端面111および第2端面112に対して傾斜した平面である。図15に示す第1端面111に対する第1隅部端面121の第1傾斜角α1と、第2端面112に対する第1隅部端面121の第2傾斜角α2と、のいずれかが60°以上85°以下である。複数の凹部581のうちの1つは、平面視において、第1ダイパッド10Aの第1隅部端面121近辺に位置し、複数の凹部582のうちの1つは、平面視において、第2ダイパッド10Bの第1隅部端面121近辺に位置する。
 さらに図15に示すように、第1隅部端面121の最長法線Nmaxを設定する。最長法線Nmaxは、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれかの第1隅部端面121から、封止樹脂50の一対の第1側面53のうち第1隅部端面121から最も近くに位置する第1側面53に至る第1隅部端面121の法線の最大値である。最長法線Nmaxは、第1方向xおよび第2方向yを面内方向とする仮想平面と、第1隅部端面121との交線C(図15参照)の長さの1.0倍以上1.5倍以下である。
 図3、図5および図8に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、第2隅部端面122を有する。第2隅部端面122は、第1端面111と第3端面113との間に位置し、かつ第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれかの隅部に位置する。第2隅部端面122は、封止樹脂50に覆われ、かつ第1端面111および第3端面113に対して傾斜した平面である。図16に示す第1端面111に対する第2隅部端面122の第3傾斜角α3と、第3端面113に対する第2隅部端面122の第4傾斜角α4と、のいずれかが60°以上85°以下である。複数の凹部581のうちの1つは、平面視において、第1ダイパッド10Aの第2隅部端面122近辺に位置し、複数の凹部582のうちの1つは、平面視において、第2ダイパッド10Bの第2隅部端面122近辺に位置する。
 図3および図5に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、第3隅部端面123を有する。第3隅部端面123は、第2端面112と第4端面114との間に位置し、かつ第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれかの隅部に位置する。第3隅部端面123は、封止樹脂50に覆われ、かつ第2端面112および第4端面114に対して傾斜した平面である。図17に示す第4端面114に対する第3隅部端面123の第5傾斜角α5と、第2端面112に対する第3隅部端面123の第6傾斜角α6と、のいずれかが60°以上85°以下である。複数の凹部581のうちの1つは、平面視において、第1ダイパッド10Aの第3隅部端面123近辺に位置し、複数の凹部582のうちの1つは、平面視において、第2ダイパッド10Bの第3隅部端面123近辺に位置する。
 図3および図5に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bは、第4隅部端面124を有する。第4隅部端面124は、第3端面113と第4端面114との間に位置し、かつ第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bのいずれかの隅部に位置する。第4隅部端面124は、封止樹脂50に覆われ、かつ第3端面113および第4端面114に対して傾斜した平面である。図18に示す第4端面114に対する第4隅部端面124の第7傾斜角α7と、第3端面113に対する第4隅部端面124の第8傾斜角α8と、のいずれかが60°以上85°以下である。複数の凹部581のうちの1つは、平面視において、第1ダイパッド10Aの第4隅部端面124近辺に位置し、複数の凹部582のうちの1つは、平面視において、第2ダイパッド10Bの第4隅部端面124近辺に位置する。
 図13に示すように、第2ダイパッド10Bは、座面103および起立面104を有する。座面103は、厚さ方向zにおいて主面101と同じ側を向き、かつ厚さ方向zにおいて主面101と裏面102との間に位置する。座面103は、第4端面114に繋がる。起立面104は、厚さ方向zに対して直交する方向を向き、かつ座面103および主面101に繋がる。座面103および起立面104は、第2ダイパッド10Bにおいて段差をなしている。
 第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々は、たとえばトランジスタである。図19に示すように、半導体装置A10における当該トランジスタは、MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)であるが、この他、バイポーラトランジスタおよびIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などであってもよい。なお、図19の回路においては、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々に内蔵される寄生ダイオード成分も図示している。第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々は、たとえば、nチャネル型であるが、pチャネル型であってもよい。第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々は、化合物半導体基板を含む。当該化合物半導体基板の組成は、ケイ素(Si)または炭化ケイ素(SiC)を含む。
 第1半導体素子21は、図3および図9に示すように、第1ダイパッド10Aに搭載される。好ましくは、平面視において、第1半導体素子21の重心は、第1ダイパッド10Aの中心部に重なる。第1ダイパッド10Aの中心部とは、第1ダイパッド10Aを第1方向xにNx(Nxは正の奇数)分割した時の中央であり、かつ第1ダイパッド10Aを第2方向yにNy(Nyは正の奇数)分割した時の中央に相当する領域である。Nx,Nyはそれぞれ、何ら限定されないが、たとえば3または5である。
 第1半導体素子21は、第1主面21aおよび第1裏面21bを有する。第1主面21aおよび第1裏面21bは、厚さ方向zに互いに離間する。第1主面21aは、第1ダイパッド10Aの主面101と同じ方向を向く。第1裏面21bは、厚さ方向zにおいて第1主面21aと反対側を向き、第1ダイパッド10Aの主面101に対向する。
 第1半導体素子21は、図3および図9に示すように、第1ダイパッド10Aに搭載されている。図11に示すように、第1半導体素子21は、第1主面電極211、主面電極212および第1裏面電極213を有する。
 第1主面電極211は、第1主面21aに配置される。第1主面電極211には、第1半導体素子21により変換された後の電力に対応する電流が流れる。第1半導体素子21がMOSFETである例において、第1主面電極211は、たとえばソース電極である。第1主面電極211は、複数の金属めっき層を含む。第1主面電極211は、ニッケル(Ni)めっき層と、当該ニッケルめっき層の上に積層された金(Au)めっき層を含む。この他、第1主面電極211は、ニッケルめっき層と、当該ニッケルめっき層の上に積層されたパラジウム(Pd)めっき層と、当該パラジウムめっき層の上に積層された金めっき層を含む場合でもよい。
 主面電極212は、第1主面21aに配置される。主面電極212には、第1半導体素子21を駆動するための第1駆動信号(ゲート電圧)が印加される。第1半導体素子21がMOSFETである例において、主面電極212は、たとえばゲート電極である。平面視において、主面電極212の面積は、第1主面電極211の面積よりも小である。
 第1裏面電極213は、第1裏面21bに配置される。第1裏面電極213は、第1ダイパッド10Aの主面101に対向して設けられている。第1裏面電極213には、第1半導体素子21により変換される前の電力に対応する電流が流れる。第1半導体素子21がMOSFETである例において、第1裏面電極213は、たとえばドレイン電極である。
 第2半導体素子22は、第2ダイパッド10Bの主面101に搭載される。好ましくは、平面視において、第2半導体素子22の重心は、第2ダイパッド10Bの中心部に重なる。第2ダイパッド10Bの中心部とは、第2ダイパッド10Bを第1方向xにLx(Lxは正の奇数)分割した時の中央であり、かつ第2ダイパッド10Bを第2方向yにLy(Lyは正の奇数)分割した時の中央に相当する領域である。Lx,Lyはそれぞれ、何ら限定されないが、たとえば3または5である。
 第2半導体素子22は、第2主面22aおよび第2裏面22bを有する。第2主面22aおよび第2裏面22bは、厚さ方向zに互いに離間する。第2主面22aは、第2ダイパッド10Bの主面101と同じ方向を向く。第2裏面22bは、厚さ方向zにおいて第2主面22aと反対側を向き、第2ダイパッド10Bの主面101に対向する。
 第2半導体素子22は、図3および図9に示すように、第2ダイパッド10Bに搭載されている。図12に示すように、第2半導体素子22は、第2主面電極221、主面電極222および第2裏面電極223を有する。
 第2主面電極221は、第2主面22aに配置される。第2主面電極221には、第2半導体素子22により変換された後の電力に対応する電流が流れる。第2半導体素子22がMOSFETである例において、第2主面電極221は、たとえばソース電極である。第2主面電極221は、第1主面電極211と同様に、複数の金属めっき層を含む。第2主面電極221は、ニッケル(Ni)めっき層と、当該ニッケルめっき層の上に積層された金(Au)めっき層を含む。この他、第2主面電極221は、ニッケルめっき層と、当該ニッケルめっき層の上に積層されたパラジウム(Pd)めっき層と、当該パラジウムめっき層の上に積層された金めっき層を含む場合でもよい。
 主面電極222は、第2主面22aに配置される。主面電極222には、第2半導体素子22を駆動するための第2駆動信号(ゲート電圧)が印加される。第2半導体素子22がMOSFETである例において、主面電極222は、たとえばゲート電極である。平面視において、主面電極222の面積は、第2主面電極221の面積よりも小である。
 第2裏面電極223は、第2裏面22bに配置される。第2裏面電極223は、第2ダイパッド10Bの主面101に対向して設けられている。第2裏面電極223には、第2半導体素子22により変換される前の電力に対応する電流が流れる。第2半導体素子22がMOSFETである例において、第2裏面電極223は、たとえばドレイン電極である。
 半導体装置A10は、2つのダイボンディング層231,232をさらに備える。2つのダイボンディング層231,232の各々は、導電性を有する。各ダイボンディング層231,232は、たとえばはんだである。この他、各ダイボンディング層231,232は、焼結金属でもよい。
 ダイボンディング層231は、図9および図11に示すように、第1ダイパッド10Aの主面101と第1半導体素子21の第1裏面電極213との間に介在する。ダイボンディング層231は、第1ダイパッド10Aの主面101と、第1半導体素子21の第1裏面電極213とを接合する。これにより、第1半導体素子21の第1裏面電極213は、第1ダイパッド10Aに導通する。
 ダイボンディング層232は、図9、図10および図12に示すように、第2ダイパッド10Bの主面101と第2半導体素子22の第2裏面電極223との間に介在する。ダイボンディング層232は、第2ダイパッド10Bの主面101と第2半導体素子22の第2裏面電極223とを接合する。これにより、第2半導体素子22の第2裏面電極223は、第2ダイパッド10Bに導通する。
 複数の端子リード13は、図3に示すように、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bに対して第2端面112が向く側とは反対側に位置する。複数の端子リード13の少なくともいずれかは、第1半導体素子21または第2半導体素子22のいずれかに導通している。複数の端子リード13は、第1方向xに沿って配列されている。複数の端子リード13は、第1端子リード14、第2端子リード15、第3端子リード16、第4端子リード171、第5端子リード172、第6端子リード181および第7端子リード182を含む。
 第1端子リード14は、図3に示すように、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bから離れて位置し、かつ第1方向xにおいて第2端子リード15と第3端子リード16との間に位置する。第1端子リード14は、第2方向yに沿って延びている。第1端子リード14は、第1半導体素子21の第1主面電極211(ソース電極)および第2半導体素子22の第2主面電極221(ソース電極)に導通している。第1端子リード14は、被覆部14Aおよび露出部14Bを含む。図10に示すように、被覆部14Aは、封止樹脂50に覆われている。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部14Bは、被覆部14Aに繋がり、且つ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部14Bは、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bから遠ざかる側に延びている。露出部14Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 図14に示すように、第1端子リード14の被覆部14Aは、座面14Cおよび起立面14Dを有する。座面14Cは、厚さ方向zにおいて第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの各主面101と同じ側を向き、かつ被覆部14Aの上面(厚さ方向z上方を向く面)よりも厚さ方向zの下方側に位置する。起立面14Dは、厚さ方向zに対して直交する方向を向くとともに、座面14C、および被覆部14Aの上面に繋がる。座面14Cおよび起立面14Dは、第1端子リード14の被覆部14Aにおいて段差をなしている。なお、被覆部14Aが、座面14Cおよび起立面14Dのいずれも有していなくてもよい。
 第2端子リード15は、図3に示すように、第2方向yに沿って延びる部分を含むとともに、第1ダイパッド10Aに繋がっている。このため、第2端子リード15は、第1ダイパッド10Aを介して、第1半導体素子21の第1裏面電極213(ドレイン電極)に導通する。第2端子リード15は、被覆部15Aおよび露出部15Bを含む。図8に示すように、被覆部15Aは、第1ダイパッド10Aの第3端面113に繋がっており、かつ封止樹脂50に覆われている。第1方向xに見て、被覆部15Aは、屈曲している。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部15Bは、被覆部15Aに繋がり、かつ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部15Bは、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aから遠ざかる側に延びている。露出部15Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 第3端子リード16は、図3に示すように、第2方向yに沿って延びる部分を含むとともに、第2ダイパッド10Bに繋がっている。このため、第3端子リード16は、第2ダイパッド10Bを介して第2半導体素子22の第2裏面電極223(ドレイン電極)に導通する。第3端子リード16は、被覆部16Aおよび露出部16Bを含む。被覆部16Aは、第2ダイパッド10Bの第3端面113に繋がり、かつ封止樹脂50に覆われている。第1方向xに見て、被覆部16Aは、第2端子リード15の被覆部15Aと同様に屈曲している。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部16Bは、被覆部16Aに繋がり、かつ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部16Bは、第2方向yにおいて第2ダイパッド10Bから遠ざかる側に延びている。露出部16Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 第4端子リード171は、図3に示すように、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aから離れて位置し、かつ第1方向xの一方側に位置する。第5端子リード172は、図3に示すように、第2方向yにおいて第2ダイパッド10Bから離れて位置し、且つ第1方向xの他方側に位置する。第4端子リード171は、第1半導体素子21の主面電極212(ゲート電極)に導通している。第4端子リード171には、第1半導体素子21が駆動するための駆動信号(ゲート電圧)が印加される。第5端子リード172は、第2半導体素子22の主面電極222(ゲート電極)に導通している。第5端子リード172には、第2半導体素子22が駆動するための駆動信号(ゲート電圧)が印加される。
 図3に示すように、第4端子リード171は、被覆部171Aおよび露出部171Bを含む。被覆部171Aは、封止樹脂50に覆われている。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部171Bは、被覆部171Aに繋がり、かつ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部171Bは、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aから遠ざかる側に延びている。露出部171Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 図3に示すように、第5端子リード172は、被覆部172Aおよび露出部172Bを含む。被覆部172Aは、封止樹脂50に覆われている。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部172Bは、被覆部172Aにつながり、かつ封止樹脂50から露出している。露出部172Bは、第2方向yにおいて第2ダイパッド10Bから遠ざかる側に延びている。露出部172Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 第6端子リード181は、図3に示すように、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aから離れて位置し、かつ第1方向xにおいて第2端子リード15と第4端子リード171との間に位置する。第7端子リード182は、図3に示すように、第2方向yにおいて第2ダイパッド10Bから離れて位置し、かつ第1方向xにおいて第3端子リード16と第5端子リード172との間に位置する。第6端子リード181は、第1半導体素子21の第1主面電極211(ソース電極)に導通している。第6端子リード181には、第1半導体素子21の第1主面電極211に流れる電流に応じた電圧が印加される。第7端子リード182は、第2半導体素子22の第2主面電極221(ソース電極)に導通している。第7端子リード182には、第2半導体素子22の第2主面電極221(ソース電極)に流れる電流に応じた電圧が印加される。
 図3に示すように、第6端子リード181は、被覆部181Aおよび露出部181Bを含む。被覆部181Aは、封止樹脂50に覆われている。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部181Bは、被覆部181Aにつながり、かつ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部181Bは、第2方向yにおいて第1ダイパッド10Aから遠ざかる側に延びている。露出部181Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 図3に示すように、第7端子リード182は、被覆部182Aおよび露出部182Bを含む。被覆部182Aは、封止樹脂50に覆われている。図2、図3、図5および図6に示すように、露出部182Bは、被覆部182Aにつながり、かつ封止樹脂50の第3側面55から露出している。露出部182Bは、第2方向yにおいて第2ダイパッド10Bから遠ざかる側に延びている。露出部182Bの表面には、たとえば錫めっきが施されている。
 図6に示すように、半導体装置A10において、第1端子リード14の露出部14B、第2端子リード15の露出部15Bおよび第3端子リード16の露出部16Bの各高さhは、いずれも同一(あるいは略同一)である。さらに、これらの各厚さは、いずれも同一(あるいは略同一)である。このため、第1方向xに見て、第1端子リード14の少なくとも一部(露出部14B)が、第2端子リード15および第3端子リード16の各々に重なる(図7参照)。
 第1導通部31は、図3に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211と、第2半導体素子22の第2主面電極221と、第1端子リード14とを互いに導通させる。第1導通部31は、金属製の板材である。第1導通部31は、金属クリップである。第1導通部31の組成は、たとえば銅を含む。第1導通部31は、封止樹脂50に覆われている。第1導通部31は、第1接合部311、第2接合部312、第3接合部313、第1連結部314および第2連結部315を含む。
 第1接合部311は、図3、図4、図9および図11に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211に接合されている。第1接合部311は、2つの帯状部311aを含む。図3および図4に示すように、2つの帯状部311aの各々は、第1方向xを長手方向とする。2つの帯状部311aは、平面視において、互いに平行に配置される。なお、第1接合部311は、2つの帯状部311aに分離されていなくてもよい。平面視における第1接合部311の面積(2つの帯状部311aの各面積の合計)は、たとえば、平面視における第1主面電極211の面積の10%以上100%以下である。
 第2接合部312は、図3、図4、図9および図12に示すように、第2半導体素子22の第2主面電極221に接合されている。第2接合部312は、2つの帯状部312aを含む。図3および図4に示すように、2つの帯状部312aの各々は、第1方向xを長手方向とする。2つの帯状部312aは、平面視において、互いに平行に配置される。なお、第2接合部312は、2つの帯状部312aに分離されていなくてもよい。平面視における第2接合部312の面積(2つの帯状部312aの各面積の合計)は、たとえば、平面視における第2主面電極221の面積の10%以上100%以下である。
 第3接合部313は、図3、図4、図10および図14に示すように、第1端子リード14の被覆部14Aに接合されている。第3接合部313は、第1端子リード14の座面14Cに接合されている。第3接合部313は、第1方向xに延びている。第3接合部313の少なくとも一部が、座面14Cと、第1端子リード14の起立面14Dとにより規定された領域に収納されている。なお、第1端子リード14の被覆部14Aに座面14Cおよび起立面14Dが形成されていない場合には、第3接合部313は、被覆部14Aの上面(厚さ方向zの上方を向く面)に接合される。
 第1連結部314は、図3、図4および図9に示すように、第1接合部311と第2接合部312とに繋がる。半導体装置A10では、第1連結部314は、平面視において、第1方向xに延びる帯状である。
 第1連結部314は、図4および図9に示すように、本体部314aおよび一対の屈曲部314b,314cを含む。本体部314aは、第1連結部314の主要部をなしている。本体部314aは、平面視において帯状である。本体部314aは、第1方向xに延びている。本体部314aは、第1接合部311および第2接合部312よりも厚さ方向z上方に位置する。一対の屈曲部314b,314cは、本体部314aの第1方向xの両端にそれぞれ接続される。一対の屈曲部314b,314cは、本体部314aから厚さ方向z下方に屈曲する。一対の屈曲部314bは、第1接合部311に繋がり、一対の屈曲部314cは、第2接合部312に繋がる。図示された例では、屈曲部314bは、二股に分かれており、2つの帯状部311aにそれぞれ個別に繋がる。この例とは異なり、屈曲部314bは、二股に分かれていなくてもよい。この場合、第1接合部311は、2つの帯状部311aに分離されていなくてもよい。同様に、屈曲部314cは、二股に分かれており、2つの帯状部312aにそれぞれ個別に繋がる。この例とは異なり、屈曲部314cは、二股に分かれていなくてもよい。この場合、第2接合部312は、2つの帯状部312aに分離されていなくてもよい。
 第2連結部315は、図3、図4および図10に示すように、第1連結部314と第3接合部313とに繋がる。半導体装置A10では、第2連結部315は、平面視において、第2方向yに延びる帯状である。第2連結部315は、第1連結部314から第2方向yに延び、第3接合部313に繋がる。本実施形態では、第2連結部315は、第1連結部314の本体部314aのうち、第1方向xの中央に繋がる。
 第2連結部315は、図4、図10および図14に示すように、本体部315aおよび屈曲部315bを含む。本体部315aは、第2連結部315の主要部をなしている。本体部315aは、平面視において帯状である。本体部315aは、第2方向yに延びている。本体部315aは、第3接合部313よりも厚さ方向z上方に位置する。本体部315aは、厚さ方向zにおいて、本体部314aと同じ(あるいは略同じ)位置に配置される。屈曲部315bは、本体部315aの第2方向yの一方側(第2方向yにおいて第3接合部313が位置する側)の端部にそれぞれ接続される。屈曲部315bは、本体部315aから厚さ方向z下方に屈曲する。屈曲部315bは、第3接合部313に繋がる。
 本実施形態では、第1導通部31は、一対の屈曲部314b、314cおよび屈曲部315bの各々により、厚さ方向zに屈曲しているが、この構成とは異なり、第1半導体素子21の第1主面21a、第2半導体素子22の第2主面22aおよび第1端子リード14の被覆部14Aの上面(厚さ方向z上方を向く面)がそれぞれ、厚さ方向zにおいて互いに同じ(あるいは略同じ)高さに配置されている場合には、第1導通部31は、厚さ方向zに屈曲していなくてもよい。つまり、第1導通部31は、平板であってもよい。
 図4に示すように、第1導通部31は、平面視においてT字状である。また、第1導通部31は、平面視において、補助線Laを軸線として、当該軸線を基準に線対称である。補助線Laは、第2方向yに延び、且つ、平面視において第3接合部313に重なる。さらに、補助線Laは、平面視において、第2連結部315の第1方向xの中央に重なり、且つ、平面視において、第1連結部314の第1方向xの中央に重なる。また、第1導通部31の重心CG(図4参照)は、第1導通部31上に位置する。つまり、第1導通部31の重心CGは、平面視において、第1導通部31に重なる。
 半導体装置A10は、図11、図12および図14に示すように、複数の接合層33,34,35をさらに備える。複数の接合層33,34,35はそれぞれ、導電性である。複数の接合層33,34,35はそれぞれ、たとえばはんだであるが、焼結金属でもよい。図11に示すように、接合層33は、第1半導体素子21の第1主面電極211と、第1導通部31の第1接合部311との間に介在する。接合層33は、第1主面電極211と第1接合部311とを導通接合する。図12に示すように、接合層34は、第2半導体素子22の第2主面電極221と、第1導通部31の第2接合部312との間に介在する。接合層34は、第2主面電極221と第2接合部312とを導通接合する。図14に示すように、接合層35は、第1端子リード14の被覆部14Aと、第1導通部31の第3接合部313との間に介在する。接合層35は、被覆部14Aと第3接合部313とを導通接合する。
 本実施形態では、第1接合部311(一対の帯状部311aの各々)の厚さt(図11参照)は、0.1mm以上、かつ接合層33の最大厚さTmax(図11参照)の2倍以下である。接合層33の最大厚さTmaxは、第1半導体素子21の厚さよりも大きい。また、第2接合部312(一対の帯状部312aの各々)の厚さt(図12参照)は、0.1mm以上、かつ接合層34の最大厚さTmax(図12参照)の2倍以下である。接合層34の最大厚さTmaxは、第2半導体素子22の厚さよりも大きい。
 一対の第1接続部材41A,41Bおよび一対の第2接続部材42A,42Bの各々は、たとえばボンディングワイヤである。一対の第1接続部材41A,41Bおよび一対の第2接続部材42A,42Bの各組成は、金を含む。この他、一対の第1接続部材41A,41Bおよび一対の第2接続部材42A,42Bの各組成は、銅を含む場合でもよいし、アルミニウム(Al)を含む場合でもよい。
 第1接続部材41Aは、図3に示すように、第1半導体素子21の主面電極212と、第4端子リード171の被覆部171Aとに接合されている。これにより、第4端子リード171は、第1半導体素子21の主面電極212に導通する。第1接続部材41Bは、図3に示すように、第2半導体素子22の主面電極222と、第5端子リード172の被覆部172Aとに接合されている。これにより、第5端子リード172は、第2半導体素子22の主面電極222に導通する。
 第2接続部材42Aは、図3に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211と、第6端子リード181の被覆部181Aとに接合されている。これにより、第6端子リード181は、第1半導体素子21の第1主面電極211に導通する。第2接続部材42Bは、図3に示すように、第2半導体素子22の第2主面電極221と、第7端子リード182の被覆部182Aとに接合されている。これにより、第7端子リード182は、第2半導体素子22の第2主面電極221に導通する。
 以上のように構成された半導体装置A10は、図19に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211と第2半導体素子22の第2主面電極221とが、互いに電気的に接続され、且つ、第1端子リード14に共通に接続されている。第1半導体素子21および第2半導体素子22の両方がMOSFETである例において、半導体装置A10は、2つのMOSFETの各ソース電極が、1つの端子(第1端子リード14)に共通に接続された回路(ソースコモン接続された回路)を構成する。
 第1実施形態にかかる半導体装置A10の作用および効果は、次の通りである。
 半導体装置A10は、第1半導体素子21、第2半導体素子22、および、封止樹脂50を備える。封止樹脂50は、第1半導体素子21および第2半導体素子22を覆う。この構成によれば、半導体装置A10は、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、半導体装置A10は、当該半導体装置A10を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。
 半導体装置A10では、第1半導体素子21の第1主面電極211と第2半導体素子22の第2主面電極221とが、封止樹脂50の内部で、第1端子リード14に導通する。この構成によれば、第1端子リード14は、第1主面電極211と第2主面電極221との共通の端子となる。たとえば、第1半導体素子21および第2半導体素子22がそれぞれMOSFETであり、第1主面電極211および第2主面電極221がそれぞれソース電極である構成において、半導体装置A10は、ソースコモン接続された回路を構成し、且つ、第1端子リード14は、2つのMOSFETの各ソースの共通端子となる。つまり、半導体装置A10は、2つのMOSFETがソースコモン接続された回路を、1パッケージ化することが可能となる。
 半導体装置A10では、第1導通部31は、第1接合部311、第2接合部312および第3接合部313を含む。第1接合部311は、第1半導体素子21の第1主面電極211に導通接合され、第2接合部312は、第2半導体素子22の第2主面電極221に導通接合され、第3接合部313は、第1端子リード14(被覆部14A)に導通接合される。この構成によれば、第1主面電極211と第2主面電極221と第1端子リード14とを、1つの部材(第1導通部31)で、互いに導通させることができる。
 半導体装置A10では、第1導通部31は、厚さ方向zに見て、第2方向yに延びる軸線(補助線La)を基準に線対称である。また、当該軸線(補助線La)は、第3接合部313に重なる。この構成によれば、第3接合部313(第1端子リード14の被覆部14A)から第1接合部311(第1半導体素子21の第1主面電極211)までの導電距離と、第3接合部313(第1端子リード14の被覆部14A)から第2接合部312(第2半導体素子22の第2主面電極221)までの導通距離との均等化を図ることができる。
 半導体装置A10では、第1導通部31の重心CGは、厚さ方向zに見て、第1導通部31に重なる。この構成によれば、半導体装置A10の製造時において、第1導通部31を安定した姿勢で搬送することが可能となる。これにより、第1導通部31が傾いた状態で、第1半導体素子21、第2半導体素子22および第1端子リード14に接合されることを抑制できるので、第1導通部31を、第1半導体素子21の第1主面電極211、第2半導体素子22の第2主面電極221および第1端子リード14の被覆部14Aのそれぞれに、適切に接合することができる。
 半導体装置A10では、第1導通部31は、第1連結部314および第2連結部315を含む。第1連結部314は、厚さ方向zに見て、第1接合部311と第2接合部312との間において、第1方向xに沿って延びる。第2連結部315は、厚さ方向zに見て、第1連結部314(本体部314a)と第3接合部313との間において、第2方向yに延びる。この構成によれば、第1導通部31は、厚さ方向zに見て、T字状となるので、第1導通部31を、軸線(補助線La)を基準に線対称にすることができ、且つ、第1導通部31の重心CGを厚さ方向zに見て第1導通部31に重ならせることができる。
 半導体装置A10では、封止樹脂50は、複数の凹部581を有する。複数の凹部581の各々は、樹脂主面51から厚さ方向zに凹む。複数の凹部581は、平面視において、第1ダイパッド10Aに重なる。複数の凹部581は、上述の通り、半導体装置A10の製造時において、第1ダイパッド10Aを複数のピンで固定することによって形成される痕である。したがって、半導体装置A10の製造時において、複数のピンで第1ダイパッド10Aが押さえられているので、当該製造時に第1ダイパッド10Aが揺動することを抑制できる。これにより、第1ダイパッド10Aの裏面102と封止樹脂50を形成するための金型との間に隙間が発生することを抑制できるので、封止樹脂50に樹脂バリが発生することを抑制できる。
 半導体装置A10では、封止樹脂50は、複数の凹部582を有する。複数の凹部582の各々は、樹脂主面51から厚さ方向zに凹む。複数の凹部582は、平面視において、第2ダイパッド10Bに重なる。複数の凹部582は、上述の通り、半導体装置A10の製造時において、第2ダイパッド10Bを複数のピンで固定することによって形成される痕である。したがって、半導体装置A10の製造時において、複数のピンで第2ダイパッド10Bが押さえられているので、当該製造時に第2ダイパッド10Bが揺動することを抑制できる。これにより、第2ダイパッド10Bの裏面102と封止樹脂50を形成するための金型との間に隙間が発生することを抑制できるので、封止樹脂50に樹脂バリが発生することを抑制できる。
 半導体装置A10では、第1導通部31は、平面視において、第1ダイパッド10Aの四隅に重ならない。この構成によれば、半導体装置A10の製造時において、第1ダイパッド10Aを固定するピンで、第1ダイパッド10Aの四隅を押さえることが可能となる。つまり、半導体装置A10は、製造時における第1ダイパッド10Aの揺動を抑制することが可能となる。同様に、第1導通部31は、平面視において、第2ダイパッド10Bの四隅に重ならない。この構成によれば、半導体装置A10の製造時において、第2ダイパッド10Bを固定するピンで、第2ダイパッド10Bの四隅を押さえることが可能となる。つまり、半導体装置A10は、製造時における第2ダイパッド10Bの揺動を抑制することが可能となる。
 以下に、本開示の半導体装置の他の実施形態および変形例について、説明する。各実施形態および各変形例における各部の構成は、技術的な矛盾が生じない範囲において相互に組み合わせ可能である。
 図20~図22は、第1実施形態の第1変形例ないし第3変形例にかかる各半導体装置A11~A13をそれぞれ示している。各半導体装置A11~A13は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、第1導通部31の平面視形状が異なる点である。なお、図20~図22に示す例(各半導体装置A11~A13)では、第1導通部31は、厚さ方向zに屈曲していないものとするが、半導体装置A10と同様に、厚さ方向zに屈曲していてもよい。
 図20に示すように、半導体装置A11の第1導通部31は、半導体装置A10の第1導通部31と同様に、第1接合部311、第2接合部312、第3接合部313、第1連結部314および第2連結部315を含む。ただし、半導体装置A11においては、第1連結部314は、第1方向xに沿って直線的に延びておらず、平面視においてV字状に屈曲する。第1連結部314は、平面視において、第1接合部311から、第1方向xおよび第2方向yの各々に対して傾斜して延びる帯状の部位と、平面視において、第2接合部312から第1方向xおよび第2方向yの各々に対して傾斜して延びる帯状の部位とを含む。これらの帯状の部位は、互いに交わっている。そして、第2連結部315は、第1連結部314の帯状の部位が交わったところから、第2方向yに沿って延びている。この構成により、半導体装置A11の第1導通部31は、平面視においてY字状である。
 図21に示すように、半導体装置A12の第1導通部31は、第1接合部311、第2接合部312、第3接合部313および一対の連結部316を含む。一対の連結部316の一方は、第1接合部311と第3接合部313とに繋がる。当該連結部316は、平面視において、第1接合部311から第3接合部313まで直線的に延びる。一対の連結部316の他方は、第2接合部312と第3接合部313とに繋がる。当該連結部316は、平面視において、第2接合部312から第3接合部313まで直線的に延びる。一対の連結部316の両方とも、第3接合部313から延びる。この構成により、半導体装置A12の第1導通部31は、平面視においてV字状である。
 図22に示すように、半導体装置A13の第1導通部31は、第1接合部311、第2接合部312、第3接合部313、第1連結部314および第2連結部315を含む。ただし、半導体装置A13においては、第2連結部315は、第1連結部314の代わりに、第1接合部311に繋がる。つまり、半導体装置A13の第2連結部315は、第1接合部311と第3接合部313とを繋ぐ。この構成では、第2接合部312と第3接合部313とは、第1接合部311を介して、電気的に接続される。
 第1実施形態の第1変形例ないし第3変形例にかかる各半導体装置A11~A13は、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A11~A13は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A11~A13を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A11~A13は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 各半導体装置A11,A12では、第1導通部31は、補助線Laを基準に線対称である。したがって、各半導体装置A11,A12は、半導体装置A10と同様に、第3接合部313(第1端子リード14の被覆部14A)から第1接合部311(第1半導体素子21の第1主面電極211)までの導電距離と、第3接合部313(第1端子リード14の被覆部14A)から第2接合部312(第2半導体素子22の第2主面電極221)までの導通距離との均等化を図ることができる。また、半導体装置A11では、第1導通部31の重心CGは、厚さ方向zに見て第1導通部31に重なる。したがって、半導体装置A11の製造時において、第1導通部31を安定した姿勢で搬送することが可能となる。
 上記半導体装置A11~A13(第1実施形態の第1変形例ないし第3変形例)から理解されるように、本開示の半導体装置において、第1導通部31は、第1半導体素子21の第1主面電極211と第2半導体素子22の第2主面電極221と第1端子リード14とを互いに導通させるものであれば、その形状は、適宜変更されうる。
 図23は、第1実施形態の第4変形例にかかる半導体装置A14を示している。半導体装置A14は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A14の第1導通部31は、複数の部位に分割されている点である。図23に示す例では、半導体装置A14の第1導通部31は、互いに離間する第1導体31Aと第2導体31Bとを含む。
 図23に示すように、第1導体31Aは、第1半導体素子21の第1主面電極211と第1端子リード14の被覆部14Aとに接合され、これらを電気的に接続する。第1導体31Aは、接合部317A、接合部318Aおよび連結部319Aを含む。接合部317Aは、第1半導体素子21の第1主面電極211に接合される。図示された例では、接合部317Aは、先述の第1接合部311と同様に、2つの帯状部311aに分割されている。この例と異なり、接合部317Aは、2つの部位に分割されていなくてもよい。接合部318Aは、第1端子リード14の被覆部14Aに接合される。連結部319Aは、接合部317Aと接合部318Aとに繋がる。
 図23に示すように、第2導体31Bは、第2半導体素子22の第2主面電極221と第1端子リード14の被覆部14Aとに接合され、これらを電気的に接続する。第2導体31Bは、接合部317B、接合部318Bおよび連結部319Bを含む。接合部317Bは、第2半導体素子22の第2主面電極221に接合される。図示された例では、接合部317Bは、先述の第2接合部312と同様に、2つの帯状部312aに分割されている。この例とは異なり、接合部317Bは、2つの部位に分割されていなくてもよい。接合部318Bは、第1端子リード14の被覆部14Aに接合されている。連結部319Bは、接合部317Bと接合部318Bとに繋がる。
 第1実施形態の第4変形例にかかる半導体装置A14は、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、半導体装置A14は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A14を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、半導体装置A14は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 上記半導体装置A14(第1実施形態の第4変形例)から理解されるように、本開示の半導体装置において、第1導通部31は、1つの部材であるものに限定されず、互いに離間する2つ以上の部材を含む構成であってもよい。
 図24および図25は、第1実施形態の第5変形例にかかる半導体装置A15を示している。半導体装置A15は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A15の第1半導体素子21は、トランジスタではなくダイオードである。
 半導体装置A15の第1半導体素子21は、第1主面電極211および第1裏面電極213を有する。半導体装置A11の第1半導体素子21は、図24に示すように、主面電極212を有していない。図25に示すように、半導体装置A15の第1半導体素子21は、ダイオードであって、第1主面電極211は、たとえばアノード電極であり、第1裏面電極213は、たとえばカソード電極である。
 図24に示すように、半導体装置A15は、第1接続部材41Aおよび第2接続部材42Aのいずれも備えていない。この構成では、図24および図25に示すように、第4端子リード171および第6端子リード181はそれぞれ、第1半導体素子21および第2半導体素子22のいずれにも導通しない。したがって、半導体装置A15では、第4端子リード171および第6端子リード181はそれぞれ、ノンコネクト端子である。なお、図24および図25に示す例とは異なり、半導体装置A15は、さらに、第2接続部材42Bを備えていなくてもよい。この場合、第7端子リード182も、ノンコネクト端子となる。
 半導体装置A15は、図25に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211(アノード電極)と第2半導体素子22の第2主面電極221(ソース電極)とが、電気的に接続されている。つまり、半導体装置A15では、ダイオードのアノード電極と、MOSFETのソース電極とが、第1端子リード14に共通に接続された回路構成となる。
 図26および図27は、第1実施形態の第6変形例にかかる半導体装置A16を示している。半導体装置A16は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A12の第2半導体素子22は、トランジスタではなくダイオードである。
 半導体装置A16の第2半導体素子22は、第2主面電極221および第2裏面電極223を有する。半導体装置A16の第2半導体素子22は、図26に示すように、主面電極222を有していない。図27に示すように、半導体装置A16の第2半導体素子22は、ダイオードであって、第2主面電極221は、たとえばアノード電極であり、第2裏面電極223は、たとえばカソード電極である。
 図26に示すように、半導体装置A16は、第1接続部材41Bおよび第2接続部材42Bのいずれも備えていない。この構成では、図26および図27に示すように、第5端子リード172および第7端子リード182はそれぞれ、第1半導体素子21および第2半導体素子22のいずれにも導通しない。したがって、半導体装置A16では、第5端子リード172および第7端子リード182はそれぞれ、ノンコネクト端子である。なお、図26および図27に示す例とは異なり、半導体装置A16は、さらに、第2接続部材42Aを備えていなくてもよい。この場合、第6端子リード181も、ノンコネクト端子となる。
 半導体装置A16は、図27に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211(ソース電極)と第2半導体素子22の第2主面電極221(アノード電極)とが、電気的に接続されている。つまり、半導体装置A16は、MOSFETのソース電極と、ダイオードのアノード電極とが、第1端子リード14に共通に接続された回路構成となる。
 図28および図29は、第1実施形態の第7変形例にかかる半導体装置A17を示している。半導体装置A17は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A17の第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々が、トランジスタではなくダイオードである。
 半導体装置A17の第1半導体素子21は、第1主面電極211および第1裏面電極213を有する。半導体装置A17の第1半導体素子21は、図28に示すように、主面電極212を有していない。図29に示すように、半導体装置A17の第1半導体素子21は、ダイオードであって、第1主面電極211は、アノード電極であり、第1裏面電極213は、カソード電極である。また、半導体装置A17の第2半導体素子22は、第2主面電極221および第2裏面電極223を有する。半導体装置A17の第2半導体素子22は、図28に示すように、主面電極222を有していない。図29に示すように、半導体装置A17の第2半導体素子22は、ダイオードであって、第2主面電極221は、アノード電極であり、第2裏面電極223は、カソード電極である。
 図28に示すように、半導体装置A17は、一対の第1接続部材41A,41Bおよび一対の第2接続部材42A,42Bのいずれも備えていない。この構成では、図28および図29に示すように、第4端子リード171、第5端子リード172、第6端子リード181および第7端子リード182はそれぞれ、第1半導体素子21および第2半導体素子22のいずれにも導通しない。したがって、半導体装置A17では、第4端子リード171、第5端子リード172、第6端子リード181および第7端子リード182はそれぞれ、ノンコネクト端子である。
 半導体装置A17は、図29に示すように、第1半導体素子21の第1主面電極211(アノード電極)と第2半導体素子22の第2主面電極221(アノード電極)とが、電気的に接続されている。つまり、半導体装置A17は、2つのダイオードの各アノード電極が、第1端子リード14に共通に接続された回路構成となる。
 第1実施形態の第5変形例ないし第7変形例にかかる各半導体装置A15~A17は、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A15~A17は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A15~A17を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A15~A17は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 上記半導体装置A10,A15~A17から理解されるように、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21と第2半導体素子22との組み合わせにより、3種類の回路(2つのMOSFETの各ソース電極が共通に接続された回路、MOSFETのソース電極とダイオードのアノード電極とが共通に接続された回路、および、2つのダイオードの各アノード電極が共通に接続された回路)を構成できる。一方で、各端子リード13および封止樹脂50などの構成は、各半導体装置A10,A15~A17で共通する。したがって、本開示の半導体装置は、パッケージの外観が同じまま、3種類の回路のいずれかを構成することが可能である。また、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々がトランジスタであるかダイオードであるかで異なっていても、各端子リード13および封止樹脂50の構成をそのまま活用できる。これにより、本開示の半導体装置は、先述の3種類の回路のいずれであっても、パッケージ構造を共通化することができるので、生産性の向上において、好ましい。
 上記半導体装置A10~A17から理解されるように、本開示の半導体装置は、平面視において、第1半導体素子21の重心が第1ダイパッド10Aの中心部に重なるように配置されている。また、第2半導体素子22の重心が第2ダイパッド10Bの中心部に重なるように配置されている。この構成は、第1導通部31の共通化において好ましい。
 図30~図32は、第2実施形態にかかる半導体装置A20を示している。半導体装置A20は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、第2導通部32をさらに備える点である。
 第2導通部32は、図30および図31に示すように、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bに接合される。第2導通部32は、金属製の板材である。第2導通部32は、金属クリップである。第2導通部32の組成は、たとえば銅を含む。第2導通部32を介して、第1ダイパッド10Aと第2ダイパッド10Bとは、互いに電気的に接続される。この構成により、第1裏面電極213と第2裏面電極223とは、第1ダイパッド10A、第2導通部32および第2ダイパッド10Bを介して、互いに電気的に接続される。第2導通部32は、封止樹脂50に覆われている。図示された例では、第2導通部32は、平面視において帯状である。第2導通部32は、第4接合部321、第5接合部322および第3連結部323を含む。なお、図30および図31に示す例では、第2ダイパッド10Bは、座面103および起立面104のいずれも有していないが、これらを有していてもよい。
 第4接合部321は、図30および図31に示すように、第1ダイパッド10Aの主面101に接合される。当該第1ダイパッド10Aの主面101は、特許請求の範囲に記載の「第1搭載面」の一例である。第5接合部322は、図30および図31に示すように、第2ダイパッド10Bの主面101に接合される。当該第2ダイパッド10Bの主面101は、特許請求の範囲に記載の「第2搭載面」の一例である。第3連結部323は、図30および図31に示すように、第4接合部321と第5接合部322とに繋がる。第3連結部323は、第1方向xに沿って延びる。
 半導体装置A20は、図30および図31に示すように、2つの接合層36,37をさらに備える。2つの接合層36,37はそれぞれ、導電性である。2つの接合層36,37はそれぞれ、たとえばはんだであるが、焼結金属でもよい。図31に示すように、接合層36は、第1ダイパッド10Aと第2導通部32の第4接合部321との間に介在する。接合層36は、第1ダイパッド10Aと第2導通部32の第4接合部321とを導通接合する。図31に示すように、接合層37は、第2ダイパッド10Bと第2導通部32の第5接合部322との間に介在する。接合層37は、第2ダイパッド10Bと第2導通部32の第5接合部322とを導通接合する。
 以上のように構成された半導体装置A20では、図32に示すように、半導体装置A10と同様に、第1半導体素子21の第1主面電極211と第2半導体素子22の第2主面電極221とが、互いに電気的に接続されている。第1半導体素子21および第2半導体素子22の両方がMOSFETである例において、半導体装置A20は、2つのMOSFETの各ソース電極が共通に接続された回路(ソースコモン接続された回路)を構成する。また、半導体装置A20では、図32に示すように、第1半導体素子21の第1裏面電極213と第2半導体素子22の第2裏面電極223とが、互いに電気的に接続されている。第1半導体素子21および第2半導体素子22の両方がMOSFETである例において、半導体装置A20は、2つのMOSFETの各ドレイン電極が共通に接続された回路を構成する。したがって、図32に示すように、半導体装置A20は、第1半導体素子21および第2半導体素子22(2つのMOSFET)が並列に接続された回路を構成する。
 半導体装置A20では、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、半導体装置A20は、半導体装置A10と同様に、半導体装置A20を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、半導体装置A20は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 半導体装置A20では、第1ダイパッド10Aと第2ダイパッド10Bとが第2導通部32によって電気的に接続される。この構成によれば、第1半導体素子21の第1裏面電極213と第2半導体素子22の第2裏面電極223とが、互いに電気的に接続されている。たとえば、第1半導体素子21および第2半導体素子22がそれぞれMOSFETであり、第1裏面電極213および第2裏面電極223がそれぞれドレイン電極である構成において、半導体装置A20は、2つのMOSFETの各ドレイン電極が共通に接続された回路を構成する。つまり、半導体装置A20は、2つのMOSFETのドレイン電極が共通に接続された回路を、1パッケージ化することが可能となる。特に、半導体装置A20では、半導体装置A10と同様に、さらに、第1主面電極211と第2主面電極221とが電気的に接続されている。したがって、半導体装置A20は、第1半導体素子21と第2半導体素子22とが並列に接続された回路を、1パッケージ化することが可能となる。
 図33および図34は、第2実施形態の第1変形例にかかる半導体装置A21を示している。半導体装置A21は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、第1ダイパッド10Aが、第2ダイパッド10Bと同様に、座面103および起立面104を有する点である。当該第1ダイパッド10Aの座面103および起立面104は、第2ダイパッド10Bの座面103および起立面104とそれぞれ同様に構成される。
 半導体装置A21では、第2導通部32の第4接合部321は、第1ダイパッド10Aの座面103に接合層36を介して接合される。当該第4接合部321の少なくとも一部は、第1ダイパッド10Aの座面103と起立面104とにより規定された領域に収納されている。また、半導体装置A21では、第2導通部32の第5接合部322は、第2ダイパッド10Bの座面103に接合層37を介して、接合される。当該第5接合部322の少なくとも一部は、第2ダイパッド10Bの座面103と起立面104とにより規定された領域に収納されている。
 図35および図36は、第2実施形態の第2変形例にかかる半導体装置A22を示している。半導体装置A22は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、第2導通部32の位置が異なる点である。
 半導体装置A22では、第2導通部32は、平面視において、第1導通部31(第1連結部314)に重なる。先述のように、第1導通部31の第1連結部314では、一対の屈曲部314b,314cにより、第1接合部311および第2接合部312よりも第1連結部314(本体部314a)が厚さ方向z上方に配置される。このため、本体部314aと、第1ダイパッド10Aの主面101および第2ダイパッド10Bの主面101との間の距離が大きくなる。この距離の増大化により、第2導通部32を、第1導通部31の厚さ方向z下方に配置することができる。また、半導体装置A22では、第2導通部32は、平面視において、第1半導体素子21と第2半導体素子22とを結ぶ線分に重なる。この構成を採用することで、半導体装置A22では、半導体装置A20と比較して、第1半導体素子21の第1裏面電極213と第2半導体素子22の第2裏面電極223との導通経路の距離が短縮される。よって、第1裏面電極213と第2裏面電極223との間の寄生抵抗および寄生インダクタンスが低減される。
 図37および図38は、第2実施形態の第3変形例にかかる半導体装置A23を示している。半導体装置A23は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A23の第2導通部32は、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bの厚さ方向z下方に配置されている点である。
 半導体装置A23では、図38に示すように、第2導通部32は、接合層36によって、第1ダイパッド10Aの裏面102に接合されつつ、接合層37によって、第2ダイパッド10Bの裏面102に接合されている。図示された例では、第2導通部32は、平面視において、第1ダイパッド10Aおよび第2ダイパッド10Bよりも大きい。平面視において、第1ダイパッド10Aの全体および第2ダイパッド10Bの全体はそれぞれ、第2導通部32に重なる。第2導通部32の下面(厚さ方向z下方を向く面)は、封止樹脂50(樹脂裏面52)から露出する。この構成と異なり、第2導通部32の下面は、封止樹脂50に覆われていてもよい。あるいは、第2導通部32の下面に絶縁部材(絶縁板または絶縁シート)を設けてもよい。
 第2実施形態の第1変形例ないし第3変形例にかかる各半導体装置A21~A23は、半導体装置A20と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A21~A23は、半導体装置A20と同様に、当該半導体装置A21~A23を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A21~A23は、半導体装置A20と共通する構成により、半導体装置A20と同様の効果を奏する。
 図39は、第2実施形態の第4変形例にかかる半導体装置A24を示している。半導体装置A24は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、第1導通部31の平面視形状が異なる点である。
 半導体装置A24では、第1導通部31は、平面視において、半導体装置A14の第1導通部31と同様に、V字状である。なお、半導体装置A24の第1導通部31は、半導体装置A14の第1導通部31と同様に構成されるが、この例とは異なり、半導体装置A11または半導体装置A13の第1導通部31と同様に構成されていてもよい。
 また、半導体装置A24では、半導体装置A22と同様に、第2導通部32は、平面視において、第1半導体素子21と第2半導体素子22とを結ぶ線分に重なる。つまり、半導体装置A24では、半導体装置A20と比較して、第1半導体素子21の第1裏面電極213と第2半導体素子22の第2裏面電極223との導通経路の距離が短縮される。
 第2実施形態の第4変形例にかかる半導体装置A24は、半導体装置A20と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、半導体装置A24は、半導体装置A20と同様に、半導体装置A24を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、半導体装置A24は、半導体装置A20と共通する構成により、半導体装置A20と同様の効果を奏する。
 図40および図41は、第2実施形態の第5変形例にかかる半導体装置A25を示している。半導体装置A25は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A25の第1半導体素子21は、トランジスタではなく、半導体装置A15と同様にダイオードである。
 半導体装置A25では、第1半導体素子21の第1主面電極211(アノード電極)と、第2半導体素子22の第2主面電極221(ソース電極)とが、第1導通部31を介して、電気的に接続されている。また、第1半導体素子21の第1裏面電極213(カソード電極)と、第2半導体素子22の第2裏面電極223(ドレイン電極)とが、第2導通部32を介して電気的に接続されている。つまり、半導体装置A25では、図41に示すように、MOSFETとダイオードとが並列に接続されている。
 図42および図43は、第2実施形態の第6変形例にかかる半導体装置A26を示している。半導体装置A26は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A26の第2半導体素子22は、トランジスタではなく、半導体装置A16と同様にダイオードである。
 半導体装置A26では、第1半導体素子21の第1主面電極211(ソース電極)と、第2半導体素子22の第2主面電極221(アノード電極)とが、第1導通部31を介して、電気的に接続されている。また、第1半導体素子21の第1裏面電極213(ドレイン電極)と、第2半導体素子22の第2裏面電極223(カソード電極)とが、第2導通部32を介して電気的に接続されている。つまり、半導体装置A26では、図43に示すように、MOSFETとダイオードとが並列に接続されている。
 図44および図45は、第2実施形態の第7変形例にかかる半導体装置A27を示している。半導体装置A27は、半導体装置A20と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A27の第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々が、トランジスタではなく、半導体装置A17と同様にダイオードである。
 半導体装置A27では、第1半導体素子21の第1主面電極211(アノード電極)と、第2半導体素子22の第2主面電極221(アノード電極)とが、第1導通部31を介して、電気的に接続されている。また、第1半導体素子21の第1裏面電極213(カソード電極)と、第2半導体素子22の第2裏面電極223(カソード電極)とが、第2導通部32を介して電気的に接続されている。つまり、半導体装置A27では、図45に示すように、2つのダイオードが並列に接続されている。
 第2実施形態の第5変形例ないし第7変形例にかかる各半導体装置A25~A27は、半導体装置A20と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A25~A27は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A25~A27を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A25~A27は、半導体装置A20と共通する構成により、半導体装置A20と同様の効果を奏する。
 上記半導体装置A20,A25~A27から理解されるように、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21と第2半導体素子22と組み合わせにより、3種類の回路(2つのトランジスタの並列回路、トランジスタとダイオードとの並列回路、および、2つのダイオードの並列回路)を構成できる。一方で、各端子リード13および封止樹脂50などの構成は、各半導体装置A20,A25~A27で共通する。したがって、本開示の半導体装置は、パッケージの外観が同じまま、3種類の回路のいずれかを構成することが可能である。また、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各々がトランジスタであるかダイオードであるかで異なっていても、各端子リード13および封止樹脂50の構成をそのまま活用できる。これにより、本開示の半導体装置は、先述の3種類の回路のいずれであっても、パッケージ構造を共通化することができるので、生産性の向上において、好ましい。
 図46は、第3実施形態にかかる半導体装置A30を示している。半導体装置A30は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A30の第1半導体素子21の平面視サイズが、半導体装置A10の第1半導体素子21の平面視サイズよりも小さい。また、半導体装置A30の第2半導体素子22の平面視サイズが、半導体装置A10の第2半導体素子22の平面視サイズよりも小さい。
 半導体装置A30では、半導体装置A10と比較して、第1半導体素子21の平面視サイズが縮小化されたことから、第1導通部31の第1接合部311の平面視サイズが縮小化されている。なお、半導体装置A30においても、半導体装置A10と同様に、平面視における第1接合部311の面積(2つの帯状部311aの各面積の合計)は、平面視における第1主面電極211の面積のたとえば10%以上100%以下である。同様に、半導体装置A30では、半導体装置A10と比較して、第2半導体素子22の平面視サイズが縮小化されていることから、第1導通部31の第2接合部312の平面視サイズが縮小化されている。なお、半導体装置A30においても、半導体装置A10と同様に、平面視における第2接合部312の面積(2つの帯状部312aの各面積の合計)は、平面視における第2主面電極221の面積のたとえば10%以上100%以下である。一方で、第1導通部31の第1連結部314の幅は、半導体装置A10と同じである。
 図47は、第3実施形態の変形例にかかる半導体装置A31を示している。半導体装置A31は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、半導体装置A31の第1半導体素子21の平面視サイズが、半導体装置A10の第1半導体素子21の平面視サイズよりも大きい。また、半導体装置A31の第2半導体素子22の平面視サイズが、半導体装置A10の第2半導体素子22の平面視サイズよりも大きい。
 半導体装置A31では、半導体装置A10と比較して、第1半導体素子21の平面視サイズが拡大化されたことから、第1導通部31の第1接合部311の平面視サイズが拡大化されている。なお、半導体装置A31においても、半導体装置A10と同様に、平面視における第1接合部311の面積(2つの帯状部311aの各面積の合計)は、平面視における第1主面電極211の面積のたとえば10%以上100%以下である。同様に、半導体装置A31では、半導体装置A10と比較して、第2半導体素子22の平面視サイズが拡大化されていることから、第1導通部31の第2接合部312の平面視サイズが拡大化されている。なお、半導体装置A31においても、半導体装置A10と同様に、平面視における第2接合部312の面積(2つの帯状部312aの各面積の合計)は、平面視における第2主面電極221の面積のたとえば10%以上100%以下である。一方で、第1導通部31の第1連結部314の幅は、半導体装置A10と同じである。
 第3実施形態およびその変形例にかかる各半導体装置A30,A31は、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A30,A31は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A30,A31を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A30,A31は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 上記半導体装置A10,A30,A31から理解されるように、本開示の半導体装置においては、平面視における第1接合部311の面積(2つの帯状部311aの各面積の合計)は、平面視における第1主面電極211の面積のたとえば10%以上100%以下である。この構成によると、第1接合部311の平面視サイズを、第1半導体素子21の平面視サイズに応じた適度な大きさにすることができる。同様に、本開示の半導体装置においては、平面視における第2接合部312の面積(2つの帯状部312aの各面積の合計)は、平面視における第2主面電極221の面積のたとえば10%以上100%以下である。この構成によると、第2接合部312の平面視サイズを、第2半導体素子22の平面視サイズに応じた適度な大きさにすることができる。
 上記半導体装置A10,A30,A31から理解されるように、本開示の半導体装置においては、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各平面視サイズが異なっていても、第1導通部31の第1連結部314は、同じ幅である。各半導体装置A30,A31の製造時において、搬送用ハンドなどで第1導通部31を挟持して、第1導通部31を搬送することがある。このとき、第1連結部314の幅方向に第1連結部314を挟む場合には、搬送用ハンドの調整などが不要となる。よって、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各平面視サイズが異なる場合であっても、搬送用ハンドなどの搬送装置を共通化することができるので、生産性の向上において、好ましい。
 上記半導体装置A30,A31では、半導体装置A10において、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各平面視サイズが異なる例を示したが、半導体装置A20においても、同様に、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各平面視サイズが変更されてもよい。
 図48は、第4実施形態にかかる半導体装置A40を示している。半導体装置A40は、半導体装置A10と比較して、次の点で異なる。それは、複数の第1半導体素子21および複数の第2半導体素子22を備える点である。図48に示す例では、半導体装置A40は、2つの第1半導体素子21および2つの第2半導体素子22を備えるが、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各個数は、3つ以上であってもよい。
 2つの第1半導体素子21の各々は、第1ダイパッド10Aに搭載される。2つの第1半導体素子21はそれぞれ、たとえばトランジスタである。2つの第1半導体素子21は、第2方向yに沿って、並んでいる。半導体装置A30では、平面視において、2つの第1半導体素子21の重心(合成重心)が、第1ダイパッド10Aの中心部に重なる。図48に示す例では、2つの第1半導体素子21の各平面視サイズが同じであるが、互いに異なっていてもよい。
 2つの第2半導体素子22の各々は、第2ダイパッド10Bに搭載される。2つの第2半導体素子22はそれぞれ、たとえばトランジスタである。2つの第2半導体素子22は、第2方向yに沿って、並んでいる。半導体装置A30では、平面視において、2つの第2半導体素子22の重心(合成重心)が、第2ダイパッド10Bの中心部に重なる。図48に示す例では、2つの第2半導体素子22の各平面視サイズは、同じであるが、互いに異なっていてもよい。
 半導体装置A40は、2つの第1半導体素子21および2つの第2半導体素子22を備えることから、半導体装置A10と比較して、次の点も異なる。第1に、半導体装置A30の第1導通部31が、2つの第1接合部311、2つの第2接合部312、第3接合部313、2つの第1連結部314および2つの第2連結部315を含む点である。第2に、半導体装置A40の第1接続部材41Aが、一方の第1半導体素子21の主面電極212と、他方の第1半導体素子21の主面電極212と、第4端子リード171の被覆部171Aとに接合される点である。当該第1接続部材41Aは、たとえばステッチ接合により、2つの第1半導体素子21のうち、第2方向yにおいて複数の端子リード13に近い側の第1半導体素子21の主面電極212に接合されている。第3に、半導体装置A40の第2接続部材42Aが、一方の第1半導体素子21の第1主面電極211と、他方の第1半導体素子21の第1主面電極211と、第6端子リード181の被覆部181Aとに接合されている点である。当該第2接続部材42Aは、たとえばステッチ接合により、2つの第1半導体素子21のうち、第2方向yにおいて複数の端子リード13に近い側の第1半導体素子21の第1主面電極211に接合されている。なお、半導体装置A40において、第1接続部材41Aと第2接続部材42Aとでは、第1接続部材41Aが先に形成されるが、反対に第2接続部材42Aが先に形成されてもよい。第4に、半導体装置A40の第1接続部材41Bが、他方の第2半導体素子22の主面電極222と、他方の第2半導体素子22の主面電極222と、第5端子リード172の被覆部172Aとに接合されている点である。当該第1接続部材41Bは、たとえばステッチ接合により、2つの第2半導体素子22のうち、第2方向yにおいて複数の端子リード13に近い側の第2半導体素子22の主面電極222に接合されている。第5に、半導体装置A40の第2接続部材42Bが、一方の第2半導体素子22の第2主面電極221と、他方の第2半導体素子22の第2主面電極221と、第7端子リード182の被覆部182Aとに接合されている点である。当該第2接続部材42Bは、たとえばステッチ接合により、2つの第2半導体素子22のうち、第2方向yにおいて複数の端子リード13に近い側の第2半導体素子22の第2主面電極221に接合されている。なお、半導体装置A40において、第1接続部材41Bと第2接続部材42Bとでは、第1接続部材41Bが先に形成されるが、反対に第2接続部材42Bが先に形成されてもよい。
 先述の通り、半導体装置A40の第1導通部31は、図40に示すように、2つの第1接合部311、2つの第2接合部312、第3接合部313、2つの第1連結部314および2つの第2連結部315を含む。2つの第1接合部311は、2つの第1半導体素子21の第1主面電極211にそれぞれ個別に接合されている。2つの第2接合部312は、2つの第2半導体素子22の第2主面電極221にそれぞれ個別に接合される。2つの第1連結部314の一方は、2つの第1接合部311の一方と、2つの第2接合部312の一方とに繋がる。2つの第1連結部314の他方は、2つの第1接合部311の他方と、2つの第2接合部312の他方とに繋がる。2つの第2連結部315の一方は、2つの第1連結部314のそれぞれに繋がる。2つの第2連結部315の他方は、2つの第1連結部314の一方と、第3接合部313とに繋がる。
 なお、図48に示す例とは異なり、半導体装置A40において、次のように構成してもよい。それは、半導体装置A40が2つの第1接続部材41Aを備え、一方の第1接続部材41Aが、一方の第1半導体素子21の主面電極212と、第4端子リード171の被覆部171Aとに接合され、他方の第1接続部材41Aが、他方の第1半導体素子21の主面電極212と、第4端子リード171の被覆部171Aとに接合されていてもよい。同様に、半導体装置A40が2つの第2接続部材42Aを備え、一方の第2接続部材42Aが、一方の第1半導体素子21の第1主面電極211と、第6端子リード181の被覆部181Aとに接合され、他方の第2接続部材42Aが、他方の第1半導体素子21の第1主面電極211と、第6端子リード181の被覆部181Aとに接合されていてもよい。また、半導体装置A40が2つの第1接続部材41Bを備え、一方の第1接続部材41Bが、一方の第2半導体素子22の主面電極222と、第5端子リード172の被覆部172Aとに接合され、他方の第1接続部材41Bが、他方の第2半導体素子22の主面電極222と、第5端子リード172の被覆部172Aとに接合されていてもよい。また、半導体装置A40が2つの第2接続部材42Bを備え、一方の第2接続部材42Bが、一方の第2半導体素子22の第2主面電極221と、第7端子リード182の被覆部182Aとに接合され、他方の第2接続部材42Bが、他方の第2半導体素子22の第2主面電極221と、第7端子リード182の被覆部182Aとに接合されていてもよい。
 図49は、第4実施形態の変形例にかかる半導体装置A41を示している。半導体装置A41は、半導体装置A40と比較して、次の点で異なる。それは、第2導通部32をさらに備える点である。つまり、半導体装置A41は、半導体装置A20において、複数の第1半導体素子21および複数の第2半導体素子22を設けた構成に相当する。なお、図49に示す例では、半導体装置A41は、2つの第1半導体素子21および2つの第2半導体素子22を備えるが、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各個数は、3つ以上であってもよい。
 第4実施形態およびその変形例にかかる各半導体装置A40,A41は、半導体装置A10と同様に、2つの半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)が1つの封止樹脂50により1パッケージ化されている。したがって、各半導体装置A40,A41は、半導体装置A10と同様に、当該半導体装置A40,A41を実装する回路基板への実装面積を削減することが可能となる。その他、各半導体装置A40,A41は、半導体装置A10と共通する構成により、半導体装置A10と同様の効果を奏する。
 上記半導体装置A10,A40,A41から理解されるように、本開示の半導体装置においては、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各個数が異なっても、第1ダイパッド10A、第2ダイパッド10B、複数の端子リード13および封止樹脂50などの構成は同じである。したがって、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各個数が異なっても、各端子リード13および封止樹脂50の構成をそのまま活用できる。これにより、本開示の半導体装置は、第1半導体素子21および第2半導体素子22の各個数に関わらず、パッケージ構造を共通化することができるので、生産性の向上において、好ましい。
 半導体装置A40,A41では、2つの第1半導体素子21がともにトランジスタである例を示したが、これに限定されず、2つの第1半導体素子21のうちの一方がトランジスタで、他方がダイオードであってもよい。この場合、2つの第1半導体素子21において、ダイオードは、トランジスタに対して逆並列に接続される。当該逆並列では、トランジスタがMOSFETである例において、ドレイン電極とカソード電極とが接続され、かつソース電極とアノード電極とが接続されている。同様に、2つの第2半導体素子22の一方がトランジスタで他方がダイオードであってもよい。
 上記半導体装置A10,A15~A17,A20,A25~A27,A30,A31,A40,A41から理解されるように、本開示の半導体装置においては、第1半導体素子21および第2半導体素子22の種類(トランジスタであるかダイオードであるか)、平面視サイズおよび個数などが異なっていても、第1導通部31および第2導通部32を変えるだけで、第1ダイパッド10A、第2ダイパッド10B、複数の端子リード13および封止樹脂50を共通化することが可能である。
 上記第1実施形態ないし上記第4実施形態(これらの変形例を含む)では、第1導通部31が金属製の板材(金属クリップ)である例を示したが、本開示の半導体装置は、このような構成に限定されない。たとえば、第1導通部31は、1つ以上のボンディングワイヤを含み、当該1つ以上のボンディングワイヤによって、第1半導体素子21の第1主面電極211と、第2半導体素子22の第2主面電極221と、第1端子リード14とを、互いに電気的に接続してもよい。
 上記第1実施形態ないし上記第4実施形態(これらの変形例を含む)では、第1導通部31を備える例を示したが、本開示の半導体装置は、第1導通部31を備えていなくてもよい。たとえば、本開示の半導体装置は、第1端子リード14の被覆部14Aを拡張して、被覆部14Aを直接、第1主面電極211および第2主面電極221の各々に接合されていてもよい。
 本開示の半導体装置のパッケージ構造は、上記第1実施形態ないし上記第4実施形態(これらの変形例も含む)で例示したものに限定されない。たとえば、本開示の半導体装置は、他のTO(Transistor Outline)パッケージに対して、適用することも可能である。具体的には、第1実施形態ないし第4実施形態にかかる各半導体装置A10,A20,A30,A40は、TO-247と呼ばれるパッケージ構造を拡張したものであるが、TO-220、TO-252、TO263などと呼ばれる他のパッケージ構造を拡張したものでもよい。つまり、本開示の半導体装置は、従来のTOパッケージと類似の外観を持ったまま、複数の半導体素子(第1半導体素子21および第2半導体素子22)を1つの封止樹脂50によりパッケージすることを可能にする。
 本開示にかかる半導体装置は、上記した実施形態に限定されるものではない。本開示の半導体装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。たとえば、本開示の半導体装置は、以下の付記に関する実施形態を含む。
 付記1.
 厚さ方向の一方を向く第1主面および前記第1主面に配置された第1主面電極を有する第1半導体素子と、
 前記第1主面と同じ方向を向く第2主面および前記第2主面に配置された第2主面電極を有する第2半導体素子と、
 前記第1半導体素子が搭載された第1ダイパッドと、
 前記第1ダイパッドに対して前記厚さ方向に直交する第1方向の一方側に配置され、前記第2半導体素子が搭載された第2ダイパッドと、
 前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドから離間する第1端子リードと、
 前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
を備え、
 前記第1主面電極と前記第2主面電極とは、前記封止樹脂の内部で前記第1端子リードに導通する、半導体装置。
 付記2.
 前記第1ダイパッドから前記厚さ方向および前記第1方向に直交する第2方向に延びる第2端子リードと、
 前記第2ダイパッドから前記第2方向に延びる第3端子リードと、をさらに備え、
 前記第1端子リード、前記第2端子リードおよび前記第3端子リードは、前記第1方向に配列される、付記1に記載の半導体装置。
 付記3.
 前記第1端子リードは、前記第1方向において、前記第2端子リードと前記第3端子リードとの間に位置する、付記2に記載の半導体装置。
 付記4.
 前記第1主面電極と、前記第2主面電極と、前記第1端子リードとに導通する第1導通部をさらに備える、付記3に記載の半導体装置。
 付記5.
 前記第1導通部は、前記第1主面電極に導通接合された第1接合部と、前記第2主面電極に導通接合された第2接合部と、前記第1端子リードに接合された第3接合部と、を含む、付記4に記載の半導体装置。
 付記6.
 前記第1導通部は、前記厚さ方向に見て、前記第2方向に延びる軸線を基準に線対称であり、
 前記軸線は、前記第3接合部に重なる、付記5に記載の半導体装置。
 付記7.
 前記第1導通部は、前記第1接合部と前記第2接合部とに繋がる第1連結部と、前記第1連結部と前記第3接合部とを繋ぐ第2連結部と、を含む、付記6に記載の半導体装置。
 付記8.
 前記第1導通部の重心は、前記厚さ方向に見て、前記第1導通部に重なる、付記7に記載の半導体装置。
 付記9.
 前記第1連結部は、前記厚さ方向に見て、前記第1接合部と前記第2接合部との間において前記第1方向に沿って延び、
 前記第2連結部は、前記厚さ方向に見て、前記第1連結部と前記第3接合部との間において前記第2方向に沿って延びる、付記8に記載の半導体装置。
 付記10.
 前記封止樹脂は、前記第1主面と同じ方向を向く樹脂主面と、前記樹脂主面から窪む少なくとも1つの凹部とを有し、
 前記少なくとも1つの凹部の各々は、前記厚さ方向に見て、前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドのいずれかに重なる、付記4ないし付記9のいずれかに記載の半導体装置。
 付記11.
 前記少なくとも1つの凹部の各々は、前記厚さ方向に見て、前記第1導通部のいずれにも重ならない、付記10に記載の半導体装置。
 付記12.
 前記第1半導体素子は、前記厚さ方向において前記第1主面と反対側を向く第1裏面および前記第1裏面に配置された第1裏面電極を有し、
 前記第2半導体素子は、前記厚さ方向において前記第2主面と反対側を向く第2裏面および前記第2裏面に配置された第2裏面電極を有し、
 前記第1裏面電極は、前記第1ダイパッドに導通接合され、
 前記第2裏面電極は、前記第2ダイパッドに導通接合されている、付記2ないし付記11のいずれかに記載の半導体装置。
 付記13.
 前記第1ダイパッドと前記第2ダイパッドとに接合された第2導通部をさらに備え、
 前記第1裏面電極と前記第2裏面電極とは、前記第2導通部を介して導通する、付記12に記載の半導体装置。
 付記14.
 前記第1ダイパッドは、前記第1主面電極と同じ方向を向く第1搭載面を有し、
 前記第2ダイパッドは、前記第2主面電極と同じ方向を向く第2搭載面を有し、
 前記第2導通部は、前記第1搭載面および前記第2搭載面に接合される、付記13に記載の半導体装置。
 付記15.
 前記第2導通部は、前記厚さ方向に見て前記第1半導体素子と前記第2半導体素子とを結ぶ線分に重なる、付記14に記載の半導体装置。
 付記16.
 各々が前記第1端子リード、前記第2端子リードおよび前記第3端子リードから離間し、且つ、互いに離間する第4端子リード、第5端子リード、第6端子リードおよび第7端子リードをさらに備える、付記2ないし付記15のいずれかに記載の半導体装置。
 付記17.
 前記厚さ方向に見て、前記第1半導体素子の重心は、前記第1ダイパッドの中心部に重なる、付記1ないし付記16のいずれかに記載の半導体装置。
 付記18.
 前記厚さ方向に見て、前記第2半導体素子の重心は、前記第2ダイパッドの中心部に重なる、付記1ないし付記17のいずれかに記載の半導体装置。
 付記19.
 前記第1半導体素子は、トランジスタまたはダイオードのいずれかであり、
 前記第2半導体素子は、トランジスタまたはダイオードのいずれかである、付記1ないし付記18のいずれかに記載の半導体装置。
A10~A17,A20~A27,A30,A31,A40,A41:半導体装置
10A:第1ダイパッド   10B:第2ダイパッド
101:主面   102:裏面
103:座面   104:起立面
109:痕跡   111:第1端面
112:第2端面   113:第3端面
114:第4端面   121:第1隅部端面
122:第2隅部端面   123:第3隅部端面
124:第4隅部端面   13:端子リード
14:第1端子リード   14A:被覆部
14B:露出部   14C:座面
14D:起立面   15:第2端子リード
15A:被覆部   15B:露出部
16:第3端子リード   16A:被覆部
16B:露出部   171:第4端子リード
171A:被覆部   171B:露出部
172:第5端子リード   172A:被覆部
172B:露出部   181:第6端子リード
181A:被覆部   181B:露出部
182:第7端子リード   182A:被覆部
182B:露出部   21:第1半導体素子
21a:第1主面   21b:第1裏面
211:第1主面電極   212:主面電極
213:第1裏面電極   22:第2半導体素子
22a:第2主面   22b:第2裏面
221:第2主面電極   222:主面電極
223:第2裏面電極   231:ダイボンディング層
232:ダイボンディング層   31:第1導通部
31A:第1導体   31B:第2導体
311:第1接合部   311a:帯状部
312:第2接合部   312a:帯状部
313:第3接合部   314:第1連結部
314a:本体部   314b:屈曲部
314c:屈曲部   315:第2連結部
315a:本体部   315b:屈曲部
316:連結部
317A,317B,318A,318B:接合部
319A,319B:連結部   32:第2導通部
321:第4接合部   322:第5接合部
323:第3連結部   33:接合層
34:接合層   35:接合層
36:接合層   37:接合層
41A:第1接続部材   41B:第1接続部材
42A:第2接続部材   42B:第2接続部材
50:封止樹脂   51:樹脂主面
52:樹脂裏面   53:第1側面
54:第2側面   55:第3側面
56:凹部   57:溝部
581:凹部   582:凹部
589:痕跡

Claims (19)

  1.  厚さ方向の一方を向く第1主面および前記第1主面に配置された第1主面電極を有する第1半導体素子と、
     前記第1主面と同じ方向を向く第2主面および前記第2主面に配置された第2主面電極を有する第2半導体素子と、
     前記第1半導体素子が搭載された第1ダイパッドと、
     前記第1ダイパッドに対して前記厚さ方向に直交する第1方向の一方側に配置され、前記第2半導体素子が搭載された第2ダイパッドと、
     前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドから離間する第1端子リードと、
     前記第1半導体素子および前記第2半導体素子を覆う封止樹脂と、
    を備え、
     前記第1主面電極と前記第2主面電極とは、前記封止樹脂の内部で前記第1端子リードに導通する、半導体装置。
  2.  前記第1ダイパッドから前記厚さ方向および前記第1方向に直交する第2方向に延びる第2端子リードと、
     前記第2ダイパッドから前記第2方向に延びる第3端子リードと、をさらに備え、
     前記第1端子リード、前記第2端子リードおよび前記第3端子リードは、前記第1方向に配列される、請求項1に記載の半導体装置。
  3.  前記第1端子リードは、前記第1方向において、前記第2端子リードと前記第3端子リードとの間に位置する、請求項2に記載の半導体装置。
  4.  前記第1主面電極と、前記第2主面電極と、前記第1端子リードとに導通する第1導通部をさらに備える、請求項3に記載の半導体装置。
  5.  前記第1導通部は、前記第1主面電極に導通接合された第1接合部と、前記第2主面電極に導通接合された第2接合部と、前記第1端子リードに接合された第3接合部と、を含む、請求項4に記載の半導体装置。
  6.  前記第1導通部は、前記厚さ方向に見て、前記第2方向に延びる軸線を基準に線対称であり、
     前記軸線は、前記第3接合部に重なる、請求項5に記載の半導体装置。
  7.  前記第1導通部は、前記第1接合部と前記第2接合部とに繋がる第1連結部と、前記第1連結部と前記第3接合部とを繋ぐ第2連結部と、を含む、請求項6に記載の半導体装置。
  8.  前記第1導通部の重心は、前記厚さ方向に見て、前記第1導通部に重なる、請求項7に記載の半導体装置。
  9.  前記第1連結部は、前記厚さ方向に見て、前記第1接合部と前記第2接合部との間において前記第1方向に沿って延び、
     前記第2連結部は、前記厚さ方向に見て、前記第1連結部と前記第3接合部との間において前記第2方向に沿って延びる、請求項8に記載の半導体装置。
  10.  前記封止樹脂は、前記第1主面と同じ方向を向く樹脂主面と、前記樹脂主面から窪む少なくとも1つの凹部とを有し、
     前記少なくとも1つの凹部の各々は、前記厚さ方向に見て、前記第1ダイパッドおよび前記第2ダイパッドのいずれかに重なる、請求項4ないし請求項9のいずれかに記載の半導体装置。
  11.  前記少なくとも1つの凹部の各々は、前記厚さ方向に見て、前記第1導通部のいずれにも重ならない、請求項10に記載の半導体装置。
  12.  前記第1半導体素子は、前記厚さ方向において前記第1主面と反対側を向く第1裏面および前記第1裏面に配置された第1裏面電極を有し、
     前記第2半導体素子は、前記厚さ方向において前記第2主面と反対側を向く第2裏面および前記第2裏面に配置された第2裏面電極を有し、
     前記第1裏面電極は、前記第1ダイパッドに導通接合され、
     前記第2裏面電極は、前記第2ダイパッドに導通接合されている、請求項2ないし請求項11のいずれかに記載の半導体装置。
  13.  前記第1ダイパッドと前記第2ダイパッドとに接合された第2導通部をさらに備え、
     前記第1裏面電極と前記第2裏面電極とは、前記第2導通部を介して導通する、請求項12に記載の半導体装置。
  14.  前記第1ダイパッドは、前記第1主面電極と同じ方向を向く第1搭載面を有し、
     前記第2ダイパッドは、前記第2主面電極と同じ方向を向く第2搭載面を有し、
     前記第2導通部は、前記第1搭載面および前記第2搭載面に接合される、請求項13に記載の半導体装置。
  15.  前記第2導通部は、前記厚さ方向に見て前記第1半導体素子と前記第2半導体素子とを結ぶ線分に重なる、請求項14に記載の半導体装置。
  16.  各々が前記第1端子リード、前記第2端子リードおよび前記第3端子リードから離間し、且つ、互いに離間する第4端子リード、第5端子リード、第6端子リードおよび第7端子リードをさらに備える、請求項2ないし請求項15のいずれかに記載の半導体装置。
  17.  前記厚さ方向に見て、前記第1半導体素子の重心は、前記第1ダイパッドの中心部に重なる、請求項1ないし請求項16のいずれかに記載の半導体装置。
  18.  前記厚さ方向に見て、前記第2半導体素子の重心は、前記第2ダイパッドの中心部に重なる、請求項1ないし請求項17のいずれかに記載の半導体装置。
  19.  前記第1半導体素子は、トランジスタまたはダイオードのいずれかであり、
     前記第2半導体素子は、トランジスタまたはダイオードのいずれかである、請求項1ないし請求項18のいずれかに記載の半導体装置。
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